專利名稱：一種復(fù)合電阻型NH₃氣敏氣體傳感器及其制備方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及氣敏材料技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種復(fù)合電阻型NH3氣敏氣體傳感器及其制備方法。
背景技術(shù)：
高分子氣體傳感器的研究近年來得到了很大的發(fā)展，與無機(jī)半導(dǎo)體材料相比，高分子氣敏材料具有很多優(yōu)點(diǎn)。它價(jià)廉易得，制備簡單，可以沉積在各種基片上，并且高分子材料便于修飾，可按功能所需進(jìn)行分子設(shè)計(jì)和合成，通過選擇不同的大分子鏈結(jié)構(gòu)，并對其改性，獲得不同的物理化學(xué)傳感性能，提高其對氣體響應(yīng)的靈敏度和選擇性，最重要的是它可以在室溫或低溫下使用，這就從根本上解決了現(xiàn)有的無機(jī)半導(dǎo)體金屬氧化物傳感器氣體傳感器工作溫度高、能耗大的問題，從而拓展了氣體傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域。在導(dǎo)電高分子中，聚苯胺由于其獨(dú)特的導(dǎo)電機(jī)理和環(huán)境穩(wěn)定性而獲得了廣泛關(guān)注。而且，聚苯胺單體廉價(jià)易得，制備過程簡單易于進(jìn)行摻雜和脫摻雜?；谝陨线@些優(yōu)點(diǎn)， 使得聚苯胺成為導(dǎo)電高分子研究的新熱點(diǎn)。但是，單一聚苯胺氣敏材料普遍存在著選擇性差、靈敏度低、響應(yīng)恢復(fù)時(shí)間長等缺點(diǎn)，而單一無機(jī)納米氣敏材料的普遍工作溫度高(250-450°C)，這將導(dǎo)致長期的不穩(wěn)定。因此，通過不同方式將聚苯胺與其他無機(jī)納米材料復(fù)合，在一定程度上可以發(fā)揮二者的協(xié)同作用，因?yàn)闊o機(jī)粒子的加入可以改變材料的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和表面形貌，有助于聚苯胺與目標(biāo)氣體之間的電子轉(zhuǎn)移，甚至直接與目標(biāo)氣體進(jìn)行作用，從而影響復(fù)合材料的氣敏性能，解決上述各自存在的問題。近來，也有許多關(guān)于聚苯胺/無機(jī)材料復(fù)合的報(bào)道。印度的S. S. Joshi[1]用電沉積的方法制備了 n-CdS/p-聚苯胺納米顆粒，結(jié)果表明該復(fù)合材料相對于純聚苯胺對石油液化氣的響應(yīng)-恢復(fù)時(shí)間都縮短了，它的響應(yīng)時(shí)間為50-100S，恢復(fù)時(shí)間為200s。 GengLiNa[2]等用水熱法合成了聚苯胺/Sn02復(fù)合納米顆粒，表明該復(fù)合顆粒對丙酮的響應(yīng)-恢復(fù)時(shí)間縮短了，它的響應(yīng)時(shí)間為16-20s，恢復(fù)時(shí)間為35 - 48 s, Tai Huiling[3] 報(bào)道了聚苯胺/Ti02納米復(fù)合薄膜對NH3和CO的氣敏性，表明此復(fù)合薄膜對NH3具有較高的氣敏性和選擇性。Xie Guangzhong[4]報(bào)道了聚苯胺/PbO對CH4的氣敏性，表明室溫下的氣敏特性優(yōu)于50°C下的氣敏特性。Jimbao Zheng[5]等報(bào)道了聚苯胺/Ti02對三甲胺的晶振氣敏傳感器，表明對三甲胺的響應(yīng)時(shí)間為58-觀0 s.其響應(yīng)時(shí)間和氣體濃度呈線性關(guān) %,R = 2. miC + 158. 75，線性系數(shù)為 0. 996。但是，上述研究均是針對納米復(fù)合顆粒或納米纖維與納米顆粒復(fù)合的氣敏傳感器，氣敏氣體傳感器存在以下幾個方面的問題(1)聚苯胺在無機(jī)納米粒子如SnO2, In2O3 等的表面形成包覆，失去了原來的納米粒子的形貌特征，復(fù)合材料在增強(qiáng)對目標(biāo)氣體的吸附能力的同時(shí)，也使得其對材料的響應(yīng)時(shí)間增加；另一方面，聚苯胺與Sn02形成復(fù)合物后， 原有的松散的無定形結(jié)構(gòu)變得致密，目標(biāo)氣體的脫附變得困難，增加了材料的恢復(fù)時(shí)間。 (2)復(fù)合材料粒子大小不均勻，團(tuán)聚現(xiàn)象較為嚴(yán)重，從而會降低比表面積，導(dǎo)致氣敏性能下降。參考文獻(xiàn)S. S. Joshi, C. D. Lokhande , Sung-Hwan Han, A room temperature liquefied petroleum gas sensor based on all~electrodeposited n-CdSe/p-polyaniline junction,
Sensors and Actuators B 123 (2007) 240 - 245Lina Geng, Yingqiang Zhao, Xueliang Huang, Characterization and gas sensitivity study of polyani1ine/Sn02 hybrid
material prepared by hydrothermal route, Sensors and Actuators B 120 (2007) 568 - 572，Huiling Tai, Yadong Jiang , Guangzhong Xie, Fabrication and gas sensitivity of polyaniline_ titanium
dioxide nanocomposite thin film, Sensors and Actuators B 125 (2007) 644 -
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發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是要提供一種復(fù)合電阻型NH3氣敏氣體傳感器及其制備方法，以克服現(xiàn)有技術(shù)存在的工作溫度高帶來的能耗高的問題。為了克服現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本發(fā)明的技術(shù)解決方案是
一種復(fù)合電阻型NH3氣敏氣體傳感器的制備方法，包括下述步驟首先是備料，利用物理熱蒸發(fā)法制備大規(guī)模不含任何催化劑的ZnO納米線，采用化學(xué)氧化法制備HCl摻雜的聚苯胺納米管，然后取10份的HCl摻雜的聚苯胺納米管和1 5份的ZnO納米線，將聚苯胺與氧化鋅的粉末在研缽中研磨半小時(shí)后，再加入N-甲基吡咯烷酮濕磨約半小時(shí)，調(diào)制成料漿；將該漿料涂于兩端覆有金電極和鉬加熱絲的陶瓷管上制備成厚膜；將其放在空氣中干燥半小時(shí)，再在真空干燥箱中60°C熱處理M小時(shí)，制備成氣敏氣體傳感器。所述不含任何催化劑的ZnO納米線由下述方法制得
(a)首先將剛玉管送入高溫水平管式爐中；
(b)將3 5g的Si粉放置在氧化鋁小料舟的一側(cè)后將其送入高溫水平管式爐的高溫加熱區(qū)；
(c)將剛玉管內(nèi)抽真空，待真空度達(dá)到1 時(shí)，向剛玉管內(nèi)以70SCCM的流速通入純Ar， 其環(huán)境壓力維持在0. 02MPa ；
(d)將爐體升溫到800°C后將氬氣關(guān)閉，向剛玉管中以20SCCM的流量通入純氧氣，保溫 0.紐后將系統(tǒng)關(guān)閉，待爐體冷卻，將小料舟拿出，刮下乳白色奶油狀沉積物即為所需的SiO納米線。上述HCl摻雜的聚苯胺納米管由下述方法制得
(a)在鋅粉存在下經(jīng)二次蒸餾提純苯胺；
(b)將l-2mol/L新蒸餾的苯胺溶于lmol/L的鹽酸中；
(c)攪拌狀態(tài)下向其中緩慢滴加l-4mol/L的(NH4)2^O8溶液，滴加時(shí)間約為20 40min，滴加完后反應(yīng)Mi ；
(d)反應(yīng)停止后抽濾，將濾餅分別用鹽酸、去離子水和無水乙醇洗滌后在 600C /0. OlMPa條件下真空干燥Mh即得HCl摻雜的聚苯胺納米管。一種通過上述制備方法得到的復(fù)合電阻型NH3氣敏氣體傳感器。納米線、納米管作為一維納米材料，納米管制備氣敏傳感器具有常規(guī)傳感器不可替代的優(yōu)點(diǎn)(1)是納米管作為納米固體材料具有龐大的界面，提供了大量氣體通道，從而大大提高了靈敏度；( 是工作溫度大大降低；C3)是大大縮小了傳感器的尺寸。采用這些一維納米復(fù)合結(jié)構(gòu)制作氣敏傳感器的話，將大大提高氣敏傳感器的靈敏度和響應(yīng)速度，并且可實(shí)現(xiàn)氣敏傳感器的室溫工作?；谏鲜龅脑?，本發(fā)明所提出的技術(shù)方案與現(xiàn)有技術(shù)相比，所具有的優(yōu)點(diǎn)是
1、所提供的復(fù)合電阻型NH3氣敏氣體傳感器，在室溫下對NH3具有較高的氣體選擇性， 相對于純聚苯胺對IOOppm下的NH3的響應(yīng)-恢復(fù)時(shí)間縮短(響應(yīng)時(shí)間由20s縮短到10s， 恢復(fù)時(shí)間由36s縮短到Ms)，相對于純ZnO納米線，工作溫度降低(由300°C降低到室溫)。2、制備方法簡單，易行，使用常規(guī)的容器和設(shè)備即可。


圖1是是用化學(xué)氧化法制備的聚苯胺在掃描電子顯微鏡(SEM)下照片； 圖2是是用物理熱蒸發(fā)法制備的ZnO納米線的掃描電子顯微照片； 圖3是不同質(zhì)量復(fù)合比ZnO納米線/聚苯胺氣體傳感器對IOOOppm氨氣氣體靈敏度的影響；
圖4 ZnO納米線/聚苯胺為10:1氣敏傳感器隨氣體濃度的變化曲線圖； 圖5 ZnO納米線/聚苯胺為10:1氣體傳感器隨工作溫度的變化曲線圖； 圖6純ZnO納米線氣體傳感器隨工作溫度的變化曲線圖。
具體實(shí)施例方式
下面通過實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明
實(shí)施例1 一種復(fù)合電阻型NH3氣敏氣體傳感器，其通過下述方案制備得到 (一)備料
(1)制備聚苯胺納米管的具體方法是 依次包括下述步驟
(a)在鋅粉存在下經(jīng)二次蒸餾提純苯胺；
(b)將2mol/l新蒸餾的苯胺溶于lmol/L的鹽酸中；
(c)攪拌狀態(tài)下向其中緩慢滴加2mol/l的(NH4)2S208溶液，滴加時(shí)間約為40min，滴加完后反應(yīng)；
(d)反應(yīng)停止后抽濾，將濾餅分別用鹽酸、去離子水和無水乙醇洗滌后在 600C /0. OlMPa下真空干燥Mh即得HCl摻雜的聚苯胺納米管。
參見圖1，在25°C下，以苯胺、過硫酸銨、鹽酸比例為1 :1 0. 5時(shí)，生成的聚苯胺為納米柔性管狀，管的開口端由紅箭頭標(biāo)注。納米管長約3μπι，直徑約80nm。該管狀結(jié)構(gòu)大大的增加了聚苯胺的比表面積，因此，可提高它的氣敏性能。制備不含任何催化劑的氧化鋅納米線
以ai粉為原料，使用水平高溫管式爐，通過物理熱蒸發(fā)法，在以氬氣為載流氣體，氧氣為反應(yīng)氣體的條件下制備ZnO納米線。實(shí)驗(yàn)過程如下
(a)首先將剛玉管送入高溫水平管式爐中；
(b)將3 5g的Si粉放置在氧化鋁小料舟的一側(cè)后將其送入高溫水平管式爐的高溫加熱區(qū)；
(c)將剛玉管內(nèi)抽真空，待真空度達(dá)到IPa時(shí)，向剛玉管內(nèi)以70SCCM的流速通入純氬氣，其環(huán)境壓力維持在0. 02MPa ；
(d)將爐體升溫到800°C后將氬氣關(guān)閉，向剛玉管中以20SCCM的流量通入純氧氣，保溫 0.紐后將系統(tǒng)關(guān)閉，待爐體冷卻，將小料舟拿出，刮下乳白色奶油狀沉積物即為所需的ZnO 納米線。參見圖2，ZnO納米線呈現(xiàn)輻射的線狀結(jié)構(gòu)，同時(shí)納米線的直徑沿長度方向急劇銳化，其平均長度為IOym,直徑為60nm，因此ZnO納米線具有比聚苯胺更大的長徑比。(二)制備復(fù)合材料
用機(jī)械研磨法制備聚苯胺/ZnO復(fù)合材料。步驟如下
(a)用電子天平稱量一定量的聚苯胺材料；
(b)按質(zhì)量比為10:1稱量HCl摻雜的聚苯胺納米管和氧化鋅納米線；(優(yōu)選10:1)
(c)將上述聚苯胺與氧化鋅的混合粉末在研缽中研磨半小時(shí)后，再加入N-甲基吡咯烷酮濕磨約半小時(shí)，調(diào)制成料漿。(4)將該漿料涂于兩端覆有金電極和鉬加熱絲的陶瓷管上制備成厚膜，將其放在空氣中干燥半小時(shí)，再在真空干燥箱中60°C熱處理M小時(shí)。制備成氣體傳感器。
(一)備料
(1)制備聚苯胺納米管的具體方法是 依次包括下述步驟
(a)在鋅粉存在下經(jīng)二次蒸餾提純苯胺；
(b)將4mol/l新蒸餾的苯胺溶于lmol/L的鹽酸中；
(c)攪拌狀態(tài)下向其中緩慢滴加4mol/l的(NH4)2S208溶液，滴加時(shí)間約為30min，滴加完后反應(yīng)；
(d)反應(yīng)停止后抽濾，將濾餅分別用鹽酸、去離子水和無水乙醇洗滌后在 600C /0. OlMPa下真空干燥Mh即得HCl摻雜的聚苯胺納米管。制備不含任何催化劑的氧化鋅納米線
以ai粉為原料，使用水平高溫管式爐，通過物理熱蒸發(fā)法，在以氬氣為載流氣體，氧氣為反應(yīng)氣體的條件下制備ZnO納米線。實(shí)驗(yàn)過程如下 (a)首先將剛玉管送入高溫水平管式爐中；(b)將3 5g的Si粉放置在氧化鋁小料舟的一側(cè)后將其送入高溫水平管式爐的高溫加熱區(qū)；
(c)將剛玉管內(nèi)抽真空，待真空度達(dá)到IPa時(shí)，向剛玉管內(nèi)以70SCCM的流速通入純氬氣，其環(huán)境壓力維持在0. 03MPa ；
(d)將爐體升溫到800°C后將氬氣關(guān)閉，向剛玉管中以20SCCM的流量通入純氧氣，保溫 Ih后將系統(tǒng)關(guān)閉，待爐體冷卻，將小料舟拿出，刮下乳白色奶油狀沉積物即為所需的ZnO納米線。(二)制備復(fù)合材料
用機(jī)械研磨法制備聚苯胺/ZnO復(fù)合材料。步驟如下
(a)用電子天平稱量一定量的聚苯胺材料；
(b)按質(zhì)量比為10:3稱量HCl摻雜的聚苯胺納米管和氧化鋅納米線；
(c)將上述聚苯胺與氧化鋅的混合粉末在研缽中研磨半小時(shí)后，再加入N-甲基吡咯烷酮濕磨約半小時(shí)，調(diào)制成料漿。(d)將該漿料涂于兩端覆有金電極和鉬加熱絲的陶瓷管上制備成厚膜，將其放在空氣中干燥半小時(shí)，再在真空干燥箱中60°C熱處理M小時(shí)，制備成氣體傳感器。實(shí)施例3 (一)備料
(1)制備聚苯胺納米管的具體方法是 依次包括下述步驟
(a)在鋅粉存在下經(jīng)二次蒸餾提純苯胺；
(b)將2mol/l新蒸餾的苯胺溶于lmol/L的鹽酸中；
(c)攪拌狀態(tài)下向其中緩慢滴加3mol/l的(NH4)2S208溶液，滴加時(shí)間約為30min，滴加完后反應(yīng)；
(d)反應(yīng)停止后抽濾，將濾餅分別用鹽酸、去離子水和無水乙醇洗滌后在 600C /0. OlMPa下真空干燥Mh即得HCl摻雜的聚苯胺納米管。(2)制備不含任何催化劑的氧化鋅納米線
以ai粉為原料，使用水平高溫管式爐，通過物理熱蒸發(fā)法，在以氬氣為載流氣體，氧氣為反應(yīng)氣體的條件下制備ZnO納米線。實(shí)驗(yàn)過程如下
(a)首先將剛玉管送入高溫水平管式爐中；
(b)將3 5g的Si粉放置在氧化鋁小料舟的一側(cè)后將其送入高溫水平管式爐的高溫加熱區(qū)；
(c)將剛玉管內(nèi)抽真空，待真空度達(dá)到1 時(shí)，向剛玉管內(nèi)以70SCCM的流速通入純氬氣，其環(huán)境壓力維持在0. 02MPa ；
(d)將爐體升溫到800°C后將氬氣關(guān)閉，向剛玉管中以20SCCM的流量通入純氧氣，保溫 Ih后將系統(tǒng)關(guān)閉，待爐體冷卻，將小料舟拿出，刮下乳白色奶油狀沉積物即為所需的ZnO納米線。(二)制備復(fù)合材料
用機(jī)械研磨法制備聚苯胺/ZnO復(fù)合材料。
步驟如下
(a)用電子天平稱量一定量的聚苯胺材料；
(b)按質(zhì)量比為10:5稱量HCl摻雜的聚苯胺納米管和氧化鋅納米線；
(c)將上述聚苯胺與氧化鋅的混合粉末在研缽中研磨半小時(shí)后，再加入N-甲基吡咯烷酮濕磨約半小時(shí)，調(diào)制成料漿。(d)將該漿料涂于兩端覆有金電極和鉬加熱絲的陶瓷管上制備成厚膜，將其放在空氣中干燥半小時(shí)，再在真空干燥箱中60°C熱處理M小時(shí)，制備成氣體傳感器。上述實(shí)施例中，以實(shí)施例1為最佳。以實(shí)施例1的復(fù)合電阻型NH3氣敏氣體傳感器，進(jìn)行相關(guān)實(shí)驗(yàn)，結(jié)果如下 ZnO納米線/聚苯胺復(fù)合電阻式氣體傳感器氣敏性隨復(fù)合比例的變化
參見圖3可知，隨著復(fù)合材料中氧化鋅的比例的不斷增加，材料對于氨氣的靈敏度不斷降低。由于氧化鋅納米線為N型半導(dǎo)體，通入目標(biāo)氣體后電阻減小，而聚苯胺氣敏的過程，使電阻增大，故復(fù)合材料中氧化鋅的比例增加使其低于純的聚苯胺的靈敏度，故aiO/ 聚苯胺=1/10時(shí)氣敏性能最佳。(二)ZnO納米線/聚苯胺復(fù)合電阻式氣體傳感器隨氣體濃度的變化
參見圖4可知，隨著NH3的濃度的增加，材料的靈敏度不斷提高。由于根據(jù)摻雜態(tài)聚苯胺的導(dǎo)電機(jī)理，隨著目標(biāo)氣體濃度的增加，可與材料中反應(yīng)物質(zhì)充分結(jié)合，故材料的靈敏度隨之增加。ZnO納米線/聚苯胺復(fù)合電阻式氣體傳感器隨工作溫度的變化
參見圖5可知，隨著工作溫度的提高，以聚苯胺為基體的復(fù)合材料的靈敏度將不斷降低。這是有鹽酸摻雜的聚苯胺中HCl是小分子質(zhì)子酸，隨著工作溫度的提高，HCl分子會不停的從材料中脫除出來，從而減少了材料與NH3分子的結(jié)合點(diǎn)，導(dǎo)致材料的靈敏度下降。(四)純ZnO納米線電阻式氣體傳感器隨工作溫度的變化
參見圖6可知，純ZnO納米線氣體傳感器隨工作溫度的升高先升高后降低，因此，存在一個最佳峰值對應(yīng)的工作溫度(300°C)。通過對比可知，ZnO納米線/聚苯胺復(fù)合電阻式氣體傳感器適用于室溫氣體傳感器，相對于純ZnO納米線氣體傳感器，從而大大地降低了工作溫度，降低了功耗。3的響應(yīng)恢復(fù)時(shí)間參見下面的表1和表2
表1單一聚苯胺對不同濃度的NH3的響應(yīng)恢復(fù)時(shí)間
NH3 濃度(ppm)1003005007001000響應(yīng)時(shí)間(S)2028364562恢復(fù)時(shí)間(S)3643586678
表2本發(fā)明對不同濃度的NH3的響應(yīng)恢復(fù)時(shí)間
NH3 濃度(ppm)1003005007001000響應(yīng)時(shí)間(S)1012141925恢復(fù)時(shí)間(S)2429353945
由表1和表2可知，隨著氣體濃度的增加，無論是摻雜態(tài)聚苯胺還是聚苯胺/ZnO的響應(yīng)-恢復(fù)時(shí)間都增加了，這與參考文獻(xiàn)5的結(jié)論是相符的，即響應(yīng)-恢復(fù)時(shí)間隨氣體濃度的增加呈線性增加的趨勢。但是，在相同的NH3濃度下，聚苯胺/ZnO的響應(yīng)時(shí)間-恢復(fù)時(shí)間比摻雜態(tài)聚苯胺都大大的降低了，適于作為一種常溫NH3敏感氣體傳感器。
權(quán)利要求
1.一種復(fù)合電阻型NH3氣敏氣體傳感器的制備方法，其特征在于包括下述步驟首先是備料，利用物理熱蒸發(fā)法制備大規(guī)模不含任何催化劑的ZnO納米線，采用化學(xué)氧化法制備HCl摻雜的聚苯胺納米管，然后取10份的HCl摻雜的聚苯胺納米管和1 5份的ZnO 納米線，將聚苯胺與氧化鋅的粉末在研缽中研磨半小時(shí)后，再加入N-甲基吡咯烷酮濕磨約半小時(shí)，調(diào)制成料漿；將該漿料涂于兩端覆有金電極和鉬加熱絲的陶瓷管上制備成厚膜； 將其放在空氣中干燥半小時(shí)，再在真空干燥箱中60°C熱處理M小時(shí)，制備成氣敏氣體傳感ο
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合電阻型NH3氣敏氣體傳感器的制備方法，其特征在于 所述不含任何催化劑的ZnO納米線由下述方法制得(a)首先將剛玉管送入高溫水平管式爐中；(b)將3 5g的Si粉放置在氧化鋁小料舟的一側(cè)后將其送入高溫水平管式爐的高溫加熱區(qū)；(c)將剛玉管內(nèi)抽真空，待真空度達(dá)到1 時(shí)，向剛玉管內(nèi)以70SCCM的流速通入純Ar， 其環(huán)境壓力維持在0. 02MPa ；(d)將爐體升溫到800°C后將氬氣關(guān)閉，向剛玉管中以20SCCM的流量通入純氧氣，保溫 0.紐后將系統(tǒng)關(guān)閉，待爐體冷卻，將小料舟拿出，刮下乳白色奶油狀沉積物即為所需的ZnO 納米線。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的復(fù)合電阻型NH3氣敏氣體傳感器的制備方法，其特征在于所述HCl摻雜的聚苯胺納米管由下述方法制得(a)在鋅粉存在下經(jīng)二次蒸餾提純苯胺；(b)將l-2mol/L新蒸餾的苯胺溶于lmol/L的鹽酸中；(c)攪拌狀態(tài)下向其中緩慢滴加l-4mol/L的(NH4)2^O8溶液，滴加時(shí)間約為20 40min，滴加完后反應(yīng)Mi ；(d)反應(yīng)停止后抽濾，將濾餅分別用鹽酸、去離子水和無水乙醇洗滌后在 600C /0. OlMPa條件下真空干燥Mh即得HCl摻雜的聚苯胺納米管。
4.復(fù)合電阻型NH3氣敏氣體傳感器，其特征在于所述復(fù)合電阻型NH3氣敏氣體傳感器通過上述制備方法得到。
全文摘要
本發(fā)明涉及氣敏材料技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種復(fù)合電阻型NH3氣敏氣體傳感器及其制備方法。本發(fā)明采用的技術(shù)方案是一種復(fù)合電阻型NH3氣敏氣體傳感器的制備方法，其特征在于包括下述步驟首先是備料，利用物理熱蒸發(fā)法制備大規(guī)模不含任何催化劑的ZnO納米線，采用化學(xué)氧化法制備HCl摻雜的聚苯胺納米管，然后取10份的HCl摻雜的聚苯胺納米管和1～5份的ZnO納米線，將聚苯胺與氧化鋅的粉末在研缽中研磨半小時(shí)后，再加入N-甲基吡咯烷酮濕磨約半小時(shí)，調(diào)制成料漿；將該漿料涂于兩端覆有金電極和鉑加熱絲的陶瓷管上制備成厚膜；將其放在空氣中干燥半小時(shí)，再在真空干燥箱中60℃熱處理24小時(shí)，制備成氣敏氣體傳感器。
文檔編號G01N27/04GK102175724SQ201110000508
公開日2011年9月7日 申請日期2011年1月4日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月4日
發(fā)明者嚴(yán)文, 于靈敏, 李嬌, 祁立軍, 范新會 申請人:西安工業(yè)大學(xué)