專利名稱：：測(cè)試裝置及測(cè)試方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種測(cè)試裝置以及測(cè)試方法。本發(fā)明尤其涉及一種對(duì)被測(cè)試器件輸入施加了抖動(dòng)后的測(cè)試信號(hào)，對(duì)該被測(cè)試器件進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試裝置以及測(cè)試方法。本申請(qǐng)案與下述日本申請(qǐng)案相關(guān)聯(lián)。對(duì)于承認(rèn)將參照文獻(xiàn)并入的指定國(guó)，通過參照而將下述申請(qǐng)案所記載的內(nèi)容并入本申請(qǐng)案中，作為本申請(qǐng)案的一部分。1.日本專利特愿2007-114637申請(qǐng)日2007年4月24日。
背景技術(shù)：
：對(duì)被測(cè)試器件相對(duì)于抖動(dòng)的性能進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試裝置己廣為人知(例如，參照專利文獻(xiàn)l)。專利文獻(xiàn)1所記載的測(cè)試裝置包括對(duì)賦予被測(cè)試器件的測(cè)試信號(hào)施加抖動(dòng)的抖動(dòng)施加部；以及產(chǎn)生數(shù)字控制信號(hào)的抖動(dòng)施加控制部，該數(shù)字控制信號(hào)表示應(yīng)由抖動(dòng)施加部施加的抖動(dòng)。抖動(dòng)施加部包括根據(jù)數(shù)字控制信號(hào)使測(cè)試信號(hào)延遲的可變延遲部。抖動(dòng)施加控制部包括產(chǎn)生隨機(jī)數(shù)據(jù)的隨機(jī)數(shù)數(shù)據(jù)產(chǎn)生器以及產(chǎn)生正弦波數(shù)據(jù)的正弦波產(chǎn)生器。而且，抖動(dòng)施加控制部根據(jù)自隨機(jī)數(shù)數(shù)據(jù)產(chǎn)生器及正弦波產(chǎn)生器輸出的數(shù)據(jù)，輸出表示隨機(jī)抖動(dòng)的數(shù)字控制信號(hào)及表示正弦波抖動(dòng)的數(shù)字控制信號(hào)。借此，根據(jù)專利文獻(xiàn)1所記載的測(cè)試裝置，可以將施加了隨機(jī)抖動(dòng)或正弦波抖動(dòng)的測(cè)試信號(hào)賦予被測(cè)試器件，以對(duì)該被測(cè)試器件的抖動(dòng)性能進(jìn)行測(cè)試。專利文獻(xiàn)l:日本專利特開2005-91108號(hào)公報(bào)。然而，對(duì)于在器件之間傳輸?shù)膫鬏斝盘?hào)所加的抖動(dòng)，眾所周知的是由傳輸線路損耗產(chǎn)生的抖動(dòng)以及由符號(hào)間的干擾所產(chǎn)生的抖動(dòng)等。較理想的是，測(cè)試裝置可以對(duì)被測(cè)試器件輸入施加了由傳輸線路損耗等引起的抖動(dòng)的測(cè)試信號(hào)，并對(duì)該被測(cè)試器件的抖動(dòng)性能進(jìn)行測(cè)試。然而存在如下的問題由傳輸線路損耗引起的抖動(dòng)的大小會(huì)因在器件之間傳輸?shù)膫鬏斝盘?hào)的波形圖案而變得不同。
發(fā)明內(nèi)容因此，本說明書中所包含的發(fā)明一個(gè)方面的目的在于提供一種能夠解決上述技術(shù)問題的測(cè)試裝置以及測(cè)試方法。該目的由權(quán)利要求書中的獨(dú)立權(quán)利要求所述的特征組合來實(shí)現(xiàn)。并且，從屬權(quán)利要求規(guī)定了本發(fā)明的更為有利的具體例。為了解決上述問題，根據(jù)與本說明書中所包含的發(fā)明相關(guān)聯(lián)的第1方面的測(cè)試裝置的一例，提供一種測(cè)試裝置，其是對(duì)被測(cè)試器件進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試裝置，包括圖案生成部，產(chǎn)生用于規(guī)定應(yīng)供給至被測(cè)試器件的測(cè)試信號(hào)的測(cè)試圖案；時(shí)序信號(hào)產(chǎn)生部，產(chǎn)生表示將測(cè)試信號(hào)供給至被測(cè)試器件的時(shí)序的時(shí)序信號(hào)；數(shù)字濾波器，對(duì)測(cè)試圖案進(jìn)行濾波，輸出表示與測(cè)試圖案相對(duì)應(yīng)的抖動(dòng)的抖動(dòng)控制信號(hào)；抖動(dòng)施加部，根據(jù)抖動(dòng)控制信號(hào)而使時(shí)序信號(hào)延遲，借此將抖動(dòng)施加至?xí)r序信號(hào)；以及波形成形部，以施加了抖動(dòng)的時(shí)序信號(hào)為基準(zhǔn)，生成己形成了測(cè)試圖案的測(cè)試信號(hào)。另外，根據(jù)與本說明書中所包含的發(fā)明相關(guān)聯(lián)的第2方面的測(cè)試裝置的一例，提供一種測(cè)試裝置，其是對(duì)被測(cè)試器件進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試裝置，包括信號(hào)輸出部，將測(cè)試信號(hào)輸出至上述被測(cè)試器件；信號(hào)輸入部，輸入根據(jù)測(cè)試信號(hào)而自被測(cè)試器件輸出的輸出信號(hào)；圖案生成部，產(chǎn)生用于規(guī)定應(yīng)自被測(cè)試器件輸出的輸出信號(hào)的預(yù)期值圖案；時(shí)序信號(hào)產(chǎn)生部，產(chǎn)生表示對(duì)預(yù)期值圖案與輸出信號(hào)進(jìn)行比較的時(shí)序的選通信號(hào)；數(shù)字濾波器，對(duì)預(yù)期值圖案進(jìn)行濾波，輸出表示與預(yù)期值圖案相對(duì)應(yīng)的抖動(dòng)的抖動(dòng)控制信號(hào)；抖動(dòng)施加部，根據(jù)抖動(dòng)控制信號(hào)而使選通信號(hào)延遲，以此使抖動(dòng)施加至選通信號(hào)；以及比較部，以施加了抖動(dòng)的選通信號(hào)的時(shí)序，對(duì)輸出信號(hào)與預(yù)期值圖案進(jìn)行比較。另外，根據(jù)與本說明書中所包含的發(fā)明相關(guān)聯(lián)的第3方面的測(cè)試方法的一例，本發(fā)明提供一種測(cè)試方法，其是對(duì)被測(cè)試器件進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試方法，包括產(chǎn)生測(cè)試圖案的階段，該測(cè)試圖案用于規(guī)定應(yīng)供給至被測(cè)試器件的測(cè)試信號(hào)；產(chǎn)生時(shí)序信號(hào)的階段，該時(shí)序信號(hào)表示將測(cè)試信號(hào)供給至被測(cè)試器件的時(shí)序；對(duì)測(cè)試圖案進(jìn)行濾波，并輸出表示與測(cè)試圖案相對(duì)應(yīng)的抖動(dòng)的抖動(dòng)控制信號(hào)的階段；根據(jù)抖動(dòng)控制信號(hào)而使時(shí)序信號(hào)延遲，借此來將抖動(dòng)施加至?xí)r序信號(hào)的階段；以及以施加了抖動(dòng)的時(shí)序信號(hào)為基準(zhǔn)，生成己形成了測(cè)試圖案的測(cè)試信號(hào)的階段。另外，根據(jù)與本說明書中所包含的發(fā)明相關(guān)聯(lián)的第4方面的測(cè)試方法的一例，提供一種測(cè)試方法，其是對(duì)被測(cè)試器件進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試方法，包括將測(cè)試信號(hào)輸出至被測(cè)試器件的階段；輸入輸出信號(hào)的階段，該輸出信號(hào)是根據(jù)測(cè)試信號(hào)而自被測(cè)試器件輸出的信號(hào)；產(chǎn)生預(yù)期值圖案的階段，該預(yù)期值圖案用于規(guī)定應(yīng)自被測(cè)試器件輸出的輸出信號(hào)；產(chǎn)生選通信號(hào)的階段，該選通信號(hào)表示對(duì)預(yù)期值圖案與輸出信號(hào)進(jìn)行比較的時(shí)序；對(duì)預(yù)期值圖案進(jìn)行濾波，并輸出表示與預(yù)期值圖案相對(duì)應(yīng)的抖動(dòng)的抖動(dòng)控制信號(hào)的階段；根據(jù)抖動(dòng)控制信號(hào)而延遲選通信號(hào)，以此使抖動(dòng)施加至選通信號(hào)的階段；以及以施加了抖動(dòng)的選通信號(hào)的時(shí)序，對(duì)輸出信號(hào)與預(yù)期值圖案進(jìn)行比較的階段。上述發(fā)明概要并未列舉出本發(fā)明的所有必要特征，這些特征群的次組合也可以成為發(fā)明。圖1與被測(cè)試器件100—起表示本發(fā)明的實(shí)施方式涉及的測(cè)試裝置20的構(gòu)成。圖2表示本發(fā)明的實(shí)施方式的抖動(dòng)控制部26以及抖動(dòng)施加部28的構(gòu)成。圖3表示本發(fā)明的實(shí)施方式的可變延遲部42的構(gòu)成的一例。圖4表示經(jīng)過傳輸線路前的邏輯反轉(zhuǎn)頻率高的信號(hào)波形以及經(jīng)過傳輸線路后的邏輯反轉(zhuǎn)頻率高的信號(hào)波形。圖5表示經(jīng)過傳輸線路前的邏輯反轉(zhuǎn)頻率低的信號(hào)波形以及經(jīng)過傳輸線路后的邏輯反轉(zhuǎn)頻率低的信號(hào)的波形。圖6表示由本發(fā)明的實(shí)施方式涉及的任意波形產(chǎn)生部58生成的顯示正弦波抖動(dòng)的任意波形抖動(dòng)信號(hào)的產(chǎn)生概率。圖7表示本發(fā)明的實(shí)施方式的隨機(jī)抖動(dòng)產(chǎn)生部60的構(gòu)成的一例。圖8表示由本發(fā)明的實(shí)施方式的隨機(jī)抖動(dòng)產(chǎn)生部60生成的隨機(jī)抖動(dòng)信號(hào)的產(chǎn)生概率。圖9表示將顯示正弦波抖動(dòng)的任意波形抖動(dòng)信號(hào)與隨機(jī)抖動(dòng)信號(hào)相加所得的抖動(dòng)信號(hào)的產(chǎn)生概率。圖10與被測(cè)試器件100—起表示本發(fā)明的實(shí)施方式的第1變形例的測(cè)試裝置20的構(gòu)成。圖11表示本發(fā)明的實(shí)施方式涉及的第2變形例的時(shí)序信號(hào)產(chǎn)生部24的構(gòu)成與抖動(dòng)控制部26。附圖標(biāo)記說明20:測(cè)試裝置22:圖案生成部24:時(shí)序信號(hào)產(chǎn)生部26:抖動(dòng)控制部28:抖動(dòng)施加部30:波形成形部32、44:信號(hào)輸出部34、40:信號(hào)輸入部36:比較部42:可變延遲部56:數(shù)字濾波器58:任意波形產(chǎn)生部<table>tableseeoriginaldocumentpage11</column></row><table>414:微小延遲電路416:抖動(dòng)施加切換部具體實(shí)施例方式下面根據(jù)發(fā)明的實(shí)施方式來對(duì)本發(fā)明進(jìn)行說明，但以下的實(shí)施方式并不對(duì)申請(qǐng)專利范圍的發(fā)明進(jìn)行限定，且在實(shí)施方式中所說明的特征的組合，并非全部是發(fā)明解決手段中所必需的。圖1表示本發(fā)明的實(shí)施方式的測(cè)試裝置20的構(gòu)成與被測(cè)試器件100。測(cè)試裝置20將施加了抖動(dòng)的測(cè)試信號(hào)輸出至被測(cè)試器件100，并根據(jù)該測(cè)試信號(hào)對(duì)自被測(cè)試器件100輸出的輸出信號(hào)與預(yù)期值進(jìn)行比較，借此來對(duì)被測(cè)試器件100進(jìn)行測(cè)試。測(cè)試裝置20包括圖案生成部22、時(shí)序信號(hào)產(chǎn)生部24、抖動(dòng)控制部26、抖動(dòng)施加部28、波形成形部30、信號(hào)輸出部32、信號(hào)輸入部34以及比較部36。圖案生成部22產(chǎn)生用于規(guī)定應(yīng)供給至被測(cè)試器件100的測(cè)試信號(hào)的測(cè)試圖案。作為圖案生成部22的一例，可以產(chǎn)生用于規(guī)定應(yīng)供給至被測(cè)試器件100的測(cè)試信號(hào)的波形的測(cè)試圖案。更具體而言，作為圖案生成部22的一例，可以在每個(gè)規(guī)定的測(cè)試周期中產(chǎn)生一種測(cè)試圖案，該測(cè)試圖案用于指定測(cè)試信號(hào)的上升邊緣距離基準(zhǔn)時(shí)序的延遲量以及測(cè)試信號(hào)的下降邊緣距離基準(zhǔn)時(shí)序的延遲量。此外，圖案生成部22產(chǎn)生規(guī)定一種輸出信號(hào)的預(yù)期值圖案，該輸出信號(hào)應(yīng)根據(jù)測(cè)試信號(hào)的供給而自被測(cè)試器件100輸出。例如，圖案生成部22可以產(chǎn)生用于規(guī)定應(yīng)該從被測(cè)試器件100輸出的輸出信號(hào)的邏輯值的預(yù)期值圖案。時(shí)序信號(hào)產(chǎn)生部24產(chǎn)生時(shí)序信號(hào)，該時(shí)序信號(hào)表示將測(cè)試信號(hào)供給至被測(cè)試器件100的時(shí)序。作為一例，時(shí)序信號(hào)產(chǎn)生部24可以產(chǎn)生表示測(cè)試周期中的基準(zhǔn)時(shí)序的時(shí)序信號(hào)。此外，時(shí)序信號(hào)產(chǎn)生部24產(chǎn)生選通信號(hào)，該選通信號(hào)表示對(duì)預(yù)期值圖案與輸出信號(hào)進(jìn)行比較的時(shí)序。抖動(dòng)控制部26輸出抖動(dòng)控制信號(hào)，該抖動(dòng)控制信號(hào)表示應(yīng)施加至測(cè)試信號(hào)的抖動(dòng)。作為一例，抖動(dòng)控制部26可以輸出數(shù)字值來作為抖動(dòng)控制信號(hào)，該數(shù)字值表示應(yīng)施加至測(cè)試信號(hào)的抖動(dòng)的大小。抖動(dòng)施加部28根據(jù)抖動(dòng)控制信號(hào)而使時(shí)序信號(hào)延遲，借此來將抖動(dòng)施加至?xí)r序信號(hào)。作為抖動(dòng)施加部28的一例，可以在每個(gè)測(cè)試周期中，使由時(shí)序信號(hào)產(chǎn)生部24產(chǎn)生的時(shí)序信號(hào)延遲由抖動(dòng)控制信號(hào)表示的值。接著，抖動(dòng)施加部28將施加了抖動(dòng)的時(shí)序信號(hào)供給至波形成形部30。波形成形部30以施加了抖動(dòng)的時(shí)序信號(hào)為基準(zhǔn)，生成已形成了測(cè)試圖案的測(cè)試信號(hào)。即，波形成形部30以施加了抖動(dòng)的時(shí)序信號(hào)為基準(zhǔn)，生成由測(cè)試圖案所規(guī)定的波形的測(cè)試信號(hào)。作為波形成形部30的一例，可以按測(cè)試圖案指定的上升邊緣的延遲量使施加了抖動(dòng)的時(shí)序信號(hào)延遲，并以己延遲的該時(shí)序信號(hào)的時(shí)序而生成上升的測(cè)試信號(hào)。又，作為波形成形部30的一例，可以按測(cè)試圖案指定的下降邊緣的延遲量使施加了抖動(dòng)的時(shí)序信號(hào)延遲，并以已延遲的該時(shí)序信號(hào)的時(shí)序而生成下降的測(cè)試信號(hào)。信號(hào)輸出部32將由波形成形部30生成的測(cè)試信號(hào)輸出至被測(cè)試器件100。信號(hào)輸入部34根據(jù)測(cè)試信號(hào)而輸入自被測(cè)試器件100輸出的輸出信號(hào)。比較部36在由時(shí)序信號(hào)產(chǎn)生部24產(chǎn)生的選通信號(hào)的時(shí)序中，比較由信號(hào)輸入部34輸入的輸出信號(hào)與由圖案生成部22產(chǎn)生的預(yù)期值圖案。作為比較部36的一例，可以按照選通信號(hào)的時(shí)序，來對(duì)輸出信號(hào)的邏輯值與由預(yù)期值圖案規(guī)定的邏輯值進(jìn)行比較。接著，比較部36輸出輸出信號(hào)與預(yù)期值圖案的比較結(jié)果。圖2表示本實(shí)施方式涉及的抖動(dòng)控制部26以及抖動(dòng)施加部28的構(gòu)成。抖動(dòng)施加部28包括信號(hào)輸入部40、可變延遲部42以及信號(hào)輸出部44。信號(hào)輸入部40輸入由時(shí)序信號(hào)產(chǎn)生部24產(chǎn)生的時(shí)序信號(hào)，并將所輸入的時(shí)序信號(hào)供給至可變延遲部42?？勺冄舆t部42使由可變延遲部42輸入的時(shí)序信號(hào)延遲如下的延遲量該延遲量與由抖動(dòng)控制部26供給的抖動(dòng)控制信號(hào)所指定的抖動(dòng)的大小相對(duì)應(yīng)。借此，根據(jù)可變延遲部42，可以將由抖動(dòng)控制信號(hào)指定的大小的抖動(dòng)施加至?xí)r序信號(hào)。信號(hào)輸出部44將由可變延遲部42施加了抖動(dòng)的時(shí)序信號(hào)供給至波形成形部30。抖動(dòng)控制部26包括數(shù)字濾波器56、任意波形產(chǎn)生部58、隨機(jī)抖動(dòng)產(chǎn)生部60、AD轉(zhuǎn)換器62、加法部64、增益控制部66、施加控制部68、外部時(shí)鐘輸入部70、內(nèi)部時(shí)鐘產(chǎn)生部72以及時(shí)鐘選擇部74。數(shù)字濾波器56對(duì)由圖案生成部22產(chǎn)生的測(cè)試圖案進(jìn)行濾波，生成表示與測(cè)試圖案相對(duì)應(yīng)的抖動(dòng)的圖案相關(guān)抖動(dòng)信號(hào)。更具體而言，數(shù)字濾波器56由對(duì)測(cè)試圖案進(jìn)行濾波，來生成表示依賴于測(cè)試信號(hào)的波形的抖動(dòng)的圖案相關(guān)抖動(dòng)信號(hào)。任意波形產(chǎn)生部58產(chǎn)生表示任意波形的抖動(dòng)的任意波形抖動(dòng)信號(hào)。作為任意波形產(chǎn)生部58的一例，可以輸出表示正弦波抖動(dòng)的任意波形抖動(dòng)信號(hào)。隨機(jī)抖動(dòng)產(chǎn)生部60產(chǎn)生表示隨機(jī)抖動(dòng)的隨機(jī)抖動(dòng)信號(hào)。AD轉(zhuǎn)換器62對(duì)由外部的模擬信號(hào)源產(chǎn)生的模擬信號(hào)進(jìn)行取樣，輸出表示與取得的模擬信號(hào)相對(duì)應(yīng)的抖動(dòng)的模擬抖動(dòng)信號(hào)。加法部64輸出自數(shù)字濾波器56輸出的圖案相關(guān)抖動(dòng)信號(hào)來作為抖動(dòng)控制信號(hào)。借此，加法部64可以輸出表示與測(cè)試圖案相對(duì)應(yīng)的抖動(dòng)的抖動(dòng)控制信號(hào)。進(jìn)一步地，加法部64還可以根據(jù)用于指定應(yīng)施加至測(cè)試信號(hào)的抖動(dòng)的種類的相加控制信號(hào)，來選擇任意波形抖動(dòng)信號(hào)、隨機(jī)抖動(dòng)信號(hào)及模擬抖動(dòng)信號(hào)中的至少一個(gè)，并輸出如下的抖動(dòng)控制信號(hào)，該抖動(dòng)控制信號(hào)是將所選擇的抖動(dòng)信號(hào)與圖案相關(guān)抖動(dòng)信號(hào)相加而獲得的信號(hào)。亦即，作為加法部64的一例，可以將表示與測(cè)試圖案相對(duì)應(yīng)的抖動(dòng)不同種類的抖動(dòng)的抖動(dòng)信號(hào)，與表示對(duì)應(yīng)于測(cè)試圖案的抖動(dòng)的抖動(dòng)控制信號(hào)相加。加法部64可以自例如圖案生成部22及該測(cè)試裝置20的控制器等輸入相加控制信號(hào)。另外，作為加法部64的一例，可以輸出任意波形抖動(dòng)信號(hào)、隨機(jī)抖動(dòng)信號(hào)及模擬抖動(dòng)信號(hào)中的任一個(gè)信號(hào)來作為抖動(dòng)控制信號(hào)。另外，作為加法部64的一例，也可以輸出如下的信號(hào)來作為抖動(dòng)控制信號(hào)該信號(hào)是將任意波形抖動(dòng)信號(hào)、隨機(jī)抖動(dòng)信號(hào)及模擬抖動(dòng)信號(hào)中的任意2個(gè)或2個(gè)以上相加而獲得的信號(hào)。增益控制部66根據(jù)增益控制信號(hào)，使自加法部64輸出的抖動(dòng)控制信號(hào)放大或衰減。上述增益控制信號(hào)規(guī)定應(yīng)施加至測(cè)試信號(hào)的抖動(dòng)的增益。作為增益控制部66的一例，當(dāng)用二進(jìn)制碼表示抖動(dòng)控制信號(hào)時(shí)，可以通過移位運(yùn)算使抖動(dòng)控制信號(hào)放大或衰減。增益控制部66例如可以從圖案產(chǎn)生部22及該測(cè)試裝置20的控制器等輸入增益控制信號(hào)。施加控制部68輸入施加控制信號(hào)，該施加控制信號(hào)用于指定是否將抖動(dòng)施加至?xí)r序信號(hào)，當(dāng)指定不施加抖動(dòng)時(shí)，將抖動(dòng)控制信號(hào)設(shè)為不施加抖動(dòng)的值。亦即，當(dāng)施加控制部68由施加控制信號(hào)指定不施加抖動(dòng)時(shí)，將抖動(dòng)控制信號(hào)設(shè)為使時(shí)序信號(hào)不會(huì)被可變延遲部42延遲的值。借此，根據(jù)施加控制部68，可以實(shí)時(shí)控制是否將抖動(dòng)施加至測(cè)試信號(hào)。施加控制部68可以自例如圖案生成部22及該測(cè)試裝置20的控制器等輸入施加控制信號(hào)。外部時(shí)鐘輸入部70輸入與抖動(dòng)施加部28輸入的時(shí)序信號(hào)同步的外部時(shí)鐘信號(hào)，即，輸入與該測(cè)試裝置20的系統(tǒng)時(shí)鐘同步的外部時(shí)鐘信號(hào)。然后，外部時(shí)鐘輸入部70將所輸入的外部時(shí)鐘信號(hào)提供給時(shí)鐘選擇部74。內(nèi)部時(shí)鐘產(chǎn)生部72產(chǎn)生與輸入至抖動(dòng)施加部28的時(shí)序信號(hào)不同步的內(nèi)部時(shí)鐘信號(hào)。S卩，產(chǎn)生與該測(cè)試裝置20的系統(tǒng)時(shí)鐘不同步的內(nèi)部時(shí)鐘信號(hào)。作為一例，內(nèi)部時(shí)鐘產(chǎn)生部72可以是晶體振蕩器等。另外，內(nèi)部時(shí)鐘產(chǎn)生部72將所產(chǎn)生的內(nèi)部時(shí)鐘信號(hào)供給至?xí)r鐘選擇部74。時(shí)鐘選擇部74輸入時(shí)鐘選擇信號(hào)，該時(shí)鐘選擇信號(hào)指定外部時(shí)鐘信號(hào)或內(nèi)部時(shí)鐘信號(hào)中的任一個(gè)信號(hào)。時(shí)鐘選擇部74根據(jù)時(shí)鐘選擇信號(hào)，來輸出外部時(shí)鐘信號(hào)及內(nèi)部時(shí)鐘信號(hào)中的任一個(gè)信號(hào)作為時(shí)鐘信號(hào)。時(shí)鐘選擇部74可以自例如圖案生成部22及該測(cè)試裝置20的控制器等輸入時(shí)鐘選擇信號(hào)。時(shí)鐘選擇部74將時(shí)鐘信號(hào)供給至任意波形產(chǎn)生部58、隨機(jī)抖動(dòng)產(chǎn)生部60以及AD轉(zhuǎn)換器62。接著，任意波形產(chǎn)生部58產(chǎn)生與自時(shí)鐘選擇部74輸出的時(shí)鐘信號(hào)同步的任意波形抖動(dòng)信號(hào)。隨機(jī)抖動(dòng)產(chǎn)生部60產(chǎn)生與自時(shí)鐘選擇部74輸出的時(shí)鐘信號(hào)同步的隨機(jī)抖動(dòng)信號(hào)。AD轉(zhuǎn)換器62由從時(shí)鐘選擇部74輸出的時(shí)鐘信號(hào)來對(duì)模擬信號(hào)進(jìn)行取樣。因此，時(shí)鐘選擇部74可以將與該測(cè)試裝置20的系統(tǒng)時(shí)鐘同步的任意波形抖動(dòng)、隨機(jī)抖動(dòng)以及與模擬信號(hào)相對(duì)應(yīng)的抖動(dòng)施加至?xí)r序信號(hào)。又，時(shí)鐘選擇部74可以將不與該測(cè)試裝置20的系統(tǒng)時(shí)鐘同步的任意波形抖動(dòng)、隨機(jī)抖動(dòng)以及與模擬信號(hào)相對(duì)應(yīng)的抖動(dòng)施加至?xí)r序信號(hào)。根據(jù)如上所述的抖動(dòng)控制部26以及抖動(dòng)施加部28，可以將與測(cè)試圖案相對(duì)應(yīng)的抖動(dòng)施加至測(cè)試信號(hào)。而且，通過抖動(dòng)控制部26以及抖動(dòng)施加部28，除了可以施加與測(cè)試圖案相對(duì)應(yīng)的抖動(dòng)之外，還可以將正弦波抖動(dòng)等任意波形抖動(dòng)、隨機(jī)抖動(dòng)、與模擬信號(hào)相對(duì)應(yīng)的抖動(dòng)等的與測(cè)試圖案無關(guān)的，由其他原因引起的抖動(dòng)施加至測(cè)試信號(hào)。圖3表示本實(shí)施方式的可變延遲部42的構(gòu)成的一例。可變延遲部42包括串連配置的多個(gè)延遲元件200、對(duì)應(yīng)于多個(gè)延遲元件200而設(shè)置的多個(gè)選擇器202以及選擇器控制部204。多個(gè)延遲元件200的各個(gè)分別按照各個(gè)延遲量使所輸入的時(shí)序信號(hào)延遲后，輸出這些時(shí)序信號(hào)。多個(gè)延遲元件200中，初段的延遲元件200使由信號(hào)輸入部40輸入的時(shí)序信號(hào)延遲。初段以外的延遲元件200使由與前段的延遲元件200相對(duì)應(yīng)的選擇器202所輸出的時(shí)序信號(hào)延遲。末段的延遲元件200經(jīng)由信號(hào)輸出部44而將時(shí)序信號(hào)輸出至外部。多個(gè)選擇器202的各個(gè)選擇經(jīng)過相應(yīng)延遲元件200的時(shí)序信號(hào)、或未經(jīng)過相應(yīng)延遲元件200的時(shí)序信號(hào)(亦即，自與前段的延遲元件200相對(duì)應(yīng)的選擇器202輸出的時(shí)序信號(hào))中的任一個(gè)信號(hào)。接著，多個(gè)選擇器202的各個(gè)輸出所選擇的時(shí)序信號(hào)。選擇器控制部204根據(jù)自抖動(dòng)控制部26輸出的抖動(dòng)控制信號(hào)來對(duì)多個(gè)選擇器202的各個(gè)進(jìn)行控制，以選擇經(jīng)過相應(yīng)延遲元件200的時(shí)序信號(hào)，或選擇未經(jīng)過相應(yīng)延遲元件200的時(shí)序信號(hào)。更具體而言，選擇器控制部204對(duì)多個(gè)選擇器202進(jìn)行控制，使得自信號(hào)輸入部40至信號(hào)輸出部44為止的總延遲量，成為與自抖動(dòng)控制部26輸出的抖動(dòng)控制信號(hào)所表示的抖動(dòng)的大小相對(duì)應(yīng)的值。借此，根據(jù)可變延遲部42，可以使時(shí)序信號(hào)延遲與由抖動(dòng)控制信號(hào)所表示的抖動(dòng)的大小相對(duì)應(yīng)的延遲量。另外，作為可變延遲部42的一例，可以用包括模擬可變延遲電路與DA轉(zhuǎn)換部來代替多個(gè)延遲元件200、多個(gè)選擇器202以及選擇器控制部204。模擬可變延遲電路使時(shí)序信號(hào)延遲與模擬控制信號(hào)相對(duì)應(yīng)的延遲量。作為模擬可變延遲電路的一例，可以根據(jù)模擬控制信號(hào)而使緩沖電路的輸出容量產(chǎn)生變化，借此使經(jīng)過該緩沖電路的時(shí)序信號(hào)延遲。又，作為模擬可變延遲電路的一例，可以根據(jù)模擬控制信號(hào)而使施加至緩沖電路的驅(qū)動(dòng)電流產(chǎn)生變化，借此使經(jīng)過該緩沖電路的時(shí)序信號(hào)延遲。DA轉(zhuǎn)換部將模擬控制信號(hào)賦予模擬可變延遲電路，該模擬控制信號(hào)是對(duì)抖動(dòng)控制信號(hào)進(jìn)行DA轉(zhuǎn)換而獲得的信號(hào)。根據(jù)此種可變延遲部42，可以更細(xì)微且高速地控制延遲量。另外，可變延遲部42除了可以包括多個(gè)延遲元件200、多個(gè)選擇器202以及選擇器控制部204以外，更可以包括模擬可變延遲電路以及DA轉(zhuǎn)換部。在該情形時(shí)，模擬可變延遲電路例如串連地連接于多個(gè)延遲元件200的后段。又，DA轉(zhuǎn)換部將自選擇器控制部204輸出的數(shù)字信號(hào)進(jìn)行DA轉(zhuǎn)換而獲得的模擬控制信號(hào)賦予模擬可變延遲電路。選擇器控制部204將自抖動(dòng)控制部26輸入的數(shù)字抖動(dòng)控制信號(hào)，分割成如下的兩種數(shù)字信號(hào)，即表示被多個(gè)延遲元件200延遲的粗延遲量的數(shù)字信號(hào)，及表示被模擬可變延遲電路延遲的微小延遲量的數(shù)字信號(hào)。而且，選擇器控制部204根據(jù)表示粗延遲量的數(shù)字信號(hào)來對(duì)多個(gè)選擇器202進(jìn)行切換。選擇器控制部204將表示微小延遲量的數(shù)字信號(hào)賦予DA轉(zhuǎn)換部。圖4表示經(jīng)過傳輸線路前的邏輯反轉(zhuǎn)頻率高的信號(hào)的波形以及經(jīng)過傳輸線路后的邏輯反轉(zhuǎn)頻率高的信號(hào)的波形。圖5表示經(jīng)過傳輸線路前的邏輯反轉(zhuǎn)頻率低的信號(hào)的波形以及經(jīng)過傳輸線路后的邏輯反轉(zhuǎn)頻率低的信號(hào)的波形。數(shù)字濾波器56對(duì)自圖案生成部22輸出的測(cè)試圖案進(jìn)行數(shù)字濾波，借此來生成圖案相關(guān)抖動(dòng)信號(hào)，該圖案相關(guān)抖動(dòng)信號(hào)表示根據(jù)測(cè)試信號(hào)的波形而施加于該測(cè)試信號(hào)的抖動(dòng)。借此，數(shù)字濾波器56可以生成表示由符號(hào)間的干擾及傳輸線路損耗等產(chǎn)生的抖動(dòng)的信號(hào)。此處，傳輸線路損耗引起的抖動(dòng)，因經(jīng)過傳輸線路的信號(hào)穩(wěn)定特性劣化而產(chǎn)生。然而，對(duì)于圖4所示的高頻信號(hào)而言，即便穩(wěn)定特性變差，也由于在穩(wěn)定期間經(jīng)過之前(即，在完全到達(dá)下一個(gè)邏輯電平之前)就會(huì)開始下一個(gè)變化，因而抖動(dòng)小。相對(duì)于此，對(duì)于圖5所示的L電平(或H電平)的經(jīng)過長(zhǎng)時(shí)間后發(fā)生邏輯反轉(zhuǎn)的信號(hào)而言，與穩(wěn)定特性變差相對(duì)應(yīng)的延遲會(huì)直接反映于抖動(dòng)，因此抖動(dòng)大。因此，當(dāng)輸入指定低頻率的波形的測(cè)試圖案時(shí)，數(shù)字濾波器56可以進(jìn)行濾波以增大將要輸出的圖案相關(guān)抖動(dòng)信號(hào)，當(dāng)輸入指定高頻率的波形的測(cè)試圖案時(shí)，該數(shù)字濾波器56可以進(jìn)行濾波以減小將要輸出的圖案相關(guān)抖動(dòng)信號(hào)。更具體而言，例如當(dāng)輸入指定H邏輯或L邏輯中的任一個(gè)長(zhǎng)期連續(xù)的波形的測(cè)試圖案時(shí)，數(shù)字濾波器56增大將要輸出的圖案相關(guān)抖動(dòng)信號(hào)。又，例如，當(dāng)輸入指定H邏輯及L邏輯以短周期交替重復(fù)的波形的測(cè)試圖案時(shí)，數(shù)字濾波器56減小將要輸出的圖案相關(guān)抖動(dòng)信號(hào)。藉此，根據(jù)數(shù)字濾波器56，可以生成表示由傳輸線路損耗引起的抖動(dòng)的圖案相關(guān)抖動(dòng)信號(hào)。圖6表示由本實(shí)施方式的任意波形產(chǎn)生部58生成的顯示正弦波抖動(dòng)的任意波形抖動(dòng)信號(hào)的產(chǎn)生概率。作為任意波形產(chǎn)生部58的一例，可以與時(shí)鐘信號(hào)同步地循環(huán)依序讀出預(yù)先儲(chǔ)存的表示一個(gè)周期的抖動(dòng)波形的離散值數(shù)據(jù)，借此來輸出表示任意波形抖動(dòng)的任意波形抖動(dòng)信號(hào)。借此，任意波形產(chǎn)生部58可以將正弦波抖動(dòng)、矩形波抖動(dòng)、集中分布表示的抖動(dòng)以及由二項(xiàng)分布表示的抖動(dòng)等施加至測(cè)試信號(hào)。作為任意波形產(chǎn)生部58的一例，可以在進(jìn)行測(cè)試之前，先自外部的記憶體及儲(chǔ)存媒體等輸入表示抖動(dòng)波形的離散值數(shù)據(jù)。特別地，作為任意波形產(chǎn)生部58的一例，可以與時(shí)鐘信號(hào)同步地循環(huán)依序讀出預(yù)先儲(chǔ)存的表示一個(gè)周期的正弦波信號(hào)的離散值數(shù)據(jù)。借此，任意波形產(chǎn)生部58可以輸出由圖6的概率分布所顯示的表示正弦波抖動(dòng)的任意波形抖動(dòng)信號(hào)。圖7表示本實(shí)施方式的隨機(jī)抖動(dòng)產(chǎn)生部60的構(gòu)成的一例。圖8表示由本實(shí)施方式的隨機(jī)抖動(dòng)產(chǎn)生部60生成的隨機(jī)抖動(dòng)信號(hào)的產(chǎn)生概率。作為隨機(jī)抖動(dòng)產(chǎn)生部60的一例，可以包括線性反饋移位寄存器(LFSR)300、加法部302、半值減法部304以及隨機(jī)抖動(dòng)輸出部306。LFSR300包括規(guī)定段的移位寄存器310，并自移位寄存器310的末段的寄存器產(chǎn)生虛擬隨機(jī)信號(hào)。更詳細(xì)而言，LFSR300通過進(jìn)行如下處理以產(chǎn)生虛擬隨機(jī)信號(hào)。首先，LFSR300進(jìn)行儲(chǔ)存在寄存器中的比特值的"異或"運(yùn)算，該寄存器是由移位寄存器310中的用于產(chǎn)生虛擬隨機(jī)序列的不可約多項(xiàng)式所規(guī)定的寄存器。其次，LFSR300將儲(chǔ)存在末段的寄存器中的比特值作為虛擬隨機(jī)信號(hào)而輸出，對(duì)移位寄存器310內(nèi)的各比特値進(jìn)行移位。隨后，LFSR300將"異或"運(yùn)算結(jié)果儲(chǔ)存至初段的寄存器。LFSR300在每個(gè)時(shí)鐘周期中重復(fù)以上的處理。借此，LFSR300可以通過簡(jiǎn)單的構(gòu)成來產(chǎn)生虛擬隨機(jī)信號(hào)。在各個(gè)時(shí)鐘周期中，加法部302輸出相加值，該相加值是將LFSR300內(nèi)的移位寄存器310所含的多個(gè)寄存器的比特値相加而獲得的值。半值減法部304輸出自相加值減去儲(chǔ)存加法部302加算之比特値的多個(gè)寄存器的數(shù)的半值而獲得的半值相減值。例如，當(dāng)移位寄存器310中所含的寄存器數(shù)例如為n個(gè)時(shí)，半值減法部304輸出從加法部302計(jì)算出的相加值減去(n/2)而獲得的半值相減值。隨機(jī)抖動(dòng)輸出部306輸出與半值相減值相對(duì)應(yīng)的隨機(jī)抖動(dòng)信號(hào)。此處，由LFSR300生成的虛擬隨機(jī)信號(hào)中，0(或l)的產(chǎn)生概率非常接近于50%。同時(shí)，當(dāng)移位寄存器310為n段時(shí)，僅在移位寄存器310內(nèi)一個(gè)寄存器中儲(chǔ)存l(或0)的概率為1/(2il)。因此，將所有儲(chǔ)存于寄存器的比特値相加所得的相加值減半而獲得的隨機(jī)抖動(dòng)信號(hào)的波形，接近于如圖8所示的以0為波峰的正態(tài)分布。由此，根據(jù)圖7的隨機(jī)抖動(dòng)產(chǎn)生部60,可以由簡(jiǎn)單的構(gòu)成來產(chǎn)生表示隨機(jī)抖動(dòng)的隨機(jī)抖動(dòng)信號(hào)。再者，作為L(zhǎng)FSR300的一例，可以在進(jìn)行測(cè)試之前，先自外部的記憶體及儲(chǔ)存媒體等輸入表示虛擬隨機(jī)信號(hào)的種類的值，并將該值儲(chǔ)存至移位寄存器310。圖9表示將顯示正弦波抖動(dòng)的任意波形抖動(dòng)信號(hào)與隨機(jī)抖動(dòng)信號(hào)相加所得的抖動(dòng)信號(hào)的產(chǎn)生概率。作為加法部64的一例，可以將如下的抖動(dòng)信號(hào)作為抖動(dòng)控制信號(hào)輸出，該抖動(dòng)信號(hào)是將由任意波形產(chǎn)生部58生成的任意波形抖動(dòng)信號(hào)與由隨機(jī)抖動(dòng)產(chǎn)生部60生成的隨機(jī)抖動(dòng)信號(hào)相加而獲f尋的抖動(dòng)信號(hào)。例如，施加至半導(dǎo)體器件之間傳輸?shù)男盘?hào)的抖動(dòng)中，包括如正弦波抖動(dòng)的由確定的原因產(chǎn)生的抖動(dòng)以及由不確定的原因產(chǎn)生的隨機(jī)抖動(dòng)。加法部64可以任意地對(duì)與測(cè)試圖案相對(duì)應(yīng)的抖動(dòng)、正弦波抖動(dòng)等任意波形抖動(dòng)、隨機(jī)抖動(dòng)以及與模擬信號(hào)相對(duì)應(yīng)的抖動(dòng)進(jìn)行組合，借此將這些抖動(dòng)相加。因此，根據(jù)測(cè)試裝置20，可以再現(xiàn)由多個(gè)原因產(chǎn)生的抖動(dòng)，并將該抖動(dòng)施加至測(cè)試信號(hào)。圖10表示本實(shí)施方式的第1變形例的測(cè)試裝置20的構(gòu)成與被測(cè)試器件100。本變形例的測(cè)試裝置20采用了與圖1所示的相同符號(hào)的組件大致相同的構(gòu)成及功能，因此在下文中，除了對(duì)不同點(diǎn)進(jìn)行說明以外，省略其余的說明。抖動(dòng)施加部28將抖動(dòng)施加至選通信號(hào)，而非施加至?xí)r序信號(hào)。亦即，抖動(dòng)施加部28根據(jù)抖動(dòng)控制信號(hào)，使自時(shí)序信號(hào)產(chǎn)生部24供給至比較部36的選通信號(hào)延遲，借此來將抖動(dòng)施加至選通信號(hào)。抖動(dòng)控制部26輸出表示應(yīng)施加至輸出信號(hào)的抖動(dòng)的抖動(dòng)控制信號(hào)，而非表示應(yīng)施加至測(cè)試信號(hào)的抖動(dòng)的抖動(dòng)控制信號(hào)。而且，抖動(dòng)控制部26所具有的數(shù)字濾波器56對(duì)預(yù)期值圖案進(jìn)行濾波，而非對(duì)測(cè)試圖案進(jìn)行濾波，然后輸出表示與預(yù)期值圖案相對(duì)應(yīng)的抖動(dòng)的抖動(dòng)控制信號(hào)。比較部36以施加了抖動(dòng)的選通信號(hào)的時(shí)序，來對(duì)輸出信號(hào)與預(yù)期值圖案進(jìn)行比較。如上所述的變形例的測(cè)試裝置20，將與預(yù)期值圖案相對(duì)應(yīng)的抖動(dòng)，施加至表示輸出信號(hào)與預(yù)期值的比較時(shí)序的選通信號(hào)。借此，根據(jù)變形例的測(cè)試裝置20，在與預(yù)期值圖案相對(duì)應(yīng)的抖動(dòng)施加至輸出信號(hào)時(shí)，可以獲得將輸出信號(hào)與預(yù)期值的比較結(jié)果。再者，測(cè)試裝置20亦可以同時(shí)具備將與測(cè)試圖案相對(duì)應(yīng)的抖動(dòng)施加至圖l所示的時(shí)序信號(hào)的時(shí)序信號(hào)產(chǎn)生部24及抖動(dòng)控制部26;以及將與預(yù)期值圖案相對(duì)應(yīng)的抖動(dòng)施加至圖IO所示的選通信號(hào)的時(shí)序信號(hào)產(chǎn)生部24及抖動(dòng)控制部26。圖11表示本實(shí)施方式的第2變形例的時(shí)序信號(hào)產(chǎn)生部24的構(gòu)成與抖動(dòng)控制部26。本變形例的測(cè)試裝置20采用了與圖1所示的相同符號(hào)的組件大致相同的構(gòu)成及功能，因此在下文中，除了對(duì)不同點(diǎn)進(jìn)行說明以外，省略其余的說明。本變形例的測(cè)試裝置20不具備抖動(dòng)施加部28，時(shí)序信號(hào)產(chǎn)生部24在內(nèi)部將與抖動(dòng)控制信號(hào)相對(duì)應(yīng)的抖動(dòng)施加至?xí)r序信號(hào)。即，時(shí)序信號(hào)產(chǎn)生部24輸出已預(yù)先施加了與抖動(dòng)控制信號(hào)相對(duì)應(yīng)的抖動(dòng)的時(shí)序信號(hào)。作為本變形例的時(shí)序信號(hào)產(chǎn)生部24的一例，包括第1相加器402、第2相加器404、累加部406、鎖存器408、第3相加器410、粗延遲電路412以及微小延遲電路414。另外，本變形例的抖動(dòng)控制部26輸出抖動(dòng)控制信號(hào)以及由該抖動(dòng)控制信號(hào)表示的抖動(dòng)的平均值。第1相加器402從表示測(cè)試周期的比率數(shù)據(jù)減去抖動(dòng)平均值。借此，抖動(dòng)控制部26相對(duì)于產(chǎn)生無抖動(dòng)的波形(邊緣)的時(shí)序，可以在正方向以及負(fù)方向上施加抖動(dòng)。第2相加器404輸出延遲控制值，該延遲控制值是將延遲數(shù)據(jù)、已減去抖動(dòng)平均值的比率數(shù)據(jù)以及抖動(dòng)控制信號(hào)相加而獲得的值。延遲數(shù)據(jù)表示應(yīng)產(chǎn)生由測(cè)試圖案規(guī)定的波形(邊緣)的時(shí)序距離測(cè)試周期的基準(zhǔn)時(shí)序的延遲量。累加部406輸出累積延遲控制值，該累積延遲控制值是將自第2相加器404輸出的延遲控制值、與自第3相加器410輸出的值相加而獲得的值。鎖存器408使自累加部406輸出的累積延遲控制值延遲一個(gè)測(cè)試周期。第3相加器410，將自鎖存器408輸出的累積延遲控制值與抖動(dòng)控制信號(hào)相加而獲得的值，賦予累加部406。借此，累加部406可以輸出累積延遲控制值，該累積延遲控制值是對(duì)自第2相加器404輸出的延遲控制值進(jìn)行累積相加而獲得的值。粗延遲電路412按照與累積延遲控制值的高位比特的值相對(duì)應(yīng)的延遲量，使作為測(cè)試周期的基準(zhǔn)的基準(zhǔn)時(shí)鐘延遲。作為粗延遲電路412的一例，可以按照動(dòng)作時(shí)鐘的周期單位的延遲量使基準(zhǔn)時(shí)鐘延遲。微小延遲電路414按照與累積延遲控制值的低位比特的值相對(duì)應(yīng)的延遲量，使己被粗延遲電路412延遲的基準(zhǔn)時(shí)鐘延遲。作為微小延遲電路414的一例，可以按照不足該時(shí)序信號(hào)產(chǎn)生部24的動(dòng)作時(shí)鐘的微小的延遲量，使基準(zhǔn)時(shí)鐘延遲。接著，微小延遲電路414將已延遲的基準(zhǔn)時(shí)鐘作為時(shí)序信號(hào)而輸出至外部。抖動(dòng)施加切換部416將自抖動(dòng)控制部26輸出的抖動(dòng)控制信號(hào)，切換輸出至第2相加器404或累加部406。抖動(dòng)施加切換部416根據(jù)自例如圖案生成部22及該測(cè)試裝置20的控制器等輸出的切換控制信號(hào)，來切換抖動(dòng)控制信號(hào)的輸出目的地。根據(jù)此種構(gòu)成的時(shí)序信號(hào)產(chǎn)生部24，可以輸出如下的時(shí)序信號(hào)，該時(shí)序信號(hào)已預(yù)先施加了與自抖動(dòng)控制部26輸出的抖動(dòng)控制信號(hào)相對(duì)應(yīng)的抖動(dòng)。此外，根據(jù)時(shí)序信號(hào)產(chǎn)生部24，由于通過第2相加器404來將抖動(dòng)控制信號(hào)施加至延遲數(shù)據(jù)，因而可以將與施加于前后測(cè)試周期的波形的抖動(dòng)無關(guān)的抖動(dòng)，施加至該測(cè)試周期的時(shí)序信號(hào)。亦即，根據(jù)時(shí)序信號(hào)產(chǎn)生部24，可以將瞬時(shí)的抖動(dòng)施加至?xí)r序信號(hào)。借此，根據(jù)抖動(dòng)控制部26，可以將如正弦波抖動(dòng)的由確定的原因產(chǎn)生的抖動(dòng)施加至測(cè)試信號(hào)。還有，根據(jù)時(shí)序信號(hào)產(chǎn)生部24，由于通過第3相加器410來將抖動(dòng)控制信號(hào)施加至累積延遲控制值，因而可以將經(jīng)累積相加的抖動(dòng)施加至?xí)r序信號(hào)。借此，根據(jù)抖動(dòng)控制部26，可以將模擬在振蕩信號(hào)的中心頻率附近產(chǎn)生的SSB噪聲的抖動(dòng)施加至?xí)r序信號(hào)。因此，根據(jù)抖動(dòng)控制部26，可以將以振蕩電路及PLL電路等的相位噪聲為主成分的抖動(dòng)施加至測(cè)試信號(hào)。以上內(nèi)容使用實(shí)施例說明了本發(fā)明，但本發(fā)明的保護(hù)范圍不受上述實(shí)施例所限定，任何熟悉本領(lǐng)域技術(shù)的人員都明白，在不脫離本發(fā)明的宗旨和范圍內(nèi)，可作多種多樣的變更改進(jìn)，因此，其變更或改進(jìn)均包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。2權(quán)利要求1.一種測(cè)試裝置，是對(duì)被測(cè)試器件進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試裝置，其特征在于所述測(cè)試裝置包括圖案生成部，產(chǎn)生用于規(guī)定應(yīng)供給至上述被測(cè)試器件的測(cè)試信號(hào)的測(cè)試圖案；時(shí)序信號(hào)產(chǎn)生部，產(chǎn)生表示將測(cè)試信號(hào)供給至上述被測(cè)試器件的時(shí)序的時(shí)序信號(hào)；數(shù)字濾波器，對(duì)所述測(cè)試圖案進(jìn)行濾波，輸出表示與所述測(cè)試圖案相對(duì)應(yīng)的抖動(dòng)的抖動(dòng)控制信號(hào)；抖動(dòng)施加部，根據(jù)所述抖動(dòng)控制信號(hào)而使所述時(shí)序信號(hào)延遲，借此將抖動(dòng)施加至所述時(shí)序信號(hào)；以及波形成形部，以施加了抖動(dòng)的所述時(shí)序信號(hào)為基準(zhǔn)，生成已形成所述測(cè)試圖案的測(cè)試信號(hào)。2.根據(jù)權(quán)利要求l所述的測(cè)試裝置，其特征在于還包括施加控制部，其輸入用于指定是否對(duì)所述時(shí)序信號(hào)施加抖動(dòng)的施加控制信號(hào)，當(dāng)被指定不施加抖動(dòng)時(shí)，將所述抖動(dòng)控制信號(hào)設(shè)為不施加抖動(dòng)的值。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試裝置，其特征在于還包括加法部，將表示與對(duì)應(yīng)于測(cè)試圖案的抖動(dòng)不同種類的抖動(dòng)的抖動(dòng)信號(hào)，與所述抖動(dòng)控制信號(hào)相加。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試裝置，其特征在于還包括隨機(jī)抖動(dòng)產(chǎn)生部，輸出表示隨機(jī)抖動(dòng)的隨機(jī)抖動(dòng)信號(hào)；以及加法部，將所述隨機(jī)抖動(dòng)信號(hào)與所述抖動(dòng)控制信號(hào)相加，所述隨機(jī)抖動(dòng)產(chǎn)生部包括線性反饋移位寄存器，包括規(guī)定段的移位寄存器，并自所述移位寄存器中末段的寄存器產(chǎn)生虛擬隨機(jī)信號(hào)；加法部，輸出相加值，所述相加值是將所述移位寄存器中所含的多個(gè)寄存器的比特値相加而獲得的值；半值減法部，輸出半值相減值，所述半值相減值是從所述相加值減去多個(gè)寄存器數(shù)的半值而獲得的值，所述多個(gè)寄存器用于儲(chǔ)存由所述加法部相加的比特値；以及隨機(jī)抖動(dòng)輸出部，輸出與所述半值相減值相對(duì)應(yīng)的所述隨機(jī)抖動(dòng)信號(hào)。5.—種測(cè)試裝置，是對(duì)被測(cè)試器件進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試裝置，其特征在于所述測(cè)試裝置包括信號(hào)輸出部，將測(cè)試信號(hào)輸出至所述被測(cè)試器件；信號(hào)輸入部，輸入根據(jù)所述測(cè)試信號(hào)而自所述被測(cè)試器件輸出的輸出信號(hào)；圖案生成部，產(chǎn)生用于規(guī)定應(yīng)自所述被測(cè)試器件輸出的輸出信號(hào)的預(yù)期值圖案；時(shí)序信號(hào)產(chǎn)生部，產(chǎn)生表示對(duì)所述預(yù)期值圖案與所述輸出信號(hào)進(jìn)行比較的時(shí)序的選通信號(hào)；數(shù)字濾波器，對(duì)所述預(yù)期值圖案進(jìn)行濾波，輸出表示與所述預(yù)期值圖案相對(duì)應(yīng)的抖動(dòng)的抖動(dòng)控制信號(hào)；抖動(dòng)施加部，根據(jù)所述抖動(dòng)控制信號(hào)而使所述選通信號(hào)延遲，以此來將抖動(dòng)施加至所述選通信號(hào)；以及比較部，以施加了抖動(dòng)的所述選通信號(hào)的時(shí)序，來對(duì)所述輸出信號(hào)與所述預(yù)期值圖案進(jìn)行比較。6.—種測(cè)試方法，是對(duì)被測(cè)試器件進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試方法，其特征在于所述測(cè)試方法包括產(chǎn)生測(cè)試圖案的階段，所述測(cè)試圖案用于規(guī)定應(yīng)供給至所述被測(cè)試器件的測(cè)試信號(hào)；產(chǎn)生時(shí)序信號(hào)的階段，所述時(shí)序信號(hào)表示將測(cè)試信號(hào)供給至所述被測(cè)試器件的時(shí)序；對(duì)所述測(cè)試圖案進(jìn)行濾波，并輸出表示與所述測(cè)試圖案相對(duì)應(yīng)的抖動(dòng)的抖動(dòng)控制信號(hào)的階段；根據(jù)所述抖動(dòng)控制信號(hào)而使所述時(shí)序信號(hào)延遲，由此來將抖動(dòng)施加至所述時(shí)序信號(hào)的階段；以及以施加了抖動(dòng)的所述時(shí)序信號(hào)為基準(zhǔn)，生成形成所述測(cè)試圖案的測(cè)試信號(hào)的階段。7.—種測(cè)試方法，其是對(duì)被測(cè)試器件進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試方法，其特征在于所述測(cè)試方法包括將測(cè)試信號(hào)輸出至所述被測(cè)試器件的階段；根據(jù)所述測(cè)試信號(hào)，輸入從所述被測(cè)試器件輸出的輸出信號(hào)的階段；產(chǎn)生預(yù)期值圖案的階段，所述預(yù)期值圖案用于規(guī)定應(yīng)自所述被測(cè)試器件輸出的輸出信號(hào)；產(chǎn)生選通信號(hào)的階段，所述選通信號(hào)表示對(duì)所述預(yù)期值圖案與所述輸出信號(hào)進(jìn)行比較的時(shí)序；對(duì)所述預(yù)期值圖案進(jìn)行濾波，并輸出表示與所述預(yù)期值圖案相對(duì)應(yīng)的抖動(dòng)的抖動(dòng)控制信號(hào)的階段；根據(jù)所述抖動(dòng)控制信號(hào)而使所述選通信號(hào)延遲，由此對(duì)所述選通信號(hào)施加抖動(dòng)的階段；以及在施加了抖動(dòng)的所述選通信號(hào)的時(shí)序中，對(duì)所述輸出信號(hào)與所述預(yù)期值圖案進(jìn)行比較的階段。全文摘要本發(fā)明提供一種測(cè)試裝置，是對(duì)被測(cè)試器件進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試裝置，包括產(chǎn)生用于規(guī)定應(yīng)供給至被測(cè)試器件的測(cè)試信號(hào)的測(cè)試圖案的圖案生成部；產(chǎn)生表示將測(cè)試信號(hào)供給至被測(cè)試器件時(shí)序的時(shí)序信號(hào)的時(shí)序信號(hào)產(chǎn)生部；對(duì)測(cè)試圖案進(jìn)行濾波，輸出表示與測(cè)試圖案相對(duì)應(yīng)的抖動(dòng)的抖動(dòng)控制信號(hào)的數(shù)字濾波器；根據(jù)抖動(dòng)控制信號(hào)而使時(shí)序信號(hào)延遲，借此將抖動(dòng)施加至?xí)r序信號(hào)的抖動(dòng)施加部；以及波形成形部，以施加了抖動(dòng)的時(shí)序信號(hào)為基準(zhǔn)，生成已形成測(cè)試圖案的測(cè)試信號(hào)。文檔編號(hào)G01R31/3183GK101657731SQ20088001237公開日2010年2月24日申請(qǐng)日期2008年4月21日優(yōu)先權(quán)日2007年4月24日發(fā)明者岡安俊幸,渡邊大輔申請(qǐng)人:愛德萬測(cè)試株式會(huì)社