專利名稱：通過電阻式輻射熱測(cè)量計(jì)陣列檢測(cè)紅外輻射的器件和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及紅外線成像和測(cè)輻射熱的高溫測(cè)量領(lǐng)域。更具體地，本發(fā)明涉及對(duì)來自電阻式輻射熱測(cè)量計(jì)檢測(cè)陣列的響應(yīng)中的空間不均 勻性進(jìn)行校正的領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
在紅外檢測(cè)器領(lǐng)域，存在一種使用如下器件的已知技術(shù)該器件被布置成陣列形 式，能夠在環(huán)境溫度下工作(換句話說不需要被冷卻至極低溫度)，這與需要在極低溫度 (通常在液氮的溫度)下工作的被稱作“量子檢測(cè)器”的檢測(cè)器件不同。這些未冷卻的檢測(cè)器傳統(tǒng)上利用適當(dāng)材料的物理變量隨300K附近溫度的變化。 在測(cè)輻射熱檢測(cè)器的情況下，該物理變量是所述材料的電阻率。這種類型的未冷卻的檢測(cè)器通常包括-吸收紅外輻射并將其轉(zhuǎn)化成熱的裝置；-使所述檢測(cè)器熱絕緣的裝置，使得允許檢測(cè)器在紅外輻射的作用下變熱；-測(cè)溫裝置，其在測(cè)輻射熱檢測(cè)器的情況下使用電阻式部件；-以及讀取由測(cè)溫裝置提供的電變量的裝置。旨在用于紅外成像的檢測(cè)器被常規(guī)地制造成測(cè)輻射熱單元檢測(cè)器或輻射熱測(cè)量 計(jì)的一維或二維陣列的形式，所述陣列通過每個(gè)單元檢測(cè)器處的支撐臂懸于一般由硅制成 的襯底之上。在襯底中通常提供有對(duì)單元檢測(cè)器進(jìn)行順序?qū)ぶ返难b置、對(duì)由這些單元檢測(cè)器生 成的電信號(hào)進(jìn)行電激勵(lì)和預(yù)處理的裝置。因此這些順序?qū)ぶ费b置、電激勵(lì)和預(yù)處理裝置在 襯底中形成并構(gòu)成“讀取電路”。為了通過這種檢測(cè)器獲取場景的圖像，通過合適的光學(xué)裝置將場景投射到單元檢 測(cè)器陣列上，通過讀取電路向每個(gè)單元檢測(cè)器或向每行所述檢測(cè)器施加時(shí)鐘控制的電激 勵(lì)，以便獲得構(gòu)成每個(gè)所述單元檢測(cè)器達(dá)到的溫度的圖像的電信號(hào)。該信號(hào)由讀取電路、然 后可能由封裝外部的電子器件以或多或少復(fù)雜的方式進(jìn)行處理，以便生成所觀察場景的熱 圖像。這樣的檢測(cè)器具有在制造成本和使用方面的許多優(yōu)勢(shì)，但也具有限制其性能的缺
點(diǎn)ο具體而言，存在由輻射熱測(cè)量計(jì)陣列形成的信號(hào)的均勻性問題。事實(shí)上，由于輻射 熱測(cè)量計(jì)的性能離散，在使輻射熱測(cè)量計(jì)處于同一工作溫度時(shí)這些輻射熱測(cè)量計(jì)產(chǎn)生不完 全一樣的輸出電平，且在面對(duì)來自場景的同一紅外輻射時(shí)響應(yīng)得不完全一致，所以由檢測(cè) 器形成的均勻場景的圖像具有固定的圖案噪聲。這樣的離散可能具有諸多原因?？闪信e主要原因是輻射熱測(cè)量計(jì)的表現(xiàn)為電阻離 散的工藝離散，導(dǎo)致即使在由均勻場景供給陣列的情況下檢測(cè)器的輸出電平也變化。信號(hào) 離散的另一原因是襯底及其空間溫度分布的熱偏移，而輻射熱測(cè)量計(jì)跟隨支撐輻射熱測(cè)量計(jì)的襯底的溫度。一般而言，用術(shù)語“偏差”表示在由均勻場景對(duì)陣列提供饋送的情況下，某一特定 輻射熱測(cè)量計(jì)的輸出電平相對(duì)于陣列中的輻射熱測(cè)量計(jì)的平均輸出電平的偏移。在下文 中，用術(shù)語“連續(xù)電平”(Niveau Continu)或簡寫詞NC來表示在這些特定均勻饋送狀態(tài)中 的所有輸出電平。為了補(bǔ)償輻射熱測(cè)量計(jì)的偏差離散(這是由檢測(cè)器提供的信號(hào)在質(zhì)量方面的局 限性的主要原因)，開發(fā)出許多校正技術(shù)。第一類型的偏差校正，例如文獻(xiàn)US 2002/02^38中所述，包括獲取基準(zhǔn)圖像，即 均勻場景的基準(zhǔn)圖像。該基準(zhǔn)圖像隨后被存儲(chǔ)在系統(tǒng)(此處這個(gè)詞是指實(shí)施檢測(cè)器或傳感 器的所有電子機(jī)械和軟件功能)中，并隨后被從由該系統(tǒng)獲得的每個(gè)圖像中數(shù)字地或模擬 地減去?；鶞?zhǔn)圖像通常借助于本質(zhì)上等溫的快門來形成，關(guān)閉該快門以獲得均勻場景。該第一技術(shù)的缺點(diǎn)是在整個(gè)基準(zhǔn)圖像獲取時(shí)間內(nèi)始終使檢測(cè)器不工作。另外，安 裝快門涉及到不可忽略的額外成本并增加系統(tǒng)中機(jī)械故障的來源及系統(tǒng)的能耗。第二類型的偏差離散校正基于電阻式輻射熱測(cè)量計(jì)的偏差取決于其溫度這個(gè)事 實(shí)。在該第二類型的輻射熱測(cè)量計(jì)校正中，例如文獻(xiàn)US5811808中所述，在系統(tǒng)中長期地存 儲(chǔ)針對(duì)各種預(yù)定的傳感器溫度的偏差表。所述系統(tǒng)具有測(cè)溫傳感器、數(shù)據(jù)處理單元，所述測(cè) 溫傳感器測(cè)量襯底的溫度，所述數(shù)據(jù)處理單元隨后根據(jù)測(cè)量到的溫度來選擇所存儲(chǔ)的偏差 表之一、或者根據(jù)測(cè)量到的溫度通過對(duì)所存儲(chǔ)的表進(jìn)行插值來創(chuàng)建新的偏差表。所選擇或 創(chuàng)建的偏差表隨后被從當(dāng)前檢測(cè)到的圖像中減去。該類型的校正就不需要快門，但是卻表現(xiàn)得不如第一校正類型有效。另外，參考點(diǎn) 的數(shù)量和插值多項(xiàng)式的次數(shù)越高，通過插值進(jìn)行的校正的精確度就越高。然而，高質(zhì)量的插 值需要大量計(jì)算資源和存儲(chǔ)足夠數(shù)量的表。另外，偏差表獲取時(shí)間很長。最后，最重要的是， 由于其原理，插值只在參考點(diǎn)附近才在精確度上有效。因此，只要需要對(duì)檢測(cè)器的工作溫度 范圍精確采樣，實(shí)施第二技術(shù)的檢測(cè)器的制造成本就會(huì)變得非常昂貴。本發(fā)明的目的在于，通過提出一種使用數(shù)量有限的表的同時(shí)無需快門的精確有效 的校正技術(shù)來解決前述難題。

發(fā)明內(nèi)容
為此，本發(fā)明的目的是一種紅外輻射檢測(cè)器件，其包括襯底；用于檢測(cè)所述輻射 的至少一行部件的陣列，每個(gè)所述部件都包括電阻式成像輻射熱測(cè)量計(jì)，所述陣列形成于 所述襯底上面；所述器件包括用于測(cè)量在所述襯底的至少一個(gè)點(diǎn)處的溫度(稱作焦面溫度 或FPT)的溫度測(cè)量裝置，以及用于根據(jù)在所述襯底的至少一個(gè)點(diǎn)處測(cè)得的溫度對(duì)基于每 個(gè)輻射熱測(cè)量計(jì)形成的信號(hào)進(jìn)行校正的校正裝置。根據(jù)本發(fā)明，校正裝置能夠借助于所述信號(hào)的溫度性能的預(yù)定物理模型，尤其借 助于輻射熱測(cè)量計(jì)的溫度性能的預(yù)定物理模型對(duì)基于輻射熱測(cè)量計(jì)形成的信號(hào)進(jìn)行校正。優(yōu)選地，所述模型被簡潔地表示成公式，換句話說適合于快速計(jì)算而無需微分方 程的數(shù)值解。電阻式輻射熱測(cè)量計(jì)的溫度以及因此其電阻均取決于所觀測(cè)的場景的溫度(其 紅外功率通過光學(xué)裝置被投射到輻射熱測(cè)量計(jì)陣列上并被每個(gè)輻射熱測(cè)量計(jì)拾取)，然而最重要的是取決于焦面溫度。由于輻射熱測(cè)量計(jì)是熱檢測(cè)部件，它們通過熱絕緣臂懸于包 含讀取電路的襯底上面。通過熱傳導(dǎo)，焦面溫度直接影響輻射熱測(cè)量計(jì)的溫度。作為一般 構(gòu)思可以假定焦面對(duì)輻射熱測(cè)量計(jì)溫度的貢獻(xiàn)約為99%，相對(duì)地場景溫度大約1%。因此， 無論場景溫度如何，輻射熱測(cè)量計(jì)的輸出電平性能主要取決于焦面溫度。焦面溫度因此設(shè) 置輻射熱測(cè)量計(jì)的溫度工作點(diǎn)。輻射熱測(cè)量計(jì)的電阻離散還隨焦面溫度而變化。特定輻射 熱測(cè)量計(jì)的電阻的變化可根據(jù)焦面溫度來估算，進(jìn)而，由于每個(gè)輻射熱測(cè)量計(jì)的電阻都可 知道，亦可估算離散性的變化。對(duì)基于輻射熱測(cè)量計(jì)形成的信號(hào)的溫度性能的準(zhǔn)確建模，尤 其對(duì)輻射熱測(cè)量計(jì)的溫度性能的建模，因此允許確保在焦面溫度變化時(shí)，校正在時(shí)間上的 有效性。輻射熱測(cè)量計(jì)的信號(hào)的“性能”這個(gè)術(shù)語在此用于限定焦面溫度和信號(hào)形成處理 的結(jié)果之間的可重復(fù)的對(duì)應(yīng)關(guān)系，焦面溫度構(gòu)成輻射熱測(cè)量計(jì)的熱休眠工作點(diǎn)，信號(hào)形成 過程的結(jié)果取決于在處理所述信號(hào)中牽涉到的部件的各個(gè)物理參數(shù)。這些參數(shù)中最重要的 是在任意焦面溫度下、針對(duì)給定的IR(紅外)亮度條件、形成于該襯底上面的輻射熱測(cè)量計(jì) 的電阻，然而其它參數(shù)也可以發(fā)揮作用，比如補(bǔ)償結(jié)構(gòu)的電阻。事實(shí)上，在信號(hào)形成時(shí)廣泛地使用所謂的補(bǔ)償結(jié)構(gòu)，用于產(chǎn)生表示成像輻射熱測(cè) 量計(jì)的電流中的獨(dú)立于場景的、被稱為共模電流的部分電流。該電流在信號(hào)形成前被從成 像輻射熱測(cè)量計(jì)電流中減去，隨后將更詳細(xì)地進(jìn)行解釋。通常，該結(jié)構(gòu)自身是測(cè)輻射熱的， 并使用與敏感成像結(jié)構(gòu)相同的材料來形成。因此，用于形成信號(hào)的電流已經(jīng)被由焦面溫度 的波動(dòng)引起的變化大大地補(bǔ)償，并主要表現(xiàn)熱場景。針對(duì)焦面溫度對(duì)信號(hào)及其離散的影響 的前述考慮仍然保持非常廣泛的可應(yīng)用性。焦面溫度和所形成的信號(hào)之間的該對(duì)應(yīng)關(guān)系優(yōu)選地借助于“物理模型”來建立，所 述物理模型表示在這些參考光學(xué)條件下根據(jù)焦面溫度形成的信號(hào)的性能的規(guī)律。應(yīng)當(dāng)注意，在此，物理模型表示一個(gè)或更多數(shù)學(xué)關(guān)系式，比如函數(shù)或微分方程組 等，無論其基于識(shí)別出的單組性能參數(shù)的輸入值如何，其輸出都是可計(jì)算的。優(yōu)選地，本發(fā) 明的目的在于以“緊湊的”解析形式進(jìn)行信號(hào)建模，這允許直接和快速的計(jì)算，而沒有復(fù)雜 的求解循環(huán)。換句話說，基于輻射熱測(cè)量計(jì)形成的信號(hào)的溫度性能的物理模型允許根據(jù)測(cè)得的 焦面溫度來確定信號(hào)偏差，而無需使用快門或者對(duì)多個(gè)表進(jìn)行插值。另外，物理模型使用數(shù)量有限的參數(shù)，使得參數(shù)識(shí)別與現(xiàn)有技術(shù)的多個(gè)表的識(shí)別 相比成本更低。根據(jù)本發(fā)明，溫度測(cè)量裝置包括用于測(cè)量襯底溫度的至少一個(gè)探針。根據(jù)本發(fā)明的一具體實(shí)施方式
，溫度測(cè)量裝置包括多個(gè)溫度測(cè)量探針以及用于根 據(jù)在襯底的多個(gè)點(diǎn)處測(cè)得的溫度對(duì)襯底的溫度的空間分布進(jìn)行建模的裝置，所述溫度測(cè)量 探針能夠在襯底的多個(gè)點(diǎn)上測(cè)量襯底的溫度，以及，校正裝置能夠根據(jù)襯底附近的建模得 到的襯底溫度對(duì)基于輻射熱測(cè)量計(jì)形成的信號(hào)進(jìn)行校正。換句話說，襯底在其溫度方面可以具有空間不均勻性，通過對(duì)襯底溫度的空間分 布進(jìn)行建模，可以確定每個(gè)輻射熱測(cè)量計(jì)下面的襯底的溫度，從而提高校正的精確度。優(yōu)選地，校正裝置能夠估算連續(xù)電平(NC)，所述連續(xù)電平對(duì)應(yīng)于陣列對(duì)溫度基本 上等于測(cè)得的焦面溫度的均勻場景的曝光。
所述校正裝置一方面能夠根據(jù)下列關(guān)系式來估算輻射熱測(cè)量計(jì)的電阻
R。，、(i，j)一Rab，(i，j)．C(TIIl。，)
其中
。RPqt(i，j)是輻射熱測(cè)量計(jì)的被估算出的電阻，
。Ra．h，(i，j)是輻射熱測(cè)量計(jì)的預(yù)定的基準(zhǔn)電阻，
。C(TmCS)是取決于以開爾文溫度表示的所測(cè)得的焦面溫度TmCS的參數(shù)。
優(yōu)選地，參數(shù)C(TIll。，)根據(jù)下列關(guān)系式來計(jì)算廠 J；．、
其中
。E+是輻射熱測(cè)量計(jì)的預(yù)定傳導(dǎo)率的啟動(dòng)能量，
。k是玻爾茲曼常數(shù)。
根據(jù)一個(gè)具體發(fā)明實(shí)施例，所述器件包括共模補(bǔ)償結(jié)構(gòu)、讀取裝置以及校正裝置，所述共模補(bǔ)償結(jié)構(gòu)包括與陣列的每一列相關(guān)聯(lián)的補(bǔ)償輻射熱測(cè)量計(jì)，所述讀取裝置能夠基于在成像輻射熱測(cè)量計(jì)中流動(dòng)的電流和在與其關(guān)聯(lián)的補(bǔ)償輻射熱測(cè)量計(jì)中流動(dòng)的電流之間的差來形成信號(hào)，所述校正裝置能夠估算所述補(bǔ)償輻射熱測(cè)量計(jì)的電阻，所述電阻對(duì)應(yīng)于所述陣列對(duì)溫度基本上等于所測(cè)得的溫度的均勻場景的曝光，以便校正信號(hào)。
特別地，校正裝置能夠根據(jù)下列關(guān)系式來估算補(bǔ)償輻射熱測(cè)量計(jì)的電阻[ooso] R。。IIl。。，、(j)一R。。mD。b，(j)．C(TIIl。，)
其中，R。。mD—CS、(j)是估算出的補(bǔ)償輻射熱測(cè)量計(jì)的電阻，R。。mD一。b，(j)是補(bǔ)償輻射熱測(cè)量計(jì)的預(yù)定的基準(zhǔn)電阻，而C(TmCS)是取決于襯底的所測(cè)得的溫度TmCS的參數(shù)。更具體而言，參數(shù)C(TIll。，)根據(jù)下列關(guān)系式來計(jì)算
權(quán)利要求
1.一種紅外輻射檢測(cè)器件，包括-襯底；-檢測(cè)所述輻射的至少一行部件的陣列(1 ，每個(gè)所述部件都包括電阻式成像輻射熱 測(cè)量計(jì)(14)，所述陣列形成于所述襯底上面；-讀取所述陣列的所述輻射熱測(cè)量計(jì)的讀取裝置(18)；-測(cè)量在所述襯底的至少一個(gè)點(diǎn)處的溫度的溫度測(cè)量裝置02)；-以及根據(jù)在所述襯底的至少一個(gè)點(diǎn)處測(cè)得的溫度對(duì)基于每個(gè)輻射熱測(cè)量計(jì)(14)形 成的信號(hào)進(jìn)行校正的校正裝置06)，其特征在于，所述校正裝置06)能夠借助于所述信號(hào)的溫度性能的預(yù)定物理模型對(duì) 基于所述成像輻射熱測(cè)量計(jì)(14)形成的所述信號(hào)進(jìn)行校正。
2.如權(quán)利要求1所述的紅外輻射檢測(cè)器件，其特征在于，所述溫度測(cè)量裝置0 包括 用于測(cè)量所述襯底的溫度的至少一個(gè)探針。
3.如權(quán)利要求2所述的紅外輻射檢測(cè)器件，其特征在于，所述溫度測(cè)量裝置包括能夠 在所述襯底的多個(gè)點(diǎn)處測(cè)量所述襯底的溫度的多個(gè)溫度測(cè)量探針，以及用于根據(jù)在所述襯 底的多個(gè)點(diǎn)處測(cè)得的溫度對(duì)所述襯底的溫度的空間分布進(jìn)行建模的裝置；以及，所述校正 裝置能夠根據(jù)襯底附近的建模得到的襯底溫度來對(duì)基于所述成像輻射熱測(cè)量計(jì)(14)形成 的所述信號(hào)進(jìn)行校正。
4.如權(quán)利要求1或2所述的紅外輻射檢測(cè)器件，其特征在于，所述校正裝置06)能夠 估算所述成像輻射熱測(cè)量計(jì)(14)的電阻，該電阻對(duì)應(yīng)于所述陣列對(duì)溫度基本上等于所測(cè) 得的溫度的均勻場景的曝光。
5.如權(quán)利要求4所述的紅外輻射檢測(cè)器件，其特征在于，所述校正裝置06)能夠根據(jù) 下列關(guān)系式來估算所述成像輻射熱測(cè)量計(jì)(14)的電阻Rest ( ，j) = Rabs ( ‘ j) · C (Tmes)其中，Rest(i, j)是所述成像輻射熱測(cè)量計(jì)的估算電阻，Rabs(i, j)是所述成像輻射熱測(cè) 量計(jì)的預(yù)定的基準(zhǔn)電阻，以及C(TmJ是取決于所述襯底的所測(cè)得的溫度的參數(shù)。
6.如權(quán)利要求5所述的紅外輻射檢測(cè)器件，其特征在于，根據(jù)下列關(guān)系式來計(jì)算所述 參數(shù)C (TnJ
7.如任一前述權(quán)利要求所述的紅外輻射檢測(cè)器件，其特征在于，包括共模補(bǔ)償結(jié)構(gòu) (20)，所述共模補(bǔ)償結(jié)構(gòu)OO)包括與所述陣列(1 中的每一列相關(guān)聯(lián)的補(bǔ)償輻射熱測(cè)量 計(jì)64)，所述讀取裝置(18)能夠基于在所述成像輻射熱測(cè)量計(jì)(14)中流動(dòng)的電流和在與 所述成像輻射熱測(cè)量計(jì)(14)相關(guān)聯(lián)的所述補(bǔ)償輻射熱測(cè)量計(jì)(54)中流動(dòng)的電流之間的差 來形成所述信號(hào)，以及所述校正裝置06)能夠估算所述補(bǔ)償輻射熱測(cè)量計(jì)(54)的電阻，以 便校正所述信號(hào)。
8.如權(quán)利要求7所述的紅外輻射檢測(cè)器件，其特征在于，所述校正裝置06)能夠根據(jù)下列關(guān)系式來估算所述補(bǔ)償輻射熱測(cè)量計(jì)(54)的電阻Rcomp-est (J·)Rcomp-abs (J·) · C ^^mes^其中，Recast (J)是所述補(bǔ)償輻射熱測(cè)量計(jì)的估算電阻，R。。mp-abs(j)是所述補(bǔ)償輻射熱 測(cè)量計(jì)的預(yù)定的基準(zhǔn)電阻，以及COfflJ是取決于所述襯底的所測(cè)得的溫度的參數(shù)。
9.如權(quán)利要求8所述的紅外輻射檢測(cè)器件，其特征在于，根據(jù)下列關(guān)系式來計(jì)算所述 參數(shù)C (TnJ C(Tmes) = expl-^-V mei J其中，Ea是所述成像輻射熱測(cè)量計(jì)的預(yù)定的啟動(dòng)能量，k是玻爾茲曼常數(shù)，以及是 用開爾文溫度表示的所測(cè)得的溫度。
10.如權(quán)利要求7至9中任一項(xiàng)所述的紅外輻射檢測(cè)器件，其特征在于，所述校正裝置 (26)能夠-估算基于成像輻射熱測(cè)量計(jì)(14)形成的所述信號(hào)的連續(xù)電平，該連續(xù)電平對(duì)應(yīng)于陣 列(1 對(duì)溫度基本上等于所測(cè)得的溫度的均勻場景的曝光，所述估算根據(jù)下列關(guān)系式進(jìn) 行
11.如任一前述權(quán)利要求所述的紅外輻射檢測(cè)器件，其特征在于，所述校正裝置06) 至少部分地實(shí)現(xiàn)在所述襯底中。
12.如權(quán)利要求5或8所述的紅外輻射檢測(cè)器件，其特征在于，在所述襯底中內(nèi)置的永 久性存儲(chǔ)器中將所述陣列的所述輻射熱測(cè)量計(jì)的所述基準(zhǔn)電阻列成表。
13.如任一前述權(quán)利要求所述的紅外輻射檢測(cè)器件，其特征在于，所述校正裝置06) 被實(shí)現(xiàn)為所述襯底中內(nèi)置的電子電路的形式。
14.一種通過用于檢測(cè)紅外輻射的至少一行部件的陣列(10)來檢測(cè)紅外輻射的方法， 每個(gè)所述部件都包括電阻式成像輻射熱測(cè)量計(jì)(14)，所述陣列形成于襯底上面，所述方法 包括-讀取所述陣列的所述輻射熱測(cè)量計(jì)的讀取步驟，由此形成與每個(gè)輻射熱測(cè)量計(jì)相關(guān) 的信號(hào)；-測(cè)量在所述襯底的至少一個(gè)點(diǎn)處的溫度的測(cè)量步驟(74)；-以及根據(jù)在所述襯底的至少一個(gè)點(diǎn)處測(cè)得的溫度對(duì)與每個(gè)輻射熱測(cè)量計(jì)相關(guān)的所述 信號(hào)進(jìn)行校正的校正步驟(74至86)，其特征在于，所述校正步驟(74至86)包括基于所述信號(hào)的溫度性能的預(yù)定的物理模 型來對(duì)與所述輻射熱測(cè)量計(jì)相關(guān)的所述信號(hào)進(jìn)行校正。
全文摘要
一種紅外輻射檢測(cè)器件，包括襯底；用于檢測(cè)所述輻射的至少一行部件的陣列(12)，每個(gè)所述部件都包括電阻式成像輻射熱測(cè)量計(jì)(14)，所述陣列形成于襯底上面；用于讀取陣列的輻射熱測(cè)量計(jì)的讀取裝置(18)；用于測(cè)量在襯底的至少一個(gè)點(diǎn)處的溫度的溫度測(cè)量裝置(22)；以及用于根據(jù)在襯底的至少一個(gè)點(diǎn)處測(cè)得的溫度對(duì)基于每個(gè)輻射熱測(cè)量計(jì)(14)形成的信號(hào)進(jìn)行校正的校正裝置(26)。所述校正裝置(26)能夠借助于所述信號(hào)的溫度性能的預(yù)定物理模型對(duì)基于成像輻射熱測(cè)量計(jì)(14)形成的信號(hào)進(jìn)行校正。
文檔編號(hào)G01J5/20GK102077066SQ200980124625
公開日2011年5月25日 申請(qǐng)日期2009年7月9日 優(yōu)先權(quán)日2008年7月29日
發(fā)明者伯努瓦·杜邦, 奧雷莉·圖維格農(nóng), 安托萬內(nèi)·迪普雷, 米歇爾·維蘭 申請(qǐng)人:Ulis股份公司