專利名稱：基于微陣列的空間濾波器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及ー種包括傳感器和空間濾波器的空間濾波測(cè)量裝置，其中從測(cè)量對(duì)象射出或反射的電磁輻射尤其是光通過(guò)所述空間濾波器在所述傳感器上成像。本發(fā)明還涉及一種空間濾波測(cè)量設(shè)備，鏡陣列作為空間濾波測(cè)量裝置的空間濾波器的用途，和一種實(shí)施空間濾波測(cè)量的方法。
背景技術(shù)：
空間濾波器的測(cè)量技術(shù)是沿用已久的、健全的和有效的方法，其用于對(duì)諸如氣體、液體或固體的測(cè)量對(duì)象的速率進(jìn)行非接觸測(cè)量?？臻g濾波器的測(cè)量技術(shù)由于沒(méi)有任何機(jī)械運(yùn)動(dòng)機(jī)件而可無(wú)磨損地和可靠地工作。不存在降低測(cè)量或器件性能的動(dòng)カ傳遞損耗和物理磨損。除了測(cè)量速率，也可測(cè)量測(cè)量對(duì)象的加速度、定位或位置、或其它特定應(yīng)用參數(shù)，諸如體積流率或物質(zhì)流、顆粒尺寸或顆粒尺寸分布。自構(gòu)成硬件相關(guān)器以來(lái)，已知的空間濾波測(cè)量設(shè)備或空間濾波測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中業(yè)已實(shí)現(xiàn)了與將運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成(空間)頻率有關(guān)的信號(hào)處理的主要部分。實(shí)施空間濾波測(cè)量不需要極好的點(diǎn)源。其中會(huì)使圖像信息相關(guān)聯(lián)以及生成運(yùn)動(dòng)等效頻率。信號(hào)分析可提供簡(jiǎn)單且大大壓縮的數(shù)據(jù)。簡(jiǎn)單來(lái)講，空間濾波測(cè)量技術(shù)基于以下原理當(dāng)運(yùn)動(dòng)的物體或運(yùn)動(dòng)的表面移動(dòng)經(jīng)過(guò)具有可能周期性的、透明和不透明光柵線結(jié)構(gòu)的光柵時(shí)，該物體或表面會(huì)產(chǎn)生周期信號(hào)；該信號(hào)的頻率是該物體的運(yùn)動(dòng)速率和該光柵的光柵參數(shù)或光柵常數(shù)的函數(shù)。包含在這個(gè)相依關(guān)系中的還有例如在某些情況下使用的光學(xué)透鏡、透鏡系統(tǒng)或其它光學(xué)元件的放大系數(shù)。如果光柵結(jié)構(gòu)為已知，還可選地知道在空間濾波測(cè)量裝置的光路中使用的光學(xué)裝置的放大系數(shù)，就可利用觀察到的信號(hào)的頻率推算出測(cè)量對(duì)象的運(yùn)動(dòng)速率。例如在采用具有平行光柵線的線光柵的情況下，其中所測(cè)量的是垂直于光柵線方向的運(yùn)動(dòng)的速率分量。平行于光柵線方向的速率分量不會(huì)對(duì)通過(guò)該光柵的光產(chǎn)生任何調(diào)制。因此該分量未被測(cè)量。在勻速運(yùn)動(dòng)的情況下，用作空間濾波器的線光柵產(chǎn)生具有明顯最大值的頻率響應(yīng)，該最大值對(duì)應(yīng)于測(cè)量對(duì)象垂直于光柵線方向的運(yùn)動(dòng)分量。另外的頻譜可選地疊加在該頻率最大值上，該頻譜的出現(xiàn)是由于測(cè)量對(duì)象表面上出現(xiàn)的任何表面粗糙度。由表面的規(guī)則性或不規(guī)則性產(chǎn)生的空間頻率可被用作測(cè)量效應(yīng)。但是，在分析測(cè)量結(jié)果時(shí)，它們也可產(chǎn)生不確定性和模糊性。基本上有ニ種已知的實(shí)施空間濾波測(cè)量的方法。在第一方法中，使用硬件空間濾波器來(lái)進(jìn)行空間濾波測(cè)量。這些空間濾波器包括分立的結(jié)構(gòu)元件，諸如光柵。因此，從運(yùn)動(dòng)的測(cè)量對(duì)象傳遞的光可不斷地被調(diào)制。其中調(diào)制頻率取決于測(cè)量對(duì)象的速率和光柵的定向，以及光柵的光柵參數(shù)或光柵常數(shù)。如果使用放大光學(xué)器件，調(diào)制頻率也會(huì)隨著放大系數(shù)増大。
時(shí)間調(diào)制的光被例如具有諸如IOMHz或高達(dá)GHz范圍的高截止頻率的光敏ニ極管探測(cè)。在第一方法中，光敏ニ極管的快速反應(yīng)時(shí)間使空間濾波測(cè)量可處理很快的信號(hào)和很高的頻率ー只要有足夠的光。為此，硬件，從而可選擇的所用的光學(xué)器件和所用的空間濾波器，可適應(yīng)于給定的使用條件一例如可根據(jù)所要測(cè)量的測(cè)量對(duì)象的速率或表面性質(zhì)。該適應(yīng)所要達(dá)到的是為給定的使用條件和待測(cè)參數(shù)調(diào)節(jié)最佳的調(diào)制信號(hào)。這樣做的目的是，例如通過(guò)空間濾波器的光柵參數(shù)來(lái)避免不確定性或破壞性共振以及獲得有效的信噪比。采用分立光學(xué)結(jié)構(gòu)元件作為空間光柵的第一方法給通過(guò)使用很快的接收器才能進(jìn)行的測(cè)量提供很高的時(shí)間分辨率。但是，硬件適應(yīng)的成本高。較低的靈活性意味著有時(shí)可能不能識(shí)別測(cè)量結(jié)果中的不確定性和表面參數(shù)之間的不必要的交互作用。第二方法排除了使用硬件空間濾波器的需要。相反，通過(guò)線式或ニ維接收器的特殊信號(hào)處理來(lái)實(shí)現(xiàn)空間濾波測(cè)量，例如，可通過(guò)使用CXD或CMOS芯片的照相機(jī)。這種情況下，不需用光柵；而是用由光學(xué)接收器構(gòu)成的類光柵或類矩陣結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)施空間濾波測(cè)量。
這里的空間濾波測(cè)量包括產(chǎn)生從單個(gè)格子發(fā)出的信號(hào)的關(guān)聯(lián)或總和，其中采用計(jì)算裝置來(lái)產(chǎn)生空間濾波效應(yīng)。因此在不修改硬件的情況下，可僅僅基于對(duì)分析程序的可通過(guò)軟件的調(diào)整來(lái)應(yīng)用不同的空間濾波器。這類似于在上述方法中替換光柵。使用第二方法的空間濾波測(cè)量很靈活，且容易適應(yīng)各種各樣的使用條件?？刹捎脧?fù)雜的空間濾波計(jì)算程序和修正計(jì)算程序，因此可顯著減少任何可能的不確定性和錯(cuò)誤。然而，CXD和CMOS芯片的有限速度比光敏ニ極管的小幾個(gè)數(shù)量級(jí)。對(duì)于CXDs或CMOS傳感器而言，所述速度大約是IOkHz至20kHz。但是這些傳感器不允許連續(xù)測(cè)量，因?yàn)閳D像數(shù)據(jù)量不能被實(shí)時(shí)傳輸和處理。因?yàn)檫@些傳感器的信號(hào)響應(yīng)慢，測(cè)量的時(shí)間分辨率比第一方法有限得多。因此，與第一方法相比，只能得到空間濾波頻譜的一部分帶寬，其結(jié)果是第二方法不能使用于高空間頻率為主的情況。由于該較低的時(shí)間分辨率，不可能在所有應(yīng)用情況下排除測(cè)量信號(hào)中的不確定性和獲得單值的測(cè)量結(jié)果。根據(jù)這些實(shí)施空間濾波測(cè)量的已知方法，本發(fā)明的目的是提供一種空間濾波測(cè)量法，空間濾波測(cè)量設(shè)備和實(shí)施空間濾波測(cè)量的方法。該方法可實(shí)現(xiàn)可靠的、精確的和防止不確定性的空間濾波測(cè)量，還應(yīng)該能夠靈活地適應(yīng)不同的應(yīng)用領(lǐng)域。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種空間濾波測(cè)量裝置，包括至少ー個(gè)傳感器和空間濾波器。其中從測(cè)量對(duì)象射出或反射的電磁輻射特別是光通過(guò)所述空間濾波器在所述傳感器上成像。其中所述空間濾波測(cè)量裝置被進(jìn)ー步開(kāi)發(fā)，使得所述空間濾波器做成包括可移動(dòng)鏡元件的鏡陣列形式尤其是微鏡陣列。本發(fā)明基于的基本構(gòu)思為使用包括可移動(dòng)鏡元件的鏡陣列，以便可創(chuàng)建ー種可調(diào)整的或可修改的基于硬件的空間濾波器。這樣的測(cè)量可結(jié)合上述的空間濾波測(cè)量方法的優(yōu)點(diǎn)一具體而言，即如上述第一方法的高帶寬和第二方法的靈活性。同時(shí)，存在于上述ニ種方法的排除測(cè)量中的不確定性方面的局限性被消除。根據(jù)本發(fā)明，所述術(shù)語(yǔ)“光”被理解為尤其涉及可見(jiàn)光以及相鄰的紫外和紅外譜的頻率范圍。雖然所述鏡元件必須用來(lái)反射相應(yīng)的頻率范圍，但是根據(jù)本發(fā)明的所述空間濾波測(cè)量裝置還可應(yīng)用于其它頻率范圍，例如軟X射線輻射，太拉赫波或微波。所述鏡元件的尺寸還基于所使用的波長(zhǎng)。對(duì)于光譜，可用作鏡陣列的微鏡陣列是例如在投影儀設(shè)備如錄像放映機(jī)內(nèi)使用的微鏡陣列。這些來(lái)自微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)領(lǐng)域的組件提供高發(fā)光強(qiáng)度，還提供有時(shí)甚至比傳統(tǒng)用于上述第二方法的CCD或CMOS芯片更高的分辨率。雖然實(shí)際上可獲得具有更高分辨率的傳感器芯片，但獲得高像素要以讀出速度和顯示刷新率為代價(jià)。鏡陣列是強(qiáng)大的，既可適合很快的速度，還可靈活使用、可適合在線式使用和可控制的。它們提供高達(dá)24kHz的切換頻率。不過(guò)，歸因于必需要的發(fā)光效率，在切換鏡元件發(fā)生之前的測(cè)量持續(xù)時(shí)間通常會(huì)比最大切換頻率允許的最短的可能的測(cè)量持續(xù)時(shí)間更長(zhǎng)。根據(jù)本發(fā)明，不是通過(guò)信號(hào)采集后的信號(hào)處理，而是通過(guò)調(diào)整所述鏡陣列的所述鏡元件，選擇所要使用的具有光柵常數(shù)和附加的光柵參數(shù)的光柵結(jié)構(gòu)，繼而選擇尤其是所要測(cè)量的運(yùn)動(dòng)方向。所述信號(hào)處理可以使用已知的手段進(jìn)行ー特別是每當(dāng)采用快速和未分段傳感器時(shí)，可使用例如未分段光敏ニ極管。在所述裝置的光路中使用鏡陣列可實(shí)現(xiàn)可自由選擇的具有很高空間分辨率的空 間濾波結(jié)構(gòu)。以這種方式加權(quán)的光隨后被傳遞到若干數(shù)目的尤其是非常快的光敏探測(cè)器，該數(shù)目和系統(tǒng)的光學(xué)分辨率相比大大地減小。盡管空間濾波測(cè)量信號(hào)的高時(shí)間分辨率可通過(guò)這種方式達(dá)到，空間濾波器的復(fù)雜性和可變性并未受限。因此，可實(shí)現(xiàn)度量學(xué)作業(yè)，諸如來(lái)自復(fù)雜的空間濾波測(cè)量技術(shù)或圖像處理領(lǐng)域的已知的作業(yè)。但是該系統(tǒng)還可相對(duì)廉價(jià)地大規(guī)模生產(chǎn)。優(yōu)選的，所述空間濾波測(cè)量裝置包括控制器，用于控制所述鏡元件的移動(dòng)；和/或包括分析裝置，用于分析所述至少ー個(gè)光學(xué)傳感器發(fā)出的信號(hào)。所述控制器和所述分析裝置還可集成在一起，尤其是集成在數(shù)據(jù)處理単元內(nèi)。用于控制所述鏡元件的移動(dòng)的所述控制器一方面可用于靈活調(diào)整所述基于鏡陣列的空間濾波器以適合給定的測(cè)量條件。另ー方面，所述控制器可用于調(diào)整平差，使得由所述鏡陣列構(gòu)建的所述光柵結(jié)構(gòu)在測(cè)量過(guò)程中變化。例如，它可能在垂直和水平線模式之間來(lái)回切換；或者設(shè)定其它的線模式定向，從而能夠測(cè)量在不同方向上尤其是互相垂直的方向上的運(yùn)動(dòng)。因此可測(cè)試不同的運(yùn)動(dòng)分量，且可得到完整的運(yùn)動(dòng)方向。動(dòng)態(tài)的光柵調(diào)整提高系統(tǒng)的測(cè)量精度和抗干擾能力，并抑制以前測(cè)量中出現(xiàn)的不確定性或模糊性。所述裝置提供高質(zhì)量信號(hào)，因?yàn)檫\(yùn)動(dòng)信息從ニ維空間生成，所以可求平均值以減少在硬件相關(guān)中的噪聲和錯(cuò)誤。優(yōu)選的，所述至少ー個(gè)傳感器是光敏ニ極管、光敏晶體管、分光敏ニ極管、光敏ニ極管線或光敏晶體管線、光敏ニ極管矩陣或光敏晶體管矩陣、CCD陣列，或CMOS陣列。光敏ニ極管和光敏晶體管、以及分光敏ニ極管，具有非常高的時(shí)序動(dòng)態(tài)范圍，且允許在高帶寬包括高空間頻率下進(jìn)行測(cè)量。因?yàn)樗鼈冊(cè)诤芏嗲闆r下還具有相對(duì)高度敏感的表面和高光學(xué)效率，它們能得到同時(shí)具有較低信噪比的快速信號(hào)。光敏ニ極管允許在MHz至GHz的頻率范圍內(nèi)進(jìn)行測(cè)量。作為空間濾波器的鏡陣列與分段傳感器如CCD陣列或CMOS陣列的結(jié)合提供額外的分析能力，即使CCD陣列或CMOS陣列的讀出速度比使用光敏ニ極管得到的速度低。優(yōu)選的，所述空間濾波測(cè)量裝置包括位于電磁輻射的光路中的至少ー個(gè)光學(xué)元件，特別是光學(xué)透鏡、透鏡裝置和/或準(zhǔn)直器。所述光學(xué)元件的優(yōu)點(diǎn)是可達(dá)到較好的成像性能和高發(fā)光強(qiáng)度，其結(jié)果是這種測(cè)量還可達(dá)到較高的信噪比。所述光學(xué)元件還可具有放大或縮小功能，從而使所述光學(xué)元件進(jìn)ー步適合相應(yīng)的測(cè)量對(duì)象。本發(fā)明的有利的進(jìn)展在于提供多個(gè)傳感器或至少ー個(gè)具有多個(gè)段的傳感器。其中每個(gè)傳感器或傳感器的每段在視場(chǎng)內(nèi)只有鏡陣列的ー個(gè)部分，尤其當(dāng)采用前置光學(xué)元件吋。這里所述鏡陣列的每個(gè)部分可具有不同的光柵結(jié)構(gòu)，其結(jié)果是多個(gè)獨(dú)立的空間濾波測(cè)量可同時(shí)在所述裝置中進(jìn)行。這可以是同時(shí)測(cè)量運(yùn)動(dòng)的不同運(yùn)動(dòng)分量，或者還可以設(shè)定不同的光柵常數(shù)或光柵參數(shù)或完全不同的光柵結(jié)構(gòu)，包括非線性光柵結(jié)構(gòu)。所述鏡陣列的所述鏡元件可有利地分別沿至少ニ個(gè)不同方向在至少ニ個(gè)固定角位置之間移動(dòng)。例如可能將單個(gè)鏡元件在ー個(gè)方向的最大位置和另ー個(gè)方向的最大位置之間來(lái)回移動(dòng)，從而使入射光線對(duì)準(zhǔn)位于ー個(gè)位置的傳感器和遠(yuǎn)離在其它位置的傳感器，尤其對(duì)準(zhǔn)另一個(gè)傳感器。這發(fā)生在至少ニ個(gè)方向上-相對(duì)于鏡陣列法線的垂直方向和水平方向上，鏡陣列的鏡元件排列在水平和垂直的行或列上。在本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述鏡陣列的所述鏡元件可分別沿至少ニ個(gè)不 同方向在它們相應(yīng)的角位置上連續(xù)地或準(zhǔn)連續(xù)地移動(dòng)。這意味著在最大限度內(nèi)幾乎可以設(shè)定住ー個(gè)角位置，換句話說(shuō)，例如可垂直地和水平地、在沒(méi)有増量或只有非常小的角增量的情況下進(jìn)行設(shè)定。這可通過(guò)利用所述鏡陣列的所述鏡元件實(shí)現(xiàn)光學(xué)校正或光學(xué)聚焦，或控制不同傳感器在所述鏡陣列的不同片段或部分內(nèi)。此外，優(yōu)選的，所述空間濾波測(cè)量裝置包括可被所述鏡陣列的所述鏡元件控制的至少ニ個(gè)傳感器。其中當(dāng)通過(guò)選定或指定所述鏡陣列的所述鏡元件的角位置構(gòu)建一光柵結(jié)構(gòu)時(shí)，一個(gè)傳感器接收位于第一角位置的第一組鏡元件發(fā)出的電磁輻射。另ー個(gè)傳感器接收位于第二角位置的第二組鏡元件發(fā)出的電磁輻射。其中，所述第一組和第二組鏡元件選自所述鏡陣列的至少ー個(gè)部分，并且相對(duì)于所述至少ニ個(gè)傳感器彼此形成光柵結(jié)構(gòu)的正面和負(fù)面。這個(gè)優(yōu)選的實(shí)施例與ー個(gè)裝置相似。所述裝置中的空間濾波器由具有鏡面涂層的光柵線的光柵構(gòu)成，從而允許光通過(guò)所述空間濾波器進(jìn)入光柵線之間的中間空隙，然后光從所述具有鏡面涂層的光柵線被反射回來(lái)。如果在這種情況下，在所述空間濾波器的前面和后面分別放置一個(gè)傳感器，其中一個(gè)傳感器接收到的為另ー個(gè)傳感器接收到的負(fù)數(shù)。在這種情況下，可做差值測(cè)量，從而提高測(cè)量精度且進(jìn)ー步提高信噪比。這是因?yàn)槭聦?shí)上光在不同的角位置處被反射至不同的傳感器。本發(fā)明的目的是還提供一種空間濾波測(cè)量設(shè)備，包括上述的根據(jù)本發(fā)明的空間濾波測(cè)量裝置。這種類型的空間濾波測(cè)量設(shè)備可作為ー個(gè)裝置攜帯和安裝，且已經(jīng)包括實(shí)施空間濾波測(cè)量要求的所有部件。本發(fā)明的目的是還提供鏡陣列尤其微鏡陣列作為空間濾波測(cè)量裝置或空間濾波測(cè)量設(shè)備的空間濾波器的用途。這里的鏡陣列理解為包括微小鏡元件的鏡陣列。例如，微鏡陣列目前可用于光學(xué)投影儀或錄像放映機(jī)，其中鏡元件的邊長(zhǎng)為 ο μ m。這種類型的微鏡陣列包括幾十萬(wàn)至幾百萬(wàn)的鏡元件。這提供較高的發(fā)光強(qiáng)度，對(duì)應(yīng)于高空間頻率的較小的光柵常數(shù)，以及，可選的，被分成多個(gè)部分的微鏡陣列。不同的光柵結(jié)構(gòu)可按順序平行地構(gòu)建在所述微鏡陣列，例如用于同時(shí)測(cè)量測(cè)量對(duì)象的多個(gè)運(yùn)動(dòng)分量或其它性質(zhì)。
本發(fā)明的目的是提供根據(jù)本發(fā)明的空間濾波測(cè)量裝置或空間濾波測(cè)量設(shè)備在測(cè)量測(cè)量對(duì)象的速率、運(yùn)動(dòng)方向、顆粒尺寸和/或表面性質(zhì)中的用途。最后，本發(fā)明的目的是提供ー種實(shí)施空間濾波測(cè)量的方法，其中從測(cè)量對(duì)象射出或反射的電磁輻射尤其是光通過(guò)具有包括可移動(dòng)的鏡元件的鏡陣列形式尤其是微鏡陣列的空間濾波器在至少ー個(gè)傳感器上成像。其中，所述鏡陣列的鏡元件的角位置的空間分布生成具有光柵結(jié)構(gòu)的空間濾波器。所述方法提供上述的優(yōu)點(diǎn)。優(yōu)選的，常規(guī)線光柵、光柵結(jié)構(gòu)沿ー個(gè)方向變化的啁啾光柵或圓光柵可配置為所述光柵結(jié)構(gòu)。 常規(guī)線光柵適合測(cè)量測(cè)量對(duì)象的運(yùn)動(dòng)沿垂直于光柵線方向的速率。這個(gè)具有確定的頻率的信號(hào)有時(shí)疊加在由于測(cè)量對(duì)象的不規(guī)則的表面性質(zhì)產(chǎn)生的頻譜上。所謂的啁啾光柵也是ー種線光柵，但是其光柵常數(shù)沿垂直于光柵線的方向變化。這意味著所述光柵線之間的間距和它們的寬度沿ー個(gè)方向增加且沿相反的方向減小。這種類型的啁啾光柵用于例如測(cè)量顆粒尺寸。以勻速經(jīng)過(guò)啁啾光柵的顆粒產(chǎn)生與正弦曲線相當(dāng)?shù)男盘?hào)，其時(shí)間常數(shù)隨著時(shí)間增大或減小。對(duì)于某些光柵間距，顆粒尺寸與光柵間距相消地共振，其結(jié)果是調(diào)制信號(hào)的振幅被壓縮。由于這個(gè)原因，必須從所述信號(hào)的最小包絡(luò)值推算顆粒尺寸。圓光柵由沿徑向具有相同的、遞增的或遞減的間距的一系列的同心環(huán)組成。ー種可能的應(yīng)用是測(cè)量旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的中心。在另ー個(gè)有利的開(kāi)發(fā)中，所述鏡陣列可被分成不同的部分，在所述不同部分內(nèi)分別配置具有不同性質(zhì)特別是不同光柵方向和/或光柵常數(shù)的不同光柵結(jié)構(gòu)或光柵。因而可能將所述鏡陣列分成ニ個(gè)或更多的部分，例如在所述部分內(nèi)構(gòu)建ー個(gè)水平方向光柵和ー個(gè)垂直方向光柵，從而同時(shí)對(duì)測(cè)量對(duì)象的運(yùn)動(dòng)的水平和垂直分量進(jìn)行測(cè)量。還可能提供多個(gè)部分，在所述多個(gè)部分內(nèi)配置具有不同光柵常數(shù)的平行方向光柵結(jié)構(gòu)，其結(jié)果是在確定測(cè)量對(duì)象的運(yùn)動(dòng)速率中的不確定性被消除。這種情況下，被所述鏡陣列的不同部分內(nèi)的不同光柵結(jié)構(gòu)反射的光最好分別被不同的傳感器接收。在根據(jù)本發(fā)明的方法的另ー個(gè)有利的研制成果或可供選擇的研制成果中，所述配置的光柵結(jié)構(gòu)在測(cè)量過(guò)程中是變化的。因此，例如可能在水平光柵和垂直光柵之間來(lái)回切換，從而通過(guò)使用鏡陣列的整個(gè)表面連續(xù)測(cè)量具有相對(duì)較高的發(fā)光強(qiáng)度的目標(biāo)的不同運(yùn)動(dòng)分量。為此，在此可優(yōu)選地進(jìn)行限定，以致于所述光柵結(jié)構(gòu)的方向和/或光柵常數(shù)隨測(cè)量進(jìn)程改變；和/或所述光柵結(jié)構(gòu)隨測(cè)量進(jìn)程旋轉(zhuǎn)。線光柵連續(xù)旋轉(zhuǎn)的效應(yīng)是，表示瞬間測(cè)量到的測(cè)量對(duì)象的運(yùn)動(dòng)分量指向的方向的方向指示符是連續(xù)旋轉(zhuǎn)的，其結(jié)果是ー個(gè)正弦頻率調(diào)整信號(hào)，可響應(yīng)于例如沿ー個(gè)方向的線性或勻速旋轉(zhuǎn)而出現(xiàn)。對(duì)光柵常數(shù)的連續(xù)修改具有和啁啾光柵相似的效應(yīng)，特別是給定不變的方向或光柵線的啁啾光柵。通過(guò)這種方式，例如測(cè)量對(duì)象的表面結(jié)構(gòu)可被詳細(xì)有效地分析。優(yōu)選地，使用一種鏡陣列，其鏡元件可在各自的角位置上連續(xù)地或準(zhǔn)連續(xù)地移動(dòng)，以控制不同的傳感器在所述鏡陣列的不同部分內(nèi)。這使得單個(gè)鏡陣列和多個(gè)傳感器可同時(shí)用于實(shí)施具有不同光柵結(jié)構(gòu)的空間濾波測(cè)量，其結(jié)果是運(yùn)動(dòng)的不同方向和/或表面結(jié)構(gòu)可同時(shí)被測(cè)量。
在ー個(gè)有利的開(kāi)發(fā)中，使用一種鏡陣列，其鏡元件可在各自的角位置上連續(xù)地或準(zhǔn)連續(xù)地移動(dòng)，以通過(guò)調(diào)整角位置進(jìn)行光學(xué)校正和/或調(diào)整焦距。通過(guò)這種方式，除了提供光柵的功能，鏡陣列而不是提供聚焦透鏡，還可承擔(dān)透鏡的功能。它也可能以這種方式完全地或部分地矯正透鏡畸變。如果由在不同角位置上的鏡元件控制至少ニ個(gè)不同的傳感器，則可有利地達(dá)到非常高的信噪比，其中通過(guò)相對(duì)于ー個(gè)傳感器的鏡元件的分布而構(gòu)建的光柵結(jié)構(gòu)是相對(duì)于另一個(gè)傳感器的光柵結(jié)構(gòu)的負(fù)面。這ニ種彼此為正面和負(fù)面的測(cè)量可用于實(shí)施差異測(cè)量，在所述差異測(cè)量中由于光量増加了一倍，信噪比可降低大約30%。如果在測(cè)量開(kāi)始時(shí)自動(dòng)搜索和設(shè)定適合測(cè)量對(duì)象和/或測(cè)量靶的光柵參數(shù)，特別是適于最佳信噪比的光柵參數(shù)，則所述方法就可靈活地自適應(yīng)。在這種情況下，可使用已知的方法和算法對(duì)最佳參數(shù)如信噪比進(jìn)行評(píng)估，同時(shí)可對(duì)光柵參數(shù)連續(xù)調(diào)整直至找到最佳
值。 在測(cè)量對(duì)象的運(yùn)動(dòng)是線性的情況下，這意味著可修改線性常規(guī)光柵的方向直至光柵線的方向與測(cè)量對(duì)象的運(yùn)動(dòng)的恒定方向垂直。這對(duì)應(yīng)于所述空間頻率的最大值?？烧{(diào)整光柵常數(shù)，使得光柵常數(shù)盡可能遠(yuǎn)離導(dǎo)致相消共振使得運(yùn)動(dòng)速率的頻率信號(hào)被壓縮的光柵常數(shù)。下面的討論不局限于本發(fā)明的構(gòu)思且基于參考說(shuō)明書(shū)附圖的示例性實(shí)施例更詳細(xì)地描述本發(fā)明，并對(duì)與發(fā)明內(nèi)容里未提及的所有細(xì)節(jié)有關(guān)的說(shuō)明書(shū)附圖進(jìn)行更詳細(xì)的說(shuō)明。


圖I是根據(jù)本發(fā)明的空間濾波測(cè)量裝置或根據(jù)本發(fā)明的空間濾波測(cè)量設(shè)備的示意圖；圖2a) - 2c)是鏡陣列的控制原理的示意圖；圖3a) - 3f)所示為根據(jù)本發(fā)明的可調(diào)整的光柵結(jié)構(gòu)的多個(gè)范例；圖4是使用包括多個(gè)部分的鏡陣列的第一個(gè)裝置的示意圖；以及圖5是使用包括不同部分的微鏡陣列的另ー個(gè)裝置的示意圖。
具體實(shí)施例方式在下面的圖中，相同的或類似的元件或相應(yīng)的部件標(biāo)示有相同的參考號(hào)碼。因而沒(méi)必要相應(yīng)地重復(fù)解釋。圖I是空間濾波測(cè)量裝置I或空間濾波測(cè)量設(shè)備2。與空間濾波測(cè)量裝置I相比，空間濾波測(cè)量設(shè)備2具有標(biāo)示為虛線的外殼，包括空間濾波測(cè)量裝置I的相應(yīng)的部件?？臻g濾波測(cè)量裝置I包括包括邊長(zhǎng)在μ m范圍內(nèi)的鏡元件的特別是具有微鏡陣列3形式的鏡陣列3，以及ニ個(gè)對(duì)稱配置的光敏ニ極管4和5。光敏ニ極管4和5是平面的未分段的光學(xué)傳感器。其它的尤其是分段的光學(xué)傳感器如線傳感器或傳感器矩陣可用來(lái)代替這些未分段的傳感器?？臻g濾波測(cè)量裝置I還包括控制器10和分析裝置11。如圖所示所述控制器10和所述分析裝置11還可被安裝在一個(gè)組合設(shè)備如數(shù)據(jù)處理單元中。然而，在從光敏ニ極管4和5發(fā)出的非?？斓男盘?hào)的情況下，所述分析裝置還可由于速度原因而可以是硬件式分析裝置，而控制器10可安裝在軟件中。標(biāo)示信號(hào)線的虛線表示控制器10控制鏡陣列3的鏡元件的位置，而分析裝置11接收光敏ニ極管5和由于清晰原因未顯示的光敏ニ極管4發(fā)出的信號(hào)?？臻g濾波測(cè)量裝置I接收測(cè)量對(duì)象的移動(dòng)的物體表面13射出的光。如圖I所示，以這樣的方式，光從光源12射出然后被移動(dòng)的物體表面13反射。所述移動(dòng)的物體的運(yùn)動(dòng)方向由箭頭14示出。從物體表面13反射的光選擇性地通過(guò)空間濾波測(cè)量裝置I的光學(xué)元件6，到達(dá)鏡陣列3或鏡矩陣，然后根據(jù)鏡陣列3的鏡元件的角位置，光被偏轉(zhuǎn)或反射至光敏ニ極管4或光敏ニ極管5。中心光路由參考號(hào)碼7示出。反射光路8和9延續(xù)了從鏡陣列3反射至光敏ニ極管4或5的光路7。光路7最好已經(jīng)是平行光路。因此光學(xué)元件6可為產(chǎn)生平行光路的透鏡系統(tǒng)，或準(zhǔn)直器，或一系列準(zhǔn)直器。這還可包括遠(yuǎn)心光學(xué)裝置，允許大量的光通過(guò)，而只有 從所述物體發(fā)出的軸向平行的光束進(jìn)入空間濾波測(cè)量裝置I。遠(yuǎn)心光學(xué)裝置還具有很大的焦深。如圖I所示的所述裝置可進(jìn)行具有相對(duì)較高的信噪比的差異測(cè)量，因?yàn)閺奈矬w表面13射出并到達(dá)鏡陣列3的光全部定向至光敏ニ極管4和5，且到達(dá)光敏ニ極管4的信號(hào)是到達(dá)光敏ニ極管5的信號(hào)的負(fù)數(shù)。圖2是鏡陣列3的截面圖，表示在簡(jiǎn)單應(yīng)用中使用鏡陣列3作為空間濾波器的功能原理。截面圖a)、b)和c)描述3個(gè)范例，每個(gè)具有越來(lái)越長(zhǎng)的光柵周期。從上面發(fā)出的平行光束20分別射入圖2a)、2b)或2c)中的相應(yīng)的鏡21、2Γ和21"。鏡元件21、2Γ和21"分別具有傾斜的位置，使得它們將所述上面發(fā)出的入射光再次反射向左或向右。反射的方向由參考號(hào)碼22、22^和22"表示。圖2a)表示每ニ個(gè)相鄰的鏡元件21分別占據(jù)不同位置的情況。因此，每個(gè)單個(gè)的鏡元件21為例如圖I中的光敏ニ極管5產(chǎn)生暗或亮交替的光柵區(qū)域，正如參考號(hào)碼23表示的條形圖所示。虛線24表示與鏡元件21、21'和21"的末端或邊緣一致的區(qū)域性邊界。因而圖2a)表示由鏡陣列3的鏡元件的周期性確定的可得到的最小光柵常數(shù)或可得到的最小光柵參數(shù)。圖2b)表示具有兩倍光柵常數(shù)的情況，其中每ー對(duì)ニ個(gè)相鄰的鏡元件21'定向在同一個(gè)方向22'上，且與相鄰的另一對(duì)ニ個(gè)鏡元件21'的方向不同。因而光柵結(jié)構(gòu)區(qū)域23;的寬度是圖2a)所示的區(qū)域23的寬度的兩倍。圖2c)中的光柵常數(shù)或光柵參數(shù)増大了ー個(gè)額外的鏡元件寬度。因而區(qū)域23"的寬度是圖2a)中區(qū)域23'的寬度的三倍。圖2c)的底部還表示的是來(lái)自多個(gè)區(qū)域的單個(gè)左傾斜的鏡元件21"組成ー組25鏡元件，所述ー組25鏡元件全部將從上面入射的光20反射至ー個(gè)方向即朝向一個(gè)傳感器；而來(lái)自剩余區(qū)域的右傾斜的鏡元件21"組成第二組26鏡元件21"，所述第二組26鏡元件將入射光20反射至另ー個(gè)方向即遠(yuǎn)離所述第一個(gè)傳感器選擇性地反射至第二個(gè)傳感器。圖3表示多種不同的光柵結(jié)構(gòu)。例如，圖3a)所示為具有垂直光柵線的常規(guī)線光柵30。使用光柵結(jié)構(gòu)30的空間濾波測(cè)量測(cè)量在水平方向上的運(yùn)動(dòng)分量。圖3b)表示相反的情況，表示具有水平光柵線的常規(guī)線光柵31，其用于測(cè)量垂直運(yùn)動(dòng)分量。
圖3c)表示所謂的具有垂直光柵線的啁啾光柵32，其間距和寬度從左至右増加。這種類型的啁啾光柵32可用于測(cè)量例如運(yùn)動(dòng)顆粒的尺寸。圖3d)是具有傾斜方向光柵線的線光柵33。光柵33還可以是連續(xù)旋轉(zhuǎn)的線光柵的即時(shí)快照，表示圖3a)和圖3b)中的光柵30和31的變換形式。圖3e)表不具有恒定光柵參數(shù)的圓光柵34。這種圓光柵34可用于例如確定旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)中心。圖3f)表示具有四個(gè)部分351至35IV的組合光柵結(jié)構(gòu)35。部分351和3511是具有水平光柵線和不同光柵參數(shù)的常規(guī)線光柵，而部分35ΠΙ和35IV還包括具有不同光柵參數(shù)的垂直光柵線的常規(guī)線光柵。光柵參數(shù)的選擇使在確定不同運(yùn)動(dòng)分量的速率時(shí)的不確定性可以避免。還可在光柵結(jié)構(gòu)35的單個(gè)部分內(nèi)提供其它的獨(dú)立的光柵結(jié)構(gòu)，如圓光柵34、啁啾 光柵32或包括方向和/或參數(shù)連續(xù)變化的線光柵的光柵。通過(guò)這種方式，由于部分351至35IV配置有不同光柵結(jié)構(gòu)，可使用單個(gè)鏡陣列35同時(shí)進(jìn)行不同的測(cè)量。這里只是以范例的方式選擇和圖示不同部分的數(shù)量和排列。還可選擇具有各種各樣排列的更多或更少的部分。圖4表示使用具有多個(gè)部分I至IV的鏡陣列3的根據(jù)本發(fā)明的空間濾波測(cè)量裝置的變形。如圖所示為分別朝向鏡陣列3的四個(gè)光敏ニ極管411至41IV。獨(dú)立的光學(xué)裝置421至42IV與每個(gè)單個(gè)的光敏ニ極管411至41IV關(guān)聯(lián)。所述光學(xué)裝置的聚焦特性使得每個(gè)傳感器411至41IV在視場(chǎng)內(nèi)只有鏡陣列35的ー個(gè)部分I-IV。這可進(jìn)行四個(gè)同步的和相互獨(dú)立的測(cè)量。圖4表示入射光束40如何射入鏡陣列3且從鏡陣列3反射至傳感器421至42IV。所述傳感器被排列成兩組一具體是在ー邊的ニ個(gè)傳感器411和4111，和在相反的ー邊的41ΠΙ至41IV。如果鏡陣列3的整個(gè)區(qū)域上的鏡元件朝向在一邊的ニ個(gè)傳感器411和4111，和在另ー個(gè)角位置上朝向傳感器41ΙΠ至41IV，以這種排列方式是足夠的。不需要準(zhǔn)連續(xù)調(diào)整所述鏡元件的角位置。這種選擇通過(guò)所述傳感器的前置光學(xué)裝置421至42IV來(lái)進(jìn)行。圖5是相對(duì)于圖4的另ー種版本。相應(yīng)地，圖5中由測(cè)量對(duì)象射出的平行光束50射入被分成具有不同光柵類型或光柵結(jié)構(gòu)的四個(gè)部分I至IV的微鏡陣列3。分段傳感器51和52放置在入射光束50的兩邊。所述每個(gè)傳感器包括段511至5Iiv和521至52IV。在這種情況下，鏡陣列3的鏡元件可以被調(diào)整，以致于段511至51IV以及段521至52IV的表面在不同部分中可以被瞄準(zhǔn)。為此，優(yōu)選的，可單個(gè)地和連續(xù)地或準(zhǔn)連續(xù)地調(diào)整所述鏡元件的角度設(shè)定。在此實(shí)施例中，分段傳感器51和52的不同的段接收互補(bǔ)信號(hào)，意思是例如段521上的信號(hào)是段511上的信號(hào)的負(fù)數(shù)。圖5的底部示意性地表示在部分I - IV內(nèi)的一系列鏡元件的截面。這里明顯的是，在ー個(gè)部分內(nèi)具有相應(yīng)的相同方向的鏡元件，其實(shí)際的角定向531至53IV在單個(gè)部分I至IV是不同的，以控制傳感器51和52上相應(yīng)的段。所有參考的功能部件，包括那些只是由說(shuō)明書(shū)附圖示出的功能部件，以及和其它特征一起被揭露的個(gè)別功能部件，以個(gè)別功能部件或結(jié)合多個(gè)功能部件的形式皆被視作本發(fā)明的精髄。本發(fā)明的實(shí)施例可通過(guò)個(gè)別功能部件或多個(gè)功能部件的組合來(lái)實(shí)施。
參考號(hào)碼歹丨J表1空間濾波測(cè)量裝置
2空間濾波測(cè)量設(shè)備
3微鏡陣列4，5光敏ニ極管
6光學(xué)元件
7中心光路8, 9反射光路
10控制器
11分析裝置 12光源
13運(yùn)動(dòng)物體的表面
14運(yùn)動(dòng)方向20入射光21-21〃鏡元件
22- 22〃反射方向
23- 23〃具有相同地定向的鏡元件的區(qū)域
24- 24〃區(qū)域性邊界
25第一組鏡元件
26第二組鏡元件
30具有垂直條狀線的光柵
31具有水平條狀線的光柵
32具有水平條狀線的啁瞅光柵
33具有傾斜條狀線的光柵
34圓光柵
35組合光柵SS1-SSiv組合光柵的部分40入射光41T-41IV光敏ニ極管42^42^光學(xué)元件50入射光
51分光敏ニ極管Sl1-Sln段
52分光敏ニ極管52^52^段53^53^鏡元件的位置
I-IV鏡陣列的部分
權(quán)利要求
1.一種空間濾波測(cè)量裝置(1)，包括至少一個(gè)傳感器(4，5 41^41^:51)和空間濾波器；從測(cè)量對(duì)象(13)射出或反射的電磁輻射特別是光通過(guò)所述空間濾波器在傳感器(4，5 ;M1-Miv5Sl, 52)上成像，其特征在于，所述空間濾波器是包括可移動(dòng)鏡元件(21-21"，)的鏡陣列形式尤其是微鏡陣列。
2.如權(quán)利要求I所述的空間濾波測(cè)量裝置(1)，其特征在于，包括控制器(10)，用于控制所述鏡元件(21 -21"')的移動(dòng)；和/或包括分析裝置，用于分析所述至少一個(gè)光學(xué)傳感器(4，5 Jl1-Miv ;51，52)發(fā)出的信號(hào)。
3.如權(quán)利要求I或2所述的空間濾波測(cè)量裝置(I)，其特征在于，所述至少一個(gè)傳感器(4，5 ;41工-41IV ;51，52)是光敏二極管、光敏晶體管、分光敏二極管、光敏二極管線或光敏晶體管線、光敏二極管矩陣或光敏晶體管矩陣，CCD陣列，或CMOS陣列。
4.如權(quán)利要求I至3任一項(xiàng)所述的空間濾波測(cè)量裝置(1)，其特征在于，包括位于電磁輻射的光路(7)中的至少一個(gè)光學(xué)元件(6 :42^42"),特別是光學(xué)透鏡、透鏡裝置和/或準(zhǔn)直器。
5.如權(quán)利要求I至4任一項(xiàng)所述的空間濾波測(cè)量裝置(I)，其特征在于，包括多個(gè)傳感器(4，5;51，52)，或包含多個(gè)段(Sl1-Sliv 552^52")的至少一個(gè)傳感器(51，52)；其中每個(gè)傳感器(4，5 ^lMliv ;51，52)或傳感器的每段(5^-51" :52^52")在視場(chǎng)內(nèi)只有鏡陣列(3，35)的一個(gè)部分(I-IV :35^35"),尤其當(dāng)采用前置光學(xué)元件(42^42")時(shí)。
6.如權(quán)利要求I至5任一項(xiàng)所述的空間濾波測(cè)量裝置(I)，其特征在于，所述鏡陣列(3，35)的所述鏡元件(21-21〃)可分別沿至少二個(gè)不同方向在至少二個(gè)固定角位置之間移動(dòng)。
7.如權(quán)利要求I至5任一項(xiàng)所述的空間濾波測(cè)量裝置(1)，其特征在于，所述鏡陣列(3)的所述鏡元件(21 -21")可分別沿至少二個(gè)不同方向在它們相應(yīng)的角位置上連續(xù)地或準(zhǔn)連續(xù)地移動(dòng)。
8.如權(quán)利要求I至7任一項(xiàng)所述的空間濾波測(cè)量裝置(I)，其特征在于，包括可被所述鏡陣列(3 ；35)的所述鏡元件(21 -21")控制的至少二個(gè)傳感器(4，5 :4^-41^^51,52)；其中當(dāng)通過(guò)選定或指定所述鏡陣列(3 ；35)的所述鏡元件(21 -21")的角位置(531 - 53IV)構(gòu)建一光柵結(jié)構(gòu)(30 - 35)時(shí)，一個(gè)傳感器(4 5411 -4111 ；51)接收位于第一角位置的第一組(25)鏡元件(21-21")發(fā)出的電磁輻射；另一個(gè)傳感器(5;41ΙΠ-41ιν;52)接收位于第二角位置的第二組(26)鏡元件(21 -21")發(fā)出的電磁輻射；其中，所述第一組(25)和第二組(26)鏡元件(21-21")選自鏡陣列(3)的至少一個(gè)部分(I -IV)，并且相對(duì)于所述至少二個(gè)傳感器(4，5 5411 - 41IV ;51，52)彼此形成光柵結(jié)構(gòu)(30 - 35)的正面和負(fù)面。
9.一種空間濾波測(cè)量設(shè)備(2)，包括如權(quán)利要求I至8任一項(xiàng)所述的空間濾波測(cè)量裝置(I)。
10.鏡陣列(3)尤其微鏡陣列作為空間濾波測(cè)量裝置(I)的空間濾波器的用途。
11.如權(quán)利要求I至8任一項(xiàng)所述的空間濾波測(cè)量裝置(I)或如權(quán)利要求9所述的空間濾波測(cè)量設(shè)備(2)在測(cè)量測(cè)量對(duì)象(13)的速率、運(yùn)動(dòng)方向、顆粒尺寸和/或表面性質(zhì)中的用途。
12.一種實(shí)施空間濾波測(cè)量的方法，其中從測(cè)量對(duì)象(13)射出或反射的電磁輻射(7)特別是光通過(guò)空間濾波器在至少一個(gè)傳感器(4，5 Al1Hiv ;51，52)上成像，所述空間濾波器做成具有可移動(dòng)鏡元件(21-21")的鏡陣列(3)形式尤其是微鏡陣列；其中，所述鏡陣列(3 ；35)的鏡元件(21-21〃 )的角位置的空間分布生成具有光柵結(jié)構(gòu)(30-35)的空間濾波器。
13.如權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，采用的所述光柵結(jié)構(gòu)(30-35)是常規(guī)線光柵(30，31，33)、光柵常數(shù)沿一個(gè)方向變化的啁啾光柵(32)或圓光柵(34)。
14.如權(quán)利要求12或13所述的方法，其特征在于，所述鏡陣列(3;35)可被分成不同的部分(I - IV)，在所述不同部分內(nèi)分別配置具有不同性質(zhì)特別是不同光柵方向和/或光柵常數(shù)的不同光柵結(jié)構(gòu)(351 - 35IV)或光柵。
15.如權(quán)利要求12至14任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述配置的光柵結(jié)構(gòu)(30-35)在測(cè)量過(guò)程中是變化的。
16.如權(quán)利要求15所述的方法,其特征在于,所述光柵結(jié)構(gòu)(30- 35)的方向和/或光 柵常數(shù)隨測(cè)量進(jìn)程改變；和/或所述光柵結(jié)構(gòu)(30 - 35)隨測(cè)量進(jìn)程旋轉(zhuǎn)。
17.如權(quán)利要求12至16任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，使用一種鏡陣列(3;35)，其鏡元件(21-21")可在各自的角位置上連續(xù)地或準(zhǔn)連續(xù)地移動(dòng)，以控制不同的傳感器(4，5 54^-41" ;51，52)在所述鏡陣列(3 ；35)的不同部分(I _ IV)內(nèi)。
18.如權(quán)利要求12至17任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，使用一種鏡陣列(3;35)，其鏡元件(21-21")可在各自的角位置上連續(xù)地或準(zhǔn)連續(xù)地移動(dòng)，以通過(guò)調(diào)整角位置進(jìn)行光學(xué)校正和/或調(diào)整焦距。
19.如權(quán)利要求12至18任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，由在不同角位置上的鏡元件(21-21〃 )控制至少二個(gè)不同的傳感器(4，5 Jl1Hiv ;51，52);相對(duì)于一個(gè)傳感器(4 ；41/-4111 ；51)的鏡兀件(21-21")的分布生成的光柵結(jié)構(gòu)(30 - 35)是相對(duì)于另一個(gè)傳感器(5 ；41m - 41IV ；52)的光柵結(jié)構(gòu)(30-35)的負(fù)面。
20.如權(quán)利要求12至19任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，在測(cè)量開(kāi)始時(shí)自動(dòng)搜索和設(shè)定適合測(cè)量對(duì)象(13)和/或測(cè)量靶的光柵參數(shù)特別是獲得最佳信噪比的光柵參數(shù)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種空間濾波測(cè)量裝置(1)和空間濾波測(cè)量設(shè)備(2)，包括至少一個(gè)傳感器(4，5；41I–41IV；51)和空間濾波器。其中從測(cè)量對(duì)象(13)射出或反射的電磁輻射尤其是光通過(guò)所述空間濾波器在所述傳感器(4，5；41I–41IV；51，52)上成像。本發(fā)明還涉及一種實(shí)施空間濾波測(cè)量的方法。根據(jù)本發(fā)明的所述空間濾波測(cè)量裝置被進(jìn)一步開(kāi)發(fā)，所述空間濾波器被設(shè)計(jì)成具有可在各自的角位置上移動(dòng)的鏡元件(21–21″′)的微鏡陣列。
文檔編號(hào)G01P3/36GK102859368SQ201080062458
公開(kāi)日2013年1月2日 申請(qǐng)日期2010年10月12日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月26日
發(fā)明者M·德岡, N·達(dá)馬斯科歇, M·謝弗佩, I·梅恩 申請(qǐng)人:微-埃普西龍光電股份有限公司