專利名稱：老化測(cè)試系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造及機(jī)械加工領(lǐng)域，特別涉及一種老化測(cè)試系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
集成電路(IC)芯片在制造之后必須進(jìn)行測(cè)試，該測(cè)試通常是在提高的溫度下進(jìn) 行的老化測(cè)試。老化測(cè)試可以加速芯片的老化，能夠在制造工藝中，早識(shí)別和放棄有缺陷的
-H-· I I心片。圖1為現(xiàn)有的老化測(cè)試系統(tǒng)示意圖，圖2為現(xiàn)有的老化測(cè)試箱示意圖；如圖1、2所 示，老化測(cè)試系統(tǒng)主要由老化測(cè)試箱100、測(cè)試和控制電路101組成。老化測(cè)試箱100內(nèi)設(shè) 置有老化測(cè)試區(qū)、加熱器和溫度檢測(cè)器，其中，老化測(cè)試區(qū)設(shè)置有多個(gè)老化測(cè)試板210，每個(gè) 老化測(cè)試板210上設(shè)置有多個(gè)將待老化測(cè)試器件與外部的測(cè)試電路相連的測(cè)試底座220。 老化測(cè)試箱底部設(shè)置有加熱器240，用以按溫度設(shè)定值對(duì)老化測(cè)試箱進(jìn)行加熱，老化測(cè)試箱 上部設(shè)置有溫度檢測(cè)器230，利用該溫度檢測(cè)器230可以檢測(cè)老化測(cè)試箱內(nèi)的溫度并送至 位于老化測(cè)試箱外的控制電路，由控制電路比較該檢測(cè)溫度與設(shè)置溫度的大小，如果檢測(cè) 溫度小于設(shè)置溫度，則控制加熱器啟動(dòng)以對(duì)老化測(cè)試箱進(jìn)行加熱，反之，則關(guān)閉加熱器。國(guó)家老化標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定，老化測(cè)試的目的是驗(yàn)證承受規(guī)定條件的器件在整個(gè)工作時(shí) 間內(nèi)的質(zhì)量或可靠性。其是在額定工作條件下進(jìn)行的壽命試驗(yàn)，試驗(yàn)時(shí)間應(yīng)足夠長(zhǎng)，以保證 其結(jié)果不具有早期失效或“初期失效”的特征，在整個(gè)壽命試驗(yàn)期間還應(yīng)進(jìn)行定期觀察，以 監(jiān)視失效率是否隨時(shí)間有顯著變化。為了在短時(shí)間內(nèi)或以較小的應(yīng)力來獲得正確結(jié)果，以確保器件以后能用于高可靠 場(chǎng)合，必須用加速試驗(yàn)條件或足夠大的樣本來提供相應(yīng)的失效概率。該試驗(yàn)條件通常包括 電輸入、負(fù)載和偏置以及相應(yīng)的最高工作溫度或試驗(yàn)溫度等。隨著集成電路芯片的高速發(fā)展，集成電路芯片的復(fù)雜度進(jìn)一步提高，往往要求在 老化的過程中持續(xù)對(duì)芯片進(jìn)行監(jiān)測(cè)，對(duì)老化測(cè)試提出了更高的要求。因老化測(cè)試過程漫長(zhǎng)， 測(cè)試環(huán)境較為極端，這種情況下更希望能在老化測(cè)試過程中對(duì)異常情況做出及時(shí)反應(yīng)，否 則可能極易導(dǎo)致芯片的損壞或老化測(cè)試的失敗。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型提供一種老化測(cè)試系統(tǒng)，解決了現(xiàn)有老化測(cè)試箱中，對(duì)異常情況的反 應(yīng)較不及時(shí)的問題。為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供的一種老化測(cè)試系統(tǒng)，包括具有至少一個(gè)老化 測(cè)試板的老化測(cè)試箱、電源模塊、報(bào)警模塊，所述老化測(cè)試箱內(nèi)還具有至少一個(gè)加熱器或冷 卻裝置，以及至少一個(gè)用于檢測(cè)老化測(cè)試溫度值的溫度檢測(cè)器，在加熱情況下，當(dāng)所述老化 測(cè)試溫度值大于第一設(shè)定值時(shí)，所述報(bào)警模塊啟動(dòng)第一報(bào)警；當(dāng)所述老化測(cè)試溫度值大于 第二設(shè)定值時(shí)，所述報(bào)警模塊啟動(dòng)第二報(bào)警；在冷卻情況下，當(dāng)所述老化測(cè)試溫度值小于第 一設(shè)定值時(shí)，所述報(bào)警模塊啟動(dòng)第一報(bào)警；當(dāng)所述老化測(cè)試溫度值小于第二設(shè)定值時(shí)，所述報(bào)警模塊啟動(dòng)第二報(bào)警。其中，所述第一報(bào)警從聽覺和/或視覺上提示用戶；所述第二報(bào)警切斷所述電源 模塊對(duì)所述老化測(cè)試板的供電?？蛇x地，在加熱情況下，當(dāng)所述老化測(cè)試溫度值大于第三設(shè)定值時(shí)，所述報(bào)警模塊 啟動(dòng)第三報(bào)警，所述第三報(bào)警切斷所述電源模塊對(duì)所述老化測(cè)試箱的供電，且所述老化測(cè) 試溫度值大于第三設(shè)定值，指至少一個(gè)所述溫度檢測(cè)器檢測(cè)得到的老化測(cè)試溫度值大于第
三設(shè)定值?？蛇x地，所述第一報(bào)警從聽覺和/或視覺上提示用戶；所述第二報(bào)警切斷所述電 源模塊對(duì)所述老化測(cè)試箱的供電。其中，所述老化測(cè)試溫度值大于或小于第一設(shè)定值，指至少一個(gè)所述溫度檢測(cè)器 檢測(cè)得到的老化測(cè)試溫度值大于或小于第一設(shè)定值；所述老化測(cè)試溫度值大于或小于第二 設(shè)定值，指至少一個(gè)所述溫度檢測(cè)器檢測(cè)得到的老化測(cè)試溫度值大于或小于第二設(shè)定值?？蛇x地，在加熱情況下，當(dāng)經(jīng)過設(shè)定時(shí)間值后，所述老化測(cè)試溫度值仍小于第四設(shè) 定值時(shí)，所述報(bào)警模塊啟動(dòng)第四報(bào)警，從聽覺和/或視覺上提示用戶，且所述老化測(cè)試溫度 值小于第四設(shè)定值，指至少一個(gè)所述溫度檢測(cè)器檢測(cè)得到的老化測(cè)試溫度值小于第四設(shè)定 值；在冷卻情況下，當(dāng)經(jīng)過設(shè)定時(shí)間值后，所述老化測(cè)試溫度值仍大于第四設(shè)定值時(shí)，所述 報(bào)警模塊啟動(dòng)第四報(bào)警，從聽覺和/或視覺上提示用戶，且所述老化測(cè)試溫度值大于第四 設(shè)定值，指至少一個(gè)所述溫度檢測(cè)器檢測(cè)得到的老化測(cè)試溫度值大于第四設(shè)定值。其中，所述至少一個(gè)老化測(cè)試板沿所述老化測(cè)試箱橫向或縱向排列，且所述老化 測(cè)試箱內(nèi)設(shè)置有循環(huán)風(fēng)裝置，以在各老化測(cè)試板之間形成循環(huán)風(fēng)道。可選地，所述至少一個(gè)加熱器設(shè)置于所述老化測(cè)試箱的底部和/或所述老化測(cè)試 箱的風(fēng)道內(nèi)。且所述至少一個(gè)溫度檢測(cè)器位于所述老化測(cè)試箱的頂部或/和所述老化測(cè)試箱 中心區(qū)域，或均勻分布于所述老化測(cè)試箱內(nèi)。其中，所述報(bào)警模塊在電源輸出異?；驕y(cè)試結(jié)果異常時(shí)，從聽覺和/或視覺上提 示用戶。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)本實(shí)用新型的老化測(cè)試系統(tǒng)，在老化測(cè)試箱內(nèi)設(shè)置了自保護(hù)系統(tǒng)，其可以根據(jù)老 化測(cè)試過程中的異常情況做出不同的報(bào)警反應(yīng)，進(jìn)一步保護(hù)了待老化測(cè)試芯片。

圖1為現(xiàn)有的老化測(cè)試系統(tǒng)示意圖；圖2為現(xiàn)有的老化測(cè)試箱示意圖；圖3為說明本實(shí)用新型具體實(shí)施例中的老化測(cè)試系統(tǒng)的示意圖；圖4為說明本實(shí)用新型具體實(shí)施例中的老化測(cè)試箱結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為說明本實(shí)用新型具體實(shí)施例中的溫度控制示意圖。附圖標(biāo)記100 老化測(cè)試箱；101 測(cè)試和控制電路；210 老化測(cè)試板；220 老化測(cè)試插座；
4[0028]230 溫度檢測(cè)器；240 加熱器；310 老化測(cè)試箱；320 電源模塊；330 報(bào)警模塊；410 老化測(cè)試板；420 風(fēng)道；430 加熱器；440 溫度檢測(cè)器；510 控制電路；520 加熱器；530 溫度檢測(cè)器。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對(duì)本 實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
做詳細(xì)的說明。本實(shí)用新型的具體實(shí)施例可以被廣泛地應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域中，下面是通過較佳的實(shí) 施例來加以說明，當(dāng)然本實(shí)用新型并不局限于該具體實(shí)施例，本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員所 熟知的一般的替換無疑地涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。其次，本實(shí)用新型利用示意圖進(jìn)行了詳細(xì)描述，在詳述本實(shí)用新型實(shí)施例時(shí)，為了 便于說明，表示裝置結(jié)構(gòu)的示意圖會(huì)不依一般比例作局部放大，不應(yīng)以此作為對(duì)本實(shí)用新 型的限定。所謂老化測(cè)試，是在老化過程中需對(duì)老化的芯片持續(xù)進(jìn)行加電監(jiān)測(cè)的一種老化方 式，其對(duì)老化測(cè)試系統(tǒng)提出了更高的要求。以報(bào)警系統(tǒng)為例，傳統(tǒng)的老化測(cè)試系統(tǒng)中的報(bào)警 系統(tǒng)就已無法滿足要求。傳統(tǒng)老化測(cè)試系統(tǒng)也設(shè)置有報(bào)警系統(tǒng)，但該報(bào)警系統(tǒng)較為簡(jiǎn)單，只是在溫度出現(xiàn) 異常時(shí)，給予聽覺或視覺上的提示。一方面，因?yàn)槔匣瘻y(cè)試時(shí)間較長(zhǎng)，極可能出現(xiàn)報(bào)警時(shí)沒 有工作人員在場(chǎng)，無法及時(shí)處理，導(dǎo)致老化測(cè)試芯片損壞或老化測(cè)試系統(tǒng)損壞；另一方面， 其無法及時(shí)判定異常情況的嚴(yán)重程度，給工作人員較低的參考價(jià)值，工作人員在出現(xiàn)報(bào)警 異常情況時(shí)，往往只能斷電，導(dǎo)致已進(jìn)行較長(zhǎng)時(shí)間的老化測(cè)試工作功虧一簣。為了應(yīng)對(duì)集成電路器件的高速發(fā)展，本實(shí)用新型提出了一種新的老化測(cè)試系統(tǒng)， 其設(shè)置了具有自保護(hù)功能的報(bào)警模塊，可分不同情況執(zhí)行不同的報(bào)警行為，改進(jìn)了上述傳 統(tǒng)報(bào)警系統(tǒng)中的不足之處。圖3為說明本實(shí)用新型具體實(shí)施例中的老化測(cè)試系統(tǒng)的示意圖，圖4為說明本實(shí) 用新型具體實(shí)施例中的老化測(cè)試箱結(jié)構(gòu)示意圖，圖5為說明本實(shí)用新型具體實(shí)施例中的溫 度控制示意圖，下面結(jié)合圖3至圖5對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明。圖3為說明本實(shí)用新型具體實(shí)施例中的老化測(cè)試系統(tǒng)的示意圖，如圖3所示，本實(shí) 用新型的老化測(cè)試系統(tǒng)，包括具有至少一個(gè)老化測(cè)試板的老化測(cè)試箱310、電源模塊320、 報(bào)警模塊330，所述老化測(cè)試箱310內(nèi)還具有至少一個(gè)加熱器，以及至少一個(gè)用于檢測(cè)老化 測(cè)試溫度值的溫度檢測(cè)器，其中，當(dāng)所述老化測(cè)試溫度值大于第一設(shè)定值時(shí)，所述報(bào)警模塊 330啟動(dòng)第一報(bào)警；當(dāng)所述老化測(cè)試溫度值大于第二設(shè)定值時(shí)，所述報(bào)警模塊330啟動(dòng)第二 報(bào)警。圖4為說明本實(shí)用新型具體實(shí)施例中的老化測(cè)試箱結(jié)構(gòu)示意圖，如圖4所示，在老 化測(cè)試箱內(nèi)設(shè)置有至少一個(gè)老化測(cè)試板410，各老化測(cè)試板410可以沿所述老化測(cè)試箱縱 向排列(如圖4所示，即平行于老化測(cè)試箱底部排列)或沿所述老化測(cè)試箱橫向排列(未示 出，即垂直于老化測(cè)試箱底部排列)，每個(gè)老化測(cè)試板410上可安裝多個(gè)老化測(cè)試插座(未示出)，如16個(gè)、32個(gè)等。本實(shí)用新型的具體實(shí)施例中，在老化測(cè)試箱的底部設(shè)置了 一個(gè)加熱器430，其位于 老化測(cè)試箱的下部，將熱量向上傳送至老化測(cè)試箱內(nèi)部，在循環(huán)氣流的帶動(dòng)下對(duì)老化測(cè)試 箱進(jìn)行整體加熱。在本實(shí)用新型的其它實(shí)施例中，還可以設(shè)置一個(gè)以上的加熱器，如2、3、4、5、8、10 個(gè)等，可將其均勻設(shè)置于老化測(cè)試箱內(nèi)，如分別設(shè)置于老化測(cè)試箱底部或循環(huán)風(fēng)道內(nèi)，以更 均勻地實(shí)現(xiàn)加熱。例如，除在老化測(cè)試箱下方設(shè)置一個(gè)外，還可以在兩側(cè)的風(fēng)道內(nèi)分別均勻 設(shè)置2至3個(gè)加熱器340。此外，還可以在老化測(cè)試箱的中心或頂部風(fēng)道內(nèi)設(shè)置加熱器，具 體地，可根據(jù)老化測(cè)試箱內(nèi)的氣流分布情況而定，以達(dá)到均勻控制老化測(cè)試箱內(nèi)溫度的目 的。本實(shí)施例中，在老化測(cè)試箱中設(shè)置有循環(huán)風(fēng)裝置，該循環(huán)風(fēng)裝置可以為一或多個(gè) 風(fēng)扇，其安裝于老化測(cè)試箱的底部和/或側(cè)部，改變老化測(cè)試箱內(nèi)的氣流流向，在老化測(cè)試 箱內(nèi)形成循環(huán)氣流，令老化測(cè)試箱內(nèi)的溫度分布較為均勻。具體地，在老化測(cè)試箱的兩側(cè)設(shè) 計(jì)有循環(huán)熱風(fēng)風(fēng)道，熱風(fēng)由老化測(cè)試箱底部和/或兩側(cè)部位產(chǎn)生，經(jīng)過兩側(cè)風(fēng)道平行吹過 各老化測(cè)試板410為老化測(cè)試器件加熱，各加熱器430的設(shè)定溫度可以為老化測(cè)試箱的溫 度設(shè)定值，其通常是根據(jù)老化測(cè)試器件的老化溫度要求而設(shè)定，可以在20°C -250°C之間， 如為 20°C、100°C、150°C、200°C或 2500C0在老化測(cè)試箱內(nèi)還設(shè)置有溫度檢測(cè)器440，其可以為一個(gè)或多個(gè)。所述至少一個(gè)溫 度檢測(cè)器位于所述老化測(cè)試箱的頂部或/和所述老化測(cè)試箱中心區(qū)域，或均勻分布于所述 老化測(cè)試箱內(nèi)。本實(shí)施例中，如圖4所示，在老化測(cè)試箱頂部設(shè)置了 一個(gè)溫度檢測(cè)器440。該 溫度檢測(cè)器440檢測(cè)所述老化測(cè)試箱內(nèi)的溫度，得到溫度檢測(cè)值，該溫度檢測(cè)值傳送至老 化測(cè)試系統(tǒng)的控制電路，與老化測(cè)試箱的溫度設(shè)定值相比較，若溫度檢測(cè)值大于該設(shè)定值， 則關(guān)閉老化測(cè)試箱的加熱器430 ；若溫度檢測(cè)值小于該設(shè)定值，則啟動(dòng)(或不關(guān)閉)老化測(cè) 試箱的加熱器430。在本實(shí)用新型的其它實(shí)施例中，還可以設(shè)置兩個(gè)溫度設(shè)定值當(dāng)所述溫度檢測(cè)值 大于第一溫度設(shè)定值時(shí)，關(guān)閉老化測(cè)試箱的加熱器430 ；當(dāng)溫度檢測(cè)值小于第二溫度設(shè)定 值時(shí)，開啟或不關(guān)閉老化測(cè)試箱的加熱器430。此時(shí)，第二溫度設(shè)定值通常可設(shè)置得大于第 一溫度設(shè)定值，如第一溫度設(shè)定值為140°C，第二溫度設(shè)定值為145°C;或第一溫度設(shè)定值為 135°C，第二溫度設(shè)定值為138°C等。圖5為說明本實(shí)用新型具體實(shí)施例中的溫度控制示意圖，如圖5所示，控制電路 510分別根據(jù)各溫度檢測(cè)器530檢測(cè)得到的老化測(cè)試溫度值控制各加熱器520的啟動(dòng)或關(guān) 閉。其可以統(tǒng)一控制各加熱器，也可以根據(jù)區(qū)域，分別根據(jù)各區(qū)域內(nèi)的溫度檢測(cè)器檢測(cè)結(jié)果 控制各區(qū)域內(nèi)的加熱器。本實(shí)施例中，報(bào)警模塊330通過分析老化測(cè)試箱內(nèi)的各溫度檢測(cè)器檢測(cè)得到的老 化測(cè)試溫度值，確定不同的報(bào)警等級(jí)，做出不同的報(bào)警行為，為工作人員提供了更為詳盡的 參考，并預(yù)留了一定的反應(yīng)處理時(shí)間。具體的報(bào)警等級(jí)的劃分，可以根據(jù)實(shí)際應(yīng)用(如老化測(cè)試溫度設(shè)定值、老化測(cè)試 芯片的發(fā)熱量、耐熱性等)而設(shè)定。下面舉例介紹某些不同的報(bào)警等級(jí)分類方法。A、兩級(jí)報(bào)警情況[0051]當(dāng)溫度檢測(cè)器檢測(cè)得到的老化測(cè)試溫度值大于第一設(shè)定值時(shí)，所述報(bào)警模塊啟動(dòng) 第一報(bào)警；當(dāng)所述老化測(cè)試溫度值大于第二設(shè)定值時(shí)，所述報(bào)警模塊啟動(dòng)第二報(bào)警。其中，所述第一報(bào)警僅從聽覺和/或視覺上提示用戶；所述第二報(bào)警不僅從聽覺 和/或視覺上提示用戶，還切斷所述電源模塊對(duì)老化測(cè)試箱的供電。具體舉例說明如下，假設(shè)老化測(cè)試箱內(nèi)設(shè)定的工作溫度值為125°C，第一設(shè)定值為 130°C，則當(dāng)溫度檢測(cè)器檢測(cè)得到的老化測(cè)試溫度值大于130°C時(shí)，報(bào)警模塊330啟動(dòng)蜂鳴 器和/或報(bào)警燈提示異常，并可以同時(shí)在人_機(jī)交互界面中提示實(shí)際檢測(cè)到的老化測(cè)試溫 度。這一報(bào)警等級(jí)適用于溫度超出設(shè)定值不太多，不會(huì)導(dǎo)致老化測(cè)試芯片損壞的情況，其作 用為提示工作人員注意密切關(guān)注老化測(cè)試箱后續(xù)的溫度變化，如果需要的話，做一些相應(yīng) 的檢查，及早發(fā)現(xiàn)老化測(cè)試設(shè)備中可能出現(xiàn)的問題，并盡早解決。假設(shè)第二設(shè)定值為150°C，則當(dāng)溫度檢測(cè)器檢測(cè)得到的老化測(cè)試溫度值大于 150°C時(shí)，報(bào)警模塊330不僅會(huì)啟動(dòng)蜂鳴器和/或報(bào)警燈提示異常(并可以同時(shí)在人_機(jī)交 互界面中提示實(shí)際檢測(cè)到的老化測(cè)試溫度值)，還會(huì)切斷電源模塊320對(duì)老化測(cè)試箱310的 供電。這一報(bào)警等級(jí)適用于溫度超出設(shè)定值過多，為防止工作人員未在場(chǎng)或未及時(shí)處理而 導(dǎo)致老化測(cè)試芯片損壞甚至老化測(cè)試設(shè)備損壞，此時(shí)應(yīng)當(dāng)自動(dòng)斷電，實(shí)現(xiàn)對(duì)老化測(cè)試芯片 或老化測(cè)試設(shè)備的自保護(hù)，防止損失的發(fā)生。其中，本實(shí)施例中，所述老化測(cè)試溫度值大于第一設(shè)定值，指至少一個(gè)所述溫度檢 測(cè)器檢測(cè)得到的老化測(cè)試溫度值大于第一設(shè)定值；所述老化測(cè)試溫度值大于第二設(shè)定值， 指至少一個(gè)所述溫度檢測(cè)器檢測(cè)得到的老化測(cè)試溫度值大于第二設(shè)定值。在本實(shí)用新型的其它實(shí)施例中，當(dāng)有兩個(gè)以上溫度檢測(cè)器時(shí)，考慮到可能存在一 個(gè)溫度檢測(cè)器檢測(cè)錯(cuò)誤的情況，對(duì)于老化測(cè)試溫度值大于第二設(shè)定值，也可以設(shè)定為至少 兩個(gè)所述溫度檢測(cè)器檢測(cè)得到的老化測(cè)試溫度值大于第二設(shè)定值。(因?yàn)閷?duì)于第一報(bào)警等 級(jí)而言，即使是因溫度檢測(cè)器檢測(cè)錯(cuò)誤而引起，也會(huì)導(dǎo)致老化測(cè)試箱內(nèi)溫度偏離溫度設(shè)定 值，使老化測(cè)試結(jié)果不準(zhǔn)確，還是需提醒工作人員處理；而對(duì)于第二報(bào)警等級(jí)而言，考慮到 斷電后果嚴(yán)重，需排除一個(gè)溫度檢測(cè)器檢測(cè)錯(cuò)誤的情況)。B、三級(jí)報(bào)警情況當(dāng)溫度檢測(cè)器檢測(cè)得到的老化測(cè)試溫度值大于第一設(shè)定值時(shí)，所述報(bào)警模塊啟動(dòng) 第一報(bào)警；當(dāng)所述老化測(cè)試溫度值大于第二設(shè)定值時(shí)，所述報(bào)警模塊啟動(dòng)第二報(bào)警；當(dāng)所 述老化測(cè)試溫度值大于第三設(shè)定值時(shí)，所述報(bào)警模塊啟動(dòng)第三報(bào)警，所述第一報(bào)警僅從聽 覺和/或視覺上提示用戶；所述第二報(bào)警不僅從聽覺和/或視覺上提示用戶，還切斷所述電 源模塊對(duì)所述老化測(cè)試板的供電，所述第三報(bào)警不僅從聽覺和/或視覺上提示用戶，還切 斷所述電源模塊對(duì)所述老化測(cè)試箱的供電。具體舉例說明如下，假設(shè)老化測(cè)試箱內(nèi)設(shè)定的工作溫度值為125°C，第一設(shè)定值為 130°C，則當(dāng)溫度檢測(cè)器檢測(cè)得到的老化測(cè)試溫度值大于130°C時(shí)，報(bào)警模塊330啟動(dòng)蜂鳴 器和/或報(bào)警燈提示異常，并可以同時(shí)在人_機(jī)交互界面中提示實(shí)際檢測(cè)到的老化測(cè)試溫 度。這一報(bào)警等級(jí)適用于溫度超出設(shè)定值不太多的情況，其作用為提示工作人員注意密切 關(guān)注老化測(cè)試箱后續(xù)的溫度變化。假設(shè)第二設(shè)定值為140°C，則當(dāng)溫度檢測(cè)器檢測(cè)得到的老化測(cè)試溫度值大于 140°C時(shí)，報(bào)警模塊330可以啟動(dòng)蜂鳴器和/或報(bào)警燈提示異常(并可以同時(shí)在人_機(jī)交互界面中提示實(shí)際檢測(cè)到的老化測(cè)試溫度值)，同時(shí)還切斷電源模塊320對(duì)老化測(cè)試板的供 H1^ ο這一報(bào)警等級(jí)適用于溫度超出設(shè)定值較多，已可能導(dǎo)致老化測(cè)試芯片損壞的情 況。此時(shí)，先切斷對(duì)老化測(cè)試板的供電，停止對(duì)老化測(cè)試芯片的加電，也就去除了老化測(cè)試 芯片因加電測(cè)試而產(chǎn)生的熱量(尤其是大功率芯片，這一熱量也是相當(dāng)?shù)目捎^)，可以延緩 高溫而導(dǎo)致的老化測(cè)試芯片的損壞，給工作人員預(yù)留一定的處理時(shí)間。這一報(bào)警等級(jí)下，因 加熱器等仍在正常工作，仍能維持老化測(cè)試箱內(nèi)的溫度，不會(huì)導(dǎo)致老化過程的中止，只是暫 時(shí)停止了在老化過程中對(duì)芯片的供電。若是因?yàn)闇囟葯z測(cè)器檢測(cè)錯(cuò)誤而導(dǎo)致的這一異常情 況出現(xiàn)，則可以在確定原因后，繼續(xù)老化測(cè)試的進(jìn)行，避免重新進(jìn)行老化測(cè)試，節(jié)約了時(shí)間。假設(shè)第三設(shè)定值為150°C，則當(dāng)溫度檢測(cè)器檢測(cè)得到的老化測(cè)試溫度值大于 150°C時(shí)，報(bào)警模塊330可以啟動(dòng)蜂鳴器和/或報(bào)警燈提示異常(并可以同時(shí)在人_機(jī)交互 界面中提示實(shí)際檢測(cè)到的老化測(cè)試溫度值)，同時(shí)切斷電源模塊320對(duì)老化測(cè)試箱310的供 電。這一報(bào)警等級(jí)適用于溫度超出設(shè)定值過多，為防止工作人員未在場(chǎng)或未及時(shí)處理而導(dǎo) 致老化測(cè)試芯片損壞甚至老化測(cè)試設(shè)備損壞，此時(shí)應(yīng)當(dāng)自動(dòng)斷電，實(shí)現(xiàn)對(duì)老化測(cè)試芯片或 老化測(cè)試設(shè)備的自保護(hù)，防止損失的發(fā)生。其中，本實(shí)施例中，所述老化測(cè)試溫度值大于第一設(shè)定值，指至少一個(gè)所述溫度檢 測(cè)器檢測(cè)得到的老化測(cè)試溫度值大于第一設(shè)定值；所述老化測(cè)試溫度值大于第二設(shè)定值， 指至少一個(gè)所述溫度檢測(cè)器檢測(cè)得到的老化測(cè)試溫度值大于第二設(shè)定值；所述老化測(cè)試溫 度值大于第三設(shè)定值，指至少一個(gè)所述溫度檢測(cè)器檢測(cè)得到的老化測(cè)試溫度值大于第三設(shè) 定值。同理，在本實(shí)用新型的其它實(shí)施例中，也可以將第二、第三報(bào)警等級(jí)下的上述設(shè)定 改為至少兩個(gè)溫度檢測(cè)器檢測(cè)得到的老化測(cè)試溫度值大于第二或第三設(shè)定值。另外，在實(shí)用新型的其它實(shí)施例中，也可以只設(shè)定B類情況中的第一、第二報(bào)警等 級(jí)。C、三或四級(jí)報(bào)警情況這種情況是與A、B兩種情況的結(jié)合，即其可以在前兩種報(bào)警等級(jí)的劃分情況下， 再加入一種報(bào)警等級(jí)當(dāng)經(jīng)過設(shè)定時(shí)間值后，所述老化測(cè)試溫度值仍小于第四設(shè)定值時(shí)，所 述報(bào)警模塊啟動(dòng)第四報(bào)警，從聽覺和/或視覺上提示用戶。如，在經(jīng)過預(yù)先設(shè)定的時(shí)間值(如半小時(shí))后，溫度檢測(cè)器檢測(cè)得到的老化測(cè)試溫 度值仍低于120°C時(shí)，報(bào)警模塊330可以啟動(dòng)蜂鳴器和/或報(bào)警燈提示異常，并可以同時(shí)在 人-機(jī)交互界面中提示實(shí)際檢測(cè)到的老化測(cè)試溫度值。這一報(bào)警等級(jí)適用于加熱器或溫度 檢測(cè)器出現(xiàn)異常，導(dǎo)致檢測(cè)得到的老化測(cè)試溫度值長(zhǎng)時(shí)間低于溫度設(shè)定值或范圍的情況。本實(shí)施例中，所述老化測(cè)試溫度值小于第四設(shè)定值，指至少一個(gè)所述溫度檢測(cè)器 檢測(cè)得到的老化測(cè)試溫度值小于第四設(shè)定值。此外，本實(shí)用新型的報(bào)警模塊還可以在電源輸出異?；驕y(cè)試結(jié)果異常時(shí)，從聽覺 和/或視覺上提示用戶。本實(shí)用新型除了可用于上述高溫下的老化測(cè)試，還可以用于低溫下的老化測(cè)試， 此時(shí)，老化測(cè)試箱內(nèi)的加熱器可被冷卻裝置所替代。例如，可以是在老化測(cè)試箱壁或老化測(cè) 試箱內(nèi)設(shè)置管道，其內(nèi)通有液氮或液氦等低溫液體，實(shí)現(xiàn)對(duì)老化測(cè)試箱內(nèi)器件的冷卻。[0072]此時(shí)的老化測(cè)試系統(tǒng)，包括具有至少一個(gè)老化測(cè)試板的老化測(cè)試箱310、電源模塊 320、報(bào)警模塊330，所述老化測(cè)試箱310內(nèi)還具有至少一個(gè)冷卻裝置，以及至少一個(gè)用于檢 測(cè)老化測(cè)試溫度值的溫度檢測(cè)器，其中，當(dāng)所述老化測(cè)試溫度值小于第一設(shè)定值時(shí)，所述報(bào) 警模塊330啟動(dòng)第一報(bào)警；當(dāng)所述老化測(cè)試溫度值小于第二設(shè)定值時(shí)，所述報(bào)警模塊330啟
動(dòng)第二報(bào)警。且第二設(shè)定值小于第一設(shè)定值。此外，低溫老化時(shí)也可以加入上述類似的一種報(bào)警等級(jí)當(dāng)經(jīng)過設(shè)定時(shí)間值后，所 述老化測(cè)試溫度值仍大于某一設(shè)定值時(shí)，所述報(bào)警模塊啟動(dòng)報(bào)警，從聽覺和/或視覺上提 示用戶。如，在經(jīng)過預(yù)先設(shè)定的時(shí)間值(如半小時(shí))后，溫度檢測(cè)器檢測(cè)得到的老化測(cè)試 溫度值仍高于0°c時(shí)，報(bào)警模塊330可以啟動(dòng)蜂鳴器和/或報(bào)警燈提示異常，并可以同時(shí)在 人_機(jī)交互界面中提示實(shí)際檢測(cè)到的老化測(cè)試溫度值。這一報(bào)警等級(jí)適用于冷卻裝置或 溫度檢測(cè)器出現(xiàn)異常，導(dǎo)致檢測(cè)得到的老化測(cè)試溫度值長(zhǎng)時(shí)間高于溫度設(shè)定值或范圍的情 況。低溫老化報(bào)警裝置的工作原理與上述高溫老化情況類似，在上述高溫老化報(bào)警裝 置實(shí)施例的啟示下，結(jié)合上述說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)可以實(shí)現(xiàn)，在此不再贅述。本實(shí)用新型雖然以較佳實(shí)施例公開如上，但其并不是用來限定本實(shí)用新型，任何 本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，都可以做出可能的變動(dòng)和修改，因 此本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以本實(shí)用新型權(quán)利要求所界定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求一種老化測(cè)試系統(tǒng)，包括具有至少一個(gè)老化測(cè)試板的老化測(cè)試箱、電源模塊、報(bào)警模塊，所述老化測(cè)試箱內(nèi)還具有至少一個(gè)加熱器或冷卻裝置，以及至少一個(gè)用于檢測(cè)老化測(cè)試溫度值的溫度檢測(cè)器，其特征在于在加熱情況下，當(dāng)所述老化測(cè)試溫度值大于第一設(shè)定值時(shí)，所述報(bào)警模塊啟動(dòng)第一報(bào)警；當(dāng)所述老化測(cè)試溫度值大于第二設(shè)定值時(shí)，所述報(bào)警模塊啟動(dòng)第二報(bào)警；在冷卻情況下，當(dāng)所述老化測(cè)試溫度值小于第一設(shè)定值時(shí)，所述報(bào)警模塊啟動(dòng)第一報(bào)警；當(dāng)所述老化測(cè)試溫度值小于第二設(shè)定值時(shí)，所述報(bào)警模塊啟動(dòng)第二報(bào)警。
2.如權(quán)利要求1所述的老化測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于所述第一報(bào)警從聽覺和/或視覺 上提示用戶；所述第二報(bào)警切斷所述電源模塊對(duì)所述老化測(cè)試板的供電。
3.如權(quán)利要求2所述的老化測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于在加熱情況下，當(dāng)所述老化測(cè)試溫 度值大于第三設(shè)定值時(shí)，所述報(bào)警模塊啟動(dòng)第三報(bào)警，所述第三報(bào)警切斷所述電源模塊對(duì) 所述老化測(cè)試箱的供電，且所述老化測(cè)試溫度值大于第三設(shè)定值，指至少一個(gè)所述溫度檢 測(cè)器檢測(cè)得到的老化測(cè)試溫度值大于第三設(shè)定值。
4.如權(quán)利要求1所述的老化測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于所述第一報(bào)警從聽覺和/或視覺 上提示用戶；所述第二報(bào)警切斷所述電源模塊對(duì)所述老化測(cè)試箱的供電。
5.如權(quán)利要求1或2或3或4所述的老化測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于所述老化測(cè)試溫度 值大于或小于第一設(shè)定值，指至少一個(gè)所述溫度檢測(cè)器檢測(cè)得到的老化測(cè)試溫度值大于或 小于第一設(shè)定值；所述老化測(cè)試溫度值大于或小于第二設(shè)定值，指至少一個(gè)所述溫度檢測(cè) 器檢測(cè)得到的老化測(cè)試溫度值大于或小于第二設(shè)定值。
6.如權(quán)利要求5所述的老化測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于在加熱情況下，當(dāng)經(jīng)過設(shè)定時(shí)間值 后，所述老化測(cè)試溫度值仍小于第四設(shè)定值時(shí)，所述報(bào)警模塊啟動(dòng)第四報(bào)警，從聽覺和/或 視覺上提示用戶，且所述老化測(cè)試溫度值小于第四設(shè)定值，指至少一個(gè)所述溫度檢測(cè)器檢 測(cè)得到的老化測(cè)試溫度值小于第四設(shè)定值；在冷卻情況下，當(dāng)經(jīng)過設(shè)定時(shí)間值后，所述老化 測(cè)試溫度值仍大于第四設(shè)定值時(shí)，所述報(bào)警模塊啟動(dòng)第四報(bào)警，從聽覺和/或視覺上提示 用戶，且所述老化測(cè)試溫度值大于第四設(shè)定值，指至少一個(gè)所述溫度檢測(cè)器檢測(cè)得到的老 化測(cè)試溫度值大于第四設(shè)定值。
7.如權(quán)利要求6所述的老化測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于所述至少一個(gè)老化測(cè)試板沿所述 老化測(cè)試箱橫向或縱向排列，且所述老化測(cè)試箱內(nèi)設(shè)置有循環(huán)風(fēng)裝置，以在各老化測(cè)試板 之間形成循環(huán)風(fēng)道。
8.如權(quán)利要求7所述的老化測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于所述至少一個(gè)加熱器設(shè)置于所述 老化測(cè)試箱的底部和/或所述老化測(cè)試箱的風(fēng)道內(nèi)。
9.如權(quán)利要求8所述的老化測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于所述至少一個(gè)溫度檢測(cè)器位于所 述老化測(cè)試箱的頂部或/和所述老化測(cè)試箱中心區(qū)域，或均勻分布于所述老化測(cè)試箱內(nèi)。
10.如權(quán)利要求1所述的老化測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于所述報(bào)警模塊在電源輸出異常或 測(cè)試結(jié)果異常時(shí)，從聽覺和/或視覺上提示用戶。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種老化測(cè)試系統(tǒng)，包括具有至少一個(gè)老化測(cè)試板的老化測(cè)試箱、電源模塊、報(bào)警模塊，所述老化測(cè)試箱內(nèi)還具有至少一個(gè)加熱器，以及至少一個(gè)用于檢測(cè)老化測(cè)試溫度值的溫度檢測(cè)器，其中，當(dāng)所述老化測(cè)試溫度值大于第一設(shè)定值時(shí)，所述報(bào)警模塊啟動(dòng)第一報(bào)警；當(dāng)所述老化測(cè)試溫度值大于第二設(shè)定值時(shí)，所述報(bào)警模塊啟動(dòng)第二報(bào)警。本實(shí)用新型的老化測(cè)試系統(tǒng)設(shè)置了自保護(hù)系統(tǒng)，其可以根據(jù)老化測(cè)試過程中的異常情況做出不同的報(bào)警反應(yīng)，進(jìn)一步保護(hù)了待老化測(cè)試芯片。
文檔編號(hào)G01R31/28GK201716396SQ20102020750
公開日2011年1月19日 申請(qǐng)日期2010年5月27日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月27日
發(fā)明者沈沖, 王斌, 羨迪新, 陳劍晟, 陳馳, 高建輝 申請(qǐng)人:北京新潤(rùn)泰思特測(cè)控技術(shù)有限公司