專利名稱：側(cè)對(duì)接式測(cè)試分選機(jī)及其測(cè)試盤傳輸設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及 一種側(cè)對(duì)接式測(cè)試分選機(jī)；并且特別涉及 一種側(cè)對(duì)接 式測(cè)試分選機(jī)的浸泡室或解除浸泡室內(nèi)的測(cè)試盤傳輸技術(shù)。
背景技術(shù)：
測(cè)試分選機(jī)是一種用于協(xié)助測(cè)試者測(cè)試通過(guò)制造工藝制造的半 導(dǎo)體裝置的設(shè)備。測(cè)試分選機(jī)根據(jù)半導(dǎo)體裝置的測(cè)試結(jié)果將其分類， 并將分類的裝置裝載到用戶盤。圖i為包括本發(fā)明的測(cè)試分選機(jī)的普通測(cè)試分選機(jī)ioo的概念平面圖。測(cè)試分選機(jī)100包括裝載單元110，浸泡室120，測(cè)試室130,解 除浸泡室140,卸載單元150，等等。裝載單元100將用戶盤內(nèi)待測(cè)試的半導(dǎo)體裝置裝載到在裝載位置 LP處等待的測(cè)試盤內(nèi)。接著，在浸泡室120內(nèi)，裝載于測(cè)試盤內(nèi)的從裝載位置LP被傳送 的半導(dǎo)體在被傳送到測(cè)試室130內(nèi)測(cè)試前，在測(cè)試環(huán)境條件下被預(yù)加 熱或預(yù)冷卻。通常，半導(dǎo)體裝置在多樣化的溫度環(huán)境下被使用。因此， 需要進(jìn)行測(cè)試以檢測(cè)半導(dǎo)體裝置在這樣多樣化的溫度環(huán)境條件內(nèi)是 否可用。在浸泡室120內(nèi)，受限于這樣多樣化的環(huán)境條件，半導(dǎo)體裝 置被預(yù)加熱或預(yù)冷卻。當(dāng)向測(cè)試室130傳送測(cè)試盤時(shí)，在浸泡室120 內(nèi)實(shí)施預(yù)加熱或預(yù)冷卻。在測(cè)試室130內(nèi)，在浸泡室120內(nèi)被預(yù)加熱或預(yù)冷卻后已被傳送至 測(cè)試位置TP的測(cè)試盤開(kāi)始與耦合到測(cè)試室130的測(cè)試器21緊密接觸， 由此，裝載在測(cè)試盤內(nèi)的半導(dǎo)體裝置被提供至測(cè)試器21 (更具體地， 半導(dǎo)體裝置開(kāi)始接觸該測(cè)試器的接觸拖座)以使測(cè)試能夠?qū)嵤?。在測(cè) 試室130內(nèi)部創(chuàng)造符合測(cè)試條件的溫度環(huán)境。在解除浸泡室140內(nèi)，裝載在測(cè)試盤內(nèi)時(shí)已從測(cè)試室130被傳送的 經(jīng)過(guò)預(yù)加熱或預(yù)冷卻的半導(dǎo)體裝置可恢復(fù)其溫度。卸載單元150將測(cè)試盤內(nèi)已從解除浸泡室140傳送至卸載位置UP的經(jīng)測(cè)試的半導(dǎo)體裝置按照其測(cè)試結(jié)果分類為幾個(gè)級(jí)別，并將其卸載 到客戶盤。如上面描述的，半導(dǎo)體裝置通過(guò)通道從裝載位置LP被傳送到卸載 位置UP，如箭頭"a"所指，經(jīng)由浸泡室120、測(cè)試室130內(nèi)的測(cè)試位 置TP、以及接觸浸泡室140。如上面所描述的，半導(dǎo)體裝置被裝載到 測(cè)試盤時(shí)，實(shí)施半導(dǎo)體裝置從裝載位置LP到卸載位置UP的傳送。相 應(yīng)地，測(cè)試盤也需要通過(guò)如箭頭"b"所示的環(huán)形通道被傳送，測(cè)試 盤沿該通道從裝載位置LP開(kāi)始，在通過(guò)浸泡室120、測(cè)試室130內(nèi)的測(cè) 試位置TP、解除浸泡室140以及卸載位置UP后返回到裝載位置LP。根據(jù)裝載在測(cè)試盤內(nèi)的半導(dǎo)體裝置納入接觸測(cè)試器的接觸拖座 內(nèi)的方式，具有上述基本環(huán)形通道的測(cè)試分選機(jī)100可分為兩種類型 一種是前端以下對(duì)接式，另一種是側(cè)對(duì)接式。側(cè)對(duì)接式測(cè)試分選機(jī)允 許裝載在測(cè)試盤內(nèi)的半導(dǎo)體裝置在接觸接觸拖座的同時(shí)保持測(cè)試盤 垂直。相應(yīng)的，在側(cè)對(duì)接式測(cè)試分選機(jī)中，半導(dǎo)體裝置的裝載完成后 必須將測(cè)試盤的狀態(tài)從水平狀態(tài)改變至垂直狀態(tài)，且半導(dǎo)體裝置的測(cè) 試完成后必須將測(cè)試盤狀態(tài)從垂直狀態(tài)改變至水平狀態(tài)。韓國(guó)專利提前公開(kāi)號(hào)1999-0077466 (參考文件)，名為"水平式 測(cè)試分選機(jī)中的測(cè)試盤傳輸方法"的專利文獻(xiàn)公開(kāi)了 一種涉及側(cè)對(duì)接 式測(cè)試分選機(jī)中測(cè)試盤的運(yùn)行通道的技術(shù)。參考文件中公開(kāi)的測(cè)試盤傳輸方法包括以下步驟在測(cè)試盤被傳 送至浸泡室(參考文件中浸泡室被限定為加熱室)前，改變裝載有半 導(dǎo)體裝置的測(cè)試盤的狀態(tài)至垂直狀態(tài)；保持測(cè)試盤垂直的同時(shí)傳送測(cè) 試盤至浸泡室；逐步地傳送浸泡室內(nèi)的測(cè)試盤的同時(shí)在測(cè)試條件下加 熱半導(dǎo)體裝置；保持測(cè)試盤垂直的同時(shí)供應(yīng)經(jīng)加熱的測(cè)試盤至測(cè)試單元；半導(dǎo)體裝置的測(cè)試完成后，保持測(cè)試盤垂直的同時(shí)傳送測(cè)試盤至 解除浸泡室(參考文件中解除浸泡室被限定為冷卻室)；逐步地傳送
解除浸泡室內(nèi)的測(cè)試盤的同時(shí)冷卻半導(dǎo)體裝置至外部溫度；從解除浸 泡室取出測(cè)試盤并將測(cè)試盤從垂直狀態(tài)改變至水平狀態(tài)；傳送水平狀 態(tài)的測(cè)試盤至卸載位置；并且在卸載半導(dǎo)體裝置后，水平地傳送測(cè)試 盤至裝載位置。
參考文件中，在測(cè)試盤被傳動(dòng)到浸泡室前，裝載有半導(dǎo)體裝置的 測(cè)試盤的狀態(tài)被改變至垂直狀態(tài)，而后垂直狀態(tài)的測(cè)試盤被傳送到浸 泡室內(nèi)；并且，在浸泡室120內(nèi)，保持測(cè)試盤垂直的同時(shí)測(cè)試盤被朝 向測(cè)試室傳送。盡管如此，這樣的方法存在如下問(wèn)題。
第一，參考文件中公開(kāi)的運(yùn)行通道需要傳送已裝載有半導(dǎo)體裝置 的測(cè)試盤至浸泡室上方位置這一步驟，并且需要附加將垂直狀態(tài)的測(cè) 試盤從解除浸泡室傳送至解除浸泡室上方位置這一步驟。盡管如此， 這些步驟需要與測(cè)試環(huán)境下加熱或冷卻半導(dǎo)體裝置以保持其與測(cè)試 環(huán)境相適應(yīng)的過(guò)程或恢復(fù)半導(dǎo)體裝置溫度的過(guò)程無(wú)關(guān)的額外的時(shí)間。 因此，與這些附加步驟需求的時(shí)間一樣，處理半導(dǎo)體裝置的效率下降。
第二，改變測(cè)試盤的狀態(tài)至垂直狀態(tài)或水平狀態(tài)需要的時(shí)間也與 測(cè)試環(huán)境中加熱或冷卻半導(dǎo)體裝置以保持其適合測(cè)試條件的過(guò)程或 恢復(fù)半導(dǎo)體裝置的溫度的過(guò)程無(wú)關(guān)。因此，狀態(tài)改變步驟導(dǎo)致處理效 率的降低。
第三，參考文件中，由于在浸泡室以及解除浸泡室內(nèi)保持其垂直 的同時(shí)，裝載有半導(dǎo)體裝置的測(cè)試盤逐步地被傳送，浸泡室以及解除 浸泡室需要具有足夠的正倒向長(zhǎng)度以獲得充足的時(shí)間，在這段時(shí)間內(nèi) 加熱或冷卻裝載在測(cè)試盤內(nèi)的半導(dǎo)體裝置或恢復(fù)半導(dǎo)體裝置的溫度。 因此，測(cè)試分選機(jī)的正倒向長(zhǎng)度被加長(zhǎng)，導(dǎo)致整個(gè)設(shè)備尺寸的增加。
第四，根據(jù)參考文件，由于在浸泡室以及解除浸泡室內(nèi)保持其垂 直的同時(shí)，裝載有半導(dǎo)體裝置的測(cè)試盤被傳送，移動(dòng)處于垂直狀態(tài)的
8測(cè)試盤所沿的傳送通道被加長(zhǎng)。通常，如果這樣的傳送通道較長(zhǎng)，裝 載在測(cè)試盤內(nèi)的半導(dǎo)體裝置有高的可能性從測(cè)試盤分離或從測(cè)試盤 內(nèi)的設(shè)定位置脫離。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種允許浸泡室或解除浸泡室內(nèi) 測(cè)試盤的狀態(tài)改變，同時(shí)允許浸泡室或解除浸泡室內(nèi)測(cè)試盤以水平的 狀態(tài)被傳送的技術(shù)。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供一種側(cè)對(duì)接式測(cè)試分選機(jī)，包括 用于裝載未測(cè)試半導(dǎo)體裝置至裝載位置處的測(cè)試盤內(nèi)的裝載單元；用 于預(yù)加熱或預(yù)冷卻裝載在以水平狀態(tài)從裝載位置處被傳送的測(cè)試盤 內(nèi)的半導(dǎo)體裝置的浸泡室；用于允許裝載在從浸泡室傳送的測(cè)試盤內(nèi) 的未測(cè)試半導(dǎo)體裝置在其中被測(cè)試的測(cè)試室；用于恢復(fù)裝載在從測(cè)試 室傳送的測(cè)試盤內(nèi)的半導(dǎo)體裝置的溫度的解除浸泡室；用于卸載裝載 在從解除浸泡室傳送至卸載位置處的測(cè)試盤內(nèi)的半導(dǎo)體裝置至用戶 盤，同時(shí)根據(jù)其測(cè)試結(jié)果將測(cè)試的半導(dǎo)體裝置分為幾種級(jí)別的卸載單 元；用于將已被傳送至浸泡室內(nèi)的水平狀態(tài)的測(cè)試盤降低至下降結(jié)束 位置的下降機(jī)構(gòu)；用于將已被降低至下降結(jié)束位置的測(cè)試盤的狀態(tài)從 水平狀態(tài)改變至垂直狀態(tài)，以傳送測(cè)試盤至測(cè)試室內(nèi)的垂直狀態(tài)改變 機(jī)構(gòu)；及用于在測(cè)試盤傳送到卸載位置之前，將測(cè)試盤的狀態(tài)從垂直 狀態(tài)改變至水平狀態(tài)的水平狀態(tài)改變機(jī)構(gòu)。
優(yōu)選地，垂直狀態(tài)改變機(jī)構(gòu)傳送已被降低至下降結(jié)束位置的測(cè)試 盤至測(cè)試室內(nèi)，同時(shí)改變測(cè)試盤的狀態(tài)至垂直狀態(tài)。
優(yōu)選地，該測(cè)試分選機(jī)進(jìn)一步包括用于將水平地位于解除浸泡室 內(nèi)的上升起始位置處的測(cè)試盤抬高至上升結(jié)東位置的上升機(jī)構(gòu)，其中 水平狀態(tài)改變機(jī)構(gòu)將已從測(cè)試室傳送的測(cè)試盤傳送至上升起始位置， 同時(shí)將測(cè)試盤的狀態(tài)改變至水平狀態(tài)。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種側(cè)對(duì)接式測(cè)試分選機(jī)，包括用于裝載未測(cè)試半導(dǎo)體裝置至裝載位置處的測(cè)試盤內(nèi)的裝載單元；用 于預(yù)加熱或預(yù)冷卻裝載在以水平狀態(tài)從裝載位置被傳送的測(cè)試盤內(nèi) 的半導(dǎo)體裝置的浸泡室；用于允許裝載在從浸泡室傳送的測(cè)試盤內(nèi)的
未測(cè)試半導(dǎo)體裝置在其中被測(cè)試的測(cè)試室；用于恢復(fù)裝載在從測(cè)試室 傳送的測(cè)試盤內(nèi)的半導(dǎo)體裝置的溫度的解除浸泡室；用于卸載裝載在 從解除浸泡室傳送至卸載位置的測(cè)試盤內(nèi)的半導(dǎo)體裝置至用戶盤，同 時(shí)根據(jù)其測(cè)試結(jié)果將測(cè)試的半導(dǎo)體裝置分為幾種級(jí)別的卸載單元；用 于改變測(cè)試盤狀態(tài)從水平狀態(tài)至垂直狀態(tài)，傳送測(cè)試盤至測(cè)試室內(nèi)的 垂直狀態(tài)改變機(jī)構(gòu)；用于傳送已從測(cè)試室傳送的測(cè)試盤至上升起始位 置，同時(shí)改變測(cè)試盤的狀態(tài)至水平狀態(tài)的水平狀態(tài)改變機(jī)構(gòu)；及用于 抬高已通過(guò)垂直狀態(tài)改變機(jī)構(gòu)傳送到上升起始位置處的測(cè)試盤至解 除浸泡室內(nèi)的上升結(jié)東位置處的上升機(jī)構(gòu)。
根據(jù)本發(fā)明的再 一方面，提供 一種應(yīng)用于側(cè)對(duì)接式測(cè)試分選機(jī)的 測(cè)試盤傳送設(shè)備，包括用于向下降低水平狀態(tài)測(cè)試盤從下降起始位 置至下降結(jié)束位置的下降機(jī)構(gòu)；及用于改變已降低至下降結(jié)東位置的 測(cè)試盤的狀態(tài)從水平狀態(tài)至垂直狀態(tài)的垂直狀態(tài)改變機(jī)構(gòu)。
優(yōu)選地，垂直狀態(tài)改變機(jī)構(gòu)包括用于托住或松開(kāi)測(cè)試盤的夾緊 部件；及一端與夾緊部件連接，其另一端以可旋轉(zhuǎn)方式固定的旋轉(zhuǎn)杠 桿，其中旋轉(zhuǎn)杠桿可在90度的角度范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。
優(yōu)選地，下降機(jī)構(gòu)包括 一對(duì)彼此分開(kāi)一定距離以維持測(cè)試盤在 其之間的環(huán)道構(gòu)件，每個(gè)環(huán)道構(gòu)件具有可通過(guò)驅(qū)動(dòng)源圍繞下降起始位 置以及下降結(jié)束位置轉(zhuǎn)動(dòng)的環(huán)狀部件；及以固定間隔連接于環(huán)道構(gòu)件 的環(huán)狀部件，用于托住其上水平狀態(tài)的測(cè)試盤的若干支架。這種情況 下，環(huán)狀部件可為帶或鏈條。
根據(jù)本發(fā)明的再 一個(gè)方面，提供 一種應(yīng)用于側(cè)對(duì)接式測(cè)試分選機(jī) 的測(cè)試盤傳輸設(shè)備，包括用于傳送測(cè)試盤至上升起始位置，同時(shí)將
測(cè)試盤狀態(tài)從垂直狀態(tài)改變至水平狀態(tài)的水平狀態(tài)改變機(jī)構(gòu)；及用于
10將已通過(guò)水平狀態(tài)改變機(jī)構(gòu)傳送至上升起始位置處的測(cè)試盤抬高至上升結(jié)東位置處的上升機(jī)構(gòu)。
優(yōu)選地，水平狀態(tài)改變機(jī)構(gòu)包括用于托住或松開(kāi)測(cè)試盤的夾緊部件；以及一端連接于夾緊部件，其另一端以可旋轉(zhuǎn)方式固定的旋轉(zhuǎn)杠桿，其中旋轉(zhuǎn)杠桿可在90度的角度范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。
優(yōu)選地，上升機(jī)構(gòu)包括 一對(duì)彼此分開(kāi)一定距離以維持測(cè)試盤在
其之間的環(huán)道構(gòu)件，每個(gè)環(huán)道構(gòu)件具有可通過(guò)驅(qū)動(dòng)源圍繞上升起始位
置以及上升結(jié)東位置轉(zhuǎn)動(dòng)的環(huán)狀部件；及以固定間隔連接于環(huán)道構(gòu)件的環(huán)狀部件，以托住其上水平狀態(tài)的測(cè)試盤的若干支架。這種情況下，環(huán)狀部件可為帶或鏈條。
根據(jù)本發(fā)明的再 一方面，提供 一種側(cè)對(duì)接式測(cè)試分選機(jī)中測(cè)試盤的傳送方法，包括(a)在裝載半導(dǎo)體裝置于其上完成后，從裝載位置，經(jīng)由浸泡室，傳送水平狀態(tài)的測(cè)試盤至測(cè)試室內(nèi)，其中，在其被傳送時(shí)，測(cè)試盤的狀態(tài)從水平狀態(tài)改變至垂直狀態(tài)；(b)裝載在被傳送至測(cè)試室內(nèi)的測(cè)試盤內(nèi)的半導(dǎo)體裝置的測(cè)試完成后，傳送測(cè)試盤至解除浸泡室內(nèi)的上升起始位置處，同時(shí)將測(cè)試盤狀態(tài)從垂直狀態(tài)改變至水平狀態(tài)；(c)在解除浸泡室內(nèi)從上升起始位置抬高測(cè)試盤至上升結(jié)束位置；(d)從上升結(jié)東位置傳送測(cè)試盤至卸載位置；及(e)在半導(dǎo)體裝置從其上完全卸載后，從卸載位置傳送測(cè)試盤至裝載位置。
有益效果
根據(jù)如上面所描述的本發(fā)明，可獲得以下效果。
第一，由于沒(méi)有將與預(yù)加熱/預(yù)冷卻測(cè)試盤或恢復(fù)半導(dǎo)體裝置的
溫度的過(guò)程無(wú)關(guān)的特征加入到測(cè)試盤的基本環(huán)形路徑中，本測(cè)試分選
機(jī)的處理效率可得到提高。
第二，由于將測(cè)試盤狀態(tài)改變至垂直狀態(tài)或至水平狀態(tài)的過(guò)程在
浸泡室內(nèi)或解除浸泡室內(nèi)實(shí)施，這些測(cè)試盤的狀態(tài)改變需要的時(shí)間包
含在測(cè)試環(huán)境下加熱或冷卻半導(dǎo)體裝置或恢復(fù)其溫度以由此使其適合測(cè)試條件的時(shí)間之內(nèi)。因此，本測(cè)試分選機(jī)的處理效率可提高。
第三，僅需略微增加浸泡室或解除浸泡室的正倒向長(zhǎng)度便足以容
納水平狀態(tài)的測(cè)試盤以及該對(duì)環(huán)道構(gòu)件。因此，該設(shè)備的尺寸可減小。第四，由于裝載有半導(dǎo)體裝置的測(cè)試盤在浸泡室或解除浸泡室內(nèi)
保持垂直的時(shí)間被省略，可減少半導(dǎo)體裝置從測(cè)試盤分離的可能性。


本發(fā)明的上述以及其他目的和特征將從以下結(jié)合附圖所給的實(shí)
施例的描述中變得清晰，其中
圖l為描述普通測(cè)試分選機(jī)(包括根據(jù)本發(fā)明的測(cè)試分選機(jī))中半導(dǎo)體裝置以及測(cè)試盤的傳送通道的平面圖2示出了根據(jù)本發(fā)明的 一 個(gè)實(shí)施例的測(cè)試分選機(jī)的剖面示意
圖3呈現(xiàn)了顯示圖2主要部分的透視圖4-9提供了描述在根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的測(cè)試分選機(jī)浸泡室內(nèi)實(shí)施的測(cè)試盤傳輸過(guò)程的示意圖IO描述了根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例測(cè)試分選機(jī)的剖面示意圖，該圖顯示了設(shè)置有解除浸泡室的測(cè)試分選機(jī)的右側(cè)；
圖11為顯示圖10主要部分的透視圖；及
圖12-17提供了描述在根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的測(cè)試分選機(jī)解除浸泡室內(nèi)實(shí)施的測(cè)試盤傳輸過(guò)程的示意圖。
具體實(shí)施例方式
以下將參照附圖詳細(xì)描述一種根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的側(cè)對(duì)接式測(cè)試分選機(jī)。
(浸泡室120內(nèi)的工作過(guò)程)
圖2為根據(jù)本發(fā)明的 一個(gè)實(shí)施例的測(cè)試分選機(jī)100的剖視圖，該圖顯示了設(shè)置有浸泡室120的測(cè)試分選機(jī)100的左側(cè)。圖3為顯示圖2的主要部分的透視圖。如圖2所示，盤安放機(jī)構(gòu)210、下降機(jī)構(gòu)220，垂直狀態(tài)改變機(jī)構(gòu) 230等等整體安裝于測(cè)試分選機(jī)100的浸泡室120內(nèi)。
盤安放機(jī)構(gòu)210托住從裝載位置LP傳送的測(cè)試盤TT,并支撐其到 下降起始位置DSP,測(cè)試盤TT通過(guò)下降機(jī)構(gòu)220從該下降起始位置 DSP處開(kāi)始下降。
下降機(jī)構(gòu)220將測(cè)試盤從下降起始位置DSP下降到下降結(jié)東位置 DFP。為了這個(gè)目的，下降機(jī)構(gòu)220包括一對(duì)環(huán)道構(gòu)件221以及若干支 架222。
環(huán)道構(gòu)件2 21以特定的正倒向距離彼此間隔放置，以在其間水平 地托住并固定測(cè)試盤。該對(duì)環(huán)道構(gòu)件221的每一個(gè)都包括可旋轉(zhuǎn)地固 定在下降起始位置DSP處且由電動(dòng)機(jī)240轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)滾軸221a;可旋 轉(zhuǎn)地固定在下降結(jié)東位置DFP處的傳動(dòng)滾軸221b; —對(duì)鏈條221c,圍 繞驅(qū)動(dòng)滾軸221a以及傳動(dòng)滾軸221b的一對(duì)環(huán)形部件。這里，該對(duì)鏈條 221c與安裝在驅(qū)動(dòng)輪221a以及傳動(dòng)輪221b每端的扣鏈齒輪S連接，使 得它們可以圍繞其旋轉(zhuǎn)。這里，鏈條221c可由帶或類似物替代。進(jìn)一 步地，盡管圖3中為便于說(shuō)明提供了一對(duì)用于驅(qū)動(dòng)各自的環(huán)道構(gòu)件221 的電動(dòng)機(jī)240，設(shè)定該對(duì)環(huán)道構(gòu)件221由單個(gè)電動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)也是可能的。 在這種情況下，另外還需要用于使兩鏈條以相反方向轉(zhuǎn)動(dòng)的鏈條。
支架222以固定的間隔與安裝在每個(gè)環(huán)道構(gòu)件221的該對(duì)鏈條 221c連接。在下降位置DS處一個(gè)環(huán)道構(gòu)件221的支架222突出面向另 一個(gè)環(huán)道構(gòu)件221的支架，以托住正在處于水平狀態(tài)下降的測(cè)試盤。 相應(yīng)地，隨著鏈條221c被轉(zhuǎn)動(dòng)，支架222也被轉(zhuǎn)動(dòng)。
參照?qǐng)D2和圖3，垂直狀態(tài)改變機(jī)構(gòu)230包括旋轉(zhuǎn)杠桿231,夾緊部 件232，等等。旋轉(zhuǎn)杠桿231的可由圓柱體250 (可由電動(dòng)機(jī)替代)轉(zhuǎn) 動(dòng)的一端可旋轉(zhuǎn)地固定，旋轉(zhuǎn)杠桿231的另一端向下延伸。夾緊部件 232安裝在旋轉(zhuǎn)杠桿231的另一端，且用于托住或放開(kāi)測(cè)試盤。這里， 輪換杠桿231在一個(gè)角度范圍內(nèi)往復(fù)轉(zhuǎn)動(dòng)，例如圖2所示的圓柱體250的活塞連桿250a向前以及向后移動(dòng)的90度。當(dāng)旋轉(zhuǎn)杠桿231完成逆時(shí) 針旋轉(zhuǎn)(沿圖2中由箭頭"a"標(biāo)記的方向)(以下，稱為"逆向旋轉(zhuǎn)"), 夾緊部件232到達(dá)可以水平地夾緊保持在下降結(jié)束位置DFP的測(cè)試盤 的位置。當(dāng)旋轉(zhuǎn)杠桿231完成順時(shí)針旋轉(zhuǎn)(沿圖2中箭頭"b"標(biāo)記的 方向)(以下，稱為"前向旋轉(zhuǎn)")，被夾緊部件232夾緊的測(cè)試盤可置 于測(cè)試室130中，其狀態(tài)改變至垂直狀態(tài)。
現(xiàn)在，將對(duì)具有上述結(jié)構(gòu)的測(cè)試分選機(jī)100的浸泡室120中的工作 過(guò)程進(jìn)行說(shuō)明。
如圖4所示，如果測(cè)試盤TT被一推桿(未顯示)從裝載位置傳送 至浸泡室120內(nèi)(如圖4中箭頭所指)，盤安放機(jī)構(gòu)210托住測(cè)試盤TT 使其向下移動(dòng)至下降起始位置DSP (如圖5中箭頭所指)并將測(cè)試盤 TT架在設(shè)置在下降起始位置DSP處的支架222a上，如圖5所示。
接著，電動(dòng)機(jī)240運(yùn)轉(zhuǎn)以轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)滾軸221a、傳動(dòng)滾軸221b以及 鏈條221c(如圖6中實(shí)線箭頭所指)，由此測(cè)試盤TT被下降至下降結(jié)束 位置DFP (如圖6中虛線箭頭所指)。這里，可逐步地轉(zhuǎn)動(dòng)鏈條221c以 逐步地將水平狀態(tài)的測(cè)試盤下降至下降結(jié)東位置DFP或者可持續(xù)轉(zhuǎn) 動(dòng)鏈條221c以直接將測(cè)試盤TT下降至下降結(jié)東位置DFP。執(zhí)行漸進(jìn)或 持續(xù)操作中任一操作的選擇取決于控制器(未顯示)認(rèn)可的測(cè)試環(huán)境。 當(dāng)測(cè)試盤TT向下移動(dòng)，測(cè)試盤TT中裝載的半導(dǎo)體裝置適應(yīng)浸泡室120 的內(nèi)部環(huán)境，因此它們預(yù)加熱或預(yù)冷卻。
如果處于水平狀態(tài)的測(cè)試盤TT達(dá)到下降結(jié)東位置DFP，圓柱體 250的活塞連桿250a向前移動(dòng)，由此逆向轉(zhuǎn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)杠桿231 (如圖7中 箭頭所指)，夾緊部件232可夾緊水平地保持在下降結(jié)束位置DFP處的 測(cè)試盤TT，如圖7所示。
如果夾緊部件232夾緊水平地位于下降結(jié)東位置DFP的測(cè)試盤 TT，活塞連桿250a此時(shí)向后移動(dòng)，由此旋轉(zhuǎn)杠桿231被前向轉(zhuǎn)動(dòng)90度 (如圖8中箭頭所指)。通過(guò)旋轉(zhuǎn)杠桿231的前向旋轉(zhuǎn)，狀態(tài)從水平狀態(tài)改變成垂直狀態(tài)的測(cè)試盤TT位于測(cè)試室130內(nèi)。此時(shí)，鏈條221c被 轉(zhuǎn)動(dòng)一定角度以使支架222不妨礙測(cè)試盤TT的運(yùn)動(dòng)以及狀態(tài)改變。通 過(guò)利用根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的這種垂直狀態(tài)改變機(jī)構(gòu)230，當(dāng)其狀態(tài) 正從水平狀態(tài)改變?yōu)榇怪钡臓顟B(tài)時(shí)，測(cè)試盤TT被傳送到測(cè)試室130內(nèi) 以使測(cè)試盤能夠以垂直的狀態(tài)放置于測(cè)試室內(nèi)。因此，傳統(tǒng)的測(cè)試盤 以垂直的狀態(tài)向測(cè)試室傳送的過(guò)程可被省略。
同時(shí)，在測(cè)試分選機(jī)100的實(shí)際工作過(guò)程中，多個(gè)測(cè)試盤TT在測(cè) 試分選機(jī)100中相繼傳送，這樣，在浸泡室120內(nèi)，通常多個(gè)測(cè)試盤TT 被一起移動(dòng)，如圖9所示。在通過(guò)裝載單元110執(zhí)行的裝載被延遲的情 況下，不論如何，測(cè)試盤TT都不可能被相繼設(shè)置在浸泡室120內(nèi)的傳 送通道中。這種情況下，如果在前的測(cè)試盤已經(jīng)被傳送到測(cè)試室130 內(nèi)，延時(shí)被傳送至浸泡室120內(nèi)的測(cè)試盤可被設(shè)定為通過(guò)上面描述的 控制下降機(jī)構(gòu)的方式直接下降。
(解除浸泡室140內(nèi)的工作過(guò)程)
通常，在解除浸泡室140 —側(cè)的測(cè)試盤的傳送過(guò)程與浸泡室120 一側(cè)的測(cè)試盤的傳送過(guò)程對(duì)稱。也就是說(shuō)，在浸泡室120內(nèi)，已從裝 載位置LP進(jìn)入浸泡室120的測(cè)試盤TT下降，然后當(dāng)其狀態(tài)正改變?yōu)榇?直的狀態(tài)時(shí)被傳送到測(cè)試室130。盡管如此，在解除浸泡室140內(nèi)，當(dāng) 測(cè)試室130內(nèi)垂直狀態(tài)的TT的狀態(tài)正改變?yōu)樗降臓顟B(tài)時(shí)，其被移入 解除浸泡室140內(nèi)，并且在測(cè)試盤TT被水平地放置在解除浸泡室140 內(nèi)后，測(cè)試盤TT被抬高為被傳送至卸載位置UP做準(zhǔn)備。相應(yīng)地，解 除浸泡室140的構(gòu)成部分及其功能對(duì)稱地與浸泡室120的那些構(gòu)成部 分相同，以下將參照?qǐng)D10描述一種解除浸泡室140的結(jié)構(gòu)，同時(shí)盡量 減少多余描述。
圖10為根據(jù)本發(fā)明的測(cè)試分選機(jī)100的剖視圖，該圖顯示了設(shè)置 有解除浸泡室140的測(cè)試分選機(jī)100的右側(cè)。圖11為顯示了圖10的主要
構(gòu)成的透視圖。
15如圖10所示，水平狀態(tài)改變機(jī)構(gòu)1230，上升機(jī)構(gòu)1220，盤分離機(jī) 構(gòu)1210,等等整體安裝在測(cè)試分選機(jī)100的解除浸泡室140內(nèi)部。
水平狀態(tài)改變機(jī)構(gòu)1230與上面描述的垂直狀態(tài)改變機(jī)構(gòu)230 — 致。如圖10以及圖11所示，水平狀態(tài)改變機(jī)構(gòu)1230包括旋轉(zhuǎn)杠桿1231， 夾緊部件1232,等等。旋轉(zhuǎn)杠桿1231的可由圓柱體1250轉(zhuǎn)動(dòng)的一端可 轉(zhuǎn)動(dòng)地固定，其另一端向下延伸。夾緊部件1231安裝于旋轉(zhuǎn)杠桿1231 的另一端且用于托住或放開(kāi)測(cè)試盤。這里，旋轉(zhuǎn)杠桿1231在一固定的 角度范圍內(nèi)往復(fù)轉(zhuǎn)動(dòng)，例如圓柱體1250的活塞連桿1250a向前以及向 后移動(dòng)的90度。當(dāng)旋轉(zhuǎn)杠桿1231完成逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)(沿圖10箭頭"c" 標(biāo)記的方向)(以下稱為"逆向旋轉(zhuǎn)")，夾緊部件1231到達(dá)能夠夾緊 垂直地處于測(cè)試室130內(nèi)的測(cè)試盤的位置。當(dāng)旋轉(zhuǎn)杠桿1231完成順時(shí) 針旋轉(zhuǎn)(沿圖10箭頭"d"標(biāo)記的方向)(以下稱為"前向旋轉(zhuǎn)")，被 夾緊部件1232夾緊的測(cè)試盤可置于解除浸泡室140內(nèi)的上升起始位置 USP處，其狀態(tài)改變?yōu)樗綘顟B(tài)。
上升機(jī)構(gòu)1220與浸泡室120的下降機(jī)構(gòu)220對(duì)應(yīng)。上升機(jī)構(gòu)1220 將測(cè)試盤從上升起始位置USP抬高至上升結(jié)束位置UFP。如圖10以及 圖11所示，該上升機(jī)構(gòu)1220包括一對(duì)環(huán)道構(gòu)件1221以及若干支架 1222。
兩個(gè)環(huán)道構(gòu)件12 21彼此間隔 一 定正倒向距離以在其間水平地托 住并維持測(cè)試盤。該對(duì)環(huán)道構(gòu)件1221的每一個(gè)都包括以可旋轉(zhuǎn)方式固 定在上升起始位置USP處并由電動(dòng)機(jī)1240轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)滾軸1221b;可 旋轉(zhuǎn)方式固定在上升結(jié)東位置UFP處的傳動(dòng)滾軸1221a; —對(duì)鏈條 1221c，圍繞驅(qū)動(dòng)滾軸1221b以及被驅(qū)動(dòng)滾軸1221a的一對(duì)環(huán)狀部件。
支架1222以固定間隔與安裝在每個(gè)環(huán)道構(gòu)件1221的該對(duì)鏈條 122c連接。 一個(gè)環(huán)道構(gòu)件1221的支架1222突出面向另一個(gè)環(huán)道構(gòu)件 1221的支架以托住測(cè)試盤TT使其處于水平狀態(tài)
盤分離機(jī)構(gòu)1210托住被上升機(jī)構(gòu)1220抬高至上升結(jié)東位置UFP處的測(cè)試盤TT，并向上移動(dòng)其至適當(dāng)位置，測(cè)試盤能夠從該位置被 傳送到卸載位置。
現(xiàn)在，將說(shuō)明上述結(jié)構(gòu)的測(cè)試分選機(jī)100的解除浸泡室140中的工
作過(guò)程。
如果裝載有測(cè)試半導(dǎo)體裝置的處于垂直狀態(tài)的測(cè)試盤TT被傳送 到測(cè)試室130的右側(cè)，圓柱體1250的活塞連桿1250a被向后移動(dòng)以逆向 地轉(zhuǎn)動(dòng)輪換杠桿1231 (如圖12中箭頭所指)，由此夾緊部件1232可夾 緊垂直狀態(tài)的測(cè)試盤TT。
當(dāng)夾緊部件1232夾緊垂直位于測(cè)試室130內(nèi)的測(cè)試盤TT時(shí)，圓柱 體1250的活塞連桿1250a被向后移動(dòng)以向前轉(zhuǎn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)杠桿1231 (如圖 13中箭頭所指)，由此垂直狀態(tài)的測(cè)試盤TT被置于上升起始位置USP 處。為協(xié)助這一操作，驅(qū)動(dòng)滾軸1221b、傳動(dòng)滾軸1221a以及鏈條1221c 被轉(zhuǎn)動(dòng)到某一角度。
如圖13所示，如果測(cè)試盤被置于上升起始位置USP處，電動(dòng)機(jī) 1240運(yùn)轉(zhuǎn)以轉(zhuǎn)動(dòng)鏈條1221c(如圖14中實(shí)線箭頭所指)，由此測(cè)試盤TT 被抬高至上升結(jié)東位置UFP (如圖14中虛線箭頭所指)，如圖14所示。 這里，如有必要，鏈條1221c可設(shè)置為可被逐步地轉(zhuǎn)動(dòng)或持續(xù)地轉(zhuǎn)動(dòng)， 以抬高測(cè)試盤T T至上升結(jié)束位置UF P 。
接著，如果測(cè)試盤TT到達(dá)上升結(jié)東位置UFP，盤分離機(jī)構(gòu)1210 上升(如圖15中箭頭所指)并在上升結(jié)東位置UFP處托住測(cè)試盤TT， 如圖15所示。然后，如圖16所示，盤分離機(jī)構(gòu)1210向上移動(dòng)測(cè)試盤TT 至一位置，測(cè)試盤TT從該位置處被傳送到卸載位置(如圖16箭頭所 指)，而后測(cè)試盤TT由一推桿(未顯示)傳送到卸載位置處，如圖17 所示。
盡管已通過(guò)上面的實(shí)施例描述了根據(jù)本發(fā)明的測(cè)試分選機(jī)，本發(fā) 明的技術(shù)核心仍在于用于在浸泡室以及解除浸泡室內(nèi)傳送測(cè)試盤的 測(cè)試盤傳輸設(shè)備。也就是說(shuō)，根據(jù)本發(fā)明，通過(guò)在浸泡室內(nèi)安裝下降機(jī)構(gòu)以及垂直狀態(tài)改變機(jī)構(gòu)，同時(shí)在解除浸泡室內(nèi)安裝上升機(jī)構(gòu)以及 水平狀態(tài)改變機(jī)構(gòu)，測(cè)試分選機(jī)可執(zhí)行上述實(shí)施例所描述的操作。相 應(yīng)地，側(cè)對(duì)接型測(cè)試分選機(jī)的測(cè)試盤傳送設(shè)備是本發(fā)明的主要特征， 且該發(fā)明的測(cè)試盤傳輸技術(shù)用于浸泡室以及解除浸泡室內(nèi)測(cè)試盤的 傳送。
盡管已經(jīng)就實(shí)施例示出并描述了本發(fā)明，應(yīng)該可以理解，本領(lǐng)域 的技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的范圍的前提下還可做出各種變化和變 型，本發(fā)明的保護(hù)范圍由所附權(quán)利要求限定。
權(quán)利要求
1、一種側(cè)對(duì)接式測(cè)試分選機(jī)，包括用于裝載未測(cè)試半導(dǎo)體裝置至位于裝載位置處的測(cè)試盤內(nèi)的裝載單元；用于預(yù)加熱或預(yù)冷卻裝載在以水平狀態(tài)從裝載位置被傳送的測(cè)試盤內(nèi)的半導(dǎo)體裝置的浸泡室；用于允許裝載在從浸泡室傳送的測(cè)試盤內(nèi)的未測(cè)試半導(dǎo)體裝置在其中被測(cè)試的測(cè)試室；用于恢復(fù)裝載在從測(cè)試室傳送的測(cè)試盤內(nèi)的半導(dǎo)體裝置的溫度的解除浸泡室；用于卸載裝載在從解除浸泡室傳送至卸載位置的測(cè)試盤內(nèi)的半導(dǎo)體裝置至用戶盤，同時(shí)根據(jù)其測(cè)試結(jié)果將測(cè)試的半導(dǎo)體裝置分級(jí)的卸載單元；用于向下降低已被傳送至浸泡室內(nèi)的水平狀態(tài)的測(cè)試盤至下降結(jié)束位置的下降機(jī)構(gòu)；用于將已被降低至下降結(jié)束位置的測(cè)試盤的狀態(tài)從水平狀態(tài)改變至垂直狀態(tài)，以傳送測(cè)試盤至測(cè)試室內(nèi)的垂直狀態(tài)改變機(jī)構(gòu)；及用于在測(cè)試盤被傳送到卸載位置之前將測(cè)試盤的狀態(tài)從垂直狀態(tài)改變至水平狀態(tài)的水平狀態(tài)改變機(jī)構(gòu)。
2、 如權(quán)利要求l所述的測(cè)試分選機(jī)，其中所述垂直狀態(tài)改變機(jī) 構(gòu)傳送已被降低至下降結(jié)東位置的測(cè)試盤至測(cè)試室內(nèi)，同時(shí)改變測(cè)試 盤的狀態(tài)至垂直狀態(tài)。
3、 如權(quán)利要求l所述的測(cè)試分選機(jī)，進(jìn)一步包括 用于抬高水平地位于解除浸泡室內(nèi)的上升起始位置的測(cè)試盤至上升結(jié)東位置的上升機(jī)構(gòu)，其中，所述水平狀態(tài)改變機(jī)構(gòu)傳送已從測(cè)試室傳送的測(cè)試盤至上 升起始位置，同時(shí)改變測(cè)試盤的狀態(tài)至水平狀態(tài)。
4、 一種側(cè)對(duì)接式測(cè)試分選機(jī)，包括用于裝載未測(cè)試半導(dǎo)體裝置至位于裝載位置處的測(cè)試盤內(nèi)的裝載單元；用于預(yù)加熱或預(yù)冷卻裝載在以水平狀態(tài)從裝載位置被傳送的測(cè)試盤內(nèi)的半導(dǎo)體裝置的浸泡室；用于允許裝載在從浸泡室傳送的測(cè)試盤內(nèi)的未測(cè)試半導(dǎo)體裝置在其中被測(cè)試的測(cè)試室；用于恢復(fù)裝載在從測(cè)試室傳送的測(cè)試盤內(nèi)的半導(dǎo)體裝置的溫度 的解除浸泡室；用于卸載裝載在從解除浸泡室傳送至卸載位置的測(cè)試盤內(nèi)的半 導(dǎo)體裝置至用戶盤，同時(shí)根據(jù)其測(cè)試結(jié)果將測(cè)試的半導(dǎo)體裝置分為幾 種級(jí)別的卸載單元；用于改變測(cè)試盤狀態(tài)從水平狀態(tài)至垂直狀態(tài)，傳送測(cè)試盤至測(cè)試 室內(nèi)的垂直狀態(tài)改變機(jī)構(gòu)；用于傳送已從測(cè)試室傳送的測(cè)試盤至上升起始位置，同時(shí)改變測(cè) 試盤的狀態(tài)至水平狀態(tài)的水平狀態(tài)改變機(jī)構(gòu)；及用于抬高已通過(guò)垂直狀態(tài)改變機(jī)構(gòu)傳送到上升起始位置的測(cè)試 盤至解除浸泡室內(nèi)的上升結(jié)東位置處的上升機(jī)構(gòu)。
5、 一種應(yīng)用于側(cè)對(duì)接式測(cè)試分選機(jī)的測(cè)試盤傳輸設(shè)備，包括 用于將處于水平狀態(tài)的測(cè)試盤從下降起始位置降低至下降結(jié)東位置的下降機(jī)構(gòu)；及用于將已降低至下降結(jié)束位置的測(cè)試盤的狀態(tài)從水平狀態(tài)改變 至垂直狀態(tài)的垂直狀態(tài)改變機(jī)構(gòu)。
6、 如權(quán)利要求5所述的測(cè)試盤傳送設(shè)備，其中所述垂直狀態(tài)改 變機(jī)構(gòu)包括用于托住或松開(kāi)測(cè)試盤的夾緊部件；及一端與夾緊部件連接，其另一端以可旋轉(zhuǎn)方式固定的旋轉(zhuǎn)杠桿，其中所述旋轉(zhuǎn)杠桿可在90度的角度范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。
7、 如權(quán)利要求5所述的測(cè)試盤傳送設(shè)備，其中下降機(jī)構(gòu)包括 一對(duì)彼此分開(kāi)一定距離以維持測(cè)試盤在其間的環(huán)道構(gòu)件，每個(gè)所述環(huán)道構(gòu)件具有可通過(guò)驅(qū)動(dòng)源圍繞下降起始位置以及下降結(jié)束位置 轉(zhuǎn)動(dòng)的環(huán)狀部件；及以固定間隔連接于所述環(huán)道構(gòu)件的環(huán)狀部件以托住其上水平狀 態(tài)的測(cè)試盤的若干支架。
8、 一種應(yīng)用于側(cè)對(duì)接式測(cè)試分選機(jī)的測(cè)試盤傳輸設(shè)備，包括 用于傳送測(cè)試盤至上升起始位置，同時(shí)將測(cè)試盤狀態(tài)從垂直狀態(tài)改變至水平狀態(tài)的水平狀態(tài)改變機(jī)構(gòu)；及用于抬高已通過(guò)水平狀態(tài)改變機(jī)構(gòu)傳送至上升起始位置的測(cè)試 盤至上升結(jié)東位置的上升機(jī)構(gòu)。
9、 權(quán)利要求8所述的測(cè)試盤傳輸設(shè)備，其中所述水平狀態(tài)改變 機(jī)構(gòu)包括用于托住或松開(kāi)測(cè)試盤的夾緊部件；及一端連接于夾緊部件，其另一端以可旋轉(zhuǎn)方式固定的旋轉(zhuǎn)杠桿， 其中所述旋轉(zhuǎn)杠桿可在90度的角度范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。
10、 如權(quán)利要求8所述的測(cè)試盤傳輸設(shè)備，其中所述上升機(jī)構(gòu)包括一對(duì)彼此分開(kāi)一定距離以維持測(cè)試盤在其之間的環(huán)道構(gòu)件，每個(gè) 所述環(huán)道構(gòu)件具有可通過(guò)驅(qū)動(dòng)源圍繞下降起始位置以及下降結(jié)束位 置轉(zhuǎn)動(dòng)的環(huán)狀部件；及以固定間隔連接于所述環(huán)道構(gòu)件的環(huán)狀部件以托住其上水平狀 態(tài)的測(cè)試盤的若干支架。
11、 如權(quán)利要求7或IO所述的傳送機(jī)構(gòu)，其中所述環(huán)狀部件是 帶或鏈條。
12、 一種側(cè)對(duì)接式測(cè)試分選機(jī)中測(cè)試盤的傳送方法，包括(a) 在裝載半導(dǎo)體裝置于其上完成后，從裝載位置，經(jīng)由浸泡 室，傳送水平狀態(tài)的測(cè)試盤至測(cè)試室內(nèi)，其中，在其被傳送時(shí)，測(cè)試 盤的狀態(tài)從水平狀態(tài)改變至垂直狀態(tài)；(b) 裝載在被傳送至測(cè)試室內(nèi)的測(cè)試盤內(nèi)的半導(dǎo)體裝置的測(cè)試 完成后，傳送測(cè)試盤至解除浸泡室內(nèi)的上升起始位置，同時(shí)將測(cè)試盤的狀態(tài)從垂直狀態(tài)改變至水平狀態(tài)；(c) 在解除浸泡室內(nèi)從上升起始位置抬高測(cè)試盤至上升結(jié)束位置；(d) 從上升結(jié)東位置傳送測(cè)試盤至卸載位置；及(e) 在半導(dǎo)體裝置從其上完全卸載后，從卸載位置傳送測(cè)試盤至裝載位置。
全文摘要
一種側(cè)對(duì)接式測(cè)試分選機(jī)，向下降低機(jī)構(gòu)降低已傳送至浸泡室內(nèi)的水平狀態(tài)的測(cè)試盤至下降結(jié)束位置，垂直狀態(tài)改變機(jī)構(gòu)將已被降低至下降結(jié)束位置的測(cè)試盤狀態(tài)從水平狀態(tài)改變至垂直狀態(tài)，以傳送測(cè)試盤至測(cè)試室內(nèi)。進(jìn)一步的，水平狀態(tài)改變機(jī)構(gòu)將測(cè)試室內(nèi)測(cè)試盤的狀態(tài)從垂直狀態(tài)改變至水平狀態(tài)，同時(shí)傳送測(cè)試盤至解除浸泡室內(nèi)的上升起始位置。
文檔編號(hào)G01R31/26GK101535824SQ200780037082
公開(kāi)日2009年9月16日 申請(qǐng)日期2007年9月21日 優(yōu)先權(quán)日2006年10月4日
發(fā)明者全寅九, 呂東鉉, 沈載均, 羅閏成, 鄭忠珉, 金奉洙 申請(qǐng)人:泰克元有限公司