專利名稱：超聲波掃描儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種測試裝置，特別是一種超聲波掃描儀。
背景技術(shù)：
目前隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，半導(dǎo)體芯片(IC)在整個電子產(chǎn)業(yè)應(yīng)用相當(dāng)廣泛。由 于制造工藝水平等問題，無法保證所有IC在制造和封裝過程中內(nèi)部不存在缺陷，由于內(nèi)部缺 陷從外觀無法檢驗，業(yè)界的IC制造企業(yè)、模塊及IC測試機構(gòu)通常使用超聲波掃描儀進(jìn)行無損檢測。
超聲波掃描儀用于驗證ic在生產(chǎn)、存放、測試等過程中其封裝有無受到溫濕度及周圍環(huán)
境的影響，使其內(nèi)部受到損壞從而不能正常的工作。其特點在于能夠精確的反映出聲波和微 小樣品的彈性介質(zhì)之間的相互作用，從樣品內(nèi)部反饋回來的信號進(jìn)行分析，通過探頭發(fā)射和
接收聲波信號，利用數(shù)字波形展示出接收到的回饋信息，從而判定ic內(nèi)部是否有分層或斷裂
情況。超聲波掃描主要有透射和反射兩種工作方式，透射掃描為采用頂部發(fā)射掃描信號底部
對應(yīng)位置接收透過物體的信號生成掃描結(jié)果；反射掃描主要采用頂部發(fā)射掃描信號，信號經(jīng) 過物體反射后再次由頂端探頭接收反射信號生成掃描結(jié)果。
目前超聲波掃描儀主要的固定工作方式為在一個頂部敞開的槽體內(nèi)盛放適量的去離子 水(因為檢測用的超聲波不適合在空氣中傳播)，在槽體的中間位置對應(yīng)設(shè)置一個承載待測 試基板的固定結(jié)構(gòu)，將測試基板固定在槽體中。采用可以平移的頂部掃描探頭搭配與頂部掃 描探頭垂直對應(yīng)的底部接收探頭進(jìn)行掃描工作，將待測試物體放在承載待測試基板的中間位 置。由于頂部掃描探頭、底部接收探頭在工作時的移動。去離子水的內(nèi)部流動以及超聲波掃 描儀的抖動會引起待測試IC的晃動而影響測試結(jié)果和精準(zhǔn)度。因此，帶側(cè)物體通常需要固定 。前業(yè)界采用的固定方式為使用平面的雙面膠帶貼附于承載待測試基板上將待測試物體進(jìn)行 固定。這樣的固定方式使得在測試多個不同尺寸IC時需要裁剪不同尺寸的雙面膠帶。在使用 過程中膠帶層中的物質(zhì)易溶解在整個去離子水中，造成對測試環(huán)境的污染，從而影響測試精 度。而且使用后雙面膠帶無法輕易清潔。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于此，有必要提供一種可防止待測物體晃動的超聲波掃描儀。
一種超聲波掃描儀，其包括槽體、超聲波發(fā)射器、超聲波接收器、兩個傳動機構(gòu)，所述兩個傳動機構(gòu)上下平行設(shè)置在槽體內(nèi)，用于分別帶動所述超聲波發(fā)射器和超聲波接收器移動 ，所述超聲波發(fā)射器和超聲波接收器分別用于發(fā)射和接收超聲波信號。所述超聲波掃描儀還 包括限位部、承載板和蓋板，所述限位部設(shè)置于所述槽體在兩個傳動機構(gòu)之間的內(nèi)側(cè)壁上， 所述承載板擱置在所述限位部上，以承放待測物體，所述蓋板壓蓋于所述承載板上，以與所 述承載板配合夾持所述待測物體。
一種超聲波掃描儀，其包括槽體、超聲波收發(fā)器和傳動機構(gòu)，所述傳動機構(gòu)設(shè)置在槽體 內(nèi)，用于帶動所述超聲波收發(fā)器水平移動，所述超聲波收發(fā)器用于發(fā)射和接收超聲波信號。 所述超聲波掃描儀還包括限位部、承載板和蓋板，所述限位部設(shè)置于所述槽體在兩個傳動機 構(gòu)之間的內(nèi)側(cè)壁上，所述承載板擱置在所述限位部上，以承放待測物體，所述蓋板壓蓋于所 述承載板上，以與所述承載板配合夾持所述待測物體。
上述超聲波掃描儀通過承載板和蓋板的夾持有效的保證了待測物體在檢測過程中的穩(wěn)定 性，提高檢測精度。


圖l為一較佳實施方式的透射式超聲波掃描儀截面視圖。
圖2為圖1所示的超聲波掃描儀的俯視圖。
圖3為圖1所示的超聲波掃描儀的俯視分解圖。
圖4為另一較佳實施方式的反射式超聲波掃描儀截面視圖。
具體實施例方式
請參閱圖l，其為一較佳實施方式的透射式超聲波掃描儀10的截面視圖，其包括槽體 102、超聲波發(fā)生器104、超聲波接收器106， 二個傳動機構(gòu)108、 110、 二限位部113、承載板 116和蓋板118。
槽體102為一面開口的方形收容槽。超聲波發(fā)生器104、超聲波接收器106分別設(shè)置在二 個傳動機構(gòu)108、 IIO上，分別用于發(fā)射和接收超聲波信號。二個傳動機構(gòu)108、 IIO上下平行 的設(shè)置在槽體102的內(nèi)部，且與槽體102的內(nèi)側(cè)壁122相連，用于分別帶動所述超聲波發(fā)生器 104、超聲波接收器106同步移動。該傳動機構(gòu)108、 IIO可為螺旋導(dǎo)桿、齒條或者伸縮臂等。
二限位部113分別設(shè)置于槽體102兩相對的內(nèi)側(cè)壁上，且位于二個傳動機構(gòu)108、 IIO之間 ，用于支撐所述承載板和蓋板并限制承載板和蓋板在水平方向上的移動。該限位部113包括 卡位塊112和定位柱114。卡位塊112為水平設(shè)置且與槽體102內(nèi)側(cè)壁相連的肋條，用于支撐所 述承載板114，以將承載板114懸空固定在超聲波發(fā)生器104和超聲波接收器106之間。所述定 位柱114為從卡位塊112上沿槽體102開口方向延伸形成的圓柱狀凸起。請同時參閱圖2和圖3，其分別為圖1所示的超聲波掃描儀10的俯視圖和俯視分解圖。為 了方便理解，該兩圖中省略了超聲波發(fā)生器104、超聲波接收器106， 二個傳動機構(gòu)108、 110。承載板116和蓋板118呈矩形，且均開設(shè)有與定位柱114對應(yīng)的定位孔162、 182。承載板 116用于承載待測物體200，如半導(dǎo)體芯片。蓋板118用于與承載板116—起夾持所述待測物體 200，以增加待測物體200在測試過程中的穩(wěn)定性。其中，承載板116和蓋板118的面積都小于 槽體102的開口截面積，且蓋板118的面積大于承載板116的面積。本實施方式中，承載板116 和蓋板118的長相等，承載板116的寬小于蓋板118的寬(見圖3中的W1和W2)，如此可以方便 將承載板116和蓋板118放入槽體102或從槽體102中取出。
上述承載板116和蓋板118可以由玻璃或樹脂材料制成。由于檢測用的超聲波不適合在空 氣中傳播，所以在檢測過程中，所述超聲波發(fā)生器104、超聲波接收器106、承載板116和蓋 板118以及待測物體200全部浸泡在去離子水300中進(jìn)行檢測(見圖l)，為了保證承載板116
和蓋板118都能克服浮力而保障被測物體的穩(wěn)定，因此承載板116和蓋板118的密度都大于
i / 3 lg/cm o
另外，超聲波的檢測也可以是反射式檢測，請參閱圖4，反射式超聲波掃描儀20與圖1所 示的透射式超聲波掃描儀10的區(qū)別在于超聲波掃描儀20具有一個超聲波收發(fā)器150，其集 成了所述超聲波發(fā)生器104和超聲波接收器106發(fā)射和接收功能，且超聲波掃描儀20中的承載 板116最好由金屬材料制成。
上述超聲波掃描儀IO， 20通過承載板116的重力作用壓蓋于蓋板118上，將帶側(cè)物體200 穩(wěn)穩(wěn)的夾持在中間，保證了待測物體200在檢測過程中的穩(wěn)定性，從而提高了檢測精度。通 過定位柱l 14的定位作用也避免了承載板l 16和蓋板118在檢測過程中的移動，同時避免了在 放置過程中對待測物體200的摩擦。上述超聲波掃描儀10不僅制造成本低廉，而且用戶操作 也很方便。
本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)認(rèn)識到，以上的實施方式僅是用來說明本發(fā)明，而并非 用作為對本發(fā)明的限定，只要在本發(fā)明的實質(zhì)精神范圍之內(nèi)，對以上實施例所作的適當(dāng)改變 和變化都落在本發(fā)明要求保護(hù)的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
權(quán)利要求1一種超聲波掃描儀，其包括槽體、超聲波發(fā)射器、超聲波接收器、兩個傳動機構(gòu)，所述兩個傳動機構(gòu)上下平行設(shè)置在槽體內(nèi)，用于分別帶動所述超聲波發(fā)射器和超聲波接收器移動，所述超聲波發(fā)射器和超聲波接收器分別用于發(fā)射和接收超聲波信號，其特征在于所述超聲波掃描儀還包括限位部、承載板和蓋板，所述限位部設(shè)置于所述槽體在兩個傳動機構(gòu)之間的內(nèi)側(cè)壁上，所述承載板擱置在所述限位部上，以承放待測物體，所述蓋板壓蓋于所述承載板上，以與所述承載板配合夾持所述待測物體。
2. 如權(quán)利要求l所述的超聲波掃描儀，其特征在于所述限位部包括 卡位塊和定位柱，所述卡位塊與槽體內(nèi)側(cè)壁相連，用于支撐所述承載板，所述定位柱設(shè)置于 卡位塊上，所述承載板和蓋板均設(shè)有與所述定位柱對應(yīng)的定位孔。
3. 如權(quán)利要求2所述的超聲波掃描儀，其特征在于所述卡位塊和定 位柱至少為二個。
4. 如權(quán)利要求l所述的超聲波掃描儀，其特征在于所述蓋板的面積 大于所述承載板的面積。
5. 如權(quán)利要求l所述的超聲波掃描儀，其特征在于所述承載板和蓋 板為玻璃或樹脂材料。
6. 如權(quán)利要求l所述的超聲波掃描儀，其特征在于所述承載板和蓋 板的密度大于lg/cm3。
7. 一種超聲波掃描儀，其包括槽體、超聲波收發(fā)器和傳動機構(gòu)，所 述傳動機構(gòu)設(shè)置在槽體內(nèi)，用于帶動所述超聲波收發(fā)器水平移動，所述超聲波收發(fā)器用于發(fā) 射和接收超聲波信號，其特征在于所述超聲波掃描儀還包括限位部、承載板和蓋板，所述限位部設(shè)置于所述槽體在兩個傳動機構(gòu)之間的內(nèi)側(cè)壁上，所述承載板擱置在所述限位部上， 以承放待測物體，所述蓋板壓蓋于所述承載板上，以與所述承載板配合夾持所述待測物體。
8. 如權(quán)利要求7所述的超聲波掃描儀，其特征在于所述限位部包括卡位塊和定位柱，所述卡位塊與槽體內(nèi)側(cè)壁相連，用于支撐所述承載板，所述定位柱設(shè)置于卡位塊上，所述承載板和蓋板均設(shè)有與所述定位柱對應(yīng)的定位孔。
9.如權(quán)利要求7所述的超聲波掃描儀，其特征在于所述蓋板的面積大于所述承載板的面積。
10.如權(quán)利要求7所述的超聲波掃描儀，其特征在于所述承載板為金屬材料。
全文摘要
一種超聲波掃描儀，其包括槽體、超聲波發(fā)射器、超聲波接收器、兩個傳動機構(gòu)，所述兩個傳動機構(gòu)上下平行設(shè)置在槽體內(nèi)，用于分別帶動所述超聲波發(fā)射器和超聲波接收器移動，所述超聲波發(fā)射器和超聲波接收器分別用于發(fā)射和接收超聲波信號。所述超聲波掃描儀還包括限位部、承載板和蓋板，所述限位部設(shè)置于所述槽體在兩個傳動機構(gòu)之間的內(nèi)側(cè)壁上，所述承載板擱置在所述限位部上，以承放待測物體，所述蓋板壓蓋于所述承載板上，以與所述承載板配合夾持所述待測物體。上述超聲波掃描儀通過承載板和蓋板的夾持有效的保證了待測物體在檢測過程中的穩(wěn)定性，提高了檢測精度。
文檔編號G01N29/04GK101424662SQ20071020234
公開日2009年5月6日 申請日期2007年10月31日 優(yōu)先權(quán)日2007年10月31日
發(fā)明者薇 陳 申請人:鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司;鴻海精密工業(yè)股份有限公司