專利名稱：光電子器件用微機(jī)電系統(tǒng)芯片測試臺的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及光通信技術(shù)領(lǐng)域中的一種光電器件芯片測試臺，芯片屬于微機(jī)電 系統(tǒng)(Micro Electro-mechanical System, MEMS)。該測試臺可方便地測試用于光通信器 件的MEMS芯片的光電性能和穩(wěn)定性，挑選優(yōu)異性能的元件，避免不合格品對后續(xù)組裝造成 的浪費(fèi)。
背景技術(shù)：
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)是一種新型制造技術(shù)，在光通信的發(fā)展中得到廣泛的應(yīng) 用，有極大的市場價值。利用MEMS技術(shù)制作的光電子器件具有體積小、重量輕、能耗低、集 成化程度高等特點(diǎn)，從而日益成為研究的熱點(diǎn)。 由于MEMS芯片上的反射鏡尺寸很小，很難對芯片進(jìn)行光學(xué)性能和穩(wěn)定性能測試。 通常必須把MEMS芯片與光準(zhǔn)直器封裝成整個光電子器件，然后通過測試光電子器件的性 能來評判MEMS芯片的性能。 一般會有一部分芯片不合格，會造成光電子器件整體不滿足光 電性能或者穩(wěn)定性的要求。由于這種工藝的不可逆性，會連帶光準(zhǔn)直器以及封裝用的套管 報廢，這樣對時間和資源都是極大的浪費(fèi)。所以，在封裝之前測試芯片的光學(xué)性能和穩(wěn)定性 能等技術(shù)指標(biāo)是非常必要的。

實用新型內(nèi)容本實用新型解決了由于反射鏡反射范圍小而無法對芯片進(jìn)行光學(xué)性能和穩(wěn)定性 能測試的技術(shù)問題，提供了一種效率高、可靠性好、成本低的MEMS芯片測試平臺，測試芯片 的技術(shù)指標(biāo)包括最小插損(Insertionloss， IL)，芯片上反射鏡旋轉(zhuǎn)功能和旋轉(zhuǎn)狀態(tài)時的穩(wěn) 定性。 本實用新型的技術(shù)方案是，一種光電子器件用微機(jī)電系統(tǒng)芯片測試臺，主要包括 光束纖準(zhǔn)直器、輸入光纖、輸出光纖、托盤和五維調(diào)節(jié)架五部分，其中輸入光纖和輸出光纖 連接在光束準(zhǔn)直器上，光束準(zhǔn)直器固定在支撐架上，待測芯片固定在底座上后放置在托盤 上，托盤通過連接桿a固定在固定夾塊上，固定夾塊通過連接桿b固定在五維調(diào)節(jié)架上，支 撐架和五維調(diào)節(jié)架固定在底盤上；光信號通過輸入光纖進(jìn)入光束準(zhǔn)直器，照射在待測芯片 上，再通過光束準(zhǔn)直器反射回輸出光纖。 五維調(diào)節(jié)架上有五個調(diào)節(jié)旋鈕，通過調(diào)節(jié)旋鈕，可以使最大程度的光能量反射回 輸出光纖，得到待測芯片的最小插損。 本實用新型測試臺不僅效率高、可靠性好，而且成本低廉，由于采用了光束準(zhǔn)直器 和五維調(diào)節(jié)架，可使光纖最大程度的得到反射，進(jìn)而準(zhǔn)確的測試出微機(jī)電系統(tǒng)芯片的光學(xué) 性和穩(wěn)定性。

圖1為本實用新型的測試原理圖[0009] 圖2為測試臺配套設(shè)施 圖3為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖 附圖標(biāo)記l.活動裝置2.待測芯片3.輸出光纖4.輸入光纖5.光束準(zhǔn)直器 6.底座7.電源線8.電源9.光源10.光功率計11.測試臺12.托盤13.支撐架14.底 盤15.調(diào)節(jié)旋鈕16.五維調(diào)節(jié)架17.連接桿a 18.連接桿b 19.固定夾塊
具體實施方式如附圖l所示的測試原理圖，包括輸入光纖4，輸出光纖3，光束準(zhǔn)直器5和連接活 動裝置1的底座6組成。光信號通過輸入光纖4進(jìn)入光束準(zhǔn)直器5，照射在待測芯片2上， 再通過光束準(zhǔn)直器5反射回輸出光纖3。 如圖2所示測試臺配套設(shè)施還包括電源8、光源9、光功率計10、測試臺ll，光功率 計10用以計算測試臺中反射的輸入光纖的數(shù)量。 如圖3所示的結(jié)構(gòu)示意圖，本實用新型由光束準(zhǔn)直器5、輸入光纖4、輸出光纖3、 托盤12和五維調(diào)節(jié)架16組成，輸入光纖4和輸出光纖3連接在光束準(zhǔn)直器5上，光束準(zhǔn)直 器5固定在支撐架13上，待測芯片2固定在底座6上后放置在托盤12上，托盤12通過連 接桿a17固定在固定夾塊19上，固定夾塊19通過連接桿b18固定在五維調(diào)節(jié)架16上。光 信號通過輸入光纖進(jìn)入光束準(zhǔn)直器，照射在待測芯片上，再通過光束準(zhǔn)直器反射回輸出光 纖。通過調(diào)節(jié)五維調(diào)節(jié)架上的調(diào)節(jié)旋鈕，可以使最大程度的光能量反射回輸出光纖，得到待 測芯片的最小插損；停止調(diào)節(jié)五維調(diào)節(jié)架后，待測芯片連接電源線，通過調(diào)節(jié)輸入待測芯片 的電壓，可以使待測芯片的反射鏡發(fā)生旋轉(zhuǎn)，從而導(dǎo)致反射回輸出光纖能量減少，確認(rèn)待測 芯片上的反射鏡的旋轉(zhuǎn)功能；通過電源線加一定的電壓在待測芯片上，維持一段時間，觀察 輸出光纖的輸出能量變化，確認(rèn)待測芯片穩(wěn)定性。
權(quán)利要求一種光電子器件用微機(jī)電系統(tǒng)芯片測試臺，主要包括光束纖準(zhǔn)直器、輸入光纖、輸出光纖、托盤和五維調(diào)節(jié)架五部分，其特征在于輸入光纖和輸出光纖連接在光束準(zhǔn)直器上，光束準(zhǔn)直器固定在支撐架上，待測芯片固定在底座上后放置在托盤上，托盤通過連接桿a固定在固定夾塊上，固定夾塊通過連接桿b固定在五維調(diào)節(jié)架上，支撐架和五維調(diào)節(jié)架固定在底盤上；光信號通過輸入光纖進(jìn)入光束準(zhǔn)直器，照射在待測芯片上，再通過光束準(zhǔn)直器反射回輸出光纖。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的芯片測試臺，其特征在于五維調(diào)節(jié)架上有五個調(diào)節(jié)旋鈕，通 過調(diào)節(jié)旋鈕，可以使最大程度的光能量反射回輸出光纖，得到待測芯片的最小插損。
專利摘要本實用新型涉及一種光電子器件用微機(jī)電系統(tǒng)芯片測試臺，主要包括光束纖準(zhǔn)直器、輸入光纖、輸出光纖、托盤和五維調(diào)節(jié)架五部分，其中輸入光纖和輸出光纖連接在光束準(zhǔn)直器上，光束準(zhǔn)直器固定在支撐架上，待測芯片固定在底座上后放置在托盤上，托盤通過連接桿a固定在固定夾塊上，固定夾塊通過連接桿b固定在五維調(diào)節(jié)架上，支撐架和五維調(diào)節(jié)架固定在底盤上；光信號通過輸入光纖進(jìn)入光束準(zhǔn)直器，照射在待測芯片上，再通過光束準(zhǔn)直器反射回輸出光纖。本實用新型測試臺不僅效率高、可靠性好，而且成本低廉，由于采用了光束準(zhǔn)直器和五維調(diào)節(jié)架，可使光纖最大程度的得到反射，進(jìn)而可以準(zhǔn)確的測試出微機(jī)電系統(tǒng)芯片的光學(xué)性和穩(wěn)定性。
文檔編號G01R31/00GK201488869SQ20092017298
公開日2010年5月26日 申請日期2009年8月21日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月21日
發(fā)明者丁必鋒, 涂化 申請人:北京波聯(lián)匯成科技有限公司