單晶棒直徑測(cè)量裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及單晶棒測(cè)量設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]在單晶棒的制造過(guò)程中，單晶棒的直徑是其主要的外觀指標(biāo)。操作人員要時(shí)刻通過(guò)測(cè)徑儀來(lái)觀察單晶棒的直徑變化，防止直徑過(guò)細(xì)或者過(guò)粗，造成質(zhì)量事故發(fā)生。目前，在單晶棒制造過(guò)程中，用單目鏡測(cè)徑儀對(duì)單晶棒直行進(jìn)行測(cè)量，需要操作人員觀察單晶棒左右兩次才能將數(shù)據(jù)測(cè)量出來(lái)，測(cè)量精度低并且費(fèi)時(shí)費(fèi)力。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便、測(cè)量精度高的單晶棒直徑測(cè)量裝置。
[0004]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型所采取的技術(shù)方案是:
[0005]一種單晶棒直徑測(cè)量裝置，包括與單晶爐觀察窗外輪廓相配合的支架、觀察目鏡、測(cè)量尺和移動(dòng)定位部件，所述觀察目鏡通過(guò)支撐座固定在支架直線段一側(cè)，所述測(cè)量尺設(shè)置在支架直線段另一側(cè)，所述移動(dòng)定位部件為兩個(gè)、且設(shè)置在觀察目鏡兩側(cè)，兩個(gè)移動(dòng)定位部件均可在支架直線段上滑動(dòng)，所述移動(dòng)定位部件與觀察目鏡相配合。
[0006]優(yōu)選的，所述移動(dòng)定位部件包括滑座和定位鏡，所述定位鏡固定在滑座上，所述滑座兩端通過(guò)卡槽與支架兩側(cè)的導(dǎo)軌配合，可使滑座可在支架導(dǎo)軌上滑動(dòng)，所述定位鏡包括相互連通的豎直鏡筒和水平鏡筒，所述豎直鏡筒上下貫通，所述水平鏡筒內(nèi)一側(cè)傾斜安裝第一反射鏡、對(duì)應(yīng)第一反射鏡一側(cè)為光線出口。
[0007]優(yōu)選的，所述支撐座為一固定在支架上的懸臂梁，所述觀察目鏡固定在懸臂梁的自由端、且在支架中部上方，所述觀察目鏡的兩個(gè)目鏡鏡筒下部均設(shè)有開口向外的光線導(dǎo)入口，所述光線導(dǎo)入口對(duì)應(yīng)定位鏡的光線出口、且設(shè)有與第一反射鏡相配合的第二反射鏡。
[0008]優(yōu)選的，所述支撐座上設(shè)有顯示屏，所述滑座的卡槽處設(shè)有位移傳感器，所述位移傳感器通過(guò)導(dǎo)線與顯示屏相連。
[0009]采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于:通過(guò)移動(dòng)兩個(gè)移動(dòng)定位部件來(lái)確定單晶棒的位置，通過(guò)觀察目鏡對(duì)單晶棒進(jìn)行觀測(cè)，滑動(dòng)移動(dòng)定位部件的滑座的同時(shí)，在顯示屏上同步顯示單晶棒的直徑數(shù)值，兩個(gè)移動(dòng)定位部件之間的距離就是單晶棒直徑，可一次性在測(cè)量尺上觀察單晶棒直徑的宏觀讀數(shù)，在顯示屏上讀出單晶棒的精確數(shù)值，提高了監(jiān)測(cè)單晶棒制造過(guò)程中的直徑測(cè)量精度。本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便、測(cè)量精度高的優(yōu)點(diǎn)，可減小操作人員的勞動(dòng)強(qiáng)度，提高工作效率。
【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]圖2是圖1的俯視圖；
[0012]圖3是圖2的右視圖；
[0013]圖4是圖2的主視圖；
[0014]圖5是圖4中K處的局部放大圖；
[0015]圖6是圖4中I處的局部放大圖；
[0016]圖中:1-支架，2-觀察目鏡，3-測(cè)量尺，4-移動(dòng)定位部件，5-支撐座，6-顯示屏，
11-導(dǎo)軌，21-目鏡鏡筒，22-光線導(dǎo)入口，23-第二反射鏡，41-滑座，42-定位鏡，410-卡槽，420-豎直鏡筒，421-水平鏡筒，422-第一反射鏡，423-光線出口。
【具體實(shí)施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。
[0018]如圖1一6所示的一種單晶棒直徑測(cè)量裝置，包括與單晶爐觀察窗外輪廓相配合的支架1、觀察目鏡2、測(cè)量尺3和移動(dòng)定位部件4，所述觀察目鏡2通過(guò)支撐座5固定在支架I直線段一側(cè)，所述測(cè)量尺3設(shè)置在支架I直線段另一側(cè)，所述移動(dòng)定位部件4為兩個(gè)、且設(shè)置在觀察目鏡2兩側(cè)，兩個(gè)移動(dòng)定位部件4均可在支架I直線段上滑動(dòng)，所述移動(dòng)定位部件4與觀察目鏡2相配合。
[0019]作為一種優(yōu)選結(jié)構(gòu)，所述移動(dòng)定位部件4包括滑座41和定位鏡42，所述定位鏡42固定在滑座41上，所述滑座41兩端通過(guò)卡槽410與支架I兩側(cè)的導(dǎo)軌11配合，可使滑座41可在支架導(dǎo)軌11上滑動(dòng)，所述定位鏡42包括相互連通的豎直鏡筒420和水平鏡筒421，所述豎直鏡筒420上下貫通，所述水平鏡筒421內(nèi)一側(cè)傾斜安裝第一反射鏡422、對(duì)應(yīng)第一反射鏡422 —側(cè)為光線出口 423。移動(dòng)滑座41使單晶棒發(fā)出的光線沿著豎直鏡筒420進(jìn)入，經(jīng)第一反射鏡422折射后可從光線出口 423射出。
[0020]作為一種優(yōu)選結(jié)構(gòu)，所述支撐座5為一固定在支架I上的懸臂梁，所述觀察目鏡2固定在懸臂梁的自由端、且在支架I中部上方，所述觀察目鏡2的兩個(gè)目鏡鏡筒21下部均設(shè)有開口向外的光線導(dǎo)入口 22，所述光線導(dǎo)入口 22對(duì)應(yīng)定位鏡42的光線出口 423、且設(shè)有與第一反射鏡422相配合的第二反射鏡23。從定位鏡42的光線出口 423射出的光線自光線導(dǎo)入口 22進(jìn)入，經(jīng)第二反射鏡23折射后沿著目鏡鏡筒21向上射出，人員即可觀測(cè)到單晶棒的具體位置。
[0021]為了能精確測(cè)量感應(yīng)滑座41的具體位置，所述滑座41的卡槽410處設(shè)有位移傳感器，所述支撐座5上設(shè)有顯示屏6，所述位移傳感器通過(guò)導(dǎo)線與顯示屏6相連。移動(dòng)滑座41的同時(shí)位移傳感器會(huì)將信號(hào)傳輸至顯示屏，顯示屏6上會(huì)顯示出單晶棒的精確數(shù)值，精度比測(cè)量尺3上的讀數(shù)更精確。
[0022]通過(guò)移動(dòng)兩個(gè)移動(dòng)定位部件4來(lái)確定單晶棒的位置，單晶棒發(fā)出的光線進(jìn)入定位鏡42，經(jīng)第一反射鏡422折射后進(jìn)入觀察目鏡2的光線導(dǎo)入口 22，光線經(jīng)第二反射鏡23再次折射進(jìn)入人眼；為了便于確定觀測(cè)位置，在定位鏡42的豎直鏡筒420下方入口處的鏡片上設(shè)置一個(gè)“十”字形定位線。操作人員通過(guò)觀察目鏡2雙眼直接定位單晶棒的直徑，可避免觀測(cè)誤差；滑動(dòng)移動(dòng)定位部件4滑座41的同時(shí)，通過(guò)位移傳感器可在顯示屏6上同步顯示單晶棒的直徑數(shù)值，兩個(gè)移動(dòng)定位部件4之間的距離就是單晶棒直徑，可一次性在測(cè)量尺3上觀測(cè)出單晶棒直徑的宏觀讀數(shù)，在顯示屏6上讀出單晶棒的精確數(shù)值，省時(shí)省力。
[0023]綜上所述，本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便、測(cè)量精度高的優(yōu)點(diǎn)，提高了監(jiān)測(cè)單晶棒制造過(guò)程中的單晶棒直徑測(cè)量精度，可減小操作人員的勞動(dòng)強(qiáng)度，提高工作效率。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種單晶棒直徑測(cè)量裝置，其特征在于:包括與單晶爐觀察窗外輪廓相配合的支架(I)、觀察目鏡(2)、測(cè)量尺(3)和移動(dòng)定位部件(4)，所述觀察目鏡(2)通過(guò)支撐座(5)固定在支架(I)直線段一側(cè)，所述測(cè)量尺(3 )設(shè)置在支架(I)直線段另一側(cè)，所述移動(dòng)定位部件(4)為兩個(gè)、且設(shè)置在觀察目鏡(2)兩側(cè)，兩個(gè)移動(dòng)定位部件(4)均可在支架(I)直線段上滑動(dòng)，所述移動(dòng)定位部件(4)與觀察目鏡(2)相配合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶棒直徑測(cè)量裝置，其特征在于:所述移動(dòng)定位部件(4)包括滑座(41)和定位鏡(42 )，所述定位鏡(42 )固定在滑座(41)上，所述滑座(41)兩端通過(guò)卡槽(410)與支架(I)兩側(cè)的導(dǎo)軌(11)配合，可使滑座(41)可在支架導(dǎo)軌(11)上滑動(dòng)，所述定位鏡(42 )包括相互連通的豎直鏡筒(420 )和水平鏡筒(421)，所述豎直鏡筒(420 )上下貫通，所述水平鏡筒(421)內(nèi)一側(cè)傾斜安裝第一反射鏡(422)、對(duì)應(yīng)第一反射鏡(422) —側(cè)為光線出口(423)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單晶棒直徑測(cè)量裝置，其特征在于:所述支撐座(5)為一固定在支架(I)上的懸臂梁，所述觀察目鏡(2)固定在懸臂梁的自由端、且在支架(I)中部上方，所述觀察目鏡(2)的兩個(gè)目鏡鏡筒(21)下部均設(shè)有開口向外的光線導(dǎo)入口(22)，所述光線導(dǎo)入口(22)對(duì)應(yīng)定位鏡(42)的光線出口(423)、且設(shè)有與第一反射鏡(422)相配合的第二反射鏡(23)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單晶棒直徑測(cè)量裝置，其特征在于:所述支撐座(5)上設(shè)有顯示屏(6)，所述滑座(41)的卡槽(410)處設(shè)有位移傳感器，所述位移傳感器通過(guò)導(dǎo)線與顯示屏(6)相連。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種單晶棒直徑測(cè)量裝置，涉及單晶棒測(cè)量設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括支架、觀察目鏡、測(cè)量尺和移動(dòng)定位部件，觀察目鏡通過(guò)支撐座固定在支架直線段一側(cè)，測(cè)量尺設(shè)置在支架直線段另一側(cè)，移動(dòng)定位部件為兩個(gè)、且設(shè)置在觀察目鏡兩側(cè)，兩個(gè)移動(dòng)定位部件均可在支架上滑動(dòng)，移動(dòng)定位部件與觀察目鏡相配合。通過(guò)移動(dòng)兩個(gè)移動(dòng)定位部件來(lái)確定單晶棒的位置，通過(guò)觀察目鏡對(duì)單晶棒進(jìn)行觀測(cè)，兩個(gè)移動(dòng)定位部件之間的距離就是單晶棒直徑，可在測(cè)量尺上一次性讀出單晶棒直徑的讀數(shù)。本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便、測(cè)量精度高的優(yōu)點(diǎn)，可減小操作人員的勞動(dòng)強(qiáng)度，提高工作效率。
【IPC分類】G01B5-08, G01B11-08
【公開號(hào)】CN204286308
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201420840323
【發(fā)明人】張一
【申請(qǐng)人】英利能源（中國(guó)）有限公司, 英利集團(tuán)有限公司, 保定天威英利新能源有限公司, 河北流云新能源科技有限公司
【公開日】2015年4月22日
【申請(qǐng)日】2014年12月26日