專利名稱：用于感應(yīng)電子束的傳感器和系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于感應(yīng)電子束的傳感器和系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在食品包裝行業(yè)中，由包裝材料的巻材或胚材形成的包裝件已 經(jīng)使用了很長時間，該包裝材料包括不同紙或紙板層、液體阻擋層 (例如聚合物)和氣體阻擋層(例如鋁薄膜)。為了延長所包裝產(chǎn) 品的保質(zhì)期，之前公知的是在成形和填充操作之前消毒巻材，以及
在填充操作之前消毒部分成形的包裝件(待填充包裝件，RTF包裝 件)。取決于需要多長的保質(zhì)期以及分發(fā)和存儲是在冷藏還是在室 溫下進行，可以選4奪不同程度的消毒。 一種消毒巻材的方式是使用 例如過氧化氫浴的4b學消毒。類似i也，祠:填充包裝件可由過氧化氫 (優(yōu)選地為氣態(tài))。
另一種消毒包裝材料的方式是利用從電子束發(fā)射裝置(例如電 子束發(fā)生器)發(fā)射出的電子照射。這種包裝材料巻材的消毒在例如 國際專利申i青WO2004/110868和WO2004/110869中/>開。類4以的4寺 填充包裝件照射在國際專利申請W02005/002973中公開。特此通過 引用結(jié)合上面的申請。
為了提供電子束強度的在線控制，以及為了簡直均勻性變化， 電子傳感器用于劑量照射測量。分析來自該傳感器的信號并且作為反饋控制信號反饋入電子束控制系統(tǒng)。在包裝材料消毒中，這種傳 感器反饋可用來確保足夠的消毒程度。
一種已有的用來測量電子束強度的傳感器(基于直接測量方 法)使用設(shè)置在真空室中的導體。該真空室用來提供與周圍環(huán)境的 隔離。因為基于真空的傳感器可以相對大，所以它們位于直接電子 束路徑的外面以避免投影在對象物體上。投影會例如妨礙包裝材料 正確的照射(以及由此妨礙正確的消毒)。所以，這些傳感器依賴 于該束外圍的次級信息或來自次級照射的信息而^是供測量。
在運行中，來自該電子束具有足夠能量的電子將穿過窗，如該
真空室的4太(Ti)窗并且4皮該導體吸收。所p及收的電子在該導體內(nèi) 形成電流。這個電流的強度是穿過該真空室的電子數(shù)目的測量值。 這個電流提供了在該傳感器位置的該電子束強度的測量值。
在公開的美國專利申請No.2004/0119024中描述了 一種已知的 電子束傳感器，其具有帶有保護涂層以及表現(xiàn)為在該室內(nèi)信號線的 電極的真空室。這些室壁用來維持該電極周圍的真空容積。該真空 室具有與該電才及準確對準的窗以感應(yīng)該電子束強度。該傳感器配置
為用于i殳置在相對于正在照射的移動物品對著該電子束發(fā)生器的 4立置用于感應(yīng)次級照射。
類似的電子束傳感器在國際專利申請WO2004/061890中描述。 在這個傳感器的一個實施例中，去掉該真空室以及在絕》彖層或膜內(nèi) 提供該電極。提供該絕緣層以避免受到由該電子束產(chǎn)生的靜電場和 等離子電子的影響，以免大大影響該電^l輸出。
美國專利No.6,657，212描述一種電子束照射處理i殳備，其中在 設(shè)置電子束管窗外面的電流檢測單元的導體上提供絕緣膜，如不銹
7鋼導體。電流測量單元包括電流計，其測量所檢測到的電流。這個 專利描述了陶瓷涂覆的導體的優(yōu)點。
另一種傳感器在由本受讓人遞交的美國專利申請
No.ll/258，212中描述。該傳感器包括導線和絕纟彖防護罩，該防護罩 防護至少一部分導線免于暴露于等離子。該等離子防護罩還包括外 部導電層，其連接到接地電勢用于吸收等離子。該檢測器小并且可 以在該電子束前面設(shè)置在電子逸出窗外面。通過增加多個檢測器并 它們跨越該電子逸出窗分布，得到多個測量點，產(chǎn)生該電子束的劑 量映射。
在也是由本受讓人遞交的美國專利申請No. 11/258,215中，描述 了一種用于感應(yīng)電子束的多層檢測器。該檢測器包括導線，其通過 絕緣材料與周圍絕緣。導電材料層沉積在絕^^材料的頂部，該導電 材料連接到接地電勢。只有來自該電子束的電子能夠穿透該外層而 謬皮該導線吸收。該外部導電層吸收等離子。該才企測器小并且可以在 該電子束前面設(shè)置在該電子逸出窗的外面。通過增加多個檢測器并 它們跨越該電子逸出窗分布，得到多個測量點，產(chǎn)生該電子束的劑 量映射。
在由本受讓人遞交的瑞典專利申i青No.0502384-l中，描述了一 種進一步的傳感器。該傳感器包括導體和絕纟彖外殼。該外殼連接到 該電子束發(fā)生器的電子逸出窗并且與所述窗形成封閉的室。該導體 4立于該室內(nèi)并由jt匕受到防護而不受等離子影響。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個目的是提供用用于感應(yīng)電子束的傳感器，這個傳 感器并不要求額外的空間以及其可以是該電子逸出窗的集成部分。這個目的通過傳感器實現(xiàn)，其包4舌位于該路徑內(nèi)的至少一個導 電層的至少一個區(qū)域，并且連接到電流檢測器，該至少一個導電層 的每個所述區(qū)域通過防護罩基本上彼此、與周圍環(huán)境以及與該逸出 窗隔開，所述防護罩形成在該逸出窗上，以及至少所述防護罩的與 每個所述區(qū)域接觸的部分由絕緣材料制成。這樣，實現(xiàn)一傳感器， 其是該逸出窗的集成部分以及按需要可以忽略不計的額外空間。電 子可以穿過薄的傳感器結(jié)構(gòu)，并且電子能量的一部分(大約幾個百 分點的范圍)被傳感器的導電材料吸收。所吸收的能量導致電流升 高，其提供該傳感器上的該電子束強度的測量值。
該傳感器進一 步由所附獨立權(quán)利要求2-13來限定。
本發(fā)明還涉及用于感應(yīng)電子束的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包4舌上面描述的 傳感器。所述系統(tǒng)進一步包括電子束發(fā)生器，適于沿對象區(qū)域中朝 向?qū)ο蟮穆窂疆a(chǎn)生電子束，該電子束通過逸出窗從該發(fā)生器逸出。 該傳感器形成在所述逸出窗上以檢測和測量i亥電子束強度。
該系統(tǒng)進一步包括支撐件，用于在該對象區(qū)域內(nèi)制成該對象。 該系統(tǒng)進一步由所附獨立權(quán)利要求15-19定義。


下面，關(guān)于所附的附圖，更加詳細地描述本發(fā)明的當前優(yōu)選實 施例，其中相似的參考標號用來標出相似的要素，其中
圖1示意地示出利用電子束照射巻材形式的對象的示范性系
統(tǒng)，
圖2示意地示出按照本發(fā)明的傳感器第一實施例的剖面，圖3示意地示出圖2的傳感器的俯3見圖，其中沉積了導電層帶， 而不是外部絕纟彖層。
圖4示意地示出按照本發(fā)明的傳感器的第二實施例的剖面，
圖5示意地示出表示從電子束發(fā)生器的輸出能量和在每個導電 層中吸收的能量的圖表，
圖6示意地示出類似于圖1但是用于照射待填充包裝件形態(tài)的 只于象的示范性系統(tǒng)，以及
圖7示意地示出圖2中傳感器的替代物和圖4中傳感器的替代物 的吾卩分剖面。
應(yīng)當注意到在這些圖中示出的層的厚度是夸大的，以及這些圖 并不是按照尺寸繪制的。
具體實施例方式
圖1示出 一種示范性的系統(tǒng)2 ，用于在沿 一路徑發(fā)射的電子束6 內(nèi)照射對象區(qū)域4。該示范性的系統(tǒng)2包括發(fā)射裝置，如電子束發(fā)生 器8,用于沿一^各徑發(fā)射電子束6。該系統(tǒng)2還包4舌用于才企測電子束6 的裝置，如傳感器IO。因此，該系統(tǒng)2包括電子束發(fā)生器8和傳感器 IO兩者。^是供該傳感器10以感應(yīng)由該電子束發(fā)生器8沿一路徑產(chǎn)生 的該電子束6的強度，該電子束照射該對象區(qū)域4。該電子束發(fā)生器 8包4舌真空室12。形成并且i殳置電子束傳感器10以能夠才企測和測量 逸出該真空室12的該電子束強度6。
提供支撐件14以在該對象區(qū)域4內(nèi)支撐對象16。在圖l示出的實 施例中，該對象是包裝材料巻材16以及用于該對象的支撐件14可以 是例如巻材材料傳送輥子，或任何其他合適的包裝機器的設(shè)備。進
10而，該支撐件14可用來將該對象16在該對象區(qū)i或4中保持在所需要 的相對該傳感器10和該發(fā)生器8的測量位置。
該電子束發(fā)生器8，如圖1所示，包^^高壓電源18,適于為所需 要的應(yīng)用提供足夠的電壓以驅(qū)動電子束發(fā)生器8 。該電子束發(fā)生器8 還包:l舌燈絲電源20，其爿夸來自該高壓電源18的電力轉(zhuǎn)變?yōu)檫m于該發(fā) 生器8的燈絲22的輸入電壓。另外，該高壓電源18包括控制網(wǎng)格21 的網(wǎng)格控制19,該網(wǎng)格用來將該電子束6擴散為更均勻的束以及使 該電子束朝向該對象區(qū)域4集中。
該燈絲22可以位于該真空室12中。在示范性的實施例中，該真 空室12可以氣密密去于。在運4亍中，來自該燈絲22的電子e—在朝向該 對象區(qū)i或4的方向沿電子束路徑6發(fā)射。
進一步，該電子束發(fā)生器8提供有電子逸出窗24，通過該窗電 子逸出該真空室。該窗24可由金屬箔25制成，4。圖2所示，例如4太， 以及厚度可以在4-12(Am的量級。由鋁或銅形成的支撐網(wǎng)27從該電子 束發(fā)生器8的內(nèi)部制成該箔25。
該傳感器10形成在該逸出窗24上并由jt匕與部分所述窗成為一 體。其包括位于該電子束路徑6內(nèi)的至少 一個導電層28的至少 一個 區(qū)域26。在第一當前優(yōu)選實施例中，該傳感器10包括一個導電層28。
所述導電層28又多個導電材料區(qū)域26構(gòu)成。每個區(qū)域26是形成 為跨越該逸出窗24設(shè)置的帶。這在圖3示出。為了將這些帶26彼此 隔開，在它們之間由間隙30。在這個示例中，這些帶26的寬度的范 圍是10-30mm，以及這些帶i殳置為4皮此隔開大約lmm。進而，每個 帶26具有基本上相同的面積。為將該導電層28中的這些帶26彼此、與周圍環(huán)境以及與該電子 逸出窗24的箔隔開，提供絕緣材料的防護罩32。該防護罩32的作用 是保護這些帶26不受該逸出窗24附近的周圍環(huán)境中包含的等離子 的影響，以及確保這些帶26不與其他任何導電材料直接接觸，例如 該逸出窗24的4太箔和別的帶26。
根據(jù)這個第 一 實施例的該防護罩32包括至少第 一和第二絕緣 層32a, 32b。該第一絕^彖層32a基本上覆蓋該逸出窗24的整個箔。 在該絕緣層32a的頂部，形成該導電層28的這些帶26。在這些帶26 之上和在仍部分暴露的第一絕緣層32a之上，形成該第二絕緣層 32b。由此，該導電層28的這些帶26由絕緣材料密封。
該傳感器10形成在該逸出窗24的箔25上。這意p木著該傳感器lO 位于該真空室12外面并且朝向圍繞該電子束發(fā)生器8的環(huán)境。
這些層，包括該絕緣層32a, 32b和該導電層28,都是非常薄的 并且可以4吏用沉積:技術(shù)形成。例如，可^f吏用等離子氣相沉積或化學 氣相沉積技術(shù)。當然其他形成材料薄層的技術(shù)也是可以的。
優(yōu)選地，同樣的技術(shù)用于該傳感器10中的所有層。該導電層28 的這些區(qū)域，即這些帶26，可以通過在該第一絕緣層32a提供掩模 以覆蓋不需要有任何導電區(qū)域26的部分來進行沉積。
這些層所選耳又的厚.度可以—是任^可適合的尺寸。例如，可^f吏用薄 層。在示范性的實施例中，這些層的范圍可以在大約0.1-l微米(Kim)， 或4安照需要更少或更多。優(yōu)選地，對于該傳感器10內(nèi)的所有層該厚 度相同或者基本相同。
這些絕緣層32a， 32b可以由能夠承受幾百攝氏度量級溫度的絕 緣材料制成(高達大約400攝氏度)。優(yōu)選地，該絕緣材料是氧化物。
12一種可以〗吏用的氧化物是氧化鋁(AI203)。當然也可以^吏用別的絕 緣材料，例如不同類型的陶瓷材料。術(shù)語"絕緣"是指在這些絕緣 層中的材料是電絕緣，即不導電。
優(yōu)選地，該導電層28由金屬構(gòu)成。 一種可以使用的金屬是鋁。 當然也可以^L用別的導電材料，例如金剛石、類金剛石,灰(DLC) 和4參雜材并十。
為了能夠測量該電子束強度，每個帶26連接到電流檢測器34。 這些帶26和該電流才企測器34之間的連接件(未示)優(yōu)選地位于該窗 246勺夕卜才匡。
來自該電子束6的電子將穿透該逸出窗24,以及與在引言部分 4是到的現(xiàn)有的傳感器那樣不同，還穿透該薄的傳感器結(jié)構(gòu)。因此， 這些電子將不會全部被該導電材料吸收，而僅這些電子的能量的一 部分，在大約幾個百分比的范圍，；故該傳感器的導電材沖+吸收。該 吸收的能量導致該帶26中電流增加，以及來自每個導電帶26的信號 分別由電流檢測器34檢測和處理，并且提供該帶上的電子束強度的 測量值。該電流4企測器34可由放大器和結(jié)合電阻的電壓計，或安培 計，或4壬<可其他合適的裝置組成。
在這方面，應(yīng)當注意當，與所討論的現(xiàn)有的傳感器相比，更大 部分的逸出窗24被該傳感器10覆蓋，但是每單位面積的檢測信號小 4艮歲。
該電流檢測器34的輸出與預先設(shè)定值的對比或提供到控制器 36,其轉(zhuǎn)而可以作為響應(yīng)該傳感器10l俞出調(diào)節(jié)該電子束強度的裝 置。在示范性的實施例中，可以例如，小于100keV的能量發(fā)射該電 子束，例力。60到80keV。圖4示出按照第二當前優(yōu)選實施例的傳感器10'。
該傳感器10'可以是夾層結(jié)構(gòu)類型并且包括第一和第二導電層 28'、 38,每個包^"至少一個用于感應(yīng)電子束強度的區(qū)域26'。在這 個例子中，該第一和第二層28'、 38每個包括多個帶形式的區(qū)域26', 類似與先前描述的第一實施例中的那些帶26。該第一和第二層28'、 38i殳置在;f皮此之上，4旦是其當然需要隔開以防它們免受4皮此、該逸 出窗箔25'和周圍環(huán)境影響。為了密封該導電層28'、 38，該防護罩 32'包括第一、第二和第三絕緣層32a'、 32b'、 32c。在這個例子中， 該第一層32a'基本上覆蓋整個該逸出窗24'的箔25'并且攜帶(carry ) 該第一導電層28',即該第一導電層28'的這些帶26'沉積在第一絕緣 層32a'上。在仍部分暴露的第一絕纟彖層32a'上以及在該第一導電層 28'的這些帶26'上，沉積該第二絕緣層32b'。由此，該第一導電層28' 的這些帶26'由絕緣材料密封。該第二絕緣層32b'攜帶該第二導電層 38，即導電材料的這些區(qū)域(在這例子中是帶26')沉積在該第二絕 緣層32b'上。該仍部分暴露的第二絕緣層32b'上和在該第二導電層 38的這些帶26'上，沉積該第三絕緣層32c。由此，該第二導電層38 的這些帶26'由絕緣材料密封。
該傳感器10的進一步當前優(yōu)選實施例可包括任何H量的額外 的導電材料層。在那種情況中，該導電層依次夾著絕緣層。類似于 該第一和第二實施例，這個夾層結(jié)構(gòu)開始于形成在該逸出窗上的第
一絕緣層和覆蓋至少最后的導電層以保護其免受周圍環(huán)境影響的 最后的絕緣層。
具有多層夾層結(jié)構(gòu)的導電材料的傳感器可用來驗證加速電壓， 即該電子束發(fā)生器的能量輸出。這種信息可構(gòu)成一個參數(shù)，其用來 指導該發(fā)生器的校正操作。此外，能量輸出和電子束強度兩者測量 值的結(jié)合可用來進一步確保該包裝材料利用充分的消毒劑量處理。在具有例如三個導電層的傳感器中，該第一導電層，最接近該 燈絲21，將比第二層吸收更多的能量，第二層相應(yīng)地比第三層吸收
更多能量。圖5中，該縱軸表示過該層吸收的能量，AE。該橫軸表 示該傳感器結(jié)構(gòu)的導電層(標示為l", 2nd和yd)。通過對具有例如 80keV輸出能量的發(fā)生器繪制每個層中吸收能量的圖，可以形成基 本上定義明確的函^:。出于簡單的緣故，圖5示出基本上直線形式 的函數(shù)。如果對具有例如大約100keV輸出能量的發(fā)生器繪制每個層 中吸收的能量的圖，其同樣可以形成基本上定義明確的函數(shù)，但是 這個函數(shù)不同于前面那個。對具有例如大約60keV輸出能量的發(fā)生 器繪制該能量的圖，可以形成另一個基本上定義明確的函數(shù)。這些 函數(shù)的圖表中的差異可用來檢測該發(fā)生器的能量輸出是否與預期 的輸出對應(yīng)，即，實際輸出是否在某個公差范圍內(nèi)。進而，如果不 能夠形成基本上直線，即如果一個或多個能量AE背離預期，那么可 以 -假定該發(fā)生器沒有正確運4亍。
為了便于測量，這些導電層和絕緣層的厚度優(yōu)選地相同。
正如所提到的該防護罩的一個功能是保護一個或多個導電層 免受等離子和次級電子影響。下面，將描述等離子或次級電子的術(shù) 語或概念。當從圖l燈絲22發(fā)射出的電子e"向該對象區(qū)域4移動，其 將與沿這個路徑的空氣分子碰撞。所發(fā)射的電子可能具有足夠的能 量而離子化演這個路徑的氣體，由此產(chǎn)生包含離子和電子的等離 子。等離子電子是次級電子，或熱電子，與該電子束6的電子相比 具有低能量。這些等離子電子具有隨機的矢量速度并且僅能移動一 段距離，其長度是該束電子平均自由路徑的一小部分。
在周圍的環(huán)境(即該電子束發(fā)生器8的該逸出窗24外面)中由 于存在空氣將可能有等離子。然而，由于等離子沒有足夠的能量穿 過最外面的絕緣層，該絕緣層覆蓋最外面的導電層，并將起到適當 的等離子防護罩的作用。
15另 一個先前提到的該防護罩32、 32'的功能是4吏導電層的這些帶 26, 26 皮此絕^彖，以及在適當時，^f吏導電層28'、 38#1此絕*彖。因 此，就有可從每個帶26, 26'檢測到的單獨的信號，其在一起可給出 提供到待消毒材料16的劑量的清楚的圖或映射。每個帶的信息(例 如，信號幅度，信號差/比，帶位置等等)可用來通過處理產(chǎn)生放射 強度圖線。
類似所描述的傳感器同才羊可以用在部分成形包裝件形式的目 標照射中。部分成形包裝件通常一端開口并且另 一端密封以形成底 部或頂部，并且通常表示待填充包裝件(RTF包裝件)。圖6中，示 意地公開系統(tǒng)2"包括電子束發(fā)生器8",用于照射待填充包裝件16"。 該包裝件16"在其底部40開口 ，并且在另一端提供有頂部42以及打 開和封閉裝置44。在消毒期間，該包裝件16"在支撐件(未示)中 倒轉(zhuǎn);改置(即頂部朝下設(shè)置)。該支撐件可以是傳送帶托架的形式， 其將包裝件16"傳送通過消毒室。該系統(tǒng)包括用來提供在該包裝件 16，，和該電子束發(fā)生器8"之間相對移動(見箭頭)的裝置(未示)， 以將它們帶到一個位置，其中所述發(fā)生器8"至少部分位于該包裝件 16，，中以處理包裝件。該發(fā)生器8"下降進入該包裝件16"，或該包裝 件16"上升圍繞該發(fā)生器8",或每個都朝向^f皮此移動。傳感器IO， 例如圖2中描述的傳感器，形成在該發(fā)生器8"的逸出窗24"上。
盡管本發(fā)明才艮據(jù)當前優(yōu)選實施例描述，4旦是可以理解可以進4亍 各種不同的改變和變化，而不背離如在所附權(quán)利要求中定義的本發(fā) 明的目標和范圍。
在所描述的實施例中，該第一絕緣層32a, 32a'基本上覆蓋整個 逸出窗箔25、 25'，以及上面的絕緣層基本上覆蓋下面的絕緣層。然 而，可以理解，這些絕緣層實踐中并不需要覆蓋超過4皮此和該窗箔 25、 25'為了該傳感器結(jié)構(gòu)中存在的該導電層的每個區(qū)域26， 26'所 必要的部分。圖7示出兩個不同的可選實施例。先前描述的實施例中的這些區(qū)域描述為帶26, 26'。然而，容易 理解這些區(qū)域可具有適于獲得足夠劑量映射的任何形狀，例如環(huán) 形、環(huán)形,殳、橢圓、圓^1、線形、矩形和條紋。
還描述了該傳感器形成在該電子逸出窗外面。應(yīng)當理解可以將 該傳感器形成在該窗里面，即在面向該真空室12的表面上。
最后，所描述的實施例包括絕緣材料防護罩。該防護罩還可包 括更多的保護性質(zhì)的層或部分，用于物理保護有時易碎的導電和絕 全彖層。這種層或部分可"i殳置在該第一絕^彖層和該窗箔之間，并且可 以是任何適于與所述薄中材并牛一起^f吏用的材并牛。還可在最外面的絕 緣層的外部提供額外的保護層以保護不受環(huán)境影響。
1權(quán)利要求
1. 一種傳感器(10，10′)，用于感應(yīng)由電子束發(fā)生器(8，8＂)沿對象區(qū)域(4，4＂)內(nèi)朝向?qū)ο?16，16＂)的路徑產(chǎn)生的電子束(6，6＂)的強度，該電子束(6，6＂)通過逸出窗(24，24＂)逸出該發(fā)生器(8，8＂)，其特征在于該傳感器(10，10′)包括位于該路徑內(nèi)并連接到電流檢測器(34)的至少一個導電層(28，28′)的至少一個區(qū)域(26，26′)，該至少一個導電層(28，28′)的每個所述區(qū)域(26，26′)通過防護罩(32，32′)基本上與彼此、與周圍環(huán)境和與該逸出窗隔開，所述防護罩(32，32′)形成在該逸出窗(24，24′)上并且至少所述防護罩的與每個所述區(qū)域(26，26′)接觸的部分由絕緣材料制成。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器(10)，其特征在于所述防護罩(32)包括至少第一和第二絕緣層(32a， 32b)，所述第一層 (32)覆蓋至少一部分所述逸出窗(24)并且攜帶該至少一個 導電層(28)的所述至少一個區(qū)域(26),以及所述第二絕緣 層(32b)至少覆蓋該導電層(28)的每個區(qū)域(26)，從而該 區(qū)域由絕緣材料密封。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器(10'),其特征在于其包括至少第一和第二導電層(28'、 38),每個包括至少 一個區(qū)域(26')，所述防護罩(32')包括至少第一、第二和第三絕緣層(32a', 32b', 32c)，所述第一絕緣層(32a')覆蓋至少部分所述逸出窗(24') 并且攜帶該第一導電層(28')的至少一個區(qū)域(26'),所述第二絕緣層(32b')至少覆蓋該第一導電層(28')的 每個區(qū)域(26')，從而使該區(qū)域由絕緣材料密封，所述第二絕緣層(32b')攜帶該第二導電層(38)的至少 一個區(qū)i或(26')，以及所述第三絕緣層(32c)至少覆蓋該第二導電層(38)的 每個區(qū)域(26'),從而使該區(qū)域由絕緣材料密封。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的傳感器(10')，其特征在于其包括多個 導電層，以及該導電層依次夾在絕緣層之間，以及第一絕緣層(32a')形成在該逸出窗(24')上，以及最后的絕鄉(xiāng)彖層覆蓋至 少最后的導電層以保護其免受周圍環(huán)境的影響。
5. 根據(jù)前述任一權(quán)利要求所述的傳感器(10, 10')，其特征在于 所述電流檢測器(34)適于檢測該導電層(28， 28')的所述 區(qū)域(26， 26')中的電流作為電子束強度的測量值。
6. 才艮據(jù)前述任一^又利要求所述的傳感器(10, 10')，其特征在于 該傳感器^f吏用沉積，技術(shù)形成在該逸出窗(24， 24'， 24")的外 部箔(25, 25')上。
7. 4艮據(jù)前述任一^又利要求所述的傳感器(10, 10')，其特征在于 該絕緣材料是氧化物。
8. 才艮據(jù)前述任一4又利要求所述的傳感器(10, 10')，其特征在于 該導電材料是金屬。
9. 才艮據(jù)前述4壬一4又利要求所述的傳感器(10, 10')，其特征在于 該絕纟彖材料是氧化鋁，該導電材料是鋁和該逸出窗箔(25， 25') 由4太制成。
10. 根據(jù)前述任一權(quán)利要求所述的傳感器(10, 10')，其特征在于 該導電層(28, 28'、 38)的所述每個區(qū)域(26, 26')是跨越 該逸出窗(24, 24'， 24")設(shè)置的帶。
11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的傳感器(10, 10')，其特征在于其可 以包括多個跨越該逸出窗(24, 24', 24")設(shè)置的帶(26, 26'), 在這些帶之間i殳置有間隙(30)。
12. 根據(jù)前述任一權(quán)利要求所述的傳感器(10， 10')，其特征在于 該對象是包裝件(16'),優(yōu)選地是待填充包裝件。
13. 根據(jù)前述任一權(quán)利要求所述的傳感器，其特征在于該對象是包 裝材料巻材(16)。
14. 一種包括根據(jù)權(quán)利要求1的傳感器(IO， 10')的系統(tǒng)(2， 2")， 該系統(tǒng)(2, 2")進一步包括電子束發(fā)生器(8, 8")，適于沿 對象區(qū)i^(4， 4")內(nèi)朝向?qū)ο?16, 16")的路徑產(chǎn)生電子束(6, 6")，該電子束(6， 6")通過逸出窗(24， 24'， 24")逸 出所述發(fā)生器(8, 8"),該傳感器(10， 10')形成在所述逸 出窗(24, 24', 24")上并且適于4果測和測量該電子束強度， 以及該系統(tǒng)(2, 2")進一步包括支撐件(14)，用于在該對象 區(qū)域(4, 4")內(nèi)支撐該對象(16， 16")。
15. 才艮據(jù)權(quán)利要求14所述的系統(tǒng)(2 )，其特征在于該對象是包裝 材料巻材(16)。
16. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的系統(tǒng)(2 )，其特征在于將該對象(16 ) 保持在該對象區(qū)域(4)的該支撐件(14)包括至少一個包裝 材料巻材傳輸輥子。
17. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的系統(tǒng)(2"),其特征在于該對象是包裝 件(16")，優(yōu)選地是待填充包裝件。
18. 根據(jù)權(quán)利要求17所述的系統(tǒng)(2")，其特征在于其包括用于提 供該包裝件(16")和該電子束發(fā)生器(8")之間相對運動的 裝置，以將它們帶到所述發(fā)生器(8")至少部分位于該包裝件(16")中以處理該包裝件的位置。
19. 根據(jù)權(quán)利要求14-18任一項所述的系統(tǒng)(2， 2")，其特征在于 其包括電子束控制器(36)，其適于響應(yīng)該電子束傳感器(10， 10')的輸出調(diào)節(jié)該電子束的強度(6, 6")。
全文摘要
本發(fā)明涉及傳感器(10)，用于感應(yīng)由電子束發(fā)生器沿對象區(qū)域內(nèi)朝向?qū)ο蟮穆窂桨l(fā)射的電子束強度，該電子束通過逸出窗(24)逸出該發(fā)生器。該傳感器(10)特征在于其包括位于該路徑內(nèi)的并且連接到電流檢測器的至少一個導電層(28)的至少一個區(qū)域(26)，以及其中至少一個導電層(28)的每個所述區(qū)域(26)通過防護罩(32)基本上與彼此、與周圍環(huán)境和與該逸出窗(24)隔開，所述防護罩(32)形成在該逸出窗(24)上。本發(fā)明還涉及包括所述傳感器的系統(tǒng)。
文檔編號G01T1/29GK101473244SQ200780022299
公開日2009年7月1日 申請日期2007年5月5日 優(yōu)先權(quán)日2006年6月14日
發(fā)明者安德斯·克里斯蒂安松, 庫爾特·霍姆, 拉爾斯·奧克·內(nèi)斯隆德, 本諾·齊格利戈, 漢斯·哈爾斯坦迪斯, 沃納·哈格 申請人:利樂拉瓦爾集團及財務(wù)有限公司