專利名稱：連接器組裝體、插座型連接器及接口裝置的制作方法
技術(shù)領域：
本發(fā)明涉及用于在電路基板上電連接電纜的連接器組裝體、構(gòu)成 該連接器組裝體的插座型連接器、以及在電子部件測試裝置中對測試 頭和被試驗電子部件之間的電連接進行中繼的接口裝置。
背景技術(shù)：
在半導體集成電路元件等各種電子部件(以下代表性統(tǒng)稱為IC器件)的制造過程中，使用用于在被制造裝入晶片上的狀態(tài)或被封裝的狀態(tài)下試驗IC器件的性能或功能的電子部件試驗裝置。該電子部件試驗裝置利用處理器(Handler)或探測器(Prober) 將IC器件與測試頭電連接，利用測試器(Tester)進行實驗。在測試 頭的上部設有用于中繼IC器件和測試頭之間的電連接的所謂的接口 裝置的(以下還單稱為高精度定位系統(tǒng)(八一7— 、;/夕7)或晶片母 板)。現(xiàn)有的高精度定位系統(tǒng)5，如圖22所示，在最上部裝有插座板98， 其安裝了具有多個與IC器件的輸入輸出端子電接觸的觸針的插座99, 同時，在最下部裝有通過電纜7與該插座板98電連接的中繼基板6，， 電纜7的端部與中繼基板6，用錫焊等直接接合。高精度定位系統(tǒng)5' 經(jīng)由該中繼基板6，與測試頭4電連接。為了實現(xiàn)測試的高效率，在一個高精度定位系統(tǒng)上設有多個(例 如32個、64個或128個)插座，而且從各插座都導出若干根電纜。由此，在制造高精度定位系統(tǒng)時必須在中繼基板上錫焊數(shù)千根電 纜，在耗費大量工數(shù)的同時需要熟練的技術(shù)，這成為高精度定位系統(tǒng) 成本上升的一個原因。針對這樣的課題，考慮把中繼基板換成能拆裝的連接器結(jié)構(gòu)會較 插座板和中繼基板的電纜中，包含例如用于 傳遞高速信號的同軸電纜、或用于電源供給或傳遞低速信號的單線等 多種電纜。因此，必須準備與所有這些電纜對應的多種連接器，不能 充分實現(xiàn)高精度定位系統(tǒng)的成本降低。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是提供一種通用性好的連接器組裝體。為了達到上述目的，根據(jù)本發(fā)明，提供一種連接器組裝體，其特 征在于，具有安裝在電纜一個端部上的多種電纜側(cè)連接器、和可拆裝 地連接所述多種電纜側(cè)連接器的中繼連接器，所述中繼連接器包括具 有可嵌合所述所有種類的電纜側(cè)連接器的形狀的第一嵌合部。在本發(fā)明中，在中繼連接器上設有具有可嵌合多種電纜側(cè)連接器 形狀的第一嵌合部。因此，對多種電纜可以用一種中繼連接器對應， 可以實現(xiàn)接口裝置的成本降低。在上述發(fā)明中沒有特別地限定，但最好是，所述多種電纜側(cè)連接器包括安裝在由信號線和接地線組成的同軸電纜的一個端部上的同 軸連接器、和安裝在單線的一個端部上的單線連接器，所述中繼連接 器的所述第一嵌合部具有能嵌合所述同軸連接器且能嵌合所述單線連 接器的形狀。在上述發(fā)明中沒有特別地限定，但最好是，所述中繼連接器具有 設置多個所述第一嵌合部的連接器本體。在上述發(fā)明中沒有特別地限定，但最好是，所述同軸電纜由信號 線和接地線構(gòu)成，所述同軸連接器具有電連接所述信號線的信號端子、 和電連接所述接地線的第一及第二接地端子，所述單線連接器具有各 自電連接三個單線的第一至第三單線端子。在上述發(fā)明中沒有特別地限定，但最好是，所述第一嵌合部具有 第一至第三的輸出端子，在所述同軸連接器嵌合在第一嵌合部中時， 所述信號端子與所述第一輸出端子電連接，同時，所述第一及第二接 地端子分別與所述第二及第三輸出端子電連接；在所述單線連接器嵌
合在所述第一嵌合部中時，所述第一至第三單線端子分別與所迷第一 至第三輸出端子電連接。在上述發(fā)明中沒有特別地限定，但所述第 一嵌合部具有用于固定 與該第一嵌合部嵌合的所述同軸連接器或所述單線連接器的鎖定機 構(gòu)，所述同軸連接器及所述單線連接器具有用于卡合所述鎖定機構(gòu)的 卡合突起。在上述發(fā)明中沒有特別地限定，但最好是，中繼連接器的所述連 接器本體具有能與電連接于所述電路基板的基板側(cè)連接器嵌合的第二嵌合部。另外，本發(fā)明的插座型連接器可以接收連接同軸電纜的同軸電纜 用插頭型連接器和連接多個單線的單線用插頭型連接器的任一種連接 器。該插座型連接器(以下只稱插座)具有用于與同軸電纜用插頭型 連接器(以下只稱同軸電纜用插頭)形成電連接的第一觸點群、以及 用于與單線用插頭型連接器(以下只稱單線用插頭)形成電連接的第 二觸點群。第一觸點群包含信號用第一觸點及以信號用第一觸點為中 心對稱定位的 一對接地用觸點。而第二觸點群包含信號用第 一觸點及 分別位于距信號用第一觸點相等距離的兩點上的一對信號用第二觸 點。另外，本發(fā)明的插座具有用于保持第一觸點群及第二觸點群的絕 緣殼體。進而，本發(fā)明的插座從嵌合面看，第二觸點群的各第二信號 用觸點把連接一對接地用觸點的直線作為邊界，配置在任一側(cè)。在此，所謂能收納同軸電纜用插頭及單線用插頭的任一中插頭是 說在一個嵌合凹部中能收納同軸電纜用插頭及單線用插頭的任一個。合凹部的方式。本發(fā)明可以由絕緣殼體形成嵌合凹部，通過在任何一 個嵌合凹部中配設第一觸點群和第二觸點群，能夠在一個嵌合凹部中 接收同軸電纜用插頭及單線用插頭的任一個。本發(fā)明的插座通過采用上述結(jié)構(gòu)，第一觸點群的信號用第一觸點 就會兼作第二觸點群中的一個信號用觸點。即，本發(fā)明的插座作為在 一個嵌合凹部中可以收納同軸電纜用插頭及單線用插頭的任一個的結(jié)
構(gòu)要素，在第一觸點群和第二觸點群中兼用一個信號用觸點。這樣， 通過削減觸點數(shù)，可以使嵌合凹部中的該信號用觸點的占有面積變小。 這意味著可以在嵌合凹部中高密度地配置各觸點，在排列多個由第一 觸點群及第二觸點群構(gòu)成的一個單位的觸點單元時，會得到可以使整 體緊湊的優(yōu)點。另外，由于在第一觸點群和第二觸點群中兼用信號用 觸點，故具有可以使與該信號用觸點相連的外部連接用觸點成為一個 的優(yōu)點。這也有助于插座的緊湊化。其次，在與同軸電纜用插頭對應的第一觸點群中， 一對接地用觸 點以信號用第一觸點為中心，分別配置在對稱的位置上。也可以在第 一觸點群中，把一對接地用觸點及信號用觸點分別配置在等腰三角形 的頂點上?？墒?，由于該配置遠離同軸結(jié)構(gòu)，所以在與同軸電纜間特 性阻抗不匹配。因而，為了實現(xiàn)擬似的同軸結(jié)構(gòu)，把一對接地用觸點 分別配置在以信號用第一觸點為中心對稱的位置上。作為擬似的同軸 結(jié)構(gòu)，例如一對接地用觸點可以做成互相平行的板狀體。第二觸點群包括離與第一觸點群所兼用的信號用第一觸點相等距離分別配置的兩個第二觸點。但是，在本發(fā)明的插座中，第二觸點群 的各第二信號用觸點以連接第一觸點群的一對接地用觸點的直線為邊界，配置在任一側(cè)。因而，在第二觸點群中，信號用第一觸點和一對第二觸點就配置在等腰三角形的各頂點上。而是否配置在某一側(cè)，則由嵌合面觀看而確定。在本發(fā)明的插座中，信號用第一觸點及各信號用第二觸點最好是 具有彼此一樣的形狀。單線用插頭的三個觸點為了削減部件數(shù)而最好 是彼此一樣的形狀。因而，作為連接對象的信號用第一觸點及各信號 用第二觸點最好也是彼此一樣的形狀。在此，構(gòu)成第一觸點群的信號用第一觸點和一對接地用觸點必須 在電氣方面互相獨立。而構(gòu)成第二觸點群的信號用第一觸點和一對信 號用第二觸點必須在電氣方面互相獨立?？墒?，第一觸點群的接地用 觸點和第二觸點群的信號用第二觸點即使互相電連接也沒有防礙。因 此，在本發(fā)明的插座中，最好是將相對于信號用第一觸點位于同側(cè)的
接地用觸點和信號用第二觸點形成一體。由于比做成各自獨立的部件 能減少部件數(shù)，故可以高密度構(gòu)成觸點單元。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，如后所述 可以使接地環(huán)路的影響減小。進而，通過做成這樣的結(jié)構(gòu)，可以把相 對四個觸點的外部連接用觸點集中成兩個。通過兼用上述的信號用觸 點與一個外部連接用觸點加在一起，總共三個外部連接用觸點就夠了。本發(fā)明也可以做成具有多個由第一觸點群和第二觸點群組成的觸 點單元的插座。此時，觸點單元最好排列成鋸齒格子狀。這是由于與 差動傳遞用連接器一樣，作為接地用觸點和信號用觸點交替配置的結(jié) 果，可以抑制高頻特性的下降。本發(fā)明也可以作為接收同軸電纜用插頭及單線用插頭的任一個的 插座和與插座電連接的同軸電纜用插頭或單線用插頭的連接器組裝體而得到。該插座可以采用上述任一種結(jié)構(gòu)。另外，為了達到上述目的，根據(jù)本發(fā)明，提供一種裝在用于進行 被試驗電子部件測試的測試頭上、中繼所述被試驗電子部件和所述測 試頭之間的電連接的接口裝置，其特征在于，包括所述的連接器組裝 體，所述中繼連接器設置在所述接口裝置中與所述測試頭相鄰的位置 上，所述電纜的另一端電連接在與所述被試驗電子部件電接觸的計測 板上，所述基板側(cè)連接器與所述測試頭電連接。在上述發(fā)明中沒有特別地限定，但最好是，所述中繼連接器在具 有多個所述第一嵌合部的同時，具有多個所述第二嵌合部。在上述發(fā)明中沒有特別地限定，但最好是，具有多個所述中繼連 接器。在上述發(fā)明中沒有特別地限定，但最好是，所述中繼連接器具有 向所述測試頭側(cè)連接器突出的定位銷，所述測試頭側(cè)連接器具有定位 孔以使其與所述定位銷相向。在上述發(fā)明中沒有特別地限定，但最好是，所述被試驗電子部件 是封裝的半導體器件，所述計測板是裝有與所述半導體器件電接觸的 插座的插座板。在上述發(fā)明中沒有特別地限定，但最好是，所述被試驗電子部件
是在晶體上形成的半導體器件，所述計測板是安裝有與所述半導體器 件電接觸的探針的探針卡。為了達到上述目的，根據(jù)本發(fā)明，提供了一種電子部件測試裝置，其用于進行被試驗電子部件的測試，其包括測試頭，其在測試時與 所述被試驗電子部件電連接；上述的接口裝置，其裝在所述測試頭上， 中繼所述被試驗電子部件和所述測試頭之間的電連接。


圖1是表示本發(fā)明第一實施方式的電子部件試驗裝置的整體的立 體圖；圖2是沿圖1的II - II線的概略剖視圖； 圖3是圖1所示的電子部件試驗裝置的后視圖； 圖4是表示本發(fā)明第一實施方式的高精度定位系統(tǒng)及測試頭的剖 視圖；圖5是從下側(cè)看本發(fā)明第一實施方式的高精度定位系統(tǒng)的俯視圖；圖6是表示本發(fā)明第一實施方式中的器件側(cè)連接器、中繼連接器及測試頭側(cè)連接器的剖視圖；圖7是表示本發(fā)明第一實施方式中的中繼連接器的上部俯視圖； 圖8是從本發(fā)明的實施方式的插座的底面方向看的立體圖； 圖9是表示本發(fā)明的實施方式的插座的下部殼體的部分立體圖； 圖IO是從本發(fā)明的實施方式的插座的平面方向看的部分立體圖； 圖ll是表示用于本發(fā)明的實施方式的插座的觸點部件的立體圖； 圖12是表示用于本發(fā)明的實施方式的插座的觸點部件的立體圖； 圖13是表示本發(fā)明的實施方式的插座的觸點配置的圖； 圖14是表示與本發(fā)明的實施方式的嵌合在插座中的同軸電纜用插頭的立體圖；圖15是表示圖14所示的同軸電纜用插頭的主要部分的立體圖； 圖16是表示與本發(fā)明的實施方式的嵌合在插座中的單線用插頭 ；圖18是表示本發(fā)明第一實施方式中的器件側(cè)連接器、中繼連接器及測試頭側(cè)連接器的部分立體圖；圖19是表示本發(fā)明第二實施方式的高精度定位系統(tǒng)及測試頭的剖視圖；圖20是表示本發(fā)明第三實施方式的高精度定位系統(tǒng)及測試頭的 剖視圖；圖21是表示本發(fā)明第四實施方式的晶片母板及測試頭的剖視圖； 圖22是表示現(xiàn)有的高精度定位系統(tǒng)及測試頭的剖視圖。
具體實施方式
以下，參照

本發(fā)明的具體實施方式
。 <第一實施方式>圖l是表示本實施方式的電子部件試驗裝置的整體的立體圖，圖2是沿圖i的ii-n線的概略剖視圖，圖3是圖i所示的電子部件試驗裝置的后視圖。首先參照這些圖1至圖3概述本實施方式的電子部件 試驗裝置的整體結(jié)構(gòu)。本實施方式的電子部件試驗裝置l如圖l及圖2所示，由用于處 理被試驗IC器件的處理器10、與被試驗IC器件電連接的測試頭4、 和向該測試頭4輸送試驗信號而實施被試驗IC器件的測試的測試器3 構(gòu)成。處理器IO是在向被試驗IC器件施加高溫或低溫的熱應力的狀態(tài) 下把IC器件供給至測試頭4、試驗結(jié)束后根據(jù)其試驗結(jié)果把IC器件 分類的裝置，包括存貯部200、裝載部300、腔室部100及卸載部400。收容多個被試驗IC器件的專用托盤貯存在存貯部200中。在裝 載部300中，從該專用托盤向測試托盤(在處理器10內(nèi)循環(huán)搬運的托 盤)倒裝試驗前的IC器件，之后，向腔室部100內(nèi)搬入該測試托盤。 在腔室部100中，向IC器件施加規(guī)定的熱應力后，在搭載于測試托 盤的狀態(tài)下把各IC器件推向測試頭4，使各IC器件與插座99電接觸， 實施IC器件的測試。使試驗完的IC器件從腔室部100向卸載部400 搬出，換置到對應于試驗結(jié)果的專用托盤上。另外，與現(xiàn)有的高精度 定位系統(tǒng)相同的構(gòu)成采用相同的編號。在存]i!i部200中，設有貯存收容了試驗前的IC器件的專用托盤 的試驗前IC儲料器201、和貯存收容了根據(jù)試驗結(jié)果分類后的IC器 件的專用托盤的試驗后IC儲料器202 。試驗前IC儲料器201及試驗后IC儲料器202包括托盤支承框203 和能在該托盤支承框203內(nèi)升降的升降機204。在托盤支承框203中， 圖外的專用托盤重疊多個被支承，可以用升降機204使這些專用托盤 上下運動。試驗前IC儲料器201把收容了試驗前的IC器件的專用托盤層疊 保持。與此相對，試驗后IC儲料器202把根據(jù)試驗結(jié)果收納試驗后 的IC器件的專用托盤層疊保持。存儲在試驗前IC儲料器201中的專用托盤被運送到裝載部300， 在該裝載部300中從專用托盤向測試托盤移送倒裝試驗前的IC器件。裝載部300裝有從專用托盤向測試托盤倒裝被試驗IC器件的XY 搬運裝置304。該XY搬運裝置304如圖1所示，包括兩根導向件 301，其架設在主機架105上；可動臂302，其能通過該兩根導向件301 在專用托盤和測試托盤之間往復移動(把該方向作為Y方向)；可動 頭303，其由該可動臂302支承，能沿可動臂302在X方向移動。在該XY搬運裝置304的可動頭303上裝有能吸附保持被試驗IC 器件的吸附頭。吸附頭相對可動頭303可安裝例如八個，可以一次把 八個被試驗IC器件從專用托盤倒裝到測試托盤上。在裝載部300的主機架105上開設一對窗部306、 306，其配置成 使運到該裝載部300上的專用托盤面對主機架105的上面。圖示雖省 略，但實際上在各窗部306上設有用于保持專用托盤的保持用掛鉤， 在專用托盤的上面經(jīng)由窗部306面對主機架105表面的位置上保持專 用托盤。 進而，在各個窗部306的下側(cè)設有用于升降專用托盤的升降臺。 該升降臺使倒裝試驗前的IC器件而變空的專用托盤下降，轉(zhuǎn)交與托 盤移送臂205。腔室部100由以下部件構(gòu)成，即，恒溫槽101,其對測試托盤上 層疊的被試驗IC器件施加目標高溫或低溫的溫度應力；測試腔室102， 其把在該恒溫槽101中處于被施加了溫度應力的狀態(tài)的被試驗IC器 件推向測試頭4;除熱槽103，其從試驗后的IC器件除去所施加的溫 度應力。在恒溫槽101中施加高溫時，在除熱槽103中通過送風冷卻被試 驗IC器件回到室溫。另外，在恒溫槽101中施加例如-30。C左右的低 溫時，在除熱槽103中用溫風或加熱器等加熱被試驗IC器件，返回 到不會產(chǎn)生結(jié)露程度的溫度。之后，該除熱后的被試驗IC器件被搬 出到卸載部400。如圖2、圖3所示，在構(gòu)成測試腔室102的底面的處理器10的基 部ll的大致中央形成開口 lla，在該開口 lla內(nèi)，連接有裝在測試頭 4上部的高精度定位系統(tǒng)5A。當向該高精度定位系統(tǒng)5的插座99上運送測試托盤時，Z軸驅(qū)動 裝置(未圖示)通過推動器(未圖示)向高精度定位系統(tǒng)5推壓被試 驗IC器件，測試托盤上多個被試驗IC器件的輸入輸出端子與插座99 的觸針電接觸。而測試器3通過測試頭4向被試驗IC器件輸送試驗 信號，實施被試驗IC器件的測試。該試驗結(jié)果存貯在例如由加在測 試托盤上的識別號碼和在測試托盤的內(nèi)部分配的被試驗IC器件的號 碼而確定的地址上。試驗結(jié)束的測試托盤在除熱槽103中IC器件的 溫度回到室溫后被搬出到卸載部400。在卸載部400中也設有與設在裝載部300中的XY搬運裝置304 結(jié)構(gòu)相同的XY搬運裝置404。用該XY搬運裝置404將試驗后的IC 器件從搬到卸載部400的測試托盤倒裝到專用托盤上。在卸載部400的主機架105上，開i殳兩對成對的窗部406、 406， 所述成對的窗部406、406配置成使運到該卸載部400的專用托盤面對
主機架105的上面。雖圖示省略，但實際上在各窗部406上設有用于 保持專用托盤的保持用掛鉤，在專用托盤的上面經(jīng)由窗部406而面對 主機架105表面的位置上保持專用托盤。另外，在各個窗部406的下側(cè)設有用于升降專用托盤的升降臺。 該升降臺使裝滿試驗后的IC器件的專用托盤下降，轉(zhuǎn)交與托盤移送 臂205。如圖1所示，在存貯部200中設有能在儲料器201、 202上移動的 托盤移送臂205,可以在裝載部300、卸載部400及各儲料器201、 202 之間移送專用托盤。圖4是表示本實施方式的高精度定位系統(tǒng)及測試頭的剖視圖，圖 5是從下側(cè)看本實施方式的高精度定位系統(tǒng)的俯視圖，圖6是表示本 實施方式中的器件側(cè)連接器、中繼連接器及測試頭側(cè)連接器的剖視圖， 圖7是表示本實施方式中的中繼連接器的上部俯視圖。本實施方式的高精度定位系統(tǒng)5A如圖4所示，是通過只更換最上 部的插座板98就能對應被試驗IC器件的品種更換的SBC (Socket Board Change)型的高精度定位系統(tǒng)。該高精度定位系統(tǒng)5A如該圖 所示，借助設在測試頭4上部的測試頭側(cè)連接器41 (基板側(cè)連接器) 及中繼連接器(插座)6安裝在測試頭4的上部。高精度定位系統(tǒng)5A如圖5所示，具有多個(在圖5所示的例子 中為28個)中繼連接器6。這些中繼連接器6位于高精度定位系統(tǒng)5A 的最下部，在沿高精度定位系統(tǒng)5A的進深方向?qū)嵸|(zhì)上平行排列的狀 態(tài)下固定在框形的構(gòu)架52上。各中繼連接器6具有如圖6及圖7所示的由絕緣材料構(gòu)成的大致 方棒形狀的殼體61。在各中繼連接器6的殼體61的上面形成多個嵌 合孔601，其嵌合被安裝在電纜7端部上的器件側(cè)連接器8。在該實施 方式中，沿高精度定位系統(tǒng)5A的進深方向呈兩列排列地配置多個嵌 合孔601。通過在一個中繼連接器6上形成多個嵌合孔601，能夠減少安裝 于構(gòu)架52的中繼連接器6的數(shù)量，因而，提高了把中繼連接器6在中
高精度定位系統(tǒng)5A安裝在構(gòu)架52上的作業(yè)的操作性。另外，還提高 了中繼連接器6維護時的操作性。另外，通過把中繼連接器6分割成多個(在圖5所示的例中為28 個)，與在一個中繼連接器上形成所有的嵌合孔601的情況相比，由 于可以只拆下作為維護對象的中繼連接器6等，所以可提高中繼連接 器6的維護操作性。在本實施實施方式中，如圖7所示那樣，對于每一個中繼連接器 6，多個嵌合孔601在高精度定位系統(tǒng)5A的進深方向整個區(qū)域上鋸齒 狀地排列配置有兩列。但在本發(fā)明中沒有特別限定于此，例如也可以 將多個嵌合孔601在高精度定位系統(tǒng)5A的進深方向整個區(qū)域排列配 置一列或三列以上，或例如按m行n列配置mxn個嵌合孔601 (其 中，m及n是任何自然數(shù)，至少一個是2以上)。圖8是從下方看的本實施方式中的插座6的立體圖。如圖所示， 插座(中繼連接器)6的殼體61由下部殼體62和上部殼體63構(gòu)成。 插座6可以接收連接有同軸電纜的同軸電纜用插頭以及連接有三根單 線的單線用插頭的任一個。插座6的各觸點被壓入到下部殼體62中而被保持。另外，上部殼 體63具有用于收納同軸電纜用插頭(同軸連接器)81或單線用插頭 (單線連接器)82的嵌合凹部601。圖9是表示下部殼體62內(nèi)部的部分立體圖；圖10是從嵌合面?zhèn)?看插座6的部分立體圖。如圖8、圖9所示，下部殼體62具有底板621和從其周邊立設的 側(cè)壁622，面對底板621的面具有開放的箱狀形態(tài)。而在下部殼體62 的底板621的下側(cè)，沿底板621的縱向形成有矩形的外部連接觸點保 持部624。在下部殼體62上保持有構(gòu)成觸點單元64的各觸點。所謂該觸點 單元64，說的是與同軸電纜用插頭及單線用插頭的任一個都能嵌合所 需的多個觸點的集合單位。 一個觸點單元64由信號用第一觸點641 (643c)、接地用觸點642a、 642b、信號用第二觸點643a、 643b共
計五個觸點構(gòu)成。在此，詳細內(nèi)容后述，信號用第一觸點641 (643c) 由一個觸點部件65構(gòu)成。另外，接地用觸點642a和信號用第二觸點 643a、及接地用觸點642b和信號用第二觸點643b分別由一體的觸點 部件66構(gòu)成，呈同一形狀。因而，五個觸點由三個觸點部件構(gòu)成。該 五個觸點由從底板621立設到規(guī)定高度的間隔壁623包圍。該觸點單 元64能嵌合后述的同軸電纜用插頭81及單線用插頭82的任一個。同 軸電纜用插頭81與信號用第一觸點641、接地用觸點642a、 642b電 連接。而單線用插頭82與信號用第一觸點643c及信號用第二觸點 643a、 643b電連接。圖11表示構(gòu)成信號用第一觸點641 (643c)的第一觸點部件65 的立體圖。第一觸點部件65通過沖裁及彎曲金屬板而一體形成。第一觸點部件65在其一端具有成為信號用第一觸點641 ( 643c) 的一對彈性片651、 652。彈性片651、 652在其根部由U字形的連結(jié) 部653互相連接。彈性片651、 652有互相向?qū)Ψ綇澢牟糠?，?gòu)成夾 子狀的觸點。通過在彈性片651、 652之間插入對方側(cè)的觸點，信號用 第一觸點641 ( 643c)與對方側(cè)的觸點電連接。該所謂對方側(cè)的觸點 是指后述的同軸電纜用插頭81的信號用觸點或單線用插頭82的信號 用觸點。從連結(jié)部653向第一觸點部件65的另一端形成延長部654。延長 部654貫通下部殼體62的底板621。因而，在底板621上形成貫通延 長部654的貫通孔。在連結(jié)部653和延長部654間形成壓入部655， 該壓入部655壓入到該貫通孔中。貫通底板621的延長部654沿外部 連接用觸點保持部624配置，其一部分構(gòu)成外部連接用觸點644。在圖12中表示構(gòu)成接地用觸點642a ( 642b)和信號用第二觸點 643a ( 643b )的第二觸點部件66的立體圖。第二觸點部件66亦通過 沖裁及彎曲金屬板而形成一體。第二觸點部件66在其一端具有成為信號用第二觸點643a(643b) 的一對彈性片661、 662。彈性片661、 662在其根部用U字形的連結(jié) 部663互相連接。彈性片661、 662具有互相向另一方彎曲的部分，構(gòu)
成夾子狀的觸點。通過在彈性片661、 662之間插入對方側(cè)的觸點，信 號用第二觸點643a ( 643b)與對方側(cè)觸點電連接。該所謂對方側(cè)觸點 是指后述的單線用插頭82的信號用觸點。而信號用第二觸點643a (643b)呈與信號用第一觸點641 ( 643c)相同的形狀。與單線用插 頭82的三個信號用觸點是同一形狀的情況相對應。第二觸點部件66具有板狀體664。板狀體664在第二觸點部件66 保持在下部殼體62上的狀態(tài)下，構(gòu)成接地用觸點642a (642b)。在 板狀體664上，電連接對方側(cè)觸點。所謂對方側(cè)觸點是指后述的同軸 用插頭81的接地用觸點812或接地用觸點813。如圖12所示，彈性片661、 662和板狀體664形成一體。因而， 信號用第二觸點643a ( 643b)和接地用觸點642a ( 642b)在插座6 中互相電連接。從板狀體664向第二觸點部件66的另一端形成延長部665。延長 部665貫通下部殼體62的底板621。因而，在底板621上形成貫通延 長部665的貫通孔。在連結(jié)部663和延長部665之間形成壓入部666， 該壓入部666壓入到該貫通孔中。貫通底板621的延長部665沿外部 連接用觸點保持部624配置，其一部分構(gòu)成外部連接用觸點645。如由圖9、圖11及圖12所表明的那樣，觸點單元64由一個第一 觸點部件65及兩個第二觸點部件66構(gòu)成。這樣，由于插座6可以用 兩種觸點部件構(gòu)成觸點單元64,故可以削減部件數(shù)。因而，可以在觸 點單元64內(nèi)高密度配置各觸點，緊湊地構(gòu)成插座6整體。另外，通過 削減部件數(shù)也可以使得成本降低。第一觸點部件65的延長部654及第二觸點部件66的延長部665 分別貫通下部殼體62的底板621，沿外部連接用觸點保持部624配置。 如圖8所示，第一觸點部件65的延長部654構(gòu)成第一外部連接用觸點 644。而第二觸點部件66的延長部665構(gòu)成第二外部連接用觸點645。 觸點單元64具有一個第一外部連接用觸點644及兩個第二外部連接用 觸點645。另外，第一外部連接用觸點644配置在中心，兩個第二外 部連接用觸點645配置在第一外部連接用觸點644的兩側(cè)。由這些外
部連接用觸點644、 645、 645，構(gòu)成嵌合在測試頭側(cè)連接器41的嵌合 孔42中的輸出端子602。由于與五個(共計六個)觸點對應的外部連 接用觸點為三個就足夠了，故插座6沿其縱向緊湊地形成。在圖9中，信號用第一觸點641 ( 643c)把夾子狀的觸點部分配 置成沿殼體61的寬度方向開閉。信號用第二觸點643a、 643b也一樣。 當作成沿下部殼體62的縱向開閉時，必須把縱向的尺寸做大。因此， 插座6為了將縱向的尺寸做小，把夾子狀的觸點部分配置成沿殼體61 的寬度方向開閉。這就考慮到在夾子狀的觸點部分打開的狀態(tài)下需要 與之對應的空間。接地用觸點642a、642b相互平行地設置。而且，接地用觸點642a、 642b其平面與殼體61的寬度方向平行地配置。在接地用觸點642a和 接地用觸點642b之間的中央配置有信號用第一觸點641。如圖10所示，上部殼體63具有包圍周圍的側(cè)壁631，呈大致箱 狀形態(tài)。上部殼體63沿其縱向及寬度方向形成多個間隔壁632。同軸 電纜用插頭81或單線用插頭82由該間隔壁632導向嵌合位置且防止 其傾斜轉(zhuǎn)動。另外，通過利用側(cè)壁631及間隔壁632包圍，上部殼體 63具有多個由長方體狀的空間構(gòu)成的嵌合凹部601。嵌合凹部601、 即各觸點單元64在上部殼體63中排列成鋸齒格子狀。 一個嵌合凹部 601與一個觸點單元64對應。在各嵌合凹部601中插入并嵌合后述的 同軸電纜用插頭81或單線用插頭82。上部殼體63具有底板633。底板633使上述長方體狀的空間和下 部殼體62隔開。其中，在底板633上形成通孔633a 633c。通孔633a與信號用第一觸點641 (643c)對應。信號用第一觸點 641 ( 643c)的上部前端位于通孔633a內(nèi)。同軸電纜用插頭81的信號 用觸點811 (參照圖14)貫通該通孔633a，與插座6的信號用第一觸 點641電連接。而單線用插頭82的信號用觸點823 (參照圖16 )貫通 該通孔633a,與插座6的信號用第一觸點643c (641)電連接。通孔633b與信號用第二觸點643a、 643b對應。因而，在一個嵌 合凹部601中形成兩個通孔633b。信號用第二觸點643a、 6"b的上
部前端位于通孔633b內(nèi)。單線用插頭82的信號用觸點821、 822貫通 該通孔633b，與插座6的信號用第二觸點643a、 643b電連接。通孔633c與接地用觸點642a、 642b對應。因而，在一個嵌合凹 部601中也形成兩個通孔633c。接地用觸點642a、 642b的上部前端 位于通孔633c內(nèi)。同軸電纜用插頭81的接地用觸點812、 813貫通該 通孔633c，與插座6的接地用觸點642a、 642b電連接。上部殼體63的側(cè)壁631向著嵌合凹部601的內(nèi)部形成卡合爪634。 該卡合爪634如后所述，用于切實地進行同軸電纜用插頭81或單線用 插頭82的嵌合。圖13是模式表示構(gòu)成一個觸點單元64的信號用第一觸點641 (643c)、接地用觸點642a、 642b、信號用第二觸點643a、 643b的 配置的圖。該配置是從插座6的嵌合面?zhèn)瓤吹呐渲?。如圖13所示，接地用觸點642a、 642b以信號用第一觸點641為 中心配置在相互對稱的位置上。因而，信號用第一觸點641 ( 643c) 和接地用觸點642a、 642b ( 643c )配置在直線上。信號用第一觸點641 及接地用觸點642a、 642b構(gòu)成與同軸電纜用插頭81電連接的第一觸 點群。信號用第一觸點643c (641)及信號用第二觸點643a、 643b構(gòu)成 與單線用插頭82電連接的第二觸點群。在第二觸點群中，信號用第二 觸點643a、 643b分別位于距信號用第一觸點643c等距離的兩點上。 因而，當連接信號用第一觸點643c及信號用第二觸點643a、 643b各 自的中心時，就劃出了等腰三角形。該等腰三角形包含正三角形。另外，在圖13中，第二觸點群的各信號用第二觸點643a、 643b 把連接第一觸點群的信號用第一觸點641及各接地用觸點642a、 642b 的直線作為邊界，配置在任一側(cè)。該要點是將信號用第二觸點643a、 643b和信號用第一觸點641及各接地用觸點642a、 642b配置在同一 直線上的情況排除在外。這是因為若所有的觸點配置在一條直線上， 則配置方向的長度過長。另外，該要點將信號用第二觸點643a、 643b 配置成夾著連接信號用第一觸點641及各接地用觸點642a、642b的直
線的情況排除在外。這是由于接地用觸點642a和信號用第二觸點 643a、以及接地用觸點642b和信號用第二觸點643b分別由整體的觸 點部件66構(gòu)成，而不能做成那樣的配置的緣故。以上那樣配置信號用第一觸點641 (643c)、接地用觸點642a、 642b、信號用第二觸點643a、 643b的插座6能接收同軸電纜用插頭 81及單線用插頭82中的任一個。其次，如圖13所示， 一個觸點單元64中的連接接地用觸點642a、 642b的直線和連接信號用第二觸點643a、 643b的直線平行。另外， 接地用觸點642a、 642b及信號用第二觸點643a、 643b處在矩形的頂 點。即，在觸點單元64中，在矩形區(qū)域內(nèi)高密度地配置五個觸點。插座6的第一觸點群和第二觸點群兼用信號用第一觸點641 (643c)。當然，信號用第一觸點641和信號用第一觸點643c也可以 分別設置。但是，由此，信號用第一觸點641和信號用第一觸點643c 所占用的面積增加，相對一個觸點單元來說嵌合凹部變大。因此，插 座6通過兼用信號用第一觸點641和信號用第一觸點643c而可以高密 度地配置各觸點。另外，該兼用在有助于削減插座6的部件數(shù)量的同 時能把外部連接用觸點集中成為 一個。在本實施方式中的電纜7上，包含用于傳遞高速信號的同軸電纜 71和用于電源供給或傳遞低速信號的單線72。圖14是表示同軸電纜用插頭81的外觀的立體圖。而圖15是表示 同軸電纜用插頭81的主要部分的立體圖。如圖14及圖15所示，同軸電纜用插頭81安裝在同軸電纜71上。 同軸電纜71如所熟知那樣，由中心導體711、包圍中心導體711周圍 的電介體712、圍在電介體712周圍的外部導體713和包圍外部導體 713的絕緣體外皮714構(gòu)成。同軸電纜用插頭81具有信號用觸點811和一對接地用觸點812、 813。信號用觸點811和一對接地用觸點812、 813的位置關系與插座 6的上述第一觸點群一樣。即，接地用觸點812、 813以信號用觸點811 為中心而處于互相對稱的位置上。另外，由各個板狀體組成的接地用
觸點812、 813配置成其平面互相平行。把接地用觸點812、 813這樣 做成各個板狀體，且做成夾著信號用觸點811的結(jié)構(gòu)，是為了盡可能 使同軸電纜71和特性阻抗匹配，力圖將同軸電纜用插頭81做成與同 軸結(jié)構(gòu)在電氣方面等價。插座6也與接地用觸點812、 813對應，把接 地用觸點642a、 642b做成板狀體。信號用觸點811和一對接地用觸點812、813保持在由絕緣材料組 成的殼體814上。在殼體814內(nèi)部設有收容信號用觸點811等部件的 空間。在殼體814的內(nèi)部，這些觸點可以確保與同軸電纜71的電連接。 信號用觸點811借助與其電連接的中心導體連接片815，與同軸電纜 71的中心導體711電連接。另外，接地用觸點812、 813借助與其電 連接的外部導體連接片816，與同軸電纜71的外部導體713電連接。 外部導體連接片816,通過圖中其底部及頂部與間隔殼體714內(nèi)部的 所述空間的壁接觸，即使同軸電纜71扭轉(zhuǎn)，也能防止信號用觸點811 及接地用觸點812、 813的相對位置隨之移動。同軸電纜用插頭81形成外部導體713分支成兩個接地用觸點 812、 813的結(jié)構(gòu)。另外，分支的插座6的兩個接地用觸點642a、 642b 有時處在插座6的外部，在第二外部連接用觸點645的前部集中在一 個電路中。此時，因為接地用觸點812和接地用觸點642a,還有接地 用觸點813和接地用觸點642b電連接，因而形成接地環(huán)路。由于插座 6如上所述，可以在觸點單元64內(nèi)高密度地配置各觸點，更具體地， 使接地用觸點642a、 642b的間隔變小，故可以降低由接地環(huán)路產(chǎn)生的 噪聲。其次，圖16是表示單線用插頭82的外觀的立體圖。而圖17是表 示單線用插頭82的主要部分的立體圖。如圖16所示，單線用插頭82安裝在三根單線72上。單線72, 如所熟知那樣，由信號導體721和包圍信號導體721周圍的絕緣體722 構(gòu)成。單線用插頭82具有三個信號用觸點821 823。三個信號用觸點 821-823的位置關系與插座6的上述第二觸點群一樣。即，信號用觸 點821、 822各自位于離信號用觸點823等距離的兩點上。因而，若連 接信號用觸點821-823各自的中心的話，則從嵌合面看時就會描劃出 等腰三角形。信號用觸點821 823保持在由絕緣材料組成的殼體824上。殼體 824的嵌合部與同軸電纜用插頭81的殼體814的嵌合部具有相同的外 部形狀。插座6用于接收同軸電纜用插頭81及單線用插頭82的任一 個。其中，在此所說的相同，是說同軸電纜用插頭81及單線用插頭 82能嵌合程度的相同性，而并不是在物理上要求達到的完全相同的概 念。在殼體824的內(nèi)部，這些觸點確保與單線72的電連接。信號用觸 點821 (822、 823)借助與其電連接的信號導體連接片826與單線72 的信號導體721電連接。通過利用與信號用觸點821及信號導體連接 片826整體形成的U字形的絕緣體保持部827鉚接單線72的絕緣體 722，從而使信號用觸點821和單線72牢固地接合。另外，跟信號用 觸點821等整體形成的U字形的穩(wěn)定部件828與所述外部導體連接片 816 —樣，防止信號用觸點821 823的相對位置移動。另外，在殼體824的外周形成卡合突起825。該卡合突起825在 單線用插頭82與插座6嵌合時，通過與上部殼體63的卡合爪634卡 合，防止單線用插頭82從插座6脫出。而雖然沒有圖示，但在同軸電 纜用插頭81上也形成和單線用插頭82 —樣的卡合突起。這樣，在插座6上嵌合同軸電纜用插頭81時，在由插座6的上部 殼體63形成的嵌合凹部601中，從形成有信號用觸點811和一對接地 用觸點812、 813的一側(cè)插入同軸電纜用插頭81。這樣，插座6的信 號用第一觸點641和同軸電纜用插頭81的信號用觸點811接觸。另外， 插座6的接地用觸點642a和同軸電纜用插頭81的接地用觸點812接 觸，插座6的接地用觸點642b和同軸電纜用插頭81的接地用觸點813 接觸。另一方面，在插座6上嵌合單線用插頭82時，在由插座6的上部 殼體63形成的嵌合凹部601中，從形成有信號用觸點821 823的一側(cè) 插入單線用插頭82。這樣，插座6的信號用第一觸點643c和單線用
插頭82的信號用觸點823接觸。另外，插座6的信號用第二觸點643a 和單線用插頭82的信號用觸點821接觸，插座6的信號用第二觸點 643b和單線用插頭82的信號用觸點822接觸。以上的插座6具有與同軸電纜用插頭81電連接的第一觸點群和與 單線用插頭82電連接的第二觸點群，可以接收同軸電纜用插頭81和 單線用插頭82的任一種插頭。同軸電纜用插頭81的接地用觸點812、813處于以信號用觸點811 為中心互相對稱的位置上。另 一方面，插座6的接地用觸點642a、 642b 處于以信號用第一觸點641為中心互相對稱的位置上。而且，接地用 觸點812、 813及接地用觸點642a、 642b由具有規(guī)定表面積的板狀體 構(gòu)成。以上結(jié)構(gòu)有助于同軸電纜用插頭81及插座6和同軸電纜71的 特性阻抗的匹配。插座6的信號用第一觸點641和信號用第一觸點643c由一個第一 觸點部件65構(gòu)成，且接地用觸點642a( 642b)和信號用第二觸點643a (643b)由一個第二觸點部件66構(gòu)成。這樣，由于插座6可以由兩種 觸點部件構(gòu)成，故可以削減構(gòu)成一個觸點單元64的部件數(shù)量。因而， 可以高密度地配置構(gòu)成觸點單元64的各觸點，在配置多個觸點單元 64時，可以將插座6的整體形成得緊湊。另外，插座6由于由一個第一觸點部件65和兩個觸點部件66構(gòu) 成觸點單元64，所以，對于一個觸點單元64來講，外部連接用觸點 為三個就夠了。這也賦予插座6的緊湊化。另外，插座6在觸點單元64的矩形區(qū)域內(nèi)配置有各觸點。因而， 對于與該觸點單元64嵌合的同軸電纜用插頭81及單線用插頭82的殼 體814、 824，可使其嵌合部的剖面為矩形且做成相同的形狀。進而，由于插座6把各觸點單元64排列成鋸齒格子狀，因而接地 用觸點和信號用觸點交替地配置，其結(jié)果，也可以收到抑制高頻特性 下降的效果。另外，本實施方式中的中繼連接器(插座)6的嵌合孔601與本 發(fā)明中的第一嵌合部相當，本實施方式中的中繼連接器6的輸出端子602與本發(fā)明中的第二嵌合部相當。如上所述，在本實施方式中，在中繼連接器6的第一嵌合部601 中能夠嵌合同軸電纜用插頭81和單線用插頭82雙方，由于可以用一 種中繼連接器6與多種電纜對應，故可以降低高精度定位系統(tǒng)5A的 成本。另外，通過在中繼連接器6的第一嵌合部601能夠嵌合中同軸電 纜用插頭81和單線用插頭82雙方，從而可顯著減輕在現(xiàn)有的中繼基 板6，上連接電纜7的作業(yè)的負擔，同時，可以不用一個個區(qū)別同軸 電纜和單線而對中繼基板進行連接作業(yè)。返回到圖6,在各中繼連接器6的殼體61的下側(cè)兩端部設有向下 方突出的導銷603。另外，在設于測試頭4上部的測試頭側(cè)連接器41 的上側(cè)兩端部上也形成導孔43,使其與導銷603相向。在把高精度定 位系統(tǒng)5A裝在測試頭4上時，導銷603被導孔43導向，而能使高精 度定位系統(tǒng)5A容易相對測試頭4進行定位。另外，也可以在中繼連 接器6上設置導孔，在測試頭側(cè)連接器41上設置導銷。進而，如該圖所示，在各中繼連接器6的殼體61的下側(cè)兩端部形 成從下側(cè)側(cè)面向上側(cè)側(cè)面貫通的貫通孔604,在構(gòu)架52上，在與該貫 通孔604對應的位置也形成固定孔52b。而通過借助貫通孔604使螺 栓605與固定孔52b連接，由此能把各個中繼連接器6固定在構(gòu)架52 上?；氐綀D4,在固定多個中繼連接器6的構(gòu)架52的上部，沿Z軸方 向借助若干能上下運動的間隔柱52a設置間隔構(gòu)架93。在該間隔構(gòu)架93的上部，借助副插座板隔板95設置副插座板96。 進而，在該副插座板96的上部借助插座板隔板97設置插座板98。而且，中繼連接器6和副插座板96之間利用多個電纜7連接。在 電纜7的下側(cè)端部安裝有器件側(cè)連接器8。該器件側(cè)連接器8能與中 繼連接器6的嵌合孔601可拆裝地連接。另一方面，電纜7的上側(cè)端 部通過錫焊等方式與副插座板96直接連接。圖18是表示本實施方式中的器件側(cè)連接器、中繼連接器及測試頭側(cè)連接器的部分立體圖。如圖18所示，當器件側(cè)連接器8嵌合在中繼連接器6的嵌合孔 601中時，器件側(cè)連接器8的各端子與中繼連接器6的輸出端子602 電連接，進而，當中繼連接器6的輸出端子602嵌合在測試頭側(cè)連接 器41的嵌合孔42中時，高精度定位系統(tǒng)5A和測試頭4電連接。而 測試頭側(cè)連接器41雖沒有特別地圖示，當實際上與收容在測試頭4 中的管腳電路電連接。在本實施方式中，由于采用中繼連接器6代替現(xiàn)有的中繼基板6，， 故可以沒有電纜7端部的錫焊作業(yè)，很容易地制造高精度定位系統(tǒng) 5A。如圖4所示，在副插座板96上設有中繼終端961，副插座板96 和插座板98之間利用該中繼終端961電連接。為了便于說明，在圖4中只表示了兩組插座板98，但實際上是按 例如4行16列的排列配置有64個插座板98。在各插座板98的上部設置具有多個觸針(未圖示)的插座99， 在該插座99的周圍設置插座導向件991。而插座導向件991是在使被 試驗IC器件與插座99的觸針銷電接觸時、用于使該IC器件定位的 引導機構(gòu)，根據(jù)情況不同而可以省略。在以上的第一實施方式中，對在SBC型的高精度定位系統(tǒng)中適用 本發(fā)明的例子進行了說明，但沒有特別限定，在以下各種類型的高精 度定位系統(tǒng)中也可以適用本發(fā)明。<笫二實施方式>圖19是表示本發(fā)明第二實施方式的高精度定位系統(tǒng)及測試頭的 剖視圖。本實施方式的高精度定位系統(tǒng)5B如圖19所示，是通過更換最上 部的DSA ( Device Specific Adapter) 90就能與凈皮試驗IC器件的品種 更換對應的CLS (Cable Less)型的高精度定位系統(tǒng)。該高精度定位 系統(tǒng)5B如該圖所示，由裝在測試頭4上部的母板51及安裝在該母板 51上的DSA90構(gòu)成。
本實施方式的高精度定位系統(tǒng)5B從插座99到間隔構(gòu)架93作為 DSA90而整體構(gòu)成，DSA90能由連接器92從母板51拆裝，在這一點 上與第一實施方式的高精度定位系統(tǒng)5A不同。DSA90在性能板91的上部設有間隔構(gòu)架93,進而，在其上部借 助插座板隔板97設置插座板98。在插座板98上安裝插座99。性能板91和插座板98之間用連接板94連接。另外，在性能板 91上設有多個用于與母板51拆裝分離的成對連接器92。該連接器92 的一方安裝在電纜7的一個端部上。與第一實施方式一樣，在電纜7的另一端部上安裝有器件側(cè)連接 器8。在該實施方式的高精度定位系統(tǒng)5B的最下部，在第一實施方式 中詳述的多個中繼連接器6沿高精度定位系統(tǒng)5B的進深方向按實質(zhì) 上平行排列的狀態(tài)設置。器件側(cè)連接器8能與各中繼連接器6的嵌合孔601可拆裝地連接。當器件側(cè)連接器8嵌合在中繼連接器6的嵌合孔601中時，器件 側(cè)連接器8的各端子與中繼連接器6的輸出端子602電連接，進而， 當中繼連接器6的輸出端子602嵌合在測試頭側(cè)連接器41的嵌合孔 42中時，高精度定位系統(tǒng)5B和測試頭4電連接。<第三實施方式>圖20是表示本發(fā)明第三實施方式的高精度定位系統(tǒng)及測試頭的剖 視圖。本實施方式的高精度定位系統(tǒng)5C如圖20所示，是每次被試驗IC 器件的品種更換時都更換高精度定位系統(tǒng)5C整體的CCN (Cable Connection)型的高精度定位系統(tǒng)。該高精度定位系統(tǒng)5C，在該高精 度定位系統(tǒng)5C中完全沒有能分離的部分這一點上，與第一實施方式 及第二實施方式的高精度定位系統(tǒng)5A、 5B不同。在該高精度定位系統(tǒng)5C的最下部，在第一實施方式中詳述的多 個中繼連接器6沿高精度定位系統(tǒng)5C的進深方向按實質(zhì)上平行排列 的狀態(tài)設置。在各中繼連接器6的嵌合孔601中能可拆裝地連接安裝 在電纜7端部上的器件側(cè)連接器8。
電纜7的另一端部用錫焊直接與插座板98連接。在插座板98上 安裝插座99。在該實施方式中，由于中繼連接器6和插座板98直接 連接，故可以確保高質(zhì)量的試驗性能。當器件側(cè)連接器8嵌合在中繼連接器6的嵌合孔601中時，器件 側(cè)連接器8的各端子與中繼連接器6的輸出端子602電連接，進而， 當中繼連接器6的輸出端子602嵌合在測試頭側(cè)連接器41的嵌合孔 42中時，高精度定位系統(tǒng)5C和測試頭4電連接。在以上說明的第一至第三實施方式中，由于通過采用中繼連接器 6代替現(xiàn)有的中繼基板6，，沒有電纜7端部的錫焊作業(yè)，故很容易地 制造高精度定位系統(tǒng)5A ~ 5C。另外，在采用現(xiàn)有的中繼基板6，時，必須事先設計電路配線、 制造專用的基板。與此相對的是，在本實施方式中，通過針對中繼連 接器6有選擇地連接器件側(cè)連接器8，從而可以組成任意的電路配線。另外，在修理或更換現(xiàn)有的中繼基板6，時，必須拆下被錫焊的 部位而致使操作性變差。與此相對的是，在本實施方式中，由于只從 中繼連接器6拆裝器件側(cè)連接器8就可以修理及更換中繼連接器6, 因而維護性優(yōu)良。進而，在采用現(xiàn)有的中繼基板6，時，在通孔等中發(fā)生阻抗不匹 配，高頻信號的傳輸性變差。與此相對的是，在本實施方式中，由于 不使用電路基板，可以抑制阻抗的不匹配。另外，由于同軸電纜用插頭81和單線用插頭82雙方都能夠與中 繼連接器6的第一嵌合部601嵌合，因而，能夠降低高精度定位系統(tǒng) 5A 5C的成本。在以上的第一至第三實施方式中，對在高精度定位系統(tǒng)中適用本 發(fā)明的例子進行了說明，所述高精度定位系統(tǒng)在試驗中使用封裝狀態(tài) 的IC器件，但對此沒有特別限定，在以下那樣的晶片母板中也可以 適用本發(fā)明，所述晶片母板用于以在晶片上制造的IC器件為試驗對 象的試驗。<第四實施方式>
圖21是表示本發(fā)明第四實施方式的晶片母板及測試頭的剖視圖。 本發(fā)明中的電子部件試驗裝置是用于測試在晶片W上形成的IC 器件的裝置，包括在測試器(未圖示)中借助電纜(未圖示)電連接 的測試頭4、與晶片W上的被試驗IC器件電接觸的探針卡2000、和 向探針卡2000推壓晶片W的探測器3000。探針卡2000如圖21所示，借助晶片母板(接口裝置)1000與測 試頭4電連接。該探針卡2000由以下部件構(gòu)成，即，與晶片W上的 IC器件的輸入輸出端子電接觸的多個探針2100、安裝該探針2100的 印刷電路板2200、用于使探針卡2000和晶片母板1000電連接的ZIF (Zero Insertion Force)連接器2300、和用于加強探針卡2000的加 強板2400。該探，針卡2000如圖21所示，探針2100經(jīng)由中央開口而面臨下方 地保持在環(huán)狀的卡托3100上，進而，該卡托3100固定在環(huán)狀的轉(zhuǎn)接 器3200上。在測試頭4的下部裝有晶片母板1000,在該晶片母板1000的最 下部設有ZIF連接器1200。從ZIF連接器1200導出多個電纜1100， 在各電纜1100的上側(cè)端部，與第一實施方式一樣，安裝有器件側(cè)連接 器1300。而作為電纜1100可以舉出例如用于傳輸高速信號的同軸電 纜、或用于電源供給或傳輸?shù)退傩盘柕膯尉€等。在晶片母板IOOO的最上部，與第一實施方式中詳述的中繼連接器 6 —樣的多個中繼連接器1400沿晶片母板1000的進深方向按實質(zhì)上 平行排列的狀態(tài)設置。能在各中繼連接器1400的嵌合孔中可拆裝地連 接安裝在電纜1100端部上的器件側(cè)連接器1300。在該實施方式中，與第一至第三實施方式不同，各中繼連接器 1400的輸出端子1500向上方突出，以便能嵌合在設于測試頭4最下 部的測試頭側(cè)連接器41的嵌合孔中。當器件側(cè)連接器1300嵌合在中繼連接器1400中時，器件側(cè)連接 器1300的各端子與中繼連接器1400的輸出端子1500電連接，進而， 當中繼連接器1400的輸出端子1500嵌合在測試頭側(cè)連接器41的嵌合
孔中時，晶片母板1000和測試頭4電連接。在以上說明的第四實施方式中，由于通過采用中繼連接器1400 而不需要電纜1100端部的錫焊作業(yè)，故可以容易地制造晶片母板 1000。另外，通過對中繼連接器1400有選擇地連接器件側(cè)連接器1300， 可以組成任意的電路配線。另外，由于只從中繼連接器1400拆裝器件 側(cè)連接器1300就能進行中繼連接器1400的修理及更換，故維護性良 好。進而，在本實施方式中，由于不用電路基板，可以抑制阻抗的不 匹配。另外，由于可在中繼連接器1400的第一嵌合部中嵌合同軸電纜 用插頭和單線用插頭雙方，所以可降低晶片母板IOOO的成本。以上說明的實施方式是為了容易理解而記述的，不是為了限定本 發(fā)明而記述的。因而，上述實施方式所公示的各要素也包含屬于本發(fā) 明技術(shù)范圍的所有設計變更及等價物的意義。在本發(fā)明中，不管直接還是間接，只要插座板98和電纜7電連接 即可。例如像第一實施方式的SBC型或第二實施方式的CLS型那樣， 即使在插座板98和電纜7之間隔設中繼終端961或連接器92,插座 板98和電纜7間接地連接，也可以適用本發(fā)明。另外，像第三實施方 式的CCN型那樣，插座板98和電纜7直接連接時也可以適用本發(fā)明。另外，在上述實施方式中，說明了器件側(cè)連接器8插入中繼連接 器6的嵌合孔601中，但在本發(fā)明中對此沒有特別限定。例如也可以 構(gòu)成為在器件側(cè)連接器8上設置嵌合孔的同時，在中繼連接器6的上 面設置突出部，在器件側(cè)連接器8中插入中繼連接器6。同樣，在上述實施方式中，說明了中繼連接器6的突出的輸出端 子602插入測試頭側(cè)連接器41的嵌合孔42中，但在本發(fā)明中對此沒 有特別限定。例如也可以構(gòu)成為在中繼連接器6的下面設置嵌合孔的 同時，在測試頭側(cè)連接器41上設置突出部，在中繼連接器6中插入測 試頭側(cè)連接器41。
權(quán)利要求
1.一種連接器組裝體，其特征在于，具備安裝在電纜的一個端部上的多種電纜側(cè)連接器、和可拆裝地連接所述多種電纜側(cè)連接器的中繼連接器；所述中繼連接器具有第一嵌合部，該第一嵌合部具有能夠嵌合所有種類的所述電纜側(cè)連接器的形狀。
2. 如權(quán)利要求1所述的連接器組裝體，其特征在于，所述多種電 纜側(cè)連接器包括安裝在由信號線和接地線構(gòu)成的同軸電纜的一個端 部上的同軸連接器、和安裝在單線的一個端部上的單線連接器；所述中繼連接器的所述第一嵌合部具有能夠嵌合所述同軸連接器 并且能夠嵌合所述單線連接器的形狀。
3. 如權(quán)利要求2所述的連接器組裝體，其特征在于，所述中繼連 接器具有設置有多個所述第一嵌合部的連接器本體。
4. 如權(quán)利要求2或3所述的連接器組裝體，其特征在于，所述同 軸電纜由信號線和接地線構(gòu)成；所述同軸連接器具有電連接所述信號線的信號端子、和電連接 所述接地線的第一及第二接地端子；所述單線連接器具有分別電連接三個單線的第一至第三單線端子。
5. 如權(quán)利要求4所述的連接器組裝體，其特征在于，所述第一嵌 合部具有第一至第三輸出端子；在所述同軸連接器與所述第一嵌合部嵌合時，所述信號端子與所 述第一輸出端子電連接，而且，所述第一及第二接地端子分別與所述 第二及第三輸出端子電連接；在所述單線連接器與所述第一嵌合部嵌合時，所述第一至第三單 線端子分別與所述第一至第三輸出端子電連接。
6. 如權(quán)利要求2或3所述的連接器組裝體，其特征在于，所述第 一嵌合部具有用于固定與該第一嵌合部嵌合的所述同軸連接器或所述 單線連接器的鎖定機構(gòu)；所述同軸連接器及所述單線連接器具有用于卡合所述鎖定機構(gòu)的 卡合突起。
7. 如權(quán)利要求2或3所述的連接器組裝體，其特征在于，所述中 繼連接器的所述連接器本體具有能夠嵌合與電路基板電連接的基板側(cè) 連接器的第二嵌合部。
8. —種接口裝置，其安裝在用于進行被試驗電子部件測試的測試 頭上，中繼所述被試驗電子部件和所述測試頭之間的電連接，其特征 在于，具備權(quán)利要求7所述的連接器組裝體；所述中繼連接器設置在所述接口裝置中與所述測試頭鄰接的位置上；所述電纜的另一端電連接在與所述被試驗電子部件電接觸的計測 板上；所述基板側(cè)連接器與所述測試頭電連接。
9. 一種插座型連接器，其能夠接收連接有同軸電纜的同軸電纜用 插頭型連接器以及連接有多個單線的單線用插頭型連接器的任一種連 接器，其特征在于，具備第一觸點群，該第一觸點群包含信號用第一觸點及以所述信號用 第一觸點為中心對稱定位的一對接地用觸點，用于與所述同軸電纜用 插頭型連接器電連接；第二觸點群，該第二觸點群包含所述信號用第 一觸點及分別處于 距所述信號用第 一觸點相等距離的兩點上的一對信號用第二觸點，用 于與所述單線用插頭型連接器電連接；和絕緣殼體，該絕緣殼體用于保持所述第一觸點群及所述第二觸點群。
10. 如權(quán)利要求9所述的插座型連接器，其特征在于，從嵌合面 觀看時，所述第二觸點群的各第二信號用觸點以連結(jié)所述一對接地用 觸點的直線作為邊界而配置在任一側(cè)。
11. 如權(quán)利要求9或IO所述的插座型連接器，其特征在于，所述 一對接地用觸點是以所述信號用第一觸點為中心對稱配置的互相平行 的板狀體。
12. 如權(quán)利要求9或IO所述的插座型連接器，其特征在于，所述 信號用第一觸點及各所述信號用第二觸點具有彼此相同的形狀。
13. 如權(quán)利要求9或IO所述的插座型連接器，其特征在于，相對 于所述信號用第一觸點位于同側(cè)的一對所述接地用觸點中的一個以及 一對所述信號用第二觸點中的一個形成為一體。
14. 如權(quán)利要求9或IO所述的插座型連接器，其特征在于，具備 多個由所述第一觸點群及第二觸點群構(gòu)成的觸點單元。
15. —種連接器組裝體，其包括插座型連接器和同軸電纜用插頭 型連接器或單線用插頭型連接器，該插座型連接器能夠接收連接有同 軸電纜的同軸電纜用插頭型連接器以及連接有多個單線的單線用插頭 型連接器的任一種連接器，所述同軸電纜用插頭型連接器或所述單線 用插頭型連接器與上述插座型連接器電連接，其特征在于，所述插座型連接器具備第一觸點群，該第一觸點群包含信號用第一觸點及以所述信號用 第一觸點為中心對稱定位的一對接地用觸點，用于與所述同軸電纜用 插頭型連接器電連接；第二觸點群，該第二觸點群包含所述信號用第一觸點及分別處于 距所述信號用第一觸點相等距離的兩點上的一對信號用第二觸點，用 于與所述單線用插頭型連接器電連接；和絕緣殼體，該絕緣殼體用于保持所述第一觸點群及所述第二觸點群。
16. —種接口裝置，其安裝在用于進行被試驗電子部件測試的測 試頭上，中繼所迷被試驗電子部件和所述測試頭之間的電連接，其特 征在于，具備如權(quán)利要求15所述的連接器組裝體；所述中繼連接器設置在所述接口裝置中與所述測試頭鄰接的位置上；所述電纜的另一端電連接在與所述被試驗電子部件電接觸的計測 板上；所述基板側(cè)連接器與所述測試頭電連接。
全文摘要
提供一種通用性優(yōu)良的連接器組裝體。用于把電纜(7)與測試頭(4)電連接的連接器組裝體包括安裝在電纜(7)一個端部上的多種電纜側(cè)連接器(8)、和可拆裝地連接多種電纜側(cè)連接器(8)的中繼連接器(6)；中繼連接器(6)具有可嵌合所有種類的電纜側(cè)連接器(8)的形狀的第一嵌合部(601)、和可與測試頭側(cè)連接器(41)嵌合的輸出端子(602)，該測試頭側(cè)連接器(41)與測試頭(4)的管腳電路電連接。
文檔編號G01R1/04GK101149395SQ200710142459
公開日2008年3月26日 申請日期2007年8月27日 優(yōu)先權(quán)日2006年9月22日
發(fā)明者大澤和孝, 松村茂, 武正英一郎, 泉雄一郎, 濱博之 申請人:株式會社愛德萬測試;安普泰科電子有限公司