專利名稱：齊焦檢查儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種顯微鏡的齊焦檢查裝置。
背景技術(shù)：
顯微鏡的物鏡結(jié)構(gòu)復(fù)雜，制作精密，由于對(duì)象差的校正，金屬的物鏡筒內(nèi)由相隔一定距 離并被固定的透鏡組組合而成。物鏡有許多具體的要求，齊焦是其中重要的檢查項(xiàng)目。齊焦 既是在鏡檢時(shí)，當(dāng)用某一倍率的物鏡觀察圖象清晰后，在轉(zhuǎn)換另一倍率的物鏡時(shí)，其成象亦 應(yīng)基本清晰。齊焦性能的優(yōu)劣是顯微鏡質(zhì)量的一個(gè)重要標(biāo)志。
原有齊焦檢查儀的原理如圖6，光源1通過聚光鏡2，聚焦在載物臺(tái)的十字分劃板3上，此 時(shí)，十字分劃板作為物象經(jīng)物鏡4成像后進(jìn)入目鏡5，成像于人眼。調(diào)節(jié)粗/細(xì)對(duì)焦螺旋6，首 先，確定標(biāo)準(zhǔn)物鏡在齊焦位置時(shí)粗/細(xì)對(duì)焦螺旋上的刻度線所對(duì)應(yīng)的讀數(shù)數(shù)值(基準(zhǔn)數(shù)值)。 然后，從目鏡觀察十字分劃板，再依次在同一孔位旋入(4X ， IOX， 20X， 60X， 100X)物鏡， 分別調(diào)至最清晰狀態(tài)，并分別讀取粗/細(xì)對(duì)焦螺旋上的刻度線所對(duì)應(yīng)的讀數(shù)數(shù)值；此讀數(shù)數(shù) 值與基準(zhǔn)數(shù)值之差，即為齊焦的誤差精度。
此種透射式光路結(jié)構(gòu)為常規(guī)的光路結(jié)構(gòu)以及檢驗(yàn)方式，是現(xiàn)有光路結(jié)構(gòu)檢查齊焦的典范。 此種檢査方法，由于人眼的誤差，齊焦精度不是特別高。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是提供一種可以提高齊焦檢查精度的齊焦檢査裝置。 該齊焦檢查儀，包括設(shè)置在機(jī)架上的平行光光源和物像，它還包括半透半反棱鏡、可沿 被檢物鏡軸向移動(dòng)的反射鏡；在被檢物鏡軸線前端無限遠(yuǎn)處設(shè)置平行光光源和物像，在被檢 物鏡軸線前后端分別設(shè)置半透半反棱鏡和反射鏡，在半透半反棱鏡的側(cè)部設(shè)置目鏡；平行光 光源打出的物像通過半透半反棱鏡透射，再經(jīng)過被檢物鏡在其焦面上成像；反射鏡捕捉的成 像作為反射物像反射入被檢物鏡，通過被檢物鏡后經(jīng)半透半反棱鏡轉(zhuǎn)向，進(jìn)入目鏡，使得反 射物像成像于人眼。
本齊焦檢査儀是利用平行光打出的物像通過半透半反棱鏡透射，再經(jīng)過被檢物鏡在其焦 面上成像，利用可沿被檢物鏡軸向移動(dòng)的反射鏡捕捉的成像作為反射物像反射入被檢物鏡， 通過被檢物鏡后經(jīng)半透半反棱鏡轉(zhuǎn)向，進(jìn)入目鏡，使得反射物像成像于人眼；通過調(diào)節(jié)反射 鏡在被檢物鏡軸向的移動(dòng)位置，使得反射物像的成像清晰；根據(jù)反射鏡相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)齊焦位置 的距離，判斷被檢物鏡的齊焦程度。該齊焦檢查儀是利用的反射式光路，具體地說，其是利 用平行光(光源)打出的物像(如十字分化板的十字線)經(jīng)過半透半反棱鏡透射以及被檢物鏡，在被檢物鏡的焦面上成像；利用反射鏡，捕捉成像，成為反射光路的被檢物鏡的焦點(diǎn)上的物 象，然后通過被檢物鏡，通過半透半反棱鏡轉(zhuǎn)向，經(jīng)過目鏡，成像于人眼。利用此反射式光 路檢驗(yàn)物鏡的齊焦性能，可以將齊焦精度提高一倍。
為了精確反映反射鏡相對(duì)于各個(gè)被檢物鏡的移動(dòng)位置，它還包括設(shè)置機(jī)架上的滑軌和測 距儀(如千分表)；反射鏡與滑軌在平行于被檢物鏡軸向成滑動(dòng)連接；測距儀與反射鏡連接， 以反映反射鏡相對(duì)于滑軌的移動(dòng)距離。
為了方便更換各個(gè)被檢物鏡，它還包括設(shè)置機(jī)架上的物鏡座；被檢物鏡與物鏡座成可拆 卸連接。
為了防止產(chǎn)生色差，觀察受到受色差的影響。所述光源為單色光光源，中心波長D線。 為了能夠清晰看到成像，所述物像為暗場十字分化板的十字線。最好在平行光光源與十 字分化板之間設(shè)置場鏡。由于場鏡能夠起到使軸外光束向光軸偏折的作用，因此能夠有效地 將光線收攏，使出射光束的口徑減小，從而可以降低對(duì)后續(xù)透鏡通光孔徑的要求，而且場鏡 可以將十字分劃板邊緣部分的光，更好的進(jìn)入光學(xué)系統(tǒng)。


圖l是本實(shí)用新型的齊焦檢查儀的示意圖。 圖2是圖1中的物鏡座的示意圖。 圖3是圖1中的物鏡連接滑塊示意圖。 圖4是圖1中的光路系統(tǒng)示意圖。
圖5是反映平面反射鏡反射面、物鏡焦平面、實(shí)際像平面的相對(duì)關(guān)系的光路示意圖。 圖6是原有的齊焦檢査儀的示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖詳細(xì)說明本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
。
圖l所示的齊焦檢査儀，物鏡座1設(shè)置機(jī)架2上。物鏡座l的上方開有燕尾槽(參見圖2)。 燕尾槽內(nèi)設(shè)置有物鏡連接滑塊3 (參見圖3)。物鏡連接滑塊3的中心開有螺紋孔31，以與被檢 物鏡4連接。物鏡連接滑塊3的外側(cè)是與燕尾槽相應(yīng)的燕尾滑軌32。物鏡座上的燕尾槽的軸向 垂直于被檢物鏡4的軸向。燕尾槽在垂直于被檢物鏡的軸向可以根據(jù)要求插入不同大小螺紋孔 的物鏡連接滑塊3，以更換不同規(guī)格的物鏡。比如如果被檢物鏡螺紋規(guī)格為M27X0.75; 則可以插入M27X0. 75規(guī)格的物鏡連接滑塊。
在被檢物鏡的軸向上方設(shè)置平面反射鏡5。平面反射鏡5的背面與設(shè)置在機(jī)架上的千分 表6的表?xiàng)U接觸。千分表6的表?xiàng)U在被檢物鏡的軸向方向上。平面反射鏡與機(jī)架上的滑軌(未 示出)在平行于被檢物鏡軸向成滑動(dòng)連接，千分表6可以反映反射鏡相對(duì)于滑軌的移動(dòng)距離。物鏡座l的內(nèi)部有半透半反棱鏡7，在半透半反棱鏡的側(cè)部設(shè)置三角棱鏡8和目鏡9。在 半透半反棱鏡的下部設(shè)置反射棱鏡10，反射棱鏡10的側(cè)部依次設(shè)置暗場十字分化板11、場 鏡12、聚光鏡13、單色光燈源14。其光路系統(tǒng)參見圖4，
單色光燈源14經(jīng)過聚光鏡13，形成平行光經(jīng)過場鏡12打在暗場十字分化板11上，形 成十字成像。在暗場十字分化板前，直接貼上場鏡，從而使主光線平行，并且減少雜散光。 十字分劃板的像經(jīng)過棱鏡10垂直向上，通過半透半反棱鏡7的透射，經(jīng)過被檢測物鏡，聚焦 在被檢物鏡焦平面上。如果平面反射鏡在被檢物鏡焦平面上，光線沿原路返回，通過半透半 反棱鏡7轉(zhuǎn)向到三角棱鏡8，進(jìn)入目鏡9;人眼觀察。
具體的齊焦檢査步驟
首先，用塊規(guī)的方法，或者使用標(biāo)準(zhǔn)物鏡，移動(dòng)平面反射鏡，定下標(biāo)準(zhǔn)焦距距離時(shí)的平 面反射鏡的位置(標(biāo)準(zhǔn)齊焦位置)，作為定位點(diǎn)。
第二步將千分表置零。
第三步抽出物鏡連接滑塊，旋上被檢物鏡，再插入物鏡座。
第四步調(diào)節(jié)平面反射鏡的位置，將觀察的像調(diào)節(jié)到最清楚狀態(tài)，讀取千分表讀數(shù)，此 讀數(shù)，即為檢查出來的齊焦誤差精度。
重復(fù)以上方法，可以測出不同規(guī)格，不同物鏡的齊焦精度誤差。 下面具體說明為什么此齊焦精度可以提高一倍。
參見圖5所示，假設(shè)平面反射鏡反射面16現(xiàn)在為標(biāo)準(zhǔn)齊焦位置；物鏡焦平面15為實(shí)際
物鏡成像位置。從光路上來看，物鏡焦平面到標(biāo)準(zhǔn)齊焦位置的距離雖然只為h，但是觀察起
來等于離焦了 2h (從物鏡焦平面15到實(shí)際像平面17的距離)。比離焦一倍要模糊。所以， 其靈敏度高，成像好，齊焦精度可以提高一倍。
權(quán)利要求1.齊焦檢查儀，包括設(shè)置在機(jī)架上的平行光光源和物像，其特征是它還包括半透半反棱鏡、可沿被檢物鏡軸向移動(dòng)的反射鏡；在被檢物鏡軸線前端無限遠(yuǎn)處設(shè)置平行光光源和物像，在被檢物鏡軸線前后端分別設(shè)置半透半反棱鏡和反射鏡，在半透半反棱鏡的側(cè)部設(shè)置目鏡；平行光光源打出的物像通過半透半反棱鏡透射，再經(jīng)過被檢物鏡在其焦面上成像；利用反射鏡捕捉的成像作為反射物像反射入被檢物鏡，通過被檢物鏡后經(jīng)半透半反棱鏡轉(zhuǎn)向，進(jìn)入目鏡，使得反射物像成像于人眼。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的齊焦檢查儀，其特征是它還包括設(shè)置機(jī)架上的滑軌和測距儀； 反射鏡與滑軌在平行于被檢物鏡軸向成滑動(dòng)連接；測距儀與反射鏡連接，以反映反射鏡相對(duì) 于滑軌的移動(dòng)距離。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的齊焦檢查儀，其特征是它還包括設(shè)置機(jī)架上的物鏡座；被檢 物鏡與物鏡座成可拆卸連接。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的齊焦檢查儀，其特征是所述光源為單色光光源。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的齊焦檢查儀，其特征是所述物像為暗場十字分化板的十字線。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的齊焦檢查儀，其特征是在平行光光源與十字分化板之間設(shè)置 場鏡。
專利摘要本實(shí)用新型的目的是提供一種可以提高齊焦檢查精度的齊焦檢查裝置。該齊焦檢查儀包括設(shè)置在機(jī)架上的平行光光源和物像，它還包括半透半反棱鏡、可沿被檢物鏡軸向移動(dòng)的反射鏡；在被檢物鏡軸線前端無限遠(yuǎn)處設(shè)置平行光光源和物像，在被檢物鏡軸線前后端分別設(shè)置半透半反棱鏡和反射鏡，在半透半反棱鏡的側(cè)部設(shè)置目鏡；平行光光源打出的物像通過半透半反棱鏡透射，再經(jīng)過被檢物鏡在其焦面上成像；反射鏡捕捉的成像作為反射物像反射入被檢物鏡，通過被檢物鏡后經(jīng)半透半反棱鏡轉(zhuǎn)向，進(jìn)入目鏡，使得反射物像成像于人眼。
文檔編號(hào)G01M11/02GK201359560SQ200920036730
公開日2009年12月9日 申請(qǐng)日期2009年2月24日 優(yōu)先權(quán)日2009年2月24日
發(fā)明者趙躍東 申請(qǐng)人:南京東利來光電實(shí)業(yè)有限責(zé)任公司