專利名稱：用于同定型x熒光光譜儀的固定元素道分光器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種利用x射線進行材料分析的測量設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其 是其中用于同定型x熒光光譜儀的固定元素道分光器。
背景技術(shù)：
多元素同時測定型X熒光光譜儀(以下簡稱同定型WDXRFS)的真空測 量室周邊安裝了若干個固定元素道分光器。現(xiàn)有的固定元素道分光器按照分 光晶體的種類劃分可以分為平晶型和彎晶型，被X光管射線照射后樣品中的 不同元素發(fā)出各自的特征X射線，其波長X互不相同，這些X射線以0角投 射到分光晶體的表面上，其中只有波長X符合Bragg公式"=2^&>^的元素 特征X射線才能以同一 e角被分光晶體反射和聚焦，并被探測儀器檢測。根 據(jù)所檢測到的該元素特征X射線的強度即可計算樣品中該元素的含量，其它 元素的特征X射線因其波長不符合Bragg公式而被吸收。
公知的固定元素道晶體分光器中只能安裝一塊分光晶體，并且只有一條 單通道光路，只能測定某一種固定的元素，因此同定型WDXRFS可以同時測 量的元素種類與所安裝的分光器數(shù)量相同。由于安裝空間的限制，在直徑一 定的真空測量室周邊可以安裝的分光器數(shù)量有限，因此儀器可以同時測定的 元素種類受到限制?，F(xiàn)有的功率《200W的小型多道WDXRFS儀器中最多可 安裝12個公知的分光器，即最多可同時測定12種元素。為了增加可測定元素 的種類，不得不加大真空測量室的直徑，導(dǎo)致樣品至晶體的光程長度增加， 由于檢測到的X射線強度與光程長度成反比，因此為了保證元素的分析精度， 必須加大儀器的功率，即便如此，在功率^2000W的大型多道WDXRFS儀器 中，最多也只能安裝約30個公知的分光器，而且此時儀器中已顯得十分擁擠， 安裝、調(diào)試和維修均已相當(dāng)困難。
申請?zhí)枮镃N200610113280.2、公開號為CN101149351的中國發(fā)明專利"一 種用于同定型X熒光光譜儀的固定元素道分光器"，公布了一種同時具有兩條 彎晶衍射光路的分光器；申請?zhí)枮镃N200610113279.X的中國發(fā)明專利"用于 同定型X熒光光譜儀的固定元素道分光器"，公布了一種同時具有一條彎晶衍 射光路及一條平晶衍射光路的分光器。采用以上二種結(jié)構(gòu)的分光器可同時測定的元素種類成被增加，從而擴大儀器的應(yīng)用范圍；同時能夠減少分光器的 數(shù)量和減小真空測量室的直徑，從而使儀器結(jié)構(gòu)大為簡化，降低制造成本。
然而，采用彎晶分光，彎晶的成本較高，使得整個分光器的造價昂貴，并 且目前市場上還沒有一種具有兩條直晶衍射光路的分光器。
發(fā)明內(nèi)容
本實用新型目的就是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足而提供一種具有兩條直晶 衍射光路的分光器。
為達到上述目的，本實用新型采用的技術(shù)方案是 一種用于同定型X熒光 光譜儀的固定元素道分光器，它包括入射管組件、與入射管組件的尾部連接的 分光盒組件、與分光盒組件連接的出射管組件，所述的分光盒組件包括盒體以 及安裝在所述的盒體內(nèi)部的平晶組件，所述的平晶組件包括平晶、晶體托板及 角度調(diào)節(jié)機構(gòu)；
所述的入射管組件的通道內(nèi)安裝有一次準(zhǔn)直器；
所述的出射管組件的通道內(nèi)安裝有二次準(zhǔn)直器；
所述的盒體內(nèi)并排設(shè)置有兩組所述的平晶組件，所述的出射管組件為與所 述的平晶組件相對應(yīng)的兩組；
兩組所述的平晶組件及出射管組件構(gòu)成兩條獨立的衍射光路，每條所述的 衍射光路中，入射角和出射角相等。
所述的一次準(zhǔn)直器和二次準(zhǔn)直器均為平板準(zhǔn)直器，二者的濾光片的材料為鉬。
兩組所述的出射管組件的端部還分別設(shè)置有X射線探測器，所述的X射線 探測器為以下的一種流氣式正比計數(shù)器、封閉式正比計數(shù)器或者閃爍計數(shù)器。 所述的入射管組件的管體的中心軸線通過所述的盒體的中心軸線。 采用本實用新型結(jié)構(gòu)的分光器，第一、在體積增加不多的情況下，使得分 光器相比現(xiàn)有的分光器具有兩倍的分光能力；第二、采用直晶分光，成本較低， 降低整個分光器的成本；第三、每兩組平晶晶體，僅采用一組入射管組件，充 分利用分光器空間，結(jié)構(gòu)緊湊、成本降低。

圖1是本實用新型的主視全剖圖；圖2是圖1中的A-A線的剖視其中，1、入射管組件，11、 一次準(zhǔn)直器，2、出射管組件，21、 二次準(zhǔn)直 器，3、分光盒組件，31、盒體，32、平晶組件，33、平晶，34、晶體托板，35、 角度調(diào)節(jié)機構(gòu)，351、底板，352、內(nèi)調(diào)節(jié)蠊桿，353、外調(diào)節(jié)蠊桿，36、分光器 堵蓋，37、彈簧片。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和具體的實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明
參見圖1, 一種用于同定型X熒光光譜儀的固定元素道分光器，它包括入 射管組件1、與入射管組件1的尾部連接的分光盒組件3、與分光盒組件3連接 的出射管組件2，所述的分光盒組件3包括內(nèi)部空間呈圓柱狀的盒體31以及安 裝在所述的盒體31內(nèi)部的平晶組件32,所述的平晶組件32包括平晶33、晶體 托板34及角度調(diào)節(jié)機構(gòu)35。
所述的盒體31內(nèi)沿著所述的盒體31的延伸方向并排設(shè)置有兩組所述的平 晶組件32,所述的出射管組件2為與所述的平晶組件32相對應(yīng)的兩組；兩組所 述的平晶組件32及出射管組件2構(gòu)成兩條獨立的衍射光路，每條所述的衍射光 路中，入射角和出射角相等。在本實用新型中，所述的入射管組件l僅為一組， 而背景技術(shù)中所提到的兩種分光器結(jié)構(gòu)中，入射管組件均為兩組，相比之下本 實用新型的結(jié)構(gòu)更為簡化、有利于分光器體積的減小。
所述的入射管組件1的通道內(nèi)安裝有一次準(zhǔn)直器11;兩個所述的出射管組 件2的通道內(nèi)均安裝有二次準(zhǔn)直器21;所述的一次準(zhǔn)直器11和二次準(zhǔn)直器21 均為平板準(zhǔn)直器，它們的濾光片的材料均為鉬。
兩組所述的出射管組件2的端部還分別設(shè)置有X射線探測器，所述的X射 線探測器為以下的一種流氣式正比計數(shù)器、封閉式正比計數(shù)器或者閃爍計數(shù) 器。
所述的入射管組件1的管體的中心軸線通過所述的盒體31的中心軸線，使 得入射X光射線射向盒體31的中部，衍射效果達到最好。
所述的角度調(diào)節(jié)機構(gòu)35包括固定在所述的盒體31內(nèi)的底板351、設(shè)置在所 述的底板351上的內(nèi)調(diào)節(jié)蠊桿352,所述的內(nèi)調(diào)節(jié)螺桿352表面開設(shè)的外蠊紋與 所述的底板351上開設(shè)的內(nèi)蠊紋配合，所述的內(nèi)調(diào)節(jié)蠊桿352的一端部與外調(diào) 節(jié)蠊桿353相固定，所述的外調(diào)節(jié)蠊桿353伸出于所述的盒體31之外。所述的晶體托板34通過彈簧片37固定在所述的底板351上，所述的內(nèi)調(diào)節(jié)螺桿352 的另一端部抵靠在所述的晶體托板34上。通過旋轉(zhuǎn)外調(diào)節(jié)螺桿353能夠調(diào)節(jié)內(nèi) 調(diào)節(jié)螺桿352相對底板351的伸出量，進而改變晶體托板34相對底板351的角 度。
權(quán)利要求1、一種用于同定型X熒光光譜儀的固定元素道分光器，它包括入射管組件(1)、與入射管組件(1)的尾部連接的分光盒組件(3)、與分光盒組件(3)連接的出射管組件(2)，所述的分光盒組件(3)包括盒體(31)以及安裝在所述的盒體(31)內(nèi)部的平晶組件(32)，所述的平晶組件(32)包括平晶(33)、晶體托板(34)及角度調(diào)節(jié)機構(gòu)(35)；所述的入射管組件(1)的通道內(nèi)安裝有一次準(zhǔn)直器(11)；所述的出射管組件(2)的通道內(nèi)安裝有二次準(zhǔn)直器(21)；其特征在于所述的盒體(31)內(nèi)并排設(shè)置有兩組所述的平晶組件(32)，所述的出射管組件(2)為與所述的平晶組件(32)相對應(yīng)的兩組；兩組所述的平晶組件(32)及出射管組件(2)構(gòu)成兩條獨立的衍射光路，每條所述的衍射光路中，入射角和出射角相等。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于同定型X熒光光譜儀的固定元素道分光器， 其特征在于所述的一次準(zhǔn)直器(11)和二次準(zhǔn)直器(21)均為平板準(zhǔn)直器。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于同定型X熒光光譜儀的固定元素道分光器， 其特征在于所述的一次準(zhǔn)直器(11)和二次準(zhǔn)直器(21)中的濾光片的材料 為鉬。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1或者2或者3中任意一項所述的用于同定型X熒光光譜 儀的固定元素道分光器，其特征在于兩組所述的出射管組件(2)的端部還分 別設(shè)置有X射線探測器。
5、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于同定型X熒光光譜儀的固定元素道分光器， 其特征在于所述的X射線探測器為以下的一種流氣式正比計數(shù)器、封閉式 正比計數(shù)器或者閃爍計數(shù)器。
6、 根據(jù)權(quán)利要求1或2或3或5中任意一項所述的用于同定型X熒光光譜 儀的固定元素道分光器，其特征在于所述的入射管組件(1)的管體的中心軸 線通過所述的盒體(31)的中心軸線。
7、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于同定型X熒光光譜儀的固定元素道分光器， 其特征在于所述的入射管組件(1)的管體的中心軸線通過所述的盒體(31) 的中心軸線。
專利摘要本實用新型公開了一種用于同定型X熒光光譜儀的固定元素道分光器，它包括入射管組件、分光盒組件、出射管組件，所述的分光盒組件內(nèi)并排設(shè)置有兩組平晶組件，所述的出射管組件為與所述的平晶組件相對應(yīng)的兩組；兩組所述的平晶組件及出射管組件構(gòu)成兩條獨立的衍射光路，每條所述的衍射光路中，入射角和出射角相等。上述分光器，在體積增加不多的情況下，使得分光器相比現(xiàn)有的分光器具有兩倍的分光能力；采用直晶分光，成本較低，降低整個分光器的成本；每兩組平晶晶體，僅采用一組入射管組件，充分利用分光器空間，結(jié)構(gòu)緊湊、成本降低。
文檔編號G01N23/20GK201285378SQ200820041390
公開日2009年8月5日 申請日期2008年8月15日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月15日
發(fā)明者余正東, 剛 應(yīng), 華 高 申請人:江蘇天瑞儀器股份有限公司