專利名稱：檢測系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明總體上涉及光學(xué)檢測，尤其涉及一種使用掃描儀檢測有關(guān)的對象的缺陷或特征的系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
顯示裝置，例如液晶顯示器(Liquid crystal display, LCD)裝置，是用于電子式顯示包括文字、影像及動畫的信息。LCD可包括數(shù)層，例如偏光濾光片，玻璃基板，彩色濾光片，液晶及反射表面，其可決定該LCD的質(zhì)量。為了檢查LCD是否為合格LCD，也就是說，該 LCD是否具有少于預(yù)定數(shù)量的缺陷，有時候可運用肉眼檢測。但是，肉眼檢測在LCD的大量生產(chǎn)當(dāng)中代表耗時、耗工及不準(zhǔn)確。再者，隨著半導(dǎo)體制造的進步，由肉眼檢測來檢查具有縮小尺寸的特征的LCD產(chǎn)品可能變得更為困難。因此需要一種檢測系統(tǒng)能夠自動地檢測對象(例如在IXD裝置中有關(guān)的一層)的缺陷或特征。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的實施例可提供一種用于檢測產(chǎn)品的系統(tǒng)。該系統(tǒng)可包括掃描儀，用以掃描該產(chǎn)品，并產(chǎn)生該產(chǎn)品的影像，該影像包括像素矩陣，其每一者具有灰階值，及分析裝置， 其電性耦合于該掃描儀以接收與分析該產(chǎn)品的影像，該分析裝置包括微處理器，用以計算關(guān)聯(lián)于該影像中每一個像素的基準(zhǔn)灰階值，其中該基準(zhǔn)灰階值包括位在相鄰于該每一個像素的像素的上述這些灰階值的平均值，內(nèi)存，用以儲存關(guān)聯(lián)于每一個像素的基準(zhǔn)灰階值，與關(guān)聯(lián)于該基準(zhǔn)灰階值的至少一個臨界值，以及比較模塊，用以比較該影像中每一個像素的灰階值與關(guān)聯(lián)于該每一個像素的至少一個臨界值。本發(fā)明的一些實施例還可提供一種用于檢測產(chǎn)品的系統(tǒng)。該系統(tǒng)可包括掃描儀， 其包括設(shè)置在第一方向上的多個掃描單元，且構(gòu)形成在垂直于該第一方向的第二方向上掃描該產(chǎn)品，該掃描儀產(chǎn)生該產(chǎn)品的影像，該影像包括像素矩陣，其每一者具有灰階值，微處理器，用以計算關(guān)聯(lián)于該影像中每一個像素的基準(zhǔn)灰階值，其中該基準(zhǔn)灰階值包括位在相鄰于該每一個像素的像素的灰階值的平均值，以及比較模塊，用以比較該影像中每一個像素的灰階值與關(guān)聯(lián)于該每一個像素的第一臨界值與第二臨界值，其中該第一臨界值包括該基準(zhǔn)灰階值的上限，且該第二臨界值包括該基準(zhǔn)灰階值的下限。本發(fā)明的實施例仍可提供一種用于檢測產(chǎn)品的系統(tǒng)。該系統(tǒng)可包括第一掃描儀， 用以掃描該產(chǎn)品，并產(chǎn)生該產(chǎn)品的第一影像，該第一影像包括像素矩陣，其每一者具有灰階值，第二掃描儀，用以掃描該產(chǎn)品，并產(chǎn)生該產(chǎn)品的第二影像，該第二影像包括像素矩陣，其每一者具有灰階值，及分析裝置，其電性耦合于該掃描儀，以接收及分析該產(chǎn)品的第一與第二影像，該分析裝置包括微處理器，用以計算關(guān)聯(lián)于在該第一與第二影像中每一個像素的基準(zhǔn)灰階值，其中該基準(zhǔn)灰階值包括位在相鄰于該每一個像素的像素的灰階值的平均值， 內(nèi)存，用以儲存關(guān)聯(lián)于在該第一與第二影像中每一個像素的基準(zhǔn)灰階值，與關(guān)聯(lián)于該基準(zhǔn)
4CN 102200519 A
說明書
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灰階值的至少一個臨界值，以及比較模塊，用以比較在該第一與第二影像中每一個像素的灰階值與關(guān)聯(lián)于每一個像素的至少一個臨界值。在下文的說明中將部分提出本發(fā)明的其它特點與優(yōu)點，而且從該說明中將了解本發(fā)明其中一部分，或者通過實施本發(fā)明亦可獲知。通過權(quán)利要求中特別列出的元件與組合將可了解且達成本發(fā)明的特點與優(yōu)點。應(yīng)該了解的是，上文的概要說明以及下文的詳細(xì)說明都僅供作示例與解釋，其并未限制本文所主張的發(fā)明。


當(dāng)并同各附圖而閱覽時，即可更佳了解本發(fā)明之前披露的摘要以及上文詳細(xì)說明。為達到本發(fā)明的說明目的，各附圖里圖繪有實施例。然應(yīng)了解本發(fā)明并不限于各實施例中所繪的精確排置方式及設(shè)備裝置。在各附圖中圖IA為根據(jù)本發(fā)明的一實施例，用于檢測的系統(tǒng)的圖；圖IB為根據(jù)本發(fā)明的一實施例，在圖IA中所示的分析裝置的方框圖；圖2A為根據(jù)本發(fā)明的一實施例，在圖IA中所示的系統(tǒng)內(nèi)經(jīng)調(diào)適來使用的掃描儀的示意圖；圖2B為根據(jù)本發(fā)明的另一實施例，在圖IA中所示的系統(tǒng)內(nèi)經(jīng)調(diào)適來使用的掃描儀的示意圖；圖3A為根據(jù)本發(fā)明的另一實施例，用于檢測的系統(tǒng)的圖3B為根據(jù)本發(fā)明的又另一實施例，用于檢測的系統(tǒng)的示意圖
圖3C為根據(jù)本發(fā)明的再另一示例，用于檢測的系統(tǒng)的示意圖3D為根據(jù)本發(fā)明的又再另一實施例，用于檢測的系統(tǒng)的示意I
圖4為說明根據(jù)本發(fā)明的一實施例的檢測方法的流程圖；以及
圖5為說明根據(jù)本發(fā)明的另一實施例的檢測方法的流程圖。
附圖元件標(biāo)記說明
10系統(tǒng)
11面板
12掃描儀
12-1掃描儀
12-2掃描儀
13支撐框架
14信號產(chǎn)生器
15馬達
16分析裝置
21傳感器胞
22傳感器胞
25彩色濾光片
30系統(tǒng)
30-130-230-33132-132-237-137-238161162163164165250CHO-CHl 7CH18
具體實施例方式現(xiàn)將詳細(xì)參照于本發(fā)明實施例，其實施例圖解于附圖之中。盡其可能，所有附圖中將依相同元件符號以代表相同或類似的部件。圖IA所示為根據(jù)本發(fā)明一實例的檢測系統(tǒng)10。請參照圖1A，系統(tǒng)10可包括檢測中的產(chǎn)品，例如面板11，掃描儀12，信號產(chǎn)生器14與分析裝置16。要進行檢測的面板11可放置在支撐框架13中。此外，面板11可包括但不限于顯示面板，例如液晶顯示器(LCD)面板，其可包括一或多層，例如偏光濾光片、玻璃基板、彩色濾光片與液晶層。由于制造因素，面板11可在該層中包括一或多種缺陷的至少一者，像是刮傷、裂痕、氣泡、孔洞及灰塵。當(dāng)由馬達15驅(qū)動時，掃描儀12可以預(yù)定速率相對于面板11移動。具體而言，掃描儀12可包括設(shè)置在第一方向上的多個傳感器胞，例如行方向，其可在當(dāng)掃描儀12在第二方向上，例如箭頭所示的列方向移動時掃描面板11。再者，掃描儀12與面板11之間的距離可由機械手臂(未示出)調(diào)整，以便在檢測面板11中想要檢測的層。掃描儀12在掃描面板11之后可提供數(shù)據(jù)給分析裝置16。該數(shù)據(jù)可包括像素矩陣中的面板11的影像。因此，該影像可提供上述這些每一個像素的位置或坐標(biāo)的信息。此外，該每一個像素承載對應(yīng)于光線量的強度信息。具體而言，每一個像素具有灰階值，其范圍可由例如0到255，其中“0”代表黑色，而“255”代表白色。信號產(chǎn)生器14電性耦合于面板11，其可用在面板11上產(chǎn)生用于顯示的的所需要的圖案?；谠搱D案，面板11可產(chǎn)生用于檢測的特定色彩的視訊框。在一實施例中該圖案可包括但不限于紅色、綠色、藍(lán)色、灰色、白色與黑色中的一個。例如，黑色視訊框可便于檢測面板11中的亮點。在一替代例中，白色視訊框可便于檢測面板11中的暗點。再者，灰色
系統(tǒng)系統(tǒng)系統(tǒng)
女口
廣口口
第一掃描儀第二掃描儀第一光源第二光源輸送帶微處理器內(nèi)存
比較模塊排序模塊映像模塊次像素
掃描單元或掃描頻道單一掃描單元視訊框可便于檢測面板11中的亮點與暗點。分析裝置16可包括例如運算裝置，像是個人計算機或工作站計算機。分析裝置16 可電性耦合于掃描儀12，并構(gòu)形成分析自掃描儀12傳送的掃描數(shù)據(jù)。該檢測結(jié)果的報告可由分析裝置16提供。如果有的話，該報告可包括但不限于面板11中的缺陷的數(shù)目，缺限的種類可為刮傷、裂痕、孔洞或外來雜質(zhì)，以及缺陷的位置或坐標(biāo)。在操作上，在檢測之前，可執(zhí)行初始化程序，以校準(zhǔn)系統(tǒng)參數(shù)，其可包括顯示圖案、 掃描儀的靈敏度、及該掃描儀與檢測中的產(chǎn)品間的距離。在該初始化階段中，可提供要進行檢測的上述這些產(chǎn)品的樣本。該樣本產(chǎn)品可包括多層產(chǎn)品或單層產(chǎn)品。在一實施例中，該多層產(chǎn)品可包括顯示面板，像是面板11、觸控面板、晶圓、及印刷電路板(Printed circuit board, PCB)，而該單層產(chǎn)品可包括玻璃層、彩色濾光片、鉆石與接觸透鏡。如果該樣本產(chǎn)品為顯示面板，信號產(chǎn)生器14可產(chǎn)生所想要的圖案。在該例中，可以開啟光線模塊，像是LCD面板的背光模塊。然后可由機械手臂調(diào)整掃描儀12，以確?？蓪乖撚谠摌颖井a(chǎn)品中所關(guān)注的一層。在根據(jù)本發(fā)明的一實施例中，掃描儀12的焦距可約為 15 士 1毫米(mm)。也就是說，掃描儀12可被設(shè)計為具有大約14mm的近焦點，及大約16mm 的遠(yuǎn)焦點。此外，假定是半導(dǎo)體制造的產(chǎn)品，其中的每一層厚度大約是2mm。因此，通過調(diào)整掃描儀12與該產(chǎn)品之間的距離，可以檢測特定層。再者，在校準(zhǔn)階段中，用于檢測的關(guān)聯(lián)于掃描儀12的每一個傳感器胞的第一臨界值與第二臨界值即可被決定。由于制造因素，例如在該樣本產(chǎn)品中像素具有1 的灰階值， 其在當(dāng)由掃描儀12的不同傳感器胞讀取時可能具有不同的數(shù)值。例如，第一傳感器胞可讀取數(shù)值為148，而第二傳感器胞可讀取為108。雖然掃描儀12的上述這些傳感器胞的靈敏度可能不一致，每一個傳感器胞可負(fù)責(zé)掃描一列的像素，在其掃描的靈敏度中具有一致的偏移。因此，當(dāng)由相同傳感器胞掃描時，如果有缺陷像素的灰階值明顯不同于其相鄰像素的平均灰階值，則該缺陷像素即可被檢測出來。因此，例如該第一傳感器胞可具有第一臨界值 BGV^lO%，及第二臨界值BGVi-20%，其中“BGV”代表“背景灰階值”或基準(zhǔn)值，其為在所討論中像素周圍中像素的平均灰階值。此外，該傳感器胞可具有第一臨界值BGV2+10%與第二臨界值BGV2-20%，其中BGV2可不同于BGV115在各像素間，每一個傳感器胞的基準(zhǔn)值BGV可不相同，因為面板11亦由于制造因素而顯示靈敏度無法一致。相鄰像素的數(shù)目與該基準(zhǔn)值的計算可視質(zhì)量需求而定。在一實施例中，可選擇四或五個相鄰像素，且它們的灰階值可利用相同的加權(quán)來平均。在另一實施例中，可選擇六或七個相鄰像素，且它們的灰階值可利用不同的加權(quán)來平均。因此，將該第一傳感器做為實施例，第一像素具有灰階值大于關(guān)聯(lián)于其相鄰像素的基準(zhǔn)灰階值的10%，該第一像素可認(rèn)定為亮點。再者，第二像素具有灰階值小于關(guān)聯(lián)于其相鄰像素的基準(zhǔn)灰階值的20%，該第二像素可認(rèn)定為暗點。上限(+10% )與下限(-20% )之間的范圍亦可視質(zhì)量需求而定。上述這些校準(zhǔn)的系統(tǒng)參數(shù)與上述這些臨界值，及對于該樣本產(chǎn)品中每一個像素關(guān)聯(lián)于每一個傳感器胞的基準(zhǔn)灰階值可儲存在分析裝置16中。接著，多個上述這些產(chǎn)品可由掃描儀12—個接一個地掃描。上述這些每一產(chǎn)品的影像，包括上述這些像素的灰階值與坐標(biāo)，可被傳送到分析裝置16，并儲存在其中。分析裝置16可以比較每一個像素的灰階值與該每一個像素的基準(zhǔn)灰階值，并判定該灰階值是否大于第一臨界值或小于第二臨界值。具體而言，可辨識出具有灰階值明顯不同于其相鄰像
7素的基準(zhǔn)灰階值的像素。在上述這些每一個產(chǎn)品中的缺陷數(shù)目可在分析裝置16中計算。此外，在根據(jù)本發(fā)明的一實施例中，分析裝置16可構(gòu)形成按缺陷的數(shù)目來排序上述這些產(chǎn)品。例如，根據(jù)尺寸及質(zhì)量需求，A級產(chǎn)品可代表那些例如具有少于三個缺陷者，而B級產(chǎn)品可代表那些具有超過四個缺陷者。再者，在上述這些每一個產(chǎn)品中的缺陷(如果有)的位置或坐標(biāo)可由分析裝置16提供。圖IB為根據(jù)本發(fā)明的一實施例，在圖IA中所示的分析裝置16的方塊圖。請參照圖1B，分析裝置16可以包括微處理器161、內(nèi)存162、比較模塊163、排序模塊164與映像模塊165。微處理器161可自掃描儀12接收影像數(shù)據(jù)，其包括樣本產(chǎn)品的樣本影像與檢測產(chǎn)品的掃描影像，與比較模塊163、排序模塊164及映像模塊165的作業(yè)的坐標(biāo)。此外，微處理器161可計算在影像中，每一個像素的基準(zhǔn)灰階值。內(nèi)存162可用以儲存該校準(zhǔn)的數(shù)據(jù)、基準(zhǔn)灰階值、臨界值、樣本影像與掃描影像。比較模塊163可構(gòu)形成以灰階值來比較像素與臨界值，以辨識有缺陷的像素。在上述這些每一個產(chǎn)品中缺陷的數(shù)目可在，例如微處理器161 中計算。排序模塊164可構(gòu)形成按缺陷的數(shù)目來排序上述這些產(chǎn)品。映像模塊165可構(gòu)形成映射缺陷(如果有)在坐標(biāo)系統(tǒng)中。微處理器161可提供上述這些每一個產(chǎn)品中缺陷的數(shù)目、上述這些每一個產(chǎn)品的等級或質(zhì)量、在上述這些每一個產(chǎn)品中缺陷(如果有)的位置、及缺陷種類的報告。所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員將了解比較模塊163、排序模塊164與映像模塊165可于硬件或軟件中實作，其中前者以操作速率的觀點而言比較有利，而后者以設(shè)計復(fù)雜度的觀點而言可比較節(jié)省成本。圖2A為根據(jù)本發(fā)明的一實施例，在圖IA中所示的系統(tǒng)10內(nèi)經(jīng)調(diào)整來使用的掃描儀12-1的示意圖。請參照圖2A，掃描儀12-1可包括設(shè)置在第一與第二行中的多個掃描單元或掃描頻道“CH0”至“CH17”。上述這些掃描單元的第一與第二行可相對于彼此而交錯。此外，上述這些每一個掃描單元CHO至CH17可包括多個傳感器胞21。每一個傳感器胞21都可包括電荷耦合裝置(Charge coupled device, CCD)傳感器或互補式金氧半導(dǎo)體 (Complementary metal-oxide-semiconductor, CMOS)傳感器中的一個。為了避免在不同行中的相鄰掃描單元之間有任何間隙，例如CHO與CH1，緊鄰的掃描單元CHO與CHl可彼此重疊有預(yù)定數(shù)目的傳感器胞，例如六個傳感器胞。類似地，在第二行中相鄰掃描單元CHl與在第一行中的CH2可彼此重疊有六個傳感器胞。在根據(jù)本發(fā)明的一實施例中，上述這些每一個掃描單元CHO至CH17可包括344個傳感器胞，且每一個傳感器胞21的尺寸大約為40微米(um)乘40um。因此，掃描儀12_1可提供每英寸大約600點(Dots per inch, dpi)的分辨率。在另一實施例中，每一個掃描單元 CHO至CH17可包括344個傳感器胞21，其每一個傳感器胞21的尺寸大約為IOum乘10um。 因此，掃描儀12-1可提供大約MOOdpi的分辨率。所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員將了解上述這些掃描單元的數(shù)目可增加或減少來適配于實際應(yīng)用，即使在本實施例中使用十八個掃描單元CHO至CH17。如前所述，在該校準(zhǔn)階段期間，掃描儀的每一個傳感器胞可被校準(zhǔn)。假定掃描儀 12-1包括18個掃描單元CHO至CH17，其每一個掃描單元具有344個傳感器胞21，該校準(zhǔn)程序相當(dāng)耗時，并需要大量的內(nèi)存來儲存基準(zhǔn)灰階值與關(guān)聯(lián)于傳感器胞21的臨界值。但是，在相同掃描單元中傳感器胞的靈敏度可實質(zhì)上類似，因為它們可以在相同的半導(dǎo)體制程中制造。因此，做為一替代例，在該校準(zhǔn)階段期間僅校準(zhǔn)掃描儀的上述這些掃描單元。圖2B為根據(jù)本發(fā)明的另一實施例，在圖IA中所示的系統(tǒng)10中經(jīng)調(diào)整來使用的掃描儀12-2的示意圖。請參照圖2B，掃描儀12-2可包括單一掃描單元CH18。掃描單元CH18 可包括設(shè)置在一行中的多個傳感器胞22，其中至少兩個傳感器胞22負(fù)責(zé)掃描彩色濾光片 25的次像素250。也就是說，掃描儀12-2的傳感器胞22的密度可為彩色濾光片25的次像素250的至少兩倍，其可避免在相機中所發(fā)生的“失真”(aliasing)效果。圖3A為根據(jù)本發(fā)明的另一實施例，用于檢測的系統(tǒng)30的圖，其中該下方部為系統(tǒng) 30的前視圖，而上方部為系統(tǒng)30的俯視圖。請參照圖3A，除了例如輸送帶38可取代支撐框架13以外，系統(tǒng)30可能類似于參照圖IA所述及所示例的系統(tǒng)10。具體而言，要進行檢測的產(chǎn)品31可以放置在輸送帶38上，并隨著輸送帶38移動。因此，可達成產(chǎn)品31的連續(xù)檢測。系統(tǒng)30可包括第一掃描儀32-1，不同于圖IA所示的掃描儀12，該第一掃描儀32-1 可相對于分析裝置16而固定化。此外，系統(tǒng)30亦可包括第一光源37-1以便于檢測。在本實施例中，第一掃描儀32-1與第一光源37-1可設(shè)置在檢測中的產(chǎn)品31的相同側(cè)。第一掃描儀32-1可設(shè)置在距離產(chǎn)品31第一距離之處，并產(chǎn)生關(guān)聯(lián)于產(chǎn)品31中有關(guān)第一層的第一影像。再者，系統(tǒng)30可包括第二掃描儀32-2，其設(shè)置在產(chǎn)品31的相同側(cè)， 并距離產(chǎn)品31第二距離。第二掃描儀32-2可產(chǎn)生關(guān)聯(lián)于產(chǎn)品31中所關(guān)注的第二層第二影像。使用兩個或兩個以上的掃描儀32-1與32-2，通過比較產(chǎn)品31的第一與第二影像，可便于進行辨識在產(chǎn)品31中特定層的缺陷。例如，如果當(dāng)亮點由第一掃描儀32-1掃描時大于相關(guān)的上臨界值12%，且由第二掃描儀32-2掃描時大于相關(guān)的上臨界值18%，可判定該亮點位在產(chǎn)品31的第二層內(nèi)或其附近。也就是說，可通過例如比較模塊163比較來自基準(zhǔn)灰階值的上限或下限的偏移量，以辨識該特定層。具體而言，比較模塊163可構(gòu)形成比較來自關(guān)聯(lián)于第一影像中像素的至少一個臨界值的第一偏移量，與來自關(guān)聯(lián)于第二影像中該像素的至少一個臨界值的第二偏移量，以判定特定有缺陷的層。第一光源37-1的光線強度、 該第一距離與第二距離可在該初始化階段中被校準(zhǔn)。圖:3B為根據(jù)本發(fā)明的又另一實施例，用于檢測的系統(tǒng)30-1的示意圖。請參照圖 3B，第一掃描儀32-1與第一光源37-1可設(shè)置在檢測中的產(chǎn)品31的不同側(cè)。在本實施例中的產(chǎn)品31可為光學(xué)透明，并可包括一或多個透明層。圖3C為根據(jù)本發(fā)明的再另一實施例，用于檢測的系統(tǒng)30-2的示意圖。請參照圖 3C，除了例如運用第二掃描儀32-2以外，系統(tǒng)30-2可能類似于圖;3B所示的系統(tǒng)30-1。具體而言，第一掃描儀32-1與第二掃描儀32-2可設(shè)置在產(chǎn)品31的一側(cè)，而第一光源37_1可設(shè)置在產(chǎn)品31的另一側(cè)。再者，第一掃描儀32-1可設(shè)置成距離產(chǎn)品31第一距離Cl1，而第二掃描儀32-2可設(shè)置成距離產(chǎn)品31第二距離d2，以便讓產(chǎn)品31中存在有缺陷的特定層可被辨識出來。圖3D為根據(jù)本發(fā)明的又再另一實施例，用于檢測的系統(tǒng)30-3的示意圖。請參照圖3D，第一掃描儀32-1與第一光源37-1可設(shè)置在該產(chǎn)品的一側(cè)，而第二掃描儀32_2與第二光源37-2可設(shè)置在產(chǎn)品31的另一側(cè)。在本實施例中的產(chǎn)品31可包括多層，其還可包括第一層(未示出)、第二層(未示出)與該第一與第二層之間的至少一個中間層。該至少一個中間層可為光學(xué)不透明層，其可包括裝置元件，例如導(dǎo)線與電路組件。通過該設(shè)置，多層產(chǎn)品31的該第一與第二層可同時被掃描。圖4為說明根據(jù)本發(fā)明的一實施例的檢測方法的流程圖。請參照圖4，在步驟401 中，要進行檢測的多個產(chǎn)品其中的一個樣本可被提供。在步驟402中，系統(tǒng)參數(shù)(像是顯示圖案)、掃描儀的靈敏度、及該掃描儀與該樣本產(chǎn)品之間的距離可通過掃描該樣本產(chǎn)品來校準(zhǔn)。在校準(zhǔn)該掃描儀的靈敏度時，可獲得在該樣本產(chǎn)品的掃描影像中每一個像素的基準(zhǔn)灰階值。該基準(zhǔn)灰階值可相關(guān)于每一個像素的周圍中上述這些像素的像素均勻平均值、像素加權(quán)平均值或像素的灰階值。在步驟403中，至少一個臨界值基于上述這些每一個像素的基準(zhǔn)灰階值而可被決定，以在檢測期間檢測上述這些產(chǎn)品中的缺陷。在一實施例中該至少一個臨界值可包括用于檢測亮點的第一臨界值，與用于檢測暗點的第二臨界值。接著，在步驟404中，對于上述這些每一個像素的校準(zhǔn)的資料與上述這些每一個像素的至少一個臨界值可被儲存，以便于進行上述這些產(chǎn)品的檢測。步驟401至404可統(tǒng)稱為初始化或校準(zhǔn)程序。然后上述這些每一個產(chǎn)品在步驟405中，一個接一個由掃描儀做掃描。在步驟406中，該掃描儀可產(chǎn)生上述這些每一個產(chǎn)品的影像。該影像可包括像素矩陣，其中該每一個像素矩陣具有灰階值。該影像可在步驟407中，通過比較該影像的每一個像素與關(guān)聯(lián)于該每一個像素的至少一個臨界值來做分析。在步驟408中，如果像素的灰階值大于至少一個臨界值的上限或小于其下限，該像素可認(rèn)定為有缺陷的像素。在上述這些每一個產(chǎn)品中的缺陷數(shù)目可被計算。由于上述這些像素是設(shè)置在矩陣中，在步驟409中，上述這些每一個缺陷(如果有)的位置或坐標(biāo)可被辨識。接著，在步驟410中，上述這些產(chǎn)品可按缺陷的數(shù)目來排序。隨后，在步驟411中提供上述這些每一個產(chǎn)品的缺陷的數(shù)目、上述這些每一個產(chǎn)品的等級或質(zhì)量、及上述這些每一個缺陷的位置的報告。圖5為說明根據(jù)本發(fā)明的另一實施例的檢測方法的流程圖。請參照圖5，除了例如可運用兩個掃描儀以外，該方法可能類似于參照圖4所述及所示例者。具體而言，在步驟502中，第一掃描儀與第二掃描儀可用于該校準(zhǔn)階段中。隨后，在步驟505中，檢測中的產(chǎn)品可由分別設(shè)置成距離該產(chǎn)品第一距離與第二距離的第一掃描儀與第二掃描儀做掃描。該第一距離可關(guān)聯(lián)于該產(chǎn)品中所關(guān)注的第一層， 且該第二距離可關(guān)聯(lián)于該產(chǎn)品中所關(guān)注的第二層。因此，在步驟506中，該產(chǎn)品的第一影像可由該第一掃描儀產(chǎn)生，而該產(chǎn)品的第二影像可由該第二掃描儀產(chǎn)生。接著，該產(chǎn)品的第一影像與第二影像在步驟507中可基于該臨界值進行分析。在上述這些每一個產(chǎn)品中，缺陷(如果有)的數(shù)目可在步驟408中辨識。在步驟508中，在其中的一個具有缺陷的上述這些產(chǎn)品中的該第一影像中有缺陷像素的第一偏移量，與該第二影像中有缺陷像素的第二偏移量可做比較，以在步驟509中決定該有缺陷像素是位在該產(chǎn)品內(nèi)的哪一層。隨后，在步驟511中提供上述這些每一個產(chǎn)品中缺陷的數(shù)目、上述這些每一個產(chǎn)品的等級或質(zhì)量、及該產(chǎn)品中該層存在有缺陷的報告。所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)即了解可對上述各項實施例進行變化，而不致悖離其廣義的發(fā)明性概念。因此，應(yīng)了解本發(fā)明并不限于所揭示的特定實施例，而是為涵蓋歸屬如權(quán)利要求所定義的本發(fā)明精神及范圍內(nèi)的修飾。另外，在說明本發(fā)明的代表性實施例時，本說明書可將本發(fā)明的方法及/或制程表示為特定的步驟次序；不過，由于該方法或制程的范圍并不是于本文所提出的特定的步驟次序，故該方法或制程不應(yīng)受限于所述的特定步驟次序。身為所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員當(dāng)會了解其它步驟次序也是可行的。所以，不應(yīng)將本說明書所提出的特定步驟次序視為對權(quán)利要求書的限制。此外，亦不應(yīng)將有關(guān)本發(fā)明的方法及/或制程的權(quán)利要求書僅限制在以書面所載的步驟次序的實施，所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員易于了解，上述這些次序亦可加以改變，并且仍涵蓋于本發(fā)明的精神與范疇之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種用于檢測產(chǎn)品的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包含掃描儀，用以掃描該產(chǎn)品，并產(chǎn)生該產(chǎn)品的影像，該影像包括像素矩陣，其每一個像素矩陣具有灰階值；以及分析裝置，其電性耦合于該掃描儀，用以接收與分析該產(chǎn)品的影像，該分析裝置包括微處理器，用以計算關(guān)聯(lián)于該影像中每一個像素的基準(zhǔn)灰階值，其中該基準(zhǔn)灰階值包括位在相鄰于該每一個像素的像素灰階值的平均值；內(nèi)存，用以儲存關(guān)聯(lián)于上述這些每一個像素的基準(zhǔn)灰階值，與關(guān)聯(lián)于該基準(zhǔn)灰階值的至少一個臨界值；以及比較模塊，用以比較該影像中每一個像素的灰階值與關(guān)聯(lián)于該每一個像素的該至少一個臨界值。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，該掃描儀包括設(shè)置在第一方向上的多個掃描單元，且其中該掃描儀構(gòu)形成在垂直于該第一方向的第二方向上相對于該產(chǎn)品移動。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其特征在于，該掃描儀包括第一行的掃描單元與第二行的掃描單元，該第一行與第二行的掃描單元相對于彼此而交錯。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，其特征在于，上述這些每一個掃描單元包括多個傳感器胞，且在該第一行中的掃描單元與在該第二行中緊鄰的掃描單元重迭有預(yù)定數(shù)目的傳感器胞。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，其特征在于，上述這些每一個掃描單元包括多個傳感器胞，且其中在該每一個掃描單元中掃描單元的密度等于或大于該產(chǎn)品中次像素的密度的兩倍。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包含排序模塊，用以按缺陷的數(shù)目來排序一些產(chǎn)品。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，該至少一個臨界值包括作為該基準(zhǔn)灰階值的上限的第一臨界值，及作為該基準(zhǔn)灰階值的下限的第二臨界值。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，該掃描儀為第一掃描儀，用以掃描該產(chǎn)品的第一層并產(chǎn)生第一影像，還包含第二掃描儀，用以掃描該產(chǎn)品的第二層并產(chǎn)生第二影像。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其特征在于，該比較模塊構(gòu)形成比較來自關(guān)聯(lián)于該第一影像中像素的至少一個臨界值的第一偏移量與來自關(guān)聯(lián)于該第二影像中該像素的至少一個臨界值的第二偏移量。
10.一種用于檢測產(chǎn)品的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包含掃描儀，其包括設(shè)置在第一方向上的多個掃描單元，且構(gòu)形成在垂直于該第一方向的第二方向上掃描該產(chǎn)品，該掃描儀產(chǎn)生該產(chǎn)品的影像，該影像包括像素矩陣，其每一個像素矩陣具有灰階值；微處理器，用以計算關(guān)聯(lián)于該影像中上述這些每一個像素的基準(zhǔn)灰階值，其中該基準(zhǔn)灰階值包括位在相鄰于該每一個像素的像素的灰階值的平均值；以及比較模塊，用以比較在該影像中上述這些每一個像素的灰階值與關(guān)聯(lián)于該每一個像素的第一臨界值與第二臨界值，其中該第一臨界值包括該基準(zhǔn)灰階值的上限，且該第二臨界值包括該基準(zhǔn)灰階值的下限。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包含內(nèi)存，用以儲存關(guān)聯(lián)于上述這些每一個像素的該基準(zhǔn)灰階值，與關(guān)聯(lián)于該基準(zhǔn)灰階值的該第一與第二臨界值。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其特征在于，該掃描儀包括第一行的掃描單元與第二行的掃描單元，上述這些第一行與第二行的掃描單元相對于彼此而交錯。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的系統(tǒng)，其特征在于，上述這些每一個掃描單元包括多個傳感器胞，且在該第一行中的掃描單元與在該第二行中緊鄰的掃描單元重疊有預(yù)定數(shù)目的傳感器胞。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的系統(tǒng)，其特征在于，上述這些每一個掃描單元包括多個傳感器胞，且在該每一個掃描單元中上述這些掃描單元的密度等于或大于該產(chǎn)品中上述這些次像素的密度的兩倍。
15.根據(jù)權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包含排序模塊，用以按缺陷的數(shù)目來排序多個產(chǎn)品。
16.一種用于檢測產(chǎn)品的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包含第一掃描儀，用以掃描該產(chǎn)品，并產(chǎn)生該產(chǎn)品的第一影像，該第一影像包括像素矩陣， 其每一者具有灰階值；第二掃描儀，用以掃描該產(chǎn)品，并產(chǎn)生該產(chǎn)品的第二影像，該第二影像包括像素矩陣， 其每一者具有灰階值；以及分析裝置，其電性耦合于該掃描儀，用以接收與分析該產(chǎn)品的該第一與第二影像，該分析裝置包括微處理器，用以計算關(guān)聯(lián)于該第一與第二影像中每一個像素的基準(zhǔn)灰階值，其中該基準(zhǔn)灰階值包括位在相鄰于該每一個像素的像素的灰階值的平均值；內(nèi)存，用以儲存關(guān)聯(lián)于在該第一與第二影像中每一個像素的該基準(zhǔn)灰階值，與關(guān)聯(lián)于該基準(zhǔn)灰階值的至少一個臨界值；以及比較模塊，用以比較在該第一與第二影像中每一個像素的灰階值與關(guān)聯(lián)于該每一個像素的該至少一個臨界值。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的系統(tǒng)，其特征在于，該掃描儀包括設(shè)置在第一方向上的多個掃描單元，且其中該掃描儀構(gòu)形成在垂直于該第一方向的第二方向上相對于該產(chǎn)品移動。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的系統(tǒng)，其特征在于，該掃描儀包括第一行的掃描單元與第二行的掃描單元，上述這些第一行與第二行的掃描單元相對于彼此而交錯。
19.根據(jù)權(quán)利要求16所述的系統(tǒng)，其特征在于，該至少一個臨界值包括作為該基準(zhǔn)灰階值的上限的第一臨界值，及作為該基準(zhǔn)灰階值的下限的第二臨界值。
20.根據(jù)權(quán)利要求16所述的系統(tǒng)，其特征在于，該比較模塊構(gòu)形成比較來自關(guān)聯(lián)于該第一影像中像素的該至少一個臨界值的第一偏移量與來自關(guān)聯(lián)于該第二影像中該像素的該至少一個臨界值的第二偏移量。
全文摘要
本發(fā)明揭示一種用于檢測產(chǎn)品的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括掃描儀，用以掃描該產(chǎn)品，并產(chǎn)生該產(chǎn)品的影像，該影像包括像素矩陣，其每一者具有灰階值，及分析裝置，其電性耦合于該掃描儀來接收與分析該產(chǎn)品的影像，該分析裝置包括微處理器，用以計算關(guān)聯(lián)于該影像中每一個像素的基準(zhǔn)灰階值，其中該基準(zhǔn)灰階值包括位在相鄰于該每一個像素的像素的上述這些灰階值的平均值，內(nèi)存，用以儲存關(guān)聯(lián)于每一個像素的基準(zhǔn)灰階值，與該基準(zhǔn)灰階值關(guān)聯(lián)的至少一個臨界值，及比較模塊，用以比較在該影像中每一個像素的灰階值與關(guān)聯(lián)于該每一個像素的至少一個臨界值。
文檔編號G01N21/88GK102200519SQ20101020063
公開日2011年9月28日 申請日期2010年6月11日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月26日
發(fā)明者蔡榮華, 郭上鯤 申請人:郭上鯤