專利名稱：基板的外觀檢查方法以及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對(duì)安裝在基板上的元件的安裝狀態(tài)、基板上的印刷布線圖案、基板上的糊狀焊料的印刷圖案等基板的外觀進(jìn)行檢查的方法以及裝置。

背景技術(shù)：
自以往，作為基板的外觀檢查方法的一種，有對(duì)基板的攝像圖像和良品基板的基準(zhǔn)即基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)(基本數(shù)據(jù))進(jìn)行比較，檢查其一致程度的方法(所謂模式匹配法(pattern matching method))。在該模式匹配法中，如果由單一樣本圖像構(gòu)成上述基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，判斷為良品的基板將會(huì)極少，甚至將由操作人員的目視檢查應(yīng)判斷為良品的基板也被作為不良品而被處理掉。因此，較為理想的是，使上述基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)具有一定程度的范圍，但是，如果無(wú)謂地?cái)U(kuò)大該基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)的范圍，則應(yīng)判斷為不良品的基板也會(huì)判斷為良品。
對(duì)此，下面的專利文獻(xiàn)1中，在以一個(gè)或者多個(gè)樣本圖像為基礎(chǔ)制作基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)時(shí)，應(yīng)用了基于階層式神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)技術(shù)之一的自組織圖(Self Organizing Maps；SOM)的程序。采用該專利文獻(xiàn)1所披露的手法，能夠獲得對(duì)應(yīng)于被檢查物特性(代表性統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù))的恰當(dāng)范圍的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)。
專利文獻(xiàn)1日本專利公開公報(bào)特開2003-044835號(hào) 然而，上述專利文獻(xiàn)1所披露的手法，由于通過(guò)基于自組織圖(SOM)的高性能的程序處理獲得基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，因此，不僅軟件的制作需要龐大的成本，而且難以避免增加為了運(yùn)行該軟件的硬件(存儲(chǔ)器或CPU)的容量，或者增加處理時(shí)間。


發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述問題而作，其目的在于，以更為簡(jiǎn)單的構(gòu)成有效地進(jìn)行基板的外觀檢查。
上述的技術(shù)問題，通過(guò)具下述構(gòu)成的本發(fā)明的基板的外觀檢查方法予以解決。
本發(fā)明的基板的外觀檢查方法，其特征在于，包括，攝像步驟，通過(guò)攝像單元拍攝上述基板；自動(dòng)判斷步驟，使自動(dòng)判斷單元進(jìn)行，將上述攝像步驟中所獲得的基板的攝像圖像與作為良品基板的基準(zhǔn)預(yù)先存儲(chǔ)于存儲(chǔ)單元的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行比較從而判斷基板是否良好的處理；目視判斷步驟，在上述自動(dòng)判斷步驟中基板判斷為不良品時(shí)，將該基板的圖像顯示于顯示單元，使操作人員根據(jù)顯示于上述顯示單元的圖像目視判斷上述基板是否良好；其中，在上述目視判斷步驟中基板判斷為良品時(shí)，將該判斷為良品的基板的攝像圖像，作為上述基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，追加存儲(chǔ)于上述存儲(chǔ)單元。



圖1是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式所涉及的基板的檢查裝置的立體圖。
圖2是表示上述檢查裝置的俯視圖。
圖3是表示上述檢查裝置的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的縱向剖視圖。
圖4是表示上述檢查裝置的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的橫向剖視圖。
圖5是表示圖3中液晶面板支撐部分的圖。
圖6是表示控制組件的安裝結(jié)構(gòu)的底架的剖視圖。
圖7是表示上述檢查裝置的控制系統(tǒng)的方框圖。
圖8是用于說(shuō)明上述檢查裝置所進(jìn)行的圖像處理的內(nèi)容的模式圖，其中，圖8A表示基板的攝像圖像，圖8B表示基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，圖8C表示圖8A和圖8B的差分圖像。
圖9是表示顯示在液晶監(jiān)視器上的操作人員的目視判斷用圖像的一個(gè)例子的示意圖。
圖10是表示分割基板圖像后的狀態(tài)的示意圖。
圖11是表示控制組件所執(zhí)行的控制動(dòng)作的內(nèi)容的流程圖的前段部。
圖12是上述流程圖的中段部。
圖13是上述流程圖的后段部。
圖14是表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式所涉及的基板檢查系統(tǒng)的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。
圖15是表示上述基板檢查系統(tǒng)的控制系統(tǒng)的方框圖。
圖16是表示上述基板檢查系統(tǒng)所執(zhí)行的控制動(dòng)作的內(nèi)容的流程圖。
圖17是用于說(shuō)明本發(fā)明的基板檢查系統(tǒng)的變形例的圖。
圖18是用于說(shuō)明本發(fā)明的第3實(shí)施方式的圖，表示顯示于液晶監(jiān)視器上的第1顯示類型的顯示圖象。
圖19是表示顯示于上述液晶監(jiān)視器上的第2顯示類型的顯示圖象的圖。
圖20是表示顯示于上述液晶監(jiān)視器上的第3顯示類型的顯示圖象的圖。
圖21是表示顯示于上述液晶監(jiān)視器上的第4顯示類型的顯示圖象的圖。
圖22是表示限度圖像的制作步驟的流程圖。
圖23是從攝像圖像中抽出焊料印刷區(qū)域的情形的示意圖。
圖24是用于例示限度圖像的圖，其中，圖24A表示右側(cè)偏移限度圖像，圖24B表示左側(cè)偏移限度圖像。
圖25是用于例示限度圖像的圖，其中，圖25A表示上側(cè)偏移限度圖像，圖25B表示下側(cè)偏移限度圖像。
圖26是用于例示限度圖像的圖，其中，圖26A表示面積大限度圖像，圖26B表示面積小限度圖像。
圖27是表示控制組件所執(zhí)行的控制動(dòng)作的內(nèi)容的流程圖。
圖28是表示本發(fā)明的第4實(shí)施方式所涉及的糊狀焊料印刷機(jī)的俯視圖。

具體實(shí)施例方式 (第1實(shí)施方式) 圖1以及圖2，概略地表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式所涉及的基板的檢查裝置1。如圖1、圖2所示，檢查裝置1，其整體呈箱形，包括構(gòu)成其后側(cè)的后側(cè)部分2A和從該后側(cè)部分2A的前端下部向前方延伸的前側(cè)部分2B，具有側(cè)視時(shí)呈A字形的外觀形狀。這樣的檢查裝置1的外形，由覆蓋后述的檢查組件50等內(nèi)部元件的外殼Ca所形成。
在該檢查裝置1的上述前側(cè)部分2B上，設(shè)置有用于將印刷基板P放入裝置內(nèi)或者從裝置內(nèi)取出印刷基板P的出入口6。該出入口6，由形成于外殼Ca的開口部構(gòu)成，并且設(shè)置在檢查裝置1的寬度方向上的中央(圖2中，左右方向上的中央)。
在上述出入口6的上方且后側(cè)部分2A的前面部分，設(shè)置有液晶監(jiān)視器4(相當(dāng)于本發(fā)明所涉及的顯示單元)。該液晶監(jiān)視器4，由所謂的觸摸式液晶顯示器構(gòu)成，檢查結(jié)果等各種信息顯示于該液晶監(jiān)視器4上，并且通過(guò)操作人員(作業(yè)人員)用手指觸及監(jiān)視器上的畫面顯示，對(duì)檢查裝置1進(jìn)行各種輸入。
上述前側(cè)部分2B中與液晶監(jiān)視器4并排的部分上，設(shè)置有維護(hù)用的門9。該門9，使上述外殼Ca的局部實(shí)現(xiàn)開閉，在必要時(shí)通過(guò)開啟該門9，使操作人員訪問檢查裝置1的內(nèi)部，更換后述的記號(hào)筆等。另外，上述外殼Ca中的上面蓋Ca1可以拆卸，在卸下該上面蓋Ca1的狀態(tài)下，可進(jìn)行后述攝像組件51的維護(hù)等。
如圖1所示，在上述外殼Ca的后側(cè)部分2A的左右兩側(cè)，設(shè)置有由凹部構(gòu)成的把手部3，以便操作人員的手伸進(jìn)把手部3搬運(yùn)檢查裝置1。另外，在圖1以及圖2中，符號(hào)8表示緊急停止按鈕。
檢查裝置1，其寬度從裝置后側(cè)向前側(cè)變細(xì)。詳細(xì)而言，由上述外殼Ca構(gòu)成的檢查裝置1的側(cè)面中的前側(cè)部分2B的一側(cè)側(cè)面(圖2中為左側(cè)側(cè)面)，相對(duì)于前后方向傾斜規(guī)定角度α，由此，檢查裝置1的寬度向前側(cè)變細(xì)。這是為了緊湊地設(shè)置多個(gè)檢查裝置1以提高操作性而作出的措施，對(duì)于該點(diǎn)，在后述的第2實(shí)施方式中予以說(shuō)明。
圖3以及圖4，表示檢查裝置1的具體內(nèi)部結(jié)構(gòu)。如圖3以及圖4所示，在檢查裝置1的內(nèi)部，設(shè)置有底架(baseframe)11，在該底架11上，安裝有用于保持印刷基板P并使其移動(dòng)的基板保持機(jī)構(gòu)24和、用于拍攝保持在該基板保持機(jī)構(gòu)24上的基板P的檢查組件50等。
上述底架11，一體地具備具有越靠前側(cè)(設(shè)置液晶監(jiān)視器4的一側(cè))其高度越低的向前方下降的傾斜面12a的基座部12、和從該基座部12的左右兩端分別豎起的側(cè)壁部14，并且由例如鋁壓鑄件等鑄造品構(gòu)成。
上述基板保持機(jī)構(gòu)24，固定在上述基座部12的傾斜面12a上，其包括，使滑塊22沿著該傾斜面12a在前后方向(以下，該方向稱為Y軸方向)移動(dòng)的線性電動(dòng)機(jī)式的單軸機(jī)器人20、固定在上述滑塊22的工作臺(tái)30。
上述工作臺(tái)30，用于保持印刷基板P，通過(guò)上述單軸機(jī)器人20的運(yùn)作，能夠在與上述出入口6面對(duì)的原位置(home position)(圖3的實(shí)線所示位置)和與后述的攝像組件51面對(duì)的檢查位置(圖3的二點(diǎn)劃線所示位置)之間沿Y軸方向移動(dòng)。而且，在上述原位置，進(jìn)行在工作臺(tái)30上的印刷基板P的裝卸，并且在工作臺(tái)30從原位置移動(dòng)到檢查位置的狀態(tài)下，進(jìn)行由攝像組件51進(jìn)行的對(duì)印刷基板P的拍攝。該工作臺(tái)30，包括，固定在上述滑塊22的上面部的板32；安裝在該板32上且沿左右方向延伸的前后一對(duì)基板保持支架36、38(以下，有時(shí)稱之為前側(cè)支架36、后側(cè)支架38)，印刷基板P被夾緊在上述支架36、38之間。具體而言，在兩個(gè)支架36、38中的后側(cè)支架38上，設(shè)置有在Y軸方向上能夠變位并且通過(guò)壓縮螺旋彈簧等彈性部件的作用從而向前方側(cè)賦勢(shì)的可動(dòng)部39，并且在該可動(dòng)部39和上述支架36的互相面對(duì)的部分，分別形成有階梯狀基板接受部。于是，通過(guò)將印刷基板P的前后邊緣放置在上述基板接受部，并將該基板P嵌入前側(cè)支架36和可動(dòng)部39之間(參照?qǐng)D3)，該印刷基板P便通過(guò)壓縮螺旋彈簧等的彈性?shī)A緊在兩個(gè)支架36、38之間，由此，印刷基板P以前側(cè)支架36作為基準(zhǔn)在Y軸方向予以定位，并以該狀態(tài)保持在工作臺(tái)30。而且，在前側(cè)支架36的左右方向的一側(cè)，設(shè)置有定位板36a，印刷基板P的一端(左右方向的一端)與該定位板36a抵接，由此，該基板P在左右方向(以下，稱為X軸方向)上得以定位。
另外，上述前側(cè)以及后側(cè)支架36、38的間隔，可以對(duì)應(yīng)于基板尺寸進(jìn)行改變。具體而言，在上述板32的后端，固定有端板34，在該端板34和上述前側(cè)支架36之間固定有互相平行的左右一對(duì)導(dǎo)向桿35。而且，上述后側(cè)支架38相對(duì)于上述導(dǎo)向桿35可滑動(dòng)地予以安裝，另外，還設(shè)置有能夠在上述導(dǎo)向桿35的任意位置上鎖住后側(cè)支架38的鎖緊裝置(未圖示)。即，以前側(cè)支架36作為基準(zhǔn)使后側(cè)支架38滑動(dòng)，并且通過(guò)上述鎖緊裝置在所希望的位置上鎖住后側(cè)支架38，由此能夠改變兩個(gè)支架36、38之間的間隔。
上述檢查組件50，包括，使滑塊42沿X軸方向進(jìn)行移動(dòng)的單軸機(jī)器人40、通過(guò)滑塊42組裝在該單軸機(jī)器人40上的攝像組件51。
上述單軸機(jī)器人40，與用于驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)30的上述單軸機(jī)器人20同樣，由線性電動(dòng)機(jī)式的單軸機(jī)器人構(gòu)成，并且以橫跨在上述兩側(cè)壁部14的狀態(tài)固定在底架11上。
上述攝像組件51，包括，由CCD或者CMOS圖像傳感器等區(qū)域傳感器構(gòu)成的照相機(jī)52(相當(dāng)于本發(fā)明所涉及的攝像單元)、對(duì)拍攝對(duì)象的印刷基板P照射照明光的照明裝置54，而且，上述照相機(jī)52，從垂直于印刷基板P的表面的方向拍攝保持在上述工作臺(tái)30的印刷基板P。上述攝像組件51，伴隨上述滑塊42的X軸方向的移動(dòng)，可在基板供給組件24的單軸機(jī)器人20上方的拍攝位置和，在圖4中以二點(diǎn)劃線以及實(shí)線表示的位置之間進(jìn)行移動(dòng)。攝像組件51，通常保持在上述拍攝位置，而在后述那樣的標(biāo)號(hào)組件(marking unit)55的更換等時(shí)，移動(dòng)到圖4的二點(diǎn)劃線所示位置，在拆卸上面蓋Ca1而對(duì)攝像組件51進(jìn)行維護(hù)時(shí)，移動(dòng)到圖4的實(shí)線所示位置。
上述檢查組件50上，安裝有對(duì)應(yīng)于檢查結(jié)果等在印刷基板P上標(biāo)寫規(guī)定標(biāo)記的標(biāo)號(hào)組件55。該標(biāo)號(hào)組件55，包括，用于標(biāo)寫標(biāo)記的記號(hào)筆56、使該記號(hào)筆56進(jìn)退的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。通過(guò)該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的運(yùn)作，上述記號(hào)筆56，可在與保持在工作臺(tái)30的印刷基板P抵接的作業(yè)位置(圖3中二點(diǎn)劃線所示位置)和，從該位置向上方退避的退避位置(圖3中實(shí)線所示位置)之間進(jìn)行進(jìn)退移動(dòng)。
如圖3以及圖4所示，上述標(biāo)號(hào)組件55，通過(guò)連接臂58固定于攝像組件51，由此能夠與該攝像組件51一同沿著X軸方向進(jìn)行移動(dòng)。另外，標(biāo)號(hào)組件55，在其左右方向上的可移動(dòng)區(qū)域中的一端側(cè)(圖4中二點(diǎn)劃線所示位置)，位于圖1以及圖2所示的門9的背側(cè)(后側(cè))。即，在標(biāo)號(hào)組件55位于該位置的狀態(tài)下，通過(guò)開啟門9，操作人員能夠容易進(jìn)行記號(hào)筆56的更換等。
在上述底架11的上方，還設(shè)置有沿前后方向延伸的梁19。如圖5所示，該梁19，固定在架設(shè)固定于底架11的兩側(cè)壁部14的前后一對(duì)門型副支架16、18上。而且，在該梁19的先端，支撐有能夠傾斜的上述液晶面板4。具體而言，在上述梁19的先端部，連接有以沿X軸方向延伸的支軸45為支點(diǎn)能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的聯(lián)軸器46，而在該聯(lián)軸器46上安裝有上述液晶監(jiān)視器4，由此，能夠改變?cè)撘壕ПO(jiān)視器4相對(duì)于鉛垂線的傾斜角(能夠向前后方向改變姿勢(shì))。
而且，如圖3所示，在上述基板保持機(jī)構(gòu)24的設(shè)置部的上方且上述檢查組件50的后側(cè)空間，設(shè)置有用于對(duì)檢查組件50的上述單軸機(jī)器人40進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制的驅(qū)動(dòng)器66。具體而言，在底架11的兩側(cè)壁部14以及副支架18上固定有左右一對(duì)側(cè)板67，并且在該側(cè)板67之間架設(shè)有支撐板68，而在該支撐板68之上固定有上述驅(qū)動(dòng)器66。
另一方面，在上述底架11的基座部12的內(nèi)部，設(shè)置有集中控制檢查裝置1的控制組件60、上述基板保持機(jī)構(gòu)24的單軸機(jī)器人20用的驅(qū)動(dòng)器62等。即，如圖6所示，在上述基座部12的內(nèi)部，形成有向下方以及向后方開口的剖面形狀大致呈三角形的空間15，在該空間15，設(shè)置有上述控制組件60以及驅(qū)動(dòng)器62。另外，在圖3以及圖6中，符號(hào)64表示用于冷卻上述控制組件60等的冷卻風(fēng)扇。
上述控制組件60、驅(qū)動(dòng)機(jī)62、以及冷卻風(fēng)扇64，一體固定在主要覆蓋檢查裝置1的下面部以及后面部的下罩板65上，該下罩板65從下側(cè)安裝于底架11的基座部12，在此狀態(tài)下，上述各設(shè)備60、62、64收容于該基座部12的上述空間15內(nèi)。
上述控制組件60，包括，進(jìn)行理論演算的CPU、用于存儲(chǔ)控制該CPU的各種程序等的ROM、裝置運(yùn)行中臨時(shí)存儲(chǔ)各種數(shù)據(jù)的RAM、存儲(chǔ)各種數(shù)據(jù)或軟件的HDD。而且，如圖7的方框圖所示，該控制組件60，與基板保持機(jī)構(gòu)24及檢查組件50用的各單軸機(jī)器人20、40、攝像組件51(照相機(jī)52以及照明裝置54)、標(biāo)號(hào)組件55及液晶監(jiān)視器4、其它未圖示的各種傳感器類等電性連接。其中的單軸機(jī)器人20、40，通過(guò)上述驅(qū)動(dòng)器62、66分別與控制組件60相連接。而且，控制組件60，為了按照預(yù)先存儲(chǔ)的動(dòng)作程序?qū)τ∷⒒錚進(jìn)行一連串的檢查作業(yè)，集中控制上述單軸機(jī)器人20、40、攝像組件51等的動(dòng)作，并且根據(jù)上述照相機(jī)52所拍攝的圖像判斷印刷基板P是否良好，或者對(duì)應(yīng)于其判斷結(jié)果控制上述液晶監(jiān)視器4的顯示內(nèi)容。
上述結(jié)構(gòu)的檢查裝置1，例如按照如下順序?qū)τ∷⒒錚進(jìn)行檢查。
檢查裝置1啟動(dòng)之后，裝置1保持在待機(jī)狀態(tài)，直至試驗(yàn)開始。在該待機(jī)狀態(tài)下，上述工作臺(tái)30位于原位置，液晶面板4上顯示規(guī)定的菜單畫面。
在該狀態(tài)下，操作人員將印刷基板P安裝在工作臺(tái)30上，并且觸摸液晶面板4選擇上述菜單畫面中的“開始檢查”，從而開始該基板P的檢查。另外，將印刷基板P安裝在上述工作臺(tái)30上時(shí)，將印刷基板P以其被檢查面(安裝有元件的面)朝上的狀態(tài)嵌入到基板保持支架36、38之間來(lái)進(jìn)行安裝。此時(shí)，印刷基板P與定位板36a抵接而得以定位。
接著，檢查一旦開始，通過(guò)單軸機(jī)器人20的運(yùn)作，工作臺(tái)30沿Y軸方向移動(dòng)，并且通過(guò)另一方的單軸機(jī)器人40的運(yùn)作，攝像組件51沿X軸方向移動(dòng)，由此，攝像組件51的照相機(jī)52定位于與印刷基板P面對(duì)的位置上，在上述照明裝置54的照明光的照射下，通過(guò)該照相機(jī)52對(duì)印刷基板P進(jìn)行拍攝。
如此，照相機(jī)52拍攝完印刷基板P之后，上述控制組件60，根據(jù)所攝像的圖像對(duì)印刷基板P的外觀(更加具體而言，印刷基板P上的元件的安裝狀態(tài))進(jìn)行是否良好的判斷。在此，若判斷結(jié)果為不良品，控制組件60，使該基板P的圖像顯示在液晶面板4上，使操作人員根據(jù)顯示在該液晶面板4上的基板P的圖像進(jìn)行目視判斷。而且，在該目視判斷中再次判斷為不良品時(shí)，即上述控制組件60的自動(dòng)判斷和操作人員的目視判斷雙方均判斷印刷基板P為不良品時(shí)，印刷基板P才作為不良品而被處理。另外，上述控制組件60所進(jìn)行的印刷基板P是否良好的判斷動(dòng)作的具體內(nèi)容，在后面進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
如此，印刷基板P是否良好的判斷動(dòng)作結(jié)束之后，工作臺(tái)30返回到原位置，操作人員用手從工作臺(tái)30取出印刷基板P，從而結(jié)束對(duì)該印刷基板P的檢查。通過(guò)重復(fù)進(jìn)行上述檢查順序，對(duì)多個(gè)印刷基板P依次進(jìn)行外觀檢查。另外，檢查結(jié)束之后，操作人員對(duì)液晶面板4進(jìn)行規(guī)定的觸摸操作，該液晶面板4的顯示畫面就返回到菜單畫面，檢查裝置1返回到上述待機(jī)狀態(tài)。
下面，對(duì)上述控制組件60所進(jìn)行是否良好的判斷動(dòng)作等的具體內(nèi)容進(jìn)行說(shuō)明。上述照相機(jī)52拍攝印刷基板P的被檢查面之后，控制組件60，首先，進(jìn)行將上述基板P的攝像圖像與作為良品基板的基準(zhǔn)的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行比較的處理。具體而言，控制組件60，將上述基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)存儲(chǔ)于其內(nèi)部的存儲(chǔ)部61(相當(dāng)于本發(fā)明所涉及的存儲(chǔ)單元，參照?qǐng)D7)中，通過(guò)對(duì)該基準(zhǔn)數(shù)據(jù)圖像和上述照相機(jī)52所拍攝的印刷基板P的圖像進(jìn)行比較從而取得差分，并且根據(jù)該差分的圖像，判斷印刷基板P是否良好。即，由上述控制組件60，構(gòu)成對(duì)印刷基板P的攝像圖像和基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行比較從而判斷印刷基板P是否良好的自動(dòng)判斷單元。另外，上述差分圖像的抽出，例如，通過(guò)使分開設(shè)置在印刷基板P的上表面(被安裝面)的多個(gè)位置上的位置對(duì)準(zhǔn)用的基準(zhǔn)標(biāo)記，在印刷基板P的攝像圖像和基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)之間相一致，從而在兩圖像被位置對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)下進(jìn)行。
存儲(chǔ)在上述存儲(chǔ)部61的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，最初由一個(gè)或多個(gè)的良品基板的樣品圖像構(gòu)成，但是，如同后述，隨著檢查的進(jìn)行，檢查結(jié)果被予以反映并適當(dāng)?shù)乇蛔芳印＜?，基?zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，在至少一定數(shù)量的印刷基板P進(jìn)行了檢查的狀態(tài)下，具有多個(gè)數(shù)據(jù)。而且，在如此存在多個(gè)基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)的情況下，印刷基板P，在與其中的任意一個(gè)基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)的比較中能夠判斷為良品，則認(rèn)定為良品。因此，基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)的數(shù)量(范圍)越大，判斷為良品的印刷基板P的范圍越廣。
圖8是用于說(shuō)明上述圖像處理的內(nèi)容的模式圖，圖8A表示照相機(jī)52所拍攝的印刷基板P的圖像，圖8B表示基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，圖8C表示通過(guò)控制組件60進(jìn)行圖像處理而得到的差分圖像。如圖8所示，印刷基板P上安裝有各種電子元件，當(dāng)上述電子元件的安裝位置或者種類等，在圖8A的攝像圖像和圖8B的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)之間出現(xiàn)相異時(shí)，與此對(duì)應(yīng)的差分因素被顯示在圖8C的差分圖像中。例如，圖8A中的電子元件a和圖8B中的電子元件a′，它們的安裝位置存在偏移，因此，在圖8C的差分圖像中顯示有對(duì)應(yīng)于電子元件a、a′的位置偏移的差分因素α。另外，圖8A中的電子元件b和圖8B中的電子元件b′，它們的元件種類不同，因此，在圖8C的差分圖像中顯示有對(duì)應(yīng)于各個(gè)電子元件b、b′的不同表面顏色的差分因素β。另外，在圖8C的差分圖像中，除了上述差分因素α、β之外，還顯示有符號(hào)ε所表示的微小的差分因素。
經(jīng)規(guī)定的圖像處理來(lái)抽出如圖8C所示差分圖像的控制組件60，接著，判斷上述各個(gè)差分因素(α、β等)的面積是否在預(yù)先規(guī)定的上限值以下，如果在上限值以下，則判斷印刷基板P為良品，而如果大于上限值，則判斷為不良品。下面，在本實(shí)施方式中，上述差分因素的面積的上限值稱為上限差分面積A。
上述圖像處理所得到的印刷基板P的外觀檢查的結(jié)果，若印刷基板P判斷為不良品，則該印刷基板P的圖像顯示在液晶監(jiān)視器4上，最終的判斷便由操作人員的目視判斷來(lái)進(jìn)行。
圖9表示作為操作人員的目視判斷用圖像顯示在上述液晶監(jiān)視器4上的印刷基板P的圖像。如圖9所示，在液晶監(jiān)視器4，顯示有對(duì)圖8A所示的印刷基板P的攝像圖像疊加圖8C的差分圖像的圖像。此時(shí)，面積在上述上限差分面積A以下的差分因素(圖8C的ε)被省略，而大于上限差分面積A的差分因素α、β，以對(duì)應(yīng)于其差分特性，著色成不同顏色的狀態(tài)予以表示。這是為了使操作人員的目視判斷更加容易地進(jìn)行而采取的措施，例如，電子元件的位置偏移而產(chǎn)生的差分因素α著色成藍(lán)色，電子元件的種類不同而產(chǎn)生的差分因素β著色成紅色等。
接著，操作人員，目視這樣的液晶監(jiān)視器4的顯示畫面，進(jìn)行印刷基板P的目視判斷，并且，通過(guò)觸摸液晶監(jiān)視器4將其結(jié)果予以輸入。即，由上述液晶監(jiān)視器4，構(gòu)成操作人員輸入目視判斷結(jié)果的輸入單元。
上述目視判斷的結(jié)果，是印刷基板P再次判斷為不良品時(shí)，上述標(biāo)號(hào)組件55進(jìn)行運(yùn)作，在印刷基板P上標(biāo)上NG標(biāo)記，并且發(fā)出警報(bào)。另一方面，在上述目視判斷中印刷基板P判斷為良品時(shí)，控制組件60，將該印刷基板P的攝像圖像，作為上述基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)追加存儲(chǔ)于存儲(chǔ)單元61。即，由上述控制組件60，構(gòu)成將操作人員的目視判斷中判斷為良品的印刷基板P的攝像圖像追加到上述基準(zhǔn)圖像的控制單元。由此，在以后的檢查中，處于相同的元件安裝狀態(tài)的印刷基板P，通過(guò)由控制組件60根據(jù)所添加的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行的自動(dòng)判斷，被判斷為良品，因此，對(duì)于同樣的基板P，操作人員無(wú)需一一進(jìn)行目視判斷。而且，印刷基板P的檢查數(shù)量越多，作為上述那樣的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)而被追加的印刷基板P的圖像也會(huì)越多，因此，操作人員的目視判斷頻度將隨之下降。
在對(duì)上述印刷基板P進(jìn)行是否良好的判斷時(shí)，圖8以及圖9的例子中，使用了印刷基板P的整體圖像進(jìn)行判斷，但是，例如如同下述，也可以將印刷基板P的圖像分割成多個(gè)區(qū)域之后進(jìn)行是否良好的判斷。以后，按這樣的例來(lái)說(shuō)明本實(shí)施方式。首先，在控制組件60的自動(dòng)判斷中，印刷基板P的攝像圖像，分割成圖10所示的多個(gè)區(qū)域P1、P2…。另一方面，與之相對(duì)應(yīng)，上述基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，以作為對(duì)應(yīng)于各個(gè)區(qū)域P1、P2…的基準(zhǔn)圖像分別獨(dú)立存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部61。接著，將上述被分割的攝像圖像的各個(gè)區(qū)域圖像與相對(duì)應(yīng)區(qū)域的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)分別進(jìn)行比較，從而抽出對(duì)應(yīng)于各個(gè)區(qū)域P1、P2…的差分圖像并且計(jì)算出差分因素的面積，接著判斷該面積是否在預(yù)先規(guī)定的上限差分面積A以下，由此判斷印刷基板P是否良好。另外，分割上述攝像圖像時(shí)，讀取分開設(shè)置在印刷基板P上的多個(gè)位置上的位置對(duì)準(zhǔn)用的基準(zhǔn)標(biāo)記，從上述攝像圖像中切取以該基準(zhǔn)標(biāo)記作為基準(zhǔn)進(jìn)行位置設(shè)定的各個(gè)區(qū)域P1、P2…的圖像。接著，通過(guò)將如此獲得的各個(gè)區(qū)域的攝像圖像與相對(duì)應(yīng)的區(qū)域的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)在各位置相互對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)下(例如，在使各區(qū)域的對(duì)角位置相互一致的狀態(tài)下)進(jìn)行比較，由此抽出對(duì)應(yīng)于各個(gè)區(qū)域P1、P2…的差分圖像。
上述各個(gè)區(qū)域P1、P2…的數(shù)量(圖象的分割數(shù))及其大小，根據(jù)印刷基板P的尺寸及其上的元件安裝狀態(tài)等，可以適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行設(shè)定。例如，在圖10的例子中，由于安裝有大小大致相同的元件，因而印刷基板P的攝像圖像分割成大小幾乎相同的區(qū)域(P1～Pn)，但是，安裝在印刷基板P上的元件的尺寸差距較大時(shí)，安裝有大尺寸元件的位置的圖像分割成大區(qū)域，而安裝有小尺寸元件的位置的圖像則分割成小區(qū)域。而且，與之相對(duì)應(yīng)，上述上限差分面積A的值，大元件設(shè)定為大，小元件設(shè)定為小。即，通常，大元件不要求過(guò)高的安裝精度，而小元件則要求相對(duì)較高的安裝精度，因而越是小元件的圖像越細(xì)分，從而嚴(yán)格評(píng)價(jià)差分。
在通過(guò)上述圖像處理而進(jìn)行是否良好的判斷中，控制組件60，在確認(rèn)到各個(gè)區(qū)域P1、P2…中的任何一個(gè)區(qū)域中有大于上述上限差分面積A的差分因素時(shí)，判斷印刷基板P為不良品。于是，在接著進(jìn)行的操作人員的目視判斷中，在液晶監(jiān)視器4上，顯示被確認(rèn)有大于上限差分面積A的差分因素的區(qū)域的圖像(對(duì)區(qū)域圖像疊加相對(duì)應(yīng)區(qū)域的差分圖像的圖像)，操作人員目視該圖像進(jìn)行目視判斷。此時(shí)，在液晶監(jiān)視器4上，越是被細(xì)分的區(qū)域其圖像越被放大顯示。由此，良好地確保目視判斷時(shí)的視覺辨認(rèn)度。
下面，根據(jù)圖11～圖13所示的流程圖，說(shuō)明上述結(jié)構(gòu)的檢查裝置1的控制組件60的控制動(dòng)作。該控制動(dòng)作一旦開始，控制組件60，在印刷基板P安裝到基板保持機(jī)構(gòu)24的工作臺(tái)30上且檢查開始的指令輸入液晶面板4(步驟S1、S3)之后，執(zhí)行使上述印刷基板P移動(dòng)到檢查位置上的控制(步驟S5)。具體而言，在確認(rèn)到印刷基板P通過(guò)出入口6安裝在位于原位置的工作臺(tái)30(參照?qǐng)D3的實(shí)線)上，而且液晶面板4被觸摸操作而從其菜單畫面中選擇了“開始檢查”之后，使單軸機(jī)器人20運(yùn)作，使上述工作臺(tái)30沿Y軸方向移動(dòng)，由此將印刷基板P移動(dòng)到圖3的二點(diǎn)劃線所示的檢查位置上。
接著，控制組件60，執(zhí)行由攝像組件51的照相機(jī)62拍攝印刷基板P的控制(步驟S7)。具體而言，使單軸機(jī)器人40進(jìn)行運(yùn)作，將攝像組件51定位在位于上述檢查位置的印刷基板P的上方，并且使照明裝置54照射照明光以照亮基板P，在該狀態(tài)下對(duì)照相機(jī)52輸出控制信號(hào)使其拍攝印刷基板P。
接著，決定圖像分割數(shù)n以作為在后面的步驟中分割上述印刷基板P的攝像圖像時(shí)的分割數(shù)(步驟S9)，并且執(zhí)行決定根據(jù)上述分割圖像判斷印刷基板P是否良好時(shí)的基準(zhǔn)即上限差分面積A的控制(步驟S11)。上述的值，按照對(duì)應(yīng)于印刷基板P的大小或元件的安裝狀態(tài)等予以分類的印刷基板P的種類，事先進(jìn)行設(shè)定并且存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部61。另外，上述上限差分面積A的值，或者設(shè)定為一定值，或者根據(jù)元件的安裝狀態(tài)，按元件或按區(qū)域進(jìn)行增減設(shè)定。其后，控制組件60，根據(jù)步驟S9中決定的圖像分割數(shù)n，執(zhí)行分割上述照相機(jī)52所拍攝的印刷基板P的攝像圖像的控制(步驟S13)。通過(guò)該處理，攝像圖像例如分割成圖10所示的狀態(tài)，形成第1～第n區(qū)域(P1、P2…，Pn)的圖像。接著，作為在后面的步驟中第一個(gè)進(jìn)行差分面積的判斷處理的區(qū)域號(hào)，設(shè)定i＝1(步驟S15)。
接著，控制組件60，從存儲(chǔ)部61讀取第i區(qū)域的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)(步驟S17)，并且對(duì)該基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)和在上述步驟S13中分割的印刷基板P的各個(gè)區(qū)域的攝像圖像進(jìn)行比較從而抽出差分，執(zhí)行計(jì)算出各個(gè)區(qū)域(P1、P2…)內(nèi)的差分因素的面積s的控制(步驟S19)。接著，判斷該面積s是否在上述步驟S11中獲取的上限差分面積A以下(步驟S21)。
在該步驟S21中判斷為YES，即在確認(rèn)到對(duì)象區(qū)域內(nèi)的差分因素的面積s在上述上限差分面積A以下時(shí)，換言之，在確認(rèn)到該區(qū)域內(nèi)的電子元件不存在較大的位置偏移等不良情況時(shí)，進(jìn)入下一個(gè)步驟S23，判斷就所有區(qū)域是否都進(jìn)行了步驟S21的差分面積的判斷處理。具體而言，判斷已進(jìn)行了差分面積的判斷處理的區(qū)域數(shù)，是否達(dá)到上述步驟S9中決定的圖像分割數(shù)n(即，i是否等于n)。在該步驟S23中判斷為NO，即在確認(rèn)到尚未對(duì)所有區(qū)域進(jìn)行差分面積的判斷處理時(shí)，將該判斷處理的對(duì)象移到下一個(gè)區(qū)域(步驟S25)，重復(fù)進(jìn)行上述處理，直至對(duì)所有區(qū)域進(jìn)行差分面積的判斷處理。
在上述步驟S21中判斷為NO，即在確認(rèn)到對(duì)象區(qū)域內(nèi)的差分因素的面積s大于上述上限差分面積A時(shí)，換言之，在確認(rèn)到該區(qū)域內(nèi)的電子元件的安裝位置有可能存在較大的位置偏移等不良情況時(shí)，進(jìn)入下一個(gè)步驟S27，判斷是否還存在相對(duì)應(yīng)區(qū)域的其它基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)。在此，判斷為YES，即在確認(rèn)到存在其它基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)時(shí)，返回到上述步驟S15，以新的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)作為基準(zhǔn)重復(fù)上述差分面積的判斷處理。另一方面，在上述步驟S27中判斷為NO，即在確認(rèn)到不存在其它基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)時(shí)，執(zhí)行對(duì)與該區(qū)域相對(duì)應(yīng)的NG發(fā)生標(biāo)志Fi(其初始值為0)輸入“1”的控制(步驟S29)，然后返回上述步驟S23。即，在此，NG發(fā)生標(biāo)志Fi＝1，表示在印刷基板P的第i區(qū)域的攝像圖像和存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部61中的作為同樣的第i區(qū)域的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)的所有數(shù)據(jù)的比較中，均存在大于上述上限差分面積A的差分因素，表示基于該第i區(qū)域的差分圖像的印刷基板P的判斷結(jié)果(自動(dòng)判斷結(jié)果)為不良品。
另外，在上述步驟S23中判斷為YES，即在確認(rèn)到就所有區(qū)域差分面積的判斷處理已經(jīng)結(jié)束時(shí)，進(jìn)入下一個(gè)步驟S31，將區(qū)域號(hào)復(fù)位為i＝1，并且按照從第1區(qū)域(P1)到第n區(qū)域(Pn)的順序，判斷對(duì)應(yīng)于各個(gè)區(qū)域的NG發(fā)生標(biāo)志是否為1(步驟S31)。在此判斷為NO(Fi＝0)時(shí)，進(jìn)入步驟S32，確認(rèn)i<n(步驟S32中YES)，然后使區(qū)域號(hào)i增加1(步驟S33)，并且對(duì)新的區(qū)域重復(fù)上述步驟S31開始的處理。另一方面，在上述步驟S31中判斷為YES，即在確認(rèn)到Fi＝1時(shí)，換言之，在確認(rèn)到具有大于上限差分面積A的差分因素的區(qū)域存在時(shí)，針對(duì)Fi＝1的區(qū)域，執(zhí)行在液晶監(jiān)視器4上顯示目視判斷用圖像的控制(步驟S34)。具體而言，在液晶監(jiān)視器4上顯示，對(duì)印刷基板P的第i區(qū)域的攝像圖像疊加了上述步驟S19中抽出的第i區(qū)域的差分圖像且進(jìn)行了上述著色處理(將差分因素著色成對(duì)應(yīng)于差分特性的顏色的處理)的圖像。接著，判斷根據(jù)顯示在液晶監(jiān)視器4上的第i區(qū)域的圖像進(jìn)行的目視判斷結(jié)果是否為OK(良)(步驟S35)。具體而言，判斷是否有基于操作人員觸摸液晶面板4的操作而從液晶面板4輸入的表示判斷結(jié)果為OK的操作信號(hào)。
在該步驟S35中判斷為NO，即在確認(rèn)到操作人員對(duì)上述區(qū)域進(jìn)行的目視判斷結(jié)果為NG(不良)時(shí)，發(fā)出警報(bào)(步驟S41)，并且使上述標(biāo)號(hào)組件55進(jìn)行運(yùn)作，執(zhí)行在印刷基板P上付予NG標(biāo)記的控制(步驟S42)。接著，在將印刷基板P為不良品的內(nèi)容顯示于液晶監(jiān)視器4(步驟S43)之后，執(zhí)行使上述工作臺(tái)30返回到能夠裝卸印刷基板P的原位置(步驟S44)。
另一方面，在上述步驟S35中判斷為YES，即在確認(rèn)到操作人員的目視判斷結(jié)果為OK時(shí)，執(zhí)行使該判斷為OK的區(qū)域的攝像圖像，作為該區(qū)域的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，與區(qū)域號(hào)相互關(guān)聯(lián)地追加存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部61的控制(步驟S37)。然后，進(jìn)入步驟S32，判斷是否對(duì)所有區(qū)域已進(jìn)行上述處理。
在上述步驟S32中判斷為YES(i<n)，即在確認(rèn)到存在未經(jīng)處理的區(qū)域時(shí)，使區(qū)域號(hào)i增加1(步驟S33)，對(duì)新的區(qū)域重復(fù)上述步驟S31以后的處理。
另一方面，在上述步驟S32中判斷為NO，i＝n時(shí)，即，在確認(rèn)到i＝1～n的所有區(qū)域，NG發(fā)生標(biāo)志Fi＝0，或者即使存在Fi＝1的區(qū)域(NG區(qū)域)，但操作人員的目視判斷結(jié)果為OK時(shí)，在液晶面板4上顯示印刷基板P為良品的內(nèi)容(步驟S38)，然后進(jìn)入上述步驟S44，使印刷基板P返回原位置。
在上述流程圖中，將印刷基板P的圖像分割成多個(gè)區(qū)域P1、P2…，每一區(qū)域地進(jìn)行差分面積的判斷，但是，如上所述，也可以將印刷基板P整體的攝像圖像與相對(duì)應(yīng)的印刷基板P整體的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行比較從而抽出差分圖像，判斷其差分因素面積是否在上限值以下，從而判斷印刷基板P是否良好。如果上述差分面積為上限值以上，則在液晶監(jiān)視器4上顯示對(duì)上述印刷基板P整體的攝像圖像疊加了上述差分圖像的圖像以供操作人員進(jìn)行目視判斷，當(dāng)該目視判斷的結(jié)果是印刷基板P判斷為良品時(shí)，將該判斷為良品的印刷基板P整體的攝像圖像，作為新的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，追加存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部61。
如上所述，采用上述第1實(shí)施方式，控制組件60，通過(guò)對(duì)照相機(jī)52所拍攝的印刷基板P的攝像圖像和存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部61的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，判斷印刷基板P是否良好，在印刷基板P判斷為不良品時(shí)，在液晶監(jiān)視器4上顯示該基板P的圖像，使操作人員進(jìn)行目視判斷，而且在該目視判斷中印刷基板P判斷為良品時(shí)，將該判斷為良品的印刷基板P的攝像圖像，作為上述基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，追加存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部61，因此，隨著檢查的進(jìn)行，能夠?qū)⒉僮魅藛T的目視判斷結(jié)果依次反映到基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)當(dāng)中，根據(jù)由此所獲得的恰當(dāng)范圍的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，能夠以更適當(dāng)精度有效地使上述控制組件60進(jìn)行自動(dòng)判斷。
即，在上述第1實(shí)施方式中，控制組件60，最初根據(jù)較少的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，判斷印刷基板P是否良好，因此，通過(guò)該控制組件60判斷為良品的印刷基板P的范圍比較窄，但是，對(duì)一定數(shù)量的基板P進(jìn)行檢查之后，在操作人員的目視判斷中判斷為良品(控制組件60的判斷結(jié)果被操作人員的目視判斷所推翻而成為良品)的印刷基板P的圖像，依次作為基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)被追加，因此，之后，控制組件60，根據(jù)反映了上述目視判斷結(jié)果的恰當(dāng)范圍的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，自動(dòng)判斷基板P是否良好，因而能夠以與操作人員實(shí)際進(jìn)行的目視判斷相同的恰當(dāng)?shù)木扔行У貙?duì)印刷基板P進(jìn)行檢查。
而且，采用上述第1實(shí)施方式，通過(guò)僅將操作人員的目視判斷中判斷為良品的印刷基板P的圖像依次追加存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部61這樣簡(jiǎn)單的構(gòu)成，就可以使上述基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)的范圍達(dá)到更加適當(dāng)，因此，與必須進(jìn)行復(fù)雜的程序處理的以往技術(shù)不同，能夠降低裝置1的制造成本、能夠縮短處理時(shí)間。
另外，如上述第1實(shí)施方式所示，根據(jù)對(duì)印刷基板P的攝像圖像和基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行比較而獲得的差分圖像，判斷印刷基板P是否良好時(shí)，通過(guò)僅獲取兩種的圖像的差分這樣簡(jiǎn)單的構(gòu)成，即，就可以有效地進(jìn)行印刷基板P是否良好的判斷。
另外，如上述第1實(shí)施方式所示，在將印刷基板P的攝像圖像分割成多個(gè)區(qū)域，并且對(duì)該分割的各個(gè)區(qū)域的攝像圖像和，與之相對(duì)應(yīng)按照各個(gè)區(qū)域存儲(chǔ)的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，從而按各個(gè)區(qū)域抽出差分圖像來(lái)進(jìn)行印刷基板P是否良好的判斷時(shí)，即使安裝在印刷基板P上的電子元件的尺寸差距較大，也能夠以與其大小相對(duì)應(yīng)的恰當(dāng)?shù)木扰袛喔鱾€(gè)元件的安裝狀態(tài)是否良好，因而能夠與安裝元件無(wú)關(guān)地對(duì)印刷基板P進(jìn)行恰切的外觀檢查。
另外，如上述第1實(shí)施方式所示，作為操作人員的目視判斷用圖像將上述差分圖像顯示在液晶監(jiān)視器4上時(shí)，對(duì)應(yīng)于差分的特性(例如，是印刷基板P上的安裝元件出現(xiàn)位置偏移而產(chǎn)生的差分，還是元件種類不同而產(chǎn)生的差分等)將其差分因素著色成不同顏色，因而能夠有效地提高目視判斷時(shí)的視覺辨認(rèn)度，并且能夠提高操作人員的目視判斷的效率。
另外，如上述第1實(shí)施方式所示，在將使基板P在對(duì)印刷基板P進(jìn)行裝卸的原位置和照相機(jī)52對(duì)印刷基板P進(jìn)行拍攝的檢查位置之間進(jìn)行移動(dòng)的基板保持機(jī)構(gòu)24設(shè)置在檢查裝置1的內(nèi)部的情況下，只需將印刷基板P安裝在原位置上，之后的一連串操作，即印刷基板P移動(dòng)到檢查位置或者拍攝之后返回到原位置等動(dòng)作，能夠自動(dòng)進(jìn)行，因此，能夠有效地提高檢查裝置1的使用便利性。而且，上述基板保持機(jī)構(gòu)24、上述照相機(jī)52、控制組件60等各種器械通過(guò)共同的底架11安裝為一體，能夠被搬運(yùn)，因此，能夠節(jié)省裝置所占空間，尤其可不受場(chǎng)地限制在各種場(chǎng)所使用檢查裝置1。
另外，在上述第1實(shí)施方式中，將操作人員的目視判斷中判斷為良品的印刷基板P的攝像圖像，作為基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，依次追加存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部61，但是，當(dāng)追加了一定數(shù)量(例如，100或200)的攝像圖像之后，其后的數(shù)據(jù)可以不再追加。這樣，能夠防止基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)的過(guò)度增加，維持效率良好的檢查。
此外，在上述第1實(shí)施方式中，通過(guò)操作人員對(duì)液晶監(jiān)視器4的觸摸操作，判斷操作人員的目視判斷結(jié)果，但是，也可以在經(jīng)過(guò)規(guī)定的時(shí)間還沒有操作人員的操作時(shí)，判斷印刷基板P為不良品從而進(jìn)入下一個(gè)處理。
另外，在上述第1實(shí)施方式中，通過(guò)照相機(jī)52獲取印刷基板P整體的攝像圖像之后，將其分割成各個(gè)區(qū)域P1、P2…，但是，還可以使攝像組件51沿X軸方向依次進(jìn)行移動(dòng)并且使工作臺(tái)30沿Y軸方向進(jìn)行移動(dòng)，與此相應(yīng)地使照相機(jī)52依次定位在面對(duì)各個(gè)區(qū)域P1、P2…的位置上來(lái)進(jìn)行拍攝，從而獲取上述各個(gè)區(qū)域P1、P2…的攝像圖像。這樣，能夠獲取析像度更好的圖像，因此，對(duì)于安裝有極小的元件的印刷基板P，也能夠高精度地進(jìn)行外觀檢查。
另外，在上述第1實(shí)施方式中，液晶監(jiān)視器4采用觸摸面板式的液晶顯示器，從而由同一液晶監(jiān)視器4構(gòu)成用于顯示圖像的顯示單元和接受操作人員的操作的輸入單元，但是，作為輸入單元，也可以另行設(shè)置液晶監(jiān)視器4之外的鍵盤等，從而分別構(gòu)成輸入單元和顯示單元。
另外，在上述第1實(shí)施方式中，液晶監(jiān)視器4(輸入單元以及顯示單元)一體設(shè)置在檢查裝置1上，但是，還可以將上述顯示單元、輸入單元等，另行設(shè)置在上述檢查裝置1之外，從而使用另行設(shè)置在檢查裝置之外的機(jī)器進(jìn)行操作人員的目視判斷。另一方面，如上述第1實(shí)施方式所示，在將作為顯示單元以及輸入單元的液晶監(jiān)視器4一體設(shè)置在檢查裝置1，從而在同一裝置中進(jìn)行對(duì)印刷基板P的自動(dòng)判斷和目視判斷的情況下，則能夠以簡(jiǎn)單且緊湊的結(jié)構(gòu)，進(jìn)行印刷基板P的外觀檢查。
另外，在本發(fā)明的檢查方法以及裝置中，作為檢查對(duì)象的基板，不只限于印刷基板，例如，其還可以是引線框上形成有電路的基板等。
在第1實(shí)施方式中，說(shuō)明了在一個(gè)檢查裝置1中對(duì)印刷基板P進(jìn)行外觀檢查的例子，但是，為了提高印刷基板P的檢查效率，較為理想的是，排列多臺(tái)檢查裝置1來(lái)進(jìn)行使用。此外，在此情況下，只要使上述多個(gè)檢查裝置1互相協(xié)作構(gòu)成一個(gè)檢查系統(tǒng)，即可有效地提高印刷基板P的檢查效率。下面，就如此構(gòu)成的具體例，根據(jù)第2實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。
(第2實(shí)施方式) 圖14概略地表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式所涉及的基板檢查系統(tǒng)。在圖14所示的基板檢查系統(tǒng)10中，并排設(shè)置的多臺(tái)(圖14中為5臺(tái))檢查裝置1a、1b、1b…通過(guò)集線器(hub)70網(wǎng)絡(luò)連接。上述各個(gè)檢查裝置1a、1b、1b…，其基本結(jié)構(gòu)與上述第1實(shí)施方式的檢查裝置1相同，具有對(duì)操作人員所供給的印刷基板P(參照?qǐng)D1等)進(jìn)行拍攝并對(duì)其進(jìn)行圖像處理，從而判斷印刷基板P是否良好的功能。其中，位于中央的檢查裝置1a，除了具有進(jìn)行上述那樣的檢查處理的功能以外，還具有將自身機(jī)器(檢察裝置1a)或者其它機(jī)器(檢察裝置1b)中判斷為不良品的印刷基板P的圖像，為供操作人員進(jìn)行目視判斷而顯示在自身機(jī)器的液晶監(jiān)視器4上等的功能。即，中央的檢查裝置1a，不僅具有對(duì)基板的是否良好進(jìn)行自動(dòng)判斷的檢查裝置的功能，還具有顯示印刷基板P的目視判斷用圖像的目視判斷機(jī)的功能。下面，將該中央檢查裝置1a稱為主檢查裝置1a，其外的檢查裝置1b稱為副檢查裝置1b。
上述主檢查裝置1a以及副檢查裝置1b、1b…，其機(jī)械結(jié)構(gòu)與上述第1實(shí)施方式的圖1～圖6所示的檢查裝置1相同。上述各個(gè)檢查裝置1a、1b、1b…，在向前側(cè)(液晶監(jiān)視器4側(cè))變細(xì)這一點(diǎn)，也與上述第1實(shí)施方式相同(參照?qǐng)D1以及圖2)，因此，在排列有5臺(tái)上述檢查裝置1a、1b、1b…的圖14的狀態(tài)中，上述各個(gè)檢查裝置1a、1b、1b…，以操作人員的站位為中心，排列成大致的扇形。由此，檢查系統(tǒng)10結(jié)構(gòu)緊湊，操作人員在檢查作業(yè)中的操作性也會(huì)提高。
接著，參照?qǐng)D15的方框圖，就上述基板檢查系統(tǒng)10的控制系統(tǒng)，進(jìn)行說(shuō)明。主檢查裝置1a以及副檢查裝置1b、1b…的各個(gè)控制組件60，與各自的檢查裝置內(nèi)的攝像組件51(照相機(jī)52以及照明裝置54)；標(biāo)號(hào)組件55；液晶監(jiān)視器4；基板供給組件24以及檢查組件50用的各單軸機(jī)器人20、40；其它各種傳感器類(未圖示)等電性連接。
上述主檢查裝置1a的控制組件60，與副檢查裝置1b的控制組件60不同，其包括，圖像存儲(chǔ)部60a(相當(dāng)于本發(fā)明所涉及的存儲(chǔ)單元)、委托判斷文件夾(folder)60b。在圖像存儲(chǔ)部60a，存儲(chǔ)有作為對(duì)印刷基板P進(jìn)行是否良好的判斷時(shí)的基準(zhǔn)的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，在委托判斷文件夾60b，存儲(chǔ)有對(duì)主檢查裝置1a或副檢查裝置1b中判斷為不良的印刷基板P進(jìn)行目視判斷時(shí)所使用的圖像。而且，主檢查裝置1a的上述控制組件60、圖像存儲(chǔ)部60a、委托判斷文件夾60b，通過(guò)集線器與副檢查裝置1b的控制組件60電性連接。
上述主檢查裝置1a以及副檢查裝置1b、1b…的各個(gè)控制組件60，為了按照預(yù)先存儲(chǔ)的動(dòng)作程序，來(lái)對(duì)供給到各個(gè)檢查裝置1a、1b、1b…的印刷基板P進(jìn)行一連串的檢查動(dòng)作，集中控制上述基板供給組件24和檢查組件50等的動(dòng)作，并且根據(jù)上述檢查組件50的照相機(jī)52所拍攝的圖像，進(jìn)行印刷基板P是否良好的判斷等處理。
上述結(jié)構(gòu)的基板檢查系統(tǒng)10，例如如下述那樣進(jìn)行印刷基板P的檢查。
系統(tǒng)啟動(dòng)之后，主檢查裝置1a以及副檢查裝置1b、1b…分別保持在待機(jī)狀態(tài)，直至試驗(yàn)開始。在該待機(jī)狀態(tài)下，各個(gè)檢查裝置1a、1b、1b…中，上述基板供給組件24的工作臺(tái)30位于原位置，液晶面板4顯示規(guī)定的菜單畫面。
在該狀態(tài)下，操作人員將印刷基板P安裝在主檢查裝置1a及副檢查裝置1b、1b…中的任意一個(gè)裝置中，并且觸摸液晶面板4選擇上述菜單畫面中的“開始檢查”，從而在檢查裝置1a或1b中開始基板P的檢查。另外，將印刷基板P安裝在上述各個(gè)檢查裝置1a、1b、1b…時(shí)，將印刷基板P安裝在位于原位置的上述工作臺(tái)30上。即，將印刷基板P以其被檢查面(安裝有元件的面)朝上的狀態(tài)抵接上述工作臺(tái)30的定位板36a，并將由此被定位的印刷基板P嵌入到基板保持支架36、38之間，從而將基板P安裝在工作臺(tái)30上。
接著，檢查一旦開始，在安裝有上述印刷基板P的檢查裝置1a或1b中，通過(guò)單軸機(jī)器人20的運(yùn)作，工作臺(tái)30沿Y軸方向移動(dòng)，而通過(guò)另一方的單軸機(jī)器人40的運(yùn)作，攝像組件51沿X軸方向移動(dòng)，由此，攝像組件51的照相機(jī)52定位在與印刷基板P面對(duì)的位置上，在上述照明裝置54的照明光的照射下，通過(guò)該照相機(jī)52對(duì)印刷基板P進(jìn)行拍攝。
上述照相機(jī)52拍攝完印刷基板P之后，根據(jù)其攝像圖像，對(duì)印刷基板P的外觀(更加具體而言，印刷基板P上的元件的安裝狀態(tài))進(jìn)行是否良好的判斷處理。該是否良好的判斷處理，在對(duì)上述印刷基板P進(jìn)行拍攝的檢查裝置1a或1b的控制組件60中進(jìn)行。在此，若判斷結(jié)果為不良，上述控制組件60，在主檢查裝置1a的液晶面板4上顯示對(duì)上述印刷基板P的攝像圖像進(jìn)行規(guī)定的圖像處理后的圖像，使操作人員根據(jù)顯示在該液晶面板4上的基板P的圖像進(jìn)行目視判斷。而且，在該目視判斷中再次判斷為不良時(shí)，即上述控制組件60的自動(dòng)判斷和操作人員的目視判斷雙方均判斷印刷基板P為不良品時(shí)，印刷基板P才作為不良品而被處理。
如此，印刷基板P是否良好的判斷動(dòng)作結(jié)束之后，在對(duì)該印刷基板P進(jìn)行拍攝的檢查裝置1a或1b的液晶面板4上顯示其判斷結(jié)果，并且隨著工作臺(tái)30的移動(dòng)，使印刷基板P返回到原位置。接著，操作人員從工作臺(tái)30取出印刷基板P，根據(jù)上述液晶監(jiān)視器4的顯示信息，將印刷基板P放入未圖示的分類用托盤。由此，結(jié)束對(duì)一張基板的檢查。而且，通過(guò)使各個(gè)檢查裝置1a、1b、1b…分別以一定的時(shí)間差連續(xù)執(zhí)行上述檢查順序，可對(duì)多個(gè)印刷基板P同時(shí)進(jìn)行外觀檢查。
下面，對(duì)上述各個(gè)檢查裝置1a、1b、1b…中進(jìn)行的印刷基板P是否良好的判斷動(dòng)作等的具體內(nèi)容進(jìn)行說(shuō)明。各個(gè)檢查裝置1a、1b、1b…的照相機(jī)52拍攝印刷基板P的被檢查面之后，該檢查裝置1a或1b的控制組件60，首先，進(jìn)行將上述基板P的攝像圖像與作為良品基板的基準(zhǔn)的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行比較的處理。該基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，集中存儲(chǔ)于設(shè)置在主檢查裝置1a的控制組件60中的圖像存儲(chǔ)部60a(圖15)。各個(gè)檢查裝置1a、1b、1b…的控制組件60，從上述主檢查裝置1a的圖像存儲(chǔ)部60a中讀取該基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，并且對(duì)該基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)和上述照相機(jī)52所拍攝的印刷基板P的圖像進(jìn)行比較從而取得差分，根據(jù)該差分的圖像，判斷印刷基板P是否良好。另外，在抽出上述差分圖像等時(shí)所進(jìn)行的具體圖像處理內(nèi)容，與上述第1實(shí)施方式相同，因而省略其詳細(xì)說(shuō)明。
下面，根據(jù)圖16所示的流程圖，就上述結(jié)構(gòu)的基板檢查系統(tǒng)10的控制動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。如圖16所示，在基板檢查系統(tǒng)10中，同時(shí)進(jìn)行兩個(gè)控制流程C1、C2。其中，控制流程C1，是主檢查裝置1a以及副檢查裝置1b、1b…分別對(duì)印刷基板P進(jìn)行自動(dòng)判斷時(shí)的控制流程，是在各個(gè)檢查裝置1a、1b、1b…中通用地被執(zhí)行的流程。另一方面，控制流程C2，是使操作人員對(duì)由上述自動(dòng)判斷中判斷為不良品的基板進(jìn)行目視判斷的控制流程，是僅在主檢查裝置1a中執(zhí)行的流程。
首先，對(duì)在各個(gè)檢查裝置1a、1b、1b…中通用地被執(zhí)行的自動(dòng)判斷用的控制流程C1進(jìn)行說(shuō)明。該控制流程C1一旦開始，各個(gè)檢查裝置1a、1b、1b…的控制組件60，在印刷基板P安裝到基板供給組件24的工作臺(tái)30上且檢查開始的指令輸入液晶面板4(步驟S101、S102)之后，執(zhí)行使上述印刷基板P移動(dòng)到檢查位置上的控制(步驟S103)。具體而言，在確認(rèn)到印刷基板P通過(guò)出入口6安裝在位于原位置的工作臺(tái)30(參照?qǐng)D3的實(shí)線)上，而且液晶面板4被觸摸操作而從其菜單畫面中選擇了“開始檢查”之后，使單軸機(jī)器人20運(yùn)作，使上述工作臺(tái)30沿Y軸方向移動(dòng)，由此將印刷基板P移動(dòng)到圖4的二點(diǎn)劃線所示的檢查位置上。
接著，上述控制組件60，使處理進(jìn)入步驟S105，即進(jìn)入對(duì)印刷基板P進(jìn)行拍攝從而判斷其是否良好的自動(dòng)判斷控制。另外，此處的自動(dòng)判斷控制的具體內(nèi)容，與上述第1實(shí)施方式相同。即，通過(guò)照相機(jī)52拍攝印刷基板P，并且對(duì)所攝像的圖像和存儲(chǔ)在上述主檢查裝置1a的圖像存儲(chǔ)部50a的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行比較從而取出差分，由此抽出圖8C所示那樣的差分圖像，并且判斷上述圖像內(nèi)的各個(gè)差分圖像的面積s是否在預(yù)先規(guī)定的上限差分面積A以下，從而判斷上述印刷基板P是否良好。
上述的自動(dòng)判斷控制的結(jié)果，當(dāng)印刷基板P判斷為良品時(shí)(步驟S107中YES)，進(jìn)行該判斷的檢查裝置1a或1b的控制組件60，在上述檢查裝置1a或1b的液晶面板4上顯示印刷基板P為良品的內(nèi)容(步驟S109)，然后執(zhí)行使工作臺(tái)30返回到能夠裝卸印刷基板P的原位置的控制(步驟S111)。
另一方面，上述自動(dòng)判斷控制的結(jié)果，當(dāng)印刷基板P判斷為不良品時(shí)(步驟S107中NO)，執(zhí)行向主檢查裝置1a的委托判斷文件夾60b，發(fā)送由操作人員的目視判斷用的圖像數(shù)據(jù)等構(gòu)成的委托判斷文件的控制(步驟S113)。具體而言，對(duì)上述步驟S105的自動(dòng)判斷控制中拍攝的印刷基板P的圖像，疊加在該控制中所抽出的差分圖像，并且對(duì)其進(jìn)行規(guī)定的著色處理(將差分因素著色成對(duì)應(yīng)于差分特性的顏色的處理)，從而制作目視判斷用的圖像數(shù)據(jù)，將對(duì)該圖像數(shù)據(jù)附加了發(fā)生不良品基板的檢查機(jī)或在該檢查機(jī)中的發(fā)生No(順序號(hào))等的信息，作為上述委托判斷文件發(fā)送到主檢查裝置1a的委托判斷文件夾60b。
如此，將委托判斷文件發(fā)送到主檢查裝置1a的委托判斷文件夾60b之后，在主檢查裝置1a中，為了進(jìn)行操作人員的目視判斷，進(jìn)行控制流程C2所示的動(dòng)作。即，在該控制流程C2中，主檢查裝置1a的控制組件60，首先，確認(rèn)其委托判斷文件夾60b中是否存儲(chǔ)有委托判斷文件(步驟S131)，當(dāng)存在上述文件時(shí)，依次讀取所存儲(chǔ)的委托判斷文件(步驟S133)，并從該文件中抽出上述目視判斷用的圖像數(shù)據(jù)并將其顯示在液晶監(jiān)視器4上(步驟S135)。接著，控制組件60，判斷根據(jù)顯示在該液晶監(jiān)視器4上的圖像所進(jìn)行的目視判斷結(jié)果是否為良品(步驟S137)。具體而言，判斷是否有基于操作人員觸摸液晶面板4的操作而從液晶面板4輸入的表示判斷結(jié)果為良品的操作信號(hào)。
在上述步驟S137中判斷為YES，即在確認(rèn)到操作人員的目視判斷結(jié)果為良品時(shí)，執(zhí)行對(duì)上述已進(jìn)行處理的委托判斷文件，寫入表示目視判斷結(jié)果為良品的OK標(biāo)志的控制(步驟S139)。相反，在上述步驟S137中判斷為NO，即在確認(rèn)到操作人員的目視判斷結(jié)果為不良品時(shí)，執(zhí)行對(duì)上述委托判斷文件，寫入表示目視判斷結(jié)果為不良品的NG標(biāo)志的控制(步驟S141)。如此，在主檢查裝置1a中，對(duì)來(lái)自各個(gè)檢查裝置1a、1b、1b…的委托判斷文件，操作人員每一目視判斷地依次寫入表示其目視判斷結(jié)果是否良好的標(biāo)志。
另一方面，再次返回到控制流程C1，在委托了判斷的檢查裝置1a或1b中，等待在其委托判斷文件中寫入上述標(biāo)志(步驟S115)，然后，控制組件60，通過(guò)確認(rèn)作為上述標(biāo)志的OK標(biāo)志和NG標(biāo)志的任意一方是否存在，來(lái)判斷操作人員的目視判斷結(jié)果為良品還是不良品(步驟S117)。
在上述步驟S117中判斷為YES，即在確認(rèn)到操作人員的目視判斷結(jié)果為良品時(shí)，執(zhí)行將該判斷為良品的印刷基板P的攝像圖像，作為上述基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，追加存儲(chǔ)于圖像存儲(chǔ)部60a的控制(步驟S119)。然后，進(jìn)入步驟S9，在液晶面板4上顯示基板為良品的內(nèi)容，使印刷基板P返回原位置(步驟S111)。
另一方面，在上述步驟S117中判斷為NO，即在確認(rèn)到操作人員的目視判斷結(jié)果為不良品時(shí)，發(fā)出警報(bào)(步驟S121)，執(zhí)行使上述標(biāo)號(hào)組件55運(yùn)作，對(duì)印刷基板P標(biāo)予NG標(biāo)記的控制(步驟S123)。然后，在液晶面板4上顯示印刷基板P為不良品的內(nèi)容(步驟S125)之后，進(jìn)入步驟S111，使印刷基板P返回到原位置。
另外，在上述控制動(dòng)作中，按照印刷基板P上的預(yù)先被分割的每個(gè)拍攝區(qū)域進(jìn)行步驟S105的自動(dòng)判斷控制時(shí)，即，與上述第1實(shí)施方式中所說(shuō)明的流程圖(圖11或圖12)同樣地，按照預(yù)先被分割的每個(gè)拍攝區(qū)域進(jìn)行由照相機(jī)52實(shí)施的印刷基板P的拍攝，并且對(duì)該按照每個(gè)拍攝區(qū)域計(jì)算出來(lái)的差分面積s和上限差分面積A進(jìn)行比較，從而進(jìn)行上述自動(dòng)判斷控制時(shí)，在按照各個(gè)拍攝區(qū)域依次進(jìn)行自動(dòng)判斷的過(guò)程中，即使對(duì)其中的一個(gè)或者多個(gè)拍攝區(qū)域的自動(dòng)判斷結(jié)果為NG，也待所有拍攝區(qū)域中的自動(dòng)判斷結(jié)束之后再發(fā)送委托判斷文件。接著，主檢查裝置1a中所進(jìn)行的流程圖C2中，對(duì)應(yīng)于上述自動(dòng)判斷中判斷為NG的一個(gè)或者多個(gè)拍攝區(qū)域，依次將目視判斷用圖像顯示在液晶監(jiān)視器4上，操作人員按順序?qū)υ撆袛酁镹G的拍攝區(qū)域的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行目視判斷。此時(shí)，在操作人員對(duì)任意一個(gè)拍攝區(qū)域的目視判斷中出現(xiàn)NG時(shí)，對(duì)委托判斷文件寫入NG標(biāo)志，相反，對(duì)所有拍攝區(qū)域(自動(dòng)判斷結(jié)果為NG的所有拍攝區(qū)域)的目視判斷結(jié)果為OK時(shí)，對(duì)委托判斷文件寫入OK標(biāo)志。
另外，在主檢查裝置1a中，同時(shí)進(jìn)行流程C1和C2的控制動(dòng)作，但是，其間，為了進(jìn)行各個(gè)流程C1、C2，可適當(dāng)?shù)仂`活使用液晶監(jiān)視器4。即，在從流程C2的步驟S135中顯示目視判斷用的圖像數(shù)據(jù)開始到步驟S137中操作人員輸入目視判斷結(jié)果為止的期間，液晶監(jiān)視器4用于流程C2的進(jìn)行，相反，在到流程C1的步驟S102中操作人員輸入開始檢查指令為止的期間，或在步驟S109中將檢查結(jié)果顯示于監(jiān)視器的期間，液晶監(jiān)視器4用于流程C1的進(jìn)行。而且，為了避免上述時(shí)間重疊，在主檢查裝置1a中，流程C2的步驟S135、S137中的液晶監(jiān)視器4的顯示控制(顯示目視判斷用的圖像數(shù)據(jù)的控制)，優(yōu)先于流程C1的步驟S102或S109中的液晶監(jiān)視器4的顯示控制。
如上所述，采用上述第2實(shí)施方式，在設(shè)置有多個(gè)檢查裝置1a、1b、1b…(主檢查裝置1a以及副檢查裝置1b、1b…)，從而能夠?qū)Χ鄠€(gè)印刷基板P同時(shí)進(jìn)行檢查的基板檢查系統(tǒng)10中，由于將上述檢查裝置1a、1b、1b…中的任意一個(gè)裝置中判斷為不良品的印刷基板P的圖像，集中顯示在由上述各個(gè)檢查裝置1a、1b、1b…中的一臺(tái)裝置構(gòu)成的通用的主檢查裝置1a的液晶監(jiān)視器4上，因此，操作人員，不管在哪個(gè)檢查裝置1a、1b、1b…中發(fā)生不良基板，始終都能夠看著同一個(gè)的主檢查裝置1a的液晶監(jiān)視器4對(duì)基板進(jìn)行目視判斷，發(fā)生不良基板時(shí)無(wú)須一一移動(dòng)到對(duì)應(yīng)于該印刷基板P的檢查機(jī)來(lái)進(jìn)行目視判斷。其結(jié)果，能夠同時(shí)對(duì)多個(gè)印刷基板P進(jìn)行檢查，而且能夠?qū)崿F(xiàn)操作性更優(yōu)越的基板檢查系統(tǒng)10。
另外，如上述第2實(shí)施方式所示，在僅在多個(gè)檢查裝置1a、1b、1b…中的主檢查裝置1a上設(shè)置有上述圖像存儲(chǔ)部60a，并將通用于各個(gè)檢查裝置1a、1b、1b…的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)集中存儲(chǔ)于該圖像存儲(chǔ)部60a的情況下，可以根據(jù)通用的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)對(duì)各個(gè)檢查裝置1a、1b、1b…中所檢查的印刷基板P進(jìn)行是否良好的判斷，因此，能夠避免每個(gè)檢查裝置1a、1b、1b…的判斷基準(zhǔn)出現(xiàn)偏差，并且能夠有效地進(jìn)行印刷基板P的檢查。
另外，在上述第2實(shí)施方式中，各個(gè)檢查裝置1a、1b、1b…上分別獨(dú)自地設(shè)置有控制組件60，但是，還可以例如在其中的主檢查裝置1a上，設(shè)置集中控制所有檢查裝置1a、1b、1b…的運(yùn)作的集中控制組件。
另外，在上述第2實(shí)施方式中，通過(guò)使多個(gè)檢查裝置1a、1b、1b…中的一個(gè)主檢查裝置1a，具備用于操作人員對(duì)印刷基板P進(jìn)行目視判斷的作為目視判斷機(jī)的功能，從而節(jié)省檢查系統(tǒng)10的空間，但是，毋庸置疑，還可以在檢查機(jī)之外，另行設(shè)置專用的上述目視判斷機(jī)。圖17表示該方式的一個(gè)例子。在該圖17所示例子中的基板檢查系統(tǒng)90中，設(shè)置有由多個(gè)對(duì)基板進(jìn)行檢查的檢查裝置91排列形成的多個(gè)基板檢查部U，而且該多個(gè)基板檢查部U通過(guò)網(wǎng)絡(luò)線路分別與目視判斷機(jī)92相連接。各個(gè)基板檢查部U和目視判斷機(jī)92分別由一位操作人員操作。在該結(jié)構(gòu)中，只要將良品基板的基準(zhǔn)即基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，集中存儲(chǔ)在目視判斷機(jī)92中，并且以存儲(chǔ)于該目視判斷機(jī)92中的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)作為基準(zhǔn)，使各個(gè)基板檢查部U對(duì)印刷基板P進(jìn)行是否良好的檢查，就可以將所有基板檢查部U中是否良好的判斷的判斷基準(zhǔn)保持在一定的水平上，使印刷基板P的質(zhì)量更加穩(wěn)定。而且，由于進(jìn)行目視判斷的操作人員始終是同一操作人員，因而能夠保持一定的目視判斷的判斷基準(zhǔn)，有效地避免檢查過(guò)程中所追加的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)出現(xiàn)較大的波動(dòng)。
在上述第1以及第2實(shí)施方式中，當(dāng)印刷基板P在控制組件60的自動(dòng)判斷中判斷為不良時(shí)，作為操作人員的目視判斷用的圖像，在液晶監(jiān)視器4上，顯示將印刷基板P的攝像圖像與通過(guò)規(guī)定的圖像處理抽出的差分圖像疊加的圖像，但是，作為此外的圖像，還可以在上述目視判斷中將可供參考的參照?qǐng)D像加在上述圖像的附近等予以顯示。下面，根據(jù)第3實(shí)施方式，對(duì)采用這樣的結(jié)構(gòu)時(shí)的具體例，進(jìn)行說(shuō)明。
(第3實(shí)施方式) 在第3實(shí)施方式中，使用與上述第1實(shí)施方式的檢查裝置1相同結(jié)構(gòu)的檢查裝置，其具體結(jié)構(gòu)，如圖1～圖7所示。但是，在該第3實(shí)施方式所涉及的檢查裝置(以下，檢查裝置1)中，顯示在液晶監(jiān)視器4上的供操作人員的目視判斷用的圖像的形式，與上述第1實(shí)施方式不同。因此，下面重點(diǎn)說(shuō)明該點(diǎn)。
在本實(shí)施方式的檢查裝置1中，在控制組件60進(jìn)行印刷基板P的外觀檢查之后，被控制組件60判斷為不良的部分的攝像圖像顯示在液晶監(jiān)視器4上以供操作人員進(jìn)行目視判斷。液晶監(jiān)視器4上所顯示的不良部分中，顯示有該不良部分的圖像與基準(zhǔn)圖像的差分圖像。本實(shí)施方式中，基準(zhǔn)圖像的圖像數(shù)據(jù)即基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，包括6種限度圖像數(shù)據(jù)，由控制組件60根據(jù)基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)制作基準(zhǔn)圖像。具體而言，基于上述6種限度圖像數(shù)據(jù)的6種限度圖像，包括，右側(cè)偏移限度圖像、左側(cè)偏移限度圖像、上側(cè)偏移限度圖像、下側(cè)偏移限度圖像、面積大限度圖像、面積小限度圖像。
所謂偏移限度圖像，是表示被檢查對(duì)象物相對(duì)于印刷基板P上的正常位置偏移而被判斷為不良之緊前的良品狀態(tài)的圖像。例如，右側(cè)偏移限度圖像，是指被檢查對(duì)象物相對(duì)于印刷基板P上的正常位置向右側(cè)偏移配置情況下的偏移限度圖像。另外，面積大限度圖像，是表示被檢查對(duì)象物的面積大于印刷基板P上的規(guī)定面積而被判斷為不良之緊前的良品狀態(tài)的圖像，面積小限度圖像，是表示被檢查對(duì)象物的面積小于印刷基板P上的規(guī)定面積而被判斷為不良之緊前的良品狀態(tài)的圖像。
在此，對(duì)目視判斷中的差分圖像的制作方法進(jìn)行說(shuō)明。由照相機(jī)52拍攝印刷基板P的被檢查面之后，控制組件60，首先，對(duì)印刷基板P的攝像圖像的圖像數(shù)據(jù)和判斷印刷基板P是否良好的基準(zhǔn)即基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行比較。具體而言，控制組件60，將上述基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)存儲(chǔ)于其內(nèi)部的存儲(chǔ)部61(圖7)中，通過(guò)對(duì)該基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)和照相機(jī)52所拍攝的印刷基板P的圖像的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行比較從而取得差分，制作基于該差分的差分圖像。另外，差分圖像的制作，例如，通過(guò)使分開設(shè)置在印刷基板P的被安裝面的多個(gè)位置上的位置對(duì)準(zhǔn)用基準(zhǔn)標(biāo)記，在印刷基板P的攝像圖像的圖像數(shù)據(jù)和基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)之間相一致，從而在兩圖像被位置對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)下進(jìn)行。
(液晶監(jiān)視器4上的顯示狀態(tài)) 下面，對(duì)將顯示于液晶監(jiān)視器4的上述差分圖像和在目視判斷中可供參照的參照?qǐng)D像同時(shí)顯示的具體顯示方法進(jìn)行說(shuō)明。另外，在本實(shí)施方式中，外觀檢查對(duì)象，是印刷有糊狀焊料(以下，簡(jiǎn)稱為焊料)的印刷基板。圖18～圖21表示液晶監(jiān)視器4的顯示畫面的圖，分別表示具有代表性的4種顯示類型。差分圖像的差分區(qū)域D1、D2，著色成與其它區(qū)域不同的顏色，從而能夠明確地區(qū)分差分區(qū)域D1、D2和差分區(qū)域D1、D2以外的區(qū)域。另外，液晶監(jiān)視器4的顯示畫面，在上下左右均為2等分，從而分割成4個(gè)區(qū)域。下面，以糊狀焊料S相對(duì)于印刷基板P上所形成的方形端子部(land)T偏移狀態(tài)下被印刷后的位置偏移不良作為例子進(jìn)行說(shuō)明。
顯示類型1(圖18)，在左上的區(qū)域上，顯示上述參照?qǐng)D像之一的標(biāo)準(zhǔn)圖像(印刷基板P的正常狀態(tài)，即焊料S印刷在印刷基板P上的理想的印刷位置上的狀態(tài)的圖像)，在右上的區(qū)域上，顯示差分圖像以及印刷基板P的攝像圖像相互重疊的圖像。根據(jù)印刷基板P的攝像圖像和標(biāo)準(zhǔn)圖像的差分制作的差分圖像的差分區(qū)域D1，顯示在印刷基板P的攝像圖像中的焊料S的顯示區(qū)域中從左邊部至上邊部的區(qū)域。
顯示類型2(圖19)，在左上的區(qū)域上，顯示上述參照?qǐng)D像之一的左側(cè)偏移限度圖像(焊料S相對(duì)于印刷基板P上的規(guī)定印刷位置印刷在向左側(cè)偏移的位置上時(shí)的表示良品限度的圖像)，在右上的區(qū)域上，顯示差分圖像以及印刷基板P的攝像圖像相互重疊的圖像。根據(jù)印刷基板P的攝像圖像和左側(cè)偏移限度圖像的差分制作的差分圖像的差分區(qū)域D2，顯示在印刷基板P的攝像圖像中的焊料S的顯示區(qū)域中從左邊部至上邊部的區(qū)域。差分區(qū)域D2的左邊部的面積，小于圖18所示的差分區(qū)域D1的左邊部的面積。
顯示類型3(圖20)，在左上的區(qū)域上，顯示上述參照?qǐng)D像之一的左側(cè)偏移限度圖像，在右上的區(qū)域上，顯示差分圖像(差分區(qū)域D2)以及印刷基板P的攝像圖像相互重疊的圖像，在左下的區(qū)域上顯示標(biāo)準(zhǔn)圖像，在右下的區(qū)域上，顯示差分圖像(差分區(qū)域D1)以及印刷基板P的攝像圖像相互重疊的圖像。
顯示類型4(圖21)，在左上的區(qū)域上，顯示上述參照?qǐng)D像之一的左側(cè)偏移限度圖像，在右上的區(qū)域上，顯示差分圖像(差分區(qū)域D2)以及印刷基板P的攝像圖像相互重疊的圖像，在左下的區(qū)域上，顯示上述參照?qǐng)D像之一的標(biāo)準(zhǔn)圖像。通過(guò)操作人員的判斷，可以從上述4種顯示類型中，適當(dāng)選擇上述顯示類型1～4中的適于目視判斷的顯示類型。另外，在上述顯示類型1～4中，還可以將差分圖像(差分區(qū)域D2)以及左側(cè)偏移限度圖像相互重疊的圖像，或者將差分圖像(差分區(qū)域D1)以及標(biāo)準(zhǔn)圖像相互重疊的圖像，作為上述參照?qǐng)D像之一予以顯示。
(限度圖像的制作順序) 下面，參照?qǐng)D22，就圖像處理單元制作對(duì)應(yīng)于位置偏移不良(上下左右4種)和面積大/小不良(大小2種)的6種限度圖像的順序，進(jìn)行說(shuō)明。另外，所謂位置偏移不良，是指印刷在印刷基板P上的焊料S偏離于規(guī)定的印刷位置的不良。另外，面積大/小不良是面積大不良以及面積小不良的簡(jiǎn)稱，面積大不良，是指印刷在印刷基板P上的焊料S的面積大于規(guī)定面積的不良，面積小不良，是指印刷在印刷基板P上的焊料S的面積小于規(guī)定面積的不良。
首先，由攝像單元(以下，稱為照相機(jī)52)拍攝在正常的位置上配置有被檢查對(duì)象物(以下，稱為焊料S1)的基板(以下，稱為焊料印刷完畢基板P2)，如圖23上段所示，獲取焊料印刷完畢基板P2的攝像圖像(S151)。接著，從焊料印刷完畢基板P2的攝像圖像的圖像數(shù)據(jù)中，抽出焊料S1區(qū)域圖像的圖像數(shù)據(jù)(S152)，如圖23下段所示，根據(jù)焊料S1區(qū)域圖像的圖像數(shù)據(jù)制作焊料S1區(qū)域圖像。接著，通過(guò)照相機(jī)52拍攝沒有印刷焊料S1的基板(以下，稱為未加工基板)P1，獲取未加工基板P1的攝像圖像(S153)。
然后，操作人員，通過(guò)0～9數(shù)字鍵等輸入單元，輸入相對(duì)于正常的印刷位置的規(guī)定的偏移允許量(以下，稱為位置限度上下左右規(guī)定值)(S154)，并將輸入的位置限度上下左右規(guī)定值存儲(chǔ)在存儲(chǔ)單元(以下，稱為存儲(chǔ)部61)中。之后，根據(jù)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部61中的位置限度上下左右規(guī)定值，向規(guī)定方向(上下左右方向)移動(dòng)焊料S1區(qū)域圖像的圖像數(shù)據(jù)，由此制作焊料S1區(qū)域圖像的限度圖像數(shù)據(jù)(S155)。接著，對(duì)焊料S區(qū)域圖像的限度圖像數(shù)據(jù)和未加工基板P1的攝像圖像的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行合成，從而制作限度圖像數(shù)據(jù)(以下，稱為位置偏移限度圖像數(shù)據(jù))L1(S156)，并且根據(jù)該位置偏移限度圖像數(shù)據(jù)L1，制作位置偏移限度圖像。如此，制作如圖24A所示的右側(cè)偏移限度圖像、如圖24B所示的左側(cè)偏移限度圖像、如圖25A所示的上側(cè)偏移限度圖像、以及如圖25B所示的下側(cè)偏移限度圖像。
另外，操作人員，通過(guò)0～9數(shù)字鍵等輸入單元，輸入相對(duì)于正常的印刷面積的規(guī)定的變動(dòng)率(以下，稱為面積限度上下規(guī)定值)(S157)，并將輸入的面積限度上下規(guī)定值存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部61中。之后，根據(jù)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部61中的面積限度上下規(guī)定值，擴(kuò)大或縮小焊料S1區(qū)域圖像的圖像數(shù)據(jù)，從而制作焊料S1區(qū)域圖像的限度圖像數(shù)據(jù)(S158)。接著，對(duì)焊料S1區(qū)域圖像的限度圖像數(shù)據(jù)和未加工基板P1的攝像圖像的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行合成，從而制作面積大/小限度圖像數(shù)據(jù)L2(S159)，并且根據(jù)該面積大/小限度圖像數(shù)據(jù)L2，制作面積大/小限度圖像。如此，制作如圖26A所示的面積大限度圖像以及如圖26B所示的面積小限度圖像。
作為用于制作上述各種限度圖像的圖像制作軟件，可以包括以下的工序通過(guò)攝像單元拍攝配置有被檢查對(duì)象物的基板以及未配置有被檢查對(duì)象物的基板的攝像工序；存儲(chǔ)由輸入單元輸入的規(guī)定值的存儲(chǔ)工序；對(duì)上述攝像工序中所獲得的配置有被檢查對(duì)象物的基板的攝像圖像的圖像數(shù)據(jù)和上述攝像工序中所獲得的未配置有被檢查對(duì)象物的基板的攝像圖像的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行比較從而獲得差分，并抽出上述被檢查對(duì)象物的圖像數(shù)據(jù)的抽出工序；使上述抽出工序中所獲得的上述被檢查對(duì)象物的圖像數(shù)據(jù)，根據(jù)上述存儲(chǔ)工序中所存儲(chǔ)的規(guī)定值進(jìn)行變動(dòng)，從而制作上述被檢查對(duì)象物的變動(dòng)圖像數(shù)據(jù)的變動(dòng)工序；對(duì)該變動(dòng)工序中所獲得的被檢查對(duì)象物的變動(dòng)圖像數(shù)據(jù)和上述未配置有被檢查對(duì)象物的基板的圖像的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行合成，從而制作限度圖像數(shù)據(jù)的合成工序；根據(jù)該合成工序中所獲得的限度圖像數(shù)據(jù)，通過(guò)圖像處理單元，制作限度圖像的圖像制作工序。
(檢查時(shí)的圖像顯示操作) 下面，根據(jù)圖27所示的流程圖，就上述結(jié)構(gòu)的檢查裝置1的控制組件60的控制動(dòng)作，進(jìn)行說(shuō)明。在印刷基板P通過(guò)出入口6安裝在位于原位置的工作臺(tái)30(參照?qǐng)D3的實(shí)線)上，而且液晶監(jiān)視器4被觸摸操作而從其菜單畫面中選擇了“開始檢查”(S201)之后，使單軸機(jī)器人20運(yùn)作，使工作臺(tái)30沿Y軸方向移動(dòng)，由此將印刷基板P移動(dòng)到圖3的二點(diǎn)劃線所示的檢查位置上(S202)。然后，使單軸機(jī)器人40進(jìn)行運(yùn)作，將攝像組件51定位在位于上述檢查位置的印刷基板P的上方，并且使照明裝置54照射照明光，以照亮基板P，在該狀態(tài)下對(duì)照相機(jī)52輸出控制信號(hào)，使其拍攝印刷基板P，獲得印刷基板P的攝像圖像(S203)。
接著，控制組件60，從其存儲(chǔ)部61讀取限度圖像數(shù)據(jù)，并且對(duì)該基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)和印刷基板P的攝像圖像進(jìn)行比較從而取得差分，由此計(jì)算出差分因素的面積s。然后，判斷該面積s是否在存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部61中的上限差分面積A以下。當(dāng)面積s在上限面積A以下時(shí)，判斷為沒有發(fā)生不良(S204)，使工作臺(tái)30從檢查位置移動(dòng)到原位置。之后，在液晶監(jiān)視器4上顯示“檢查結(jié)束”和“開始檢查”。如果選擇了“檢查結(jié)束”(S205)，則結(jié)束檢查(S206)。如果選擇了“開始檢查”(S205)，則進(jìn)入S202，進(jìn)行下一個(gè)檢查。
另一方面，當(dāng)面積s大于上限面積A時(shí)，判斷為發(fā)生了不良(S204)，并且判斷所產(chǎn)生的不良是否是面積大/小不良。如果是面積大/小不良(S207)，從存儲(chǔ)部61讀取面積大/小限度圖像數(shù)據(jù)(S208)，對(duì)面積大/小限度圖像數(shù)據(jù)和印刷基板P的攝像圖像的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行比較從而取得差分，并制作基于該差分的差分圖像(S209)。接著，將該差分圖像顯示在液晶監(jiān)視器4上，操作人員進(jìn)行目視判斷。與此同時(shí)，在液晶監(jiān)視器4上顯示“判斷NG”和“判斷OK”。當(dāng)目視判斷結(jié)果為不良而選擇了“判斷NG”(S210)時(shí)，將發(fā)生不良的該部分的位置數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部61中(S211)，并且使工作臺(tái)30從檢查位置移動(dòng)到原位置，接著進(jìn)入S205，判斷檢查是否結(jié)束。
另外，當(dāng)操作人員的目視判斷結(jié)果為不是不良而選擇了“判斷OK”(S210)時(shí)，使工作臺(tái)30從檢查位置移動(dòng)到原位置，接著進(jìn)入S205，判斷檢查是否結(jié)束。
另一方面，如果判斷所發(fā)生的不良不是面積大/小不良(S207)，則判斷是否是位置偏移不良。如果判斷為位置偏移不良(S212)，則從存儲(chǔ)部61讀取位置偏移不良限度圖像數(shù)據(jù)(S213)，對(duì)位置偏移不良限度圖像數(shù)據(jù)和印刷基板P的攝像圖像的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行比較從而取得差分，并且制作基于該產(chǎn)分的差分圖像(S214)。接著，將該差分圖像顯示在液晶監(jiān)視器4上，操作人員進(jìn)行目視判斷。與此同時(shí)，在液晶監(jiān)視器4上顯示“判斷NG”和“判斷OK”畫面。當(dāng)目視判斷結(jié)果為不良而選擇了“判斷NG”(S215)時(shí)，將發(fā)生不良的該部分的位置數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部61中(S216)，并且使工作臺(tái)30從檢查位置移動(dòng)到原位置，接著進(jìn)入S205，判斷檢查是否結(jié)束。
另外，當(dāng)操作人員的目視判斷結(jié)果為不是不良而選擇了“判斷OK”(S215)時(shí)，使工作臺(tái)30從檢查位置移動(dòng)到原位置，接著進(jìn)入S205，判斷檢查是否結(jié)束。
如上所述，本實(shí)施方式可取得如下效果。
1.將照相機(jī)52所拍攝的印刷基板P的攝像圖像與限度圖像的差分圖像顯示在液晶監(jiān)視器4，而且，此時(shí)還同時(shí)顯示作為參照?qǐng)D像之一的限度圖像，由此，能夠明確印刷基板P的攝像圖像和限度圖像之間的差異。因此，能夠使是否良好的判斷的精度保持穩(wěn)定，并且能夠提高操作人員的目視判斷的檢查效率。
2.將差分圖像數(shù)據(jù)和印刷基板P的攝像圖像數(shù)據(jù)在位置對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)下進(jìn)行合成，通過(guò)將兩者重疊顯示，能夠在考慮到印刷基板P的特有狀況的基礎(chǔ)上判斷是否良好。例如，當(dāng)設(shè)置在印刷基板P上的多個(gè)端子部T互相鄰近，在端子部T的排列方向上產(chǎn)生偏移時(shí)，由于鄰近的端子部T之間的距離較短有時(shí)會(huì)判斷為不良，但是在與端子部T的排列方向交叉的方向上發(fā)生偏移時(shí)，即使差分圖像的面積相同，也不會(huì)判斷為不良。
3.可以對(duì)作為參照?qǐng)D像之一的標(biāo)準(zhǔn)圖像和，將基于標(biāo)準(zhǔn)圖像的差分圖像以及印刷基板P的攝像圖像進(jìn)行合成的圖像進(jìn)行對(duì)比(顯示類型1)。
4.可以對(duì)作為參照?qǐng)D像之一的限度圖像和，將基于限度圖像的差分圖像以及印刷基板P的攝像圖像進(jìn)行合成的圖像進(jìn)行對(duì)比(顯示類型2)。
5.可以對(duì)作為參照?qǐng)D像之一的限度圖像和，將基于限度圖像的差分圖像以及印刷基板P的攝像圖像進(jìn)行合成的圖像和，作為參照?qǐng)D像之一的標(biāo)準(zhǔn)圖像和，將基于標(biāo)準(zhǔn)圖像的差分圖像以及印刷基板P的攝像圖像進(jìn)行合成的圖像進(jìn)行對(duì)比(顯示類型3)。
6.可以對(duì)作為參照?qǐng)D像之一的限度圖像和，將基于限度圖像的差分圖像以及印刷基板P的攝像圖像進(jìn)行合成的圖像和，作為參照?qǐng)D像的標(biāo)準(zhǔn)圖像進(jìn)行對(duì)比(顯示類型4)。
7.能夠從對(duì)應(yīng)于不良內(nèi)容的6種限度圖像中選擇適于差分圖像的制作的限度圖像。
8.僅對(duì)自動(dòng)判斷工序中判斷為不良的部分進(jìn)行目視判斷，由此，相比全部進(jìn)行目視判斷能夠縮短檢查所需時(shí)間。
9.由于差分圖像的顯示區(qū)域著色成不同于差分圖像以外的顯示區(qū)域的顏色，因而容易辨別差分圖像。
(第4實(shí)施方式) (整體結(jié)構(gòu)) 圖28是本發(fā)明的第4實(shí)施方式所涉及的糊狀焊料印刷機(jī)100的俯視圖。圖如28所示，糊狀焊料印刷機(jī)100，包括，將糊狀焊料等印刷材料印刷在印刷基板P上的規(guī)定位置的印刷組件130、對(duì)上述印刷組件130所印刷的糊狀焊料的印刷狀態(tài)進(jìn)行檢查的檢查組件120、在印刷組件130的印刷區(qū)域和檢查組件120的檢查區(qū)域之間，以載置著印刷有糊狀焊料的印刷基板P的狀態(tài)，使該印刷基板P進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)的基板印刷用工作臺(tái)110。而且，在相鄰于印刷組件130的上游側(cè)以及下游側(cè)，設(shè)置有將印刷基板搬入上述印刷區(qū)域，并且從上述印刷區(qū)域搬出印刷基板P的一對(duì)基板搬送傳送帶105。
印刷組件130，設(shè)置在基座101上的前面?zhèn)?圖中為下側(cè))，檢查組件120，設(shè)置在印刷組件130的里側(cè)。在印刷組件130的前面?zhèn)?，作業(yè)臺(tái)102固定在基座101。在作業(yè)臺(tái)102之上，設(shè)置有作為輸入單元的鍵盤103、本發(fā)明所涉及的圖像顯示裝置104。操作人員，通過(guò)鍵盤103，能夠輸入各種規(guī)定值(例如，對(duì)應(yīng)于差分因素的面積s的上限面積A等)，并且通過(guò)目視同時(shí)顯示在圖像顯示裝置104上的差分圖像以及參照?qǐng)D像來(lái)進(jìn)行外觀檢查。
(印刷組件130的結(jié)構(gòu)) 在位于上述印刷區(qū)域的基板移動(dòng)用工作臺(tái)110以及基板搬送傳送帶105的上方，貫穿有具規(guī)定的模板圖案的開口的模板137保持于模板支撐架138。模板支撐架138，固定在與基座101形成為一體的支架(未圖示)的上部。通過(guò)從未圖示的噴嘴將糊狀焊料供給到模板137上，并且通過(guò)刮板136刮動(dòng)所供應(yīng)的糊狀焊料使其進(jìn)入模板137的上述開口，從而能夠?qū)⒑隣詈噶嫌∷⒃谟∷⒒錚上的規(guī)定位置上。
這樣的使刮板136滑接于模板137沿著Y方向進(jìn)行移動(dòng)的印刷組件130的結(jié)構(gòu)，包括，保持刮板136并使其升降的刮板組件135、和支撐該刮板組件135并且沿X方向延伸的刮板組件支撐部件131、以及支撐該刮板組件支撐部件131使其在Y方向上能夠移動(dòng)的一對(duì)Y方向?qū)к?32。
兩Y方向?qū)к?32，固定在與基座101形成為一體的未圖示的支架的上部。在圖中左側(cè)的Y方向?qū)к?32的旁側(cè)，可轉(zhuǎn)動(dòng)地固定有與固定在刮板組件支撐部件131的滾珠螺母螺合的Y方向滾珠絲杠軸133。在Y方向滾珠絲杠軸133的端部，設(shè)置有用于轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)上述Y方向滾珠絲杠軸133的伺服電動(dòng)機(jī)134，而該伺服電動(dòng)機(jī)134固定在與基座101形成為一體的支架(未圖示)的上部。由此，刮板組件支撐部件131，通過(guò)伺服電動(dòng)機(jī)134的轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)，沿Y方向進(jìn)行移動(dòng)。
(基板移動(dòng)用工作臺(tái)110的結(jié)構(gòu)) 基板移動(dòng)用工作臺(tái)110，包括上部部件和下部部件，上部部件，相對(duì)于下部部件可以沿X、Y、Z、以及R方向在各規(guī)定的范圍移動(dòng)。由此，載置在基板移動(dòng)用工作臺(tái)110的上部部件上的印刷基板P，通過(guò)上部部件的Z方向的驅(qū)動(dòng)，在與模板137的下表面抵接的抵接位置和與模板137的下表面相離開的分離位置之間，沿Z方向進(jìn)行移動(dòng)。
而且，在基板移動(dòng)用工作臺(tái)110的上部部件上，設(shè)置有搬入以及搬出印刷基板P時(shí)能夠移動(dòng)的基板搬送傳送帶110A。該基板搬送傳送帶110A，通過(guò)基板移動(dòng)用工作臺(tái)110的上部部件，在Y方向以及Z方向上與基板搬送用傳送帶105整合對(duì)齊，從而處于能夠交接印刷之前的印刷基板P的狀態(tài)，然后將通過(guò)上游側(cè)的基板搬送傳送帶105搬入的上述印刷基板P搬入到基板移動(dòng)用工作臺(tái)110的上部部件上的規(guī)定位置上，并予以保持。而且，基板搬送用傳送帶110A，在印刷結(jié)束后或者檢查結(jié)束后，且在處于上述的能夠交接印刷基板P的狀態(tài)后，將保持在基板移動(dòng)用工作臺(tái)110的上部部件上的規(guī)定位置的印刷結(jié)束或者檢查結(jié)束的印刷基板P搬出到下游側(cè)的基板搬送傳送帶105。
在基座101上，設(shè)置有支撐基板移動(dòng)用工作臺(tái)110的下部部件使其能夠在Y方向上移動(dòng)的一對(duì)Y方向軌道111。在基座101上的兩Y方向軌道111之間，可轉(zhuǎn)動(dòng)地固定有與固定在基板移動(dòng)用工作臺(tái)110的下部部件上的滾珠螺母(未圖示)螺合的Y方向滾珠絲杠軸112。在Y方向滾珠絲杠軸112的端部，設(shè)置有用于轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)上述Y方向滾珠絲杠軸112的伺服電動(dòng)機(jī)113。由此，通過(guò)伺服電動(dòng)機(jī)113的轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)，能夠使基板移動(dòng)用工作臺(tái)110移動(dòng)到Y(jié)方向上的所希望的位置上。
(檢查組件120的結(jié)構(gòu)) 檢查組件120，包括，沿X方向延伸且兩端固定在基座101的支撐部件121、和在X方向上可移動(dòng)地支撐在支撐部件121上的攝像裝置122。在支撐部件121上，可轉(zhuǎn)動(dòng)地固定有與固定在攝像裝置122上的滾珠螺母(未圖示)螺合的X方向滾珠絲杠軸123。在X方向滾珠絲杠軸123的端部，設(shè)置有用于轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)上述X方向滾珠絲杠軸123的伺服電動(dòng)機(jī)124，該伺服電動(dòng)機(jī)124，固定在與基座101形成為一體的支架(未圖示)上。由此，通過(guò)伺服電動(dòng)機(jī)124的轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)，能夠使攝像裝置122移動(dòng)到X方向上的所希望的位置上。
(糊狀焊料印刷機(jī)100的運(yùn)作) 首先，印刷基板P，通過(guò)基板搬送傳送帶105、110A，從上游側(cè)被搬送到基板工作臺(tái)110的上部部件上的規(guī)定位置。印刷基板P保持在基板搬送傳送帶110A上之后，通過(guò)第1照相機(jī)(未圖示)拍攝印刷基板P上的基準(zhǔn)標(biāo)記，并且通過(guò)第2照相機(jī)(未圖示)拍攝模板137的位置對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記?；骞ぷ髋_(tái)110的上部部件相對(duì)于下部部件沿X方向、Y方向、R方向移動(dòng)來(lái)進(jìn)行位置校正，以使上述基準(zhǔn)標(biāo)記和上述位置對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記相一致。而且，在位置得到校正的狀態(tài)下，基板工作臺(tái)110的上部部件從上述分離位置沿Z方向向上述抵接位置上升，印刷基板P抵接于模板的下表面。之后，通過(guò)刮板組件135的運(yùn)作，刮板136沿Z方向下降抵接在模板137上，并且通過(guò)伺服電動(dòng)機(jī)134的轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)，刮板組件支撐部件131和刮板136一起沿Y方向進(jìn)行移動(dòng)，糊狀焊料通過(guò)模板137的開口印刷在印刷基板P上。印刷結(jié)束之后，刮板137上升，基板工作臺(tái)110的上部部件從上述抵接位置向上述分離位置下降，并且向X方向、Y方向、R方向進(jìn)行移動(dòng)從而返回到位置被校正之前的狀態(tài)。
接著，通過(guò)伺服電動(dòng)機(jī)113的轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)，基板工作臺(tái)110移動(dòng)到上述檢查區(qū)域。攝像裝置122，首先拍攝印刷基板P上的基準(zhǔn)標(biāo)記，并且通過(guò)控制裝置識(shí)別印刷基板P的坐標(biāo)系。轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)伺服電動(dòng)機(jī)113以及伺服電動(dòng)機(jī)124，以使攝像裝置122位于印刷基板P的規(guī)定的X、Y坐標(biāo)上。接著，通過(guò)攝像裝置122進(jìn)行拍攝，并且對(duì)印刷在印刷基板P上的糊狀焊料的印刷狀態(tài)是否良好進(jìn)行自動(dòng)判斷。自動(dòng)判斷中沒有不良判斷而結(jié)束后，通過(guò)伺服電動(dòng)機(jī)113的轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)，基板工作臺(tái)110的基板搬送傳送帶110A沿Y方向移動(dòng)到與上述印刷區(qū)域的基板搬送傳送帶105對(duì)齊的位置，然后將印刷基板P搬出到下游側(cè)。自動(dòng)判斷中有不良判斷時(shí)，在所有位置的判斷結(jié)束之后，開始使基板工作臺(tái)110向Y方向移動(dòng)，并且為了使操作人員通過(guò)目視進(jìn)行外觀檢查，在圖像顯示裝置104上同時(shí)顯示差分圖像和參照?qǐng)D像。在目視檢查中還是判斷為不良時(shí)，可以從基板工作臺(tái)110撤去印刷基板P。
如上所述，在本實(shí)施方式中，由于糊狀焊料印刷機(jī)100包括圖像顯示裝置104，因此在印刷組件130進(jìn)行印刷之后，能夠即刻對(duì)其印刷狀態(tài)進(jìn)行自動(dòng)判斷，并且在自動(dòng)判斷中有不良判斷時(shí)，能夠在圖像顯示裝置104上同時(shí)顯示差分圖像和參照?qǐng)D像。因此，能夠縮短操作人員通過(guò)目視進(jìn)行外觀檢查所需時(shí)間，進(jìn)而能夠縮短糊狀焊料印刷工序中的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間。
(其它實(shí)施方式) 本發(fā)明不只限于由上述記述以及附圖所說(shuō)明的實(shí)施方式，例如，下述實(shí)施方式也在本發(fā)明的技術(shù)范圍之內(nèi)。
(1)在本實(shí)施方式中，在液晶監(jiān)視器4的同一顯示區(qū)域內(nèi)重疊顯示印刷基板P的攝像圖像和差分圖像，但是，根據(jù)本發(fā)明，還可以將印刷基板P的攝像圖像和差分圖像顯示在互不相同的顯示區(qū)域上。
(2)本實(shí)施方式的圖19～圖21中，在液晶監(jiān)視器4上，作為基準(zhǔn)圖像顯示了左側(cè)限度圖像，但是，根據(jù)本發(fā)明，顯示在液晶監(jiān)視器4上的限度圖像的種類不只限于一種，可以在液晶監(jiān)視器4上并列表示多個(gè)限度圖像。例如，在第3顯示類型(圖20)中，在左下的顯示區(qū)域上顯示了標(biāo)準(zhǔn)圖像，在右下的顯示區(qū)域上，顯示了差分圖像(差分區(qū)域D1)和印刷基板P的攝像圖像相互重疊的圖像，但是，根據(jù)本發(fā)明，還可以在左下的顯示區(qū)域上顯示上側(cè)偏移限度圖像，在右下的顯示區(qū)域上，顯示基于上側(cè)偏移限度圖像的差分圖像印刷基板P的攝像圖像相互重疊的圖像。
(3)在本實(shí)施方式中，說(shuō)明了焊料S印刷在印刷基板P上的端子部T時(shí)的適用例，但是，本發(fā)明，還可適用于印刷有焊料S的端子部T上安裝有電子元件的情形。
(4)在本實(shí)施方式中，將差分區(qū)域著色成與差分區(qū)域以外的區(qū)域顏色不同的顏色，但是，本發(fā)明，還可以對(duì)差分區(qū)域不進(jìn)行著色，例如，可以用虛線劃定差分區(qū)域，或者利用傾斜平行線等將差分區(qū)域表示為陰影，從而確定差分區(qū)域。
(5)在本實(shí)施方式中，將液晶監(jiān)視器的顯示區(qū)域分成4個(gè)部分，但是，本發(fā)明，還可以根據(jù)所顯示的圖像數(shù)進(jìn)行劃分，例如，在第1顯示類型(圖18)中，可以將液晶監(jiān)視器4的顯示區(qū)域分成2個(gè)部分。
(6)在本實(shí)施方式中，作為不良的形式，例示了上下左右方向的位置偏移不良和面積大/小不良，但是，本發(fā)明，還可以適用于其它形式的不良，例如，焊料錯(cuò)誤不良(印刷了與標(biāo)準(zhǔn)種類的焊料不同的焊料的不良)。在發(fā)生了該焊料錯(cuò)誤不良時(shí)，可以根據(jù)焊料的顏色不同，來(lái)測(cè)出印刷了不同種類的焊料的事實(shí)。
最后，將根據(jù)上述各個(gè)實(shí)施方式所披露的本發(fā)明的構(gòu)成及其效果，概括如下。
本發(fā)明的基板的外觀檢查方法，其特征在于，包括，攝像步驟，通過(guò)攝像單元拍攝上述基板；自動(dòng)判斷步驟，使自動(dòng)判斷單元進(jìn)行，將上述攝像步驟中所獲得的基板的攝像圖像與作為良品基板的基準(zhǔn)預(yù)先存儲(chǔ)于存儲(chǔ)單元的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行比較從而判斷基板是否良好的處理；目視判斷步驟，在上述自動(dòng)判斷步驟中基板判斷為不良品時(shí)，將該基板的圖像顯示于顯示單元，使操作人員根據(jù)顯示于上述顯示單元的圖像目視判斷上述基板是否良好；其中，在上述目視判斷步驟中基板判斷為良品時(shí)，將該判斷為良品的基板的攝像圖像，作為上述基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，追加存儲(chǔ)于上述存儲(chǔ)單元。
采用本發(fā)明，由于使自動(dòng)判斷單元根據(jù)攝像單元所拍攝的基板的攝像圖像和存儲(chǔ)于存儲(chǔ)單元的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)的比較來(lái)判斷基板是否良好，當(dāng)基板判斷為不良品時(shí)，還使操作人員進(jìn)行基板的目視判斷，并且該目視判斷的結(jié)果為基板判斷為良品時(shí)，將該判斷為良品的基板的攝像圖像作為上述基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)追加存儲(chǔ)于存儲(chǔ)單元，因此，隨著檢查的進(jìn)行，能夠?qū)⒉僮魅藛T的目視判斷結(jié)果依次反映到基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)當(dāng)中，并根據(jù)由此所獲得的恰當(dāng)范圍的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，能夠以更適當(dāng)?shù)木扔行У剡M(jìn)行基于上述自動(dòng)判定單元進(jìn)行的自動(dòng)判斷。而且，通過(guò)僅將由操作人員的目視判斷判斷為良品的基板的圖像依次追加存儲(chǔ)于存儲(chǔ)單元中這樣簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)，就可以將上述基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)的范圍設(shè)定在適當(dāng)?shù)姆秶虼?，與必須進(jìn)行復(fù)雜的程序處理的上述日本專利文獻(xiàn)1所披露的手法不同，能夠降低制造成本、縮短處理時(shí)間。
上述自動(dòng)判斷步驟，較為理想的是，是對(duì)上述基板的攝像圖像和基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行比較從而取得差分并且根據(jù)該差分的圖像判斷上述基板是否良好的步驟。
由此，僅以取得2種的圖像的差分這樣簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)，就可以有效地進(jìn)行基板是否良好的判斷。
此外，上述自動(dòng)判斷步驟，較為理想的是，是對(duì)將上述基板的攝像圖像分割成多個(gè)區(qū)域而得到的各個(gè)區(qū)域的攝像圖像和按同樣的各個(gè)區(qū)域予以存儲(chǔ)的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行比較從而取得差分，并且根據(jù)由此抽出的各個(gè)區(qū)域的差分圖像判斷上述基板是否良好的步驟。
這樣，若將基板的攝像圖像和基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)分別分割成多個(gè)區(qū)域，并按各個(gè)區(qū)域抽出差分圖像，來(lái)判斷基板是否良好，就能夠以與檢查對(duì)象物的大小相對(duì)應(yīng)的恰當(dāng)?shù)木扰袛嗷迨欠窳己谩?br> 另外，較為理想的是，在上述目視判斷步驟中，由上述基板的攝像圖像和基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)的比較而得到的差分圖像顯示于顯示單元上，顯示于該顯示單元上的差分圖像，是對(duì)應(yīng)于差分的特性著色成不同顏色的差分圖像。
由此，能夠有效地提高目視判斷時(shí)的視覺辨認(rèn)度，提高操作人員的目視判斷的效率。
另外，本發(fā)明的基板的檢查裝置，是對(duì)基板進(jìn)行外觀檢查的基板的檢查裝置，其特征在于，包括攝像單元，拍攝上述基板；存儲(chǔ)單元，存儲(chǔ)作為良品基板的基準(zhǔn)的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)；自動(dòng)判斷單元，將上述攝像單元所拍攝的基板的攝像圖像與預(yù)先存儲(chǔ)于上述存儲(chǔ)單元的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，從而判斷上述基板是否良好；控制單元，在由上述自動(dòng)判斷單元判斷為不良品的基板由操作人員的目視判斷判斷為良品時(shí)，將該判斷為良品的基板的攝像圖像，作為上述基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，追加存儲(chǔ)于上述存儲(chǔ)單元。
采用本發(fā)明的基板檢查裝置，能夠以簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)，有效地對(duì)基板進(jìn)行外觀檢查。
本發(fā)明的檢查裝置中，較為理想的是，還包括，顯示單元，在上述自動(dòng)判斷單元將基板判斷為不良品時(shí)，顯示該基板的圖像；輸入單元，用于操作人員輸入其根據(jù)顯示于上述顯示單元的圖像目視判斷上述基板是否良好的判斷結(jié)果；其中，上述控制單元，在由上述輸入單元輸入的判斷結(jié)果為良品時(shí)，將該判斷為良品的基板的攝像圖像，作為上述基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，追加存儲(chǔ)于上述存儲(chǔ)單元。
采用該結(jié)構(gòu)，能夠在同一裝置中進(jìn)行對(duì)基板的自動(dòng)判斷和目視判斷，因而能夠以簡(jiǎn)單且緊湊的結(jié)構(gòu)，進(jìn)行印刷基板的外觀檢查。
此外，本發(fā)明的檢查裝置中，較為理想的是，還包括，使基板在進(jìn)行基板的裝卸的原位置和由上述攝像單元對(duì)基板進(jìn)行拍攝的檢查位置之間移動(dòng)的基板保持機(jī)構(gòu)，該基板保持組件和上述各單元組裝為一體，能夠被搬運(yùn)。
這樣，在設(shè)置有使基板在原位置和檢查位置之間進(jìn)行移動(dòng)的基板保持機(jī)構(gòu)情況下，只需將基板設(shè)置在原位置上，之后的一連串的動(dòng)作，即基板移動(dòng)到檢查位置或者基板拍攝之后返回到原位置等動(dòng)作將會(huì)自動(dòng)進(jìn)行，因此，能夠有效地提高檢查裝置的使用便利性。而且，上述基板保持機(jī)構(gòu)、上述各種單元等被組裝為一體從而能夠被搬運(yùn)，因此，能夠節(jié)省裝置所占空間，尤其是可以無(wú)需考慮場(chǎng)所地在各種場(chǎng)所使用檢查裝置。
另外，本發(fā)明的基板檢查系統(tǒng)，具備多臺(tái)上述的基板的檢查裝置，并且還具備通用于上述多臺(tái)檢查裝置的目視判斷機(jī)，其中，上述目視判斷機(jī)，包括，將由上述多臺(tái)檢查裝置分別判斷為不良品的基板的圖像集中顯示的顯示單元，以及用于操作人員輸入其根據(jù)顯示于上述顯示單元的圖像進(jìn)行基板的目視判斷的判斷結(jié)果的輸入單元，上述檢查裝置，讀取上述目視判斷機(jī)中的判斷結(jié)果，進(jìn)行對(duì)應(yīng)于該結(jié)果的規(guī)定的運(yùn)作。
采用本發(fā)明，由于將分別在多個(gè)檢查裝置中判斷為不良品的基板的圖像，集中顯示在通用的目視判斷機(jī)的顯示單元上，因此，不管在哪個(gè)檢查裝置中產(chǎn)生不良基板，操作人員都始終能夠目視相同的目視判斷機(jī)的顯示單元來(lái)目視判斷基板，在發(fā)生不良基板時(shí)無(wú)須一一地移動(dòng)到與該基板對(duì)應(yīng)的檢查裝置來(lái)進(jìn)行目視判斷。其結(jié)果，能夠同時(shí)對(duì)多個(gè)基板進(jìn)行檢查，而且能夠?qū)崿F(xiàn)操作性更優(yōu)越的基板檢查系統(tǒng)。
上述目視判斷機(jī)，較為理想的是，設(shè)置于上述多臺(tái)檢查裝置的其中之一。
由此，能夠節(jié)省系統(tǒng)所占空間，有效地進(jìn)行基板的檢查。
本發(fā)明的基板檢查系統(tǒng)中，較為理想的是，上述存儲(chǔ)單元，通用于上述多臺(tái)檢查裝置，通用于各檢查裝置的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)集中存儲(chǔ)于該存儲(chǔ)單元。
由此，可以根據(jù)通用的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)判斷各個(gè)檢查裝置中所檢查的基板是否良好，因此，能夠避免每個(gè)檢查裝置的判斷基準(zhǔn)出現(xiàn)參差，而且能夠有效地進(jìn)行基板的檢查。
此外，本發(fā)明的基板的檢查裝置中，較為理想的是，上述顯示單元，將上述目視判斷中可供參照的參照?qǐng)D像與上述基板的圖像一同顯示。
采用該結(jié)構(gòu)，能夠使操作人員的目視判斷的精度更加穩(wěn)定。
另外，本發(fā)明的圖像顯示裝置，包括攝像單元，拍攝基板；存儲(chǔ)單元，存儲(chǔ)作為用于判斷上述基板的狀態(tài)是否良好的基準(zhǔn)的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)；圖像處理單元，對(duì)上述攝像單元所拍攝的基板的攝像圖像的圖像數(shù)據(jù)和存儲(chǔ)于上述存儲(chǔ)單元的上述基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行比較從而取得差分，制作基于該差分的差分圖像；顯示單元，同時(shí)顯示上述差分圖像以及在上述是否良好的判斷中可供參照的參照?qǐng)D像。
采用該結(jié)構(gòu)，圖像處理單元，根據(jù)攝像步驟中所獲得的基板的攝像圖像的圖像數(shù)據(jù)和存儲(chǔ)于存儲(chǔ)單元的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)之間的差分制作差分圖像，顯示單元，同時(shí)顯示差分圖像和參照?qǐng)D像，因此，能夠明確基板的攝像圖像與基準(zhǔn)圖像的差異，并且能夠參照參照?qǐng)D像進(jìn)行判斷。因此，能夠使作業(yè)人員的是否良好的判斷的精度保持穩(wěn)定，并且能夠提高檢查效率。
作為本發(fā)明的實(shí)施方式，較為理想的是，采用下述結(jié)構(gòu)。
圖像處理單元，可以根據(jù)基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)制作基準(zhǔn)圖像，顯示單元，可以將基準(zhǔn)圖像作為參照?qǐng)D像予以顯示。采用該結(jié)構(gòu)，能夠進(jìn)行差分圖像和基準(zhǔn)圖像的對(duì)比，相比僅用差分圖像進(jìn)行判斷，更容易進(jìn)行是否良好的判斷。
顯示單元，可以將基板的攝像圖像作為參照?qǐng)D像予以顯示。采用該結(jié)構(gòu)，除了差分圖像之外，還可以參考基板的攝像圖像，因此，相比僅用差分圖像進(jìn)行判斷，更容易進(jìn)行確切的是否良好的判斷。
存儲(chǔ)單元，能夠存儲(chǔ)表示基板的正常狀態(tài)的標(biāo)準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，圖像處理單元，可以根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)制作標(biāo)準(zhǔn)圖像，顯示單元，將標(biāo)準(zhǔn)圖像作為參照?qǐng)D像予以顯示。采用該結(jié)構(gòu)，能夠進(jìn)行差分圖像和標(biāo)準(zhǔn)圖像的對(duì)比，相比僅用差分圖像進(jìn)行判斷，更容易進(jìn)行是否良好的判斷。
存儲(chǔ)單元，能夠存儲(chǔ)多種基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，圖像處理單元，可以根據(jù)選自多種基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)中的一個(gè)基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，制作上述差分圖像。采用該結(jié)構(gòu)，能夠選擇適于是否良好的判斷的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)。而且，能夠使如此制作的差分圖像和多個(gè)基準(zhǔn)圖像同時(shí)顯示于顯示單元。
存儲(chǔ)單元，能夠存儲(chǔ)表示基板的正常狀態(tài)的標(biāo)準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，圖像處理單元，可以將標(biāo)準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)作為基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)制作差分圖像，顯示單元，可以顯示該差分圖像。采用該結(jié)構(gòu)，能夠明確基板的攝像圖像和標(biāo)準(zhǔn)圖像之間的差異。
基板檢查裝置，還可以包括，自動(dòng)判斷單元，對(duì)基板的攝像圖像的圖像數(shù)據(jù)和基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，并檢查其一致程度，從而判斷設(shè)置在基板上的被檢查對(duì)象物的狀態(tài)是否良好；上述圖像顯示裝置；其中，圖像處理單元，制作由自動(dòng)判斷單元判斷為不良的被檢查對(duì)象物的差分圖像。采用該檢查裝置，無(wú)須對(duì)所有被檢查對(duì)象物進(jìn)行目視判斷，可以僅對(duì)由自動(dòng)判斷單元判斷為不良的被檢查對(duì)象物進(jìn)行目視判斷。因此，相比全部進(jìn)行目視判斷，能夠大幅提高檢察效率。
本發(fā)明的糊狀焊料印刷機(jī)，可以包括印刷裝置，將糊狀焊料印刷在基板上的規(guī)定位置；上述的圖像顯示裝置，顯示用于目視判斷由印刷裝置印刷在基板上的糊狀焊料的印刷狀態(tài)的作為輔助的圖像?；蛘撸梢园ㄓ∷⒀b置，將糊狀焊料印刷在基板上的規(guī)定位置；上述檢查裝置，檢查由印刷裝置印刷在基板上的糊狀焊料的印刷狀態(tài)。采用該糊狀焊料印刷機(jī)，可以在將糊狀焊料印刷在基板上之后，對(duì)糊狀焊料的印刷狀態(tài)進(jìn)行檢查，從而進(jìn)行是否良好的判斷。
權(quán)利要求
1.一種基板的外觀檢查方法，其特征在于，包括，
攝像步驟，通過(guò)攝像單元拍攝所述基板；
自動(dòng)判斷步驟，使自動(dòng)判斷單元進(jìn)行，將所述攝像步驟中所獲得的基板的攝像圖像與作為良品基板的基準(zhǔn)預(yù)先存儲(chǔ)于存儲(chǔ)單元的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行比較從而判斷基板是否良好的處理；
目視判斷步驟，在所述自動(dòng)判斷步驟中基板判斷為不良品時(shí)，將該基板的圖像顯示于顯示單元，使操作人員根據(jù)顯示于所述顯示單元的圖像目視判斷所述基板是否良好；其中，
在所述目視判斷步驟中基板判斷為良品時(shí)，將該判斷為良品的基板的攝像圖像，作為所述基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，追加存儲(chǔ)于所述存儲(chǔ)單元。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板的外觀檢查方法，其特征在于
所述自動(dòng)判斷步驟，是對(duì)所述基板的攝像圖像和基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行比較從而取得差分并且根據(jù)該差分的圖像判斷所述基板是否良好的步驟。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板的外觀檢查方法，其特征在于
所述自動(dòng)判斷步驟，是對(duì)將所述基板的攝像圖像分割成多個(gè)區(qū)域而得到的各個(gè)區(qū)域的攝像圖像和按同樣的各個(gè)區(qū)域予以存儲(chǔ)的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行比較從而取得差分，并且根據(jù)由此抽出的各個(gè)區(qū)域的差分圖像判斷所述基板是否良好的步驟。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的基板的外觀檢查方法，其特征在于
在所述目視判斷步驟中，由所述基板的攝像圖像和基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)的比較而得到的差分圖像顯示于顯示單元上，
顯示于該顯示單元的差分圖像，是對(duì)應(yīng)于差分的特性著色成不同顏色的差分圖像。
5.一種基板的檢查裝置，進(jìn)行基板的外觀檢查，其特征在于，包括
攝像單元，拍攝所述基板；
存儲(chǔ)單元，存儲(chǔ)作為良品基板的基準(zhǔn)的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)；
自動(dòng)判斷單元，將所述攝像單元所拍攝的基板的攝像圖像與預(yù)先存儲(chǔ)于所述存儲(chǔ)單元的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，從而判斷所述基板是否良好；
控制單元，在由所述自動(dòng)判斷單元判斷為不良品的基板由操作人員的目視判斷判斷為良品時(shí)，將該判斷為良品的基板的攝像圖像，作為所述基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，追加存儲(chǔ)于所述存儲(chǔ)單元。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板的檢查裝置，其特征在于，還包括，
顯示單元，在所述自動(dòng)判斷單元將基板判斷為不良品時(shí)，顯示該基板的圖像；
輸入單元，用于操作人員輸入其根據(jù)顯示于所述顯示單元的圖像目視判斷所述基板是否良好的判斷結(jié)果；其中，
所述控制單元，在由所述輸入單元輸入的判斷結(jié)果為良品時(shí)，將該判斷為良品的基板的攝像圖像，作為所述基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，追加存儲(chǔ)于所述存儲(chǔ)單元。
7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的基板的檢查裝置，其特征在于，還包括
使基板在進(jìn)行基板的裝卸的原位置和由所述攝像單元對(duì)基板進(jìn)行拍攝的檢查位置之間移動(dòng)的基板保持機(jī)構(gòu)，
該基板保持組件和所述各單元組裝為一體，能夠被搬運(yùn)。
8.一種基板的檢查系統(tǒng)，其特征在于
具備多臺(tái)權(quán)利要求5所述的基板的檢查裝置，并且還具備通用于所述多臺(tái)檢查裝置的目視判斷機(jī)，其中，
所述目視判斷機(jī)，包括，將由所述多臺(tái)檢查裝置分別判斷為不良品的基板的圖像集中顯示的顯示單元，以及用于操作人員輸入其根據(jù)顯示于所述顯示單元的圖像進(jìn)行基板的目視判斷的判斷結(jié)果的輸入單元，
所述檢查裝置，讀取所述目視判斷機(jī)的判斷結(jié)果，進(jìn)行對(duì)應(yīng)于該結(jié)果的規(guī)定的運(yùn)作。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板的檢查系統(tǒng)，其特征在于
所述目視判斷機(jī)，設(shè)置于所述多臺(tái)檢查裝置的其中之一。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的基板的檢查系統(tǒng)，其特征在于
所述存儲(chǔ)單元，通用于所述多臺(tái)檢查裝置，通用于各檢查裝置的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)集中存儲(chǔ)于該存儲(chǔ)單元。
11.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板的檢查裝置，其特征在于
所述顯示單元，將所述目視判斷中可供參照的參照?qǐng)D像與所述基板的圖像一同顯示。
12.一種圖像顯示裝置，其特征在于，包括
攝像單元，拍攝基板；
存儲(chǔ)單元，存儲(chǔ)作為用于判斷所述基板的狀態(tài)是否良好的基準(zhǔn)的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)；
圖像處理單元，對(duì)所述攝像單元所拍攝的基板的攝像圖像的圖像數(shù)據(jù)和存儲(chǔ)于所述存儲(chǔ)單元的所述基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行比較從而取得差分，制作基于該差分的差分圖像；
顯示單元，同時(shí)顯示所述差分圖像以及在所述是否良好的判斷中可供參照的參照?qǐng)D像。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的圖像顯示裝置，其特征在于
所述圖像處理單元，根據(jù)所述基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)制作基準(zhǔn)圖像，所述顯示單元，將所述基準(zhǔn)圖像作為所述參照?qǐng)D像予以顯示。
14.根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的圖像顯示裝置，其特征在于
所述顯示單元，將所述基板的攝像圖像作為所述參照?qǐng)D像予以顯示。
15.根據(jù)權(quán)利要求12至14中任意一項(xiàng)所述的圖像顯示裝置，其特征在于
所述存儲(chǔ)單元，能夠存儲(chǔ)表示所述基板的正常狀態(tài)的標(biāo)準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，所述圖像處理單元，根據(jù)所述標(biāo)準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)制作標(biāo)準(zhǔn)圖像，所述顯示單元，將所述標(biāo)準(zhǔn)圖像作為參照?qǐng)D像予以顯示。
16.根據(jù)權(quán)利要求12至15中任意一項(xiàng)所述的圖像顯示裝置，其特征在于
所述存儲(chǔ)單元，能夠存儲(chǔ)多種所述基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，所述圖像處理單元，根據(jù)選自所述多種基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)中的一個(gè)基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，制作所述差分圖像。
17.根據(jù)權(quán)利要求12至16中任意一項(xiàng)所述的圖像顯示裝置，其特征在于
所述存儲(chǔ)單元，能夠存儲(chǔ)表示所述基板的正常狀態(tài)的標(biāo)準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，所述圖像處理單元，將所述標(biāo)準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)作為所述基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)制作差分圖像。
18.一種基板的檢查裝置，其特征在于，包括，
自動(dòng)判斷單元，對(duì)所述基板的攝像圖像的圖像數(shù)據(jù)和所述基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，檢查其一致程度，從而判斷設(shè)置在所述基板上的被檢查對(duì)象物的狀態(tài)是否良好；
權(quán)利要求12至17中任意一項(xiàng)所述的圖像顯示裝置；其中，
所述圖像處理單元，制作由所述自動(dòng)判斷單元判斷為不良的被檢查對(duì)象物的所述差分圖像。
19.一種糊狀焊料印刷機(jī)，其特征在于，包括
印刷裝置，將糊狀焊料印刷在基板上的規(guī)定位置；
權(quán)利要求12至17中任意一項(xiàng)所述的圖像顯示裝置，顯示用于目視判斷由所述印刷裝置印刷在所述基板上的糊狀焊料的印刷狀態(tài)的作為輔助的圖像。
20.一種糊狀焊料印刷機(jī)，其特征在于，包括
印刷裝置，將糊狀焊料印刷在基板上的規(guī)定位置；
權(quán)利要求18所述的檢查裝置，檢查由所述印刷裝置印刷在所述基板上的糊狀焊料的印刷狀態(tài)。
21.一種圖像顯示方法，顯示用于操作人員目視判斷基板狀態(tài)是否良好的作為輔助的圖像，其特征在于，包括
攝像步驟，通過(guò)攝像單元拍攝所述基板；
差分圖像制作步驟，對(duì)作為用于判斷所述基板的狀態(tài)是否良好的基準(zhǔn)預(yù)先存儲(chǔ)于存儲(chǔ)單元的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)和所述攝像步驟中所獲得的所述基板的攝像圖像的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行比較從而取得差分，并且通過(guò)圖像處理單元制作基于該差分的差分圖像；
圖像顯示步驟，使所述差分圖像以及在所述是否良好的判斷中可供參照的參照?qǐng)D像同時(shí)顯示于顯示單元。
全文摘要
本發(fā)明的基板的外觀檢查方法以及裝置中，使控制組件(60)進(jìn)行，將由照相機(jī)(52)所拍攝的基板(P)的攝像圖像與存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部(61)的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行比較從而判斷基板是否良好的處理，在此，當(dāng)基板(P)判斷為不良品時(shí)，在液晶監(jiān)視器(4)上顯示基板(P)的圖像以供操作人員對(duì)基板(P)進(jìn)行目視判斷，當(dāng)該目視判斷中基板(P)判斷為良品時(shí)，將該判斷為良品的基板(P)的攝像圖像，作為上述基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)，追加存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部(61)。采用本發(fā)明，能夠以簡(jiǎn)單的構(gòu)成有效地進(jìn)行基板的外觀檢查。
文檔編號(hào)G01N21/88GK101512325SQ20078003238
公開日2009年8月19日 申請(qǐng)日期2007年8月28日 優(yōu)先權(quán)日2006年8月28日
發(fā)明者角田佳久 申請(qǐng)人:愛普斯有限公司