專利名稱：檢查裝置以及檢查方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及檢查裝置以及檢查方法，尤其涉及對(duì)電子部件向基板的安裝狀態(tài)進(jìn)行 檢查的檢查裝置以及檢查方法。
背景技術(shù)：
一直以來，進(jìn)行如下作業(yè)，S卩，在具有由IT0(Indium Tin Oxide)等構(gòu)成的電極 的液晶顯示器以及等離子顯示器等平板顯示器(以下稱為面板)上，安裝具有電極的 TAB (Tape Automated Bonding)基板、半導(dǎo)體元件以及撓性基板等電子部件(以下稱為部 件)。在該安裝中，在使各向異性導(dǎo)電粘結(jié)劑薄片隔在部件與面板之間的狀態(tài)下，進(jìn)行 部件向面板的臨時(shí)壓接以及正式壓接，并接合面板的電極和部件的電極。在臨時(shí)壓接中，通 過熱壓接加壓頭來較弱地按壓部件而進(jìn)行部件的臨時(shí)壓接，在之后的正式壓接中，通過熱 壓接加壓頭以比低壓接高的溫度和高的壓力來按壓被臨時(shí)壓接的部件，而進(jìn)行部件的正式 壓接。并且，通過檢查裝置檢測(cè)部件從規(guī)定的安裝位置的相對(duì)的偏移量(錯(cuò)位量)。所檢測(cè) 的錯(cuò)位量被反饋到下一個(gè)面板的部件安裝中，進(jìn)行修正了錯(cuò)位的安裝。作為檢測(cè)部件的錯(cuò)位量的檢查裝置，例如具有專利文件1所記載的裝置。在該檢 查裝置中，偏移量的檢查如下進(jìn)行將設(shè)置在面板(透明基板)上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)與設(shè)置在部件 上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)之間的偏移量檢測(cè)為安裝在面板上部件的錯(cuò)位量。專利文件1 日本特開2006-40978號(hào)公報(bào)然而，在專利文件1記載的檢查裝置中，部件的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)的位置如下檢測(cè)從面板 的背面(在面板上未安裝部件一側(cè)的面板的面)側(cè)對(duì)該對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)照射近紅外光，并在面板 的背面?zhèn)韧ㄟ^攝像裝置對(duì)該對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)進(jìn)行攝像，根據(jù)其攝像結(jié)果來檢測(cè)。但是，近紅外光不 透過或者難以透過金屬等導(dǎo)電性粒子，因此即使從面板的背面?zhèn)日丈浣t外光，近紅外光 也不會(huì)到達(dá)設(shè)置在部件上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)，而不能夠?qū)Σ考膶?duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)進(jìn)行攝像。隨著部件的 安裝間距的小間距化發(fā)展，導(dǎo)電性粒子的微小化、高密度化發(fā)展，通過導(dǎo)電性粒子容易遮擋 光，因此光更加難以到達(dá)部件的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)。結(jié)果，難以識(shí)別部件的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)，因此隨著部件 的安裝間距的小間距化發(fā)展，該問題變得更加顯著。因此，在該專利文件1的檢查裝置中， 經(jīng)由包含ACF等導(dǎo)電性粒子的結(jié)合部件而檢測(cè)出安裝在面板上的部件的錯(cuò)位量，是極其困 難的。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明是鑒于上述問題而進(jìn)行的，其目的在于提供能夠經(jīng)由包含導(dǎo)電性粒 子的粘接部件而能夠高精度地檢測(cè)出安裝在面板上的部件的錯(cuò)位量的檢查裝置以及檢查 方法。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的檢查裝置為，通過含有導(dǎo)電性粒子的粘接部件而檢 測(cè)安裝在面板的表面上的部件相對(duì)于規(guī)定安裝位置的偏移量，其特征在于，具備照明構(gòu)件，對(duì)在面板的表面上形成的面板識(shí)別標(biāo)識(shí)以及在與安裝有部件的面板的表面相對(duì)的上述 部件的表面上形成的部件識(shí)別標(biāo)識(shí)照射光；攝像機(jī)，配置在面板的與上述照明構(gòu)件相反一 側(cè)，對(duì)被照射了上述光的面板識(shí)別標(biāo)識(shí)以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)進(jìn)行攝像；以及計(jì)算構(gòu)件，根據(jù)作 為上述攝像機(jī)的攝像結(jié)果的圖像，對(duì)上述面板識(shí)別標(biāo)識(shí)以及上述部件識(shí)別標(biāo)識(shí)之間的位置 關(guān)系從規(guī)定的位置關(guān)系的偏移量進(jìn)行計(jì)算；上述照明構(gòu)件用透過面板以及部件、且不透過 或者難以透過上述導(dǎo)電性粒子的波長(zhǎng)的光進(jìn)行照射，上述照明構(gòu)件的光軸相對(duì)于上述面板 或者部件的表面法線傾斜。由此，使用光軸相對(duì)于面板或者部件的表面法線傾斜的照明構(gòu)件對(duì)面板識(shí)別標(biāo)識(shí) 以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)進(jìn)行攝像。因此，來自照明構(gòu)件的光由于導(dǎo)電性粒子而容易散射，散射光 進(jìn)入攝像機(jī)而形成面板識(shí)別標(biāo)識(shí)以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)的圖像，因此能夠抑制由于導(dǎo)電性粒子 的影響而不能夠識(shí)別面板識(shí)別標(biāo)識(shí)以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)的情況。結(jié)果，能夠降低導(dǎo)電性粒子 的影響而計(jì)算出部件的錯(cuò)位量，因此能夠經(jīng)由包含導(dǎo)電性粒子的粘接部件而能夠高精度地 檢測(cè)出安裝在面板上的部件的錯(cuò)位量。在此，上述照明構(gòu)件的光軸也可以與上述面板識(shí)別標(biāo)識(shí)或部件識(shí)別標(biāo)識(shí)交叉。并 且，上述照明構(gòu)件的光軸優(yōu)選為，相對(duì)于上述面板或者部件的表面成為大于等于45°、小于 60°的角度。并且，上述照明構(gòu)件配置在面板安裝有部件一側(cè)的相反側(cè)的面板的背面?zhèn)龋?上述照明構(gòu)件的光軸優(yōu)選與上述部件識(shí)別標(biāo)識(shí)交叉，并與上述部件的表面成為大于等于 45°、小于60°的角度。由此，能夠?qū)碜哉彰鳂?gòu)件的光直接照射到面板識(shí)別標(biāo)識(shí)以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)上， 因此不需要使用光量較大的照明構(gòu)件，能夠?qū)崿F(xiàn)低消費(fèi)電力化。并且，上述照明構(gòu)件的光軸也可以不與上述面板識(shí)別標(biāo)識(shí)以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)交 叉。此時(shí)，上述照明構(gòu)件的光軸優(yōu)選為，相對(duì)于上述面板或者部件的表面成為大于等于 50°、小于85°的角度。并且，上述照明構(gòu)件配置在面板安裝有部件一側(cè)的相反側(cè)的面板 的背面?zhèn)龋鲜稣彰鳂?gòu)件的光軸優(yōu)選與上述部件識(shí)別標(biāo)識(shí)的表面成為大于等于50°、小于 85°的角度。由此，能夠得到能夠進(jìn)行面板識(shí)別標(biāo)識(shí)以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)的清楚的識(shí)別的圖像的 角度范圍擴(kuò)大為大于等于50°、小于85°，因此能夠提高設(shè)計(jì)自由度。并且，上述照明構(gòu)件優(yōu)選由從不同方向?qū)ι鲜雒姘遄R(shí)別標(biāo)識(shí)以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)照 射光的多個(gè)照明構(gòu)成。此時(shí)，上述多個(gè)照明優(yōu)選分別被配置為，該照明的光軸與構(gòu)成上述面 板識(shí)別標(biāo)識(shí)或者部件識(shí)別標(biāo)識(shí)的輪廓的直線部正交。由此，能夠得到面板識(shí)別標(biāo)識(shí)以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)的邊緣被強(qiáng)調(diào)了的圖像。并且，本發(fā)明為一種檢查方法，是通過含有導(dǎo)電性粒子的粘接部件而檢測(cè)安裝在 面板的表面上的部件相對(duì)于規(guī)定安裝位置的偏移量的方法，其特征在于，具備照明步驟， 對(duì)在面板的表面上形成的面板識(shí)別標(biāo)識(shí)以及在與安裝有部件的面板的表面相對(duì)的上述部 件的表面上形成的部件識(shí)別標(biāo)識(shí)照射光；攝像步驟，配置在面板的與上述照明構(gòu)件相反一 側(cè)，對(duì)被照射了上述光的面板識(shí)別標(biāo)識(shí)以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)進(jìn)行攝像；以及計(jì)算步驟，根據(jù)作 為上述攝像機(jī)的攝像結(jié)果的圖像，對(duì)上述面板識(shí)別標(biāo)識(shí)以及上述部件識(shí)別標(biāo)識(shí)之間的位置 關(guān)系從規(guī)定的位置關(guān)系的偏移量進(jìn)行計(jì)算；在上述照明步驟中，以透過面板以及部件、且不 透過或者難以透過上述導(dǎo)電性粒子的波長(zhǎng)的光進(jìn)行照射，上述照明的光軸相對(duì)于上述面板
5或者部件的表面法線傾斜。由此，能夠經(jīng)由包含導(dǎo)電性粒子的粘接部件而能夠高精度地檢測(cè)出安裝在面板上 的部件的錯(cuò)位量發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，能夠發(fā)揮的效果為，能夠?qū)崿F(xiàn)能夠經(jīng)由包含導(dǎo)電性粒子的粘接部件 而能夠高精度地檢測(cè)出安裝在面板上的部件的錯(cuò)位量的檢查裝置以及檢查方法。


圖1是表示本發(fā)明實(shí)施方式的部件安裝系統(tǒng)的整體構(gòu)成的概念圖。圖2是表示在該部件安裝系統(tǒng)的面板安裝機(jī)中部件被安裝到面板上的情況的圖。圖3的(a)是表示該部件安裝系統(tǒng)的檢查機(jī)的概略構(gòu)成的立體圖。圖3的(b)是 表示通過該部件安裝系統(tǒng)的檢查機(jī)來檢查完成安裝面板的情況的圖。圖4是表示在檢查機(jī)中對(duì)面板識(shí)別標(biāo)識(shí)以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)照射紅外光的情況的 圖。圖5是表示該部件安裝系統(tǒng)的概略構(gòu)成的功能框圖。圖6是表示該部件安裝系統(tǒng)的反饋動(dòng)作的順序圖。圖7的(a)是表示部件識(shí)別標(biāo)識(shí)的一個(gè)例子的圖。圖7的(b)是表示面板識(shí)別標(biāo) 識(shí)的一個(gè)例子的圖。圖7的(c)是表示面板識(shí)別標(biāo)識(shí)的一個(gè)例子的圖。圖7的(d)是表示 部件識(shí)別標(biāo)識(shí)以及面板識(shí)別標(biāo)識(shí)的一個(gè)例子的圖。圖7的(e)是表示部件識(shí)別標(biāo)識(shí)以及面 板識(shí)別標(biāo)識(shí)的一個(gè)例子的圖。圖8的(a)是表示部件識(shí)別標(biāo)識(shí)的一個(gè)例子的圖。圖8的(b)是表示面板識(shí)別標(biāo) 識(shí)的一個(gè)例子的圖。圖8的(c)是表示部件識(shí)別標(biāo)識(shí)以及面板識(shí)別標(biāo)識(shí)的一個(gè)例子的圖。圖9的(a)是表示作為IR攝像機(jī)的攝像結(jié)果的圖像的一個(gè)例子的圖。圖9的(b) 是表示作為IR攝像機(jī)的攝像結(jié)果的圖像的一個(gè)例子的圖。圖10是表示照射角度與圖像的評(píng)價(jià)結(jié)果的關(guān)系的圖。圖IlA是表示照射角度、圖像的評(píng)價(jià)結(jié)果以及標(biāo)識(shí)圖像的關(guān)系的圖。圖IlB的(a)、(b)是表示標(biāo)識(shí)圖像的一個(gè)例子的圖。圖IlC是表示標(biāo)識(shí)圖像的一個(gè)例子的圖。圖12是表示在檢查機(jī)中對(duì)部件識(shí)別標(biāo)識(shí)照射紅外光的情況的圖。圖13是表示在檢查機(jī)中對(duì)部件識(shí)別標(biāo)識(shí)照射紅外光的情況的圖。圖14是表示在檢查機(jī)中對(duì)面板識(shí)別標(biāo)識(shí)以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)照射紅外光的情況的 圖。圖15是表示照射角度與圖像的評(píng)價(jià)結(jié)果的關(guān)系的圖。圖16是表示照射角度、圖像的評(píng)價(jià)結(jié)果以及標(biāo)識(shí)圖像的關(guān)系的圖。圖17是表示通過該部件安裝系統(tǒng)的檢查機(jī)來檢查完成安裝面板的情況的圖。圖18是表示在檢查機(jī)中對(duì)面板識(shí)別標(biāo)識(shí)以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)照射紅外光的情況的 圖。圖19是表示作為IR攝像機(jī)的攝像結(jié)果的圖像的一個(gè)例子的圖。圖20是表示作為IR攝像機(jī)的攝像結(jié)果的圖像的一個(gè)例子的圖。
圖21是表示在檢查機(jī)中對(duì)面板識(shí)別標(biāo)識(shí)以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)照射紅外光的情況的 圖。圖22是表示作為IR攝像機(jī)的攝像結(jié)果的圖像的一個(gè)例子的圖。圖23是表示在檢查機(jī)中對(duì)部件識(shí)別標(biāo)識(shí)照射紅外光的情況的圖。符號(hào)的說明100部件安裝系統(tǒng)101、106 裝載機(jī)102清洗機(jī)103a、103b面板安裝機(jī)104部件供給單元105檢查機(jī)108生產(chǎn)線控制器109通信電纜113ACF粘貼裝置114臨時(shí)壓接裝置115、116正式壓接裝置200 面板201 部件202、204、206熱壓接加壓頭203,205,207,301 背撐臺(tái)300完成安裝面板302面板移載臺(tái)部303面板下搬送移載軸部305紅外光照明307IR 攝像機(jī)410、430、440 控制部411、431、441 儲(chǔ)存部411a 主表412、432、442 輸入部413、433、443 顯示部414、434、444 通信 I/F 部415運(yùn)算部431a反饋數(shù)據(jù)435、445 機(jī)構(gòu)部436數(shù)據(jù)更新部441a檢查位置數(shù)據(jù)441b特征點(diǎn)數(shù)據(jù)446偏移量計(jì)算部448取得部
7
500ACF510導(dǎo)電性粒子520部件識(shí)別標(biāo)識(shí)530面板識(shí)別標(biāo)識(shí)
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖來說明本發(fā)明實(shí)施方式的部件安裝系統(tǒng)。圖1是表示本實(shí)施方式的部件安裝系統(tǒng)100的整體構(gòu)成的概念圖。該部件安裝系統(tǒng)100由生產(chǎn)線、生產(chǎn)線控制器108和通信電纜109構(gòu)成，其中生產(chǎn) 線由裝載機(jī)101、清洗機(jī)102、2個(gè)面板安裝機(jī)103a以及103b、部件供給單元104、檢查機(jī)105 以及裝載機(jī)106構(gòu)成。裝載機(jī)101將面板供給到生產(chǎn)線上。清洗機(jī)102對(duì)由裝載機(jī)101供給的面板的粘 貼有ACF的部分進(jìn)行清洗。2個(gè)面板安裝機(jī)103a以及103b分別對(duì)面板不同的邊安裝部件。 部件供給單元104向面板安裝機(jī)103a供給部件。檢查機(jī)105對(duì)經(jīng)由ACF安裝在面板表面 上的部件相對(duì)于規(guī)定安裝位置的相對(duì)的偏移量(錯(cuò)位量)進(jìn)行檢測(cè)。裝載機(jī)106將被安裝 了部件的面板(以下稱為完成安裝模板)排出。生產(chǎn)線控制器108對(duì)生產(chǎn)線整體的工作狀 況和各種數(shù)據(jù)的通信等進(jìn)行管理、控制。通信電纜109將生產(chǎn)線控制器108和各個(gè)裝置進(jìn) 行連接。面板安裝機(jī)103a由ACF粘貼裝置113、臨時(shí)壓接裝置114以及正式壓接裝置115 構(gòu)成。ACF粘貼裝置113將ACF粘貼在面板表面的長(zhǎng)邊以及短邊上。臨時(shí)壓接裝置114通 過熱壓接加壓頭來載放部件并較弱地按壓而臨時(shí)壓接到面板表面上。正式壓接裝置115通 過熱壓接加壓頭以比臨時(shí)壓接高的溫度和壓力，對(duì)被臨時(shí)壓接在面板表面的長(zhǎng)邊上的部件 進(jìn)行按壓而正式壓接到面板表面上。面板安裝機(jī)103b由正式壓接裝置116構(gòu)成。正式壓接裝置116通過熱壓接加壓 頭以比臨時(shí)壓接高的溫度和壓力，對(duì)被臨時(shí)壓接在面板表面的短邊上的部件進(jìn)行按壓而正 式壓接到面板表面上。圖2是表示在面板安裝機(jī)103a以及103b中部件201被安裝到面板200上的情況 的圖。首先，在通過ACF粘貼裝置113在面板200的表面?zhèn)染壊可险迟N了 ACF之后，使面 板200移動(dòng)到臨時(shí)壓接裝置114。接著，使保持部件201的熱壓接加壓頭202下降(圖2的(a))，將部件201臨時(shí)壓 接到載放在背撐臺(tái)203上的面板200的表面的粘貼有ACF的部分上(圖2的(b))。接著，在使面板200移動(dòng)到正式壓接裝置115之后，使熱壓接加壓頭204下降(圖 2的(C))，對(duì)在載放在背撐臺(tái)205上的面板200的表面的長(zhǎng)邊所臨時(shí)壓接的部件201進(jìn)行 正式壓接(圖2的(d))。最后，在使面板200移動(dòng)到正式壓接裝置116之后，使熱壓接加壓頭206下降(圖 2的(e))，對(duì)在載放在背撐臺(tái)205上的面板200的表面的短邊所臨時(shí)壓接的部件201進(jìn)行 正式壓接(圖2的(f))。圖3的(a)是表示檢查機(jī)105的概略構(gòu)成的立體圖，圖3的(b)是表示通過檢查
8機(jī)105來檢查完成安裝面板300的情況的圖。檢查機(jī)105具備背撐臺(tái)301、面板移載臺(tái)部302、面板下搬送移載軸部303、紅外光 照明305以及紅外線(IR)攝像機(jī)307。在背撐臺(tái)301上載放有完成安裝面板300。面板移載臺(tái)部302將完成安裝面板300 移載到背撐臺(tái)301上。面板下搬送移載軸部303將完成安裝面板300移送到面板移載臺(tái)部 302。紅外光照明305設(shè)置在面板200的背面(與在面板200上安裝有部件201的表面 相對(duì)的背面?zhèn)鹊拿姘?00的面)側(cè)，對(duì)與在面板200上安裝有部件201的面板200表面相 對(duì)的背面、即完成安裝面板300的背面照射紅外光。由于面板200相對(duì)于紅外光透明，因此 由紅外光照明305照射的紅外光透過面板200，并照射到在面板200的表面(在面板200上 安裝有部件201的面板200的面)上形成的面板識(shí)別標(biāo)識(shí)、以及在與面板200的表面相對(duì) 的部件201的表面(與面板200的表面平行且與面板200接合的部件201的面)上形成的 部件識(shí)別標(biāo)識(shí)。此時(shí)，如圖4所示，紅外光照明305的光軸與部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520的表面交叉。并且， 紅外光照明305的光軸相對(duì)于部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520的表面以及完成安裝面板300的表面的法 線(部件201的表面的法線)傾斜，并與完成安裝面板300的表面成為大于等于45°、小于 60°的角度。在通過這種光軸傾斜的紅外光照明305對(duì)面板識(shí)別標(biāo)識(shí)530以及部件識(shí)別標(biāo) 識(shí)520進(jìn)行光照射的情況下，ACF500中的紅外光的光路長(zhǎng)度變長(zhǎng)而容易照射到導(dǎo)電性粒子 (ACF粒子)510。由此，由于導(dǎo)電性粒子510為球形，因此在ACF500中來自紅外光照明305 的紅外光由于導(dǎo)電性粒子510而容易散射。因此，在紅外光照明305的光軸與完成安裝面 板300的表面的法線平行的情況下，由于IR的直線傳播性，來自紅外光照明305的紅外光 直接進(jìn)入IR攝像機(jī)307而形成部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520的圖像。此時(shí)，導(dǎo)電性粒子510與部件識(shí) 別標(biāo)識(shí)520重疊的部分，紅外線光成為不透過或者難以透過導(dǎo)電性粒子510的波長(zhǎng)，因此形 成由于導(dǎo)電性粒子510而部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520的一部分欠缺的圖像，但是在紅外光照明305 的光軸傾斜的情況下，紅外光的由于導(dǎo)電性粒子510的散射光進(jìn)入IR攝像機(jī)307而形成部 件識(shí)別標(biāo)識(shí)520的圖像。結(jié)果，與紅外光不透過或者難以透過導(dǎo)電性粒子510無關(guān)，ACF500 中存在導(dǎo)電性粒子510的粒子部分在圖像中也較明亮地映出，粒子部分與不存在導(dǎo)電性粒 子510的粘合劑部分(熱固化性樹脂部分)的圖像中的亮度差變小，因此不會(huì)形成由于導(dǎo) 電性粒子510而部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520的一部分欠缺的圖像。在此，IR攝像機(jī)307相對(duì)于完成安裝面板300配置在紅外光照明305的相反側(cè)、即 部件201的背面(部件201與面板200結(jié)合的面的相反側(cè)的部件201的面)側(cè)。IR攝像機(jī) 307對(duì)紅外光所照射的面板識(shí)別標(biāo)識(shí)530以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520進(jìn)行攝像。IR攝像機(jī)307 的光軸與部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520的表面以及完成安裝面板300的表面的法線(部件201的表面 的法線)平行。此時(shí)，各個(gè)材質(zhì)主要為，部件由聚酰亞胺或Si形成，面板200由玻璃形成，面板識(shí) 別標(biāo)識(shí)530以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520由Al形成，導(dǎo)電性粒子510的表面由Ni形成。圖5是表示該部件安裝系統(tǒng)100的概略構(gòu)成的功能框圖。生產(chǎn)線控制器108具備控制部410、儲(chǔ)存部411、輸入部412、顯示部413、通信I/F 部414以及運(yùn)算部415。
控制部410根據(jù)來自操作者的指示等，執(zhí)行儲(chǔ)存部411的生產(chǎn)線控制數(shù)據(jù)，并根據(jù) 其執(zhí)行結(jié)果來控制各部分。儲(chǔ)存部411是硬盤或存儲(chǔ)器等，保持生產(chǎn)線控制數(shù)據(jù)以及主表41 Ia等。主表41 Ia 由表示被賦予對(duì)應(yīng)的一組安裝位置以及修正量(反饋量)的信息構(gòu)成。輸入部412是鍵盤或鼠標(biāo)等，顯示部413是CRT (Cathode-Ray Tube)或者 IXD(Liquid Crystal Display)等。它們用于該生產(chǎn)線控制器108與操作者進(jìn)行對(duì)話等。通信I/F部414為L(zhǎng)AN (Local Area Network)適配器等，用于該生產(chǎn)線控制器108 與面板安裝機(jī)103a以及檢查機(jī)105之間的通信等。運(yùn)算部415基于由檢查機(jī)105計(jì)算的完成安裝面板300的安裝在面板200上的部 件201的偏移量來計(jì)算修正量，并對(duì)儲(chǔ)存部411的主表411a進(jìn)行更新。面板安裝機(jī)103a具備控制部430、儲(chǔ)存部431、輸入部432、顯示部433、通信I/F 部434、機(jī)構(gòu)部435以及數(shù)據(jù)更新部436?？刂撇?30根據(jù)來自操作者的指示等，執(zhí)行儲(chǔ)存部431的NC數(shù)據(jù)，并根據(jù)其執(zhí)行 結(jié)果來控制各部分。儲(chǔ)存部431是硬盤或存儲(chǔ)器等，保持NC數(shù)據(jù)以及反饋數(shù)據(jù)43Ia等。反饋數(shù)據(jù)431a 由表示被賦予對(duì)應(yīng)的一組安裝位置以及修正量的信息構(gòu)成。輸入部432是鍵盤或鼠標(biāo)等，顯示部433是CRT或者IXD等。它們用于面板安裝 機(jī)103a與操作者進(jìn)行對(duì)話等。通信I/F部434為L(zhǎng)AN適配器等，用于面板安裝機(jī)103a與生產(chǎn)線控制器108之間
的通信等。機(jī)構(gòu)部435是包括面板安裝機(jī)103a的熱壓接加壓頭202、204以及206、搬送部、 臂、XY臺(tái)、部件供給部以及對(duì)它們進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的馬達(dá)和馬達(dá)控制器等的機(jī)構(gòu)部件的集合。數(shù)據(jù)更新部436基于從生產(chǎn)線控制器108發(fā)送的主表411a來更新儲(chǔ)存部431的 反饋數(shù)據(jù)431a。檢查機(jī)105具備控制部440、儲(chǔ)存部441、輸入部442、顯示部443、通信I/F部444、 機(jī)構(gòu)部445、偏移量計(jì)算部446以及取得部448?？刂撇?40根據(jù)來自操作者的指示等，執(zhí)行儲(chǔ)存部441的NC數(shù)據(jù)，并根據(jù)其執(zhí)行 結(jié)果來控制各部分。儲(chǔ)存部441是硬盤或存儲(chǔ)器等，保持NC數(shù)據(jù)、檢查位置數(shù)據(jù)441a以及特征點(diǎn)數(shù)據(jù) 441b等。檢查位置數(shù)據(jù)441a是對(duì)成為在檢查機(jī)105中進(jìn)行檢查的對(duì)象的全部位置進(jìn)行表 示的信息的集合。特征點(diǎn)數(shù)據(jù)441b是與面板識(shí)別標(biāo)識(shí)530以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520的特征 點(diǎn)有關(guān)的信息。輸入部442是鍵盤或鼠標(biāo)等，顯示部443是CRT或者IXD等。它們用于檢查機(jī)105 與操作者進(jìn)行對(duì)話等。通信I/F部444為L(zhǎng)AN適配器等，用于檢查機(jī)105與生產(chǎn)線控制器108之間的通信等。機(jī)構(gòu)部445是包括檢查機(jī)105的面板移載臺(tái)部302、面板下搬送移載軸部303、紅 外光照明305、IR攝像機(jī)307以及對(duì)它們進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的馬達(dá)和馬達(dá)控制器等的機(jī)構(gòu)部件的集
I=I O
偏移量計(jì)算部446是本發(fā)明的計(jì)算構(gòu)件的一例，根據(jù)作為IR攝像機(jī)307的攝像結(jié) 果的圖像，計(jì)算面板識(shí)別標(biāo)識(shí)530以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520從將部件201安裝到了面板200上 時(shí)的規(guī)定安裝位置關(guān)系的偏移量。具體地說，在作為IR攝像機(jī)307的攝像結(jié)果的圖像中， 計(jì)算從以面板識(shí)別標(biāo)識(shí)530的特征點(diǎn)位置為基準(zhǔn)的規(guī)定位置、部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520的規(guī)定特 征點(diǎn)位置的偏移量。取得部448為，在作為IR攝像機(jī)307的攝像結(jié)果的圖像中，取得面板識(shí)別標(biāo)識(shí)530 的規(guī)定特征點(diǎn)以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520的規(guī)定特征點(diǎn)的位置。下面，詳細(xì)說明部件安裝系統(tǒng)100的反饋動(dòng)作(將部件201的位置偏移量反饋到 部件安裝中的流程)。圖6是表示部件安裝系統(tǒng)100的反饋動(dòng)作的順序圖。首先，檢查機(jī)105的控制部440，通過機(jī)構(gòu)部445對(duì)完成安裝面板300的一組面板 識(shí)別標(biāo)識(shí)530以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520進(jìn)行攝像(步驟Sll)。具體地說，對(duì)于在檢查位置數(shù) 據(jù)441a所示的1個(gè)位置上形成的面板識(shí)別標(biāo)識(shí)530以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520，通過紅外光照 明305從完成安裝面板300的背面(與在面板200上安裝有部件201的表面相對(duì)的背面?zhèn)?的面)側(cè)照射紅外光，并在完成安裝面板300的表面(在面板200上安裝有部件201 —側(cè) 的面)側(cè)，通過IR攝像機(jī)307對(duì)該面板識(shí)別標(biāo)識(shí)530以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520進(jìn)行攝像。接著，檢查機(jī)105的控制部440，使取得部448取得面板識(shí)別標(biāo)識(shí)530以及部件識(shí) 別標(biāo)識(shí)520的特征點(diǎn)的位置(步驟S12)。例如，如圖7的(a)所示那樣，部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520形成在部件201的表面(與安裝 有部件201的面板200的面相對(duì)的部件201的面)上，并如圖7的(b)或(c)所示那樣，面 板識(shí)別標(biāo)識(shí)530形成在面板200的表面(安裝有部件201的面板200的面)上，當(dāng)部件201 在規(guī)定的安裝位置上被安裝到面板200上時(shí)，部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520以及面板識(shí)別標(biāo)識(shí)530成 為圖7的(d)或(e)所示的位置關(guān)系。此時(shí)，當(dāng)將構(gòu)成部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520以及面板識(shí)別標(biāo) 識(shí)530各自的輪廓的直線相交的邊緣(角)Al以及A2作為特征點(diǎn)、并在特征點(diǎn)數(shù)據(jù)441b 中顯示時(shí)，取得邊緣Al以及A2的位置。并且，如圖8的(a)所示那樣，部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520形成在部件201的表面(與安裝 有部件201的面板200的面相對(duì)的部件201的面)上，并如圖8的(b)所示那樣，面板識(shí)別 標(biāo)識(shí)530形成在面板200的表面(安裝有部件201的面板200的面)上，當(dāng)部件201在規(guī) 定的安裝位置上被安裝到面板200上時(shí)，部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520以及面板識(shí)別標(biāo)識(shí)530成為圖8 的(c)所示的位置關(guān)系。此時(shí)，當(dāng)將構(gòu)成部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520以及面板識(shí)別標(biāo)識(shí)530的圓的 重心Bl以及B2作為特征點(diǎn)、并在特征點(diǎn)數(shù)據(jù)441b中顯示時(shí)，取得圓的重心B 1以及B2的 位置。接著，檢查機(jī)105的控制部440，通過偏移量計(jì)算部446計(jì)算從以面板識(shí)別標(biāo)識(shí) 530的特征點(diǎn)位置為基準(zhǔn)的規(guī)定位置、部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520的規(guī)定特征點(diǎn)位置的偏移量(步驟 S13)。具體地說，計(jì)算部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520的規(guī)定特征點(diǎn)位置從以面板識(shí)別標(biāo)識(shí)530的特征 點(diǎn)位置為基準(zhǔn)的規(guī)定位置的偏移量，并計(jì)算所計(jì)算出的部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520的規(guī)定特征點(diǎn)位 置從以面板識(shí)別標(biāo)識(shí)530的特征點(diǎn)位置為基準(zhǔn)的規(guī)定位置的偏移量。接著，檢查機(jī)105的控制部440，通過通信I/F部444，將所計(jì)算出的部件201的錯(cuò) 位量與檢查位置數(shù)據(jù)441a所示的安裝位置賦予對(duì)應(yīng)，并將其發(fā)送到生產(chǎn)線控制器108 (步 驟 S14)。
接著，生產(chǎn)線控制器108的控制部410，通過運(yùn)算部415根據(jù)經(jīng)由通信I/F部414 接收的錯(cuò)位量，更新儲(chǔ)存部411的主表411a (步驟S15)。接著，生產(chǎn)線控制器108的控制部410，通過通信I/F部414將更新了的主表411a 發(fā)送到面板安裝機(jī)103a (步驟S16)。接著，面板安裝機(jī)103a的控制部430，根據(jù)經(jīng)由通信I/F部434接收的主表411a， 更新儲(chǔ)存部431的反饋數(shù)據(jù)431a (步驟S17)。最后，面板安裝機(jī)103a的控制部430，執(zhí)行NC數(shù)據(jù)，通過機(jī)構(gòu)部435將部件201安 裝到面板200上(步驟S18)。在安裝時(shí)參考更新了的反饋數(shù)據(jù)431a而修正部件201的安 裝位置，并在修正了的安裝位置上竟有ACF500安裝部件201。根據(jù)以上那樣的本實(shí)施方式的檢查機(jī)105，根據(jù)所得到的面板識(shí)別標(biāo)識(shí)530以及 部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520的圖像，檢查機(jī)105計(jì)算部件201的錯(cuò)位量。因此，能夠高精度地檢測(cè)經(jīng) 由ACF500安裝在面板200上的部件201的錯(cuò)位量。并且，根據(jù)本實(shí)施方式的檢查機(jī)105，紅外線照明305的光軸相對(duì)于完成安裝面板 300的表面的法線傾斜，紅外線照明305的光軸與完成安裝面板300的表面或者部件201的 表面成為45°以上、小于60°的角度。因此，能夠抑制導(dǎo)電性粒子510的影響地對(duì)部件識(shí) 別標(biāo)識(shí)520進(jìn)行攝像，因此能夠計(jì)算出部件201的錯(cuò)位量，能夠可靠地檢測(cè)經(jīng)由ACF500安 裝在面板200上的部件201的錯(cuò)位量。S卩，在紅外線照明305的光軸與完成安裝面板300的表面的法線平行時(shí)，如圖9的 (a)所示，紅外線光為不透過或者難以透過導(dǎo)電性粒子510的波長(zhǎng)，因此由于導(dǎo)電性粒子 510遮擋紅外線光而產(chǎn)生的影響，僅能夠得到面板識(shí)別標(biāo)識(shí)530以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520的輪 廓不清楚、不能夠識(shí)別特征點(diǎn)的圖像。但是，通過使紅外線照明305的光軸相對(duì)于完成安裝 面板300的表面的法線傾斜，由此如圖9的(b)所示，能夠得到排除了導(dǎo)電性粒子510的影 響的、面板識(shí)別標(biāo)識(shí)530以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520的輪廓清楚、能夠識(shí)別特征點(diǎn)的圖像。該情況根據(jù)圖10以及圖IlA能夠明確。圖10表示紅外線照明305的光軸與完成 安裝面板300的表面或者部件201的表面所成的角度(照射角度)、與面板識(shí)別標(biāo)識(shí)530以 及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520的圖像是否為輪廓清楚的能夠識(shí)別的圖像的評(píng)價(jià)結(jié)果(圖像的評(píng)價(jià)結(jié) 果)的關(guān)系。圖IlA表示照射角度、圖像的評(píng)價(jià)結(jié)果以及面板識(shí)別標(biāo)識(shí)530以及部件識(shí)別標(biāo) 識(shí)520的圖像(標(biāo)識(shí)圖像)的關(guān)系。另外，圖像的評(píng)價(jià)結(jié)果的“〇”表示面板識(shí)別標(biāo)識(shí)530 以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520的圖像為輪廓清楚的能夠識(shí)別的圖像的情況，“ X ”表示不是上述情 況的情況。在圖10以及圖IlA中表示的情況為，在照射角度為大于等于45°、小于60°時(shí)， 標(biāo)識(shí)圖像成為輪廓清楚的能夠識(shí)別的圖像。例如，在照射角度為40°的情況下，僅能夠得到 圖IlB所示的輪廓不清楚的標(biāo)識(shí)圖像，在通過圖像處理(多值化處理)而表示的曲線圖中， 與X坐標(biāo)相對(duì)的識(shí)別標(biāo)識(shí)的亮度水平的變化點(diǎn)的邊界不清楚、難以檢測(cè)識(shí)別標(biāo)識(shí)的邊界。 另一方面，在照射角度為50°的情況下，能夠得到圖IlC所示的輪廓清楚的能夠識(shí)別的標(biāo) 識(shí)圖像，在通過圖像處理(多值化處理)而表示的曲線圖中，與X坐標(biāo)相對(duì)的識(shí)別標(biāo)識(shí)的亮 度水平的變化點(diǎn)的邊界清楚、能夠檢測(cè)識(shí)別標(biāo)識(shí)的邊界，能夠進(jìn)行識(shí)別標(biāo)識(shí)的位置識(shí)別。并且，根據(jù)本實(shí)施方式的檢查機(jī)105，如圖12所示，紅外光照明305被配置為其光 軸(圖12中的軸A)與部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520的表面交叉。因此，能夠?qū)碜约t外光照明305 的紅外光直接照射到部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520上，因此不需要增大紅外光照明305的光量，能夠?qū)崿F(xiàn)消費(fèi)電力的降低。以上，根據(jù)上述實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明的檢查裝置以及檢查方法進(jìn)行了說明，但是本 發(fā)明并不限定于該實(shí)施方式。在不脫離本發(fā)明精神的范圍內(nèi)本領(lǐng)域技術(shù)人員實(shí)施了想到的 各種變形的方式，也都包含于本發(fā)明的范圍內(nèi)。例如，在上述實(shí)施方式中，在生產(chǎn)線上設(shè)置檢查機(jī)105。但是，也可以使面板安裝 機(jī)103a以及103b具有對(duì)完成安裝面板300進(jìn)行檢查的功能。此時(shí)，面板安裝機(jī)103a以及 103b具備相對(duì)于完成安裝面板300在與上述實(shí)施方式的檢查機(jī)105相同的位置上配置的紅 外光照明305以及IR攝像機(jī)307。并且，在上述實(shí)施方式中，為了對(duì)面板識(shí)別標(biāo)識(shí)530以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520進(jìn)行攝 像，而在檢查機(jī)105上設(shè)置有紅外光照明305以及IR攝像機(jī)307。但是，只要是能夠發(fā)出對(duì) 面板識(shí)別標(biāo)識(shí)530以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520進(jìn)行攝像的光、即透過面板200以及部件201且 不透過或者難以透過導(dǎo)電性粒子510的波長(zhǎng)的光的照明，以及能夠?qū)υ摴膺M(jìn)行受光的攝像 機(jī)，則不限于此。并且，在上述實(shí)施方式中，通過取得部448在面板識(shí)別標(biāo)識(shí)530以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí) 520的各自中取得1個(gè)特征點(diǎn)的位置。但是，也可以取得2個(gè)特征點(diǎn)的位置。由此，也能夠 將連接2個(gè)特征點(diǎn)之間的直線的傾斜的偏移量或者2個(gè)特征點(diǎn)的中心的偏移量，作為部件 201的錯(cuò)位量進(jìn)行計(jì)算，因此能夠高精度地檢測(cè)經(jīng)由ACF500安裝在面板200上的部件201 的錯(cuò)位量。并且，在上述實(shí)施方式中，檢查機(jī)105以面板識(shí)別標(biāo)識(shí)530為基準(zhǔn)而將部件識(shí)別標(biāo) 識(shí)520的偏移量作為部件201的錯(cuò)位量。但是，也可以以面板200的布線圖案為基準(zhǔn)而將 部件201與布線圖案或者電路圖案之間的偏移量作為部件201的錯(cuò)位量。并且，在上述實(shí)施方式中，如圖12所示，紅外光照明305被配置為其光軸與部件識(shí) 別標(biāo)識(shí)520的表面交叉。但是，也可以如圖13以及圖14所示，紅外光照明305被配置為其 光軸(圖13中的軸A)與部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520的表面不交叉。在該情況下，紅外光照明305 被配置為其光軸與部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520的表面、即完成安裝面板300的表面(與部件201的 表面實(shí)質(zhì)上平行的面)成為50°以上、小于85°的角度。由此，能夠得到抑制了由于導(dǎo)電 性粒子510遮擋紅外線光而產(chǎn)生的影響的、面板識(shí)別標(biāo)識(shí)530以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520的輪 廓清楚、能夠識(shí)別特征點(diǎn)的圖像。并且，與圖12所示那樣配置的情況相比較，能夠得到用于 位置識(shí)別的能夠圖像識(shí)別的清楚的圖像的角度范圍擴(kuò)大為50°以上、小于85°，因此能夠 提高設(shè)計(jì)自由度。該情況根據(jù)圖15以及圖16能夠明確。圖15表示以圖13以及圖14所示的位置關(guān) 系配置了紅外光照明305時(shí)的照射角度與圖像的評(píng)價(jià)結(jié)果的關(guān)系。圖16表示以圖13以及 圖14所示的位置關(guān)系配置了紅外光照明305時(shí)的照射角度、圖像的評(píng)價(jià)結(jié)果以及面板識(shí)別 標(biāo)識(shí)530以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520的標(biāo)識(shí)圖像的關(guān)系。另外，圖像的評(píng)價(jià)結(jié)果的“〇”表示面 板識(shí)別標(biāo)識(shí)530以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520的圖像為輪廓清楚的能夠識(shí)別的圖像的情況，“ X，， 表示不是上述情況的情況。在圖15以及圖16中表示的情況為，在照射角度為50°以上、 小于85°時(shí)，標(biāo)識(shí)圖像成為輪廓清楚的能夠識(shí)別的圖像。并且，在上述實(shí)施方式中，在檢查 機(jī)105中僅配置有1個(gè)紅外光照明305。但是，如圖17以及圖18所示，在檢查機(jī)105中也 可也設(shè)置有從不同方向?qū)γ姘遄R(shí)別標(biāo)識(shí)530以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520照射光的多個(gè)紅外光照明305。例如，以能夠得到圖19所示的強(qiáng)調(diào)了部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520的邊緣的圖像的方式配置 4個(gè)紅外光照明305。S卩，在作為IR攝像機(jī)307的攝像結(jié)果的圖像中，以光軸與構(gòu)成部件識(shí) 別標(biāo)識(shí)520的輪廓的直線部正交的方式配置4個(gè)紅外光照明305?；蛘?，以能夠得到圖20 所示的強(qiáng)調(diào)了圓形的部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520的邊緣(識(shí)別標(biāo)識(shí)的輪廓的邊界)的圖像的方式配 置4個(gè)紅外光照明305。并且，在上述實(shí)施方式中，紅外光照明305配置在面板200的背面?zhèn)龋琁R攝像機(jī) 307配置在部件201的背面?zhèn)?。但是，只要紅外光照明305以及IR攝像機(jī)307位于跨著完 成安裝面板300而相對(duì)的位置，則不限于此，而也可以將IR攝像機(jī)307配置在面板200的 背面?zhèn)?，將紅外光照明305配置在部件201的背面?zhèn)取Ｔ谠撉闆r下，使紅外光照明305的光 軸與面板識(shí)別標(biāo)識(shí)530的表面交叉，并且使該光軸相對(duì)于面板識(shí)別標(biāo)識(shí)530的表面即完成 安裝面板300的表面的法線(面板200的表面的法線)傾斜，并與完成安裝面板300的表 面成為大于等于45°、小于60°的角度。或者，使紅外光照明305的光軸與面板識(shí)別標(biāo)識(shí) 530的表面不交叉，并且使該光軸相對(duì)于完成安裝面板300的表面的法線傾斜，并與完成安 裝面板300的表面成為大于等于50°、小于85°的角度。例如，如圖21所示，從不同方向?qū)γ姘遄R(shí)別標(biāo)識(shí)530以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520照射 光的多個(gè)紅外光照明305配置在部件201的背面?zhèn)?，IR攝像機(jī)307配置在面板200的背面 側(cè)。并且，多個(gè)紅外光照明305被配置為，能夠得到如圖22所示的面板識(shí)別標(biāo)識(shí)530的邊 緣被強(qiáng)調(diào)了的圖像。即，4個(gè)紅外光照明305被配置為，在周圍IR攝像機(jī)307的攝像結(jié)果的 圖像中，光軸與構(gòu)成面板識(shí)別標(biāo)識(shí)530的輪廓的直線部正交。并且，如圖23所示，在以紅外光不照射到部件201的背面的方式配置紅外光照明 305是，能夠抑制部件201背面的傷對(duì)面板識(shí)別標(biāo)識(shí)530以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)520的圖像的不
良影響。工業(yè)利用性 本發(fā)明能夠利用與檢查裝置以及檢查方法，由此能夠利用于將部件安裝到面板上 的部件安裝系統(tǒng)等中。
1權(quán)利要求
一種檢查裝置，通過含有導(dǎo)電性粒子的粘接部件而檢測(cè)安裝在面板的表面上的部件相對(duì)于規(guī)定安裝位置的偏移量，其特征在于，具備照明構(gòu)件，對(duì)在面板的表面上形成的面板識(shí)別標(biāo)識(shí)以及在與安裝有部件的面板的表面相對(duì)的上述部件的表面上形成的部件識(shí)別標(biāo)識(shí)照射光；攝像機(jī)，配置在面板的與上述照明的相反一側(cè)，對(duì)被照射了上述光的面板識(shí)別標(biāo)識(shí)以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)進(jìn)行攝像；以及計(jì)算構(gòu)件，根據(jù)作為上述攝像機(jī)的攝像結(jié)果的圖像，對(duì)上述面板識(shí)別標(biāo)識(shí)以及上述部件識(shí)別標(biāo)識(shí)之間的位置關(guān)系從規(guī)定的位置關(guān)系的偏移量進(jìn)行計(jì)算；上述照明構(gòu)件用透過面板以及部件、且不透過或者難以透過上述導(dǎo)電性粒子的波長(zhǎng)的光進(jìn)行照射，上述照明構(gòu)件的光軸相對(duì)于上述面板或者部件表面的法線傾斜。
2.如權(quán)利要求1所記載的檢查裝置，其特征在于，上述照明構(gòu)件的光軸與上述面板識(shí)別標(biāo)識(shí)或部件識(shí)別標(biāo)識(shí)交叉。
3.如權(quán)利要求2所記載的檢查裝置，其特征在于，上述照明構(gòu)件的光軸與上述面板或者部件的表面成為大于等于45°、小于60°的角度。
4.如權(quán)利要求3所記載的檢查裝置，其特征在于，上述照明構(gòu)件配置在面板安裝有部件一側(cè)的相反側(cè)的面板的背面?zhèn)?，上述照明?gòu)件 的光軸與上述部件識(shí)別標(biāo)識(shí)交叉，并與上述部件的表面成為大于等于45°、小于60°的角度。
5.如權(quán)利要求1所記載的檢查裝置，其特征在于，上述照明構(gòu)件的光軸不與上述面板識(shí)別標(biāo)識(shí)以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)交叉。
6.如權(quán)利要求5所記載的檢查裝置，其特征在于，上述照明構(gòu)件的光軸與上述面板或者部件的表面成為大于等于50°、小于85°的角度。
7.如權(quán)利要求6所記載的檢查裝置，其特征在于，上述照明構(gòu)件配置在面板安裝有部件一側(cè)的相反側(cè)的面板的背面?zhèn)?，上述照明?gòu)件的 光軸與上述部件識(shí)別標(biāo)識(shí)的表面成為大于等于50°、小于85°的角度。
8.如權(quán)利要求1 7任意一項(xiàng)所記載的檢查裝置，其特征在于，上述照明構(gòu)件由從不同方向?qū)ι鲜雒姘遄R(shí)別標(biāo)識(shí)以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)照射光的多個(gè)照 明構(gòu)成。
9.如權(quán)利要求8所記載的檢查裝置，其特征在于，上述多個(gè)照明分別被配置為，該照明的光軸與構(gòu)成上述面板識(shí)別標(biāo)識(shí)或者部件識(shí)別標(biāo) 識(shí)的輪廓的直線部正交。
10.一種檢查方法，是通過包含導(dǎo)電性粒子的粘接部件而檢測(cè)安裝在面板的表面上的 部件相對(duì)于規(guī)定安裝位置的偏移量的方法，其特征在于，具備照明步驟，對(duì)在面板的表面上形成的面板識(shí)別標(biāo)識(shí)以及在與安裝有部件的面板的表面 相對(duì)的上述部件的表面上形成的部件識(shí)別標(biāo)識(shí)照射光；攝像步驟，配置在面板的與上述照明構(gòu)件的相反一側(cè)，對(duì)被照射了上述光的面板識(shí)別標(biāo)識(shí)以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)進(jìn)行攝像；以及計(jì)算步驟，根據(jù)作為上述攝像機(jī)的攝像結(jié)果的圖像，對(duì)上述面板識(shí)別標(biāo)識(shí)以及上述部 件識(shí)別標(biāo)識(shí)之間的位置關(guān)系與規(guī)定的位置關(guān)系的偏移量進(jìn)行計(jì)算；在上述照明步驟中，以透過面板以及部件、且不透過或者難以透過上述導(dǎo)電性粒子的 波長(zhǎng)的光進(jìn)行照射，上述照明的光軸相對(duì)于上述面板或者部件表面的法線傾斜。
全文摘要
一種檢測(cè)裝置，經(jīng)由ACF(500)對(duì)安裝在面板(200)的表面上的部件(201)從規(guī)定的安裝位置的偏移量進(jìn)行檢測(cè)，其具備紅外光照明(305)，對(duì)在面板(200)表面上形成的面板識(shí)別標(biāo)識(shí)(530)以及在部件(201)表面上形成的部件識(shí)別標(biāo)識(shí)(520)照射紅外線；IR攝像機(jī)(307)，相對(duì)于面板(200)配置在紅外光照明(305)的相反側(cè)，對(duì)被照射了紅外光的面板識(shí)別標(biāo)識(shí)(530)以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)(520)進(jìn)行攝像；以及偏移量計(jì)算部，根據(jù)作為IR攝像機(jī)(307)的攝像結(jié)果的圖像，對(duì)面板識(shí)別標(biāo)識(shí)(530)以及部件識(shí)別標(biāo)識(shí)(520)之間的位置關(guān)系從規(guī)定的位置關(guān)系的偏移量進(jìn)行計(jì)算；紅外光照明(305)的光軸相對(duì)于面板(200)或者部件(201)的表面法線傾斜。
文檔編號(hào)G01B11/00GK101925794SQ200980102910
公開日2010年12月22日 申請(qǐng)日期2009年1月21日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月25日
發(fā)明者巖橋俊, 片山敦, 辻川俊彥 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社