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一種微電子用材料蠕變性能測試裝置的制作方法

文檔序號:6146643閱讀:234來源:國知局
專利名稱:一種微電子用材料蠕變性能測試裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種計時裝置,特別涉及一種微電子用材料蠕變性能 測試裝置。
背景技術(shù)
蠕變壽命是工程應用材料及電子組裝材料的一個重要的性能指 標,在試驗過程中的最大特點就是周期長,有的長達幾十天;計時困 難,在試驗中通常采取的辦法是三班24小時輪流值班,并必須做好記 錄,試驗結(jié)果往往還不能保證準確,因為蠕變斷裂通常發(fā)生在值班人 員不注意的時候,致使試驗失敗,或以犧牲試驗精度為代價對時間進 行粗略的估計,嚴重影響了試驗成功率,且造成極大的人力損耗和浪 費。
一些條件好的實驗室采用自動控制,甚至有的實驗室對試驗全過 程采用攝像頭進行錄像,采集信息,雖然也能達到精確記錄的目的, 但是需要購買專用設(shè)備,配備專人維護,增加了試驗資金投入。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足,本發(fā)明的目的在于提供一種微電 子用材料蠕變性能測試裝置,尤其適合于加載較小的電子釬料蠕變斷 裂壽命的測試,具有使用方便,成本低廉,便于推廣的特點。
為了實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用的技術(shù)方案是 一種微電子用材 料蠕變性能測試裝置,包括有一上支架2,上支架2上部設(shè)置有滑輪1,上支架2下部用于設(shè)置試樣12,試樣12下連接有載荷箱11,繩6的一端 連接載荷箱ll,繩6的另一端通過滑輪1連接在電池8上,電池8裝在鬧 鐘10的電池盒7內(nèi),鬧鐘10固定在下支架9上。
所述的繩6在測試時不受力,處于松弛狀態(tài)。
所述的鬧鐘10和下支架9的位置偏離于載荷箱11下落點的位置。
所述的試樣12由三部分組成,包括上基片3、下基片5以及將上基 片3和下基片5連接在一起的試驗釬料4,上基片3和上支架2連接,下 基片5和載荷箱11連接。
由于本發(fā)明用繩6將載荷箱11與電池8相連接的方式進行蠕變斷 裂壽命的測量,所以具有使用方便,成本低廉,便于推廣的特點。


附圖為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的結(jié)構(gòu)原理和工作原理作進一步詳細說明。
參見附圖, 一種微電子用材料蠕變性能測試裝置,包括有一上支 架2,上支架2上部設(shè)置有滑輪1,上支架2下部用于設(shè)置試樣12,將試 樣12上端用螺栓固定于上支架2上,試樣12是由三部分組成,包括用 于試驗的釬料4、上基片3和下基片5,釬料4將上基片3和下基片5連接 在一起,上基片3和上支架2連接,下基片5用于和載荷箱11連接,繩6 的一端連接載荷箱ll,繩6的另一端通過滑輪1連接在電池8上,目的 是釬料4發(fā)生蠕變斷裂后,載荷通過繩6傳遞力矩迅速使得電池8和鬧鐘10的電池盒7分離。鬧鐘10用于計時,確定釬料4的蠕變斷裂壽命。 鬧鐘10固定在下支架9上。所述的繩6在測試時不受力,處于松弛狀態(tài)。 所述的鬧鐘10和下支架9的位置偏離于載荷箱11下落點的位置,下支 架9一方面替支撐作用,另一方面用于固定計時用的鬧鐘IO,確保試 樣12斷裂后,載荷箱11下落不損壞固定在下支架9上的鬧鐘10;同時 保證電池8和鬧鐘10的電池盒分離不會移動鬧鐘10,導致鬧鐘10損壞, 或者指針移動,造成試驗失敗。 本發(fā)明的工作原理是
首先將試樣12的上基板3固定在上支架2上,然后將鬧鐘10調(diào)到12 時,然后將繩6—端固定在載荷箱11上,通過滑輪l,另一端固定在電 池8上,在加載的同時,將電池8放入鬧鐘10的電池盒7中,鬧鐘10指 針開始走動計時。只需要每12個小時做一次試驗記錄,因為鬧鐘IO 每12個小時為一個周期。
確保試驗過程中,繩6不會受力,處于松弛狀態(tài), 一方面避免影 響載荷的施力精度,另一方面避免電池8提前和鬧鐘10中的電池盒7 分離,導致計時中斷。同時也不能過分松弛,以保證釬料4發(fā)生蠕變 斷裂,載荷落下,電池8能夠及時順利和鬧鐘10的電池盒7分離。
權(quán)利要求
1、一種微電子用材料蠕變性能測試裝置,其特征在于,包括有一上支架(2),上支架(2)上部設(shè)置有滑輪(1),上支架(2)下部用于設(shè)置試樣(12),試樣(12)下連接有載荷箱(11),繩(6)的一端連接載荷箱(11),繩(6)的另一端通過滑輪(1)連接在電池(8)上,電池(8)裝在鬧鐘(10)的電池盒(7)內(nèi)。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的一種微電子用材料蠕變性能測試裝置, 其特征在于,所述的鬧鐘(10)固定在下支架(9)上。
3、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的一種微電子用材料蠕變性能測試裝置, 其特征在于,所述的繩(6)在測試時不受力,處于松弛狀態(tài)。
4、根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種微電子用材料蠕變性能測試裝 置,其特征在于,所述的鬧鐘(10)和下支架(9)的位置偏離于載 荷箱(11)下落點的位置。
5、根據(jù)權(quán)利要求l所述的一種微電子用材料蠕變性能測試裝置, 其特征在于,所述的試樣(12)由三部分組成,包括上基片(3)、 試驗釬料(4)和下基片(5),,釬料(4)將上基片(3)和下基片(5) 連接在一起,上基片(3)和上支架(2)連接,下基片(5)和載荷 箱(11)連接。
全文摘要
一種微電子用材料蠕變性能測試裝置,包括有一上支架2,上支架2上部設(shè)置有滑輪1,上支架2下部用于設(shè)置試樣12,試樣12下連接有載荷箱11,繩6的一端連接載荷箱11,繩6的另一端通過滑輪1連接在電池8上,電池8裝在鬧鐘10的電池盒7內(nèi),在加載的同時,將電池8放入鬧鐘10的電池盒7中,鬧鐘10指針開始走動計時,每12個小時做一次試驗記錄,具有使用方便,成本低廉,便于推廣的特點。
文檔編號G01N3/14GK101504346SQ20091002175
公開日2009年8月12日 申請日期2009年3月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月30日
發(fā)明者許天旱 申請人:西安石油大學
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