專利名稱：一種判斷熱電偶是否可回收再利用的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及熱電偶的回收，特別涉及一種判斷熱電偶是否可回收再利用的 方法。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，溫度是最重要的控制參數(shù)之一，故各種長度的熱電偶 被用來偵測不同工藝步驟的工藝溫度，現(xiàn)通常使用的熱電偶是由金屬鈿或鈾銠 合金制成，其造價(jià)昂貴，當(dāng)長度較長的熱電偶出現(xiàn)問題時(shí)，為節(jié)約成本通常將 該熱電偶進(jìn)行回收再利用。但現(xiàn)有的回收利用方法，僅單純的將熱電偶有粗細(xì)不均、斷裂和毛邊的部 分剪除后，然后再制作焊點(diǎn)進(jìn)行回收再利用，如此將很難確保熱電偶測溫的準(zhǔn)發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種判斷熱電偶是否可回收再利用的方法，通過所 述方法可確?；厥盏臒犭娕寄軠?zhǔn)確測定溫度。本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的 一種判斷熱電偶是否可回收再利用的方法， 該方法先判斷待回收熱電偶是否有外觀缺陷，當(dāng)有外觀缺陷時(shí)判定該待回收熱 電偶無法進(jìn)行回收利用，當(dāng)無外觀缺陷時(shí)繼續(xù)進(jìn)行判斷，該方法還包括以下步 驟(1)將該無外觀缺陷的待回收熱電偶和標(biāo)準(zhǔn)熱電偶設(shè)置在同樣的溫度環(huán)境 下；(2 )改變該溫度環(huán)境的溫度并使其涵蓋該待回收熱電偶的量程范圍；(3 ) 記錄該待回收熱電偶和標(biāo)準(zhǔn)熱電偶測得的電壓值；(4 )計(jì)算出該待回收熱電偶 和標(biāo)準(zhǔn)熱電偶的電壓差值并取得對應(yīng)的溫度差值；(5)依據(jù)該溫度差值判斷該 待回收熱電偶是否可回收再利用。在上述的判斷熱電偶是否可回收再利用的方法中，該步驟(5)包括以下步 驟(50)判斷該溫度差值是否大于一容許差值，若是則繼續(xù)步驟(52)，若否，則繼續(xù)步驟(51) ; (51)判斷該溫度差值是否分布在同一直線上，若是 則判定該待回收熱電偶可回收再利用，若否，則繼續(xù)步驟(52); (52)判斷 該待回收熱電偶是否短于一最小長度，若是，則判定該待回收熱電偶無法進(jìn)行 回收利用，若否，則從熱電偶焊點(diǎn)處截去一固定長度并重新制作焊點(diǎn)后再返回 步驟(2 )。在上述的判斷熱電偶是否可回收再利用的方法中，通過顯微鏡判斷該待回收熱電偶是否有外觀缺陷。在上述的判斷熱電偶是否可回收再利用的方法中，該容許差值為正負(fù)2°C。 在上述的判斷熱電偶是否可回收再利用的方法中，該最小長度為41.9cm。 在上述的判斷熱電偶是否可回收再利用的方法中，該固定長度為10cm。 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明在判斷出待回收熱電偶無外觀缺陷后，使用該待回收熱電偶和標(biāo)準(zhǔn)熱電偶測試同樣的溫度且取得溫度差值，并依據(jù)該溫度差值判斷該待回收熱電偶是否可回收再利用，如此可確?；厥赵倮玫臒犭娕紲y溫準(zhǔn)確。


本發(fā)明的判斷熱電偶是否可回收再利用的方法由以下的實(shí)施例及附圖給出。圖1為本發(fā)明的判斷熱電偶是否可回收再利用的方法的實(shí)施例的流程圖。
具體實(shí)施方式
以下將對本發(fā)明的判斷熱電偶是否可回收再利用的方法作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。本發(fā)明的判斷熱電偶是否可回收再利用的方法首先進(jìn)行步驟SIO，判斷待回 收熱電偶是否有外觀缺陷，若有則繼續(xù)步驟S19，若無則繼續(xù)步驟Sll。在本實(shí)施例中，通過顯微鏡和宏觀觀察來判斷所述待回收熱電偶是否有外 觀缺陷，所述外觀缺陷包括粗細(xì)不均、斷裂和毛邊等。在步驟Sll中，將所述待回收熱電偶和標(biāo)準(zhǔn)熱電偶設(shè)置在同樣的溫度環(huán)境 下。然后繼續(xù)步驟S12。在步驟S12中，改變所述溫度環(huán)境的溫度值并使其涵蓋所述待回收熱電偶的量程范圍。然后繼續(xù)步驟S13。在本實(shí)施例中，所述量程范圍為30(TC至1000 。C。在步驟S13中，記錄所述待回收熱電偶和標(biāo)準(zhǔn)熱電偶測得的電壓值。然后 繼續(xù)步驟S14。在步驟S14中，計(jì)算出所述待回收熱電偶和標(biāo)準(zhǔn)熱電偶的電壓差值，并取 得對應(yīng)的溫度差值。然后繼續(xù)步驟S15 。在步驟S15中，判斷所述溫度差值是否大于一容許差值，若是則繼續(xù)步驟 S18，若否，則繼續(xù)步驟S16。在本實(shí)施例中，所述容許差值為正負(fù)2°C在步驟S16中，判斷所述溫度差值是否分布在同一直線上，若是則繼續(xù)步 驟S17，若否，則繼續(xù)步驟S18。在步驟S17中，判定所述待回收熱電偶可回收再利用。在步驟S18中，判斷所述待回收熱電偶是否短于一最小長度，若是，則繼 續(xù)步驟S19,若否，則繼續(xù)步驟SllO。在本實(shí)施例中，所述最小長度為41.9cm。在步驟S19中，判定所述待回收熱電偶無法進(jìn)行回收利用。在步驟S11G中，從所述待回收熱電偶焊點(diǎn)處截去一固定長度，并重新制作 焊點(diǎn)，然后返回步驟Sll。在本實(shí)施例中，所述固定長度為10cm。綜上所述，本發(fā)明判斷熱電偶是否可回收再利用的方法先判斷待回收熱電 偶是否有外觀缺陷，且在無外觀缺陷時(shí)使用所述待回收熱電偶和標(biāo)準(zhǔn)熱電偶測 試同樣的溫度并取得溫度差值，接著依據(jù)所述溫度差值判斷所述待回收熱電偶 是否可回收再利用，如此可確保回收再利用的熱電偶測溫準(zhǔn)確。
權(quán)利要求
1. 一種判斷熱電偶是否可回收再利用的方法，該方法先判斷待回收熱電偶是否有外觀缺陷，當(dāng)有外觀缺陷時(shí)判定該待回收熱電偶無法進(jìn)行回收利用，當(dāng)無外觀缺陷時(shí)繼續(xù)進(jìn)行判斷，其特征在于，該方法還包括以下步驟(1)將該無外觀缺陷的待回收熱電偶和標(biāo)準(zhǔn)熱電偶設(shè)置在同樣的溫度環(huán)境下；(2)改變該溫度環(huán)境的溫度并使其涵蓋該待回收熱電偶的量程范圍；(3)記錄該待回收熱電偶和標(biāo)準(zhǔn)熱電偶測得的電壓值；(4)計(jì)算出該待回收熱電偶和標(biāo)準(zhǔn)熱電偶的電壓差值并取得對應(yīng)的溫度差值；(5)依據(jù)該溫度差值判斷該待回收熱電偶是否可回收再利用。
2、 如權(quán)利要求1所述的判斷熱電偶是否可回收再利用的方法，其特征在于， 該步驟(5)包括以下步驟(50 )判斷該溫度差值是否大于一容許差值，若是 則繼續(xù)步驟(52),若否，則繼續(xù)步驟(51) ; (51)判斷該溫度差值是否分 布在同一直線上，若是則判定該待回收熱電偶可回收再利用，若否，則繼續(xù)步 驟(52); (52)判斷該待回收熱電偶是否短于一最小長度，若是，則判定該 待回收熱電偶無法進(jìn)行回收利用，若否，則從熱電偶焊點(diǎn)處截去一固定長度并 重新制作焊點(diǎn)后再返回步驟(2)。
3、 如權(quán)利要求1所述的判斷熱電偶是否可回收再利用的方法，其特征在于， 通過顯微鏡判斷該待回收熱電偶是否有外觀缺陷。
4、 如權(quán)利要求2所述的判斷熱電偶是否可回收再利用的方法，其特征在于， 該容許差值為正負(fù)2°C。
5、 如權(quán)利要求2所述的判斷熱電偶是否可回收再利用的方法，其特征在于， 該最小長度為41. 9cm。
6、 如權(quán)利要求2所述的判斷熱電偶是否可回收再利用的方法，其特征在于， 該固定長度為10cm。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種判斷熱電偶是否可回收再利用的方法?，F(xiàn)有的熱電偶回收因無合適的判斷方法或使可回收再利用的熱電偶被廢棄，或使測溫不準(zhǔn)的熱電偶被回收再利用。本發(fā)明的方法先判斷待回收熱電偶是否有外觀缺陷，若無則將該待回收熱電偶和標(biāo)準(zhǔn)熱電偶設(shè)置在同樣的溫度環(huán)境下，接著改變該溫度環(huán)境的溫度并使其涵蓋該待回收熱電偶的量程范圍，同時(shí)記錄該待回收熱電偶和標(biāo)準(zhǔn)熱電偶測得的電壓值，之后計(jì)算出兩者的電壓差值并取得對應(yīng)的溫度差值，最后依據(jù)該溫度差值判斷該待回收熱電偶是否可回收再利用。采用本發(fā)明的判斷熱電偶是否可回收再利用的方法可確保回收再利用的熱電偶測溫準(zhǔn)確。
文檔編號G01K15/00GK101271027SQ20071003821
公開日2008年9月24日 申請日期2007年3月20日 優(yōu)先權(quán)日2007年3月20日
發(fā)明者吳協(xié)祥, 張士仁, 瞿丹紅, 陳淑美 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司