專利名稱：用于臨時電觸點接通太陽能電池的探針的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種用于出于檢測目的臨時電觸點接通太陽能電池的 探針。
背景技術：
在制造太陽能電池和由太陽能電池組成太陽能模塊的過程中，必 不可少的是，對太陽能電池的正側(cè)的和/或背側(cè)的電極接頭進行電觸點 接通，以對其進行功能檢測。在這里，不僅要顧及到可靠的電接觸而 且要顧及到太陽能電池的機械敏感性。 一方面，機械敏感性要求力的 最小化，憑借該力通過探針產(chǎn)生機械的接觸進而還有電接觸。此外， 限定的力是必不可少的，以便可靠地產(chǎn)生接觸和在測試的過程中保證 接觸。尤其是在對太陽能電池的多個電極接頭同時進行觸點接通時， 出現(xiàn)如此大的力，此力由于機械負荷或應力能夠?qū)е绿柲茈姵氐膿p 壞，尤其是當太陽能電池在檢測期間為了最小遮蔽或為了在雙側(cè)觸點 接通的可能性被保持件僅點式承載時。
這樣，例如在US 2007/0068567 Al中描述了用于臨時電觸點接通 的現(xiàn)有技術，其中，太陽能電池由晶態(tài)的硅制成，它的被稱為"指狀 件"的導體電路直接地或者經(jīng)由那些對導體電路觸點接通的匯流排，
即所謂的母線，通過呈接觸頭形式的多個探針進行觸點接通，所述探 針分別具有幾毫米的直徑，并且各個探針借助于彈簧擠壓到太陽能電 池上。為了避免由接觸頭導致的損壞，在US 2007/0068567 Al中，將 探針在一側(cè)或在兩側(cè)擠壓到太陽能電池的觸點上，探針被構造為柔性 的、被縱向拉伸的導體。在太陽能電池的此種觸點接通中，相對大的 并且有時也在局部差別很大的力被帶到太陽能電池上，以便即使在不 平整的情況下或者在太陽能電池歪斜或者探針非平行地伸展時在所有的指狀件上和在整個母線上可靠地產(chǎn)生電接觸。
此外，為了轉(zhuǎn)移到檢測臺或者在US 2007/0068567 Al中為了在兩 個對置的探針之間定位以及為了在檢測后移除而對薄而脆的太陽能電 池進行的操作，也引起應力負荷，該應力負荷可能導致太陽能電池的 損壞。后者尤其對太陽能電池在連續(xù)式設備中的生產(chǎn)意義重大，這是
因為在那里操作通常借助于機器人實現(xiàn)，并且出于時間和成本的原因， 對所記下的運動過程(例如太陽能電池的偏差、形狀和位置)的修正， 只是有條件地可行。
借助于探針對太陽能電池的臨時電觸點接通的另一可能性在美國 專利文獻5,418,680中有所描述。為了觸點接通板狀的太陽能電池，探 頭借助于適當?shù)亩ㄎ谎b置掃描太陽能電池。當呈帶狀的太陽能電池布 置被觸點接通時，大量探針這樣彼此在可連續(xù)運動的帶上方如此地布 置，即通過帶傳送實現(xiàn)掃描。即使利用這種設備也不能消除所描述的 問題。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明以如下任務為基礎，即說明一種探針，太陽能電池 可以利用此探針在機械應力最小和保證可靠的電接觸的情況下在檢測 臺上被觸點接通，其中，該探針也應適合應用于工業(yè)上的連續(xù)式處理 程序。
任務提案通過如下'的探針得以解決，結合從探針到參考面的距離 、測量對該探針向太陽能電池的進給運動(Zustellbewegung)進行控制， 此參考面不是探針的部分，并且以下應被稱為外部參考面。因而，以 探針引入到太陽能電池上的力能被精準地配量，并且配合于各自的實 際情況。通常地，這個參考面是待觸點接通的太陽能電池的平面，但 可選地也可以利用其它參考面，這些參考面與太陽能電池具有幾何相 關性。借助于探針的參考傳感器來實現(xiàn)控制，方法是參考傳感器與探針的一個或者也可以多個接觸元件之間已知的幾何關系借助于由參 考傳感器的距離測量能夠與太陽能電池建立相關性。對探針的進給運 動的控制通過電信號、由參考傳感器產(chǎn)生的參考信號來實現(xiàn)。
參考傳感器與接觸元件之間的已知的幾何關系既可以通過二者的 直接鄰近的布置來產(chǎn)生，又可以用側(cè)向的和/或高度偏差彼此相對地產(chǎn) 生。通過參考傳感器是探針的組成部分時，則任何情況下參考傳感器 隨同探針共同運動，從而在幾何方面不發(fā)生變化。探針相對于觸點接 通裝置的幾何相關性，以及特別是相對于其定位系統(tǒng)和運動系統(tǒng)的幾 何相關性，通常通過探針的裝配來產(chǎn)生，從而一個或多個接觸元件以
及尤其是接觸元件的尖端相對于裝配平面對齊(ausgerichtet)。將平面 用作參照物，使得多個接觸元件相對于這個平面對齊，例如，因此接 觸元件的尖端處于平行于裝配平面的一個平面上。
在這里探針的運動應被理解為進給運動，即通過探針在產(chǎn)生探
針與太陽能電池之間的相對位置之后，在一個方向上實施該進給運動
直至最終產(chǎn)生接觸。因此，該進給運動包括直至到達由參考傳感器
以信號表達的參考位置的進給運動、該運動在同一方向上緊隨進給運 動之后直至由接觸元件觸及電極接頭的繼續(xù)運動和此外該進給運動的 一般被稱為超行程的用以產(chǎn)生可靠的不依賴于例如機械負荷或熱負荷 的接觸的繼續(xù)運動。接觸元件的易曲的實施方案允許超行程，可以基 于借助參考傳感器的可行的控制而精準地實施超行程。
超行程是一個變量，此變量主要依賴于互相發(fā)生接觸的組件所使 用的材料、接頭面的大小、運動所實施的機械制造技術和所述參數(shù)的
公差。該變量在大多數(shù)情況下通過實驗測定，以便確保在超行程期 間探針不會塑性地變形，待觸點接通的平面不被探針刺穿或者受到其 它損壞，并且探針例如通過組件彼此相對的滑移而不離開這些平面。 利用由在各個應用的觸點接通裝置上系列試驗獲得的關于超行程的認 識，可以對直至產(chǎn)生可靠的接觸的進給運動進行控制。
6超行程的實施實現(xiàn)利用進給運動所謂的"刮擦"得以實現(xiàn)。在 此，接觸尖端由于其在超行程期間推移而在電極接頭上進行刮削，并 由此清除了可能的雜質(zhì)或者鈍化層。通過這種方式可行的是，接觸可 靠性僅通過進給運動的實施而得以提高。尤其作為彎曲彈簧的接觸元 件的構造方案已經(jīng)能夠?qū)崿F(xiàn)刮擦。在相對于接觸平面成銳角的彎曲彈 簧的布置中，很小的超行程已經(jīng)產(chǎn)生足夠的刮擦。此外，通過接觸元 件在太陽能電池電極接頭上的推移，在彎曲彈簧的這種布置中使得引 入到太陽能電池中的負荷最小化。
只要在探針的構造方案中使用可彈性變形的、能導電的合成材料 體代替彎曲彈簧作為接觸元件，就可以通過對合成材料體表面的結構 化和探針側(cè)向運動同樣實施刮擦。
只要迄今及在下面僅描述探針的一個接觸元件，就同樣涉及多個 接觸元件的情況，這是因為同樣在這種情況下，由于接觸元件彼此相 對的已知的布置，在每個接觸元件、探針的參考面以及參考傳感器之 間精確的幾何配屬關系始終是可行的。通過這種方式可行的是，對不 同的電極接頭進行觸點接通。于是，在單個接觸島上的安置同樣可行， 如同時觸點接通單晶或多晶的太陽能電池的復雜的連接結構或者被稱 為"母線"的匯流排。太陽能電池平行分布的所謂的指狀件也可以利 用所描述的探針來觸點接通。
可以使用不同的結構元件作為參考傳感器，所述結構元件影響到 參考傳感器相對于接觸元件的位置，進而影響到距離測量。在應用探 測傳感器的情況下，探測傳感器的探測尖端與一個或多個接觸元件的 尖端處于一個平面內(nèi)，該平面在后面被稱為接觸平面，從而當參考信 號產(chǎn)生時，探針的接觸元件己經(jīng)靠置在電極接頭上，并且緊隨其后的 最終的進給運動僅用于超行程。對于測量距離的傳感器(例如光學傳 感器)，最終的進給運動如上所述地組成。可選地，多個參考傳感器也可以用于距離測量并進而用來控制進 給運動。例如，在二維伸展的、帶有線性或面狀分布的接觸元件的探 針中，通過參考傳感器適當?shù)臄?shù)量和位置來阻止在進給運動過程中探 針的傾斜，方法是將利用各個參考傳感器產(chǎn)生的參考信號用于探針 的在局部相區(qū)別的運動。這在當探針的適當?shù)谋３旨谝粋€或兩個軸 線上實現(xiàn)傾斜時，是得到支持的。出于此目的，沿著伸展方向或者在 平面上延伸的探針具有帶有兩個或多個鉸鏈的保持件，從而系統(tǒng)被靜
態(tài)地確定，也就是說，這些支承件中的反力(Reaktionen)的數(shù)目與探 針自由度的數(shù)目相等。通過這種方式阻止，S卩，接觸期間既不在探針 中也不在太陽能電池中出現(xiàn)應力，所述應力可能對其中之一或兩者引 起損壞。
在一構造方案中，探針具有三指式結構，三個指狀件如此緊密地 并排而置，它們甚至可以并排安裝在小于一毫米的電極接頭上。這種 結構的中間的指狀件是接觸元件，而兩個外部的指狀件是參考元件， 參考元件為了產(chǎn)生參考信號而被施以限定的、不妨礙測量的參考電位， 例如地電位。所有的三個指狀件被彈簧彈性地和懸臂式地如此裝配在 角撐架上，即指狀件的尖端在進給運動的短時性的繼續(xù)運動時在其
觸及電極接頭之后，即在超行程之后，獲得偏轉(zhuǎn)，這種偏轉(zhuǎn)具有進給 運動上的方向分量和與該方向分量成直角的方向分量。通過這種方式， 伴隨著所述進給運動可以進行上面描述的"刮擦"，這是因為接觸元 件尖端的偏轉(zhuǎn)的方向分量(該方向分量垂直于進給運動走向)引起了 尖端在電極接頭上的刮削。
由于在安置參考元件或探測傳感器的情況下大多會出現(xiàn)的在接觸 信號與進給運動實際結束之間時間上的延遲，足夠的超行程經(jīng)常由于 該測量技術上引起的延遲而已經(jīng)進行。
在可對比的方式中，可以將接觸元件的序列并排布置，將這些接觸元件并聯(lián)以便共同安置到高阻的電極接頭上，如印刷的母線。為了 避免在探針這樣的線性或面狀的伸展中探針相對于電極接頭面的傾斜 并進而避免檢測的失真，可以如上所述地，在探針上布置有兩個或多 個參考傳感器，這些參考傳感器可以將探針的不同的點到外部參考面 的均勻間距進而還有到太陽能電池的均勻間距以信號表達。這里參考 傳感器之間的最大可能的距離會實現(xiàn)探針最佳的水平化。在此，參考 傳感器可以是兩個被施以參考電位以產(chǎn)生作為參考信號的接觸信號的 指狀件或者是其它合適的探測傳感器或者間距傳感器。


下面應結合實施例對本發(fā)明進行詳細闡述。在附圖中 圖1A、 1B示出用于對太陽能電池進行電的功能檢測的、帶多個 接觸元件的探針的構造方案，
圖2示出根據(jù)圖1B的探針的俯視圖，
圖3示出帶多個彎曲彈簧的探針的構造方案，
圖4A、 4B示出帶多個彎曲彈簧和至少區(qū)段式呈梯形的探針橫截 面的探針的兩種構造方案，
圖5、 6、 7示出探針的接觸元件及參考傳感器的不同的電路布置 方案。
具體實施例方式
利用下面描述的探針，能在不同的生產(chǎn)階段出于檢測目的對太陽 能電池的不同構造進行電觸點接通，只要接觸元件31的布置與太陽能 電池1的電極接頭2的位置和大小相配合。為了檢測太陽能電池1，可 以將該太陽能電池1通過探針臨時地觸點接通，也就是說，只在檢測 的限定的時間段內(nèi)并且是可松開地通過探針進行觸點接通，并且經(jīng)受 指向正側(cè)的并且?guī)缀跬耆湓谔柲茈姵厣系拈W光。通過光效應產(chǎn)生 的電流以及電壓作為測試信號通過探針30來量取，并且輸送給評估裝 置。該觸點接通僅通過將探針30安置到太陽能電池1的電極接頭2上 來實現(xiàn)，接觸的斷開通過探針30的抬離而實現(xiàn)。通過這種方式，太陽能電池1的序列連續(xù)一個接一個地臨時被觸點接通、被檢測并且進一 步被傳送。
下面描述的探針應該能用于觸點接通多晶的太陽能電池，該太陽 能電池在其指向上方的正側(cè)上具有大量收集電流的指狀件，這些指狀 件通過兩個母線互相連接。探針的構造方案既允許觸點接通各個指狀 件，又允許觸點接通電極接頭，方法是在所有指狀件上放置共同的 接觸元件31或者在每個指狀件上安置單獨的接觸元件31。由于各個接
觸元件非常精準進而緊密的布置方案，以及此外通過探針直至5(Him的
定位精度，對單晶或者多晶的太陽能電池的各個指狀件的觸點接通是 可行的。該高分辨率也允許，例如以彼此具有這樣的數(shù)量級的柵格間 距的柵格布置的接觸島能夠通過單個接觸元件單個地觸點接通。
根據(jù)圖1A和圖1B的探針30分別由在橫截面具有矩形形狀的匯 流排34組成，匯流排的較狹長的側(cè)平行于接觸平面5放置。由于這種 豎放的布置，探針30具有對于垂直于接觸平面5進給運動8的較高的 穩(wěn)定性。此外，該橫截面保證了在俯視圖中狹長的基面，以便在進給 運動的方向上對太陽能電池1曝光時，實現(xiàn)對太陽能電池的光學有效 面無遮蔽或者僅最小遮蔽(圖2)。圖1A和圖1B的兩個探針均具有 多個接觸元件31，所述接觸元件31的下部的、待放到太陽能電池1的 電極接頭2上的末端(在后面不依賴于實際形狀地被稱為尖端)置于 一平面，即接觸平面5內(nèi)。
在圖1A中實施為彎曲彈簧的接觸元件31如此呈梳狀地并排布置 在匯流排34上，即，接觸元件31突出于匯流排34的下邊緣，并與接 觸平面5圍成銳角。接觸平面5通常地相應于那些太陽能電池1的表 面，在這些表面上放置有待觸點接通的電極接頭2 (未示出)。當由進 給運動8的箭頭所示出的垂直的安置在電極接頭2上之后，進給運動 短時性地繼續(xù)時，探針的接觸元件31的角度布置使其變形(以虛線示 出)成為可能。就如上面所詳細描述的那樣，通過這種方式確保所
10有的接觸元件31緊貼在電極接頭2上。
同時，接觸元件31在其安置后由于角度的布置和由于垂直于太陽
能電池1表面所執(zhí)行的進給運動8，在進給運動8繼續(xù)運動時，得到這 樣的偏轉(zhuǎn)9，該偏轉(zhuǎn)9幾乎平行于太陽能電池1的表面地走向。由于此 偏轉(zhuǎn)9，接觸元件31的尖端在電極接頭2上刮過一小段，由此電極接 頭的最上層(大多是鈍化層)被刮削掉，并且，就如上面以"刮擦" 來詳細描述的那樣，產(chǎn)生良好的電接觸。
圖1A中兩個外部的彎曲彈簧是參考傳感器的參考元件32。參考 元件32和接觸元件31 —起同時安置在母線上，母線在所有的彎曲彈 簧下延伸，并且參考元件32這樣通過母線的高阻連接產(chǎn)生參考信號， 參考信號指示，參考傳感器位于距參考面即母線距離為零的地方。用 參考信號觸發(fā)的超行程以同樣尺度使所有的彎曲彈簧偏轉(zhuǎn)，并且，就 如上面描述的那樣，在接觸元件31和母線之間產(chǎn)生可靠的接觸。
可選地，代替參考元件32，也可以將單獨的參考傳感器31布置 在探針30的端部或者布置在探針30的其它部位。這些參考傳感器提 供單獨的參考信號，用來顯示探針30的各個端部到外部的參考面(未 示出)的距離。
探針30的匯流排34在平面內(nèi)(即裝配平面6內(nèi))具有兩個孔， 此孔用于將探針30裝配在觸點接通裝置中。通過此非常精確生產(chǎn)的孔 (一個圓孔和一個長孔)來特別確定其中點的裝配平面6適合于，將 接觸元件31尖端相對于裝配平面的幾何上所限定的關系整合到觸點接 通裝置中，從而借此可以產(chǎn)生相對于觸點接通裝置的運動機構和定位 機構的限定的幾何關系，探針30向太陽能電池1的進給運動基于該限 定的幾何關系。根據(jù)探針34不同的可行的構造方案的裝配，可以將不 同的平面用作裝配平面，只要這些平面不僅可以作為探針的相關平面 而且可以作為觸點接通裝置的相關平面。例如，根據(jù)圖IB的探針以其上末端面裝配到觸點接通裝置的面 上，從而該上末端面作為裝配平面6起作用。被實施為密封唇的接觸 元件31的下末端是接觸平面。
所述探針30是用于縱向延伸地觸點接通例如太陽能電池1的母線 3或者一系列平行布置的指狀件4的另一可行的構造方案。接觸元件 31和同樣還有布置在探針邊緣的兩個參考元件32在此通過由合成材料 制成的彈性可變形的唇部39來實現(xiàn)，該唇部39的表面區(qū)段式地通過 鍍層而能導電。每個區(qū)段為元件31、 32。通過參考元件32在探針30 的兩個端部的布置，可以避免縱向延伸的探針30由于其在縱向伸展上 的傾斜而僅一側(cè)的觸點接通，這是因為該接觸信號只有當兩個端部緊 貼在母線3上時才產(chǎn)生。通過探針30的適當?shù)娜嵝缘谋３旨蛘呖晒?選擇地通過兩個分開的驅(qū)動裝置(未示出)(每個探針30的端部各一 個驅(qū)動裝置)，太陽能電池1的單側(cè)機械負荷可以通過探針30的傾斜 得以避免。
對于能導電的平面可選的是，合成材料也可以本身是能導電的， 例如，通過能導電的顆粒。在這種情況下，將唇部39劃分為單個元件 31、 32的過程可以通過唇部39本身重復地中斷或者其導電性重復地中 斷來實現(xiàn)。與太陽能電池1的電極接頭2的觸點接通通過在唇部39的 整個長度上對唇部39進行平面式推壓來實現(xiàn)。關于一個或多個參考傳 感器的構造和布置，參閱圖1A的圖示。
在圖2中示出俯視圖中根據(jù)圖1A的探針30。這里看到的是，探 針30在與視線方向相重合的曝光方向上非常狹長，以此使得遮蔽最小 化。此外，探針保持件11如此遠地向外挪動，即該探針保持件11沒 有將陰影投到太陽能電池上。探針30的電接頭33 (在這里為插接連接 器)也相對于太陽能電池在側(cè)向上布置。在另一構造方案(圖3)中，接觸元件31均勻地分布在匯流排34 的兩側(cè)，并且以反向的方式布置，以便對由于接觸元件31的偏轉(zhuǎn)9作 用于匯流排34的力矩進行補償。用來對力矩或者通過超行程引入太陽 能電池1的應力進行補償?shù)钠渌贾梅桨甘强尚械?。于是，接觸元件 31可以布置在匯流排34的一側(cè)，但還是在兩個方向上成角度地布置。 這例如憑借要么朝向匯流排中心的接觸元件31實現(xiàn)，要么背離匯流排 中心的接觸元件31實現(xiàn)。通過這種方式避免在側(cè)視圖中接觸元件可辨 識的看似的交叉。此外，探針單側(cè)的加工簡化其生產(chǎn)。
圖4A和圖4B示出在具有等腰梯形橫截面的匯流排34上的接觸 元件31的另外可行的布置方案。梯形橫截面可以實現(xiàn)接觸元件31尖 端的非常緊密地放置的雙列的或者也可能是單列的布置。接觸元件31 可以要么是通過焊接、粘貼或者夾持或者其它合適的裝配手段固定在 梯形的側(cè)面上，就是被沉入到切縫中，該切縫被加工到匯流排34中并 且限定接觸元件31的位置。在此，匯流排34僅在切縫區(qū)域內(nèi)具有梯 形橫截面。
圖1A和圖1B中的接觸元件31的和參考元件32的電連接(未示 出)通過沿著匯流排34或者匯流排34內(nèi)部的接觸導體和參考導體來 進行。接觸元件31以及在需要時還有參考元件32通過焊點與導體電 路電地和機械地相連，但也可以通過其它方式，例如通過夾持或者插 接來連接。接觸元件31和一個或兩個參考傳感器32或者這些參考傳 感器32各參考元件32的其它可能的電連接在圖5至圖7中示出。
圖5示意地以電路圖示出用于電連接接觸元件31的兩個接觸導體 35 (激勵線路和測量線路(Force und Sense))和用于電連接兩個布置 在探針30的每個端部上的、帶有未示出的測量儀器或者控制單元的參 考元件32上的兩個參考導體。
圖6中的探針30在兩個端部各具有一個參考傳感器，參考傳感器由各兩個參考元件32組成，參考元件32的尖端和接觸元件31的尖端布置在一個平面上，即接觸平面5上?；诮柚趦蓚€參考傳感器將探針30水平化，探針包括可樞轉(zhuǎn)的保持件7，用來將探針30裝配在觸點接通裝置(未示出)中。接觸元件31與參考元件32的電連接如在圖5中描述的那樣來實現(xiàn)。
根據(jù)圖7的探針30代替由參考元件32構成的參考傳感器地具有兩個光學參考傳感器32，該光學參考傳感器32指示到接觸平面5的間距。為了產(chǎn)生參考傳感器32和接觸元件31之間的、上面詳細描述的幾何關系，圖7中的參考傳感器32具有幾何參照物37(以示意圖示出)。對于電連接則再次參閱上面的說明。附圖標記列表
1 太陽能電池
2 電極接頭
3 母線
4 指狀件
5 接觸平面
6 裝配平面
7 可樞轉(zhuǎn)的保持件
8 進給運動
9 偏轉(zhuǎn)
11 探針保持件
30 探針
31 接觸元件
32 參考傳感器、參考元件
33 電接頭
34 匯流排
35 接觸導體
36 參考導體
37 參考傳感器的幾何參照物b 探針在曝光方向上的寬度
1權利要求
1.探針，用于出于檢測目的臨時電觸點接通太陽能電池(1)，所述探針包括-至少一個彈性的、能導電的接觸元件(31)，用來產(chǎn)生電接觸，-至少一個參考傳感器(32)，用以借助于所述參考傳感器(32)的電信號來指示所述接觸元件(31)到外部參考面的距離，以及-裝配平面(6)，所述接觸元件(31)的尖端相對于所述裝配平面對齊。
2. 根據(jù)權利要求l所述的探針，其中，多個接觸元件(31)并排 地如此布置，§卩，所述接觸元件(31)的尖端處于接觸平面(5)上， 其中，將所述接觸元件(31)并聯(lián)，并且其中，布置有至少一個參考 傳感器(32)，用來指示所述接觸平面(5)相對于所述太陽能電池(1) 的面的傾斜度，以下稱所述太陽能電池的所述面為外部平面。
3. 根據(jù)權利要求2所述的探針，其中，兩個參考傳感器(32)相 互以一定間距布置，用來指示所述接觸平面(5)相對于外部平面的傾 斜度。
4. 根據(jù)權利要求l所述的探針，其中，所述探針(30)包括保持 件(7)，用來能樞轉(zhuǎn)地與觸點接通裝置連接。
5. 根據(jù)權利要求4所述的探針，其中，所述保持件(7)具有如 下類型和數(shù)目的支承件，即，所述探針(30)能靜態(tài)確定地與觸點接 通裝置連接，從而在所述支承件中的所述探針的反力的數(shù)目與所述探 針的自由度的數(shù)目相等。
6. 根據(jù)權利要求l所述的探針，其中，至少一個接觸元件(31) 是能導電的彎曲彈簧，所述彎曲彈簧相對于所述接觸平面(5)成銳角地布置。
7. 根據(jù)權利要求6所述的探針，其中，布置有多個相同類型的接觸元件(31)，在所述接觸元件(31)中， 一些所述接觸元件以相對 于剩余的所述接觸元件(31)并關于垂直地置于所述接觸平面(5)上 的虛擬直線相反取向的方式布置。
8. 根據(jù)權利要求2所述的探針，其中，將兩個接觸元件(31)布 置在匯流排(34)的兩個對置的側(cè)面上。
9. 根據(jù)權利要求8所述的探針，其中，所述匯流排(34)至少區(qū) 段式地具有梯形的橫截面。
10. 根據(jù)權利要求l、 2或3所述的探針，其中，至少一個接觸元 件(31)是能彈性變形的、能導電的合成材料體。
11. 根據(jù)權利要求1、 2或3所述的探針，其中，參考傳感器(32) 包括兩個彈性的、能導電的參考元件(32)，所述參考元件(32)相 對于所述接觸元件(31)電絕緣，并且所述參考元件(32)如此毗鄰 于所述接觸元件(31)地布置，即，所述參考元件和接觸元件(32、 31)能并排地安置在太陽能電池(1)的電極接頭(2)上。
全文摘要
本發(fā)明涉及用于出于檢測目的臨時電觸點接通太陽能電池(1)的探針(30)，該探針(30)具有至少一個彈性的、能導電的用來產(chǎn)生電接觸的接觸元件(31)，具有至少一個參考傳感器(32)，用以借助于參考傳感器(32)的電信號來指示接觸元件(31)到外部參考面的距離以及具有裝配平面(6)，接觸元件(31)的尖端相對于裝配平面(6)對齊。這樣的探針(30)允許太陽能電池(1)在檢測臺上在機械應力最小的情況下可靠的電接觸，其中，探針(30)也適合應用于在工業(yè)上的連續(xù)式處理程序。
文檔編號G01R1/073GK101655511SQ200910163410
公開日2010年2月24日 申請日期2009年8月19日 優(yōu)先權日2008年8月19日
發(fā)明者克勞斯·迪特里希, 哈特姆特·沃爾, 約爾格·基塞韋特, 邁克爾·泰希, 阿克塞爾·貝克爾 申請人:蘇斯顯微技術測試系統(tǒng)有限公司