專利名稱：晶圓直徑測量裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種測量裝置，尤其涉及一種用于對圓形晶片的直徑進(jìn)行測量的晶圓直 徑測量裝置。
背景技術(shù)：
對于一些圓形的濾光片等晶圓產(chǎn)品，有時需要對其直徑進(jìn)行測量，以便對產(chǎn)品的質(zhì)量進(jìn) 行監(jiān)控，或?qū)ζ渖a(chǎn)設(shè)備上的相關(guān)工作部件進(jìn)行更換、調(diào)整，或?qū)ζ渖a(chǎn)設(shè)備的相關(guān)工作參 數(shù)進(jìn)行調(diào)整。晶圓產(chǎn)品直徑的測量一般是通過千分尺來進(jìn)行的，在進(jìn)行測量時，用夾具把晶 圓產(chǎn)品放置到千分尺的測量位置處，然后再旋動千分尺上的旋鈕，最后從千分尺上讀出讀數(shù) 。由于一些晶圓產(chǎn)品的直徑只有幾個毫米，在利用夾具夾持時其不方便性顯而易見。而且在 一只手抓住夾具時，另一只手一方面要握持千分尺，另一方面還要對千分尺進(jìn)行操作。通常 情況下，在不借助于其他輔助裝置時， 一個人是無法完成對晶圓產(chǎn)品的直徑測定。雖然可以 用夾具把千分尺固定住，但在把千分尺放置到千分尺的測量位置處時，也不能很好地保證晶 圓產(chǎn)品的到位并保持正確的測量狀態(tài)，這會影響到對晶圓產(chǎn)品所測直徑的準(zhǔn)確性。
發(fā)明內(nèi)容
為克服上述缺陷，本實用新型需要解決的技術(shù)問題是提供一種晶圓直徑測量裝置，借 助于它的夾持固定作用，可以對晶圓產(chǎn)品的直徑進(jìn)行快速準(zhǔn)確的測量。
為解決所述問題，本實用新型的技術(shù)方案 一種晶圓直徑測量裝置，包括底座，底座上 設(shè)有晶圓放置工位和與晶圓放置工位相對應(yīng)的檢具夾持工位，其特征在于，所述的晶圓放置 工位為一根直立的頂桿，頂桿的端部為水平面并與所述檢具夾持工位的高度相應(yīng)。在利用本 晶圓直徑測量裝置對晶圓產(chǎn)品的直徑進(jìn)行測時，所述檢具夾持工位用于夾持檢具，該檢具一 般是千分尺，所述的頂桿端部用于放置晶圓產(chǎn)品，頂桿的直徑要略小于晶圓產(chǎn)品的直徑。所 述頂桿端部的高度與檢具夾持工位的高度相應(yīng)是指在利用本晶圓直徑測量裝置進(jìn)行晶圓產(chǎn) 品直徑的測量時，晶圓產(chǎn)品所處的位置與檢具上的測量位置相一致，檢具直接夾持在晶圓產(chǎn) 品的徑向兩側(cè)，從而測量出晶圓產(chǎn)品的實際直徑值。
作為優(yōu)選，所述的頂桿間隙地插接在頂桿座上，頂桿座設(shè)置在底座上。這樣，可以對頂 桿進(jìn)行快速的更換，以使頂桿的直徑適應(yīng)不同直徑晶圓產(chǎn)品的支撐要求。
作為優(yōu)選，所述頂桿座可在底座上水平 動，頂桿座與設(shè)于底座上的橫向調(diào)節(jié)旋鈕相聯(lián)接。通過橫向調(diào)節(jié)旋鈕的調(diào)節(jié)，使頂桿座帶動放置在頂桿端部的晶圓產(chǎn)品準(zhǔn)確到達(dá)檢具的測 量位置處。
作為優(yōu)選，所述檢具夾持工位包括設(shè)于底座上的調(diào)節(jié)螺桿和托座，調(diào)節(jié)螺桿和托座用于 夾持所述的檢具。調(diào)節(jié)螺桿的轉(zhuǎn)動可以改變其端部與托座之間的距離，可以很方便地實現(xiàn)對 檢具的夾緊和位置調(diào)整。
作為優(yōu)選，所述調(diào)節(jié)螺桿靠近所述托座的一端部設(shè)有壓板，壓板與調(diào)節(jié)螺桿之間垂直。 壓板的設(shè)置增加了螺桿與檢具的接觸面積，便于檢具的牢固夾持。
作為優(yōu)選，所述調(diào)節(jié)螺桿和托座設(shè)置在支撐座上，支撐座可滑動地設(shè)置在底座上，在底 座上設(shè)有與支撐座相聯(lián)接的縱向調(diào)節(jié)旋鈕。通過對縱向調(diào)節(jié)旋鈕的調(diào)節(jié)，可以使支撐座在底 座上滑行，從而便于檢具與晶圓產(chǎn)品的準(zhǔn)確對位，為檢測提供了方便。
作為優(yōu)選，所述支撐座包括上支撐座和下支撐座，所述縱向調(diào)節(jié)旋鈕與下支撐座相聯(lián)接 ，所述的調(diào)節(jié)螺桿和托座設(shè)置在上支撐座上。支撐座為分體式結(jié)構(gòu)，通過上、下支撐座的位 置微調(diào)對檢具的位置進(jìn)行調(diào)整。
作為優(yōu)選，所述上支撐座和下支撐座之間為相互配合的弧面結(jié)構(gòu)，在下支撐座上設(shè)有弧 形動作調(diào)節(jié)旋鈕，弧形動作調(diào)節(jié)旋鈕與上支撐座相聯(lián)接。通過調(diào)節(jié)弧形動作調(diào)節(jié)旋鈕的轉(zhuǎn)動 ，可以使上支撐座相對于下支撐座發(fā)生相對弧形轉(zhuǎn)動，以調(diào)整固定在上支撐座上的檢具的傾 角。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有的有益效果
1、 由于在底座上設(shè)有檢具夾持工位和晶圓放置工位，在進(jìn)行測量時把檢具夾持在檢具 夾持工位上，同時把晶圓產(chǎn)品放置在晶圓放置工位上，即可以由一個人簡單、快速地實現(xiàn)對 晶圓產(chǎn)品的直徑進(jìn)行測量。
2、 可以通過對檢具夾持工位和晶圓放置工位之間的相對位置調(diào)整，即可以實現(xiàn)晶圓產(chǎn) 品與檢具之間的準(zhǔn)確對位，對晶圓產(chǎn)品所檢測出的直徑值準(zhǔn)確，便于對產(chǎn)品的質(zhì)量進(jìn)行監(jiān)控 ，便于及時調(diào)整晶圓產(chǎn)品加工裝置的工作參數(shù)和對該裝置上的部件進(jìn)行更換。


圖1是本實用新型晶圓直徑測量裝置的主視圖。 圖2是本實用新型晶圓直徑測量裝置的俯視圖。 圖3是本實用新型晶圓直徑測量裝置的左視圖。
具體實施方式
見圖中，本實用新型晶圓直徑測量裝置的結(jié)構(gòu)包括平板狀的底座l，在底座l上分別設(shè)有 檢具夾持工位和晶圓放置工位，該兩個工位在底座l上的高度相對應(yīng)。其中，檢具夾持工位 用于夾持固定檢具，晶圓放置工位用于放置晶圓產(chǎn)品。
所述的晶圓放置工位為一根豎直設(shè)置的圓柱形的頂桿4，頂桿4的上端面為水平面，下端 部間隙地插接在頂桿座3上。頂桿座3設(shè)在底座1上，并可在底座l上橫向滑動。在底座l上沿 橫向方向設(shè)有橫向調(diào)節(jié)旋鈕2，橫向調(diào)節(jié)旋鈕2與頂桿座3相聯(lián)接。在轉(zhuǎn)動橫向調(diào)節(jié)旋鈕2時， 頂桿座3會在底座3上發(fā)生水平方向的移動，頂桿座3在移動時，帶動放置在頂桿4上端面上的 晶圓產(chǎn)品一起移動。為不影響檢具對晶圓產(chǎn)品直徑的測量，要求頂桿4的直徑要略小于晶圓 產(chǎn)品的直徑。頂桿4的上端部伸入到上述的檢具夾持工位位置處，以利檢具與晶圓產(chǎn)品的對 位。
所述的檢具夾持工位的結(jié)構(gòu)包括調(diào)節(jié)螺桿7和托座5，調(diào)節(jié)螺桿7的下端部與托座5之間形 成所述的夾持工位。在對晶圓產(chǎn)品進(jìn)行測量時，檢具被調(diào)節(jié)螺桿7的下端部和托座5夾持固定 住。調(diào)節(jié)螺桿7和托座5被設(shè)置在一支撐座上，調(diào)節(jié)螺桿7螺紋連接在支撐座上。在調(diào)節(jié)螺桿7 的上端部固定連接有一個手輪8，以方便用手轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)螺桿7來實現(xiàn)調(diào)節(jié)螺桿7的軸向位移； 調(diào)節(jié)螺桿7的下端部固定連接有一塊壓板6，壓板6與調(diào)節(jié)螺桿7垂直，在檢具被固定在夾持工 位上時，壓板6和托座5用于壓緊夾持檢具。
所述的支撐座設(shè)置在底座l上，并可在底座l上縱向滑動。在底座l沿縱向方向設(shè)有縱向 調(diào)節(jié)旋鈕12，縱向調(diào)節(jié)旋鈕12的端部與支撐座相聯(lián)接，在旋動縱向調(diào)節(jié)旋鈕12時，縱向調(diào)節(jié) 旋鈕12可以使支撐座在底座1上發(fā)生縱向方向的滑動。
所述的支撐座為分體式結(jié)構(gòu)，它包括相互配合聯(lián)接在一起的上支撐座9和下支撐座11， 上、下支撐座之間的配合面為弧面配合結(jié)構(gòu)，在下支撐座11上設(shè)有弧形動作調(diào)節(jié)旋鈕10，弧 形動作調(diào)節(jié)旋鈕10的端部與上支撐座9相聯(lián)接，在轉(zhuǎn)動弧形動作調(diào)節(jié)旋鈕10時，上支撐座9可 相對于下支撐座ll發(fā)生弧形轉(zhuǎn)動。上述的調(diào)節(jié)螺桿7和托座5連接在上支撐座9上，縱向調(diào)節(jié) 旋鈕12與下支撐座11相聯(lián)接。在上支撐座9發(fā)生弧形轉(zhuǎn)動時，夾持在檢具夾持工位上的檢具 會跟隨一起擺動，從而可以調(diào)整檢具的傾角。
在檢具被子夾持在檢具夾持工位上，以及晶圓產(chǎn)品被放置在頂桿4的上端面上后，通過 對橫向調(diào)節(jié)旋鈕2、縱向調(diào)節(jié)旋鈕12，以及弧形動作調(diào)節(jié)旋鈕10的操作，可以準(zhǔn)確地實現(xiàn)檢 具與晶圓產(chǎn)品的準(zhǔn)確對位，這為準(zhǔn)確地測量晶圓產(chǎn)品的直徑提供了保證。對于不同直徑的晶 圓產(chǎn)品來說，可以更換不同直徑的頂桿4，以適應(yīng)晶圓產(chǎn)品的直徑測量要求。
權(quán)利要求1.一種晶圓直徑測量裝置，包括底座，底座上設(shè)有晶圓放置工位和與晶圓放置工位相對應(yīng)的檢具夾持工位，其特征在于，所述的晶圓放置工位為一根直立的頂桿(4)，頂桿(4)的端部為水平面并與所述檢具夾持工位的高度相應(yīng)。
2 根據(jù)權(quán)利要求l所述的晶圓直徑測量裝置，其特征在于，所述的頂 桿(4)間隙地插接在頂桿座(3)上，頂桿座(3)設(shè)置在底座(1)上。
3 根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓直徑測量裝置，其特征在于，所述頂桿 座(3)可在底座(1)上水平滑動，頂桿座(3)與設(shè)于底座(1)上的橫向調(diào)節(jié)旋鈕(2) 相聯(lián)接。
4 根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的晶圓直徑測量裝置，其特征在于，所 述檢具夾持工位包括設(shè)于底座(1)上的調(diào)節(jié)螺桿(7)和托座(5)，調(diào)節(jié)螺桿(7)和托座 (5)用于夾持所述的檢具。
5 根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓直徑測量裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié) 螺桿(7)靠近所述托座(5)的一端部設(shè)有壓板(6)，壓板(6)與調(diào)節(jié)螺桿(7)之間垂 直。
6 根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓直徑測量裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié) 螺桿(7)和托座(5)設(shè)置在支撐座上，支撐座可滑動地設(shè)置在底座(1)上，在底座(1) 上設(shè)有與支撐座相聯(lián)接的縱向調(diào)節(jié)旋鈕(12)。
7 根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓直徑測量裝置，其特征在于，所述支撐 座包括上支撐座(9)和下支撐座(11)，所述縱向調(diào)節(jié)旋鈕(12)與下支撐座(11)相聯(lián) 接，所述的調(diào)節(jié)螺桿(7)和托座(5)設(shè)置在上支撐座(9)上。
8 根據(jù)權(quán)利要求7所述的晶圓直徑測量裝置，其特征在于，所述上支 撐座(9)和下支撐座(11)之間為相互配合的弧面結(jié)構(gòu)，在下支撐座(11)上設(shè)有弧形動 作調(diào)節(jié)旋鈕(10)，弧形動作調(diào)節(jié)旋鈕(10)與上支撐座(9)相聯(lián)接。
專利摘要本實用新型公開了一種晶圓直徑測量裝置。其解決了現(xiàn)有對晶圓產(chǎn)品進(jìn)行測量時，操作麻煩、不便，所得測量數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性差的問題。結(jié)構(gòu)為一種晶圓直徑測量裝置，包括底座，底座上設(shè)有晶圓放置工位和與晶圓放置工位相對應(yīng)的檢具夾持工位，其特征在于，所述的晶圓放置工位為一根直立的頂桿，頂桿的端部為水平面并與所述檢具夾持工位的高度相應(yīng)。
文檔編號G01B5/08GK201352105SQ200920300318
公開日2009年11月25日 申請日期2009年1月20日 優(yōu)先權(quán)日2009年1月20日
發(fā)明者瑞 劉, 江 王 申請人:浙江水晶光電科技股份有限公司