專利名稱：微機(jī)電傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種微機(jī)電傳感器(MEMS)，包含多個在X-y平面內(nèi)受線性驅(qū)動的驅(qū)動元件，所述驅(qū)動元件布置在襯底上，用于測定所述襯底的轉(zhuǎn)速矢量的至少兩個(優(yōu)選三個) 分量，其中，存在兩組驅(qū)動元件，這兩組驅(qū)動元件大體在多個相互成直角的方向上受驅(qū)。
背景技術(shù)：
襯底上固定有多個受振蕩驅(qū)動的驅(qū)動元件的MEMS傳感器或MEMS陀螺儀是公知技術(shù)。這些驅(qū)動元件通常借助可彈性變形的彈簧布置在襯底上，以此實(shí)現(xiàn)振蕩運(yùn)動。此外，整個驅(qū)動元件或者驅(qū)動元件上的至少一個部件采用這樣的安裝方式，當(dāng)襯底繞規(guī)定軸線旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生作用于受驅(qū)驅(qū)動元件的科氏力時，驅(qū)動元件會在該科氏力的作用下，在規(guī)定方向上振蕩偏斜。通常也需為此設(shè)置有助于實(shí)現(xiàn)這種偏斜的彈簧。讓彈簧只在規(guī)定方向上具有彈性，是設(shè)計這種驅(qū)動元件時一貫的目標(biāo)。盡量避免彈簧上出現(xiàn)疊加運(yùn)動。為能測定襯底繞多個軸線的旋轉(zhuǎn)，即測定襯底轉(zhuǎn)速矢量的多個分量， 已知的解決方案是結(jié)合使用多個能分別測定轉(zhuǎn)速矢量的一個分量的上述傳感器。這就需要在襯底上布置多個相同類型的驅(qū)動元件，或者布置多個傳感器，使得轉(zhuǎn)速矢量的待測分量能夠通過驅(qū)動元件被所產(chǎn)生的科氏力引發(fā)的偏斜得到測定。各傳感器或者傳感器上的部件相應(yīng)以能夠測定轉(zhuǎn)速矢量的各分量的方式進(jìn)行布置。缺點(diǎn)是，每個傳感器都需要一個單獨(dú)的驅(qū)動控制裝置，而且由于(例如)制造公差的緣故，無法避免驅(qū)動元件的運(yùn)動頻率存在差異。這會產(chǎn)生不同的科氏力，而這些不同的科氏力又會導(dǎo)致驅(qū)動元件的偏斜不一致。相應(yīng)的校正工作會大幅提高電子控制成本?，F(xiàn)有技術(shù)中還有一類微機(jī)電陀螺儀，其具有多個共同受驅(qū)的驅(qū)動元件，以便測定轉(zhuǎn)速矢量的多個分量。這類傳感器在體積方面沒有對微機(jī)電技術(shù)中的矩形可用空間加以最佳利用，因此會產(chǎn)生附加成本。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種簡單的低成本MEMS陀螺儀，這種陀螺儀易于制造，但仍具有較高的測量精度。本發(fā)明用來達(dá)成上述目的的解決方案為一種具有權(quán)利要求1所述特征的微機(jī)電傳感器。本發(fā)明的微機(jī)電傳感器又稱MEMS陀螺儀，具有多個在x-y平面內(nèi)受線性驅(qū)動的驅(qū)動元件。這些驅(qū)動元件布置在襯底上，用于測定所述襯底的轉(zhuǎn)速矢量的至少兩個(優(yōu)選三個)分量。設(shè)有兩組大體在相互成直角的方向上受驅(qū)的驅(qū)動元件。根據(jù)本發(fā)明，相互間成直角受驅(qū)的驅(qū)動元件借助耦合裝置彼此相連，以實(shí)現(xiàn)同步運(yùn)動，該耦合裝置以可旋轉(zhuǎn)的方式安裝在襯底上。如果設(shè)有兩個相互間成直角受驅(qū)的驅(qū)動元件，就可測定轉(zhuǎn)速矢量的兩個分量。但是，優(yōu)選在至少一個驅(qū)動元件組中設(shè)有兩個平行受驅(qū)的驅(qū)動元件，這兩個驅(qū)動元件可在所產(chǎn)生的科氏力的作用下做不同的偏斜運(yùn)動，這樣就能測定轉(zhuǎn)速矢量的兩個分量。這兩個構(gòu)造相同的平行受驅(qū)驅(qū)動元件優(yōu)選借助本發(fā)明的耦合裝置與第二組中與之成直角受驅(qū)的驅(qū)動元件相連，以實(shí)現(xiàn)同步運(yùn)動。這樣可測定轉(zhuǎn)速矢量的三個分量，也即，可以測定傳感器或襯底繞χ軸、y軸和ζ軸的旋轉(zhuǎn)。所述耦合裝置使兩組驅(qū)動元件相互間成直角的運(yùn)動同步化。也即，驅(qū)動元件的同步振蕩得到支持。其中一組驅(qū)動元件的運(yùn)動方向被耦合裝置改變?yōu)榱硪唤M驅(qū)動元件的運(yùn)動方向。所述耦合裝置具有能避免驅(qū)動元件不均勻振蕩的剛性。兩個通過耦合裝置相連的驅(qū)動元件使該耦合裝置發(fā)生振蕩旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。通過用耦合裝置連接兩個驅(qū)動元件，可以確保這兩個通過耦合裝置相連的驅(qū)動元件同步做振蕩線性運(yùn)動。因此，本發(fā)明的耦合裝置可以使 MEMS陀螺儀(由多個各負(fù)責(zé)測定轉(zhuǎn)速矢量的一個分量的感測裝置構(gòu)成)的受驅(qū)驅(qū)動元件共同均勻振蕩，借此保證對所產(chǎn)生的科氏力的反應(yīng)的均一性，從而使本發(fā)明的微機(jī)電傳感器具有較高的測量精度。根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方案，一組中的驅(qū)動元件可相對平行運(yùn)動，至少兩個平行受驅(qū)的驅(qū)動元件同樣借助耦合裝置彼此相連。所述耦合裝置在驅(qū)動方向上為剛性，從而使兩個驅(qū)動元件的驅(qū)動運(yùn)動同步化。這樣一來，不僅相互間成直角受驅(qū)的驅(qū)動元件能同步振蕩，平行受驅(qū)的驅(qū)動元件也能同步運(yùn)動。由此而得到的系統(tǒng)整體上能測定轉(zhuǎn)速矢量的三個分量，還能在同步振蕩的驅(qū)動元件基礎(chǔ)上，通過傳感器的相應(yīng)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生相應(yīng)的科氏力和偏斜。這樣能精確測定相應(yīng)旋轉(zhuǎn)。此外還能得到一種結(jié)構(gòu)簡單、能夠?qū)匦慰捎每臻g進(jìn)行最佳利用的三維陀螺儀，這種陀螺儀可以較低的電子控制成本提供較高的測量精度。根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方案，所述多個用于使所述驅(qū)動元件的平行運(yùn)動同步化的耦合裝置為相同類型的耦合裝置。這樣能同步傳遞運(yùn)動方向，即便在傳感器某個分區(qū)的驅(qū)動元件逆向振蕩以測定轉(zhuǎn)速矢量的一個分量的情況下，也是如此。其中，所述驅(qū)動元件的逆向振蕩部件與另一平行受驅(qū)驅(qū)動元件的逆向振蕩部件是相同的。因此，驅(qū)動部件的平行逆向受驅(qū)部件以相同方式同步實(shí)現(xiàn)同步化。根據(jù)本發(fā)明的另一優(yōu)選實(shí)施方案，所述多個用于使相互間成直角的運(yùn)動同步化的耦合裝置為相同類型的耦合裝置。即使在驅(qū)動元件內(nèi)部進(jìn)行逆向運(yùn)動的情況下，通過這個實(shí)施方案也能以相同的方式使該逆向運(yùn)動與與之成直角受驅(qū)的驅(qū)動元件實(shí)現(xiàn)同步，進(jìn)而也能實(shí)現(xiàn)相同的運(yùn)動。根據(jù)本發(fā)明特別優(yōu)選的實(shí)施方案，所述用于使相互間成直角的運(yùn)動同步化的耦合裝置是可繞錨件旋轉(zhuǎn)的支臂。該支臂優(yōu)選相對于壓力和拉力為剛性，因而可以通過驅(qū)動元件的運(yùn)動，對成直角受驅(qū)的驅(qū)動元件施加壓力或拉力。借此避免耦合裝置發(fā)生彈性變形，否則將無法保證驅(qū)動元件兩個方向上的運(yùn)動同步化。所述支臂可圍繞固定在襯底上的錨件進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，通過該支臂的剛性可對速度較慢的驅(qū)動元件施加壓力或拉力，最終實(shí)現(xiàn)相同的振蕩運(yùn)動。特別優(yōu)選地，所述支臂呈弧形。這樣可將力以最佳方式從其中一個運(yùn)動方向傳遞到與之成直角的另一運(yùn)動方向上。所述支臂優(yōu)選在其第一末端區(qū)域內(nèi)與所述沿χ向受驅(qū)的驅(qū)動元件相連，在其第二末端區(qū)域內(nèi)與所述沿y向受驅(qū)的驅(qū)動元件相連。這樣能減小支臂的受驅(qū)質(zhì)量，因?yàn)橹П壑唤囊粋€驅(qū)動元件到另一驅(qū)動元件的連接。所述支臂優(yōu)選呈圓形，以便構(gòu)建特別穩(wěn)定的支臂。這樣一來，該支臂本身就是一個穩(wěn)定的部件，幾乎不會因受到壓力或拉力作用而變形。借此能非常精確地使兩驅(qū)動元件同步化，因?yàn)橹П郾旧砘旧喜粫l(fā)生變形，從而排除了兩驅(qū)動元件出現(xiàn)速度差的可能性。如果在支臂和驅(qū)動元件之間設(shè)置彈簧裝置，就能有效避免相互間成直角的運(yùn)動方向有可能引起的過大張力。從而減小讓驅(qū)動元件做運(yùn)動所需要的驅(qū)動能量。也能減小驅(qū)動元件的振蕩強(qiáng)度。所述彈簧裝置優(yōu)選在驅(qū)動方向上為剛性，在與驅(qū)動方向成直角的方向上為柔性。 每個彈簧裝置各對應(yīng)于一個運(yùn)動方向，且布置在所述支臂和驅(qū)動元件上。這樣可沿驅(qū)動方向?qū)⑼屏蚶鬟f到支臂上。借助在該方向上采用柔性設(shè)計的彈簧裝置可以對連接點(diǎn)因支臂旋轉(zhuǎn)而發(fā)生的位置變化進(jìn)行補(bǔ)償，而且也不會產(chǎn)生過大張力。每個驅(qū)動方向上的驅(qū)動元件優(yōu)選都采用成對設(shè)計，以便能均勻地傳導(dǎo)和同步化振蕩運(yùn)動。這樣可以使力的傳導(dǎo)特別均勻，且不會產(chǎn)生過大張力。優(yōu)選地，其中一個驅(qū)動元件沿χ向受驅(qū)，且借助錨件以可完全或部分沿y向偏斜的方式布置在襯底上。這樣能測定因襯底繞ζ軸旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的科氏力。為能測定轉(zhuǎn)速矢量的第二分量，其中一個驅(qū)動元件優(yōu)選沿χ向受驅(qū)，且借助錨件以可完全或部分繞y軸偏斜的方式布置在襯底上。這樣能測定因襯底繞y軸旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的科氏力。為能測定轉(zhuǎn)速矢量的第三分量，其中一個驅(qū)動元件優(yōu)選沿y向受驅(qū)，且借助錨件以可完全或部分繞X軸偏斜的方式布置在襯底上。這樣能測定因襯底繞X軸旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的科氏力。使用兩個或三個上述驅(qū)動元件可以測定傳感器的轉(zhuǎn)速矢量的兩個或三個分量。因此通過布置普通的已知驅(qū)動元件，可以測定傳感器的三種旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。此外通過使驅(qū)動元件的驅(qū)動運(yùn)動同步化，還可以共用一個低價的驅(qū)動控制裝置，并且在測定轉(zhuǎn)速矢量的任何一個分量時都能獲得精確的測量結(jié)果。根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方案，所述驅(qū)動元件由分配給這些驅(qū)動元件的驅(qū)動電極驅(qū)動。這些驅(qū)動電極中的一部分固定在襯底上，另一部分固定在驅(qū)動元件上。在成對設(shè)置的驅(qū)動電極上反相施加交流電壓，從而使驅(qū)動元件交替地朝成對的兩個驅(qū)動電極的方向受到引力作用。這樣能讓驅(qū)動元件做振蕩運(yùn)動。根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方案，所述驅(qū)動元件具有大體呈矩形的輪廓。這樣一來，這些驅(qū)動元件就能緊湊地布置在襯底上，并且整體上只需要一個較小的輪廓，尤其是矩形輪廓。這樣就能獲得一個體積特別小的用于檢測兩個或三個轉(zhuǎn)速矢量分量的傳感器。所述驅(qū)動元件優(yōu)選具有反相受驅(qū)的子元件，以便獲得特別平衡且無干擾性轉(zhuǎn)矩的 MEMS傳感器。受驅(qū)質(zhì)量相互抵消，因此在未產(chǎn)生科氏力的情況下，總轉(zhuǎn)矩為0。在此情況下， 傳感器將提供特別精確的測量結(jié)果。為能測定襯底繞某一軸線的旋轉(zhuǎn)，至少相應(yīng)驅(qū)動元件的子元件優(yōu)選布置在橫臂上，所述橫臂以可傾斜的方式安裝在襯底上。其中特別優(yōu)選地，所述耦合裝置雖能沿驅(qū)動方向傳遞推力或拉力，但另一方面也能通過其在ζ向上的較大剛性，確保驅(qū)動元件能夠做偏離x-y平面的逆向偏斜。


下面借助實(shí)施例對本發(fā)明的其他優(yōu)點(diǎn)進(jìn)行說明。其中圖1為具有矩形輪廓和弧形耦合裝置的三維陀螺儀； 圖2為具有矩形輪廓和圓形耦合裝置的三維陀螺儀。
具體實(shí)施例方式圖1為具有矩形輪廓的三維MEMS陀螺儀1。微機(jī)電傳感器1由三個驅(qū)動元件2、 3和4構(gòu)成。每個驅(qū)動元件2、3和4分別用于測定轉(zhuǎn)速矢量的一個分量。驅(qū)動元件2由兩個子元件2. 1和2. 2構(gòu)成。子元件2. 1和2. 2在附圖未展示的驅(qū)動電極的驅(qū)動下做反向振蕩。它們借助彈簧對2. 3彼此相連。彈簧2.3在χ向上采用彈性設(shè)計，因此子元件2.1和 2. 2可以相互靠近，也可以彼此分離，并且做同步的逆向運(yùn)動。每個子元件2. 1和2. 2都通過彈簧2. 4安裝在錨件2. 5上。每個子元件2. 1和 2. 2內(nèi)部都設(shè)有多個可沿y向偏斜的感測元件2. 6。為此，子元件2. 1和2. 2以及感測元件
2.6借助彈簧對2. 7彼此相連。驅(qū)動元件2借助錨件2. 5布置在襯底上，當(dāng)該襯底沿ζ向旋轉(zhuǎn)時，會產(chǎn)生一個使感測元件2.6沿y向偏斜的科氏力。這一偏斜可以借助附圖未展示的例如電極或電容器加以測定，這些電極或電容器定位在襯底上的凹槽內(nèi)。驅(qū)動元件3的子元件3. 1和3. 2受驅(qū)時也是沿χ向做逆向振蕩。子元件3. 1和
3.2借助彈簧3. 3彼此相連，因此，子元件3. 1和3. 2可以相互靠近，也可以彼此分離，并在此過程中同步化。另外，驅(qū)動元件3. 1和3. 2借助彈簧3. 5安裝在可繞y軸偏斜的橫臂3. 4 上。彈簧3. 5允許子元件3. 1和3. 2沿χ向相對于橫臂3. 4運(yùn)動。橫臂3. 4借助彈簧3. 6 固定在襯底上的錨件3. 7上。當(dāng)襯底繞y軸旋轉(zhuǎn)時，彈簧3. 6允許橫臂3. 4繞y軸振蕩傾斜。第三驅(qū)動元件4與其他兩個驅(qū)動元件2和3成直角布置，在本實(shí)施例中構(gòu)造與驅(qū)動元件3相同。但也可以采用其他構(gòu)造。驅(qū)動元件4由子元件4.1和4. 2構(gòu)成，這些子元件借助彈簧4. 3彼此相連。子元件4. 1和4. 2逆向振蕩。它們借助彈簧4. 5各布置在一個橫臂4. 4上，因此可沿y向受驅(qū)。橫臂4. 4借助扭轉(zhuǎn)彈簧4. 6以可偏斜的方式安裝在錨件
4.7上。一旦襯底繞χ軸旋轉(zhuǎn)，橫臂3. 4就會在科氏力作用下，與子元件4. 1和4. 2 —起繞 χ軸偏斜。為使驅(qū)動元件2和3的驅(qū)動運(yùn)動同步化，驅(qū)動元件2和3借助同步彈簧5彼此相連。這些同步彈簧在X向上為剛性，因此，子元件2. 1和3. 1以及2. 2和3. 2可同步做驅(qū)動運(yùn)動。同步彈簧4在ζ向上為柔性，因此子元件3. 1和3. 2可以毫無阻礙地做偏斜運(yùn)動。為使驅(qū)動元件2和驅(qū)動元件4做同步運(yùn)動，子元件2. 2借助耦合裝置6與子元件 4. 2相連。耦合裝置6由兩個可各繞一個錨件6. 1旋轉(zhuǎn)的弧形支臂6. 2構(gòu)成。支臂6. 2借助彈簧6. 3固定在襯底上的錨件6. 1上。支臂6. 2的一個末端固定在子元件2. 2上，另一末端固定在子元件4. 2上。子元件2. 2和子元件4. 2的運(yùn)動使支臂6. 2發(fā)生振蕩運(yùn)動。支臂6. 2采用剛性設(shè)計，因而能夠改變運(yùn)動方向，從而使子元件2. 2和4. 2做同步運(yùn)動。為使子元件2. 2和4. 2均勻地同步工作，兩個子元件2. 2和4. 2之間設(shè)有兩個耦合裝置6。耦合裝置7的構(gòu)造與耦合裝置6相同。只是支臂7. 2的彎曲方向不同，因?yàn)樽釉?4. 1逆向于子元件4. 2運(yùn)動。借助于包含錨件7. 1、支臂7. 2和彈簧7. 3的耦合裝置7，也能使子元件3. 2和子元件4. 1做同步運(yùn)動。支臂6. 2和7. 2相對于推力和拉力是剛性的，相對于偏離x_y平面的偏斜則是柔性的。借此可讓子元件2. 2或3. 2在繞y軸偏斜時能夠做偏離x_y平面的偏斜運(yùn)動，或者讓子元件4. 1和4. 2在繞χ軸旋轉(zhuǎn)時同樣能做偏離x-y軸的偏斜運(yùn)動。圖2展示的是同樣的驅(qū)動元件2、3和4。驅(qū)動元件2和3仍然借助同步彈簧5相耦合。只有耦合裝置6和7采用了不同設(shè)計。在本實(shí)施例中，耦合裝置由圓形支臂6. 2’和 7.2’構(gòu)成。所述支臂上設(shè)有彈簧裝置6. 4或7. 4，這些彈簧裝置雖然對于驅(qū)動運(yùn)動的傳遞是剛性的，但在垂直于推力施加方向的方向上是柔性的。這樣可避免產(chǎn)生應(yīng)力，特別是當(dāng)子元件2. 2、3. 2相對于4. 2和4. 1做偏斜運(yùn)動的時候。此外，圓形支臂6. 2’還能更穩(wěn)定地固定在錨件6.1上。彈簧6. 3呈輻條狀，以便支臂6. 2’能夠均勻地做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。耦合裝置7 同樣如此。本發(fā)明不限于上述實(shí)施例。在有效的權(quán)利要求書范圍內(nèi)，可對各實(shí)施例進(jìn)行更改和組合。
權(quán)利要求
1.一種微機(jī)電傳感器(MEMS) (1)，包含多個在一 χ-y平面內(nèi)受線性驅(qū)動的驅(qū)動元件 (2，3，4)，所述驅(qū)動元件布置在一襯底上，用于測定所述襯底的轉(zhuǎn)速矢量的至少兩個(優(yōu)選三個)分量，其中，存在兩組驅(qū)動元件(2，3;4)，其大體在多個相互成直角的方向上受驅(qū)，其特征在于，相互間成直角受驅(qū)的所述驅(qū)動元件(2，4 ;3，4)借助一耦合裝置(6，7)彼此相連， 以實(shí)現(xiàn)同步運(yùn)動，所述耦合裝置以可旋轉(zhuǎn)的方式安裝在所述襯底上。
2.如上述權(quán)利要求所述的MEMS，其特征在于，一組中的驅(qū)動元件(2，3)可相對平行運(yùn)動，至少兩個平行受驅(qū)的驅(qū)動元件(2，3)借助多個耦合裝置(5)彼此相連，所述耦合裝置在驅(qū)動方向上為剛性，從而使兩個驅(qū)動元件(2，3)的驅(qū)動運(yùn)動同步化。
3.如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)或多項(xiàng)所述的MEMS，其特征在于，所述用于同步化所述平行運(yùn)動的耦合裝置(5)為相同類型的耦合裝置。
4.如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)或多項(xiàng)所述的MEMS，其特征在于，所述多個用于使相互間成直角的運(yùn)動同步化的耦合裝置(6，7)為相同類型的耦合裝置。
5.如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)或多項(xiàng)所述的MEMS，其特征在于，所述用于使相互間成直角的運(yùn)動同步化的耦合裝置(6，7)是一可繞一錨件(6. 1,7. 1)旋轉(zhuǎn)的支臂(6.2，7.2)。
6.如權(quán)利要求5所述的MEMS，其特征在于，所述支臂(6.2,7. 2)呈弧形。
7.如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)或多項(xiàng)所述的MEMS，其特征在于，所述支臂(6.2,7. 2)在其第一末端區(qū)域內(nèi)與所述沿χ向受驅(qū)的驅(qū)動元件(2，3)相連，在其第二末端區(qū)域內(nèi)與所述沿y向受驅(qū)的驅(qū)動元件(4)相連。
8.如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)或多項(xiàng)所述的MEMS，其特征在于，所述支臂(6.2’，7.2’ ) 呈圓形。
9.如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)或多項(xiàng)所述的MEMS，其特征在于，在所述支臂(6.2’， 7. 2’ )和所述驅(qū)動元件(2，3,4)之間設(shè)有一彈簧裝置(6. 4，7. 4)。
10.如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)或多項(xiàng)所述的MEMS，其特征在于，所述彈簧裝置(6.4， 7. 4)在驅(qū)動方向上為剛性，在與所述驅(qū)動方向成直角的方向上為柔性。
11.如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)或多項(xiàng)所述的MEMS，其特征在于，每個驅(qū)動方向上的驅(qū)動元件(2，3，4)都成對設(shè)有子元件(2. 1,2. 2 ；3. 1,3. 2 ；4. 1,4. 2)。
12.如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)或多項(xiàng)所述的MEMS，其特征在于，一驅(qū)動元件(2)沿χ向受驅(qū)，且借助一錨件(2. 5)以可完全或部分沿y向偏斜的方式布置在所述襯底上，以便測定因所述襯底繞ζ軸旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的科氏力。
13.如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)或多項(xiàng)所述的MEMS，其特征在于，一驅(qū)動元件(3)沿χ向受驅(qū)，且借助一錨件(3. 7)以可完全或部分繞y軸偏斜的方式布置在所述襯底上，以便測定因所述襯底繞y軸旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的科氏力。
14.如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)或多項(xiàng)所述的MEMS，其特征在于，一驅(qū)動元件(4)沿y向受驅(qū)，且借助一錨件(4. 7)以可完全或部分繞χ軸偏斜的方式布置在所述襯底上，以便測定因所述襯底繞χ軸旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的科氏力。
15.如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)或多項(xiàng)所述的MEMS，其特征在于，設(shè)有多個分配給所述驅(qū)動元件(2，3，4)的驅(qū)動電極。
16.如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)或多項(xiàng)所述的MEMS，其特征在于，所述驅(qū)動元件(2，3， 4)具有一大體呈矩形的輪廓。
17.如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)或多項(xiàng)所述的MEMS，其特征在于，所述驅(qū)動元件(2，3， 4)具有反相受驅(qū)的子元件(2. 1,2. 2 ；3. 1,3. 2 ；4. 1，4.2)。
18.如上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)或多項(xiàng)所述的MEMS，其特征在于，至少其中一個所述驅(qū)動元件(2，3，4)的子元件(2. 1,2. 2 ；3. 1,3. 2 ；4. 1，4. 2)布置在一橫臂上(3. 4，4. 4)，所述橫臂以可傾斜的方式安裝在所述襯底上。
全文摘要
本發(fā)明提出一種微機(jī)電傳感器(MEMS)(1)，包含多個在一x-y平面內(nèi)受線性驅(qū)動的驅(qū)動元件(2，3，4)，所述驅(qū)動元件布置在一襯底上，用于測定所述襯底的轉(zhuǎn)速矢量的至少兩個(優(yōu)選三個)分量，其中，存在兩組驅(qū)動元件(2，3；4)，其大體在多個相互成直角的方向上受驅(qū)。本發(fā)明的微機(jī)電傳感器(MEMS)(1)的特征在于，相互間成直角受驅(qū)的所述驅(qū)動元件(2，4；3，4)借助一耦合裝置(6，7)彼此相連，以實(shí)現(xiàn)同步運(yùn)動，所述耦合裝置以可旋轉(zhuǎn)的方式安裝在所述襯底上。
文檔編號G01C19/56GK102334009SQ201080009206
公開日2012年1月25日 申請日期2010年2月3日 優(yōu)先權(quán)日2009年2月27日
發(fā)明者伏爾克·坎普 申請人:感應(yīng)動力股份公司