專利名稱：硅片多線切割機(jī)接地檢測(cè)系統(tǒng)及其檢測(cè)電極的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及硅片切割技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種用于檢測(cè)硅片多線切割機(jī)是 否發(fā)生斷線現(xiàn)象的檢測(cè)電極。本實(shí)用新型還涉及包括上述檢測(cè)電極的硅片多線切割機(jī)接地 檢測(cè)系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
硅片是半導(dǎo)體和光伏領(lǐng)域的主要生產(chǎn)材料，它不同于傳統(tǒng)的刀鋸片、砂輪片等切 割方式，也不同于先進(jìn)的激光切割和內(nèi)圓切割，它的原理是通過(guò)金屬絲的高速往復(fù)運(yùn)動(dòng)，把 磨料帶入半導(dǎo)體加工區(qū)域進(jìn)行研磨，將硅塊材料一次同時(shí)切割為數(shù)百片薄片，在整個(gè)過(guò)程 中，鋼線通過(guò)十幾個(gè)導(dǎo)線輪的引導(dǎo)，在軸輥上形成一張線網(wǎng)，而待加工工件通過(guò)工作臺(tái)的下 降實(shí)現(xiàn)工件的進(jìn)給。硅片多線切割技術(shù)與其他技術(shù)相比具有效率高、產(chǎn)能高、精度高等優(yōu)點(diǎn)，已逐漸取 代了傳統(tǒng)的內(nèi)圓切割，成為硅片切割加工的主要方式。但斷絲現(xiàn)象一直是線切割加工中的 一個(gè)嚴(yán)重問(wèn)題，它使加工停頓并不得不從頭開(kāi)始，浪費(fèi)大量工時(shí)，破壞了加工面的完整性， 增加了實(shí)現(xiàn)無(wú)人操作加工的困難，阻礙線切割工藝的進(jìn)一步發(fā)展。研究發(fā)現(xiàn)，能引起斷絲現(xiàn)象的因素有很多，如電參數(shù)選擇不當(dāng)、進(jìn)給調(diào)節(jié)不當(dāng)、工 作液使用不當(dāng)?shù)仍?，都有可能引發(fā)斷絲現(xiàn)象，其成因極為復(fù)雜，因此，目前還沒(méi)有任何技 術(shù)手段能完全杜絕斷絲現(xiàn)象，只能采用預(yù)防措施有針對(duì)性地解決部分?jǐn)嘟z問(wèn)題，為了判斷 工作中的鋼線是否已經(jīng)發(fā)生斷絲現(xiàn)象，硅片多線切割機(jī)一般都設(shè)有接地檢測(cè)系統(tǒng)，以便在 斷絲現(xiàn)象發(fā)生后能及時(shí)停機(jī)檢查，并采取補(bǔ)救手段進(jìn)行修復(fù)，避免損失進(jìn)一步擴(kuò)大?，F(xiàn)有接地檢測(cè)系統(tǒng)的檢測(cè)原理是在斷線發(fā)生后，鋼線的線頭接觸檢測(cè)電極的任一 點(diǎn)則會(huì)出現(xiàn)電壓波動(dòng)，據(jù)此機(jī)床會(huì)發(fā)出警報(bào)并及時(shí)停機(jī)。請(qǐng)參考圖1，圖1為現(xiàn)有技術(shù)中硅片多線切割機(jī)的檢測(cè)電極的布局示意圖。如圖所示，線網(wǎng)1由一根完整的鋼線在導(dǎo)輪2和導(dǎo)輪3之間有序排布，形成一個(gè)平 面；當(dāng)切割時(shí)，線網(wǎng)1發(fā)生斷裂后，斷線位置線網(wǎng)因鋼線斷裂而無(wú)法按序繼續(xù)行駛，在報(bào)警 停機(jī)前，導(dǎo)輪2、導(dǎo)輪3仍處在運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，由于慣性導(dǎo)致在斷線位置線網(wǎng)開(kāi)裂并向后抽空，直 至報(bào)警停機(jī)，因切割過(guò)程中線網(wǎng)1抽空后無(wú)法進(jìn)行重新排布，所以抽空處的硅塊無(wú)法繼續(xù) 切割。接地檢測(cè)系統(tǒng)包括兩個(gè)檢測(cè)電極，這兩個(gè)檢測(cè)電極均布置在絲網(wǎng)上張面的下方， 第一檢測(cè)電極4靠近導(dǎo)輪3，第二檢測(cè)電極5靠近導(dǎo)輪2，其電極與線網(wǎng)1之間留有一定距罔。請(qǐng)參考圖2，圖2為現(xiàn)有檢測(cè)電極的結(jié)構(gòu)示意圖。檢測(cè)電極主要由一根電極桿6以及位于電極桿兩端的支撐板構(gòu)成，電極桿6的一 端插入第一支撐板7的通孔中，另一端卡入第二支撐板8的U形槽內(nèi)，兩塊支撐板上均開(kāi)設(shè) 有用于通過(guò)螺栓固定的長(zhǎng)圓孔9。線網(wǎng)1在切割過(guò)程中發(fā)生斷線，只有斷線后的鋼線頭接觸到檢測(cè)電極上才會(huì)發(fā)出報(bào)警，根據(jù)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，在斷線發(fā)生后3秒內(nèi)，鋼線接觸到第一檢測(cè)電極4的幾率為5%，接觸 到第二檢測(cè)電極5的幾率為5%，由此可見(jiàn)，第一、第二檢測(cè)電極的檢測(cè)率很低，幾乎起不到 檢測(cè)作用。由于斷線發(fā)生后設(shè)備的檢測(cè)失效或遲鈍，會(huì)增加斷線后線網(wǎng)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間，使線網(wǎng)損 失長(zhǎng)度增大，直接影響切割質(zhì)量。因此，如何提高硅片多線切割機(jī)接地檢測(cè)系統(tǒng)的檢測(cè)率，是本領(lǐng)域技術(shù)人員目前 需要解決的技術(shù)問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種檢測(cè)電極。該檢測(cè)電極可同時(shí)固定上、下兩根金屬 電極桿，線網(wǎng)可在兩根金屬電極桿之間穿過(guò)，兩根金屬電極桿將線網(wǎng)夾持在中間，可增加線 網(wǎng)斷線后其鋼線與金屬電極桿的接觸概率，使檢測(cè)更加靈敏，能夠從根本上解決多線切割 機(jī)一直存在的斷線損失問(wèn)題。本實(shí)用新型的另一個(gè)目的是提供一種包括上述檢測(cè)電極的硅片多線切割機(jī)接地 檢測(cè)系統(tǒng)。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種檢測(cè)電極，用于硅片多線切割機(jī)接地 檢測(cè)系統(tǒng)，包括電極桿以及位于所述電極桿兩端的支撐板，所述支撐板之間設(shè)有兩根上、下 間隔且相互平行的電極桿。優(yōu)選地，所述兩根電極桿在電路上相串聯(lián)。優(yōu)選地，所述兩根電極桿的引線端通過(guò)螺釘相串聯(lián)，其中一根電極桿與導(dǎo)線連接。優(yōu)選地，所述支撐板上開(kāi)設(shè)有縱向插孔槽，所述電極桿的兩端卡接于所述插孔槽 的孔位中。優(yōu)選地，所述電極桿引線端的支撐板的插孔槽具有向上豁通的開(kāi)口。優(yōu)選地，所述支撐板呈扁平的直角形。優(yōu)選地，所述支撐板具體為尼龍支撐板。優(yōu)選地，所述電極桿具體為金屬電極桿。優(yōu)選地，所述支撐板上開(kāi)設(shè)有兩道縱向的長(zhǎng)圓孔。本實(shí)用新型還提供一種硅片多線切割機(jī)接地檢測(cè)系統(tǒng)，包括檢測(cè)電極，所述檢測(cè) 電極具體為上述任一項(xiàng)所述的檢測(cè)電極。本實(shí)用新型根據(jù)多線切割機(jī)的斷線檢測(cè)原理，對(duì)檢測(cè)電極進(jìn)行了改進(jìn)，現(xiàn)有檢測(cè) 電極的支撐板上僅設(shè)有一根電極桿，其檢測(cè)率較低，而本實(shí)用新型所提供的檢測(cè)電極的支 撐板之間同時(shí)設(shè)有兩根電極桿，所述兩根電極桿上、下間隔一定距離且相互平行，兩者間形 成供線網(wǎng)穿過(guò)的空間，兩根電極桿將線網(wǎng)夾持在中間，能夠?qū)€網(wǎng)進(jìn)行多方位監(jiān)測(cè)，可增加 線網(wǎng)斷線后其鋼線與電極桿的接觸概率，使檢測(cè)更加靈敏，可大幅提高檢測(cè)率，實(shí)現(xiàn)斷線后 及時(shí)檢測(cè)并報(bào)警停機(jī)，能夠從根本上解決多線切割機(jī)一直存在的斷線損失問(wèn)題。在一種具體實(shí)施方式
中，所述支撐板上開(kāi)設(shè)有縱向插孔槽，所述電極桿的兩端卡 接于所述插孔槽的孔位中。根據(jù)斷線檢測(cè)原理，電極桿與線網(wǎng)距離越近，斷線后鋼線接觸電 極桿的幾率就越大，但電極桿與線網(wǎng)距離太近又容易引發(fā)誤報(bào)警，因此在正式啟用前，需要 結(jié)合切割液、檢測(cè)電壓值等多方面因素進(jìn)行測(cè)試，以便確定電極桿與線網(wǎng)的最佳距離，在現(xiàn)
4有技術(shù)中，只能通過(guò)調(diào)整支撐板固定螺栓的方式來(lái)進(jìn)行調(diào)節(jié)，不僅操作不便，且反復(fù)調(diào)整容 易影響支撐板的牢固性，開(kāi)設(shè)插孔槽后，在進(jìn)行調(diào)節(jié)時(shí)，只需將電極桿的兩端卡入不同的孔 位中即可，無(wú)需調(diào)整固定螺栓，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易于操作，且定位準(zhǔn)確。本實(shí)用新型所提供的硅片多線切割機(jī)接地檢測(cè)系統(tǒng)包括上述檢測(cè)電極，由于上述 檢測(cè)電極具有上述技術(shù)效果，具有該檢測(cè)電極的硅片多線切割機(jī)接地檢測(cè)系統(tǒng)也應(yīng)具備相 應(yīng)的技術(shù)效果。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中硅片多線切割機(jī)的檢測(cè)電極的布局示意圖；圖2為現(xiàn)有檢測(cè)電極的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型所提供檢測(cè)電極的一種具體實(shí)施方式
的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為圖3中所示第一支撐板的平面示意圖；圖5為圖3中所示第二支撐板的平面示意圖；圖6為本實(shí)用新型所提供檢測(cè)電極在硅片多線切割機(jī)上的布局示意圖。圖中數(shù)字編號(hào)所對(duì)應(yīng)的設(shè)備或部件名稱如下1.線網(wǎng) 2.導(dǎo)輪 3.導(dǎo)輪 4.第一檢測(cè)電極 5.第二檢測(cè)電極6.電極桿 7.第一支撐板8.第二支撐板9.長(zhǎng)圓孔10.檢測(cè)電極10-1.金屬電極桿10-2. 第一支撐板 10-3.第二支撐板10-2-1.插孔槽 10-2-2.長(zhǎng)圓孔 10-3-1.插孔槽 10-3-2.長(zhǎng)圓孔10-4.連接塊 10-5.螺釘 10-6.導(dǎo)線
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型的核心是提供一種檢測(cè)電極。該檢測(cè)電極可同時(shí)固定上、下兩根金屬 電極桿，線網(wǎng)可在兩根金屬電極桿之間穿過(guò)，兩根金屬電極桿將線網(wǎng)夾持在中間，可增加線 網(wǎng)斷線后其鋼線與金屬電極桿的接觸概率，使檢測(cè)更加靈敏，能夠從根本上解決多線切割 機(jī)一直存在的斷線損失問(wèn)題。本實(shí)用新型的另一核心是提供一種包括上述檢測(cè)電極的硅片 多線切割機(jī)接地檢測(cè)系統(tǒng)。為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本實(shí)用新型方案，
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施 方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。請(qǐng)參考圖3，圖3為本實(shí)用新型所提供檢測(cè)電極的一種具體實(shí)施方式
的結(jié)構(gòu)示意 圖。在一種具體實(shí)施方式
中，本實(shí)用新型所提供的檢測(cè)電極10，用于硅片多線切割機(jī) 接地檢測(cè)系統(tǒng)，包括金屬電極桿10-1以及位于金屬電極桿兩端的支撐板，為便于描述，這 里將兩塊支撐板分別命名為第一支撐板10-2和第二支撐板10-3，金屬電極桿10-1的數(shù)量 為兩根，在第一支撐板10-2和第二支撐板10-3之間上、下間隔布置且相互平行。第一支撐板10-2和第二支撐板10-3均呈扁平的直角形，制作材料為具有絕緣性 能的尼龍，其外直角被切除形成倒角部位，第一支撐板上開(kāi)設(shè)有用于固定金屬電極桿的插 孔槽10-2-1和用于固定在硅片多線切割機(jī)上的長(zhǎng)圓孔10-2-2，第二支撐板10-3上開(kāi)設(shè)有 用于固定金屬電極桿的插孔槽10-3-1和用于固定在硅片多線切割機(jī)上的長(zhǎng)圓孔10-3-2。由于硅片多線切割機(jī)軸輥兩側(cè)的安裝位置和安裝空間不同，因此第一支撐板10-2和第二支撐板10-3的形狀和布局方式也有所區(qū)別。首先，第一支撐板10-2的長(zhǎng)圓孔10-2-1 位于其豎向部分，插孔槽10-2-2位于其橫向部分，而第二支撐板10-3的長(zhǎng)圓孔10-3-1位 于其橫向部分，插孔槽10-3-2則位于其豎向部分；其次，由于第一支撐板10-2的固定部位 距離線網(wǎng)較近，因此其豎向部分的長(zhǎng)度要短于第二支撐板10-3 ；再者，第一支撐板10-2與 第二支撐板10-3的朝向相反。當(dāng)然，支撐板并不局限于圖中所示的形狀，根據(jù)安裝位置和安裝空間的不同，支撐 板的形狀也可能隨之發(fā)生改變，從而具有其它更為適宜的形狀，這里不再展開(kāi)描述。為確保斷線后鋼線觸及任何一根電極桿都能報(bào)警停機(jī)，兩根金屬電極桿10-1需 要在電路上相串聯(lián)，其串聯(lián)的方式如圖所示，兩根金屬電極桿10-1的引線端均帶有矩形連 接塊10-4，所述金屬塊10-4上開(kāi)設(shè)有上下貫通的螺釘孔，一螺釘10-5自上而下穿過(guò)位于上 方的金屬電極桿10-1的螺釘孔將導(dǎo)線10-6的接頭壓緊在連接塊10-4上，實(shí)現(xiàn)電路連接， 該螺釘10-5 —直延伸到位于下方的金屬電極桿10-1的引線端，并旋入其連接塊10-4的螺 釘孔中，從而實(shí)現(xiàn)上、下兩根金屬電極桿10-1的串聯(lián)，兩根金屬電極桿10-1只需布置一根 導(dǎo)線10-6，鋼線觸及任何一根電極桿都能報(bào)警停機(jī)。根據(jù)斷線檢測(cè)原理，電極桿與線網(wǎng)距離越近，斷線后鋼線接觸電極桿的幾率就越 大，但電極桿與線網(wǎng)距離太近又容易引發(fā)誤報(bào)警，因此在正式啟用前，需要結(jié)合切割液、檢 測(cè)電壓值等多方面因素進(jìn)行測(cè)試，以便確定電極桿與線網(wǎng)的最佳距離，在現(xiàn)有技術(shù)中，只能 通過(guò)調(diào)整支撐板固定螺栓的方式來(lái)進(jìn)行調(diào)節(jié)，不僅操作不便，且反復(fù)調(diào)整容易影響支撐板 的牢固性。請(qǐng)參考圖4、圖5，圖4為圖3中所示第一支撐板的平面示意圖；圖5為圖3中所示 第二支撐板的平面示意圖。針對(duì)上述調(diào)節(jié)問(wèn)題，本實(shí)用新型所提供的檢測(cè)電極的兩塊支撐板上分別開(kāi)設(shè)有縱 向的插孔槽10-2-1和插孔槽10-3-1，插孔槽10-2-1和插孔槽10_3_1的形狀如圖所示， 由若干相互貫通的插孔形成，金屬電極桿10-1的兩端可卡接于插孔槽10-2-1和插孔槽 10-3-1的孔位中。這樣，只需將電極桿的兩端卡入不同的孔位中即可調(diào)節(jié)兩根金屬電極桿 之間的間距，無(wú)需調(diào)整固定螺栓，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易于操作，且定位準(zhǔn)確。結(jié)合實(shí)際考慮，金屬電極桿10-1的一端在組裝時(shí)可直接插入第一支撐板10-2的 孔位中固定，而另一端由于帶有附屬部件，因此不能直接插入第二支撐板10-3的孔位中進(jìn) 行固定，對(duì)此，可以對(duì)第二支撐板10-3的插孔槽10-3-1進(jìn)行改進(jìn)，使其向上豁通形成一個(gè) 開(kāi)口，如此，金屬電極桿10-1便可以從開(kāi)口直接卡入第二支撐板10-3的孔位中。本實(shí)用新型根據(jù)多線切割機(jī)的斷線檢測(cè)原理，對(duì)檢測(cè)電極進(jìn)行了改進(jìn)，現(xiàn)有檢測(cè) 電極的支撐板上僅設(shè)有一根電極桿，其檢測(cè)率較低，而本實(shí)用新型所提供的檢測(cè)電極的支 撐板之間同時(shí)設(shè)有兩根電極桿，所述兩根電極桿上、下間隔一定距離且相互平行，兩者間形 成供線網(wǎng)穿過(guò)的空間，兩根電極桿將線網(wǎng)夾持在中間，能夠?qū)€網(wǎng)進(jìn)行多方位監(jiān)測(cè)，可增加 線網(wǎng)斷線后其鋼線與電極桿的接觸概率，使檢測(cè)更加靈敏，可大幅提高檢測(cè)率，實(shí)現(xiàn)斷線后 及時(shí)檢測(cè)并報(bào)警停機(jī)，能夠從根本上解決多線切割機(jī)一直存在的斷線損失問(wèn)題。請(qǐng)參考圖6，圖6為本實(shí)用新型所提供檢測(cè)電極在硅片多線切割機(jī)上的布局示意 圖。在實(shí)際應(yīng)用當(dāng)中，一臺(tái)硅片多線切割機(jī)可同時(shí)布置兩套檢測(cè)電極10，其中一套位于導(dǎo)輪2的前側(cè)，另一套位于導(dǎo)輪3的后側(cè)，硅片多線切割機(jī)的鋼線形成的線網(wǎng)1從每套檢 測(cè)電極的兩根金屬電極桿之間穿過(guò)，根據(jù)電極桿的電壓檢測(cè)，當(dāng)斷線后，鋼線接觸電極桿的 任意一點(diǎn)都會(huì)出現(xiàn)電壓波動(dòng)，機(jī)床據(jù)此發(fā)出報(bào)警并及時(shí)停機(jī)。根據(jù)斷線檢測(cè)原理，金屬電極桿與線網(wǎng)距離越近，斷線后鋼線接觸電極桿的幾率 就越大，但是在某些情況下，特別是在使用水性切割液時(shí)，因切割液導(dǎo)電性較高，線網(wǎng)會(huì)通 過(guò)流下的砂漿與金屬電極桿發(fā)生導(dǎo)通，產(chǎn)生誤報(bào)警，所以只能夠?qū)㈦姌O桿位置調(diào)高，避免在 切割過(guò)程中產(chǎn)生誤報(bào)警，這樣一來(lái)，就大大減小了斷線后鋼線接觸電極桿的幾率。對(duì)此，可通過(guò)試驗(yàn)法，觀察斷線后檢測(cè)電壓的變化情況，對(duì)檢測(cè)電壓值反復(fù)試驗(yàn)進(jìn) 行調(diào)整，并與不同的砂漿進(jìn)行試驗(yàn)對(duì)比，最終確定使用能夠加強(qiáng)檢測(cè)率的砂漿。除了上述檢測(cè)電極之外，本實(shí)用新型還提供一種硅片多線切割機(jī)接地檢測(cè)系統(tǒng)， 其檢測(cè)電極采用上文所述的檢測(cè)電極，其余結(jié)構(gòu)請(qǐng)參考現(xiàn)有技術(shù)，本文不再贅述。以上對(duì)本實(shí)用新型所提供的硅片多線切割機(jī)接地檢測(cè)系統(tǒng)及其檢測(cè)電極進(jìn)行了 詳細(xì)介紹。本文中應(yīng)用了具體個(gè)例對(duì)本實(shí)用新型的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述，以上實(shí)施 例的說(shuō)明只是用于幫助理解本實(shí)用新型的核心思想。應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技 術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行若干改進(jìn)和修 飾，這些改進(jìn)和修飾也落入本實(shí)用新型權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求一種檢測(cè)電極，用于硅片多線切割機(jī)接地檢測(cè)系統(tǒng)，包括電極桿以及位于所述電極桿兩端的支撐板，其特征在于，所述支撐板之間設(shè)有兩根上、下間隔且相互平行的電極桿。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測(cè)電極，其特征在于，所述兩根電極桿在電路上相串聯(lián)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢測(cè)電極，其特征在于，所述兩根電極桿的引線端通過(guò)螺釘 相串聯(lián)，其中一根電極桿與導(dǎo)線連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測(cè)電極，其特征在于，所述支撐板上開(kāi)設(shè)有縱向插孔槽，所 述電極桿的兩端卡接于所述插孔槽的孔位中。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的檢測(cè)電極，其特征在于，所述電極桿引線端的支撐板的插孔 槽具有向上豁通的開(kāi)口。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的檢測(cè)電極，其特征在于，所述支撐板呈扁平的直角形。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的檢測(cè)電極，其特征在于，所述支撐板具體為尼龍支 撐板。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的檢測(cè)電極，其特征在于，所述電極桿具體為金屬電 極桿。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的檢測(cè)電極，其特征在于，所述支撐板上開(kāi)設(shè)有兩道 縱向的長(zhǎng)圓孔。
10.一種硅片多線切割機(jī)接地檢測(cè)系統(tǒng)，包括檢測(cè)電極，其特征在于，所述檢測(cè)電極具 體為上述權(quán)利要求1至9任一項(xiàng)所述的檢測(cè)電極。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種檢測(cè)電極，用于硅片多線切割機(jī)接地檢測(cè)系統(tǒng)，包括電極桿以及位于所述電極桿兩端的支撐板，所述支撐板之間設(shè)有兩根上、下間隔且相互平行的電極桿，所述兩根電極桿在電路上相串聯(lián)。該檢測(cè)電極可同時(shí)固定上、下兩根金屬電極桿，線網(wǎng)可在兩根金屬電極桿之間穿過(guò)，兩根金屬電極桿將線網(wǎng)夾持在中間，可增加線網(wǎng)斷線后其鋼線與金屬電極桿的接觸概率，使檢測(cè)更加靈敏，能夠從根本上解決多線切割機(jī)一直存在的斷線損失問(wèn)題。本實(shí)用新型還公開(kāi)了一種包括上述檢測(cè)電極的硅片多線切割機(jī)接地檢測(cè)系統(tǒng)。
文檔編號(hào)G01R31/02GK201645673SQ20102021408
公開(kāi)日2010年11月24日 申請(qǐng)日期2010年6月1日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月1日
發(fā)明者殷貴寶, 陳樂(lè) 申請(qǐng)人:英利能源(中國(guó))有限公司