專利名稱：一種測(cè)量非線性晶體熱功率大小的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及激光技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種測(cè)量非線性晶體熱功率大小的裝置，該 熱功率是非線性晶體因吸收激光而產(chǎn)生的。
背景技術(shù)：
非線性晶體可以將某一波長(zhǎng)的基頻光轉(zhuǎn)換為其他波長(zhǎng)的激光，極大地?cái)U(kuò)展了激光 的波長(zhǎng)范圍，從而擴(kuò)展了激光的應(yīng)用范圍。例如，LBO晶體可以將波長(zhǎng)為1064nm的紅外激 光倍頻為532nm的綠光，PPLN晶體可以將1064nm激光轉(zhuǎn)換為波長(zhǎng)可調(diào)諧的中紅外激光等。 因此，非線性晶體在激光系統(tǒng)中有非常重要的地位。工作時(shí)，非線性晶體對(duì)通過(guò)其中的激光 的吸收系數(shù)很小，對(duì)激光基本不吸收。但是，在高功率工作條件下，如LBO晶體倍頻1064nm激光產(chǎn)生高功率綠光時(shí)，基頻 泵浦光的功率很高，LBO晶體吸收基頻光會(huì)產(chǎn)生一定的熱功率，導(dǎo)致晶體溫度升高，從而導(dǎo) 致相位失配，降低轉(zhuǎn)換效率；又如，在1064nm激光泵浦的基于周期極化摻雜氧化鎂的鈮酸 鋰的光參量振蕩器(PPMgLN-OPO)中，為了降低泵浦光的閾值功率，OPO腔鏡的輸入鏡和輸 出鏡都對(duì)振蕩光(如信號(hào)光)高反，因而腔內(nèi)循環(huán)的振蕩光功率很高。PPMgLN晶體會(huì)因?yàn)?吸收腔內(nèi)的振蕩光而產(chǎn)生熱功率，導(dǎo)致晶體溫度升高產(chǎn)生熱效應(yīng)，從而降低參量轉(zhuǎn)換效率 和輸出激光的光束質(zhì)量。由此可見(jiàn)，非線性晶體吸收激光而產(chǎn)生熱功率的現(xiàn)象對(duì)非線性轉(zhuǎn)換過(guò)程具有很大 的影響，詳細(xì)研究這一現(xiàn)象是非常重要的。測(cè)量非線性晶體吸收激光而產(chǎn)生的熱功率大小， 可以判斷非線性過(guò)程中晶體產(chǎn)生熱效應(yīng)的程度，進(jìn)而可以進(jìn)一步優(yōu)化實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)，是一項(xiàng)十 分重要的研究課題。目前測(cè)量非線性晶體吸收激光而產(chǎn)生熱功率的大小的方法不多。A. Henderson等 (App 1. Phys. B, vol (85)，2006 181-184)在 PPLN-OPO 實(shí)驗(yàn)中，首先通過(guò)實(shí)驗(yàn)測(cè)量 OPO 腔鏡 在信號(hào)光(振蕩光)波長(zhǎng)處的透射率，再根據(jù)OPO腔輸出的信號(hào)光功率計(jì)算出腔內(nèi)循環(huán)信 號(hào)光的功率，然后根據(jù)所用的PPLN晶體在該波長(zhǎng)信號(hào)光的吸收系數(shù)，計(jì)算出晶體吸收信號(hào) 光產(chǎn)生的熱功率。該方法過(guò)程較繁瑣，而且一次只能得到晶體吸收某一特定波長(zhǎng)信號(hào)光的 功率。如果OPO進(jìn)行調(diào)諧而改變信號(hào)光波長(zhǎng)，那么又必須重新測(cè)量OPO腔鏡在該波長(zhǎng)處的 透射率等。另外，如果PPLN晶體對(duì)OPO輸出的泵浦光、閑頻光也有一定的吸收，使用該方法 便不容易測(cè)量其吸收激光而產(chǎn)生的熱功率大小。

發(fā)明內(nèi)容
(一)要解決的技術(shù)問(wèn)題有鑒于此，本發(fā)明的主要目的在于提供一種測(cè)量非線性晶體熱功率大小的裝置。( 二 )技術(shù)方案為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供了一種測(cè)量非線性晶體熱功率大小的裝置，該裝置 包括非線性晶體101、溫度傳感器102、智能模塊103、控溫電源104、控溫爐105和示波器106，其中非線性晶體101，放置于控溫爐105內(nèi)部，工作于某一設(shè)定的溫度T1條件下，起到 激光變頻的作用；溫度傳感器102，用于測(cè)量非線性晶體101的實(shí)際工作溫度Ttl，并將該值反饋給智 能模塊103 ；智能模塊103，用于將溫度傳感器102測(cè)量到的非線性晶體101的實(shí)際工作溫度 Ttl與設(shè)定的溫度T1比較，據(jù)此調(diào)節(jié)控溫電源104向控溫爐105輸出的加熱電壓，將非線性 晶體101控制于設(shè)定的工作溫度T1下；控溫爐105，采用加熱絲作為加熱元件；溫度傳感器102、智能模塊103、控溫電源104和控溫爐105構(gòu)成成控溫系統(tǒng)001， 示波器106實(shí)時(shí)測(cè)量控溫電源104向控溫爐105輸出的加熱電壓的波形W。上述方案中，所述非線性晶體101在未進(jìn)行激光變頻的時(shí)候，為了將非線性晶體 101維持在設(shè)定的工作溫度T1條件下，控溫電源104需要向控溫爐105輸出一定的加熱電 壓，示波器106記錄下一段時(shí)間t內(nèi)控溫電源104向控溫爐105輸出的加熱電壓波形W1，根 據(jù)加熱電壓波形W1和控溫爐105內(nèi)部加熱電阻絲的電阻值可以計(jì)算出控溫爐105產(chǎn)生的 加熱電功率大小Pi。上述方案中，所述非線性晶體101在進(jìn)行激光變頻的時(shí)候，為了將非線性晶體101 仍然維持在設(shè)定的工作溫度T1條件下，控溫電源104需要向控溫爐105輸出不同的加熱電 壓，示波器106記錄下此種情況下一段時(shí)間t內(nèi)控溫電源104向控溫爐105輸出的電壓波 形W2,根據(jù)電壓波形W2和控溫爐105內(nèi)部加熱電阻絲的電阻值計(jì)算出控溫爐105產(chǎn)生的加 熱電功率大小P2。上述方案中，所述控溫爐105產(chǎn)生的加熱電功率大小P1和P2之間存在差異，此差 異值P1-P2即為非線性晶體101在進(jìn)行激光變頻的過(guò)程中因吸收激光而產(chǎn)生的熱功率的大 小。上述方案中，所述控溫爐105的加熱元件是熱電制冷器。上述方案中，所述非線性晶體101包括PPLN、PPKTP、PPLT、KTP、LBO或BBO晶體。上述方案中，所述非線性晶體101進(jìn)行的激光變頻過(guò)程包括光參量振蕩、倍頻以 及和頻。上述方案中，所述非線性晶體101進(jìn)行激光變頻過(guò)程中吸收的激光是基頻光，或 者是變頻光。(三)有益效果本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn)和積極效果1、本發(fā)明提供的這種測(cè)量非線性晶體吸收激光而產(chǎn)生熱功率的大小的方法，只需 要在原有控溫系統(tǒng)的基礎(chǔ)上加上一臺(tái)示波器即可完成測(cè)量，具有操作方便的優(yōu)點(diǎn)。2、本發(fā)明提供的這種測(cè)量非線性晶體吸收激光而產(chǎn)生熱功率的大小的方法，只需 要計(jì)算出非線性晶體分別在未進(jìn)行激光變頻和進(jìn)行激光變頻時(shí)控溫爐產(chǎn)生的加熱電功率 大小Pl和P2，即可得到非線性晶體吸收激光而產(chǎn)生熱功率的大小(P1-P2)，具有計(jì)算簡(jiǎn)單 的優(yōu)點(diǎn)。3、本發(fā)明提供的這種測(cè)量非線性晶體吸收激光而產(chǎn)生熱功率的大小的方法，不論非線性晶體在激光變頻過(guò)程中吸收的激光波長(zhǎng)為多少，或者非線性晶體對(duì)于激光的吸收吸 收系數(shù)為多少，或者非線性晶體對(duì)基頻光或者變頻光有吸收，采用該種方法都能夠便捷地 測(cè)量出非線性晶體吸收激光而產(chǎn)生的熱功率的大小，具有適用范圍廣的優(yōu)點(diǎn)。


為進(jìn)一步說(shuō)明本發(fā)明的具體技術(shù)內(nèi)容，以下結(jié)合實(shí)施例及附圖詳細(xì)說(shuō)明如后，其 中圖1是本發(fā)明提供的測(cè)量非線性晶體因吸收激光而產(chǎn)生熱功率的大小的裝置的 示意圖；圖2是使用本發(fā)明提供的測(cè)量非線性晶體因吸收激光而產(chǎn)生熱功率的大小的裝 置來(lái)測(cè)量PPMgLN-OPO實(shí)驗(yàn)中非線性晶體PPMgLN吸收激光而產(chǎn)生的熱功率的大小的示意 圖；圖3是PPMgLN晶體未進(jìn)行激光變頻時(shí)，使用示波器206記錄下控溫電源204向控 溫爐205輸出的加熱電壓波形Wl的示意圖；圖4是PPMgLN晶體進(jìn)行激光變頻時(shí)，使用示波器206記錄下控溫電源204向控溫 爐205輸出的加熱電壓波形W2的示意圖；圖5是不同泵浦功率條件下PPMgLN晶體吸收激光而產(chǎn)生熱功率的大小的測(cè)量結(jié) 果示意圖。
具體實(shí)施例方式為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合具體實(shí)施例，并參照 附圖，對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。如圖1所示，圖1是本發(fā)明提供的測(cè)量非線性晶體因吸收激光而產(chǎn)生熱功率的大 小的裝置的示意圖，該裝置包括非線性晶體101、溫度傳感器102、智能模塊103、控溫電源 104、控溫爐105和示波器106。所述的非線性晶體101放置于控溫爐105的內(nèi)部，工作于 某一設(shè)定的溫度T1條件下，起到激光變頻的作用。所述的溫度傳感器102用于測(cè)量非線性 晶體101的實(shí)際工作溫度Ttl條件下，并將該值反饋給智能模塊103。所述的智能模塊103 將溫度傳感器102測(cè)量到的非線性晶體101的實(shí)際工作溫度Ttl與設(shè)定的溫度T1比較，據(jù)此 調(diào)節(jié)控溫電源104向控溫爐105輸出的加熱電壓，由此達(dá)到將非線性晶體101控制于設(shè)定 的工作溫度T1條件下的作用。所述的溫度傳感器102、智能模塊103、控溫電源104和控溫 爐105組成控溫系統(tǒng)001。所述的示波器106實(shí)時(shí)測(cè)量控溫電源104向控溫爐105輸出的 加熱電壓的波形W。控溫電源104向控溫爐105輸出的加熱電壓的有效值U = 24V，控溫爐 105內(nèi)部采用電阻值R = 34 Ω的康銅絲作為加熱絲，溫度傳感器102使用PtlOO熱敏電阻， 智能模塊103采用ΑΙ-708型智能模塊。其中，非線性晶體分別在未進(jìn)行激光變頻和進(jìn)行激光變頻的時(shí)候，為了將非線性 晶體101維持在設(shè)定的工作溫度T1條件下，控溫電源104需要向控溫爐105輸出不同的加 熱電壓。示波器106分別測(cè)量未進(jìn)行激光變頻和進(jìn)行激光變頻的時(shí)候控溫電源104向控溫 爐105輸出的加熱電壓的波形W1和W2，由此可以計(jì)算出控溫爐105產(chǎn)生的加熱電功率大小 P1和Ρ2。由于非線性晶體101在進(jìn)行激光變頻的過(guò)程中吸收激光會(huì)產(chǎn)生一定的熱功率，所以控溫爐105產(chǎn)生的加熱電功率大小PJPP2之間存在差異，此差異值(P1-P2)即為非線性 晶體101在進(jìn)行激光變頻的過(guò)程中吸收激光而產(chǎn)生的熱功率的大小。非線性晶體101在未進(jìn)行激光變頻的時(shí)候，為了將非線性晶體101維持在設(shè)定的 工作溫度T1下，控溫電源104需要向控溫爐105輸出一定的加熱電壓，示波器106記錄下 一段時(shí)間t內(nèi)控溫電源104向控溫爐105輸出的加熱電壓波形W1，根據(jù)加熱電壓波形W1、加 熱有效電壓值24V和控溫爐105內(nèi)部加熱絲的電阻值34Ω可以計(jì)算出控溫爐105產(chǎn)生的 加熱電功率大小P1,其計(jì)算公式為P = —X^o-1 R t其中，U為加熱電壓有效值，R為加熱絲的電阻值，、為控溫電源104工作時(shí)間，t 為總測(cè)量時(shí)間(tyt均可由加熱電壓波形W1得出)。非線性晶體101在進(jìn)行激光變頻的時(shí) 候，為了將非線性晶體101仍然維持在設(shè)定的工作溫度T1條件下，控溫電源104需要向控溫 爐105輸出不同的加熱電壓，示波器106記錄下此種情況下一段時(shí)間t內(nèi)控溫電源104向控 溫爐105輸出的電壓波形W2,同樣根據(jù)加熱電壓波形W2、加熱電壓有效值24V和控溫爐105 內(nèi)部加熱電阻絲的電阻值34Ω可以計(jì)算出控溫爐105產(chǎn)生的加熱電功率大小P2。由于非 線性晶體101在進(jìn)行激光變頻的過(guò)程中吸收激光會(huì)產(chǎn)生一定的熱功率，所以控溫爐105產(chǎn) 生的加熱電功率大小P1和P2之間存在差異，此差異值(P1-P2)即為非線性晶體101在進(jìn)行 激光變頻的過(guò)程中吸收激光而產(chǎn)生的熱功率的大小。不論非線性晶體101在激光變頻過(guò)程中吸收的激光波長(zhǎng)為多少，或者非線性晶體 101對(duì)于激光的吸收吸收系數(shù)為多少，或者非線性晶體101對(duì)基頻光或者變頻光有吸收，采 用該種方法都能夠便捷地測(cè)量出非線性晶體吸收激光而產(chǎn)生的熱功率的大小。實(shí)施例本發(fā)明的目的、特征及優(yōu)點(diǎn)通過(guò)附圖和實(shí)例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說(shuō)明，但本發(fā)明不限 于這些實(shí)例。本實(shí)施例將使用本發(fā)明提供的這種測(cè)量非線性晶體吸收激光而產(chǎn)生熱功率的大 小的裝置來(lái)測(cè)量PPMgLN-OPO實(shí)驗(yàn)中非線性晶體PPMgLN吸收激光而產(chǎn)生的熱功率的大小。 請(qǐng)參見(jiàn)圖2、圖3、圖4和圖5所示。在圖2中，201為非線性晶體，202為溫度傳感器，203為智能模塊，204為控溫電 源，205為控溫爐，206為示波器，207為1064nm脈沖泵浦光源，208為激光光路，209為光學(xué) 隔離器，210為會(huì)聚透鏡，211為OPO輸入鏡，212為OPO輸出鏡，213為45°濾鏡，214為功 率計(jì)，215為垃圾桶。溫度傳感器202、智能模塊203、控溫電源204和控溫爐205構(gòu)成控溫系統(tǒng)002?？?溫系統(tǒng)002控制非線性晶體201的工作溫度，示波器206測(cè)量控溫系統(tǒng)002中的控溫電源 204向控溫爐205輸出的加熱電壓?？販仉娫?04向控溫爐205輸出的加熱電壓的有效值 為24V，控溫爐205內(nèi)部采用電阻值為34 Ω的康銅絲作為加熱絲，溫度傳感器202為PtlOO 熱敏電阻，智能模塊203采用ΑΙ-708型智能模塊。1064nm脈沖泵浦光源207、光學(xué)隔離器209、會(huì)聚透鏡210、0Ρ0輸入鏡211、非線性 晶體201、0Ρ0輸出鏡212、45°濾鏡213和功率計(jì)214依次放于同一光路上。1064nm脈沖泵 浦光源207輸出近基模光束，脈沖重頻為10kHz，脈寬60ns，最高輸出功率為22W。1064nm脈沖泵浦光源207輸出的激光經(jīng)會(huì)聚透鏡210后，聚焦在非線性晶體201的中心，聚焦直徑為 0. 6mm。非線性晶體201為PPMgLN晶體，尺寸為30 X 12 X 2mm3,極化周期為29. 35 μ m,兩端面 鍍對(duì)信號(hào)光、閑頻光、泵浦光高透射率膜(R< l%@1.3—1.5ym，R< 1.5%@3. 6—4. 7 μ m， R< 2% 01. 064 μ m)，晶體工作在設(shè)定的溫度T1 = 80°C條件下。OPO輸入鏡211為平面 鏡，材料為石英，表面鍍對(duì)泵浦光高透射率，對(duì)信號(hào)光和閑頻光高反射率薄膜(T = 99.0% il. 064ym,R > 99. 9% il. 3—1. 5 μ m，R > 99. 0% §3. 6—4. 7 μ m) ；ΟΡΟ 輸出鏡 212 為平面 鏡，材料為CaF2，表面鍍對(duì)泵浦光和信號(hào)光高反射率，對(duì)閑頻光高透射率薄膜(R = 98. 0% @1·064 μ m，R > 99. 5 % @1· 3—1. 5 μ m，T > 98. 0 % @3· 6—4. 7 μ m)。ΟΡΟ 輸入鏡 211 和 ΟΡΟ輸出鏡212空間距離為65mm，組成對(duì)信號(hào)光單共振的諧振腔。45°濾鏡213表面鍍對(duì) 泵浦光和信號(hào)光高反射率，對(duì)閑頻光高透射率薄膜(R = 98.0% 01. 064 μ m，R >99. 5% il. 3—1. 5 μ m, T > 98. 0% §3. 6—4. 7 μ m, 45° 入射條件)。功率計(jì) 214 測(cè)量透過(guò) 45° 濾 鏡213的閑頻光功率，垃圾桶215接收45°濾鏡213反射出來(lái)的泵浦光和信號(hào)光。實(shí)驗(yàn)時(shí)，非線性晶體201設(shè)定的溫度T1始終保持為80°C。當(dāng)非線性晶體201未進(jìn) 行激光變頻時(shí)，即1064nm脈沖泵浦光源207輸出的激光功率為OW時(shí)，使用示波器206記錄 下控溫電源204向控溫爐205輸出的加熱電壓波形W1 (記錄時(shí)間為50s)，記錄結(jié)果如圖3 所示。由波形W1、加熱有效電壓值24V和控溫爐205中加熱絲電阻值為34 Ω這些數(shù)據(jù)，可 以計(jì)算出控溫爐205產(chǎn)生的加熱電功率大小P1值為1. 5W。當(dāng)1064nm脈沖泵浦光源207輸 出的激光功率為最大值22W時(shí)，功率計(jì)214測(cè)量得到閑頻光功率為3. 4W。同樣使用示波器 206記錄下控溫電源204向控溫爐205輸出的加熱電壓波形W2 (記錄時(shí)間為50s)，記錄結(jié)果 如圖4所示?？梢钥吹剑訜犭妷翰ㄐ蝆與巧之間具有明顯差別。同理可以計(jì)算出控溫爐 205產(chǎn)生的加熱電功率大小P2值為6. 3W。因此，非線性晶體201在22W脈沖激光泵浦條件 下，由于吸收激光而產(chǎn)生熱功率的大小值為(P1-P2) = 6. 3W-1. 5W = 4. 8W。采用相同的方 法，可以測(cè)量不同泵浦功率條件下非線性晶體201吸收激光而產(chǎn)生熱功率的大小，測(cè)量結(jié) 果參見(jiàn)圖5所示。以上所述的具體實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳 細(xì)說(shuō)明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，凡 在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保 護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
一種測(cè)量非線性晶體熱功率大小的裝置，其特征在于，該裝置包括非線性晶體(101)、溫度傳感器(102)、智能模塊(103)、控溫電源(104)、控溫爐(105)和示波器(106)，其中非線性晶體(101)，放置于控溫爐(105)內(nèi)部，工作于某一設(shè)定的溫度T1條件下，起到激光變頻的作用；溫度傳感器(102)，用于測(cè)量非線性晶體(101)的實(shí)際工作溫度T0，并將該值反饋給智能模塊(103)；智能模塊(103)，用于將溫度傳感器(102)測(cè)量到的非線性晶體(101)的實(shí)際工作溫度T0與設(shè)定的溫度T1比較，據(jù)此調(diào)節(jié)控溫電源(104)向控溫爐(105)輸出的加熱電壓，將非線性晶體(101)控制于設(shè)定的工作溫度T1下；控溫爐(105)，采用加熱絲作為加熱元件；溫度傳感器(102)、智能模塊(103)、控溫電源(104)和控溫爐(105)構(gòu)成成控溫系統(tǒng)(001)，示波器(106)實(shí)時(shí)測(cè)量控溫電源(104)向控溫爐(105)輸出的加熱電壓的波形W。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量非線性晶體熱功率大小的裝置，其特征在于，所述非線 性晶體(101)在未進(jìn)行激光變頻的時(shí)候，為了將非線性晶體(101)維持在設(shè)定的工作溫度 T1條件下，控溫電源(104)需要向控溫爐(105)輸出一定的加熱電壓，示波器(106)記錄下 一段時(shí)間t內(nèi)控溫電源(104)向控溫爐(105)輸出的加熱電壓波形W1，根據(jù)加熱電壓波形 W1和控溫爐(105)內(nèi)部加熱電阻絲的電阻值可以計(jì)算出控溫爐(105)產(chǎn)生的加熱電功率大 小P1O
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量非線性晶體熱功率大小的裝置，其特征在于，所述非線 性晶體(101)在進(jìn)行激光變頻的時(shí)候，為了將非線性晶體(101)仍然維持在設(shè)定的工作溫 度1\條件下，控溫電源(104)需要向控溫爐(105)輸出不同的加熱電壓，示波器(106)記 錄下此種情況下一段時(shí)間t內(nèi)控溫電源(104)向控溫爐(105)輸出的電壓波形W2,根據(jù)電 壓波形W2和控溫爐(105)內(nèi)部加熱電阻絲的電阻值計(jì)算出控溫爐(105)產(chǎn)生的加熱電功 率大小P2O
4.根據(jù)權(quán)利要求2和3所述的測(cè)量非線性晶體熱功率大小的裝置，其特征在于，所述控 溫爐(105)產(chǎn)生的加熱電功率大小P1和P2之間存在差異，此差異值P1-P2即為非線性晶體 (101)在進(jìn)行激光變頻的過(guò)程中因吸收激光而產(chǎn)生的熱功率的大小。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量非線性晶體熱功率大小的裝置，其特征在于，所述控溫 爐(105)的加熱元件是熱電制冷器。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量非線性晶體熱功率大小的裝置，其特征在于，所述非線 性晶體(101)包括 PPLN、PPKTP, PPLT, KTP、LBO 或 BBO 晶體。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量非線性晶體熱功率大小的裝置，其特征在于，所述非線 性晶體(101)進(jìn)行的激光變頻過(guò)程包括光參量振蕩、倍頻以及和頻。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量非線性晶體熱功率大小的裝置，其特征在于，所述非線 性晶體(101)進(jìn)行激光變頻過(guò)程中吸收的激光是基頻光，或者是變頻光。全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種測(cè)量非線性晶體熱功率大小的裝置，包括非線性晶體、溫度傳感器、智能模塊、控溫電源、控溫爐和示波器。非線性晶體放置于控溫爐內(nèi)部，工作于某一設(shè)定的溫度T1條件下，起到激光變頻的作用；溫度傳感器用于測(cè)量非線性晶體的實(shí)際工作溫度T0，并將該值反饋給智能模塊；智能模塊用于將溫度傳感器測(cè)量到的非線性晶體的實(shí)際工作溫度T0與設(shè)定的溫度T1比較，據(jù)此調(diào)節(jié)控溫電源向控溫爐輸出的加熱電壓，將非線性晶體控制于設(shè)定的工作溫度T1下；控溫爐采用加熱絲作為加熱元件；溫度傳感器、智能模塊、控溫電源和控溫爐構(gòu)成控溫系統(tǒng)，示波器實(shí)時(shí)測(cè)量控溫電源向控溫爐輸出的加熱電壓的波形W。利用本發(fā)明，實(shí)現(xiàn)了非線性晶體熱功率大小的測(cè)量。
文檔編號(hào)G01R21/04GK101949871SQ201010257008
公開(kāi)日2011年1月19日 申請(qǐng)日期2010年8月18日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月18日
發(fā)明者侯瑋, 農(nóng)光壹, 李晉閩, 林學(xué)春, 熊波, 郭林, 陳然, 馬建立 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所