專(zhuān)利名稱(chēng)：四軸驅(qū)動(dòng)器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
四軸驅(qū)動(dòng)器
一、 技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及超高真空設(shè)備。
二、 背景技術(shù)
超高真空技術(shù)是新材料合成，材料的物理化學(xué)性質(zhì)分析和宇宙開(kāi) 發(fā)的基本環(huán)境。為了實(shí)現(xiàn)在超高真空環(huán)境中的各種分析研究，離不開(kāi) 對(duì)樣品的傳輸和操縱，但是要求在大氣側(cè)操作控制真空環(huán)境樣品，特 別是樣品需要做三維操縱時(shí)，目前尚無(wú)成型的一體設(shè)備可以實(shí)現(xiàn)。
三、 發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是克服上述不足問(wèn)題，提供一種四軸驅(qū)動(dòng)器，
結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作簡(jiǎn)單，實(shí)現(xiàn)超高真空環(huán)境中的XYZ三維和一個(gè)傾角的 四維立體驅(qū)動(dòng)。
本實(shí)用新型為實(shí)現(xiàn)上述目的所采用的技術(shù)方案是四軸驅(qū)動(dòng)器，
X向位移板與Y向位移板之間滑動(dòng)連接，X向位移板或Y向位移板與 底板之間滑動(dòng)連接，并分別裝有X向和Y向調(diào)整裝置，X向位移板或 Y向位移板與波紋管底部法蘭焊接，波紋管底部法蘭與X向位移板或 Y向位移板四個(gè)角上分別安裝支撐微分頭，波紋管上端法蘭盤(pán)與Z向 螺旋棒固定連接，Z向螺旋棒通過(guò)圓錐齒輪副連接Z向調(diào)整把手。
所述Z向調(diào)整把手通過(guò)軸承安裝在導(dǎo)向板上，導(dǎo)向板通過(guò)導(dǎo)軌臺(tái) 與波紋管上部法蘭滑動(dòng)連接，導(dǎo)向板平行于Z向螺旋棒，Z向螺旋棒 通過(guò)軸承轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在導(dǎo)向板兩端。
3所述X向和Y向調(diào)整裝置為微分頭旋鈕軸套裝在限位塊軸孔中。 所述X向位移板、Y向位移板和底板之間帶有導(dǎo)向滑槽滑動(dòng)連接。 所述z向?qū)虬迳涎b有平行于螺旋棒的標(biāo)尺。
本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)超高真空環(huán)境中的XYZ三維和一個(gè)傾角偏轉(zhuǎn)的
四維立體驅(qū)動(dòng)。實(shí)現(xiàn)超高真空環(huán)境中樣品精確直線驅(qū)動(dòng)和外部信號(hào)導(dǎo)
入的重要手段。z向采用焊接波紋管密封，達(dá)到放出氣體少的要求，
中空構(gòu)造，可向超高真空中導(dǎo)入各種要素，比如樣品架，電流和氣體
等，Z軸驅(qū)動(dòng)通過(guò)梯型螺旋棒來(lái)實(shí)現(xiàn)，保證直線驅(qū)動(dòng)的目的，又實(shí)現(xiàn) 同心驅(qū)動(dòng)的誘導(dǎo)，X、 Y向采用直線滑軌，使得X、 Y向驅(qū)動(dòng)順暢，X、 Y、 Z三個(gè)方向的驅(qū)動(dòng)位置可精確控制，法蘭采用金屬刀口法蘭，適 合超高真空密封，和真空接觸的部件，全部采用不銹鋼部件，有利于 維持超高真空。XY驅(qū)動(dòng)在下，Z軸驅(qū)動(dòng)在上方，XY驅(qū)動(dòng)部分依托四 個(gè)微分頭把手(微分頭2)支撐，旋轉(zhuǎn)微分頭把手可以調(diào)節(jié)XY水平 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的傾角，水平方向的驅(qū)動(dòng)采用微分頭，實(shí)現(xiàn)0.02mm的驅(qū)動(dòng) 精度；坐落在XY水平驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上端的Z軸驅(qū)動(dòng)和安裝在Z軸驅(qū)動(dòng)機(jī) 構(gòu)上端的樣品架自然也跟著實(shí)現(xiàn)傾角運(yùn)動(dòng)。
四、

圖1為本實(shí)用新型立體圖。
圖2為本實(shí)用新型四軸驅(qū)動(dòng)器結(jié)構(gòu)主視圖3為本實(shí)用新型四軸驅(qū)動(dòng)器結(jié)構(gòu)側(cè)視五具體實(shí)施方式
如圖l、 2、 3所示的四軸驅(qū)動(dòng)器，X向位移板1與Y向位移板2 之間通過(guò)導(dǎo)軌3滑動(dòng)連接，Y向位移板2與底板4之間通過(guò)導(dǎo)向滑 槽滑動(dòng)連接，并分別裝有X向調(diào)整裝置5和Y向調(diào)整裝置6， X向調(diào)整裝置和Y向調(diào)整裝置為微分頭旋鈕軸套裝在限位塊7軸孔中，X向
位移板1與波紋管底部法蘭8焊接，波紋管底部法蘭8與X向位移板 1四個(gè)角上分別安裝支撐微分頭10，波紋管上部法蘭11與z向螺旋 棒12固定連接，Z向螺旋棒12通過(guò)圓錐齒輪副13連接Z向調(diào)整把 手14， Z向調(diào)整把手14通過(guò)軸承15安裝在導(dǎo)向板16上，導(dǎo)向板通 過(guò)導(dǎo)軌臺(tái)17與波紋管上部法蘭滑動(dòng)連接，導(dǎo)向板16平行于Z向螺旋 棒12， Z向螺旋棒通過(guò)軸承轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在導(dǎo)向板兩端，Z向?qū)虬迳涎b 有平行于Z向螺旋棒的標(biāo)尺18。波紋管9分別和底部法蘭及上部法 蘭焊接，隔絕超高真空環(huán)境和大氣壓環(huán)境，底部法蘭和超高真空設(shè)備 連接，上部法蘭和樣品架連接。通過(guò)X向調(diào)整裝置5和Y向調(diào)整裝置 6的驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)XY的水平驅(qū)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)精度可達(dá)0.02mm。
使用時(shí)，旋轉(zhuǎn)調(diào)整把手，帶動(dòng)螺旋棒旋轉(zhuǎn)，從而實(shí)現(xiàn)Z方向的直 線驅(qū)動(dòng)，螺旋棒上裝有兩個(gè)直線誘導(dǎo)用導(dǎo)軌臺(tái)，導(dǎo)軌臺(tái)與導(dǎo)向板滑動(dòng) 連接，實(shí)現(xiàn)Z向直線驅(qū)動(dòng)時(shí)的同心運(yùn)動(dòng)。XY驅(qū)動(dòng)部分依托四個(gè)支撐 微分頭把手，旋轉(zhuǎn)支撐微分頭把手可以調(diào)節(jié)XY水平驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的傾角， 坐落在XY水平驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上端的Z軸驅(qū)動(dòng)和安裝在Z軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上端 的樣品架自然也跟著實(shí)現(xiàn)傾角運(yùn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)器的傾角驅(qū)動(dòng)需要Z軸驅(qū)動(dòng) 部分整體進(jìn)行偏轉(zhuǎn)。
權(quán)利要求1、四軸驅(qū)動(dòng)器，其特征是X向位移板與Y向位移板之間滑動(dòng)連接，X向位移板或Y向位移板與底板之間滑動(dòng)連接，并分別裝有X向調(diào)整裝置和Y向調(diào)整裝置，X向位移板或Y向位移板與波紋管底部法蘭焊接，波紋管底部法蘭與X向位移板或Y向位移板四個(gè)角上分別安裝支撐微分頭，波紋管上端法蘭盤(pán)與Z向螺旋棒固定連接，Z向螺旋棒通過(guò)圓錐齒輪副連接Z向調(diào)整把手。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的四軸驅(qū)動(dòng)器，其特征是Z向調(diào)整把 手通過(guò)軸承安裝在導(dǎo)向板上，導(dǎo)向板通過(guò)導(dǎo)軌臺(tái)與波紋管上部法蘭滑 動(dòng)連接，導(dǎo)向板平行于Z向螺旋棒，Z向螺旋棒通過(guò)軸承轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在 導(dǎo)向板兩端。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的四軸驅(qū)動(dòng)器，其特征是X向調(diào)整裝 置和Y向調(diào)整裝置為微分頭旋鈕軸套裝在限位塊軸孔中。
4、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的四軸驅(qū)動(dòng)器，其特征是X向位移板、 Y向位移板和底板之間帶有導(dǎo)向滑槽滑動(dòng)連接。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的四軸驅(qū)動(dòng)器，其特征是Z向?qū)虬迳涎b有平行于Z向螺旋棒的標(biāo)尺。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及真空設(shè)備。四軸驅(qū)動(dòng)器，X向位移板與Y向位移板之間滑動(dòng)連接，X向位移板或Y向位移板與底板之間滑動(dòng)連接，并分別裝有X向和Y向調(diào)整裝置，X向位移板或Y向位移板與波紋管底部法蘭焊接，波紋管底部法蘭與X向位移板或Y向位移板四個(gè)角上分別安裝支撐微分頭，波紋管上端法蘭盤(pán)與Z向螺旋棒固定連接，Z向螺旋棒通過(guò)圓錐齒輪副連接Z向調(diào)整把手。本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)超高真空環(huán)境中的XYZ三維和一個(gè)傾角偏轉(zhuǎn)的四維立體驅(qū)動(dòng)。實(shí)現(xiàn)超高真空環(huán)境中樣品精確直線驅(qū)動(dòng)和外部信號(hào)導(dǎo)入的重要手段。
文檔編號(hào)G01N35/10GK201413331SQ20092001436
公開(kāi)日2010年2月24日 申請(qǐng)日期2009年6月3日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月3日
發(fā)明者郭方準(zhǔn) 申請(qǐng)人:大連齊維科技發(fā)展有限公司