專利名稱：流量計(jì)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及通過設(shè)計(jì)流路結(jié)構(gòu)來提高流量傳感器針對(duì)微小流量的檢測靈敏度，并且通過 抑制針對(duì)大流量的檢測靈敏度來使上述流量傳感器的動(dòng)態(tài)測定范圍變寬的流量計(jì)。
背景技術(shù)：
針對(duì)采用熱式流量傳感器的流量計(jì)，存在這樣的提案，即為了提高其檢測靈敏度來檢測 微小流量，通過將壁面裝配有流量傳感器的流路內(nèi)部沿其流體流經(jīng)方向劃分為多個(gè)平行的微 小流路來提高上述壁面位置處的流速，或者通過在其流路的中途設(shè)置管嘴部來提高該管嘴部 的流速(參照例如專利文獻(xiàn)1、 2)。日本特開平4-69521號(hào)公報(bào)日本特開平11-173896號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
但在如上所述那樣提高了對(duì)微小流量的檢測靈敏度的情況下，對(duì)大流量的檢測靈敏度也 隨之提高，因而存在有大流量流經(jīng)時(shí)流量傳感器的輸出飽和、而無法進(jìn)行其測量這種問題。 因此，對(duì)于例如最大測量流量為30000[L/h]程度的煤氣表等，難以高精度檢測出達(dá)5[L/h] 程度的微小漏氣流量。
本發(fā)明正是考慮到這種情況，其目的在于提供一種能夠?qū)β獾任⑿×髁磕酥镣ǔＳ脷?狀態(tài)下的大流量進(jìn)行簡易且高精度的檢測的流量計(jì)。
要達(dá)到上述目的，本發(fā)明的流量計(jì)，通過對(duì)其流路結(jié)構(gòu)進(jìn)行設(shè)計(jì)來避免流量傳感器的輸 出飽和，而能夠在例如5[L/h]程度的微小流量至30000[L/h]程度的大流量這種范圍內(nèi)進(jìn)行測 量，因而基本上來說，其特征在于，包括〈a〉并排配置、對(duì)流經(jīng)主流路的流體進(jìn)行分流使 其流通且分流比與流經(jīng)上述主流路的流體流量相應(yīng)地發(fā)生被動(dòng)性變化的第一和第二流路；以 及〈b〉設(shè)置在上述第一和第二流路的至少之一中的流量傳感器。其中，"分流比變化"的含 義是不需要為了使分流比變化而從外部提供電流等能量。
因而所述第一和第二流路是沿該主流路的流體流經(jīng)方向在空間上對(duì)所述主流路的流路截 面進(jìn)行劃分而形成的，例如所述第一和第二流路的至少之一構(gòu)成為與流經(jīng)所述主流路的流體
流量相應(yīng)地使對(duì)上述流體的流路阻尼發(fā)生被動(dòng)性變化，來使所述第一和第二流路間的分流比 變化。
具體來說，較好是利用例如沿所述主流路的流體流經(jīng)方向設(shè)置的隔壁體對(duì)該主流路的流 路截面進(jìn)行劃分而形成所述第一和第二流路，尤其是所述第一流路與所述第二流路相比較形 成為具有微小流路截面的流路空間。較為理想的是，尤其是在所述第一流路設(shè)置有寬度收窄
部，所述寬度收窄部確保了相對(duì)于流體流動(dòng)的規(guī)定長度的助起動(dòng)區(qū)間，并在該助起動(dòng)區(qū)間下 游側(cè)使所述第一流路的流路截面積收縮，在該寬度收窄部組裝有所述流量傳感器。
或者，所述第一流路由形成在網(wǎng)格缺損部下游側(cè)的層流區(qū)域構(gòu)成，所述網(wǎng)格缺損部在覆 蓋所述主流路的整個(gè)流路截面的網(wǎng)格體的一部分上，與例如所述主流路的流路截面相比較形 成為微小的區(qū)域部。而且，所述第二流路作為所述網(wǎng)格體下游側(cè)的所述層流區(qū)域以外的區(qū)域 而實(shí)現(xiàn)，在其與所述層流區(qū)域之間將所述主流路的流路截面等效劃分而形成。也可以包括上 述網(wǎng)格缺損部的網(wǎng)格體在流體的流經(jīng)方向上設(shè)置有多片，且所述網(wǎng)格缺損部的位置對(duì)齊。
另外，利用沿所述主流路的流體流經(jīng)方向設(shè)置的隔壁體對(duì)該主流路的流路截面進(jìn)行劃分 而形成所述第一和第二流路，并在所述第二流路設(shè)置閘門機(jī)構(gòu)，該閘門機(jī)構(gòu)對(duì)上述流體的流 路阻尼隨流體的流速而發(fā)生相應(yīng)的變化由此構(gòu)成為所述第一和第二流路間的分流比根據(jù)該第 二流路的流路阻尼變化，而該第二流路的流路阻尼根據(jù)上述閘門機(jī)構(gòu)的開度而變化。
而且，較為理想的是，也可以在所述第二流路中設(shè)置沿流體流動(dòng)將該流路分隔為多條平 行微細(xì)流路的格子狀分隔板。此外，較為理想的是，進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)為將所述格子狀分隔板形成 規(guī)定長度的格子體，在所述第二流路中在所述流體的流經(jīng)方向上直排排列多個(gè)上述格子體， 并且在這些格子體之間分別裝入網(wǎng)格體。而且，通過在所述第二流路中設(shè)置第二流量傳感器， 一并使用該第二流量傳感器進(jìn)行流量測量，有益于補(bǔ)償針對(duì)大流量的測量精度的降低。
利用上述基本構(gòu)成的流量計(jì)，并排設(shè)置的第一流路和第二流路兩者間的分流比與流經(jīng)主 流路的流體流量相應(yīng)地發(fā)生被動(dòng)性變化。因而，例如流經(jīng)主流路的流體流量較小時(shí)針對(duì)第一 流路的分流比較高，隨著流經(jīng)上述主流路的流體流量變大，針對(duì)上述第一流路的分流比變低 的情況下，可通過在上述第一流路預(yù)先設(shè)置流量傳感器，由該流量傳感器在微小流量至大流 量范圍進(jìn)行檢測。
具體來說，上述情況下，流經(jīng)主流路的流量微小的情形，可以使上述流體幾乎都流經(jīng)第 一流路來可靠地檢測該微小流量，而大流量情形則可使其流量的大部分流經(jīng)第二通路，抑制 流經(jīng)第一流路的流體流量。因而，可以隨流經(jīng)主流路的流體流量的增大，根據(jù)所述分流比抑 制流經(jīng)第一流路的流量，所以可避免流量傳感器飽和，在微小流量至大流量范圍均可檢測。
而且，在所述第一流路中預(yù)先設(shè)置有寬度收窄部，該寬度收窄部確保相對(duì)于所述流體流
動(dòng)的助起動(dòng)區(qū)間之后，將所述第一流路的流路截面積收縮，在該寬度收窄部組裝有所述流量 傳感器的話，便可以在上述寬度收窄部加速導(dǎo)入第一流路的微小流量的流速。因此，可以實(shí) 際提高流量傳感器的檢測靈敏度，可很容易地檢測出微小流量。尤其是，上述寬度收窄部作 為針對(duì)大流量的流路阻尼而起作用，因而在使第一和第二流路間的分流比被動(dòng)變化方面起到 極為有效的作用。而且，上述網(wǎng)格體或格子體、以及閘門機(jī)構(gòu)作為針對(duì)小流量的流路阻尼而 起作用，因而上述部件在使第一和第二流路間的分流比被動(dòng)變化方面也起到極為有效的作用。


圖1圖示的為本發(fā)明流量計(jì)的基本構(gòu)成。
圖2為圖1所示流量計(jì)的流路結(jié)構(gòu)的等效圖。
圖3圖示的為圖1所示流量計(jì)其相對(duì)于第一和第二流路的流量的流路阻尼的變化特性。
圖4圖示的為圖1所示流量計(jì)中第一和第二流路間的分流比的變化。
圖5圖示的為圖1所示流量計(jì)中流路結(jié)構(gòu)的第一實(shí)施例。
圖6圖示的為圖1所示流量計(jì)中流路結(jié)構(gòu)的第二實(shí)施例。
圖7圖示的為圖1所示流量計(jì)中流路結(jié)構(gòu)的第三實(shí)施例。
圖8圖示的為圖1所示流量計(jì)中流路結(jié)構(gòu)的第四實(shí)施例。
圖9為本發(fā)明第一實(shí)施方式的流量計(jì)的流路結(jié)構(gòu)在其流體流經(jīng)方向上的分解示意圖。 圖10為圖9所示流量計(jì)中流路其主要部分的截面結(jié)構(gòu)的示意圖。
圖11圖示的為確認(rèn)圖9所示流量計(jì)其針對(duì)微小流量的檢測靈敏度提高的實(shí)驗(yàn)中流量傳感 器針對(duì)微小流量的輸出變化。
圖12圖示的為使流路截面積(開間寬度)的比例變化時(shí)流量傳感器針對(duì)微小流量的輸出 變化。
圖13對(duì)比圖示的為隨網(wǎng)格體的有無而變化的傳感器輸出。
圖14圖示的為第一實(shí)施方式中低速用流量傳感器和高速用流量傳感器其相對(duì)于流量的傳 感器輸出變化。
圖15圖示的為隨格子體長度的不同而變化的傳感器輸出特性。
圖16為本發(fā)明第二實(shí)施方式的流量計(jì)的流路結(jié)構(gòu)在其流體流經(jīng)方向上的分解示意圖。 圖17為圖16所示流量計(jì)中流路其主要部分的截面結(jié)構(gòu)的示意圖。 圖18圖示的為隨網(wǎng)格缺損部的有無而變化的微小流量區(qū)的傳感器輸出變化。 圖19圖示的為第二實(shí)施方式中低速用流量傳感器和高速用流量傳感器其相對(duì)于流量的傳 感器輸出變化。
具體實(shí)施例方式
下面參照

本發(fā)明的流量計(jì)。
該流量計(jì)適合作為煤氣表，例如用對(duì)流經(jīng)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行檢測的熱式流量傳感器來構(gòu) 成。具體來說，雖未圖示，但上述熱式流量傳感器在形成于例如硅基底或玻璃基底上的薄壁 膜片上以發(fā)熱電阻元件為中間在流體的流經(jīng)方向上設(shè)置一對(duì)感溫電阻元件來形成，并構(gòu)成為 從沿其傳感面流經(jīng)的流體在該傳感面附近的溫度分布變化當(dāng)中檢測上述流體的流量(流速)。
圖1圖示的為本發(fā)明流量計(jì)的基本構(gòu)成，在流體(例如氣體)流經(jīng)的主通路1的中途并排 設(shè)置使上述流體分流使其流通的第一和第二流路2、 3來構(gòu)成。尤其是上述第一和第二流路2、 3形成為使上述第一流路2的流路阻尼Rl、第二流路3的流路阻尼R2兩者與流經(jīng)主流路1的 流體流量(流速)V相應(yīng)地發(fā)生被動(dòng)性變化，由此使第一和第二流路2、 3間的分流比變化， 等效呈圖2所示這種阻尼回路。具體來說，第一和第二流路2、 3其流路阻尼R1、 R2例如如 圖3所示與流體流經(jīng)主流路1的流量(流速)V相應(yīng)地發(fā)生被動(dòng)性變化，且形成根據(jù)上述流 路阻尼R1、 R2將流體按流量I1、 12分流來分別流通，該分流比[11/ (11+12)]如圖4所示 隨上述流體的流量(流速)V而變化這種流路結(jié)構(gòu)。
另外，也可以第一和第二流路2、 3僅其中之一使其流路阻尼R1、或流路阻尼R2與流經(jīng) 主流路1的流體流量(流速)V相應(yīng)地發(fā)生被動(dòng)性變化。這種情況下，所述第一和第二流路2、 3間的分流比[11/ (11+12)]隨流路阻尼Rl或R2的變化而變化。而且，在具有這種流路結(jié) 構(gòu)的流量計(jì)的上述第一和第二流路2、 3中至少之一中組裝有上述熱式流量傳感器4。
上述第一和第二流路2、 3如例如圖5 (a)、圖5 (b)所示，通過在形成主流路l的管道 (大直徑管)5的內(nèi)部利用沿其流體流經(jīng)方向設(shè)置的作為隔壁體的小直徑管6在流路截面方 向上對(duì)上述管道5的內(nèi)部空間進(jìn)行劃分來形成。另外，圖5 (a)示出流路的縱截面結(jié)構(gòu)，而 圖5 (b)則示出上述流路的橫截面結(jié)構(gòu)。
而且，這種情況下，由于利用所述小直徑管6劃分管道5的內(nèi)部空間而形成的第一和第二 流路2、 3的流路截面積的不同、或管道5內(nèi)部層流速度分布的不同、以及小直徑管6壁面所 產(chǎn)生的流速梯度變化等，第一和第二流路2、 3的流路阻尼R1、 R2隨流經(jīng)該管道5的流體流 量(流速)V而呈現(xiàn)不同的變化。
具體來說，流經(jīng)管道5的流體流量(流速)V較小的情況下，作為小直徑管6內(nèi)部空間形 成的流路截面積微小的第一流路2的流路阻尼Rl與作為所述小直徑管6外部空間形成的流路 截面積較大的第二流路3的流路阻尼R2相比稍大。但在管道5的中心部設(shè)置小直徑管6的情 況下，由于原本呈現(xiàn)的是管道5中心部的流速與其周邊部相比稍快這種速度分布，因而分別
流經(jīng)所述第一和第二流路2、 3的流體的速度大體相等，實(shí)際上可視為第一和第二流路2、 3 的流路阻尼R1、 R2為大體相同程度。
但上述流量(流速)V增加的話，小直徑管6的壁面與流體的接觸阻尼所引起的速度梯度 隨之增大，流路截面積微小的上述第一流路2的流路阻尼Rl增大。具體來說，流路阻尼Rl 與流量相應(yīng)地發(fā)生被動(dòng)性變化。因此，隨著流經(jīng)管道5的流體流量(流速)V的增大，流體 在第一流路2中難以流過，與第二流路3間的分流比便有所變化。
因而在第一流路2預(yù)先設(shè)置流量傳感器4的話，只在流經(jīng)管道5的流體流量(流速)V微 小的情況下該流量根據(jù)第一和第二流路2、 3的流路截面積而被分流，因而能夠通過上述流量 傳感器4可靠檢測出上述微小流量。而流經(jīng)管道5的流體流量(流速)V增大的情況下，第 一和第二流路2、 3間的分流比隨第一流路2的流路阻尼Rl的增大而變化，由于抑制流經(jīng)第 一流路2的流體流量增大，因而可避免所述流量傳感器4飽和而檢測出其流量。
這時(shí)，若在第二流路3預(yù)先設(shè)置可高精度檢測出大流量的第二流量傳感器4a的話，可以 彌補(bǔ)設(shè)置于第一流路2的流量傳感器4的大流量檢測精度的降低。但利用上述第二流量傳感 器4a無法高精度檢測微小流量，因而微小流量的檢測如前面所述委托給設(shè)置于第一流路2中 的流量傳感器4。
另外，如圖6 (a)、圖6 (b)分別所示的那樣，在小直徑管6的中途預(yù)先設(shè)置其管徑(流 路截面積)收縮的寬度收窄部(管嘴部)6a的話，可以使第一流路2的流路阻尼Rl隨流經(jīng) 管道5的流體流量(流速)V的增大而發(fā)生更大的變化。具體來說，在小直徑管6的中途存 在寬度收窄部(管嘴部)6a的話，進(jìn)入該小直徑管6的流體受到壓縮的同時(shí)流經(jīng)該小直徑管 6內(nèi)，便在該流速提高的狀態(tài)下通過所述寬度收窄部6a。這時(shí)，流經(jīng)管道5的流體流量(流 速)V較小的情況下，小直徑管6內(nèi)流體的壓縮程度低，而隨著上述流量(流速)V的增加所 述小直徑管6內(nèi)流體的壓縮程度變大。這種現(xiàn)象意味著小流量時(shí)流路截面積較小的第一流路 2的流路阻尼R1較小，而隨著該流量的增加上述第一流路2的流路阻尼Rl逐步變大。反之， 流路截面積較大的第二流路3的流路阻尼R2則不論其流量(流速)V如何變化而幾乎不變。
所以，可以通過在上述流路結(jié)構(gòu)的第一流路2中預(yù)先設(shè)置流量傳感器4，使第一和第二流 路2、 3間的分流比根據(jù)流量而變化，抑制大流量時(shí)流經(jīng)第一流路2的流量，因而可避免流量 傳感器4飽和可靠地檢測小流量至大流量。尤其在上述寬度收窄部6a設(shè)置流量傳感器4的話， 可以通過該寬度收窄部6a使流經(jīng)第一流路2的流體的速度加速，因而即便是微小的流量也能 夠?qū)ζ溥M(jìn)行高靈敏度的檢測。
而且，并非如現(xiàn)有技術(shù)那樣沿流路的長度方向設(shè)置不同的流量區(qū)域，而是在流路周面的同 一周方向設(shè)置所述流量傳感器4和所述第二流量傳感器4a。因此，現(xiàn)有技術(shù)中每一流量區(qū)域
所需的流路長度需要沿其長度方向分別針對(duì)大流量區(qū)域和小流量區(qū)域，但本申請(qǐng)發(fā)明中設(shè)置 不同的流量區(qū)域之際是在流路周面的同一周方向設(shè)置各流量傳感器的，因而流量區(qū)域所需的 流路長度一個(gè)即可。因此，與現(xiàn)有技術(shù)相比，流路長度不必很長，可以使流量計(jì)形成為小型 化構(gòu)成。
不過也可以如例如圖7 (a)、圖7 (b)所示，在形成主流路1的管道5的內(nèi)部，利用設(shè)置 為覆蓋其流路截面的網(wǎng)格體7，在所述管道5的流路截面方向上對(duì)該網(wǎng)格體7下游側(cè)空間進(jìn) 行劃分來形成所述第一和第二流路2、 3。另外，圖7 (a)示出流路的縱截面結(jié)構(gòu)，而圖7 (b) 則示出上述流路的橫截面結(jié)構(gòu)。
上述網(wǎng)格體7其一部分形成有網(wǎng)格缺損部(切除部分)7a，使網(wǎng)格體7與所述管道5的流 體流經(jīng)方向相正交地設(shè)置并使上述網(wǎng)格缺損部7a定位于所述管道5流路截面的一部分。這樣 組裝到管道5中的網(wǎng)格體7，使所述網(wǎng)格缺損部7a作為其流路阻尼Rl為零"0"的區(qū)域而起 作用，該網(wǎng)格體7本身作為其流路阻尼R2隨流經(jīng)管道5的流體流量(流速)V而變化的被動(dòng) 體而發(fā)揮作用。
所述第一和第二流路2、 3作為形成于該網(wǎng)格體7下游側(cè)區(qū)域的、流體的流動(dòng)不同的部位， 是由這樣的網(wǎng)格體7對(duì)管道5的內(nèi)部進(jìn)行等效劃分來形成的。具體來說，第一流路2實(shí)現(xiàn)為 經(jīng)過所述網(wǎng)格缺損部7a而形成于該網(wǎng)格缺損部7a下游側(cè)的層流區(qū)域。而所述第二流路3實(shí) 現(xiàn)為所述網(wǎng)格體7下游側(cè)的所述層流區(qū)域以外的區(qū)域、即經(jīng)過網(wǎng)格體7的流體的流經(jīng)區(qū)域。
利用具有這種網(wǎng)格體7的流路結(jié)構(gòu)，流經(jīng)該管道5的流體便受到隨經(jīng)過網(wǎng)格缺損部7a或 者經(jīng)過網(wǎng)格體7而不同的流路阻尼。換言之，流經(jīng)管道5的流體流量(流速)V微小的情況 下，由于網(wǎng)格體7的流路阻尼(壓損)較大，因而上述流體幾乎都通過沒有流路阻尼的網(wǎng)格 缺損部7a流過。所以，網(wǎng)格缺損部7a下游側(cè)的第一流路2的形成區(qū)域所流經(jīng)的流量多，相 反網(wǎng)格體7下游側(cè)的第二流路3的形成區(qū)域所流經(jīng)的流量幾乎沒有。但流經(jīng)管道5的流體流 量(流速)V —旦增大，則克服所述網(wǎng)格體7的流路阻尼(壓損)通過該網(wǎng)格體7流過的流 體量逐步增大，分別通過網(wǎng)格體7和網(wǎng)格缺損部7a的流體的分流比、即流入第一和第二流路 2、 3的流體的分流比有所變化。
因而，在第一流路2中預(yù)先設(shè)置流量傳感器4的話，流經(jīng)管道5的流體流量(流速)V微 小的情況下，其微小的流量幾乎在第一流路2 (網(wǎng)格缺損部7a)中流過，因而可以通過上述 流量傳感器4可靠地檢測出上述微小流量。而流經(jīng)管道5的流體流量(流速)V增大的情況 下，上述流體通過網(wǎng)格體7流過第二流路3，因而所述第一流路2 (網(wǎng)格缺損部7a)所流過 的流量受到相應(yīng)程度的抑制。而且，第一和第二流路2、 3間的分流比隨第一流路2流路阻尼 Rl的增大而變化，由于抑制流經(jīng)第一流路2的流體流量增大，因而與上述實(shí)施方式同樣可避免上述流量傳感器4飽和來檢測其流量。
這時(shí)，在第二流路3預(yù)先設(shè)置可對(duì)大流量進(jìn)行高精度檢測的第二流量傳感器4a的話，便可彌補(bǔ)設(shè)置于第一流路2的流量傳感器4其大流量檢測精度的降低。但流量(流速)V微小的情況下，與第二流路3幾乎沒有流體流過的情況相關(guān)聯(lián)的是幾乎不可能由上述第二流量傳感器4a進(jìn)行上述微小流量的檢測。因而微小流量的檢測便委托給設(shè)置于第一流路2 (網(wǎng)格缺 損部7a下游)的流量傳感器4。
不過也可以如例如圖8(a)、圖8(b)所示實(shí)現(xiàn)所述第一和第二流路2、 3。另外，圖8(a)示出流路的縱截面結(jié)構(gòu)，而圖8(b)則示出上述流路的橫截面結(jié)構(gòu)。該流路結(jié)構(gòu)構(gòu)成為在構(gòu)成主流路1的管道5的內(nèi)部沿其流體流經(jīng)方向設(shè)置板狀的隔壁體8來使上述主流路1 的內(nèi)部空間劃分為第一和第二流路2、 3，同時(shí)設(shè)置閘門機(jī)構(gòu)9以便在其流體流經(jīng)方向上進(jìn)一步分隔第二空間3。
該閘門機(jī)構(gòu)9由如下流路阻尼體構(gòu)成，其具有包括通過例如鉸鏈而被傾倒自如地支承、且 設(shè)置為使第二流路3閉塞的閥體9a，其，其作用是受到流經(jīng)第二流路3的流體壓力而傾倒從而在該第二流路3形成間隙，并使流體通過該間隙流通。具體來說，該閘門機(jī)構(gòu)9作為可變 型阻尼元件而起作用，使上述板體9a所形成的間隙大小(開度)根據(jù)流經(jīng)第二流路3的流體 流量(流速)V來變化，從而使該流路阻尼被動(dòng)變化。
利用所具有的流路結(jié)構(gòu)包括這種閘門機(jī)構(gòu)9的流量計(jì)，流經(jīng)主流路1的流體流量微小的情況下，設(shè)置于第二流路3的閘門機(jī)構(gòu)9將該第二流路3閉塞，因而上述微小流量的流體專門流經(jīng)第一流路2。而且，隨著流經(jīng)主流路l的流體流量增大，，所述鬧門機(jī)構(gòu)9的閥體9a受到該流體壓力而打開，其流路阻尼降低，因而上述流體分流于第一和第二流路2、 3來流經(jīng)。
因而，在第一流路2預(yù)先設(shè)置流量傳感器4的話，微小流量時(shí)其流體幾乎都流經(jīng)第一流路 2，因而能夠可靠檢測出上述微小流量。而流量增大時(shí)，閘門機(jī)構(gòu)9的閥體9a隨其流量增大而打開，由此流體分流于第一和第二流路2、 3，所以可抑制流經(jīng)第一流路2的流體流量增大。 因此，可抑制流量傳感器4的飽和，同時(shí)可進(jìn)行其流量檢測，所以上述微小流量至大流量范 圍均能夠檢測。
另外，大流量流通時(shí)，可如上所述抑制流經(jīng)第一流路2的流量，因而流量傳感器4的流量 檢測精度相應(yīng)程度地降低。所以，在第二流路3預(yù)先設(shè)置可對(duì)大流量進(jìn)行高精度檢測的第二流量傳感器4a的話，便可彌補(bǔ)設(shè)置于第一流路2的流量傳感器4其大流量檢測精度的降低。 但流量(流速)V微小的情況下，第二流路3幾乎沒有流體流過，因而幾乎不可能由該第二流量傳感器4a進(jìn)行上述微小流量的檢測。因而微小流量的檢測便委托給設(shè)置于第一流路2的 流量傳感器4。
以上如分別參照?qǐng)D5 (a)、圖5 (b)至圖8 (a)、圖8 (b)對(duì)分流比隨流體流量而變化的 第一和第二流路2、 3構(gòu)成例所說明的那樣，本發(fā)明的流量計(jì)構(gòu)成為在微小流量流經(jīng)時(shí)和大流 量流經(jīng)時(shí)其分流比均被動(dòng)變化的第一和第二流路2、 3中至少之一組裝流量傳感器4。尤其是， 通過在微小流量時(shí)分流比較高、而大流量時(shí)分流比較低這側(cè)流路中組裝流量傳感器4，以便 微小流量至大流量范圍均可通過該流量傳感器4來檢測。
具體來說，形成為通過使微小流量幾乎導(dǎo)入設(shè)置有流量傳感器4的流路(上述例中第一流 路2)來實(shí)際提高其流速(表觀流量)，由此能夠可靠檢測出微小流量。另一方面，可通過針 對(duì)大流量抑制導(dǎo)入設(shè)置有上述流量傳感器4的流路(第一流路2)的流量來抑制其流速的增 大，由此避免所述流量傳感器4飽和來進(jìn)行其流量檢測。所以，利用本發(fā)明的流量計(jì)，例如 管道5龜裂、損傷所引起的漏氣造成的5[L/h]程度的微小流量至例如通常用氣狀態(tài)的最大 30000[L/h]程度的大流量范圍均可通過1個(gè)流量傳感器4來測量，其實(shí)用的益處多。而在另 一流路(上述例中為第二流路3)預(yù)先設(shè)置可高精度檢測通常用氣狀態(tài)流量的大流量用第二 流量傳感器4a的話，可彌補(bǔ)所述流量傳感器4檢測精度在大流量時(shí)較粗這種不足，實(shí)際上可 毫無問題地對(duì)氣流量進(jìn)行測量。
而且，并非如以往那樣沿長度方向單個(gè)設(shè)置大流量區(qū)域和小流量區(qū)域，而是在流路周面的 同一周方向設(shè)置所述流量傳感器4和所述第二流量傳感器4a，在給定的流路長分別形成大流 量區(qū)域和小流量區(qū)域。所以可使分別形成大流量測量區(qū)域和小流量測量區(qū)域所需的流路長度 共用。因而可以使流量計(jì)形成為可小型化的構(gòu)成。
下面說明本發(fā)明流量計(jì)的具體構(gòu)成例。
圖9為本發(fā)明第一實(shí)施方式的流量計(jì)其流路結(jié)構(gòu)在其流體流經(jīng)方向上的分解示意圖。圖 IO為其主要部分的截面結(jié)構(gòu)的示意圖。該流量計(jì)以格子體12為主體來構(gòu)成，該格子體12將 具有矩形形狀的流路截面的管道11的內(nèi)部空間在其流路截面方向上分隔為多條微小流路。上 述格子體12將沿管道11的流體流經(jīng)方向平行設(shè)置的多個(gè)板狀的隔壁體組合成格子形狀而構(gòu) 成。尤其是本實(shí)施方式所用的格子體12如例如稍后說明的那樣包括組裝有流量傳感器的傳感 器格子體12a、設(shè)置在該傳感器格子體12a上游側(cè)的第一和第二前格子體12b、 12c、以及設(shè) 置在上述傳感器格子體12a下游側(cè)的第一和第二后格子體12d、 12e。
上述格子體12 (12a、 12b 12e)構(gòu)成為，按矩陣形狀排列形成例如呈大體正方形的流路 截面形狀的多個(gè)(許多)微小流路13，并形成有呈大體長方形的流路截面形狀、其流路截面 積為上述微小流路13大體2倍的2條微小流路14。上述2條微小流路14，通過在例如格子 體12的邊部去除對(duì)相鄰的2條微小流路13進(jìn)行劃分的板狀隔壁體來形成。而且，上述格子 體12 (12a、 12b 12e)如圖9所示在各格子體12 (12a、 12b 12e)之間分別夾入網(wǎng)格體(金
屬網(wǎng))15 (15a、 15b、 15c、 15d)并在流體流經(jīng)方向上使其重合，來形成在流體流經(jīng)方向上 連續(xù)的多個(gè)流路。另外，上述各網(wǎng)格體(金屬網(wǎng))15專門承擔(dān)對(duì)通過上述格子體12流經(jīng)的 流體進(jìn)行整流的作用。
因而，由格子體12 (12a、 12b 12e)劃分而成的上述多個(gè)(許多)微小流路13可視作 為通過將它們歸并組合來形成流路截面積較大的流路。而且，上述微小流路13、 14由于各自 流路截面積的不同而顯示出對(duì)于流體流動(dòng)不同的流路阻尼。所以，可視作為例如微小流路13 的歸并組合相當(dāng)于所述第二流路3，而上述2條微小流路14則分別相當(dāng)于上述第一流路2。
另夕卜，形成于傳感器格子體12a的2條微小流路14其中之一，如圖10所示，在其流路大 體中間位置設(shè)置有管嘴14a，其流路截面積收縮。設(shè)置有該管嘴14a的微小流路14可用作為 微小流量檢測用途(低速用途)。在利用上述管嘴14a使流路截面積收縮的位置組裝有低速用 流量傳感器16a。而且，另一微小流路14可用作大流量檢測用途(高速用途)，在其大體中 間位置組裝有高速用流量傳感器16b。上述2條微小流路14也可通過將其視作為從所述微小 流路13的歸并組合當(dāng)中分開的流路，來歸為分流比隨所述流量而變化的第一和第二流路3。
利用采用這種格子體12對(duì)流路進(jìn)行劃分的流路結(jié)構(gòu)的流量計(jì)的話，形成第二流路3的多 條微小流路13的各流路截面積與組裝有流量傳感器16a、 16b的微小流路14相比較窄，其流 路阻尼較大，因而流經(jīng)管道ll的流體為微小流量的情況下，其流體主要流入流路阻尼較小的 微小流路M。而且，隨著流經(jīng)管道ll的流體流量增大，克服所述微小流路13的流路阻尼， 該微小流路13也有流體流過。
因此，隨著流體流量的增大，流入所述微小流路13的流體流量和流入微小流路14的流體 流量兩者間的分流比發(fā)生變化。而且，流體流經(jīng)設(shè)置有流量傳感器16a、 16b的微小流路14 的流量，隨其流量的增大而逐步受到抑制。所以，可以提高設(shè)置于微小流路14的流量傳感器 16a、 16b針對(duì)微小流量的檢測靈敏度，而大流量流經(jīng)時(shí)可抑制分流流入微小流路14的流量， 因而可抑制上述流量傳感器16a、 16b的飽和來進(jìn)行流量檢測。
而且，具有上述流路結(jié)構(gòu)的流量計(jì)中，在如上所述組裝有低速用流量傳感器16a的其中一 條微小流路14的大體中央位置，設(shè)置有將其流路截面積收縮的管嘴部14a。而設(shè)置有該管嘴 部14a的傳感器格子體12a的上游側(cè)所設(shè)置的所述第一和第二前格子體12b、 12c則形成針對(duì) 流入微小流路14的流體的助起動(dòng)區(qū)間，從而將流入該助起動(dòng)區(qū)間的全部流體送入所述管嘴部 14a。因此，流入微小流路14的流體可通過所述管嘴部14a的流路截面積的收縮來提高其流 速，因而該微小流路14的管嘴部14a設(shè)置的低速用流量傳感器16a能夠以更高精度對(duì)微小流 量進(jìn)行檢測。尤其是，上述低速用流量傳感器16a與未形成管嘴部14a的另一微小流路14設(shè) 置的高速用流量傳感器16b相比能夠高靈敏度對(duì)微小流量進(jìn)行檢測。
圖11是對(duì)如前所述設(shè)置格子體12將其流路分隔為多條微小流路13、 14的流路結(jié)構(gòu)的流 量檢測靈敏度提高進(jìn)行確認(rèn)的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)，其對(duì)比示出未設(shè)置格子體12情形和設(shè)置格子體12 情形流量傳感器輸出的變化。由該實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)可印證，設(shè)置格子體12將流路劃分為微小流路 13、 14的情形與未設(shè)置格子體12的情形相比，流量傳感器16a、 16b的流量檢測靈敏度有所 提高。而且，雖未具體圖示，但很清楚格子體12的長度較長者可謀求檢測靈敏度提高?？烧J(rèn) 為這是因?yàn)楦褡芋w12的長度(流路長)越長，針對(duì)流量的上述多條微小流路13、 14間的流 路阻尼其變化的差異越大。
而圖12圖示的為格子體12所形成的多條微小流路13、 14的流路截面積(開間寬度)的 比例變化時(shí)流量傳感器針對(duì)微小流量的輸出變化。另外，圖11中所謂基準(zhǔn)指的是設(shè)置有流量 傳感器16的微小流路14的開間寬度(流路截面積)和其他微小流路13的開間寬度(流路截 面積)相等的情形。而且，作為4倍和8倍示出的參數(shù)則分別指將設(shè)置有流量傳感器16的微 小流路14的開間寬度(流路截面積)設(shè)定為微小流路13的開間寬度(流路截面積)的4倍 和8倍的情形。
由該圖12所示的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)可印證，通過使設(shè)置有流量傳感器16的微小流路14的開間寬 度(流路截面積)比其他微小流路13的開間寬度(流路截面積)大，微小流量區(qū)域的流體不 容易流入上述微小流路13，設(shè)置有上述流量傳感器16的微小流路14則相應(yīng)有大部分流量流 入，流量傳感器16的微小流量的檢測靈敏度提高。
而圖13確認(rèn)了所述網(wǎng)格體(金屬網(wǎng))15有無的效果，且對(duì)比示出微小流量至大流量范圍 內(nèi)傳感器輸出的變化。另外，未設(shè)置網(wǎng)格體(金屬網(wǎng))15的情形指的是上述圖9所示流路結(jié) 構(gòu)當(dāng)中省略網(wǎng)格體(金屬網(wǎng))15的結(jié)構(gòu)、即只由格子體12構(gòu)成流路結(jié)構(gòu)的情形。
由該圖13所示特性可知，通過設(shè)置網(wǎng)格體(金屬網(wǎng))15對(duì)分別流經(jīng)微小流路13、 14的 流體的整流效果增大，判定不僅能夠進(jìn)行穩(wěn)定的流量檢測，而且瞬時(shí)的流量測量精度也得到 提高。而且，由上述圖13所示的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)可知，對(duì)微小流量區(qū)域的流量變化的傳感器輸出其 變化急劇，該微小流量區(qū)域的所述流量傳感器16的檢測靈敏度較高。而且，同時(shí)根據(jù)隨著流 量的增大而相對(duì)于流量變化的傳感器輸出變化變寬這種情況判斷，大流量區(qū)域的所述流量傳 感器16的檢測靈敏度漸漸被抑制變低。
該大流量區(qū)域的所述流量傳感器16的檢測靈敏度的抑制，是由于所述管嘴部14a的壓力 損耗與其流速(流量)的平方成正比增大，其結(jié)果，通過管嘴部14a (微小流路14)的流量 受到限制、而流入微小流路13的流量增加的緣故。而且可印證，利用采用上述流路結(jié)構(gòu)的流 量計(jì)，可避免流量傳感器16飽和，微小流量至大流量范圍均能測量。
而圖14示出分別設(shè)置于上述2條微小流路14的低速用流量傳感器16a和高速用流量傳感器16b的相對(duì)于流量的傳感器輸出的變化。由該圖14所示數(shù)據(jù)可知，設(shè)置管嘴部14a、流路 截面積收縮的微小流路14中所設(shè)置的低速用流量傳感器16a的輸出隨流量的增加而抑制其變 化的比例，呈現(xiàn)較寬的變化。該現(xiàn)象是因?yàn)殡S著所述管嘴部14a的壓損流體通過該管嘴部14a 的流量被抑制的緣故。相反，由于設(shè)置有高速用流量傳感器16b這一側(cè)的微小流路14未設(shè)置 管嘴部14a，因而隨流量的增大而對(duì)傳感器輸出的變化比例的抑制僅取決于該微小流路14和 上述微小流路13間分流比的變化。
由該實(shí)驗(yàn)結(jié)果判斷，可根據(jù)其微小流路14是否設(shè)置管嘴部14a來使其與微小流路13間的 分流比變化的微小流路14的流量進(jìn)一步變化，通過設(shè)置管嘴部14a來進(jìn)一步使上述分流比的 變化比例更大，進(jìn)一步提高微小流量區(qū)域的檢測靈敏度。所以，上述2條微小流路14分別設(shè) 置低速用流量傳感器16a和高速用流量傳感器16b的話，微小流量區(qū)域至大流量區(qū)域均可通 過彼此不同的檢測特性分別測量，可互相彌補(bǔ)上述各流量傳感器16a、 16b在低流量區(qū)域側(cè)和 高流量區(qū)域側(cè)測量精度的不足。
另外，圖15示出隨格子體12長度的不同而變化的傳感器輸出特性。由該實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)判斷， 格子體12的長度越長，越不容易受到管嘴部14a的壓損影響，可提高傳感器輸出。該現(xiàn)象可 認(rèn)為是這樣的緣故，即格子體12所劃分的微小流路13、 14的流路長越長，尤其是管嘴部14a 上游側(cè)的助起動(dòng)區(qū)間越長，便由于流體(氣體)的壓縮性，與流經(jīng)主流路的流量變化相比較， 流入微小流路14的流量并沒有很大變化。因此，若為了確保微小流路14的助起動(dòng)區(qū)間具有 某種程度長度且使其流路阻尼穩(wěn)定而增加格子體12a的長度則不論管嘴部14a是否存在，都 可與流體流經(jīng)管道11的流量(流速)相對(duì)應(yīng)地使微小流路13、 14間的分流比發(fā)生變化，因 而可以說在高靈敏度檢測微小流量方面非常理想。
不過，先前說明的是如果在設(shè)置為覆蓋流路截面的網(wǎng)格體7的一部分預(yù)先設(shè)置網(wǎng)格缺損部 7a的話，通過網(wǎng)格缺損部7a的流體和通過網(wǎng)格體7的流體兩者間有流動(dòng)差產(chǎn)生，在該網(wǎng)格 體7下游側(cè)形成有流量(流速)不同的區(qū)域(第一和第二流路2、 3)的情形。因而，也可通 過在圖9所示的用格子體12形成2類微小流路13、 14的流路結(jié)構(gòu)中進(jìn)一步組裝包括網(wǎng)格缺 損部的網(wǎng)格體(金屬網(wǎng))，來進(jìn)一步提高針對(duì)微小流量的檢測精度。
圖16為立足于這種觀點(diǎn)實(shí)現(xiàn)的本發(fā)明第二實(shí)施方式的流量計(jì)的流路結(jié)構(gòu)在其流體流經(jīng)方 向上的分解示意圖。圖17為其主要部分的截面結(jié)構(gòu)的示意圖。另外，本實(shí)施方式所示的格子 體12 U2a、 12b 12e)與上述實(shí)施方式同樣。而且，該第二實(shí)施方式與上述第一實(shí)施方式 不同之處在于，作為分別夾在上述各格子體12 (12a、 12b 12e)之間的網(wǎng)格體，采用的是 尤其與設(shè)有管嘴部14a —側(cè)的微小流路14的形成位置相對(duì)應(yīng)形成呈矩形形狀的網(wǎng)格缺損部 17a的網(wǎng)格體(金網(wǎng))17。
利用形成上述流路結(jié)構(gòu)所實(shí)現(xiàn)的流量計(jì)，由于微小流量區(qū)域中流入上述微小流路14的流 量增加的程度與定位于網(wǎng)格缺損部17a沒有網(wǎng)格體(金網(wǎng))存在的微小流路14中的流路阻尼 (壓力損耗)變小的程度對(duì)應(yīng)，因而可使針對(duì)微小流量的檢測靈敏度提高為大于等于先前實(shí) 施方式。為了確認(rèn)這種效果，針對(duì)未采用形成了網(wǎng)格缺損部17a的網(wǎng)格體(金屬網(wǎng))17的場 合(第一實(shí)施方式)，以及針對(duì)僅采用l片、采用同樣的2片、及采用3片形成有網(wǎng)格缺損部 17a的網(wǎng)格體(金網(wǎng))17的、其全部形成了網(wǎng)格缺損部17a的場合，對(duì)微小流量區(qū)域的傳感 器輸出進(jìn)行調(diào)研后，得到如圖18所示這種實(shí)驗(yàn)結(jié)果。
如該圖18所示實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)可知，越是采用較多的形成了網(wǎng)格缺損部17a的網(wǎng)格體17,傳感 器輸出越是增加，網(wǎng)格體17的流經(jīng)阻尼(壓力損耗)使微小流路13、 14間的分流比提高、 從而判斷在將幾乎全部的微小流量導(dǎo)入到組裝有流量傳感器16的微小流路14這方面起到有 效的作用。所以可印證，能夠以高靈敏度檢測漏氣所引起的5[L/h]程度的微小流量。
而圖19示出如上所述構(gòu)成的流量計(jì)中低速用流量傳感器16a和高速用流量傳感器16b的 輸出特性。如上述各傳感器16a、 16b的輸出特性所示那樣，利用設(shè)置有管嘴部14a、并定位 于網(wǎng)格缺損部17a形成位置的微小流路14中所組裝的低速用流量傳感器16a，可以使微小流 量區(qū)域中的檢測靈敏度足夠大。但使微小流量區(qū)域中的檢測靈敏度足夠大，大流量區(qū)域的檢 測靈敏度就相應(yīng)變低。
相反，沒有管嘴部14a、而在其流路中設(shè)置有網(wǎng)格體17的微小流路14中所組裝的高速用 流量傳感器16b中，無法提高微小流量區(qū)域中的檢測靈敏度，但可在微小流量區(qū)域至大流量 區(qū)域的全部測量范圍內(nèi)使其檢測靈敏度大體固定不變。因而，通過分別監(jiān)測上述低速用流量 傳感器16a和高速用流量傳感器16b的各個(gè)輸出，可在漏氣所引起的5[L/h]程度的微小流量 至通常用氣狀態(tài)下最大達(dá)30000[L/h]的大流量這種全測量范圍內(nèi)高精度檢測其流量，實(shí)用的 益處多。而且，也還能取得可通過對(duì)比上述各流量傳感器16a、 16b的輸出對(duì)傳感器特性的常 年變化進(jìn)行監(jiān)測等效果。
另外，本發(fā)明不限于上述實(shí)施方式。舉例來說，第一和第二流路2、 3的流路截面積之比 可以隨測量方式等確定，而且也可以根據(jù)隨流體的種類有所不同的粘性等確定。而且，圖8 和圖17分別所示的實(shí)施方式中，在傳感器格子體12a的上游側(cè)和下游側(cè)分別設(shè)置格子體，形 成為在流體流經(jīng)方向上對(duì)稱的流路結(jié)構(gòu)。這種對(duì)稱的流路結(jié)構(gòu)雖考慮到流體流經(jīng)方向有可能 在正反方向上反轉(zhuǎn)，但在流體流經(jīng)方向按一維決定這種情況下，也可以設(shè)法僅在傳感器格子 體12a上游側(cè)設(shè)置格子體12b、 12c。而且，這樣由格子體12形成的流路的長度也可以根據(jù) 其規(guī)格來確定。
作為上述網(wǎng)格體7、 15、 17來說，不僅是金屬網(wǎng)，也可以為蜂窩結(jié)構(gòu)體或沖孔金屬片這種
網(wǎng)格體。此外，上述格子體12也可以形成所謂的蜂窩型六邊形形狀的流路截面或三角形的流 路截面來替代形成矩形的流路截面的格子體。其他，本發(fā)明可以在不脫離其實(shí)質(zhì)的范圍內(nèi)進(jìn) 行種種變形來實(shí)施。 (標(biāo)號(hào)說明)
1:主流路
2:第一流路
3:第二流路
4:流量傳感器
5:管道
6:小直徑管(隔壁體)
7:網(wǎng)格體(金網(wǎng))
7a:網(wǎng)格缺損部
8:隔壁體
9:閘門機(jī)構(gòu)
9a:閥體
11:管道
12:格子體
13、 14:微小流路
14a:管嘴部
15:網(wǎng)格體(金屬網(wǎng))
16a:低速用流量傳感器
16b:高速用流量傳感器
17:網(wǎng)格體(金屬網(wǎng))
17a:網(wǎng)格缺損部
權(quán)利要求
1.一種流量計(jì)，其特征在于，包括第一和第二流路，所述第一和第二流路并排配置，對(duì)流經(jīng)主流路的流體進(jìn)行分流使其流通，且分流比與流經(jīng)上述主流路的流體流量相應(yīng)地發(fā)生被動(dòng)性變化；以及流量傳感器，設(shè)置在上述第一和第二流路的至少之一中。
2. 如權(quán)利要求1所述的流量計(jì)，其特征在于，所述第一和第二流路是沿該主流路的流體 流經(jīng)方向在空間上對(duì)所述主流路的流路截面進(jìn)行劃分而形成的。
3. 如權(quán)利要求1所述的流量計(jì)，其特征在于，所述第一和第二流路的至少之一與流經(jīng)所 述主流路的流體流量相應(yīng)地使對(duì)上述流體的流路阻尼發(fā)生被動(dòng)性變化，來使所述第一和第二 流路間的分流比變化。
4. 如權(quán)利要求1所述的流量計(jì)，其特征在于，所述第一和第二流路利用沿所述主流路的 流體流經(jīng)方向設(shè)置的隔壁體對(duì)該主流路的流路截面進(jìn)行劃分而形成，所述第一流路與所述第二流路相比較形成為具有微小流路截面的流路空間。
5. 如權(quán)利要求4所述的流量計(jì)，其特征在于，所述第一流路具有寬度收窄部，所述寬度 收窄部在確保相對(duì)于流體流動(dòng)的助起動(dòng)區(qū)間之后使所述第一流路的流路截面積收縮，在該寬 度收窄部組裝有所述流量傳感器。
6. 如權(quán)利要求1所述的流量計(jì)，其特征在于，所述第一流路由形成在網(wǎng)格缺損部下游側(cè) 的層流區(qū)域構(gòu)成，所述網(wǎng)格缺損部設(shè)置在覆蓋所述主流路的整個(gè)流路截面的網(wǎng)格體的一部分 上，所述第二流路作為所述網(wǎng)格體下游側(cè)的所述層流區(qū)域以外的區(qū)域在與所述層流區(qū)域之間 將所述主流路的流路截面等效劃分而形成。
7. 如權(quán)利要求5所述的流量計(jì)，其特征在于，設(shè)置在所述網(wǎng)格體的一部分上的網(wǎng)格缺損 部與所述主流路的流路截面相比較形成為微小的區(qū)域部。
8. 如權(quán)利要求6所述的流量計(jì)，其特征在于，具有所述網(wǎng)格缺損部的網(wǎng)格體在流體的流 經(jīng)方向上設(shè)置有多片，且所述網(wǎng)格缺損部的位置對(duì)齊。
9. 如權(quán)利要求l所述的流量計(jì)，其特征在于，所述第一和第二流路利用沿所述主流路的 流體流經(jīng)方向設(shè)置的隔壁體對(duì)該主流路的流路截面進(jìn)行劃分而形成，所述第二流路中設(shè)置有閘門機(jī)構(gòu)，所述閘門機(jī)構(gòu)相對(duì)于上述流體的流路阻尼隨流體的流 速而發(fā)生相應(yīng)的變化，所述第一和第二流路間的分流比根據(jù)該第二流路的流路阻尼變化，而 該第二流路的流路阻尼則根據(jù)該閘門機(jī)構(gòu)的開度而變化。
10. 如權(quán)利要求3所述的流量計(jì)，其特征在于，所述第二流路包括沿流體流動(dòng)將該第二 流路分隔為多條平行微細(xì)流路的格子狀分隔板。
11. 如權(quán)利要求10所述的流量計(jì)，其特征在于，所述格子狀分隔板形成規(guī)定長度的格子體，所述第二流路在所述流體的流經(jīng)方向上直排排列多個(gè)上述格子體，并且在這些格子體之 間分別裝入網(wǎng)格體。
12. 如權(quán)利要求l至ll中任一項(xiàng)所述的流量計(jì)，其特征在于，在所述第二流路中還具有 第二流量傳感器。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠簡易且高精度地檢測出漏氣等微小流量至通常用氣狀態(tài)下的大流量的流量計(jì)。本發(fā)明的流量計(jì)包括并排設(shè)置、對(duì)流經(jīng)主流路的流體進(jìn)行分流使其流通且分流比與流經(jīng)上述主流路的流體流量相應(yīng)地發(fā)生被動(dòng)性變化的第一和第二流路；以及設(shè)置于上述第一和第二流路中至少之一的流量傳感器。例如上述第一和第二流路形成為流路截面積不同的流路，或者由設(shè)置于網(wǎng)格體的一部分的網(wǎng)格缺損部形成?；蛘撸鲜龅谝缓偷诙髀吠ㄟ^在其中之一中組裝閘門機(jī)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)。
文檔編號(hào)G01F7/00GK101339063SQ200810131878
公開日2009年1月7日 申請(qǐng)日期2008年7月3日 優(yōu)先權(quán)日2007年7月6日
發(fā)明者大石安治, 新川宏一郎, 瀨尾雅己 申請(qǐng)人:株式會(huì)社山武