專利名稱：懸浮式反磁敏感質(zhì)量微型加速度計的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及的是一種微機(jī)電技術(shù)領(lǐng)域的微型加速度計，具體是一種懸浮式反磁敏感質(zhì)量微型加速度計。
背景技術(shù)：
隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展，慣性傳感器件在過去的幾年中成為最成功，應(yīng)用最廣泛的微機(jī)電系統(tǒng)器件之一，而微加速度計(microaccelerometer)作為重要的慣性傳感器件，一直是國內(nèi)外研究熱點(diǎn)。其中，懸浮式微加速度計相比非懸浮式的微加速度計由于消除了由于制造工藝以及機(jī)械連接支撐所帶來的熱噪聲對于支撐剛度的影響，理論上可以獲得極高的分辨率。加速度計結(jié)合陀螺儀(用來測角速度)，就可以對物體進(jìn)行精確定位，用于導(dǎo)航，最成功的應(yīng)用就是汽車工業(yè)領(lǐng)域，汽車的防撞氣囊就是利用加速度計來控制的典型例子。
經(jīng)對現(xiàn)有技術(shù)的文獻(xiàn)檢索發(fā)現(xiàn)，Takao MURAKOSHI等人在《Jpn.J.Appl.Phys.》(Vol.42.2003，2468-2472頁)上發(fā)表“Electrostatically LevitatedRing-Shaped Rotational-Gyro/Accelerometer”，該文中提出一種盤形轉(zhuǎn)子靜電懸浮微陀螺/微加速度計。其不足之處在于需要提供懸浮電極和徑向控制電極，工藝相對復(fù)雜。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是針對現(xiàn)有技術(shù)中的上述不足，提供了一種懸浮式反磁敏感質(zhì)量微型加速度計。相比傳統(tǒng)靜電懸浮省去了提供懸浮靜電電極、線圈或電容極板等靜電懸浮控制單元，且改為采用永磁材料和反磁材料相結(jié)合實現(xiàn)自穩(wěn)懸浮的新型懸浮式反磁敏感質(zhì)量微型加速度計，使其采用懸浮式反磁敏感質(zhì)量塊，依靠上、下定子對反磁轉(zhuǎn)子提供平衡重力的懸浮力和側(cè)向穩(wěn)定力，實現(xiàn)自穩(wěn)定懸浮，工藝更加簡單，并可以同時檢測包括沿X、Y、Z軸的三軸線加速度以及繞X、Y軸二軸角加速度。
本發(fā)明是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)。本發(fā)明微型加速度計整體采用的是三層結(jié)構(gòu)，由上定子、轉(zhuǎn)子和下定子三部分構(gòu)成。上定子和下定子通過上定子的電氣導(dǎo)通凹槽與下定子的接線銅柱的鍵合來實現(xiàn)電氣和機(jī)械連接，轉(zhuǎn)子懸浮在空腔中，采用盤形形狀，同時在轉(zhuǎn)子中間反磁材料層的上、下表面分別覆蓋Ti層，使三者形成夾層結(jié)構(gòu)。
上定子和下定子結(jié)構(gòu)相似，采用的襯底均為鐵氧體，形狀都是方形。
上定子主要結(jié)構(gòu)有上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X、Y軸的角加速度的電容極板以及上定子公共電容極板結(jié)構(gòu)，二者位于同一平面即上定子引線層之上，平面幾何中心分布的是上定子公共電容極板結(jié)構(gòu)，在以平面幾何中心為圓心的由內(nèi)往外的三個同心圓周上，第一個同心圓周上均勻分布著上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X、Y軸的角加速度的電容極板。除主要結(jié)構(gòu)外，上定子還包括電氣導(dǎo)通凹槽、上定子檢測X軸方向和Y軸方向線加速度的電容極板、弧形限位銅柱、上定子鐵氧體襯底、上定子絕緣Al2O3層，以及上定子引線層。各組成結(jié)構(gòu)之間的主要位置關(guān)系是電氣導(dǎo)通凹槽、上定子檢測X軸方向和Y軸方向線加速度的電容極板以及弧形限位銅柱，位于上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X、Y軸的角加速度的電容極板、上定子公共電容極板結(jié)構(gòu)所在同一平面即上定子引線層之上，平面幾何中心分布的是上定子公共電容極板結(jié)構(gòu)，在以平面幾何中心為圓心的由內(nèi)往外的三個同心圓周上，第一個同心圓周上均勻分布著上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X、Y軸的角加速度的電容極板，第二、第三個同心圓周上分別依次均勻分布著上定子檢測X軸方向和Y軸方向線加速度的電容極板以及弧形限位銅柱；在弧形限位銅柱往外，在上定子的四條邊各自的平行方向上，電氣導(dǎo)通凹槽呈直線排布。
下定子主要結(jié)構(gòu)有下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X、Y軸的角加速度的電容極板以及下定子公共電容極板結(jié)構(gòu)，二者位于同一平面即下定子引線層之上，平面幾何中心分布的是下定子公共電容極板結(jié)構(gòu)，在以平面幾何中心為圓心的由內(nèi)往外的三個同心圓周上，第一個同心圓周上均勻分布著下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X、Y軸的角加速度的電容極板。除主要結(jié)構(gòu)外，下定子還包括引線電極、接線銅柱、弧形限位銅柱，下定子檢測X軸方向和Y軸方向線加速度的電容極板、下定子鐵氧體襯底、下定子絕緣Al2O3層，以及下定子引線層。各組成結(jié)構(gòu)之間的主要位置關(guān)系是引線電極、接線銅柱、弧形限位銅柱以及下定子檢測X軸方向和Y軸方向線加速度的電容極板，位于下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X、Y軸的角加速度的電容極板、下定子公共電容極板結(jié)構(gòu)所在同一平面即下定子引線層之上，平面幾何中心分布的是下定子公共電容極板結(jié)構(gòu)，在以平面幾何中心為圓心的由內(nèi)往外的三個同心圓周上，第一個同心圓周上均勻分布著下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X、Y軸的角加速度的電容極板，第二、第三個同心圓周上分別依次均勻分布著下定子檢測X軸方向和Y軸方向線加速度的電容極板以及弧形限位銅柱；在弧形限位銅柱往外，在下定子的四條邊各自的平行方向上，接線銅柱呈直線排布；在接線銅柱往外，在下定子的四條邊各自的平行方向上，引線電極呈直線排布。
在上述結(jié)構(gòu)中，上定子公共電容極板結(jié)構(gòu)和下定子公共電容極板結(jié)構(gòu)均包括一個中心區(qū)和四個扇形區(qū)，上、下定子公共電容極板結(jié)構(gòu)的四個扇形區(qū)以及上、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X、Y軸的角加速度的電容極板采用的是永磁材料。轉(zhuǎn)子則采用反磁材料制作其基片，即轉(zhuǎn)子中間反磁材料層。
本發(fā)明懸浮式反磁敏感質(zhì)量微型加速度計通過上定子的電氣導(dǎo)通凹槽與下定子的接線銅柱的PbSn焊實現(xiàn)鍵合，同時對上、下定子公共電容極板結(jié)構(gòu)的四個扇形區(qū)以及上、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X、Y軸的角加速度的電容極板充磁，使相應(yīng)的電容極板形成N-S一一對應(yīng)的磁極極性相反的關(guān)系。它們之間的吸引力使得上定子和下定子的鍵合更加緊密。
本發(fā)明的轉(zhuǎn)子懸浮轉(zhuǎn)子與上定子和下定子之間的相互作用力即抗磁力為懸浮反磁定子提供了Z向懸浮力，同時也為轉(zhuǎn)子提供沿X、Y軸方向的側(cè)向穩(wěn)定力，進(jìn)而轉(zhuǎn)子實現(xiàn)了在上定子和下定子間的自穩(wěn)定懸浮。
本發(fā)明的信號檢測采用差分電容結(jié)構(gòu)，將電容極板按所需的檢測功能分成若干組，懸浮式反磁敏感質(zhì)量微型加速度計在工作時，對各組差分電容施加不同頻率或多組頻率的高頻載波信號，并采用公共電容耦合輸出至后續(xù)檢測和控制電路，這樣就得到各線加速度和角加速度對應(yīng)的電壓信號，通過對電壓信號的處理，最終得到加速度信號，確定加速度計受到加速度，并施加反饋控制使轉(zhuǎn)子始終保持在自穩(wěn)懸浮的平衡位置。
本發(fā)明解決了現(xiàn)有技術(shù)的不足，采用懸浮式反磁敏感質(zhì)量塊，依靠上、下定子對反磁轉(zhuǎn)子提供平衡重力的懸浮力和側(cè)向穩(wěn)定力，實現(xiàn)自穩(wěn)定懸浮，相比傳統(tǒng)靜電懸浮省去了提供懸浮靜電電極、線圈或電容極板等靜電懸浮控制單元，工藝更加簡單。


圖1為本發(fā)明總體結(jié)構(gòu)示意2為本發(fā)明上定子結(jié)構(gòu)示意3為本發(fā)明下定子結(jié)構(gòu)示意4為本發(fā)明轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)示意圖具體實施方式
下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的實施例作詳細(xì)說明本實施例在以本發(fā)明技術(shù)方案為前提下進(jìn)行實施，給出了詳細(xì)的實施方式和具體的操作過程，但本發(fā)明的保護(hù)范圍不限于下述的實施例。
如圖1，本實施例采用的是三層結(jié)構(gòu)，由上定子120，轉(zhuǎn)子122和下定子121構(gòu)成。上定子120和下定子121通過鍵合實現(xiàn)電氣和機(jī)械連接，并形成空腔，轉(zhuǎn)子122則放置在此空腔內(nèi)。
如圖2，上定子120包括第一號電氣導(dǎo)通凹槽1、第二號電氣導(dǎo)通凹槽2、第三號電氣導(dǎo)通凹槽3、第四號電氣導(dǎo)通凹槽4、第五號電氣導(dǎo)通凹槽5、第六號電氣導(dǎo)通凹槽6、第七號電氣導(dǎo)通凹槽7、第八號電氣導(dǎo)通凹槽8、第九號電氣導(dǎo)通凹槽9、第十號電氣導(dǎo)通凹槽10、第十一號電氣導(dǎo)通凹槽11、第十二號電氣導(dǎo)通凹槽12、第十三號電氣導(dǎo)通凹槽13、第十四號電氣導(dǎo)通凹槽14、第十五號電氣導(dǎo)通凹槽15、第十六號電氣導(dǎo)通凹槽16、第十七號電氣導(dǎo)通凹槽17，上定子檢測X軸方向線加速度的右上第一號電容極板18、上定子檢測X軸方向線加速度的右上第二號電容極板19，上定子檢測Y軸方向線加速度的右下第一號電容極板20、上定子檢測Y軸方向線加速度的右下第二號電容極板21，上定子檢測X軸方向線加速度的左下第一號電容極板22、上定子檢測X軸方向線加速度的左下第二號電容極板23，上定子檢測Y軸方向線加速度的左上第一號電容極板24、上定子檢測Y軸方向線加速度的左上第二號電容極板25，上定子左上弧形限位銅柱26，上定子右上弧形限位銅柱27，上定子右下弧形限位銅柱28，上定子左下弧形限位銅柱29，上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左上第一號電容極板30、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左上第二號電容極板31、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右上第一號電容極板32、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右上第二號電容極板33、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右下第一號電容極板34、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右下第二號電容極板35、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左下第一號電容極板36、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左下第二號電容極板37，上定子公共電容極板中心區(qū)38，上定子鐵氧體襯底39，上定子絕緣Al2O3層40，上定子引線層41，上定子公共電容極板左上N區(qū)123，上定子公共電容極板右上S區(qū)124，上定子公共電容極板右下N區(qū)125，上定子公共電容極板左下S區(qū)126。其連接關(guān)系為上定子絕緣Al2O3層40設(shè)置在上定子鐵氧體襯底39之上，上定子引線層41設(shè)置在上定子絕緣Al2O3層40之上；上定子公共電容極板中心區(qū)38設(shè)置在在上定子引線層41之上且位于上定子引線層41的幾何中心，在上定子公共電容極板中心區(qū)38外圍設(shè)置有上定子公共電容極板左上N區(qū)123、上定子公共電容極板右上S區(qū)124、上定子公共電容極板右下N區(qū)125和上定子公共電容極板左下S區(qū)126，它們在以上定子公共電容極板中心區(qū)38的中心為圓心的圓周上均勻排布，且與上定子公共電容極板中心區(qū)38相連接；在上定子公共電容極板左上N區(qū)123、上定子公共電容極板右上S區(qū)124、上定子公共電容極板右下N區(qū)125和上定子公共電容極板左下S區(qū)126外圍，以上定子公共電容極板中心區(qū)38的中心為圓心的圓周上，按順時針依次均勻分布著上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左上第一號電容極板30、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左上第二號電容極板31、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右上第一號電容極板32、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右上第二號電容極板33、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右下第一號電容極板34、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右下第二號電容極板35、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左下第一號電容極板36、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左下第二號電容極板37，它們構(gòu)成位于以上定子公共電容極板中心區(qū)38的中心為圓心的第一個同心圓上的電容極板結(jié)構(gòu)，稱之為上定子第一同心圓上的電容極板結(jié)構(gòu)；位于上定子第一同心圓上的電容極板結(jié)構(gòu)的外圍，以上定子公共電容極板中心區(qū)38的中心為圓心的圓周上，按順時針依次均勻分布著上定子檢測X軸方向線加速度的右上第一號電容極板18、上定子檢測X軸方向線加速度的右上第二號電容極板19，上定子檢測Y軸方向線加速度的右下第一號電容極板20、上定子檢測Y軸方向線加速度的右下第二號電容極板21，上定子檢測X軸方向線加速度的左下第一號電容極板22、上定子檢測X軸方向線加速度的左下第二號電容極板23，上定子檢測Y軸方向線加速度的左上第一號電容極板24、上定子檢測Y軸方向線加速度的左上第二號電容極板25，它們構(gòu)成位于以上定子公共電容極板中心區(qū)38的中心為圓心的第二個同心圓上的電容極板結(jié)構(gòu)，稱之為上定子第二同心圓上的電容極板結(jié)構(gòu)；位于上定子第二同心圓上的電容極板結(jié)構(gòu)的外圍，以上定子公共電容極板中心區(qū)38的中心為圓心的圓周上，按順時針依次均勻分布著上定子左上弧形限位銅柱26，上定子右上弧形限位銅柱27，上定子右下弧形限位銅柱28，上定子左下弧形限位銅柱29，它們構(gòu)成位于以上定子公共電容極板中心區(qū)38的中心為圓心的第三個同心圓上的限位銅柱結(jié)構(gòu)，稱之為上定子第三同心圓上的限位銅柱結(jié)構(gòu)，且上定子左上弧形限位銅柱26和上定子右下弧形限位銅柱28在對角方向上，上定子右上弧形限位銅柱27和上定子左下弧形限位銅柱29在對角方向上；位于上定子第三同心圓上的限位銅柱結(jié)構(gòu)的外圍，第一號電氣導(dǎo)通凹槽1、第二號電氣導(dǎo)通凹槽2、第三號電氣導(dǎo)通凹槽3、第四號電氣導(dǎo)通凹槽4位于右上角且呈直線排布，第五號電氣導(dǎo)通凹槽5、第六號電氣導(dǎo)通凹槽6、第七號電氣導(dǎo)通凹槽7、第八號電氣導(dǎo)通凹槽8位于右下角且呈直線排布，第九號電氣導(dǎo)通凹槽9、第十號電氣導(dǎo)通凹槽10、第十一號電氣導(dǎo)通凹槽11、第十二號電氣導(dǎo)通凹槽12、第十三號電氣導(dǎo)通凹槽13位于左下角且呈直線排布，第十四號電氣導(dǎo)通凹槽14、第十五號電氣導(dǎo)通凹槽15、第十六號電氣導(dǎo)通凹槽16、第十七號電氣導(dǎo)通凹槽17位于左上角且呈直線排布。上定子公共電容極板左上N區(qū)123、上定子公共電容極板右上S區(qū)124、上定子公共電容極板右下N區(qū)125、上定子公共電容極板左下S區(qū)126，上定子第一同心圓上的電容極板結(jié)構(gòu)和上定子第二同心圓上的電容極板結(jié)構(gòu)高度相同，且略低于上定子第三同心圓上的限位銅柱結(jié)構(gòu)，所有電氣導(dǎo)通凹槽的高度亦低于位于上定子第三同心圓上的限位銅柱結(jié)構(gòu)。
如圖3，下定子121包括下定子左上第一號引線電極42、下定子左上第二號引線電極43、下定子左上第三號引線電極44、下定子左上第四號引線電極45、下定子左上第五號引線電極46、下定子左上第六號引線電極47、下定子左上第七號引線電極48、下定子左上第八號引線電極49、下定子左上第九號引線電極50、下定子右上第一號引線電極51、下定子右上第二號引線電極52、下定子右上第三號引線電極53、下定子右上第四號引線電極54、下定子右上第五號引線電極55、下定子右上第六號引線電極56、下定子右上第七號引線電極57、下定子右上第八號引線電極58、下定子右下第一號引線電極59、下定子右下第二號引線電極60、下定子右下第三號引線電極61、下定子右下第四號引線電極62、下定子右下第五號引線電極63、下定子右下第六號引線電極64、下定子右下第七號引線電極65、下定子右下第八號引線電極66、下定子右下第九號引線電極67、下定子左下第一號引線電極68、下定子左下第二號引線電極69、下定子左下第三號引線電極70、下定子左下第四號引線電極71、下定子左下第五號引線電極72、下定子左下第六號引線電極73、下定子左下第七號引線電極74、下定子左下第八號引線電極75，左上第一號接線銅柱76、左上第二號接線銅柱77、左上第三號接線銅柱78、左上第四號接線銅柱79、左上第五號接線銅柱80、右上第一號接線銅柱81、右上第二號接線銅柱82、右上第三號接線銅柱83、右上第四號接線銅柱84、右下第一號接線銅柱85、右下第二號接線銅柱86、右下第三號接線銅柱87、右下第四號接線銅柱88、左下第一號接線銅柱89、左下第二號接線銅柱90、左下第三號接線銅柱91、左下第四號接線銅柱92，下定子左下弧形限位銅柱93，下定子左上弧形限位銅柱94，下定子右上弧形限位銅柱95，下定子右下弧形限位銅柱96，下定子檢測Y軸方向線加速度的左下第一號電容極板97、下定子檢測Y軸方向線加速度的左下第二號電容極板98，下定子檢測X軸方向線加速度的左上第一號電容極板99、下定子檢測X軸方向線加速度的左上第二號電容極板100，下定子檢測Y軸方向線加速度的右上第一號電容極板101、下定子檢測Y軸方向線加速度的右上第二號電容極板102，下定子檢測X軸方向線加速度的右下第一號電容極板103、下定子檢測X軸方向線加速度的右下第二號電容極板104、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左下第一號電容極板105、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左下第二號電容極板106、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左上第一號電容極板107、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左上第二號電容極板108、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右上第一號電容極板109、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右上第二號電容極板110、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右下第一號電容極板111、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右下第二號電容極板112，下定子公共電容極板中心區(qū)113，下定子鐵氧體襯底114，下定子絕緣Al2O3層115，下定子引線層116，下定子公共電容極板左上N區(qū)127，下定子公共電容極板右上S區(qū)128，下定子公共電容極板右下N區(qū)129，下定子公共電容極板左下S區(qū)130。其連接關(guān)系為下定子絕緣Al2O3層115設(shè)置在下定子鐵氧體襯底114之上，下定子引線層116設(shè)置在下定子絕緣Al2O3層115之上；下定子公共電容極板中心區(qū)113設(shè)置在下定子引線層116之上且位于下定子引線層116的幾何中心，在下定子公共電容極板中心區(qū)113外圍設(shè)置有下定子公共電容極板左上N區(qū)127、下定子公共電容極板右上S區(qū)128、下定子公共電容極板右下N區(qū)129和下定子公共電容極板左下S區(qū)130，它們在以下定子公共電容極板中心區(qū)113的中心為圓心的圓周上均勻排布，且與下定子公共電容極板中心區(qū)113相連接；在下定子公共電容極板左上N區(qū)127、下定子公共電容極板右上S區(qū)128、下定子公共電容極板右下N區(qū)129和下定子公共電容極板左下S區(qū)130外圍，以下定子公共電容極板中心區(qū)113的中心為圓心的圓周上，按順時針依次均勻分布著下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左下第一號電容極板105、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左下第二號電容極板106、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左上第一號電容極板107、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左上第二號電容極板108、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右上第一號電容極板109、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右上第二號電容極板110、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右下第一號電容極板111、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右下第二號電容極板112，它們構(gòu)成位于以下定子公共電容極板中心區(qū)113的中心為圓心的第一個同心圓上的電容極板結(jié)構(gòu)，稱之為下定子第一同心圓上的電容極板結(jié)構(gòu)；位于下定子第一同心圓上的電容極板結(jié)構(gòu)的外圍，以下定子公共電容極板中心區(qū)113的中心為圓心的圓周上，按順時針依次均勻分布著下定子檢測Y軸方向線加速度的左下第一號電容極板97、下定子檢測Y軸方向線加速度的左下第二號電容極板98，下定子檢測X軸方向線加速度的左上第一號電容極板99、下定子檢測X軸方向線加速度的左上第二號電容極板100，下定子檢測Y軸方向線加速度的右上第一號電容極板101、下定子檢測Y軸方向線加速度的右上第二號電容極板102，下定子檢測X軸方向線加速度的右下第一號電容極板103、下定子檢測X軸方向線加速度的右下第二號電容極板104，它們構(gòu)成位于以下定子公共電容極板中心區(qū)113的中心為圓心的第二個同心圓上的電容極板結(jié)構(gòu)，稱之為下定子第二同心圓上的電容極板結(jié)構(gòu)；位于下定子第二同心圓上的電容極板結(jié)構(gòu)的外圍，以下定子公共電容極板中心區(qū)113的中心為圓心的圓周上，按順時針依次均勻分布著下定子左下弧形限位銅柱93，下定子左上弧形限位銅柱94，下定子右上弧形限位銅柱95，下定子右下弧形限位銅柱96，它們構(gòu)成位于以下定子公共電容極板中心區(qū)113的中心為圓心的第三個同心圓上的限位銅柱結(jié)構(gòu)，稱之為下定子第三同心圓上的限位銅柱結(jié)構(gòu)，且下定子左下弧形限位銅柱93和下定子右上弧形限位銅柱95在對角方向上，下定子左上弧形限位銅柱94和下定子右下弧形限位銅柱96在對角方向上；位于下定子第三同心圓上的限位銅柱結(jié)構(gòu)的外圍，左上第一號接線銅柱76、左上第二號接線銅柱77、左上第三號接線銅柱78、左上第四號接線銅柱79、左上第五號接線銅柱80位于左上角且呈直線排布，右上第一號接線銅柱81、右上第二號接線銅柱82、右上第三號接線銅柱83、右上第四號接線銅柱84位于右上角且呈直線排布，右下第一號接線銅柱85、右下第二號接線銅柱86、右下第三號接線銅柱87、右下第四號接線銅柱88位于右下角且呈直線排布，左下第一號接線銅柱89、左下第二號接線銅柱90、左下第三號接線銅柱91、左下第四號接線銅柱92位于左下角且呈直線排布；接線銅柱外圍對應(yīng)邊的平行方向上，下定子左上第一號引線電極42、下定子左上第二號引線電極43、下定子左上第三號引線電極44、下定子左上第四號引線電極45、下定子左上第五號引線電極46、下定子左上第六號引線電極47、下定子左上第七號引線電極48、下定子左上第八號引線電極49、下定子左上第九號引線電極50位于左上角且呈直線排布，下定子右上第一號引線電極51、下定子右上第二號引線電極52、下定子右上第三號引線電極53、下定子右上第四號引線電極54、下定子右上第五號引線電極55、下定子右上第六號引線電極56、下定子右上第七號引線電極57、下定子右上第八號引線電極58位于右上角且呈直線排布，下定子右下第一號引線電極59、下定子右下第二號引線電極60、下定子右下第三號引線電極61、下定子右下第四號引線電極62、下定子右下第五號引線電極63、下定子右下第六號引線電極64、下定子右下第七號引線電極65、下定子右下第八號引線電極66、下定子右下第九號引線電極67位于右下角且呈直線排布，下定子左下第一號引線電極68、下定子左下第二號引線電極69、下定子左下第三號引線電極70、下定子左下第四號引線電極71、下定子左下第五號引線電極72、下定子左下第六號引線電極73、下定子左下第七號引線電極74、下定子左下第八號引線電極75位于左下角且呈直線排布。下定子公共電容極板左上N區(qū)127、下定子公共電容極板右上S區(qū)128、下定子公共電容極板右下N區(qū)129、下定子公共電容極板左下S區(qū)130，下定子第一同心圓上的電容極板結(jié)構(gòu)和下定子第一同心圓上的電容極板結(jié)構(gòu)高度相同，且略低于下定子第三同心圓上的限位銅柱結(jié)構(gòu)，下定子第三同心圓上的限位銅柱結(jié)構(gòu)外圍的所有接線銅柱高于下定子第三同心圓上的限位銅柱結(jié)構(gòu)且高度最高，所有引線電極的高度亦低于下定子第三同心圓上的限位銅柱結(jié)構(gòu)且高度最低。
如圖4，轉(zhuǎn)子122包括轉(zhuǎn)子上表面Ti層117，轉(zhuǎn)子中間反磁材料層118，轉(zhuǎn)子下表面Ti層119；其連接關(guān)系為轉(zhuǎn)子上表面Ti層117和轉(zhuǎn)子下表面Ti層119分別覆蓋在轉(zhuǎn)子中間反磁材料層118的上下表面，形成夾層結(jié)構(gòu)。轉(zhuǎn)子半徑與下定子第一同心圓上的電容極板結(jié)構(gòu)的外半徑相等。
如圖1、2、3，具體裝配時，上定子120與下定子121的連接關(guān)系為上定子120的上定子左上弧形限位銅柱26，上定子右上弧形限位銅柱27，上定子右下弧形限位銅柱28，上定子左下弧形限位銅柱29分別與下定子2的下定子左上弧形限位銅柱94，下定子右上弧形限位銅柱95，下定子右下弧形限位銅柱96，下定子左下弧形限位銅柱93一一對準(zhǔn)并鍵合；下定子2的左上第一號接線銅柱76、左上第二號接線銅柱77、左上第三號接線銅柱78、左上第四號接線銅柱79、左上第五號接線銅柱80、右上第一號接線銅柱81、右上第二號接線銅柱82、右上第三號接線銅柱83、右上第四號接線銅柱84、右下第一號接線銅柱85、右下第二號接線銅柱86、右下第三號接線銅柱87、右下第四號接線銅柱88、左下第一號接線銅柱89、左下第二號接線銅柱90、左下第三號接線銅柱91、左下第四號接線銅柱92沿順時針分別插入上定子120一一對應(yīng)的第十三號電氣導(dǎo)通凹槽13、第十四號電氣導(dǎo)通凹槽14、第十五號電氣導(dǎo)通凹槽15、第十六號電氣導(dǎo)通凹槽16、第十七號電氣導(dǎo)通凹槽17、第一號電氣導(dǎo)通凹槽1、第二號電氣導(dǎo)通凹槽2、第三號電氣導(dǎo)通凹槽3、第四號電氣導(dǎo)通凹槽4、第五號電氣導(dǎo)通凹槽5、第六號電氣導(dǎo)通凹槽6、第七號電氣導(dǎo)通凹槽7、第八號電氣導(dǎo)通凹槽8、第九號電氣導(dǎo)通凹槽9、第十號電氣導(dǎo)通凹槽10、第十一號電氣導(dǎo)通凹槽11、第十二號電氣導(dǎo)通凹槽12，并采用共晶鉛錫焊工藝完成鍵合，由此，上定子120和下定子121實現(xiàn)了電氣和機(jī)械連接，并形成空腔，轉(zhuǎn)子119則放置在此空腔內(nèi)；而上定子120的第一號電氣導(dǎo)通凹槽1、第二號電氣導(dǎo)通凹槽2、第三號電氣導(dǎo)通凹槽3、第四號電氣導(dǎo)通凹槽4、第五號電氣導(dǎo)通凹槽5、第六號電氣導(dǎo)通凹槽6、第七號電氣導(dǎo)通凹槽7、第八號電氣導(dǎo)通凹槽8、第九號電氣導(dǎo)通凹槽9、第十號電氣導(dǎo)通凹槽10、第十一號電氣導(dǎo)通凹槽11、第十二號電氣導(dǎo)通凹槽12、第十三號電氣導(dǎo)通凹槽13、第十四號電氣導(dǎo)通凹槽14、第十五號電氣導(dǎo)通凹槽15、第十六號電氣導(dǎo)通凹槽16、第十七號電氣導(dǎo)通凹槽17通過上定子引線層41分別與，上定子檢測X軸方向線加速度的右上第一號電容極板18、上定子檢測X軸方向線加速度的右上第二號電容極板19，上定子檢測Y軸方向線加速度的右下第一號電容極板20、上定子檢測Y軸方向線加速度的右下第二號電容極板21，上定子檢測X軸方向線加速度的左下第一號電容極板22、上定子檢測X軸方向線加速度的左下第二號電容極板23，上定子檢測Y軸方向線加速度的左上第一號電容極板24、上定子檢測Y軸方向線加速度的左上第二號電容極板25，上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左上第一號電容極板30、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左上第二號電容極板31、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右上第一號電容極板32、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右上第二號電容極板33、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右下第一號電容極板34、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右下第二號電容極板35、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左下第一號電容極板36、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左下第二號電容極板37，上定子公共電容極板中心區(qū)38相連；下定子121的下定子左上第一號引線電極42、下定子左上第二號引線電極43、下定子左上第三號引線電極44、下定子左上第四號引線電極45、下定子左上第五號引線電極46、下定子左上第六號引線電極47、下定子左上第七號引線電極48、下定子左上第八號引線電極49、下定子左上第九號引線電極50、下定子右上第一號引線電極51、下定子右上第二號引線電極52、下定子右上第三號引線電極53、下定子右上第四號引線電極54、下定子右上第五號引線電極55、下定子右上第六號引線電極56、下定子右上第七號引線電極57、下定子右上第八號引線電極58、下定子右下第一號引線電極59、下定子右下第二號引線電極60、下定子右下第三號引線電極61、下定子右下第四號引線電極62、下定子右下第五號引線電極63、下定子右下第六號引線電極64、下定子右下第七號引線電極65、下定子右下第八號引線電極66、下定子右下第九號引線電極67、下定子左下第一號引線電極68、下定子左下第二號引線電極69、下定子左下第三號引線電極70、下定子左下第四號引線電極71、下定子左下第五號引線電極72、下定子左下第六號引線電極73、下定子左下第七號引線電極74、下定子左下第八號引線電極75通過下定子引線層116分別與左上第一號接線銅柱76、左上第二號接線銅柱77、左上第三號接線銅柱78、左上第四號接線銅柱79、左上第五號接線銅柱80、右上第一號接線銅柱81、右上第二號接線銅柱82、右上第三號接線銅柱83、右上第四號接線銅柱84、右下第一號接線銅柱85、右下第二號接線銅柱86、右下第三號接線銅柱87、右下第四號接線銅柱88、左下第一號接線銅柱89、左下第二號接線銅柱90、左下第三號接線銅柱91、左下第四號接線銅柱92，下定子檢測Y軸方向線加速度的左下第一號電容極板97、下定子檢測Y軸方向線加速度的左下第二號電容極板98，下定子檢測X軸方向線加速度的左上第一號電容極板99、下定子檢測X軸方向線加速度的左上第二號電容極板100，下定子檢測Y軸方向線加速度的右上第一號電容極板101、下定子檢測Y軸方向線加速度的右上第二號電容極板102，下定子檢測X軸方向線加速度的右下第一號電容極板103、下定子檢測X軸方向線加速度的右下第二號電容極板104，下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左下第一號電容極板105、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左下第二號電容極板106、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左上第一號電容極板107、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左上第二號電容極板108、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右上第一號電容極板109、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右上第二號電容極板110，下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右下第一號電容極板111、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右下第二號電容極板112，下定子公共電容極板中心區(qū)113相連；上定子120和下定子121的電氣通路則是通過下定子121的左上第一號接線銅柱76、左上第二號接線銅柱77、左上第三號接線銅柱78、左上第四號接線銅柱79、左上第五號接線銅柱80、右上第一號接線銅柱81、右上第二號接線銅柱82、右上第三號接線銅柱83、右上第四號接線銅柱84、右下第一號接線銅柱85、右下第二號接線銅柱86、右下第三號接線銅柱87、右下第四號接線銅柱88、左下第一號接線銅柱89、左下第二號接線銅柱90、左下第三號接線銅柱91、左下第四號接線銅柱92與上定子120的第十三號電氣導(dǎo)通凹槽13、第十四號電氣導(dǎo)通凹槽14、第十五號電氣導(dǎo)通凹槽15、第十六號電氣導(dǎo)通凹槽16、第十七號電氣導(dǎo)通凹槽17、一號電氣導(dǎo)通凹槽1、第二號電氣導(dǎo)通凹槽2、第三號電氣導(dǎo)通凹槽3、第四號電氣導(dǎo)通凹槽4、第五號電氣導(dǎo)通凹槽5、第六號電氣導(dǎo)通凹槽6、第七號電氣導(dǎo)通凹槽7、第八號電氣導(dǎo)通凹槽8、第九號電氣導(dǎo)通凹槽9、第十號電氣導(dǎo)通凹槽10、第十一號電氣導(dǎo)通凹槽11、第十二號電氣導(dǎo)通凹槽12一一對應(yīng)地鍵合構(gòu)成，至此完成整個加速度的電氣連接，在實際微細(xì)加工中，可根據(jù)版圖需要，對電氣連接布局作適當(dāng)調(diào)整。
本實施例的信號檢測采用差分電容結(jié)構(gòu)，電容極板在上、下定子上的形狀和分布相同，它們包括位于上定子公共電容極板中心區(qū)38，上定子公共電容極板左上N區(qū)123，上定子公共電容極板右上S區(qū)124，上定子公共電容極板右下N區(qū)125，上定子公共電容極板左下S區(qū)126構(gòu)成的上定子公共電容極板結(jié)構(gòu)，以及下定子公共電容極板中心區(qū)113，下定子公共電容極板左上N區(qū)127，下定子公共電容極板右上S區(qū)128，下定子公共電容極板右下N區(qū)129，下定子公共電容極板左下S區(qū)130構(gòu)成的下定子公共電容極板結(jié)構(gòu)；用于檢測沿Z軸線位移和繞X、Y軸角位移的16塊扇形電容極板，即上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左上第一號電容極板30、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左上第二號電容極板31、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右上第一號電容極板32、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右上第二號電容極板33、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右下第一號電容極板34、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右下第二號電容極板35、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左下第一號電容極板36、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左下第二號電容極板37，以及下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左下第一號電容極板105、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左下第二號電容極板106、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左上第一號電容極板107、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左上第二號電容極板108、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右上第一號電容極板109、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右上第二號電容極板110、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右下第一號電容極板111、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右下第二號電容極板112；用于檢測沿X、Y軸線位移的16塊扇形電容極板，即上定子檢測X軸方向線加速度的右上第一號電容極板18、上定子檢測X軸方向線加速度的右上第二號電容極板19，上定子檢測Y軸方向線加速度的右下第一號電容極板20、上定子檢測Y軸方向線加速度的右下第二號電容極板21，上定子檢測X軸方向線加速度的左下第一號電容極板22、上定子檢測X軸方向線加速度的左下第二號電容極板23，上定子檢測Y軸方向線加速度的左上第一號電容極板24、上定子檢測Y軸方向線加速度的左上第二號電容極板25，以及下定子檢測Y軸方向線加速度的左下第一號電容極板97、下定子檢測Y軸方向線加速度的左下第二號電容極板98，下定子檢測X軸方向線加速度的左上第一號電容極板99、下定子檢測X軸方向線加速度的左上第二號電容極板100，下定子檢測Y軸方向線加速度的右上第一號電容極板101、下定子檢測Y軸方向線加速度的右上第二號電容極板102，下定子檢測X軸方向線加速度的右下第一號電容極板103、下定子檢測X軸方向線加速度的右下第二號電容極板104。懸浮式反磁敏感質(zhì)量微型加速度計在工作時，對各組差分電容施加不同頻率或多組頻率的高頻載波信號，并采用公共電容耦合輸出至后續(xù)檢測和控制電路，這樣就得到各線加速度和角加速度對應(yīng)的電壓信號，通過對電壓信號的處理，最終得到加速度信號，確定加速度計受到加速度，并施加反饋控制使轉(zhuǎn)子始終保持在自穩(wěn)懸浮的平衡位置。參考各電容極板的作用及加速度計的電氣連接關(guān)系給出具體實現(xiàn)方式如下一、檢測Z軸方向線加速度通過下定子左上第一號引線電極42、下定子左上第二號引線電極43、下定子左上第三號引線電極44、下定子左上第四號引線電極45、下定子左上第五號引線電極46、下定子右上第六號引線電極56、下定子右上第七號引線電極57、下定子右上第八號引線電極58分別在上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左上第一號電容極板30、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左上第二號電容極板31、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右上第一號電容極板32、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右上第二號電容極板33、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右下第一號電容極板34、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右下第二號電容極板35、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左下第一號電容極板36、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左下第二號電容極板37上施加幅值為Vz，頻率為fz的高頻載波信號，通過下定子右下第九號引線電極67、下定子左下第一號引線電極68、下定子左下第二號引線電極69、下定子左下第三號引線電極70、下定子左下第四號引線電極71、下定子左下第五號引線電極72、下定子左下第六號引線電極73、下定子左下第七號引線電極74在下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左下第一號電容極板105、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左下第二號電容極板106、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左上第一號電容極板107、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左上第二號電容極板108、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右上第一號電容極板109、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右上第二號電容極板110、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右下第一號電容極板111、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右下第二號電容極板112施加幅值為-Vz，頻率為fz的高頻載波信號，當(dāng)外界有沿Z軸方向線加速度輸入時，定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左上第一號電容極板30、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左上第二號電容極板31、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右上第一號電容極板32、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右上第二號電容極板33、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右下第一號電容極板34、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右下第二號電容極板35、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左下第一號電容極板36、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左下第二號電容極板37，轉(zhuǎn)子122，下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左下第一號電容極板105、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左下第二號電容極板106、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左上第一號電容極板107、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左上第二號電容極板108、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右上第一號電容極板109、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右上第二號電容極板110、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右下第一號電容極板111、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右下第二號電容極板112，三者之間沿Z軸方向形成差分電容，加速度計在開環(huán)工作時，通過后續(xù)線路檢測，由高頻載波電壓信號便可能到相應(yīng)的Z軸方向線加速度值，閉環(huán)工作時，根據(jù)檢測結(jié)果和需要，在上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左上第一號電容極板30、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左上第二號電容極板31、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右上第一號電容極板32、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右上第二號電容極板33、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右下第一號電容極板34、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右下第二號電容極板35、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左下第一號電容極板36、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左下第二號電容極板37，以及下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左下第一號電容極板105、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左下第二號電容極板106、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左上第一號電容極板107、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左上第二號電容極板108、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右上第一號電容極板109、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右上第二號電容極板110、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右下第一號電容極板111、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右下第二號電容極板112分別施加幅值相等、極性相反的直流電壓，將轉(zhuǎn)子122控制在初始平衡位置；二、檢測X軸方向線加速度通過下定子左上第九號引線電極50、下定子左上第八號引線電極49、下定子右下第三號引線電極61、下定子右下第四號引線電極62在上定子檢測X軸方向線加速度的左下第一號電容極板22、上定子檢測X軸方向線加速度的左下第二號電容極板23和下定子檢測X軸方向線加速度的左上第一號電容極板99、下定子檢測X軸方向線加速度的左上第二號電容極板100上施加幅值為Vx，頻率為fx的高頻載波信號，通過下定子右上第四號引線電極54、下定子右上第三號引線電極53、下定子右下第七號引線電極65、下定子右下第八號引線電極66在上定子檢測X軸方向線加速度的右上第一號電容極板18、上定子檢測X軸方向線加速度的右上第二號電容極板19和下定子檢測X軸方向線加速度的右下第一號電容極板103、下定子檢測X軸方向線加速度的右下第二號電容極板104上施加幅值為-Vx，頻率為fx的高頻載波信號，當(dāng)有外界沿X軸方向線加速度輸入時，上定子檢測X軸方向線加速度的左下第一號電容極板22和上定子檢測X軸方向線加速度的左下第二號電容極板23、轉(zhuǎn)子122、下定子檢測X軸方向線加速度的左上第一號電容極板99和下定子檢測X軸方向線加速度的左上第二號電容極板100三者形成的電容與上定子檢測X軸方向線加速度的右上第一號電容極板18和上定子檢測X軸方向線加速度的右上第二號電容極板19、轉(zhuǎn)子122、下定子檢測X軸方向線加速度的右下第一號電容極板103和下定子檢測X軸方向線加速度的右下第二號電容極板104三者形成的電容構(gòu)成差分電容，同樣，加速度計在開環(huán)工作時，通過后續(xù)線路檢測，由高頻載波電壓信號便可能到相應(yīng)的X軸方向線加速度值，閉環(huán)工作時，根據(jù)檢測結(jié)果和需要，在上定子檢測X軸方向線加速度的左下第一號電容極板22、上定子檢測X軸方向線加速度的左下第二號電容極板23、下定子檢測X軸方向線加速度的左上第一號電容極板99、下定子檢測X軸方向線加速度的左上第二號電容極板100上，以及上定子檢測X軸方向線加速度的右上第一號電容極板18、上定子檢測X軸方向線加速度的右上第二號電容極板19、下定子檢測X軸方向線加速度的右下第一號電容極板103、下定子檢測X軸方向線加速度的右下第二號電容極板104分別施加幅值相等、極性相反的直流電壓，將轉(zhuǎn)子122控制在初始平衡位置；三、檢測Y軸方向線加速度通過下定子左上第七號引線電極48、下定子左上第六號引線電極47、下定子右下第五號引線電極63、下定子右下第六號引線電極64在上定子檢測Y軸方向線加速度的左上第一號電容極板24、上定子檢測Y軸方向線加速度的左上第二號電容極板25和下定子檢測Y軸方向線加速度的右上第一號電容極板101、下定子檢測Y軸方向線加速度的右上第二號電容極板102上施加幅值為Vy，頻率為fy的高頻載波信號，通過下定子右上第二號引線電極52、下定子右上第一號引線電極51、下定子右下第一號引線電極59、下定子右下第二號引線電極60在上定子檢測Y軸方向線加速度的右下第一號電容極板20、上定子檢測Y軸方向線加速度的右下第二號電容極板21和下定子檢測Y軸方向線加速度的左下第一號電容極板97、下定子檢測Y軸方向線加速度的左下第二號電容極板98上施加幅值為-Vy，頻率為fy的高頻載波信號，當(dāng)有外界沿Y軸方向線加速度輸入時，上定子檢測Y軸方向線加速度的左上第一號電容極板24和上定子檢測Y軸方向線加速度的左上第二號電容極板25、轉(zhuǎn)子122、下定子檢測Y軸方向線加速度的右上第一號電容極板101和下定子檢測Y軸方向線加速度的右上第二號電容極板102三者形成的電容與上定子檢測Y軸方向線加速度的右下第一號電容極板20和上定子檢測Y軸方向線加速度的右下第二號電容極板21、轉(zhuǎn)子122、下定子檢測Y軸方向線加速度的左下第一號電容極板97和下定子檢測Y軸方向線加速度的左下第二號電容極板98三者形成的電容構(gòu)成差分電容，同樣，加速度計在開環(huán)工作時，通過后續(xù)線路檢測，由高頻載波電壓信號便可能到相應(yīng)的Y軸方向線加速度值，閉環(huán)工作時，根據(jù)檢測結(jié)果和需要，上定子檢測Y軸方向線加速度的左上第一號電容極板24、上定子檢測Y軸方向線加速度的左上第二號電容極板25、下定子檢測Y軸方向線加速度的右上第一號電容極板101、下定子檢測Y軸方向線加速度的右上第二號電容極板102上，以及上定子檢測Y軸方向線加速度的右下第一號電容極板20、上定子檢測Y軸方向線加速度的右下第二號電容極板21、下定子檢測Y軸方向線加速度的左下第一號電容極板97、下定子檢測Y軸方向線加速度的左下第二號電容極板98上分別施加幅值相等、極性相反的直流電壓，將轉(zhuǎn)子122控制在初始平衡位置；四、檢測繞X軸的角加速度通過下定子右下第九號引線電極67、下定子左下第三號引線電極70給下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左上第二號電容極板108、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右下第一號電容極板111施加幅值為V1，頻率為f1的高頻載波信號、通過下定子左下第一號引線電極68、下定子左下第二號引線電極69給下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左上第一號電容極板107、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右下第二號電容極板112施加幅值為-V1，頻率為f1的高頻載波信號，通過下定子左上第三號引線電極44、下定子右上第六號引線電極56給上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右上第一號電容極板32、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左下第二號電容極板37施加幅值為V1，頻率為f1的高頻載波信號，通過下定子左上第二號引線電極43、下定子右上第七號引線電極57給上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右上第二號電容極板33、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左下第一號電容極板36施加幅值為-V1，頻率為f1的高頻載波信號，當(dāng)外界有繞X軸的角加速度輸入時，下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左上第二號電容極板108和下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右下第一號電容極板111、轉(zhuǎn)子122、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右上第一號電容極板32和上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左下第二號電容極板37三者之間形成的電容，與下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左上第一號電容極板107和下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右下第二號電容極板112、轉(zhuǎn)子122、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右上第二號電容極板33和上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左下第一號電容極板36三者形成的電容構(gòu)成差分電容，同樣，加速度計在開環(huán)工作時，通過后續(xù)線路檢測，由高頻載波電壓信號便可能到相應(yīng)的繞X軸方向角加速度值，閉環(huán)工作時，根據(jù)檢測結(jié)果和需要，下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左上第二號電容極板108、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右下第一號電容極板111、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右上第一號電容極板32、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左下第二號電容極板37，和下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左上第一號電容極板107、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右下第二號電容極板112、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右上第二號電容極板33、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左下第一號電容極板36分別施加幅值相等、極性相反的直流電壓，將轉(zhuǎn)子122控制在初始平衡位置；五、檢測繞Y軸的角加速度通過下定子左下第四號引線電極71、下定子左下第七號引線電極74給下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左下第一號電容極板105、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右上第二號電容極板110施加幅值為V2，頻率為f2的高頻載波信號；通過下定子左下第五號引線電極72、下定子左下第六號引線電極73給下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左下第二號電容極板106、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右上第一號電容極板109施加幅值為-V2，頻率為f2的高頻載波信號；通過下定子左上第四號引線電極45、下定子左上第一號引線電極42給上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左上第二號電容極板31、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右下第一號電容極板34施加幅值為V2，頻率為f2的高頻載波信號；通過下定子左上第五號引線電極46、下定子右上第八號引線電極58給上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左上第一號電容極板30、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右下第二號電容極板35施加幅值為-V2，頻率為f2的高頻載波信號，當(dāng)外界有繞Y軸的角加速度輸入時，下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左下第一號電容極板105和下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右上第二號電容極板110、轉(zhuǎn)子122、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左上第二號電容極板31和上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右下第一號電容極板34三者之間形成的電容，與下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左下第二號電容極板106和下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右上第一號電容極板109、轉(zhuǎn)子122、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左上第一號電容極板30和上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右下第二號電容極板35三者形成的電容構(gòu)成差分電容，同樣，加速度計在開環(huán)工作時，通過后續(xù)線路檢測，由高頻載波電壓信號便可能到相應(yīng)的繞Y軸方向角加速度值，閉環(huán)工作時，根據(jù)檢測結(jié)果和需要，下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左下第一號電容極板105、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右上第二號電容極板110、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左上第二號電容極板31、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右下第一號電容極板34，和下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左下第二號電容極板106、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右上第一號電容極板109、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左上第一號電容極板30、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右下第二號電容極板35分別施加幅值相等、極性相反的直流電壓，將轉(zhuǎn)子122控制在初始平衡位置；由于采用的差分電容檢測及其后續(xù)處理電路均為常見的變電容檢測電路，這一部分不是本專利要保護(hù)的內(nèi)容，所以關(guān)于采用的差分電容檢測及其后續(xù)處理電路本專利未作詳細(xì)介紹。
本實施例的轉(zhuǎn)子122采用反磁材料制作其基片，形狀是盤形，上定子120和下定子121的襯底為鐵氧體，形狀是方形。同時對上定子公共電容極板左上N區(qū)123、上定子公共電容極板右上S區(qū)124、上定子公共電容極板右下N區(qū)125、上定子公共電容極板左下S區(qū)126、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左上第一號電容極板30、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左上第二號電容極板31、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右上第一號電容極板32、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右上第二號電容極板33、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右下第一號電容極板34、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右下第二號電容極板35、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左下第一號電容極板36、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左下第二號電容極板37、以及下定子公共電容極板左上N區(qū)127、下定子公共電容極板右上S區(qū)128、下定子公共電容極板右下N區(qū)129、下定子公共電容極板左下S區(qū)130、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左下第一號電容極板105、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左下第二號電容極板106、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左上第一號電容極板107、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左上第二號電容極板108、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右上第一號電容極板109、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右上第二號電容極板110、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右下第一號電容極板111、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右下第二號電容極板112進(jìn)行充磁，使上定子公共電容極板左上N區(qū)123、上定子公共電容極板右下N區(qū)125、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左上第一號電容極板30、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左上第二號電容極板31、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右下第一號電容極板34、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右下第二號電容極板35朝向上定子120外方向，即組裝后正對轉(zhuǎn)子122的方向的面為N極磁性，使上定子公共電容極板右上S區(qū)124、上定子公共電容極板左下S區(qū)126、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右上第一號電容極板32、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右上第二號電容極板33、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左下第一號電容極板36、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左下第二號電容極板37朝向上定子120外方向，即組裝后正對轉(zhuǎn)子122的方向的面為S極磁性，以及使下定子公共電容極板左上N區(qū)127、下定子公共電容極板右下N區(qū)129、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左上第一號電容極板107、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左上第二號電容極板108、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右下第一號電容極板111、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右下第二號電容極板112朝向下定子121外方向，即組裝后正對轉(zhuǎn)子122的方向的面為N極磁性，使下定子公共電容極板右上S區(qū)128、下定子公共電容極板左下S區(qū)130、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左下第一號電容極板105、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左下第二號電容極板106、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右上第一號電容極板109、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右上第二號電容極板110朝向下定子121外方向，即組裝后正對轉(zhuǎn)子122的方向的面為S極磁性；由此，上定子公共電容極板左上N區(qū)123，上定子公共電容極板右上S區(qū)124，上定子公共電容極板右下N區(qū)125，上定子公共電容極板左下S區(qū)126、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左上第一號電容極板30、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左上第二號電容極板31、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右上第一號電容極板32、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右上第二號電容極板33、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右下第一號電容極板34、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右下第二號電容極板35、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左下第一號電容極板36、上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左下第二號電容極板37；分別與下定子公共電容極板左下S區(qū)130，下定子公共電容極板右下N區(qū)129，下定子公共電容極板右上S區(qū)128，下定子公共電容極板左上N區(qū)127、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左下第二號電容極板106、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的左下第一號電容極板105、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右下第二號電容極板112、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的右下第一號電容極板111、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右上第二號電容極板110、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞Y軸的角加速度的右上第一號電容極板109、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左上第二號電容極板108、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X軸的角加速度的左上第一號電容極板107形成一一對應(yīng)的磁極極性相反的關(guān)系。它們之間的吸引力使得上定子120和下定子121的鍵合更加緊密。轉(zhuǎn)子122與上定子120和下定子121之間的相互作用力即抗磁力為懸浮反磁定子提供了Z向懸浮力，同時也為轉(zhuǎn)子122提供沿X、Y軸方向的側(cè)向穩(wěn)定力，進(jìn)而轉(zhuǎn)子122實現(xiàn)了在上定子120和下定子121間的自穩(wěn)定懸浮。
本實施例的工藝采用微細(xì)加工技術(shù)(MEMS工藝)與精密加工相結(jié)合，具體是首先是上定子120和下定子121采用微細(xì)加工技術(shù)實現(xiàn)，在鐵氧體襯底上通過濺射工藝濺射一層絕緣Al2O3層，之后再上面制作一層引線，然后在引線層上制備電容極板、引線電極、接線銅柱、弧形限位銅柱等；上、下定子公共電容極板結(jié)構(gòu)的四個扇形區(qū)以及上、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X、Y軸的角加速度的電容極板采用永磁材料，如鈷鎳錳磷(CoNiMnP)、釹鐵硼(NdFeB)，其他電容極板材料采用的是銅，引線電極的材料采用的是金，接線銅柱和弧形限位銅柱的材料則是采用銅；轉(zhuǎn)子122則是先在基片即轉(zhuǎn)子中間反磁材料層的兩表面濺射Ti，然后經(jīng)微細(xì)電火花加工得到，基片采用的是反磁材料，如熱解石墨(Pyrolyticgraphite)，最終將轉(zhuǎn)子放入上定子120和下定子121構(gòu)成的空腔，并通過PbSn焊鍵合工藝得到懸浮式反磁敏感質(zhì)量微型加速度計。
權(quán)利要求
1.一種懸浮式反磁敏感質(zhì)量微型加速度計，由上定子、轉(zhuǎn)子和下定子三部分構(gòu)成，其特征在于上定子上設(shè)有上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X、Y軸的角加速度的電容極板以及上定子公共電容極板結(jié)構(gòu)，二者位于同一平面即上定子引線層之上，平面幾何中心分布的是上定子公共電容極板結(jié)構(gòu)，在以平面幾何中心為圓心的由內(nèi)往外的三個同心圓周上，第一個同心圓周上均勻分布著上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X、Y軸的角加速度的電容極板；轉(zhuǎn)子則采用反磁材料制作其基片，即轉(zhuǎn)子中間反磁材料層；下定子上設(shè)有下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X、Y軸的角加速度的電容極板以及下定子公共電容極板結(jié)構(gòu)，二者位于同一平面即下定子引線層之上，平面幾何中心分布的是下定子公共電容極板結(jié)構(gòu)，在以平面幾何中心為圓心的由內(nèi)往外的三個同心圓周上，第一個同心圓周上均勻分布著下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X、Y軸的角加速度的電容極板；在上述結(jié)構(gòu)中，上定子公共電容極板結(jié)構(gòu)和下定子公共電容極板結(jié)構(gòu)均包括一個中心區(qū)和四個扇形區(qū)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的懸浮式反磁敏感質(zhì)量微型加速度計，其特征是，所述的上定子還包括電氣導(dǎo)通凹槽、上定子檢測X軸方向和Y軸方向線加速度的電容極板、弧形限位銅柱、上定子鐵氧體襯底、上定子絕緣Al2O3層，以及上定子引線層；其中電氣導(dǎo)通凹槽、上定子檢測X軸方向和Y軸方向線加速度的電容極板以及弧形限位銅柱，位于上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X、Y軸的角加速度的電容極板、上定子公共電容極板結(jié)構(gòu)所在同一平面即上定子引線層之上，平面幾何中心分布的是上定子公共電容極板結(jié)構(gòu)，在以平面幾何中心為圓心的由內(nèi)往外的三個同心圓周上，第一個同心圓周上均勻分布著上定子檢測Z軸方向線加速度和繞X、Y軸的角加速度的電容極板，第二、第三個同心圓周上分別依次均勻分布著上定子檢測X軸方向和Y軸方向線加速度的電容極板以及弧形限位銅柱；在弧形限位銅柱往外，在上定子的四條邊各自的平行方向上，電氣導(dǎo)通凹槽呈直線排布。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的懸浮式反磁敏感質(zhì)量微型加速度計，其特征是，所述下定子還包括引線電極、接線銅柱、弧形限位銅柱，下定子檢測X軸方向和Y軸方向線加速度的電容極板、下定子鐵氧體襯底、下定子絕緣Al2O3層，以及下定子引線層；其中引線電極、接線銅柱、弧形限位銅柱以及下定子檢測X軸方向和Y軸方向線加速度的電容極板，位于下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X、Y軸的角加速度的電容極板、下定子公共電容極板結(jié)構(gòu)所在同一平面即下定子引線層之上，平面幾何中心分布的是下定子公共電容極板結(jié)構(gòu)，在以平面幾何中心為圓心的由內(nèi)往外的三個同心圓周上，第一個同心圓周上均勻分布著下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X、Y軸的角加速度的電容極板，第二、第三個同心圓周上分別依次均勻分布著下定子檢測X軸方向和Y軸方向線加速度的電容極板以及弧形限位銅柱；在弧形限位銅柱往外，在下定子的四條邊各自的平行方向上，接線銅柱呈直線排布；在接線銅柱往外，在下定子的四條邊各自的平行方向上，引線電極呈直線排布。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的懸浮式反磁敏感質(zhì)量微型加速度計，其特征是，所述的上定子和下定子是通過上定子的電氣導(dǎo)通凹槽與下定子的接線銅柱的鍵合來實現(xiàn)電氣和機(jī)械連接，并形成空腔，轉(zhuǎn)子懸浮在空腔中，采用盤形形狀，同時在轉(zhuǎn)子中間反磁材料層的上、下表面分別覆蓋Ti層，使三者形成夾層結(jié)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的懸浮式反磁敏感質(zhì)量微型加速度計，其特征是，所述的上定子和下定子，采用的襯底均為鐵氧體，形狀都是方形。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的懸浮式反磁敏感質(zhì)量微型加速度計，其特征是，所述的上定子和下定子公共電容極板結(jié)構(gòu)的四個扇形區(qū)以及上、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X、Y軸的角加速度的電容極板采用的是永磁材料，對上、下定子公共電容極板結(jié)構(gòu)的四個扇形區(qū)以及上、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X、Y軸的角加速度的電容極板充磁，使相應(yīng)的電容極板形成N-S一一對應(yīng)的磁極極性相反的關(guān)系。
全文摘要
一種微機(jī)電技術(shù)領(lǐng)域懸浮式反磁敏感質(zhì)量微型加速度計。本發(fā)明由上定子，轉(zhuǎn)子和下定子構(gòu)成，通過對永磁材料制備的上、下定子公共電容極板結(jié)構(gòu)的四個扇形區(qū)以及上、下定子檢測Z軸方向線加速度和繞X、Y軸的角加速度的電容極板充磁，同時采用反磁材料制作轉(zhuǎn)子基片，提供了一種相比傳統(tǒng)靜電懸浮省去了提供懸浮靜電電極、線圈或電容極板等靜電懸浮控制單元，且改為采用永磁材料和反磁材料相結(jié)合實現(xiàn)自穩(wěn)懸浮的新型懸浮式反磁敏感質(zhì)量微型加速度計。它可以同時檢測包括沿X、Y、Z軸的線加速度以及繞X、Y軸角加速度等多個自由度的加速度，進(jìn)而可以用來對物體進(jìn)行精確定位，用于檢測加速度信號或?qū)Ш健?br> 文檔編號G01P15/00GK101021545SQ20071003829
公開日2007年8月22日 申請日期2007年3月22日 優(yōu)先權(quán)日2007年3月22日
發(fā)明者張衛(wèi)平, 張忠榕, 陳文元, 劉武 申請人:上海交通大學(xué)