專(zhuān)利名稱：探針電阻的檢測(cè)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域內(nèi)的檢測(cè)方法，尤其涉及一種測(cè)試用探針電阻的 檢測(cè)方法。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域內(nèi)，需要采用測(cè)試工具來(lái)檢測(cè)器件的電阻。請(qǐng)參閱圖1，圖1所 示是通過(guò)測(cè)試工具檢測(cè)器件電阻的結(jié)構(gòu)示意圖。其中，標(biāo)號(hào)1表示器件、標(biāo)號(hào)21表示第一 引線、標(biāo)號(hào)22表示第二引線、標(biāo)號(hào)31表示第一焊墊、32表示第二焊墊、41表示第一探針、42 表示第二探針。從圖1可見(jiàn)，所述第一焊墊31和第二焊墊32別通過(guò)各自的引線即第一引 線21和第二引線22連接至所述器件1的兩端，當(dāng)測(cè)試工具的探針?lè)謩e與所述第一焊墊和 第二焊墊接觸時(shí)，就可以測(cè)得所述器件的電阻，其中，焊墊和引線的電阻忽略不計(jì)。所述器件可以是N型或P型金屬化的聚乙烯(poly)電阻，或者是擴(kuò)散 (diffusion)電阻。然而，要保證測(cè)試數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和可靠性，我們必需要時(shí)時(shí)關(guān)注測(cè)試工具的工作 狀態(tài)。其中，測(cè)試工具的探針的電阻變化對(duì)測(cè)試工具的準(zhǔn)確性和可靠性影響比較大。因此， 我們需要經(jīng)常檢測(cè)探針的電阻是否處在正常范圍內(nèi)，而不會(huì)影響測(cè)試工具的測(cè)試準(zhǔn)確性和
可靠性。因此，如何提供一種可以快速、準(zhǔn)確判斷探針的電阻是否處于正常范圍內(nèi)的探針 電阻的檢測(cè)方法是本領(lǐng)域亟待解決的一個(gè)技術(shù)問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種探針電阻的檢測(cè)方法，可以快速、準(zhǔn)確地判斷探針的 電阻是否處于正常范圍內(nèi)，從而提高測(cè)試工具的測(cè)試準(zhǔn)確性和可靠性。為了達(dá)到上述的目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案一種探針電阻的檢測(cè)方法，所述探針用于測(cè)試工具檢測(cè)器件的電阻，包括如下步 驟步驟1，將至少三個(gè)探針?lè)謩e兩兩組合與連至所述器件兩端的第一焊墊和第二焊墊接觸；步驟2，獲取各組探針的電阻之和；步驟3，計(jì)算出各個(gè)探針的電阻；步驟4，將各個(gè)探針的電阻分別和探針電阻的允許范圍做比較，判斷探針的電阻是 否屬于探針電阻的允許范圍。在上述的探針電阻的檢測(cè)方法中，所述步驟2中各組探針的電阻之和是通過(guò)以下 公式獲得的Rpx_py = 2*Rt。tall-Rt。tal2，其中，Rpx_py表示測(cè)試工具所用的兩個(gè)探針的電阻之和， Rtotall表示測(cè)試工具測(cè)量電阻為R的器件的測(cè)量值，Rt0tal2表示測(cè)試工具測(cè)量電阻為2R的器 件的測(cè)量值。
在上述的探針電阻的檢測(cè)方法中，所述公式Rpx_py = 2*Rt。tall_Rt。tal2是通過(guò)以下方 式獲得的Rtotall = Rpx_py+2*Rm+R ；Rt0tal2 = Rx_y+2*Rm+2R，其中 Rm 為各引線的電阻。在上述的探針電阻的檢測(cè)方法中，所述探針電阻的允許范圍如下 Rwat-n*Rstd ^ Rp ^ Rwat+n*Rstd其中，Rp表示探針電阻，Rwat表示使用自動(dòng)測(cè)試機(jī)臺(tái)所測(cè)得的 探針電阻的平均值，Rstd表示使用自動(dòng)測(cè)試機(jī)臺(tái)所測(cè)得的探針電阻的標(biāo)準(zhǔn)偏差，η是一個(gè)正 整數(shù)。在上述的探針電阻的檢測(cè)方法中，所述判斷探針的電阻是否屬于探針電阻的允許 范圍的判斷方法如下如果探針的電阻屬于探針電阻的允許范圍，則該探針的電阻符合要 求，如果探針的電阻不屬于探針電阻的允許范圍，則該探針的電阻不符合要求。本發(fā)明的有益效果如下本發(fā)明的探針電阻的檢測(cè)方法，簡(jiǎn)便易行。通過(guò)本發(fā)明探針電阻的檢測(cè)方法，可以 方便檢測(cè)人員檢測(cè)測(cè)試工具所采用的探針的電阻是否正常，從而可以有效監(jiān)控測(cè)試工具的 工作狀態(tài)是否正常，進(jìn)而可以有效保證采用測(cè)試工具測(cè)量器件所獲得的測(cè)試數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性 和可靠性。


本發(fā)明的探針電阻的檢測(cè)方法由以下的實(shí)施例及附圖給出。圖1是探針電阻的檢測(cè)方法的流程圖；圖2是用探針檢測(cè)電阻為R的器件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是圖2所示結(jié)構(gòu)的電阻原理圖；圖4是用探針檢測(cè)電阻為2R的器件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5是圖4所示結(jié)構(gòu)的電阻原理圖；圖中，11-電阻為R的器件，12-電阻為2R的器件、21-第一引線、22-第二引線、
31-第一焊墊、32-第二焊墊、41-第一探針、42-第二探針。
具體實(shí)施例方式以下將對(duì)本發(fā)明的探針電阻的檢測(cè)方法作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。下面將參照附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例， 應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本發(fā)明而仍然實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的有利效果。因 此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本發(fā)明的限制。為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能 和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本發(fā)明由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開(kāi) 發(fā)中，必須作出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開(kāi)發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的 限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開(kāi)發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi) 時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)僅僅是常規(guī)工作。為使本發(fā)明的目的、特征更明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
作 進(jìn)一步的說(shuō)明。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用以方 便、明晰地輔助說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例的目的。請(qǐng)參閱圖1，圖1所示為探針電阻的檢測(cè)方法的流程圖。這種探針電阻的檢測(cè)方
4法，所述探針用于測(cè)試工具檢測(cè)器件的電阻，包括如下步驟步驟1，請(qǐng)參見(jiàn)圖1的第Sl步，將至少三個(gè)探針?lè)謩e兩兩組合與連接至所述器件兩 端的第一焊墊和第二焊墊接觸。本實(shí)施例中，共對(duì)四個(gè)探針(第一探針，第二探針、第三探 針和第四探針)進(jìn)行測(cè)試。這四個(gè)探針的兩兩組合分別是第一探針和第二探針、第二探針 和第三探針、第一探針和第三探針以及第四探針和第二探針。步驟2，請(qǐng)參見(jiàn)圖1的第S2步，獲取各組探針的電阻之和，即獲取第一探針和第二
探針的電阻之和Rpl_py2，Rpl_py2 = Rp1+Rp2 ；獲取第二探針和第三探針的電阻之和Rp2_py3，Rp2_py3 =Rp2+Ep3 ；獲取探針41、43的電阻之和Rpl_py3，Rpl_py3 = Rp21+Rp3 ；以及獲取第四探針和第二探
針的電阻之和 Rp4_py2，Rp4_py2 = Rp4+Rp2。所述步驟2中各組探針的電阻之和是通過(guò)以下公式獲得的Rpx_py = 2*Rt。tall_Rt。tal2，其中，Rpx_py表示測(cè)試工具所用的兩個(gè)探針的電阻之和，本實(shí)施例中 別代表Rpl_py2、Rpl_py3、Rp2_py3和Rp4_py2。Rtotall表示測(cè)試工具測(cè)量電阻為R的器件的測(cè)量值， Rt0tal2表示測(cè)試工具測(cè)量電阻為2R的器件的測(cè)量值。電阻為R的器件和電阻為2R的器件， 寬度都是2um，而長(zhǎng)度是分別IOum和20um。所述公式Rpx_py = 2*Rt。tall_Rt。tal2是通過(guò)以下方式獲得的請(qǐng)參見(jiàn)圖2和圖3，圖2是用探針檢測(cè)電阻為R的器件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是圖2 所示結(jié)構(gòu)的電阻原理圖。圖中，11-電阻為R的器件，21-第一引線、22-第二引線、31-第一 焊墊、32-第二焊墊、41-第一探針、42-第二探針。從圖2和圖3可見(jiàn)Rtotall = Rpx_py+2*Rm+R---------------------(1)，此時(shí)，Rpx_py 表示 Rpl_p2。其中，Rtotall表示測(cè)試工具測(cè)量電阻為R的器件的測(cè)量值，Rffl表示連接于電阻為R 的器件端部的引線的電阻，R表示電阻是R的器件的電阻，且其中焊墊的電阻直接忽略不 計(jì)。請(qǐng)參見(jiàn)圖4和圖5，圖4是用探針檢測(cè)電阻為2R的器件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5是圖4 所示結(jié)構(gòu)的電阻原理圖。圖中，12-電阻為2R的器件、21-第一引線、22-第二引線、31-第 一焊墊、32-第二焊墊、41-第一探針、42-第二探針。從圖4和圖5可見(jiàn)Rt0tal2 = Rpx_py+2*Rm+2R---------------------(2)，此時(shí)，Rpx_py 表示 Rpl_p2。其中，Rtotall表示測(cè)試工具測(cè)量電阻為2R的器件的測(cè)量值，Rm表示連接于電阻為 2R的器件端部的引線的電阻，2R表示電阻為2R的器件的電阻，且其中焊墊的電阻也直接忽 略不計(jì)。從式子(1)和式子⑵可以換算得到Rpx_py = 2*Rt。tall-Rt。tal2_2*Rm由于Rm的電阻也很小，所以也可以忽略不計(jì)，因此，就可以得到各組探針的電阻之
和的獲取公式，即 Rpx_py = 2*Rt。tall-Rt。tal2。在該步驟中，將第一探針41和第二探針42分別與電阻為R的器件11的兩端的 焊墊(即第一焊墊31和第二焊墊32)接觸，可以測(cè)得Rt。tall ；將第一探針41和第二探針 42分別于電阻為2R的器件12的兩端的焊墊接觸，可以測(cè)得Rt。tal2，然后，通過(guò)公式Rpx_py = 2*Rt。tall_Rt。tal2就可以獲得第一探針41和第二探針42的電阻之和Rp1_p2。同理，可以獲得第 二探針和第三探針的電阻之和Rp2_p3，可以獲得第一探針和第三探針的電阻之和Rp1_p3，以及 可以獲得第四探針和第二探針的電阻之和Rp4_p2。以下是使用探針兩兩組合來(lái)測(cè)量電阻，數(shù) 根據(jù)Rpx_py = 2*Rt。tall-Rt。tal2和上表以及Rpx_py = Rpx+Rpy，可以得到以下方程組Rpl+Rp2 = 29. 4Rp2+Rp3 = 29. 2Rpl+Rp4 = 29Rp4+Rp2 = 27. 8步驟3，請(qǐng)參見(jiàn)圖1的第S3步，計(jì)算出各個(gè)探針的電阻。此步驟是通過(guò)解上述方程 組可以計(jì)算出各個(gè)探針的電阻，分別如下Rpl = 14. 6，Rp2 = 14. 8，Rp3 = 14. 4，Rp4 = 13。步驟4，請(qǐng)參見(jiàn)圖1的第S4步，將各個(gè)探針的電阻分別和探針電阻的允許范圍做比 較，判斷探針的電阻是否屬于探針電阻的允許范圍。如果探針的電阻屬于探針電阻的允許 范圍，則該探針的電阻符合要求，如果探針的電阻不屬于探針電阻的允許范圍，則該探針的 電阻不符合要求。所述探針電阻的允許范圍如下Rwat_3*Rstd彡Rp<Rwat+3*Rstd，其中，Rp表示探針的 電阻，Rwat表示使用自動(dòng)測(cè)試機(jī)臺(tái)所測(cè)得的探針電阻的平均值，Rstd表示使用自動(dòng)測(cè)試機(jī)臺(tái)
所測(cè)得的探針電阻的標(biāo)準(zhǔn)偏差。η是一個(gè)正整數(shù)，表示幾倍標(biāo)準(zhǔn)偏差，可以是1，2，3......，
即表示對(duì)Rp取值范圍的限定，本實(shí)施例例中，我們?nèi)ˇ?= 3。其中，Rwaw和Rstd的獲取方法如下整個(gè)硅圓片上有若干組電阻是R和2R的器件， 可以使用自動(dòng)測(cè)試機(jī)臺(tái)對(duì)其進(jìn)行測(cè)量，而后依據(jù)上面所表述的方法進(jìn)行計(jì)算，每一組R和 2R的電阻測(cè)量值都可以計(jì)算獲得探針電阻的一個(gè)數(shù)值Rn = RpX_pY/2。取Rn這個(gè)名字是防止 和我們手動(dòng)測(cè)試的電阻Rp重名。這個(gè)測(cè)量過(guò)程只使用了兩個(gè)探針，我們可以認(rèn)為它們是等 價(jià)的。由此，我們有若干個(gè)Rn，對(duì)這些Rn計(jì)算平均值(或中間值)Rwat和標(biāo)準(zhǔn)偏差Rstd。標(biāo) 準(zhǔn)偏差Rstd根據(jù)數(shù)據(jù)離散程度計(jì)算而得，其為數(shù)據(jù)處理的常規(guī)手段，在此不在贅述。本實(shí)施 例中，測(cè)試及計(jì)算結(jié)果是Rwat = 13. 95和Rstd = 0. 694。本實(shí)施例中，Rwat-3*Rstd彡Rp彡Rwat+3*Rstd，就相當(dāng)于
13.95-3*0. 694 ^ Rp ^ 13. 95+3*0. 694，即 11. 968 ^ Rp ^ 16. 032，結(jié)合前面得到的 Rpl =
14.6，Rp2 = 14. 8，Rp3 = 14. 4，Rp4 = 13，可見(jiàn)，這四個(gè)探針均符合要求。由此可見(jiàn)，本發(fā)明的探針電阻的檢測(cè)方法，簡(jiǎn)便易行。通過(guò)本發(fā)明探針電阻的檢測(cè) 方法，可以方便檢測(cè)人員檢測(cè)測(cè)試工具所采用的探針的電阻是否正常，從而可以有效監(jiān)控 測(cè)試工具的工作狀態(tài)是否正常，進(jìn)而，可以有效保證采用測(cè)試工具測(cè)量器件所獲得的測(cè)試 數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和可靠性。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精 神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍 之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求
一種探針電阻的檢測(cè)方法，所述探針用于測(cè)試工具檢測(cè)器件的電阻，其特征在于，包括如下步驟步驟1，將至少三個(gè)探針?lè)謩e兩兩組合與連至所述器件兩端的第一焊墊和第二焊墊接觸；步驟2，獲取各組探針的電阻之和；步驟3，計(jì)算出各個(gè)探針的電阻；步驟4，將各個(gè)探針的電阻分別和探針電阻的允許范圍做比較，判斷探針的電阻是否屬于探針電阻的允許范圍。
2.如權(quán)利要求1所述的探針電阻的檢測(cè)方法，其特征在于，所述步驟2中各組探針的電 阻之和是通過(guò)以下公式獲得的Rpx_py = 2*Rt。tall-Rt。tal2，其中，Rpx_py表示測(cè)試工具所用的兩 個(gè)探針的電阻之和，Rtotall表示測(cè)試工具測(cè)量電阻為R的器件的測(cè)量值，Rt0tal2表示測(cè)試工具 測(cè)量電阻為2R的器件的測(cè)量值。
3.如權(quán)利要求2所述的探針電阻的檢測(cè)方法，其特征在于，所述公式Rpx_py= 2*Rt。tall_Rt。tal2 是通過(guò)以下方式獲得的=Rtotall = Rpx_py+2*Rm+R ；Rt0tal2 = Rx_y+2*Rm+2R，其中 Rm為各引線的電阻。
4.如權(quán)利要求1所述的探針電阻的檢測(cè)方法，其特征在于，所述探針電阻的允許范圍 如下Rwat_n*Rstd ≤ Rp ≤ Rwat+n*Rstd，其中，Rp表示探針電阻，Rwat表示使用自動(dòng)測(cè)試機(jī)臺(tái)所 測(cè)得的探針電阻的平均值，Rstd表示使用自動(dòng)測(cè)試機(jī)臺(tái)所測(cè)得的探針電阻的標(biāo)準(zhǔn)偏差，η是 一個(gè)正整數(shù)。
5.如權(quán)利要求1所述的探針電阻的檢測(cè)方法，其特征在于，所述判斷探針的電阻是否 屬于探針電阻的允許范圍的判斷方法如下如果探針的電阻屬于探針電阻的允許范圍，則 該探針的電阻符合要求，如果探針的電阻不屬于探針電阻的允許范圍，則該探針的電阻不 符合要求。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種測(cè)試用探針電阻的檢測(cè)方法。這種探針電阻的檢測(cè)方法，所述探針用于測(cè)試工具檢測(cè)器件的電阻，包括如下步驟步驟1，將至少三個(gè)探針?lè)謩e兩兩組合與連至所述器件兩端的第一焊墊和第二焊墊接觸；步驟2，獲取各組探針的電阻之和；步驟3，計(jì)算出各個(gè)探針的電阻；步驟4，將各個(gè)探針的電阻分別和探針電阻的允許范圍做比較，判斷探針的電阻是否屬于探針電阻的允許范圍。本發(fā)明的探針電阻的檢測(cè)方法，簡(jiǎn)便易行。通過(guò)本發(fā)明探針電阻的檢測(cè)方法，可以方便檢測(cè)人員檢測(cè)測(cè)試工具所采用的探針的電阻是否正常，從而可以有效監(jiān)控測(cè)試工具的工作狀態(tài)是否正常，進(jìn)而可以有效保證采用測(cè)試工具測(cè)量器件所獲得的測(cè)試數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和可靠性。
文檔編號(hào)G01R27/02GK101907657SQ201010198398
公開(kāi)日2010年12月8日 申請(qǐng)日期2010年6月11日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月11日
發(fā)明者路向黨 申請(qǐng)人:上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司