專利名稱：：布線結(jié)構(gòu)、加熱器驅(qū)動裝置、測量裝置以及控制系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及削減了加熱器或傳感器等的電力線或信號線等的布線數(shù)目的布線結(jié)構(gòu)、利用了該布線結(jié)構(gòu)的加熱器驅(qū)動裝置、測量裝置以及控制系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
：以往，例如在將被加熱體放置在加熱板上進行加熱處理的溫度控制中，溫度調(diào)節(jié)器基于設置在加熱板上的溫度傳感器的檢測溫度，通過控制設置在加熱板上的加熱器的通電，使得加熱板的溫度成為設定溫度(例如，參照專利文獻1)。[專利文獻1](日本)特開2001-274069號公報在所述加熱板上設置多個加熱器以及多個溫度傳感器從而進行多個控制點、即多通道的溫度控制時，加熱器的電力線和溫度傳感器的信號線的布線數(shù)目會增大。圖29是以9個控制點控制加熱板的溫度的9通道的溫度控制系統(tǒng)的概略結(jié)構(gòu)圖，圖30是表示在圖29的加熱板上設置的9個加熱器的布線結(jié)構(gòu)的圖。該溫度控制系統(tǒng)包括基于來自加熱板30上所設置的未圖示的9個溫度傳感器的檢測溫度PV和設定溫度，進行PID(比例微分積分)運算等從而輸出各個通道的操作量的溫度調(diào)節(jié)器31;基于來自該溫度調(diào)節(jié)器31的各個通道的操作量，控制繼電器等開關(guān)元件33-133-9的開關(guān)，從而控制來自交流電源34的供電的輸出設備35，繼電器等開關(guān)元件被設置為與加熱板30上所設置的9個加熱器32-132-9單獨對應。加熱板30上設置的各個加熱器32-132-9的各自一端XIX9經(jīng)由開關(guān)元件33-133-9分別與交流電源34的一端連接，各自的另一端YlY9分別與交流電源34的另一端連接。溫度調(diào)節(jié)器31構(gòu)成為，經(jīng)由輸出設備35控制各個開關(guān)元件33-133_9，從而單獨驅(qū)動各個加熱器32-132-9。這樣，在以往存在如下問題，為了將各個加熱器32-132-9單獨連接到電源而進行驅(qū)動，例如在該9通道的溫度控制系統(tǒng)的情況下，電力線數(shù)目為18條，開關(guān)元件的個數(shù)為9個，分辨率越高、即通道數(shù)目越多，開關(guān)元件的個數(shù)以及布線數(shù)目會增大，尤其是線直徑大的電力線會較長地圍在加熱板和輸出設備之間，空間設計和布線作業(yè)變得復雜。這樣的由布線數(shù)目的增大引起的弊端不限于加熱器，對于傳感器的信號線等中也會同樣產(chǎn)生。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明鑒于上述點而完成，其目的在于削減加熱器和傳感器等的布線數(shù)目。(1)本發(fā)明的布線結(jié)構(gòu)是將多個加熱器連接到電源的布線結(jié)構(gòu)，在多個第1電力線和多個第2電力線之間，矩陣連接了多個加熱器，所述多個第1電力線分別經(jīng)由多個第1開關(guān)部件連接到所述電源，另一方面，所述多個第2電力線分別經(jīng)由多個第2開關(guān)部件連接到所述電源，通過所述第1開關(guān)部件以及所述第2開關(guān)部件的開關(guān)，選擇連接到所述電源的4加熱器。作為加熱器，優(yōu)選電阻加熱型加熱器和燈加熱器等。電源可以是直流電源，也可以是交流電源。開關(guān)部件可以是繼電器，也可以是晶體管、可控硅或者雙向可控硅等半導體元件。矩陣連接不限于行方向和列方向為柵格狀的完整的矩陣，也可以在其中一部分包含不是矩陣連接的加熱器，即通過單獨的電力線連接到電源的加熱器。此外，也可以具有多個被矩陣連接的多個加熱器線。根據(jù)本發(fā)明的布線結(jié)構(gòu)，通過控制第1開關(guān)部件以及第2開關(guān)部件的開關(guān)，能夠選擇在行方向(或者列方向)的多個第l電力線和列方向(或者行方向)的多個第2電力線之間矩陣連接的加熱器并對其供電，與對每個加熱器經(jīng)由開關(guān)元件單獨連接到電源而進行驅(qū)動的以往例子相比，能夠減少電力線的數(shù)目以及開關(guān)元件等開關(guān)部件的個數(shù)。(2)在上述(1)的實施方式中，優(yōu)選由電阻構(gòu)成所述加熱器。在使用珀耳帖元件等熱電換能元件作為矩陣連接的加熱器時，如后述那樣，通過電流的環(huán)繞而產(chǎn)生電路環(huán)，從而抵消由電動勢產(chǎn)生溫度差的熱電換能元件和由溫度差產(chǎn)生電動勢的熱電變換元件的結(jié)果，僅僅使選擇的熱電換能元件發(fā)熱，即，對于局部發(fā)熱困難的情況，在該實施方式中，由于使用電阻加熱器，因此不會產(chǎn)生這一不合理的情況。(3)本發(fā)明的布線結(jié)構(gòu)是將多個傳感器連接到傳感器輸入電路的布線結(jié)構(gòu)，在多個第1信號線和多個第2信號線之間，矩陣連接了多個傳感器，所述多個第1信號線分別經(jīng)由多個第1開關(guān)部件連接到所述傳感器輸入電路，另一方面，所述多個第2信號線分別經(jīng)由多個第2開關(guān)部件連接到所述傳感器輸入電路，通過所述第1開關(guān)部件以及所述第2開關(guān)部件的開關(guān)，選擇連接到所述傳感器輸入電路的傳感器。根據(jù)本發(fā)明的布線結(jié)構(gòu)，通過控制第1開關(guān)部件以及第2開關(guān)部件的開關(guān)，能夠選擇在行方向(或者列方向)的多個第l信號線和列方向(或者行方向)的多個第2信號線之間矩陣連接的傳感器，并將其輸出引入傳感器輸入電路，與將每個傳感器單獨連接到傳感器輸入電路從而獲取傳感器輸出的以往例子相比，能夠減少信號線的數(shù)目。(4)在上述(3)的實施方式中，優(yōu)選由電阻構(gòu)成所述傳感器。作為由電阻構(gòu)成的傳感器，優(yōu)選測溫電阻或熱敏電阻等。在使用熱電偶等熱電換能元件作為矩陣連接的傳感器時，如后述那樣，通過電流的環(huán)繞而產(chǎn)生電路環(huán)，從而產(chǎn)生抵消電勢的熱電換能元件，結(jié)果，作為整體，測量包含選擇的熱電換能元件以外的熱電換能元件的電勢，即對于測量局部溫度困難的情況，在該實施方式中，由于使用電阻傳感器，因此不會產(chǎn)生這一不合理的情況。(5)本發(fā)明的加熱器驅(qū)動裝置是具有上述(1)或者(2)的布線結(jié)構(gòu)的加熱器驅(qū)動裝置，其包括選擇部件，通過控制所述第1開關(guān)部件以及所述第2開關(guān)部件的開關(guān)，選擇連接到所述電源的加熱器。本發(fā)明的加熱器驅(qū)動裝置可以獨立構(gòu)成，也可以內(nèi)置在功率調(diào)整器或溫度調(diào)節(jié)器等中。根據(jù)本發(fā)明的加熱器驅(qū)動裝置，通過選擇部件來控制開關(guān)部件的開關(guān)，從而能夠選擇加熱器并對其供電，與對每個加熱器經(jīng)由開關(guān)元件單獨連接到電源而進行驅(qū)動的以往例子相比，能夠減少電力線的數(shù)目以及開關(guān)元件等開關(guān)部件的個數(shù)。(6)本發(fā)明的測量裝置是具有上述(3)或者(4)的布線結(jié)構(gòu)的測量裝置，其包括選擇部件，通過控制所述第1開關(guān)部件以及所述第2開關(guān)部件的開關(guān)，選擇連接到所述傳感器輸入電路的傳感器。本發(fā)明的測量裝置可以獨立構(gòu)成，也可以內(nèi)置于溫度調(diào)節(jié)器等中。根據(jù)本發(fā)明的測量裝置，通過選擇部件來控制開關(guān)部件的開關(guān)，從而能夠選擇傳感器并將其輸出弓I入傳感器輸入電路，與將每個傳感器單獨連接到傳感器輸入電路從而獲取傳感器輸出的以往例子相比，能夠減少信號線的數(shù)目。(7)本發(fā)明的控制系統(tǒng)具有本發(fā)明的加熱器驅(qū)動裝置。根據(jù)本發(fā)明的控制系統(tǒng)，與以往例子相比，能夠減少電力線的數(shù)目以及開關(guān)元件等開關(guān)部件的個數(shù)，用于圍繞電力線的空間設計或布線作業(yè)變得容易。(8)本發(fā)明的控制系統(tǒng)具有本發(fā)明的測量裝置。根據(jù)本發(fā)明的控制系統(tǒng)，與以往例子相比，能夠減少信號線的數(shù)目，布線作業(yè)變得容易。(9)本發(fā)明的控制系統(tǒng)是對配設了多個加熱器的控制對象的溫度進行控制的控制系統(tǒng)，在多個第1電力線和多個第2電力線之間，矩陣連接了多個加熱器，所述多個第1電力線分別經(jīng)由多個第1開關(guān)部件連接到所述電源，另一方面，所述多個第2電力線分別經(jīng)由多個第2開關(guān)部件連接到所述電源，所述控制系統(tǒng)包括溫度控制部件，基于來自檢測所述控制對象的溫度的多個溫度傳感器的檢測溫度和設定溫度，輸出操作量；以及第1選擇部件，基于來自所述溫度控制部件的操作量，控制所述第1開關(guān)部件以及所述第2開關(guān)部件的開關(guān)，從而選擇要驅(qū)動的加熱器。根據(jù)本發(fā)明的控制系統(tǒng)，通過選擇部件來控制第1開關(guān)部件以及第2開關(guān)部件的開關(guān)，從而能夠選擇在行方向(或者列方向)的多個第1電力線和列方向(或者行方向)的多個第2電力線之間矩陣連接的加熱器并對其供電，與對每個加熱器經(jīng)由開關(guān)元件單獨連接到電源而進行驅(qū)動的以往例子相比，能夠減少電力線的數(shù)目以及開關(guān)元件等開關(guān)部件的個數(shù)，由此，用于圍繞電力線的空間設計或布線作業(yè)變得容易。(10)在上述(9)的實施方式中，優(yōu)選由電阻構(gòu)成所述加熱器。根據(jù)該實施方式，不會產(chǎn)生如使用珀耳帖元件等熱電換能元件作為矩陣連接的加熱器的情況那樣，局部發(fā)熱困難的不合理的情況。(11)在上述(9)或者(10)的實施方式中，可以包括非干擾化部件，變換來自所述溫度控制部件的操作量后提供給所述選擇部件，以消除由所述選擇部件選擇的加熱器以外的加熱器中流過的電流引起的發(fā)熱。在選擇矩陣連接的加熱器進行驅(qū)動的情況下，在選擇的加熱器以外也會環(huán)繞電流，因此使周圍的加熱器雖然發(fā)熱量較少但仍然會發(fā)熱，但根據(jù)該實施方式，將周圍的加熱器的發(fā)熱視為干擾，通過非干擾化部件變換操作量以消除這一干擾，因此能夠減少周圍的加熱器中不期望的發(fā)熱的影響從而進行高精度的溫度控制。(12)本發(fā)明的控制系統(tǒng)對控制對象又配設了多個溫度傳感器，在多個第1信號線和多個第2信號線之間，矩陣連接了多個溫度傳感器，所述多個第1信號線分別經(jīng)由多個第3開關(guān)部件連接到傳感器輸入電路，另一方面，所述多個第2信號線分別經(jīng)由多個第4開關(guān)部件連接到所述傳感器輸入電路，所述控制系統(tǒng)包括第2選擇部件，控制所述第3開關(guān)部件以及所述第4開關(guān)部件的開關(guān)，從而選擇連接到所述傳感器輸入電路的溫度傳感器；以及切換部件，切換經(jīng)由所述傳感器輸入電路所提供的來自溫度傳感器的輸入，從而將其提供給所述溫度控制部件中與各個溫度傳感器對應的多個溫度控制部件，所述溫度控制部件基于來自所述切換部件的的溫度傳感器的輸入和設定溫度，控制所述第2選擇部件。根據(jù)本發(fā)明的控制系統(tǒng)，通過第2選擇部件來控制第3開關(guān)部件以及第4開關(guān)部件的開關(guān)，從而能夠選擇在行方向(或者列方向)的多個第l信號線和列方向(或者行方向)的多個第2信號線之間矩陣連接的傳感器，并將其輸出引入傳感器輸入電路，與將每個傳感器單獨連接到傳感器輸入電路從而獲取傳感器輸出的以往例子相比，能夠減少信號線的數(shù)目，布線作業(yè)變得簡單。(13)在上述(12)的實施方式中，優(yōu)選由電阻構(gòu)成所述溫度傳感器。根據(jù)該實施方式，不會產(chǎn)生如使用熱電偶等熱電換能元件作為矩陣連接的傳感器的情況那樣，測量局部溫度困難這一不合理的情況。根據(jù)本發(fā)明，由多個加熱器或傳感器共用多個電力線或信號線，因此與以往例子相比，能夠減少電力線等的數(shù)目或開關(guān)元件的個數(shù)，用于圍繞電力線等的空間設計或布線作業(yè)變得容易。圖1是本發(fā)明實施方式的溫度控制系統(tǒng)的概略結(jié)構(gòu)圖。圖2是表示在圖1的加熱板上配設的9個加熱器的布線結(jié)構(gòu)的圖。圖3的(a)(b)是用于說明開始對加熱板的加熱起到達設定溫度之前的各個狀態(tài)的加熱器的驅(qū)動的圖。圖4是表示用于驅(qū)動加熱器的驅(qū)動信號的圖。圖5的(a)(b)是表示加熱板的溫度和9通道的合計操作量的變化的圖。圖6的(a)(c)是用于說明與合計操作量對應的加熱器的驅(qū)動的圖。圖7的(a)(b)是表示驅(qū)動4個加熱器的組的圖。圖8是表示圖7的驅(qū)動信號的圖。圖9是用于說明電流的環(huán)繞的圖。圖10是表示電流環(huán)繞的影響的圖。圖11是表示測量加熱板的溫度并輸出操作量的溫度調(diào)節(jié)器的結(jié)構(gòu)的圖。圖12是表示在圖11的加熱板上配設的測量電阻的布線結(jié)構(gòu)的圖。圖13是表示通過選擇部件獲取各個通道的傳感器的輸入的定時的圖。圖14是用于說明由測溫電阻構(gòu)成傳感器的情況下的電流環(huán)繞的圖。圖15是表示電流環(huán)繞的影響的圖。圖16的(a)(b)是用于說明電流環(huán)繞引起的電阻值下降的圖。圖17是用于說明使用了珀耳帖元件的情況下的電流環(huán)繞的圖。圖18的(a)(b)是表示電流環(huán)繞引起的影響的圖。圖19的(a)(c)是用于說明將電流環(huán)繞等價地視為并行串行連接的理由的圖。圖20是用于說明使用了熱電偶的情況下的電流環(huán)繞的圖。圖21的(a)(b)是表示電流環(huán)繞引起的影響的圖。]圖22是本發(fā)明的其他實施方式的溫度控制系統(tǒng)的概略結(jié)構(gòu)圖。圖23的(a)(b)是表示漏電流引起的發(fā)熱的程度的圖。圖24是本發(fā)明的其他實施方式的溫度控制系統(tǒng)的概略結(jié)構(gòu)圖。圖25是表示加熱器布線結(jié)構(gòu)的其他例子的圖。圖26是與圖25的布線結(jié)構(gòu)對應的溫度控制系統(tǒng)的概略結(jié)構(gòu)圖,圖27是表示加熱器布線結(jié)構(gòu)的其他例子的圖。圖28是表示加熱器布線結(jié)構(gòu)的又一其他例子的圖。圖29是以往例子的溫度控制系統(tǒng)的概略結(jié)構(gòu)圖。圖30是表示以往例子的加熱器的布線結(jié)構(gòu)的圖。標號說明加熱板溫度調(diào)節(jié)器14-6開關(guān)元件交流電源輸出設備加熱器測溫電阻傳感器輸入電路選擇部件控制單元1，102，2-1，2-23-13-6，14-145，5-1，5-26_16_1611-111-9121518-118-9PID具體實施例方式以下，基于附圖詳細說明本發(fā)明的實施方式。(實施方式1)圖1是本發(fā)明的一個實施方式的溫度控制系統(tǒng)的概略結(jié)構(gòu)圖，圖2是表示在圖1的加熱板1上配設的9個加熱器的布線結(jié)構(gòu)的圖。該實施方式的溫度控制系統(tǒng)是控制加熱板1上的9個控制點的溫度的、進行9通道的控制的系統(tǒng)，在加熱板1上配設了9個第1第9加熱器6-16-9以及未圖示的9個溫度傳感器。在該實施方式中，如圖2所示，第1第9加熱器6-16-9矩陣連接在行方向的3條第1電力線Ll-lLl3和列方向的3條第2電力線L2-lL2-3之間。gp，第1第3加熱器6-16-3的各個一端與上側(cè)的行方向的第1電力線Ll-l連接，各個另一端與3條列方向的第2電力線L2-lL2-3分別連接。此外，第4第6加熱器6-46-6的各個一端與中間的行方向的第1電力線Ll-2連接，各個另一端與3條列方向的第2電力線L2-lL2-3分別連接。并且，第7第9加熱器6_76_9的各個一端與下側(cè)的行方向的第1電力線Ll-3連接，各個另一端與3條列方向的第2電力線L2-lL2-3分別連接。如圖1所示，從加熱板1引出的3條行方向的第1電力線Ll-lLl3的各個連接用端子XIX3，分別經(jīng)由多個作為第1開關(guān)部件的、由繼電器等構(gòu)成的3個開關(guān)元件83-13-3與交流電源4的一端連接。此外，從加熱板1引出的3條列方向的第2電力線L2-lL2-3的各個連接用端子YlY3，分別經(jīng)由多個作為第2開關(guān)部件的3個開關(guān)元件3-43-6與交流電源4的另一端連接。該溫度控制系統(tǒng)具有基于來自加熱板1上配設的9個未圖示的溫度傳感器的檢測溫度(PV)和設定溫度(目標溫度)，進行PID運算等從而輸出9通道的操作量的溫度調(diào)節(jié)器2;基于來自該溫度調(diào)節(jié)器2的操作量，控制開關(guān)元件3-13-3、3-43_6的開關(guān)，從而控制從交流電源4對加熱板1上配設的9個加熱器6-16-9的供電的輸出設備5。如上所述，9個加熱器6-l6-9矩陣連接在3條行方向的第1電力線Ll_lLl3禾P3條列方向的第2電力線L2-lL2-3之間。因此，通過選擇與行方向的第1電力線L1-1Ll3中的某個電力線對應的開關(guān)元件3-l3-3和與列方向的第2電力線L2-lL2-3中的某個電力線對應的開關(guān)元件3-43_6，并將其開通(on)，從而能夠選擇任一個加熱器6-16-9并將其連接到交流電源4后驅(qū)動。輸出設備具有作為選擇要驅(qū)動的加熱器的選擇部件的功能，該輸出設備5基于來自溫度調(diào)節(jié)器2的9通道的操作量，生成后述的驅(qū)動信號用于控制開關(guān)元件3-13-3、3-43-6的開關(guān)，驅(qū)動被矩陣連接的加熱器6-16-9。下面，說明將加熱板1的溫度控制為均勻的設定溫度的情況下的加熱器的驅(qū)動。圖3是表示從開始加熱加熱板1直到達到設定溫度為止的狀態(tài)的圖，圖3(a)代表性地表示加熱板1的檢測溫度(PV)的變化，圖3(b)代表性地表示從溫度調(diào)節(jié)器2輸出的操作量(MV)的變化。在開始了加熱的初始期間T1中，圖3(b)所示的操作量為100%，所有開關(guān)元件3-13-3、3-43-6都開通，全部加熱器6_16_9被驅(qū)動，如圖3(a)所示那樣，加熱板1的檢測溫度(PV)上升。接著，在加熱板1的檢測溫度(PV)有局部接近設定溫度的過渡期間T2中，如后述那樣，選擇性地開通多個開關(guān)元件3-13-3、3-43-6，選擇性地驅(qū)動多個加熱器。進而，在加熱板1的檢測溫度(PV)到達了設定溫度的穩(wěn)定狀態(tài)的期間T3中，順序開通開關(guān)元件3-13-3、3-43-6，即，順序掃描(scan)開通的點，時分割地驅(qū)動加熱器6-16-9。圖4是用于說明該穩(wěn)定狀態(tài)的掃描的圖，分別表示用于開通與行方向的3條第1電力線Ll-lLl3的各個連接用端子XIX3分別對應的開關(guān)元件3-13-3的驅(qū)動信號，和用于開通與列方向的3條第2電力線L2-lL2-3的各個連接用端子YlY3分別對應的開關(guān)元件3-43-6的驅(qū)動信號，9通道的合計操作量為100%以內(nèi)，表示各個通道的操作量相等的狀態(tài)。如該圖4所示，在連接用端子X1的開關(guān)元件3-l開通的期間L中，連接用端子YlY3的開關(guān)元件3-43-6被順序開通，在連接用端子X2的開關(guān)元件3_2開通的期間Tx2中，連接用端子YlY3的開關(guān)元件3-43-6被順序開通，在連接用端子X3的開關(guān)元件3-3開通的期間Tx3中，連接用端子YlY3的開關(guān)元件3_43_6被順序開通。S卩，在一定的控制周期T中，圖2的9個第1加熱器6-1至第9加熱器6_9按照順序以時分割方式被驅(qū)動，這時，各個加熱器6-16-9的開通時間被控制，以成為與來自溫度調(diào)節(jié)器2的操作量對應的占空比。另外，在該實施方式中，控制周期T例如是10秒左右。下面，說明在加熱板1的檢測溫度(PV)有局部接近設定溫度的上述過渡期間T2中的控制。在該過渡期間T2中，以多個加熱器構(gòu)成的組進行驅(qū)動，根據(jù)作為9通道的操作量的合計的合計操作量，減少構(gòu)成組的加熱器的數(shù)目，并且，在要驅(qū)動的加熱器中，以溫度最低的通道、即操作量最大的通道的加熱器為中心進行驅(qū)動。具體地說，在合計操作量成為600%以下時，以6個加熱器的組進行驅(qū)動，對每6個加熱器進行掃描，并且，以溫度最低的通道、即操作量最大的通道的加熱器為中心進行掃描。進而，在合計操作量成為400%以下時，以4個加熱器的組進行驅(qū)動，對每4個加熱器進行掃描，并且，以操作量最大的通道的加熱器為中心進行掃描。進而，在合計操作量成為200%以下時，以2個加熱器的組進行驅(qū)動，對每2個加熱器進行掃描，并且，以操作量最大的通道的加熱器為中心進行掃描。合計操作量為100%以下的狀態(tài)是上述的穩(wěn)定狀態(tài)，按照順序以時分割方式驅(qū)動一個加熱器。在這樣的過渡期間中，根據(jù)合計操作量，以6個加熱器為一組，4個加熱器為一組，或者以2個加熱器為一組進行驅(qū)動并掃描，并且進行掃描使得溫度最低、操作量最大的通道的加熱器成為中心。圖5(a)表示加熱板1的平均溫度與各個通道之間的最大溫度差，圖5(b)表示9通道的合計操作量。在合計操作量為900%至600%的區(qū)間A中，如圖6(a)所示，驅(qū)動9個加熱器6-16-9的全部，并根據(jù)操作量控制占空比。另外，在圖6中，用斜線表示正在被驅(qū)動的加熱器。在合計操作量為600%至100%的區(qū)間B中，如上所述，根據(jù)合計操作量，以6個加熱器為一組，4個加熱器為一組，或者以2個加熱器為一組進行驅(qū)動并掃描，并且以溫度最低、操作量最大的通道的加熱器為中心進行掃描。例如，在合計操作量為400%至200%的區(qū)間中，驅(qū)動4個加熱器的組，例如，如圖6(b)所示那樣，驅(qū)動4個加熱器6-l、6-2、6-4、6-5。這樣，在以4個加熱器為一組進行驅(qū)動時，例如，如圖7(a)所示，開通連接用端子X1、X2以及連接用端子Yl、Y2的開關(guān)元件3-l、3-2、3-4、3-5，驅(qū)動左上角的4個加熱器6-l、6-2、6-4、6-5，接著，如圖7(b)所示進行掃描，以選擇連接用端子X1、X2以及連接用端子Y2、Y3的開關(guān)元件3-l、3-2、3-5、3-6從而驅(qū)動右上角的4個加熱器6-2、6_3、6-4、6_5，并且進行掃描使得包含溫度最低且操作量最大的通道的加熱器、例如加熱器6-2。圖8表示這時的驅(qū)動信號。在以6個、4個或者2個加熱器為一組進行驅(qū)動時，根據(jù)操作量控制占空比。在合計操作量為100%以下的區(qū)間C中，如圖6(c)所示，順序驅(qū)動一個加熱器。如上所述，在輸出設備5中，基于來自溫度調(diào)節(jié)器2的9通道的操作量，控制開關(guān)元件3-13-6的開通和關(guān)閉，從而選擇性地驅(qū)動加熱器6-16-9。另外，加熱器6-l6-9的上述驅(qū)動定時只不過是一例，能夠根據(jù)所要求的精度而任意選擇驅(qū)動的定時。這樣，通過在第1電力線L1-1Ll-3和第2電力線L2-1L2-3之間矩陣連接各個加熱器6-16-9，并選擇性地驅(qū)動各個加熱器6-16-9，與圖29、圖30的以往例子10相比，能夠?qū)㈦娏€數(shù)目從18條減少至6條，并且，能夠?qū)㈤_關(guān)元件的個數(shù)從9個減少至6個。由此，在加熱板1和輸出設備5之間用于圍繞線直徑大的電力線的空間設計和布線作業(yè)變得簡單。如上所述，在選擇9個加熱器中的任意一個進行驅(qū)動時，不僅是在選擇的加熱器中，在周圍的加熱器中也會產(chǎn)生漏電流的環(huán)繞。圖9是用于說明該電流的環(huán)繞的圖，在該圖9中表示，開通與連接用端子X2、Y2對應的開關(guān)元件3-2、3-5，從而選擇加熱板l的中央的第5加熱器6-5進行驅(qū)動的例子。為了簡化而采用直流電源來表示。在第5加熱器6-5中如箭頭Pl所示那樣流過電流，并且在周圍的加熱器中也因電流的環(huán)繞而產(chǎn)生多個環(huán)，例如在第6、第9、第8加熱器6-6、6-9、6-8中，如箭頭P2所示那樣產(chǎn)生電流的環(huán)繞。如圖IO所示，這樣的電流環(huán)繞成為構(gòu)成加熱器的電阻的串聯(lián)連接，電阻值成為選擇的加熱器的電阻值的23倍，因此，環(huán)繞的電流值成為流過選擇的加熱器的電流值的1/31/2，發(fā)熱量成為選擇的加熱器的發(fā)熱量的1/91/4。若考慮各個加熱器之間的熱干擾，則這樣的1/91/4的發(fā)熱是較少的量，是可以忽略的程度。關(guān)于加熱器之間的干擾，根據(jù)本申請發(fā)明人的實驗(南野郁夫(2007)「熱:/a*7O均一溫度制御(関t3研究」熊本大學大學院自然科學研究科博士論文)，例如在3mm的鋁基板上，相隔60mm的兩個點的加熱器之間的干擾為86%，上述1/9(11%)1/4(25%)是可忽略的程度的較小的值。(實施方式2)圖11是表示測量加熱板10的溫度從而輸出操作量的溫度調(diào)節(jié)器的結(jié)構(gòu)的圖，圖12是表示將測溫電阻作為在圖11的加熱板10上配設的溫度傳感器時的測溫電阻的布線結(jié)構(gòu)的圖。在該實施方式中，如圖12所示，在加熱板10上配設了9個4線式的第1第9測溫電阻11-111-9，作為檢測加熱板10的溫度的溫度傳感器。為了連接到溫度調(diào)節(jié)器的傳感器輸入電路12，第l第9測溫電阻ll-lll-9矩陣連接在行方向的3條第1信號線Sl-lSl-3和列方向的3條第2信號線S2-lS2-3之間。g卩，第1第3測溫電阻11-111-3的各自一端與上側(cè)行方向的第1信號線S1-1連接，各自另一端與3條列方向的第2信號線S2-lS2-3分別連接。此外，第4第6測溫電阻11-411-6的各自一端與中間行方向的第1信號線Sl-2連接，各自另一端與3條列方向的第2信號線S2-lS2-3分別連接。進而，第7第9測溫電阻11_711_9的各自一端與下側(cè)行方向的第1信號線Sl-3連接，各自另一端與3條列方向的第2信號線S2-lS2-3分別連接。此外，為了連接到溫度調(diào)節(jié)器的恒流源13，第1第9測溫電阻11-111-9矩陣連接在行方向的3條第1布線Ml-lMl-3和列方向的3條第2布線M2-lM2-3之間。從加熱板1引出的3條行方向的第1信號線Sl-lSl-3的各個連接用端子X1X3以及3條行方向的第1布線M1-1Ml-3的各個連接用端子X1'X3'，如圖11所示那樣，分別經(jīng)由作為溫度調(diào)節(jié)器的多個第1開關(guān)部件的由繼電器等構(gòu)成的3個開關(guān)元件1114-114-3，連接到傳感器輸入電路12或者恒流源13的一端。此外，從加熱板1引出的3條列方向的第2信號線S2-lS2-3的各個連接用端子YlY3以及3條列方向的第2布線M2-lM2-3的各個連接用端子Yl'Y3'，分別經(jīng)由作為溫度調(diào)節(jié)器的多個第2開關(guān)元件的由繼電器等構(gòu)成的3個開關(guān)元件14-414-6，連接到傳感器輸入電路12或者恒流源13的另一端。各個開關(guān)元件14-114-6分別具有兩個觸點，聯(lián)動地開通關(guān)閉。即，第1信號線Sl-l和第1布線Ml-l連接的開關(guān)元件14-1的兩個觸點聯(lián)動地開通關(guān)閉，并且，第1信號線S1-2和第1布線Ml-2連接的開關(guān)元件14-2的兩個觸點聯(lián)動地開通關(guān)閉，進而，第1信號線Sl-3和第1布線Ml-3連接的開關(guān)元件14-3的兩個觸點聯(lián)動地開通關(guān)閉。同樣地，第2信號線S2-l和第2布線M2-l連接的開關(guān)元件14_4的兩個觸點聯(lián)動地開通關(guān)閉，并且，第2信號線S2-2和第2布線M2-2連接的開關(guān)元件14_5的兩個觸點聯(lián)動地開通關(guān)閉，進而，第2信號線S2-3和第2布線M2-3連接的開關(guān)元件14_6的兩個觸點聯(lián)動地開通關(guān)閉。因此，通過開通開關(guān)元件14-114-3的任一個和開關(guān)元件14-414_6的任一個，對應的測溫電阻中會流過恒流，并且能夠測量兩端的電壓而測量溫度。這樣的開關(guān)元件14-114-6的開通關(guān)閉控制，通過溫度調(diào)節(jié)器的選擇部件15按照時分割方式進行。S卩，選擇部件15基于來自定時器部件16的定時器輸出，控制開關(guān)元件14-414-6的開通關(guān)閉，如圖13所示那樣，從與第1通道CH1對應的第1測溫電阻11-1至與第9通道CH9對應的第9測溫電阻11-9順序流過恒流，從而將兩端的電壓順序引入傳感器輸入電路12。以一定的周期Ts重復這一操作。被順序引入到傳感器輸入電路12的來自各個測溫電阻11-111-9的輸入，基于來自定時器部件16的定時器輸出，與選擇部件15的選擇同步地，作為各個通道CH1CH9的檢測溫度PV1PV9，通過切換部件17順序提供給對應的通道的PID控制單元18-118-9。SP，在通過選擇部件15選擇了與第1通道CH1對應的第1測溫電阻11-1時，切換部件17將來自傳感器輸入電路12的輸入提供給與第1通道CH1對應的PID控制單元18-1，在通過選擇部件15選擇了與第2通道CH2對應的第2測溫電阻11-2時，切換部件17將來自傳感器輸入電路12的輸入提供給與第2通道CH2對應的PID控制單元18-2，以下，順序提供給各個通道的PID控制單元。選擇部件15、切換部件17以及PID控制單元18-118-9等，例如通過微型計算機構(gòu)成。在以往，4線式的測溫電阻需要用于連接到傳感器輸入電路的信號線2條，用于連接到恒流源的布線2條，共計4條，在使用9個測溫電阻的情況下，用于連接到傳感器輸入電路的信號線合計需要18條，用于連接到恒流源的布線合計需要18條，而相對在該實施方式那樣，將第1第9測溫電阻11-111-9矩陣連接到，行方向的3條第1信號線Sl-lSl-3和列方向的3條第2信號線S2-1S2-3之間，以及行方向的3條第1布線M1-1Ml-3和列方向的3條第2布線M2-lM2-3之間，通過選擇各個測溫電阻從而測量其溫度，能夠?qū)⒂糜谶B接到傳感器輸入電路12的信號線的合計條數(shù)減少至6條，將用于連接到恒流源13的布線的合計條數(shù)減少至6條。另外，可以將該實施方式的溫度測量應用到上述的圖1的實施方式的溫度測量中。由這樣的測溫電阻構(gòu)成的傳感器的情況下，也會與上述的加熱器同樣地產(chǎn)生電流的環(huán)繞。例如，如圖14所示，開通與連接用端子X2'、Y2'對應的開關(guān)元件14-2、14-5，選擇加熱板10的中央的第5測溫電阻11-5而從恒流源13流過電流時，在第5測溫電阻11-5中如箭頭Pl所示那樣流過電流，并且在周圍的測溫電阻中也會產(chǎn)生由電流的環(huán)繞形成的多個環(huán)，例如在第6、第9、第8測溫電阻11-6、11-9、11-8中如箭頭P2所示那樣產(chǎn)生電流的環(huán)繞。如圖15所示，這樣的電流環(huán)繞成為測溫電阻的并聯(lián)和串聯(lián)的連接。在將選擇的測溫電阻的電阻值&和其他測溫電阻的電阻值R2設為相等時，整體的電阻值Rx將會如后述那樣減小大約44%，因此通過將電流值提高相當于44%地設定，能夠與以往同樣地測量溫度。下面，說明電阻值因形成環(huán)繞而減小大約44%的理由?，F(xiàn)在，如圖16(a)所示那樣，假設矩陣連接9個電阻AI，在端子X2和端子Y2之間施加電壓從而在中央的電阻I中流過電流的情況。這時，如圖16(b)所示那樣，將電阻AI的連接通過以下3層狀態(tài)來表現(xiàn)，即左右的電阻A、B的兩個并聯(lián)、4個角上的電阻C、D、E、F的4個并聯(lián)、以及上下的電阻G、H的兩個并聯(lián)。若設各個電阻AH的電阻值相同，則即使連接各層也不會有電壓變化，因此假定將其連接。在作為兩個并聯(lián)(電阻值R2/2)、4個并聯(lián)(電阻值R2/4)和兩個并聯(lián)(電阻值R2/2)的串聯(lián)來計算時，合成電阻Rx為，Rx=(5/4)(5/4)R2}=R「{4R/(4R,5R2)}=Rjl-(4/9))，電阻值大約減小44%。從而，如上所述，通過將電流值提高相當于44%地設定，能夠與以往同樣地測量溫度。在上述的各個實施方式中，使用由電阻構(gòu)成的加熱器以及傳感器，下面說明優(yōu)選這樣的電阻的理由。以電阻以外的熱電換能作為原理的熱電換能元件，在將其設為矩陣構(gòu)造時，無法進行局部的加熱或測量。例如，基于圖17說明采用珀耳帖元件來代替電阻加熱器的情況。在加熱板1上，矩陣連接了9個第1第9珀耳帖元件19-119-9。在將連接用端子X2、Y2連接到電源，從而驅(qū)動中央的第5珀耳帖元件19-5時，如圖18(a)所示那樣，由于環(huán)繞，熱電動勢大致相等，因此可以視為3層的串并聯(lián)連接。其中，4個并聯(lián)的珀耳帖元件和2個并聯(lián)的珀耳帖元件的電勢抵消，S卩，一方面由電動勢(電)產(chǎn)生溫度差(熱)，相對地，另一方面由溫度差(熱)產(chǎn)生電動勢(電)，從而相互抵消，結(jié)果，如圖18(b)所示那樣，大致等于對中央的第5珀耳帖元件19-5并聯(lián)連接了2個珀耳帖元件，雖然本想讓一個珀耳帖元件發(fā)熱，卻成為使包含周圍的珀耳帖元件的整體發(fā)熱，控制較為困難。這里，說明3層的并串聯(lián)連接。在加熱板整體的溫度與室溫相比相對接近的情況下，例如，如圖19(a)所示，S21和S23的熱電換能元件的電壓大致相等，S12和S32的熱電換能元件的電壓也大致相等，因此可以設為如圖19(b)所示那樣連接著，結(jié)果，如圖19(c)所示那樣，環(huán)繞產(chǎn)生的電路環(huán)等價于將電池并聯(lián)后串聯(lián)3組。S卩，能夠置換成3層的并串聯(lián)連接。下面，基于圖20說明采用熱電偶來代替測溫電阻的情況。在加熱板10上，作為溫度傳感器，矩陣連接了9個第1第9熱電偶20-120-9。在選擇中央的第5熱電偶20-5進行測量的情況下，由于環(huán)繞，X2和Y2之間的電路環(huán)，其熱電動勢大致相等，因此如圖21(a)所示那樣，可以視為3層的并串聯(lián)連接。在該并串聯(lián)連接中，由于4個并聯(lián)的熱電偶和2個并聯(lián)的熱電偶的電勢抵消，因此如圖21(b)所示那樣，成為3個熱電偶的并聯(lián)連接，檢測平均的溫度。因此，無論測量哪個組合的端子，幾乎都會是相同的測量值，無法進行局部的溫度這樣，在矩陣連接中，使用珀耳帖元件或熱電偶等雙方向地變換電和溫度差的熱電換能元件比較困難。(實施方式3)圖22是本發(fā)明其他實施方式的溫度控制系統(tǒng)的概略結(jié)構(gòu)圖，是與上述的圖1對應的圖。如上所述，在選擇9個加熱器6-16-9的任一個進行驅(qū)動時，不僅是選擇的加熱器，在周圍的加熱器中也會產(chǎn)生漏電流的環(huán)繞，從而發(fā)熱。這樣，為了將在選擇的加熱器以外的周圍的加熱器中因漏電流引起的發(fā)熱作為干擾來捕獲，并消除因該漏電流引起的發(fā)熱，謀求非干擾化。即，在該實施方式中，溫度調(diào)節(jié)器2-1具有PID控制單元21，其基于來自在加熱板1上配設的未圖示的9個溫度傳感器的檢測溫度(PV)和設定溫度的偏差，運算相當于9通道的操作量，并且，溫度調(diào)節(jié)器2-1還具有非干擾化裝置22，其變換來自PID控制單元21的相當于9通道的操作量MVa，以消除漏電流引起的干擾，溫度調(diào)節(jié)器2-1將非干擾化后的操作量MVa提供給輸出設備5。其他結(jié)構(gòu)與上述的實施方式l相同。為了設計非干擾化器22，需要預先估算由漏電流引起的發(fā)熱的程度。圖23(a)表示矩陣連接9個加熱器AI，在連接用端子X2和連接用端子Y2之間施加電壓從而驅(qū)動中央的加熱器I的情況。這時，為了簡化計算，如圖23(b)所示那樣，將加熱器AI的連接通過以下3層的狀態(tài)來表現(xiàn)，即左右的加熱器A、B的兩個并聯(lián)、4個角上的加熱器C、D、E、F的4個并聯(lián)、以及上下的加熱器G、H的兩個并聯(lián)。若設各個加熱器AI的電阻值相同，則即使連接各層也不會有電壓變化，因此假定將其連接。在作為兩個并聯(lián)、4個并聯(lián)和兩個并聯(lián)的串聯(lián)來計算時，由選擇的加熱器I產(chǎn)生的發(fā)熱量P為，P=E2/R由兩個并聯(lián)的加熱器A、B、G、H產(chǎn)生的發(fā)熱量PA、PB、Pe、PH為，PA=PB=PG=PH=4E2/25R由4個并聯(lián)加熱器C、D、E、F產(chǎn)生的發(fā)熱量Pc、P。、PE、PF為，Pc=PD=PE=PF=E2/25R。由此，對全部通道計算由各個通道之間的漏電流引起的干擾，求下列表示干擾程度的干擾矩陣(1)。[數(shù)l]14/254/254/251/251/254/251/251/254/2514/251/254/251/251/254/251/254/254/2511/251/254/251/251/254/254/251/251/2514/254/254/251/251/251/254/251/254/2514/251/254/251/251/251/254/254/254/2511/251/254/254/251/251/254/251/251/2514/254/251/254/251/251/254/251/254/2514/251/251/254/251/251/254/254/254/251將用于消除這一干擾的非干擾化矩陣(2)，作為上述的干擾矩陣(1)的逆矩陣如下求出。[數(shù)2]1.09—0.1_0.1-O.l0.010.01—0.10.010.01-0.11.09一O.l0.01一O.l0.010.01—0.10.01-0.1_0.11,090.010.01-0.10.010.01_0.1一O.l0.010.011.09-O.l_0.1-O.l0.010.010.01一O.l0.01一O.l1.09_0.10.01-O.l0.010.010.01一O.l一O.l-0.11,090.010.01_0.1一O.l0.010.01一O.l0.010.011.09-O.l一O.l0.01一O.l0.010.01一O.l0.01_0.11.09_0.10.010.01一O.l0.010,01—0.1_0.1—0.11.09在溫度調(diào)節(jié)器2-l的非干擾化器22中，使用來自PID控制單元21的操作量MVa(MVa,MVa9)和上述逆矩陣(2)，如下述那樣，變換為非干擾化后的操作量MVb(MVb,MVb9)。[數(shù)3]15<table>tableseeoriginaldocumentpage16</column></row><table>另外，非干擾化器也可以不設置在溫度調(diào)節(jié)器中，而是設置在輸出設備側(cè)。(其他實施方式)在上述的實施方式1中，雖然將用于選擇要驅(qū)動的加熱器的選擇部件內(nèi)置于輸出設備5中，但作為本發(fā)明的其他實施方式，如圖24所示，也可以將選擇部件內(nèi)置于溫度調(diào)節(jié)器2-2，通過來自該溫度調(diào)節(jié)器2-2的驅(qū)動信號，控制內(nèi)置了開關(guān)元件的輸出設備5-1、5-2。在上述的各實施方式中，雖然矩陣連接了加熱板的加熱器，但也可以將多個加熱器作為一列或者一行來連接，例如，如圖25所示，將3個加熱器6-16-3連接成一列，將各個加熱器6-16-3的各自一端的共用電力線的連接用端子X1、X2、X3，如圖26所示那樣分別經(jīng)由開關(guān)元件3-l3-3連接到電源4的一端，另一方面，將公共連接了各個加熱器6-16-3的各自另一端的連接用端子Y連接到電源4的另一端。在上述的實施方式1中，各個加熱器6-l6-9雖然全部都矩陣連接，但作為本發(fā)明的其他實施方式，也可以如圖27所示那樣，至少一部分加熱器，例如難以加熱、容易過熱的中央的加熱器6-5不采用矩陣連接，而是單獨驅(qū)動，從而提高控制性能。進而，也可以如圖28所示那樣，例如在16個加熱器6-16_16的情況下，例如對于中央的4個加熱器6-6、6-7、6-10、6-ll，另外設置行方向的第1電源線以及列方向的第2電源線。本發(fā)明對于多通道的控制有用。權(quán)利要求一種布線結(jié)構(gòu)，將多個加熱器連接到電源，該布線結(jié)構(gòu)的特征在于，在多個第1電力線和多個第2電力線之間，矩陣連接了多個加熱器，所述多個第1電力線分別經(jīng)由多個第1開關(guān)部件連接到所述電源，另一方面，所述多個第2電力線分別經(jīng)由多個第2開關(guān)部件連接到所述電源，通過所述第1開關(guān)部件以及所述第2開關(guān)部件的開關(guān)，選擇連接到所述電源的加熱器。2.如權(quán)利要求l所述的布線結(jié)構(gòu)，其中，所述加熱器由電阻構(gòu)成。3.—種布線結(jié)構(gòu)，將多個傳感器連接到傳感器輸入電路，該布線結(jié)構(gòu)的特征在于，在多個第1信號線和多個第2信號線之間，矩陣連接了多個傳感器，所述多個第1信號線分別經(jīng)由多個第1開關(guān)部件連接到所述傳感器輸入電路，另一方面，所述多個第2信號線分別經(jīng)由多個第2開關(guān)部件連接到所述傳感器輸入電路，通過所述第1開關(guān)部件以及所述第2開關(guān)部件的開關(guān)，選擇連接到所述傳感器輸入電路的傳感器。4.如權(quán)利要求3所述的布線結(jié)構(gòu)，其中，所述傳感器由電阻構(gòu)成。5.—種加熱器驅(qū)動裝置，具有權(quán)利要求1所述的布線結(jié)構(gòu)，所述加熱器驅(qū)動裝置的特征在于，包括選擇部件，通過控制所述第1開關(guān)部件以及所述第2開關(guān)部件的開關(guān)，選擇連接到所述電源的加熱器。6.—種測量裝置，具有所述權(quán)利要求3所述的布線結(jié)構(gòu)，所述測量裝置的特征在于，包括選擇部件，通過控制所述第1開關(guān)部件以及所述第2開關(guān)部件的開關(guān)，選擇連接到所述傳感器輸入電路的傳感器。7.—種控制系統(tǒng)，其特征在于，具有權(quán)利要求5所述的加熱器驅(qū)動裝置。8.—種控制系統(tǒng)，其特征在于，具有權(quán)利要求6所述的測量裝置。9.一種控制系統(tǒng)，對配設了多個加熱器的控制對象的溫度進行控制，所述控制系統(tǒng)的特征在于，在多個第1電力線和多個第2電力線之間，矩陣連接了多個加熱器，所述多個第1電力線分別經(jīng)由多個第1開關(guān)部件連接到所述電源，另一方面，所述多個第2電力線分別經(jīng)由多個第2開關(guān)部件連接到所述電源，所述控制系統(tǒng)包括溫度控制部件，基于來自檢測所述控制對象的溫度的多個溫度傳感器的檢測溫度和設定溫度，輸出操作量；以及第1選擇部件，基于來自所述溫度控制部件的操作量，控制所述第1開關(guān)部件以及所述第2開關(guān)部件的開關(guān)，從而選擇要驅(qū)動的加熱器。10.如權(quán)利要求9所述的控制系統(tǒng)，其中，所述加熱器由電阻構(gòu)成。11.如權(quán)利要求9所述的控制系統(tǒng)，還包括非干擾化部件，變換來自所述溫度控制部件的操作量后提供給所述選擇部件，以消除由所述選擇部件選擇的加熱器以外的加熱器中流過的電流引起的發(fā)熱。12.如權(quán)利要求9所述的控制系統(tǒng)，其特征在于，對所述控制對象又配設了多個溫度傳感器，在多個第1信號線和多個第2信號線之間，矩陣連接了所述多個溫度傳感器，所述多個第1信號線分別經(jīng)由多個第3開關(guān)部件連接到傳感器輸入電路，另一方面，所述多個第2信號線分別經(jīng)由多個第4開關(guān)部件連接到所述傳感器輸入電路，所述控制系統(tǒng)包括第2選擇部件，控制所述第3開關(guān)部件以及所述第4開關(guān)部件的開關(guān)，從而選擇連接到所述傳感器輸入電路的溫度傳感器；以及切換部件，切換經(jīng)由所述傳感器輸入電路所提供的來自溫度傳感器的輸入，從而將其提供給所述溫度控制部件中與各個溫度傳感器對應的多個溫度控制部件，所述溫度控制部件基于來自所述切換部件的溫度傳感器的輸入和設定溫度，控制所述第2選擇部件。13.如權(quán)利要求12所述的控制系統(tǒng)，其中，所述溫度傳感器由電阻構(gòu)成。全文摘要本發(fā)明的布線結(jié)構(gòu)、加熱器驅(qū)動裝置、測量裝置以及控制系統(tǒng)削減加熱器或傳感器等的布線數(shù)目和開關(guān)元件數(shù)目。將用于加熱加熱板(10)的9個加熱器(6-1～6-9)矩陣連接到行方向的3條第1電力線(L1-1～L1-3)和列方向的第2電力線(L2-1～L2-3)之間，將各個第1電力線(L1-1～L1-3)分別經(jīng)由3個開關(guān)元件與電源的一端連接，另一方面，各個第2電力線(L2-1～L2-3)分別經(jīng)由3個開關(guān)元件與電源的另一端連接，通過控制各個開關(guān)元件的開通關(guān)閉，選擇要驅(qū)動的加熱器，與各個加熱器單獨布線的以往例子相比，削減電力線以及開關(guān)元件。文檔編號G01K7/22GK101778498SQ20091026564公開日2010年7月14日申請日期2009年12月28日優(yōu)先權(quán)日2008年12月26日發(fā)明者南野郁夫,惠木守,田中政仁申請人:歐姆龍株式會社