專利名稱：基于橢圓柱內(nèi)反射鏡的位移檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光電檢測(cè)領(lǐng)域，使用光學(xué)成像原理來檢測(cè)待測(cè)物體相對(duì)位移的非接觸 的位移檢測(cè)裝置。
背景技術(shù)：
光電檢測(cè)技術(shù)是一種非接觸測(cè)量的高新技術(shù)，它以光信號(hào)為載體，以光電器件為 基礎(chǔ)，通過對(duì)載有被測(cè)物體幾何量或物理量的光信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)、分析，而得到被測(cè)物體的幾 何參數(shù)，即通過光電檢測(cè)器件接收光信號(hào)并轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，由輸入電路、放大濾波等檢測(cè)電 路提取有用信息，再經(jīng)A/D變換接口輸入計(jì)算機(jī)運(yùn)算、處理，最后顯示或打印輸出所需檢測(cè) 物體的幾何量或物理量等參數(shù)。本發(fā)明涉及光學(xué)、激光技術(shù)、精密機(jī)械、電子學(xué)、光電傳感技 術(shù)和計(jì)算機(jī)技術(shù)等多學(xué)科技術(shù)領(lǐng)域，是光、機(jī)、電、算一體化檢測(cè)儀器和設(shè)備，具有高速度、 高精度、非接觸、便于數(shù)字化、便于計(jì)算機(jī)實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)處理和控制、抗干擾能力強(qiáng)、可實(shí)現(xiàn)在線 檢測(cè)等特點(diǎn)，可滿足現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)發(fā)展的需要，其應(yīng)用領(lǐng)域幾乎可以覆蓋所有制造業(yè)，應(yīng)用 前景十分廣闊，對(duì)提高產(chǎn)品質(zhì)量、提高生產(chǎn)效率、降低勞動(dòng)強(qiáng)度、提高經(jīng)濟(jì)效益具有重要意 義。隨著現(xiàn)代化生產(chǎn)和加工技術(shù)的發(fā)展，對(duì)于加工零件的檢測(cè)速度與精度有了更高的 要求，向著高速度、高精度、非接觸和在線檢測(cè)的方向發(fā)展。目前國(guó)內(nèi)外對(duì)基于光電檢測(cè)技 術(shù)的非接觸位移檢測(cè)技術(shù)進(jìn)行了大量研究。中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)提出了基于CCD的光纖式 位移檢測(cè)技術(shù)，檢測(cè)系統(tǒng)的發(fā)射部分安裝在待測(cè)的運(yùn)動(dòng)件上，檢測(cè)系統(tǒng)采用面陣CCD攝像 機(jī)獲取被測(cè)光纖端部出射光斑圖像的灰度分布，由灰度加權(quán)平均法提取光斑的特征點(diǎn)，通 過檢測(cè)特征點(diǎn)的位移獲得光纖的位移，從而得到被測(cè)件的位移，系統(tǒng)的穩(wěn)定性為1. 5 μ m，系 統(tǒng)達(dá)到亞像元級(jí)的分辨率(參見“基于CXD的光纖式位移檢測(cè)技術(shù)”，李為民，俞巧云，胡紅 專等。中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)學(xué)報(bào)，第33卷，第1期，2003)。還有南京航空航天大學(xué)航空宇航 學(xué)院也提出了一種利用光反射原理測(cè)量小位移的新方法，利用玻璃球鏡面(鏡面鍍有增強(qiáng) 光反射涂層)光反射原理，當(dāng)光沿著水平方向照射到球形玻璃面上時(shí)，入射光會(huì)反射回來，
此時(shí)，當(dāng)玻璃球進(jìn)行上下垂直運(yùn)動(dòng)(移動(dòng)量程〈二球半徑)時(shí)，會(huì)引起入射光入射角發(fā)生改
變，其反射光反射方向隨之發(fā)生改變，這樣便可以利用入射光與反射光之間距離的差值來 進(jìn)行小位移量測(cè)量，測(cè)量精度較高，實(shí)現(xiàn)容易，成本較低(參見“一種利用光反射原理測(cè)量 小位移的新方法”，陳仁文，孫亞飛，陳勇；光譜學(xué)與光譜分析，第24卷，第1期，2004)。上述二份文獻(xiàn)中，前者要把發(fā)射器安裝到待測(cè)物體上，后者要把玻璃球固定到待 測(cè)物體上，這樣的測(cè)量方式對(duì)于很多情況是不適用的。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的是提供一種基于橢圓柱內(nèi)反射鏡的非接觸位移檢測(cè)裝置，該裝 置操作簡(jiǎn)單，檢測(cè)精度高。
3
本發(fā)明提供的一種基于橢圓柱內(nèi)反射鏡的位移檢測(cè)裝置，其特征在于，該裝置包 括點(diǎn)光源激光器、凸透鏡、橢圓柱內(nèi)反射鏡和線陣感光元件；凸透鏡只留有光心透光區(qū)和環(huán)形透光區(qū)，其余部分涂有不透光膜；橢圓柱內(nèi)反射鏡的外表面鍍金屬反射膜，其形狀為部分截除的橢圓柱體，截面S 過橢圓柱內(nèi)反射鏡的第二焦線，該截面平行于橢圓柱內(nèi)反射鏡的短軸B，在橢圓柱內(nèi)反射 鏡的第一焦線處開有直徑為0. 2mm 0. 5mm的通孔，通孔內(nèi)涂有光致發(fā)光物質(zhì)或漫反射材 料；線陣感光元件粘結(jié)在截面S上，且線陣感光元件的感光面貼近橢圓柱內(nèi)反射鏡， 且與截面S及第一焦線平行，并使線陣感光元件的兩外表面P、Q與橢圓柱內(nèi)反射鏡的兩焦 線所在平面對(duì)稱，使線陣感光元件上的感光元素充分接受反射光；橢圓柱內(nèi)反射鏡與激光器位于凸透鏡的同一側(cè)，點(diǎn)光源激光器放在凸透鏡的光軸 上，使其發(fā)出的光平行于凸透鏡的光軸，橢圓柱內(nèi)反射鏡的第一焦線上涂有光致發(fā)光物質(zhì) 或漫反射材料，且第一焦線與凸透鏡的主光軸重合；激光器位于凸透鏡與橢圓柱內(nèi)反射鏡之間，點(diǎn)光源激光器前端面與凸透鏡的距 離S應(yīng)根據(jù)點(diǎn)光源激光器的工作距離Stl和待測(cè)物體與凸透鏡的平均距離:T確定，它們滿足 s = -廠的關(guān)系；設(shè)f為凸透鏡的焦距，1為待測(cè)物體與凸透鏡光心的距離，f和1滿足f彡1彡2f ；匯聚點(diǎn)是指點(diǎn)光源激光器發(fā)射的光線，透過凸透鏡的光心透光區(qū)，經(jīng)待測(cè)物體漫 反射后，透過環(huán)形透光區(qū)在凸透鏡的光軸上的匯聚點(diǎn)。設(shè)Γ為匯聚點(diǎn)在凸透鏡的光軸上的 移動(dòng)范圍，線陣感光元件的長(zhǎng)度至少應(yīng)大于光軸上光線匯聚點(diǎn)的最大移動(dòng)范圍2 3mm，橢 圓柱內(nèi)反射鏡的長(zhǎng)度等于線陣感光元件的長(zhǎng)度，并根據(jù)Γ的范圍來確定橢圓柱內(nèi)反射鏡 的前端面與凸透鏡光心的距離 ， 比1' min小1 2mm，其中1' min為匯聚點(diǎn)在凸透鏡的 光軸上的移動(dòng)范圍中的最小值；點(diǎn)光源激光器的形狀為圓柱形，其直徑為d，點(diǎn)光源激光器的后端面與凸透鏡光 心的距離為a1;凸透鏡的光心透光區(qū)大小為直徑為1. 5mm 2. 5mm，環(huán)形透光區(qū)的寬度為
, dV
1. 5mm 2. 5mm,凸透鏡的環(huán)形透光區(qū)的內(nèi)環(huán)直徑(I1滿足如下關(guān)系A(chǔ) ^7, mm，根據(jù)凸透
廠一
鏡的環(huán)形透光區(qū)的寬度確定凸透鏡的環(huán)形透光區(qū)的外環(huán)直徑d2 ；凸透鏡的外徑(13比環(huán)形透 光區(qū)的外環(huán)直徑d2大4 5mm ；橢圓柱內(nèi)反射鏡短軸B的長(zhǎng)度2b與長(zhǎng)軸A的長(zhǎng)度2a的比例！在#之間，橢圓
α 3 3
dAV -αΛ
柱內(nèi)反射鏡長(zhǎng)軸A的長(zhǎng)度2a應(yīng)滿足 > 2V J "+c，1' max為匯聚點(diǎn)在凸透鏡的光軸
max
上的移動(dòng)范圍中的最大值，2c為橢圓柱內(nèi)反射鏡兩焦線的距離。本發(fā)明利用點(diǎn)光源激光器、凸透鏡、橢圓柱內(nèi)反射鏡、光致發(fā)光物質(zhì)(或漫反射材 料)和線陣感光元件組成非接觸式位移檢測(cè)裝置，橢圓柱內(nèi)反射鏡具有兩條平行的焦線， 在本發(fā)明中橢圓的第一焦線與凸透鏡的主光軸重合，第二焦線與線陣感光元件重合。本位 移檢測(cè)裝置對(duì)待測(cè)物體的位移有放大作用，對(duì)待測(cè)物體的位移檢測(cè)精度高，而且利用物體 表面對(duì)光線的漫反射進(jìn)行檢測(cè)，不需接觸到待測(cè)物體，可用于運(yùn)動(dòng)范圍小，要求檢測(cè)精度高的場(chǎng)合?？傊?，本發(fā)明裝置可對(duì)待檢測(cè)物體的相對(duì)位移進(jìn)行非接觸測(cè)量，測(cè)量精度高，結(jié)構(gòu) 簡(jiǎn)單，操作方便。


圖1是本發(fā)明裝置的光路圖；圖2是本發(fā)明裝置的凸透鏡外形圖，(2a)為主視圖，(2b)為左視圖；圖3是本發(fā)明裝置的橢圓柱內(nèi)反射鏡、光致發(fā)光物質(zhì)(或漫反射材料)與線陣 CCD(或線陣DSP)結(jié)構(gòu)圖，(3a)為橢圓柱內(nèi)反射鏡的截面圖，(3b)為橢圓柱內(nèi)反射鏡的的 立體圖，(3c)為橢圓柱內(nèi)反射鏡的制作過程。圖4是本發(fā)明裝置的橢圓柱內(nèi)反射鏡光路圖；圖5是本發(fā)明裝置的線陣感光元件上光強(qiáng)分布圖。
具體實(shí)施例方式在實(shí)際測(cè)量中，利用點(diǎn)光源激光器發(fā)出來的光透過凸透鏡光心透光區(qū)，投射到待 測(cè)物體表面上形成小光斑并產(chǎn)生漫反射，漫反射后的一部分光透過凸透鏡的環(huán)形透光區(qū)并 在凸透鏡另一側(cè)的光軸(即橢圓柱的第一焦線)上匯聚于一點(diǎn)，這時(shí)匯聚點(diǎn)處的光致發(fā)光 物質(zhì)(或漫反射材料)發(fā)出(反射)的光，通過橢圓柱內(nèi)反射鏡使光線匯聚于置有線陣感光 元件的第二焦線上，通過檢測(cè)線陣感光元件上光信號(hào)最強(qiáng)點(diǎn)的位置的變化，即可確定待測(cè) 物體的位移甚至絕對(duì)位置。設(shè)f為凸透鏡的焦距，1為待測(cè)物體與凸透鏡光心的距離，Γ為
光線在凸透鏡的光軸上的匯聚點(diǎn)與凸透鏡光心的距離，根據(jù)幾何光學(xué)成像公式丨+f,
有北=-TT^dl，當(dāng)f < K 2f時(shí)，本位移檢測(cè)裝置對(duì)待測(cè)物體的位移的放大倍數(shù)為 J)
Z2 Q-if由于待測(cè)物體與凸透鏡另一側(cè)的光匯聚點(diǎn)的位移是非線性的關(guān)系，所以凸透鏡另 一側(cè)的光匯聚點(diǎn)的位移不與待測(cè)物體的位移成正比，隨著待測(cè)物體的移動(dòng)放大的倍數(shù)也不 一樣，且本方法忽略了光線射入橢圓柱時(shí)發(fā)生的折射等其他由于原理和儀器的制造精度所
造成的誤差，所以本發(fā)明裝置的檢測(cè)結(jié)果不能完全根據(jù)公式+ =丨+ f來計(jì)算得到，而應(yīng)在
使用前對(duì)儀器進(jìn)行標(biāo)定，以提高儀器的檢測(cè)精度。下面通過借助實(shí)施例更加詳細(xì)地說明本發(fā)明，但以下實(shí)施例僅是說明性的，本發(fā) 明的保護(hù)范圍并不受這些實(shí)施例的限制。如圖1所示，本發(fā)明的位移檢測(cè)裝置包括點(diǎn)光源激光器1、凸透鏡2、橢圓柱內(nèi)反射 鏡3、光致發(fā)光物質(zhì)(或漫反射材料)13和線陣感光元件14。如圖2所示，凸透鏡2只留有光心透光區(qū)6和距離光心一定距離的環(huán)形透光區(qū)7， 其余部分涂上不透光膜15。凸透鏡2的光心透光區(qū)6大小為直徑為1. 5mm 2. 5mm,環(huán)形 透光區(qū)7的寬度為1. 5mm 2. 5mm。如圖3所示，橢圓柱內(nèi)反射鏡3為光學(xué)玻璃制成，其外表面鍍金屬反射膜(如銀)16，其形狀為部分截除的橢圓柱體(圖3b)，所述截面S過橢圓柱內(nèi)反射鏡3的第二焦 線12，該截面平行于橢圓柱內(nèi)反射鏡3的短軸B，在橢圓柱內(nèi)反射鏡3的第一焦線11處開 有直徑為0. 2mm 0. 5mm的通孔，通孔內(nèi)涂有光致發(fā)光物質(zhì)(或漫反射材料)13。將線陣感光元件14粘結(jié)在截面S上，且線陣感光元件14的感光面貼近橢圓柱內(nèi) 反射鏡3，且與截面S及第一焦線11平行，并使線陣感光元件的兩外表面P、Q與橢圓柱內(nèi) 反射鏡的兩焦線11、12所在平面對(duì)稱，使線陣感光元件14上的感光元素充分接受反射光。 線陣感光元件14為線陣CCD或線陣DSP。圖1表達(dá)了位移檢測(cè)裝置各部件的裝配關(guān)系，橢圓柱內(nèi)反射鏡3與點(diǎn)光源激光器 1位于凸透鏡2的同一側(cè)，點(diǎn)光源激光器1放在凸透鏡2的主光軸上，使其發(fā)出的光平行于 凸透鏡2的主光軸，并盡量使凸透鏡的中心透光區(qū)6的每一區(qū)域都有激光通過。橢圓柱內(nèi) 反射鏡3的上第一焦線11上涂有光致發(fā)光物質(zhì)(或漫反射材料)，且第一焦線11應(yīng)與凸透 鏡2的主光軸重合。點(diǎn)光源激光器1位于凸透鏡2與橢圓柱內(nèi)反射鏡3之間，點(diǎn)光源激光器1前端面5 與凸透鏡2的距離s應(yīng)根據(jù)點(diǎn)光源激光器1的工作距離sO和待測(cè)物體4與凸透鏡的平均 距離:T確定，它們滿足^ = ^0 - F的關(guān)系。 根據(jù)幾何光學(xué)成像公式+ = Uyf^dV = --Z^dl，當(dāng)f彡1彡2f時(shí)，位移的放
J11J ) 大倍數(shù)為77‘，可根據(jù)位移放大倍數(shù)的需求和待測(cè)物體4的運(yùn)動(dòng)范圍(即1的范圍)來 J)
確定凸透鏡2的焦距。當(dāng)檢測(cè)距離在1. 2f < 1 < 1. 3f范圍時(shí)，本測(cè)量裝置對(duì)位移的放大 倍數(shù)可達(dá)11. 11 25倍，平均分辨率可達(dá)到0. 5 μ m。匯聚點(diǎn)10是指點(diǎn)光源激光器1發(fā)射的光線，透過凸透鏡2的光心透光區(qū)6，經(jīng)待測(cè) 物體4漫反射后，透過環(huán)形透光區(qū)7在凸透鏡2的光軸上的匯聚點(diǎn)。確定好凸透鏡2的焦距
f后，根據(jù)公式+ =丨+ f和待測(cè)物體4的移動(dòng)范圍1可確匯聚點(diǎn)10在凸透鏡2的光軸上的
移動(dòng)范圍(即Γ的范圍)，并根據(jù)匯聚點(diǎn)的移動(dòng)范圍來確定線陣感光元件14的參數(shù)(像 素?cái)?shù)量η和像元尺寸等)，線陣感光元件14的長(zhǎng)度至少應(yīng)大于光軸上光線匯聚點(diǎn)10的最大 移動(dòng)范圍2 3mm，以保證進(jìn)行位移檢測(cè)時(shí)光線匯聚點(diǎn)10在線陣感光元件14上的投影點(diǎn) 19都能落在線陣感光元件14上，以滿足測(cè)量的量程要求，根據(jù)線陣感光元件14的長(zhǎng)度來確 定橢圓柱內(nèi)反射鏡3的長(zhǎng)度，橢圓柱內(nèi)反射鏡3的長(zhǎng)度等于線陣感光元件14的長(zhǎng)度。并根 據(jù)Γ的范圍來確定橢圓柱內(nèi)反射鏡3的前端面9與凸透鏡2光心的距離a2，&2比1' min 小1 2mm(其中1 ‘ min為匯聚點(diǎn)10在凸透鏡2的光軸上的移動(dòng)范圍中的最小值)。點(diǎn)光源激光器1外形為圓柱形，其直徑為d，點(diǎn)光源激光器1的后端面20與凸透鏡 2光心的距離為^，為了確保檢測(cè)時(shí)待測(cè)物體4在移動(dòng)過程中，光線8不被點(diǎn)光源激光器擋
, dV
住，則凸透鏡2的環(huán)形透光區(qū)7的內(nèi)環(huán)直徑Cl1應(yīng)滿足如下關(guān)系A(chǔ) > TTi。根據(jù)凸透鏡2
廠一
環(huán)形透光區(qū)7的寬度為1. 5mm 2. 5mm,可確定凸透鏡2的環(huán)形透光區(qū)7的外環(huán)直徑d2。凸 透鏡的外徑d3比環(huán)形透光區(qū)7的外環(huán)直徑d2大4 5mm。為了盡量減少光線強(qiáng)度在橢圓柱內(nèi)反射鏡3內(nèi)反射后的損失，即讓線陣感光元件
權(quán)利要求
一種基于橢圓柱內(nèi)反射鏡的位移檢測(cè)裝置，其特征在于，該裝置包括點(diǎn)光源激光器(1)、凸透鏡(2)、橢圓柱內(nèi)反射鏡(3)和線陣感光元件(14)；凸透鏡(2)只留有光心透光區(qū)(6)和環(huán)形透光區(qū)(7)，其余部分涂有不透光膜；橢圓柱內(nèi)反射鏡(3)的外表面鍍金屬反射膜，其形狀為部分截除的橢圓柱體，截面S過橢圓柱內(nèi)反射鏡(3)的第二焦線(12)，該截面平行于橢圓柱內(nèi)反射鏡(3)的短軸B，在橢圓柱內(nèi)反射鏡(3)的第一焦線(11)處開有直徑為0.2mm～0.5mm的通孔，通孔內(nèi)涂有光致發(fā)光物質(zhì)或漫反射材料；線陣感光元件(14)粘結(jié)在截面S上，且線陣感光元件(14)的感光面貼近橢圓柱內(nèi)反射鏡(3)，且與截面S及第一焦線(11)平行，并使線陣感光元件的兩外表面P、Q與橢圓柱內(nèi)反射鏡的兩焦線(11)、(12)所在平面對(duì)稱，使線陣感光元件(14)上的感光元素充分接受反射光；橢圓柱內(nèi)反射鏡(3)與激光器(1)位于凸透鏡(2)的同一側(cè)，點(diǎn)光源激光器(1)放在凸透鏡(2)的光軸上，使其發(fā)出的光平行于凸透鏡(2)的光軸，橢圓柱內(nèi)反射鏡(3)的第一焦線(11)上涂有光致發(fā)光物質(zhì)或漫反射材料，且第一焦線(11)與凸透鏡(2)的主光軸重合；激光器(1)位于凸透鏡(2)與橢圓柱內(nèi)反射鏡(3)之間，點(diǎn)光源激光器(1)前端面(5)與凸透鏡(2)的距離s應(yīng)根據(jù)點(diǎn)光源激光器(1)的工作距離s0和待測(cè)物體(4)與凸透鏡的平均距離確定，它們滿足的關(guān)系；設(shè)f為凸透鏡的焦距，l為待測(cè)物體與凸透鏡光心的距離，f和l滿足f≤l≤2f；匯聚點(diǎn)(10)是指點(diǎn)光源激光器(1)發(fā)射的光線，透過凸透鏡(2)的光心透光區(qū)(6)，經(jīng)待測(cè)物體(4)漫反射后，透過環(huán)形透光區(qū)(7)在凸透鏡(2)的光軸上的匯聚點(diǎn)。設(shè)l′為匯聚點(diǎn)(10)在凸透鏡(2)的光軸上的移動(dòng)范圍，線陣感光元件(14)的長(zhǎng)度至少應(yīng)大于光軸上光線匯聚點(diǎn)(10)的最大移動(dòng)范圍2～3mm，橢圓柱內(nèi)反射鏡(3)的長(zhǎng)度等于線陣感光元件(14)的長(zhǎng)度，并根據(jù)l′的范圍來確定橢圓柱內(nèi)反射鏡(3)的前端面與凸透鏡(2)光心的距離a2，a2比l′min小1～2mm，其中l(wèi)′min為匯聚點(diǎn)(10)在凸透鏡(2)的光軸上的移動(dòng)范圍中的最小值；點(diǎn)光源激光器(1)的形狀為圓柱形，其直徑為d，點(diǎn)光源激光器(1)的后端面與凸透鏡(2)光心的距離為a1，凸透鏡(2)的光心透光區(qū)(6)大小為直徑為1.5mm～2.5mm，環(huán)形透光區(qū)(7)的寬度為1.5mm～2.5mm，凸透鏡(2)的環(huán)形透光區(qū)(7)的內(nèi)環(huán)直徑d1滿足如下關(guān)系根據(jù)凸透鏡的環(huán)形透光區(qū)(7)的寬度確定凸透鏡(2)的環(huán)形透光區(qū)(7)的外環(huán)直徑d2；凸透鏡的外徑d3比環(huán)形透光區(qū)(7)的外環(huán)直徑d2大4～5mm；橢圓柱內(nèi)反射鏡(3)短軸B的長(zhǎng)度2b與長(zhǎng)軸A的長(zhǎng)度2a的比例在之間，橢圓柱內(nèi)反射鏡(3)長(zhǎng)軸A的長(zhǎng)度2a應(yīng)滿足l′max為匯聚點(diǎn)(10)在凸透鏡(2)的光軸上的移動(dòng)范圍中的最大值，2c為橢圓柱內(nèi)反射鏡(3)兩焦線的距離。FDA0000026469600000011.tif,FDA0000026469600000012.tif,FDA0000026469600000021.tif,FDA0000026469600000022.tif,FDA0000026469600000023.tif,FDA0000026469600000024.tif
全文摘要
本發(fā)明公開了一種基于橢圓柱內(nèi)反射鏡的位移檢測(cè)裝置，該裝置將凸透鏡成像的原理進(jìn)行巧妙地運(yùn)用，通過光致發(fā)光物質(zhì)(或漫反射材料)、橢圓柱內(nèi)反射鏡和線陣感光元件將光匯聚點(diǎn)的位置檢測(cè)轉(zhuǎn)化為線陣感光元件上感光最強(qiáng)點(diǎn)的檢測(cè)，只需通過計(jì)算機(jī)便可檢測(cè)出來。裝置包括點(diǎn)光源激光器、凸透鏡、橢圓柱內(nèi)反射鏡和線陣感光元件。點(diǎn)光源激光器與橢圓柱內(nèi)反射鏡放置于凸透鏡的同一側(cè)；光致發(fā)光物質(zhì)(或漫反射材料)涂在橢圓柱內(nèi)反射鏡的一條焦線上，此焦線與凸透鏡的光軸重合；橢圓柱內(nèi)反射鏡的另一焦線放置線陣感光元件，以檢測(cè)被測(cè)表面的位移。該裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便，測(cè)量精度高。
文檔編號(hào)G01B11/02GK101963492SQ20101028403
公開日2011年2月2日 申請(qǐng)日期2010年9月17日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月17日
發(fā)明者唐小琦, 李佳佳, 王平江, 陳吉紅, 黃雅婷 申請(qǐng)人:華中科技大學(xué);武漢華中數(shù)控股份有限公司