專利名稱：缺陷檢測(cè)裝置及缺陷檢測(cè)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及檢測(cè)存在于液晶玻璃基板等檢查對(duì)象物的表面上的缺陷的缺陷檢測(cè)裝置及缺陷檢測(cè)方法。
本申請(qǐng)根據(jù)2007年1月16日在日本申請(qǐng)的日本特愿2007-6766號(hào)主張優(yōu)先權(quán)，并將其內(nèi)容引用于本申請(qǐng)。
背景技術(shù)：
以往，公知有用照相機(jī)拍攝液晶玻璃基板等檢査對(duì)象物，使用圖像處理來(lái)檢查檢查對(duì)象物上是否有缺陷的缺陷檢測(cè)裝置(缺陷檢査裝置)。例如在專利文獻(xiàn)1中公開(kāi)了以下內(nèi)容為了更詳細(xì)地檢測(cè)缺陷，根據(jù)拍攝檢査對(duì)象物而得到的圖像數(shù)據(jù)檢測(cè)檢查對(duì)象物上的明暗缺陷，并且通過(guò)對(duì)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行微分處理來(lái)檢測(cè)檢查對(duì)象物的邊緣和微小的缺陷，還進(jìn)行積分圖像的微分處理來(lái)檢測(cè)低對(duì)比度的明暗缺陷，從而得到缺陷的綜合信息。
此外，通過(guò)一邊在一個(gè)方向上移動(dòng)基板一邊從多個(gè)噴嘴向基板上噴出抗蝕劑的液體，來(lái)對(duì)液晶玻璃基板涂布抗蝕劑。此時(shí)，有時(shí)會(huì)由于噴出噴嘴的不合格等，產(chǎn)生沿基板的移動(dòng)方向直線狀延伸的線狀缺陷(線不勻、筋狀缺陷)。公知有使用了與這種線狀缺陷等對(duì)應(yīng)、并且運(yùn)算量較少的高效的投影運(yùn)算的檢測(cè)方法(例如參照專利文獻(xiàn)2)。專利文獻(xiàn)1日本特開(kāi)2000-36044號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2日本特開(kāi)2001-101388號(hào)公報(bào)但是，在現(xiàn)有技術(shù)的線狀缺陷的檢測(cè)方法中，具有以下的問(wèn)題。圖13A示出了拍攝液晶玻璃基板而得到的圖像。在液晶玻璃基板的圖像1300中，產(chǎn)生了線狀缺陷1301和點(diǎn)缺陷1302。線狀缺陷1301在圖像內(nèi)一般是比背景亮度高或亮度低的、對(duì)比度較低的部分。點(diǎn)缺陷1302是由于灰塵附著到基板的表面等而產(chǎn)生的，在圖像內(nèi)比背景亮度高或亮度低。
在該圖像1300的X方向的各像素位置上，計(jì)算在Y方向上排成一列的各像素的像素值的加法運(yùn)算值，如圖13B所示，生成以該加法運(yùn)算值為要素值的投影數(shù)據(jù)1303。在該投影數(shù)據(jù)1303的分布中，橫軸表示圖13A的X方向上的像素位置，縱軸表示像素值的加法運(yùn)算值。
在投影數(shù)據(jù)1303中，與存在線狀缺陷1301和點(diǎn)缺陷1302的像素位置對(duì)應(yīng)地產(chǎn)生峰值1304和1305。通過(guò)檢測(cè)該峰值，能夠檢測(cè)出缺陷，但是峰值1304和1305的形狀非常相似，因此僅檢測(cè)出了峰值，還不能判別該峰值是由于線狀缺陷引起的，還是由除其以外的缺陷引起的。由此，在上述方法中，具有難以高精度地檢測(cè)線狀缺陷的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明正是鑒于上述問(wèn)題而完成的，其目的在于提供一種能夠高精度地檢測(cè)檢査對(duì)象物上的線狀缺陷的缺陷檢測(cè)裝置及缺陷檢測(cè)方法。
本發(fā)明涉及的缺陷檢測(cè)裝置具有加法運(yùn)算值計(jì)算單元，其對(duì)在拍攝檢査對(duì)象物而得到的圖像的預(yù)定方向上排列的各像素的像素值的加法運(yùn)算值進(jìn)行計(jì)算；指標(biāo)值計(jì)算單元，其對(duì)表示在所述圖像的所述預(yù)定方向上排列的各像素的像素值的一致性的指標(biāo)值進(jìn)行計(jì)算；加法運(yùn)算值校正單元，其根據(jù)所述指標(biāo)值校正所述加法運(yùn)算值；以及判定單元，其根
據(jù)校正后的所述加法運(yùn)算值和閾值的比較結(jié)果，判定所述檢查對(duì)象物上是否有線狀缺陷。
此外，本發(fā)明涉及的缺陷檢測(cè)方法具有對(duì)在拍攝檢查對(duì)象物而得
到的圖像的預(yù)定方向上排列的各像素的像素值的加法運(yùn)算值進(jìn)行計(jì)算的
步驟；對(duì)表示在所述圖像的所述預(yù)定方向上排列的各像素的像素值的一致性的指標(biāo)值進(jìn)行計(jì)算的步驟；根據(jù)所述指標(biāo)值校正所述加法運(yùn)算值的步驟；以及根據(jù)校正后的所述加法運(yùn)算值和閾值的比較結(jié)果，判定所述檢査對(duì)象物上是否有線狀缺陷的步驟。
在線狀缺陷的方向大致沿著上述預(yù)定方向的情況下，如果在該預(yù)定方向上排列的各像素存在線狀缺陷，則這些像素的像素值的一致性比較高。此外，如果在該預(yù)定方向上排列的各像素存在線狀缺陷以外的缺陷(點(diǎn)缺陷等)，則這些像素的像素值的一致性比較低。由此，通過(guò)根據(jù)表示在圖像的預(yù)定方向上排列的各像素的像素值的一致性的指標(biāo)值來(lái)校正加法運(yùn)算值，能夠降低線狀缺陷以外的缺陷對(duì)加法運(yùn)算值的影響。
根據(jù)本發(fā)明，能夠得到如下效果通過(guò)根據(jù)降低了線狀缺陷以外的缺陷的影響后的加法運(yùn)算值和閾值的比較結(jié)果判定是否有線狀缺陷，能夠高精度地檢測(cè)檢查對(duì)象物上的線狀缺陷。


圖1是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的缺陷檢查裝置的結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖。
圖2是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的缺陷檢査裝置具有的圖像處理裝置的結(jié)構(gòu)的框圖。
圖3是用于說(shuō)明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中的缺陷檢査處理的步驟的說(shuō)明圖。
圖4是用于說(shuō)明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中的投影數(shù)據(jù)和標(biāo)準(zhǔn)方差數(shù)據(jù)的生成方法的說(shuō)明圖。
圖5A是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中的明暗度校正處理引起的投影數(shù)據(jù)的變化情況的參考圖。
圖5B是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中的明暗度校正處理引起的投影數(shù)據(jù)的變化情況的參考圖。
圖5C是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中的明暗度校正處理引起的投影數(shù)據(jù)的變化情況的參考圖。
圖5D是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中的明暗度校正處理引起的投影數(shù)據(jù)的變化情況的參考圖。
圖6A是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中的對(duì)投影數(shù)據(jù)的校正情況的參考圖。
圖6B是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中的對(duì)投影數(shù)據(jù)的校正情況的參考圖。
圖6C是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中的對(duì)投影數(shù)據(jù)的校正情況的
參考圖。
圖6D是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中的對(duì)投影數(shù)據(jù)的校正情況的參考圖。
圖7是用于說(shuō)明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式(第1變形例)中的缺陷檢測(cè)處理的步驟的說(shuō)明圖。
圖8A是用于說(shuō)明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式(第1變形例)中的綜合線狀缺陷的檢測(cè)結(jié)果的處理的內(nèi)容的說(shuō)明圖。
圖8B是用于說(shuō)明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式(第1變形例)中的綜合線狀缺陷的檢測(cè)結(jié)果的處理的內(nèi)容的說(shuō)明圖。
圖8C是用于說(shuō)明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式(第1變形例)中的綜合線狀缺陷的檢測(cè)結(jié)果的處理的內(nèi)容的說(shuō)明圖。
圖8D是用于說(shuō)明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式(第1變形例)中的綜合線狀缺陷的檢測(cè)結(jié)果的處理的內(nèi)容的說(shuō)明圖。
圖9是用于說(shuō)明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式(第3變形例)中的濃度關(guān)聯(lián)矩陣的說(shuō)明圖。
圖IOA是用于說(shuō)明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式(第3變形例)中的濃度關(guān)聯(lián)矩陣的生成方法的說(shuō)明圖。
圖IOB是用于說(shuō)明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式(第3變形例)中的濃度關(guān)聯(lián)矩陣的生成方法的說(shuō)明圖。
圖11是用于說(shuō)明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式(第3變形例)中的缺陷檢測(cè)處理的步驟的說(shuō)明圖。
圖12A是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式(第3變形例)中的缺陷檢測(cè)處理的一個(gè)例子的參考圖。
圖12B是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式(第3變形例)中的缺陷檢測(cè)處理的一個(gè)例子的參考圖。
圖13A是用于說(shuō)明現(xiàn)有技術(shù)的線狀缺陷的檢測(cè)方法的說(shuō)明圖。
圖13B是用于說(shuō)明現(xiàn)有技術(shù)的線狀缺陷的檢測(cè)方法的說(shuō)明圖。符號(hào)說(shuō)明
1:輸送裝置；2:照明裝置；3:線性傳感器照相機(jī)；4:圖像處理 裝置；5:輸送控制裝置；6:顯示器；7:檢查對(duì)象物；8:控制裝置； 41:圖像輸入部；42:圖像處理部；43:存儲(chǔ)部；44:數(shù)據(jù)輸出部。
具體實(shí)施例方式
以下，參照

本發(fā)明的實(shí)施方式。圖1表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí) 施方式的缺陷檢査裝置的結(jié)構(gòu)。本實(shí)施方式的缺陷檢査裝置具有輸送裝 置l、照明裝置2、線性傳感器照相機(jī)3、圖像處理裝置4 (與本發(fā)明的 缺陷檢測(cè)裝置對(duì)應(yīng))、輸送控制裝置5以及顯示器6。假定該缺陷檢査裝 置檢查的對(duì)象即檢査對(duì)象物7是液晶玻璃基板。
輸送裝置1輸送檢査對(duì)象物7,使其在恒定方向(圖1的A方向) 上移動(dòng)。該輸送裝置1例如是氣浮臺(tái)，通過(guò)從檢査對(duì)象物7的下面吹送 空氣，能夠在使檢查對(duì)象物7浮起的狀態(tài)下保持檢查對(duì)象物7的一邊使 其在恒定方向上移動(dòng)。照明裝置2照明檢査對(duì)象物7。線性傳感器照相機(jī) 3由在與檢查對(duì)象物7的移動(dòng)方向垂直的方向上排列的例如1024個(gè)受光 元件構(gòu)成，取入來(lái)自檢查對(duì)象物7的反射光或散射光來(lái)拍攝檢查對(duì)象物7 的表面，生成攝像信號(hào)。
圖像處理裝置4根據(jù)從線性傳感器照相機(jī)3按照每條線輸入的攝像 信號(hào)生成二維圖像數(shù)據(jù)，通過(guò)圖像處理，進(jìn)行檢測(cè)檢查對(duì)象物7上的缺 陷的缺陷檢測(cè)處理。在本實(shí)施方式的缺陷檢測(cè)處理中，假定檢測(cè)線狀缺 陷，但是，也可以在按照每個(gè)預(yù)定范圍劃分圖像數(shù)據(jù)而在各分區(qū)內(nèi)進(jìn)行 積分后，通過(guò)取各分區(qū)的積分值的差分來(lái)進(jìn)行微分，檢測(cè)低對(duì)比度的明 暗缺陷，或者通過(guò)微分系的濾波處理來(lái)檢測(cè)邊緣和微小的缺陷，作為微 濾處理。
輸送控制裝置5控制輸送裝置1對(duì)檢查對(duì)象物7的輸送。顯示器6 對(duì)圖像處理裝置4的缺陷檢測(cè)處理的結(jié)果和檢查對(duì)象物7的圖像等進(jìn)行 顯示。在本實(shí)施方式中，圖像處理裝置4和輸送控制裝置5 (或者還包括 顯示器6)是分開(kāi)的裝置，但是它們都設(shè)置在控制裝置8內(nèi)。該控制裝置8具有控制照明裝置2和線性傳感器照相機(jī)3的角度(圖1的角度ei和
e2)的功能。
圖2表示圖像處理裝置4的功能結(jié)構(gòu)。該圖像處理裝置4具有圖像 輸入部41、圖像處理部42、存儲(chǔ)部43以及數(shù)據(jù)輸出部44。圖像輸入部 41對(duì)從線性傳感器照相機(jī)3按照每條線輸入的攝像信號(hào)進(jìn)行A/D轉(zhuǎn)換， 并綜合多條線的數(shù)據(jù)而生成二維的圖像數(shù)據(jù)。圖像處理部42通過(guò)使用了 所生成的圖像數(shù)據(jù)的缺陷檢測(cè)處理來(lái)檢測(cè)缺陷。
存儲(chǔ)部43對(duì)由圖像輸入部41生成的檢查對(duì)象物7的圖像數(shù)據(jù)和表 示圖像處理部42的缺陷檢測(cè)處理的結(jié)果的數(shù)據(jù)進(jìn)行存儲(chǔ)。數(shù)據(jù)輸出部44 將表示缺陷檢測(cè)處理的結(jié)果的數(shù)據(jù)和檢查對(duì)象物7的圖像數(shù)據(jù)輸出到圖1 的顯示器6。
接著，對(duì)本實(shí)施方式的缺陷檢測(cè)處理的步驟(圖像處理部42的動(dòng)作 步驟)進(jìn)行說(shuō)明。圖3表示該步驟。首先，由二維的圖像數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為一 維的投影數(shù)據(jù)，進(jìn)行投影運(yùn)算(步驟S301)(與本發(fā)明的加法運(yùn)算值計(jì)算 單元的功能對(duì)應(yīng))。投影運(yùn)算是指針對(duì)圖像數(shù)據(jù)，對(duì)在同一方向上排列的 所有像素的像素值進(jìn)行加法運(yùn)算的運(yùn)算。
如圖4所示，通過(guò)圖像數(shù)據(jù)形成的圖像400由m行n列的像素構(gòu)成， 假定線狀缺陷從圖像400的上端到下端沿Y方向產(chǎn)生。在投影運(yùn)算中， 通過(guò)對(duì)X方向的像素位置相同、在Y方向上排成一列的所有像素的像素 值進(jìn)行加法運(yùn)算，計(jì)算投影數(shù)據(jù)的要素值(加法運(yùn)算值)。
艮P，當(dāng)將處于第i行第j列的位置的像素的像素值設(shè)為A (i， j)、投
影數(shù)據(jù)的要素值設(shè)為B (1)， B (2)，…，B (n)時(shí)，通過(guò)以下的式(1)
計(jì)算投影數(shù)據(jù)的第i個(gè)要素值B (i)。由此，通過(guò)將二維的圖像數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換
為一維的投影數(shù)據(jù)，能夠期待處理的高速化。
<formula>formula see original document page 8</formula>
接著投影運(yùn)算，進(jìn)行明暗度校正處理。圖5A 5D表示明暗度校正 處理引起的投影數(shù)據(jù)的變化情況。假定在拍攝檢查對(duì)象物而得到的圖像 500中，產(chǎn)生了線狀缺陷501和點(diǎn)缺陷502。在上述投影數(shù)據(jù)中，包括由 于照明不勻等的影響而產(chǎn)生的明暗度的影響。例如，在圖5B所示的投影數(shù)據(jù)510中，除了線狀缺陷501和點(diǎn)缺陷502引起的峰值511和512之 外，還產(chǎn)生了明暗度的影響引起的峰值513和514。
在檢測(cè)線狀缺陷的處理中，對(duì)投影數(shù)據(jù)的各要素值和預(yù)定的閾值進(jìn) 行比較，在要素值超過(guò)閾值的情況下，判定為存在線狀缺陷。因此，在 針對(duì)投影數(shù)據(jù)510通過(guò)與閾值515的比較而進(jìn)行了線狀缺陷的檢測(cè)處理 的情況下，產(chǎn)生除了線狀缺陷501引起的峰值511之外，還將明暗度的 影響引起的峰值513錯(cuò)誤檢測(cè)為線狀缺陷的問(wèn)題。
因此，針對(duì)投影數(shù)據(jù)實(shí)施平滑化處理(步驟S302)。在平滑化處理 中，將以投影數(shù)據(jù)的關(guān)注要素(例如為第i個(gè)要素)為中心的預(yù)定范圍內(nèi) 的要素(例如從第i一N個(gè)到第i+N個(gè)的要素)的值的例如平均值設(shè)為 其關(guān)注要素的值。由此，能夠生成消除了圖5B的投影數(shù)據(jù)510中的峰值 部分后的圖5C的明暗度校正數(shù)據(jù)520。
在進(jìn)行了平滑化處理后，通過(guò)計(jì)算投影數(shù)據(jù)和明暗度校正數(shù)據(jù)的差 分，生成降低了明暗度的影響后的投影數(shù)據(jù)530 (步驟S303)。在取圖5B 的投影數(shù)據(jù)510和圖5C的明暗度校正數(shù)據(jù)520的差分而得到的圖5D的 投影數(shù)據(jù)530中，明暗度的影響引起的照明不勻的峰值變小，因此能夠 判定為在與峰值531和532對(duì)應(yīng)的像素位置上存在缺陷。
但是，在投影數(shù)據(jù)530上，除了線狀缺陷501引起的峰值531之外， 還產(chǎn)生了點(diǎn)缺陷502引起的峰值532，因此僅通過(guò)對(duì)投影數(shù)據(jù)530的要素 值和閾值進(jìn)行比較，會(huì)將峰值532也錯(cuò)誤檢測(cè)為線狀缺陷引起的峰值。 因此，在本實(shí)施方式中，在步驟S301 S303的處理后、或者與這些處理 并行地進(jìn)行步驟S304 S306的處理，生成由表示像素值一致性的指標(biāo)值 的一種的標(biāo)準(zhǔn)方差值構(gòu)成的標(biāo)準(zhǔn)方差數(shù)據(jù)，如后所述降低錯(cuò)誤檢測(cè)。
在步驟S304中，通過(guò)對(duì)圖像的X方向的像素位置相同、在Y方向 上排成一列的所有像素的像素值的標(biāo)準(zhǔn)方差值進(jìn)行計(jì)算，計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)方差 數(shù)據(jù)的要素值(與本發(fā)明的指標(biāo)值計(jì)算單元的功能對(duì)應(yīng))。即，在與圖4 同樣的條件下，將標(biāo)準(zhǔn)方差數(shù)據(jù)的要素值設(shè)為C (1)， C (2)，…，C (n) 時(shí)，通過(guò)以下的式(2)計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)方差數(shù)據(jù)的第i個(gè)要素值C (i)。其中， p是A (1， i)， A (2， i)，…，A (m， i)的平均值。式1
如果在圖4的Y方向上排成一列的像素上存在線狀缺陷，則這些像 素的像素值的方差(標(biāo)準(zhǔn)方差值)變得比較低(即一致性變得比較高)。 此外，如果在Y方向上排成一列的像素上存在點(diǎn)缺陷，則這些像素的像 素值的方差(標(biāo)準(zhǔn)方差值)變得比較高(即一致性變得比較低)。由此， 通過(guò)根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)方差數(shù)據(jù)校正投影數(shù)據(jù)，能夠降低點(diǎn)缺陷對(duì)投影數(shù)據(jù)的影 響。
接著標(biāo)準(zhǔn)方差數(shù)據(jù)的生成，針對(duì)標(biāo)準(zhǔn)方差數(shù)據(jù)實(shí)施平滑化處理來(lái)生 成明暗度校正數(shù)據(jù)(步驟S305)。并且，通過(guò)計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)方差數(shù)據(jù)和明暗度 校正數(shù)據(jù)的差分，生成降低了明暗度的影響后的標(biāo)準(zhǔn)方差數(shù)據(jù)(步驟 S306)。使用該標(biāo)準(zhǔn)方差數(shù)據(jù)，進(jìn)行對(duì)投影數(shù)據(jù)的校正(在本實(shí)施方式中 稱作加權(quán))。
圖6A 6D表示對(duì)投影數(shù)據(jù)的校正的情況。假定在拍攝檢查對(duì)象物 而得到的圖像600中產(chǎn)生了線狀缺陷601、 602和點(diǎn)缺陷603、 604。在圖 6B的投影數(shù)據(jù)610中，產(chǎn)生了這些缺陷引起的峰值611、 612、 613、 614。 在此，線狀缺陷601、 602的亮度和周邊的亮度稍微不同，但是通過(guò)像素 值的加法運(yùn)算，在投影數(shù)據(jù)610中，峰值611、 612的值分別成為與點(diǎn)缺 陷603、 604引起的峰值613、 614的值大致相等的值。
在圖6C的標(biāo)準(zhǔn)方差數(shù)據(jù)620中，產(chǎn)生了與點(diǎn)缺陷603、 604對(duì)應(yīng)的 峰值621、 622。由此，能夠判斷為在與標(biāo)準(zhǔn)方差數(shù)據(jù)620的峰值對(duì)應(yīng)的 X方向的像素位置上產(chǎn)生了點(diǎn)缺陷。在本實(shí)施方式中，針對(duì)投影數(shù)據(jù)進(jìn) 行對(duì)與標(biāo)準(zhǔn)方差數(shù)據(jù)的峰值對(duì)應(yīng)的投影數(shù)據(jù)的要素值的大小進(jìn)行降低的 加權(quán)。
首先，根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)方差數(shù)據(jù)生成由用于加權(quán)的系數(shù)值構(gòu)成的系數(shù)數(shù)據(jù) (步驟S307)。通過(guò)系數(shù)值與投影數(shù)據(jù)的要素值的乘法運(yùn)算進(jìn)行加權(quán)，因 此，標(biāo)準(zhǔn)方差值越大系數(shù)值越小，標(biāo)準(zhǔn)方差值越小系數(shù)值越大。在產(chǎn)生 了點(diǎn)缺陷的像素位置上的標(biāo)準(zhǔn)方差值比與沒(méi)有缺陷(或者產(chǎn)生了線狀缺
10陷)的像素位置對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)方差值大，因此產(chǎn)生了點(diǎn)缺陷的像素位置的 系數(shù)值變得更小。
例如，決定系數(shù)值，使得在標(biāo)準(zhǔn)方差值最小的像素位置上系數(shù)值為 1，在標(biāo)準(zhǔn)方差值最大的像素位置上系數(shù)值為0或比1小的微小的值(與 點(diǎn)缺陷對(duì)應(yīng)的投影數(shù)據(jù)的要素值變小那樣的0.1或0.01等值)。
作為該具體的例子，列舉了針對(duì)標(biāo)準(zhǔn)方差數(shù)據(jù)進(jìn)行如下的二值化處
理的情況。其中，將系數(shù)數(shù)據(jù)的要素值設(shè)為D (1)， D (2)，…，D (n)。 并且，dl是閾值(例如圖6C的閾值623)。
如果C (i) ^dl則0蕓D (0 <1 (其中，與點(diǎn)缺陷對(duì)應(yīng)的投影數(shù)據(jù) 的要素值是足夠小的值)
如果C (i) 〈d2則D (i) = 1
接著系數(shù)數(shù)據(jù)的生成，使用系數(shù)數(shù)據(jù)，對(duì)投影數(shù)據(jù)進(jìn)行加權(quán)(步驟 S308)(與本發(fā)明的加法運(yùn)算值校正單元的功能對(duì)應(yīng))。針對(duì)投影數(shù)據(jù)的 第i個(gè)要素值B (i)進(jìn)行加權(quán)，計(jì)算加權(quán)后的要素值B' (i)的式子成為 以下的(3)式。
B' (i) =B (i) XD (i) (3)
圖6D的投影數(shù)據(jù)630是進(jìn)行了加權(quán)后的投影數(shù)據(jù)。點(diǎn)缺陷603、 604 引起的峰值633、 634比進(jìn)行加權(quán)前的峰值613、 614的大小變小。由此， 在投影數(shù)據(jù)630中，降低了點(diǎn)缺陷603、 604的影響。通過(guò)將該投影數(shù)據(jù) 630的要素值與例如閾值635、 636進(jìn)行比較，能夠僅檢測(cè)線狀缺陷601、 602引起的峰值631、 632。
接著對(duì)投影數(shù)據(jù)的加權(quán)，進(jìn)行投影數(shù)據(jù)的要素值與閾值的比較的缺 陷檢測(cè)處理(步驟S309)(與本發(fā)明的判定單元的功能對(duì)應(yīng))。在設(shè)閾值 d2、 d2， (d2<d2，)時(shí)，在通過(guò)式(3)計(jì)算出的投影數(shù)據(jù)的第i個(gè)要素 值B， (i)在d2以下或d2以上的情況下，判定為關(guān)于圖4的X方向的像 素位置在第i個(gè)像素位置上存在線狀缺陷。并且，在B， (i)在從d2到 d2'的范圍內(nèi)的情況下，判定為在第i個(gè)像素位置上不存在線狀缺陷。
例如將投影數(shù)據(jù)的所有像素值B (1)， B (2)，…，B (n)的平均 值設(shè)為p，將標(biāo)準(zhǔn)方差值設(shè)為o,通過(guò)以下的式(4)和式(5)計(jì)算上述閾值d2、 d2，。其中，K是任意的正數(shù)，例如K-3。 d 2-m — c; XK (4)
d 2， " + (rXK … (5)
最后，在存儲(chǔ)部43中存儲(chǔ)上述缺陷檢測(cè)處理的結(jié)果(步驟S310)。 特別是，在判定為存在線狀缺陷的情況下，在存儲(chǔ)部43中存儲(chǔ)包括線狀 缺陷的坐標(biāo)值的數(shù)據(jù)。此外，根據(jù)需要，缺陷檢測(cè)處理的結(jié)果經(jīng)由數(shù)據(jù) 輸出部44輸出到圖1的顯示器6，并顯示結(jié)果。
根據(jù)上述缺陷檢測(cè)處理，根據(jù)降低了點(diǎn)缺陷的影響后的投影數(shù)據(jù)的 要素值和閾值的比較結(jié)果判定是否有線狀缺陷，由此能夠高精度地檢測(cè) 檢査對(duì)象物上的線狀缺陷。
接著，對(duì)本實(shí)施方式的第1變形例進(jìn)行說(shuō)明。在線狀缺陷上重疊了 點(diǎn)缺陷的情況下，在投影數(shù)據(jù)的分布上產(chǎn)生峰值，并且與產(chǎn)生了該峰值 的像素位置對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)方差值也變大，因此在上述缺陷檢測(cè)處理中，有 不能良好地檢測(cè)重疊了點(diǎn)缺陷的線狀缺陷的可能。與此相對(duì)在第1變形 例中，將圖像分割為多個(gè)區(qū)域以沿著線狀缺陷的方向排列多個(gè)區(qū)域，綜 合地判定各區(qū)域中的缺陷檢測(cè)結(jié)果來(lái)精度良好地檢測(cè)線狀缺陷。
以下，對(duì)第1變形例的缺陷檢測(cè)處理的步驟(圖像處理部42的動(dòng)作 步驟)進(jìn)行說(shuō)明。圖7表示該步驟。首先，將所輸入的圖像數(shù)據(jù)分割為 與通過(guò)該圖像數(shù)據(jù)形成的圖像內(nèi)的每個(gè)區(qū)域?qū)?yīng)的部分圖像數(shù)據(jù)(步驟 S701)(與本發(fā)明的區(qū)域分割單元的功能對(duì)應(yīng))。
例如，將圖像數(shù)據(jù)分割為3個(gè)部分圖像數(shù)據(jù)。圖8A表示該分割的情 況，通過(guò)將圖像數(shù)據(jù)分割為3個(gè)部分圖像數(shù)據(jù)，將由圖像數(shù)據(jù)整體形成 的圖像800例如分割為3個(gè)區(qū)域801、 802、 803。各區(qū)域的大小可以不均 等，分割數(shù)也不限于3。
接著上述區(qū)域的分割，按照每個(gè)區(qū)域生成投影數(shù)據(jù)(步驟S702)。 接著，通過(guò)針對(duì)投影數(shù)據(jù)實(shí)施平滑化處理來(lái)生成明暗度校正數(shù)據(jù)(步驟 S703)，并且通過(guò)計(jì)算投影數(shù)據(jù)和明暗度校正數(shù)據(jù)的差分，生成降低了明 暗度的影響后的投影數(shù)據(jù)(步驟S704)。針對(duì)各區(qū)域的投影數(shù)據(jù)還進(jìn)行步 驟S703、 S704的處理。此外，在步驟S702 S704的處理后、或者與這些處理并行地進(jìn)行步 驟S705 S707的處理，生成各區(qū)域的標(biāo)準(zhǔn)方差數(shù)據(jù)。在步驟S705中， 根據(jù)與各區(qū)域?qū)?yīng)的圖像數(shù)據(jù)的像素值計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)方差數(shù)據(jù)的要素值。
接著標(biāo)準(zhǔn)方差數(shù)據(jù)的生成，針對(duì)標(biāo)準(zhǔn)方差數(shù)據(jù)實(shí)施平滑化處理來(lái)生 成明暗度校正數(shù)據(jù)(步驟S706)。并且，通過(guò)計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)方差數(shù)據(jù)和明暗度 校正數(shù)據(jù)的差分，生成降低了明暗度的影響后的標(biāo)準(zhǔn)方差數(shù)據(jù)(步驟 S707)。針對(duì)各區(qū)域的標(biāo)準(zhǔn)方差數(shù)據(jù)還進(jìn)行步驟S706、 S707的處理。
接著，根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)方差數(shù)據(jù)生成系數(shù)數(shù)據(jù)(步驟S708)。并且，使用 系數(shù)數(shù)據(jù)對(duì)投影數(shù)據(jù)進(jìn)行加權(quán)(步驟S709)。接著該加權(quán)，進(jìn)行投影數(shù)據(jù) 的要素值與閾值的比較的缺陷檢測(cè)處理(步驟S710)。針對(duì)各區(qū)域的數(shù)據(jù) 還進(jìn)行步驟S708 S710的處理。
接著，綜合在步驟S710的缺陷檢測(cè)處理中得到的是否有線狀缺陷的 判定結(jié)果，進(jìn)行綜合地判定是否有線狀缺陷的綜合處理(步驟S7U)。最 后，在存儲(chǔ)部43中存儲(chǔ)缺陷檢測(cè)處理的結(jié)果(步驟S712)。
以下，對(duì)步驟S711的綜合處理的內(nèi)容進(jìn)行說(shuō)明。圖8B 8D的投影 數(shù)據(jù)810、 820、 830分別是在步驟S709中進(jìn)行了加權(quán)的投影數(shù)據(jù)。根據(jù) 區(qū)域801的像素值生成投影數(shù)據(jù)810，根據(jù)區(qū)域802的像素值生成投影數(shù) 據(jù)820，根據(jù)區(qū)域803的像素值生成投影數(shù)據(jù)830。
在圖8A的圖像800中，產(chǎn)生了線狀缺陷804、 805和點(diǎn)缺陷806、 807。在各投影數(shù)據(jù)的分布中，產(chǎn)生了這些缺陷引起的峰值。峰值812、 822、 832是線狀缺陷805引起的。峰值813是點(diǎn)缺陷807引起的。峰值 821、 831是線狀缺陷804引起的。并且，峰值811是線狀缺陷804和點(diǎn) 缺陷806引起的，但是通過(guò)加權(quán)降低了點(diǎn)缺陷806的影響，因此峰值811 與峰值821、 823相比變得相當(dāng)小。
當(dāng)對(duì)投影數(shù)據(jù)810、 820、 830的要素值和閾值814、 823、 833進(jìn)行 比較，并根據(jù)比較結(jié)果判定是否有線狀缺陷時(shí)，與圖8A的X方向的像 素位置P相關(guān)的各區(qū)域的判定結(jié)果是，區(qū)域801、 802、 803的任意一個(gè) 都有線狀缺陷。另一方面，與X方向的像素位置Q相關(guān)的各區(qū)域的判定 結(jié)果是，在區(qū)域802、 803中具有線狀缺陷，但是在區(qū)域801中沒(méi)有線狀缺陷。
在綜合處理中，綜合各區(qū)域的判定結(jié)果，生成整體的判定結(jié)果。例 如，在使具有線狀缺陷的判定結(jié)果與邏輯1對(duì)應(yīng)，使沒(méi)有線狀缺陷的判
定結(jié)果與邏輯0對(duì)應(yīng)的情況下，通過(guò)對(duì)各個(gè)區(qū)域801、 802、 803中的判 定結(jié)果(任意一個(gè)區(qū)域都有線狀缺陷)進(jìn)行邏輯運(yùn)算(OR運(yùn)算)，與像 素位置P相關(guān)的整體的判定結(jié)果是具有線狀缺陷。同樣地，通過(guò)對(duì)各個(gè) 區(qū)域801、 802、 803中的判定結(jié)果(在兩個(gè)區(qū)域中具有線狀缺陷，在一 個(gè)區(qū)域中沒(méi)有線狀缺陷)進(jìn)行邏輯運(yùn)算(OR運(yùn)算)，與像素位置Q相關(guān) 的整體的判定結(jié)果也是具有線狀缺陷。
由此，根據(jù)第1變形例，通過(guò)綜合按照每個(gè)區(qū)域進(jìn)行的投影數(shù)據(jù)的 要素值和閾值的比較處理的結(jié)果來(lái)判定是否有線狀缺陷，即使在線狀缺 陷上重疊了點(diǎn)缺陷的情況下，也能夠高精度地檢測(cè)檢查對(duì)象物上的線狀 缺陷。
接著，對(duì)本實(shí)施方式的第2變形例進(jìn)行說(shuō)明。在第2變形例中，使 用在統(tǒng)計(jì)紋理分析手法中使用的濃度關(guān)聯(lián)矩陣，計(jì)算表示像素值的一致 性的指標(biāo)值。通過(guò)在角度e的方向上從圖9所示的濃度i的像素R (坐標(biāo)
(xl， yl))離開(kāi)距離r的像素S (坐標(biāo)(x2， y2))的濃度是j的概率， 決定濃度關(guān)聯(lián)矩陣的要素。
例如，如圖10A所示，假定對(duì)由4x4的16像素構(gòu)成的圖像的濃度 (像素值)進(jìn)行二值化。在r二l、 9=90° (270°)的情況下，通過(guò)在圖像 內(nèi)上下相鄰的像素之間的關(guān)系，決定圖10B所示的濃度關(guān)聯(lián)矩陣的要素 值。
以下，將圖10A的第m行第n列的像素設(shè)為像素(m， n)，對(duì)濃度 關(guān)聯(lián)矩陣的生成方法進(jìn)行說(shuō)明。
首先，對(duì)濃度關(guān)聯(lián)矩陣的各要素值進(jìn)行初始化(設(shè)為0)。接著，將 左上的像素(1， 1)(濃度0)設(shè)為關(guān)注像素，根據(jù)與其下面的像素(2， 1)(濃度1)的關(guān)系，對(duì)濃度關(guān)聯(lián)矩陣的i二0、 j = l的要素值加1。接著， 將像素(1， 2)(濃度0)設(shè)為關(guān)注像素，根據(jù)與其下面的像素(2， 2) (濃度1)的關(guān)系，對(duì)濃度關(guān)聯(lián)矩陣的i-0、 j = l的要素值加1。接著，將像素(1， 3)(濃度0)設(shè)為關(guān)注像素，根據(jù)與其下面的像
素(2， 3)(濃度0)的關(guān)系，對(duì)濃度關(guān)聯(lián)矩陣的i-O、戶0的要素值加 1。接著，將像素(1， 4)(濃度l)設(shè)為關(guān)注像素，根據(jù)與其下面的像素 (2， 4)(濃度1)的關(guān)系，對(duì)濃度關(guān)聯(lián)矩陣的i-l、 j = l的要素值加1。 接著，將像素(2， 1)(濃度l)設(shè)為關(guān)注像素，根據(jù)與其下面的像 素(3， 1)(濃度l)的關(guān)系，對(duì)濃度關(guān)聯(lián)矩陣的i-l、 j二l的要素值加 1。此外，關(guān)于像素(2， 1)(濃度1)，還根據(jù)與其上面的像素(1， 1) (濃度0)的關(guān)系，對(duì)濃度關(guān)聯(lián)矩陣的i二l、 j二0的要素值加l。
同樣地，在使關(guān)注像素從左向右、從上向下移動(dòng)的同時(shí)，逐漸對(duì)濃 度關(guān)聯(lián)矩陣的要素值加1。在像素(4， 1)(濃度0)是關(guān)注像素的情況 下，根據(jù)與其上面的像素(3， 1)(濃度1)的關(guān)系，對(duì)濃度關(guān)聯(lián)矩陣的 i=0、 j = l的要素值加1。
在關(guān)注像素分別是像素(4， 2)、像素(4， 3)、像素(4， 4)的情 況下，同樣地對(duì)濃度關(guān)聯(lián)矩陣的要素值加1。
上述處理的結(jié)果是生成圖10B所示的濃度關(guān)聯(lián)矩陣。在上述說(shuō)明中， 雖然將各像素的濃度(像素值)設(shè)為二值，但是也可以是16值或256值， 只要按照濃度的灰度來(lái)決定濃度關(guān)聯(lián)矩陣的次數(shù)即可。
根據(jù)上述濃度關(guān)聯(lián)矩陣計(jì)算表示像素值的一致性的指標(biāo)值。將濃度 關(guān)聯(lián)矩陣設(shè)為P (r， e， i， j)，例如能夠?qū)⒁韵碌氖?6) 式(8)所示 的特征量用作指標(biāo)值。式2
N畫(huà)1N-1
AngularSecondMoment(r， 0= 22P(r，0丄J)2…(6)
i=0 j-0
式3
Contras輛-j;j>j)2P(r，"j)…(7)式4
15N-1N—I
Correlation(r， 0= -…(g)
此外，在濃度關(guān)聯(lián)矩陣中，通過(guò)組合相鄰像素的濃度(像素值)來(lái) 決定矩陣的要素值，因此，在存在低對(duì)比度的線狀缺陷的情況下，濃度 關(guān)聯(lián)矩陣的對(duì)角要素附近的值變大。與此相對(duì)，在存在點(diǎn)缺陷等的情況 下，在對(duì)角要素附近以外的要素值中也產(chǎn)生較大的值。因此，也可以計(jì) 算濃度關(guān)聯(lián)矩陣的對(duì)角像素的值的總和，用作表示像素值的一致性的指 標(biāo)值。
以下，對(duì)第2變形例的缺陷檢測(cè)處理的步驟(圖像處理部42的動(dòng)作 步驟)進(jìn)行說(shuō)明。圖11表示該步驟。與投影數(shù)據(jù)相關(guān)的步驟S1101 S1103 的處理例如與圖3的步驟S301 S303的處理相同，因此省略說(shuō)明。
步驟S1104 S1106的處理是與濃度關(guān)聯(lián)矩陣相關(guān)的處理。在步驟 S1104中，根據(jù)在圖像的Y方向上排成一列的所有像素的像素值生成濃 度關(guān)聯(lián)矩陣。更詳細(xì)而言，在圖像的X方向的各像素位置上生成濃度關(guān) 聯(lián)矩陣，生成將各像素位置的濃度關(guān)聯(lián)矩陣設(shè)為要素的濃度關(guān)聯(lián)矩陣數(shù) 據(jù)。
接著，根據(jù)所生成的濃度關(guān)聯(lián)矩陣計(jì)算特征量，生成將該特征量設(shè) 為要素值的特征量數(shù)據(jù)(步驟S1105)。此外，通過(guò)將特征量轉(zhuǎn)換成從0 到1的任意一個(gè)值來(lái)計(jì)算系數(shù)值，生成將該系數(shù)值設(shè)為要素值的系數(shù)數(shù) 據(jù)(步驟S1106)。將該系數(shù)值設(shè)為一致性越高越接近1、 一致性越低越 接近0的值。
接著，使用系數(shù)數(shù)據(jù)對(duì)投影數(shù)據(jù)進(jìn)行加權(quán)(步驟S1107)。接著該加 權(quán)，進(jìn)行投影數(shù)據(jù)的要素值與閾值的比較的缺陷檢測(cè)處理(步驟S1108)。 最后，在存儲(chǔ)部43中存儲(chǔ)缺陷撿測(cè)處理的結(jié)果(步驟S1109)。
圖12A和圖12B表示第3變形例的缺陷檢測(cè)處理的一個(gè)例子。在圖 像1200中，產(chǎn)生了線狀缺陷1201和點(diǎn)缺陷1202。如圖12A所示，在X 方向的像素位置上，根據(jù)在Y方向上排列的h個(gè)像素的像素值計(jì)算投影數(shù)據(jù)的要素值和濃度關(guān)聯(lián)矩陣的要素值。并且，根據(jù)濃度關(guān)聯(lián)矩陣計(jì)算 特征量，根據(jù)該特征量計(jì)算系數(shù)值。
如圖12B的系數(shù)數(shù)據(jù)1203所示，與Y方向的像素之間的一致性高 的區(qū)域(包括產(chǎn)生了線狀缺陷1201的區(qū)域)對(duì)應(yīng)的系數(shù)值是大致恒定值。 另一方面，由于點(diǎn)缺陷1202的存在，與Y方向的像素之間的一致性低的 區(qū)域?qū)?yīng)的系數(shù)值變小。當(dāng)使用系數(shù)數(shù)據(jù)1203對(duì)投影數(shù)據(jù)進(jìn)行加權(quán)時(shí)， 與產(chǎn)生了點(diǎn)缺陷1202的區(qū)域?qū)?yīng)的投影數(shù)據(jù)的要素值的大小變小，因此 在基于投影數(shù)據(jù)的要素值和閾值的比較的、是否有線狀缺陷的判定處理 中，不會(huì)在產(chǎn)生了點(diǎn)缺陷1202的區(qū)域中錯(cuò)誤檢測(cè)出線狀缺陷。
由此，根據(jù)第2變形例，與使用了標(biāo)準(zhǔn)方差值作為表示像素值的一 致性的指標(biāo)值的情況相同，通過(guò)根據(jù)降低了點(diǎn)缺陷的影響后的投影數(shù)據(jù) 的要素值和閾值的比較結(jié)果來(lái)判定是否有線狀缺陷，能夠高精度地檢測(cè) 檢査對(duì)象物上的線狀缺陷。在第2變形例中，也可以如第l變形例所示， 將拍攝檢查對(duì)象物而得到的圖像分割為多個(gè)區(qū)域，按照每個(gè)區(qū)域進(jìn)行上 述處理。
以上，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了詳細(xì)敘述，但是具體的 結(jié)構(gòu)不限于上述實(shí)施方式，也包括在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)的設(shè) 計(jì)變更等。
例如，也可以如下所示。在圖像數(shù)據(jù)中包括在線性傳感器照相機(jī)中 使用的傳感器的靈敏度不勻等的影響造成的噪聲。當(dāng)線狀缺陷的對(duì)比度 較低而在圖像數(shù)據(jù)中包括噪聲時(shí)，成為錯(cuò)誤檢測(cè)的原因。因此，也可以 在生成投影數(shù)據(jù)前，針對(duì)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行以去除噪聲為目的的平滑化濾波 處理。
由此，能夠進(jìn)行穩(wěn)定的缺陷檢測(cè)處理。
此外，作為缺陷檢測(cè)處理整體，也可以在基于現(xiàn)有的檢測(cè)二維缺陷 的相鄰比較法、和取檢查對(duì)象物的圖像和參照?qǐng)D像的差分進(jìn)行二值化來(lái) 提取缺陷的方法等進(jìn)行的處理前或處理后，進(jìn)行本發(fā)明的缺陷檢測(cè)處理。 此外，還可以與本發(fā)明的缺陷檢測(cè)處理并行地進(jìn)行現(xiàn)有的缺陷檢測(cè)處理。
產(chǎn)業(yè)上的可利用性根據(jù)本發(fā)明，通過(guò)根據(jù)降低了線狀缺陷以外的缺陷的影響后的加法 運(yùn)算值和閾值的比較結(jié)果來(lái)判定是否有線狀缺陷，能夠高精度地檢測(cè)檢 查對(duì)象物上的線狀缺陷。
權(quán)利要求
1.一種缺陷檢測(cè)裝置，其特征在于，該缺陷檢測(cè)裝置具有加法運(yùn)算值計(jì)算單元，其對(duì)在拍攝檢查對(duì)象物而得到的圖像的預(yù)定方向上排列的各像素的像素值的加法運(yùn)算值進(jìn)行計(jì)算；指標(biāo)值計(jì)算單元，其對(duì)表示在所述圖像的所述預(yù)定方向上排列的各像素的像素值的一致性的指標(biāo)值進(jìn)行計(jì)算；加法運(yùn)算值校正單元，其根據(jù)所述指標(biāo)值校正所述加法運(yùn)算值；以及判定單元，其根據(jù)校正后的所述加法運(yùn)算值和閾值的比較結(jié)果，判定所述檢查對(duì)象物上是否有線狀缺陷。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的缺陷檢測(cè)裝置，其特征在于， 所述缺陷檢測(cè)裝置還具有區(qū)域分割單元，所述區(qū)域分割單元將所述圖像分割為多個(gè)區(qū)域，使得在所述預(yù)定方向上至少排列2個(gè)區(qū)域，所述判定單元通過(guò)綜合在所述預(yù)定方向上排列的各個(gè)區(qū)域中校正后 的所述加法運(yùn)算值和所述閾值的比較結(jié)果，來(lái)判定是否有所述線狀缺陷。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的缺陷檢測(cè)裝置，其特征在于， 所述指標(biāo)值計(jì)算單元對(duì)在所述圖像的所述預(yù)定方向上排列的各像素的像 素值的標(biāo)準(zhǔn)方差值進(jìn)行計(jì)算，作為所述指標(biāo)值。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的缺陷檢測(cè)裝置，其特征在于， 所述指標(biāo)值計(jì)算單元使用基于在所述圖像的所述預(yù)定方向上排列的各像 素的像素值的濃度關(guān)聯(lián)矩陣來(lái)計(jì)算所述指標(biāo)值。
5. —種缺陷檢測(cè)方法，其特征在于，該缺陷檢測(cè)方法具有 對(duì)在拍攝檢查對(duì)象物而得到的圖像的預(yù)定方向上排列的各像素的像素值的加法運(yùn)算值進(jìn)行計(jì)算的步驟；對(duì)表示在所述圖像的所述預(yù)定方向上排列的各像素的像素值的一致性的指標(biāo)值進(jìn)行計(jì)算的步驟；根據(jù)所述指標(biāo)值校正所述加法運(yùn)算值的步驟；以及 根據(jù)校正后的所述加法運(yùn)算值和閾值的比較結(jié)果，判定所述檢査對(duì)象物上是否有線狀缺陷的步驟。
全文摘要
本發(fā)明提供一種缺陷檢測(cè)裝置，該缺陷檢測(cè)裝置具有加法運(yùn)算值計(jì)算單元，其對(duì)在拍攝檢查對(duì)象物而得到的圖像的預(yù)定方向上排列的各像素的像素值的加法運(yùn)算值進(jìn)行計(jì)算；指標(biāo)值計(jì)算單元，其對(duì)表示在所述圖像的所述預(yù)定方向上排列的各像素的像素值的一致性的指標(biāo)值進(jìn)行計(jì)算；加法運(yùn)算值校正單元，其根據(jù)所述指標(biāo)值校正所述加法運(yùn)算值；以及判定單元，其根據(jù)校正后的所述加法運(yùn)算值和閾值的比較結(jié)果，判定所述檢查對(duì)象物上是否有線狀缺陷。
文檔編號(hào)G01N21/88GK101600957SQ200880002158
公開(kāi)日2009年12月9日 申請(qǐng)日期2008年1月16日 優(yōu)先權(quán)日2007年1月16日
發(fā)明者山崎隆一 申請(qǐng)人:奧林巴斯株式會(huì)社