專利名稱：電路圖案檢查裝置及其方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種電路圖案檢查裝置及其方法，例如，涉及可以檢 查形成在玻璃襯底上的梳齒狀導(dǎo)電圖案是否良好的圖案檢査裝置及其 方法。
背景技術(shù)：
用來(lái)檢查形成在襯底上的電路圖案的方法，在現(xiàn)有技術(shù)中，從導(dǎo) 電圖案的一端供給檢查信號(hào)，從該導(dǎo)電圖案的另外一端檢測(cè)到有檢查 信號(hào)時(shí)，可以確保為導(dǎo)通，被檢查電路圖案為正常狀態(tài)，相反地，假 如未檢測(cè)到檢査信號(hào)時(shí)，判斷為導(dǎo)電圖案為斷線狀態(tài)，此種方法一直 使用在實(shí)際的電路襯底檢查中。
另外，也可采用的方法是提供到被檢査導(dǎo)電圖案的檢査信號(hào)，不 只確認(rèn)其正常通過(guò)該導(dǎo)電圖案，而且將檢査探針配置在與被檢査導(dǎo)電 圖案鄰接的圖案，判斷是否從該鄰接圖案的另外一端也能檢測(cè)到信號(hào)，
用來(lái)判定被檢查導(dǎo)電圖案和鄰接圖案是否有短路(short)狀態(tài)。
具體而言，方法有(l)在檢査對(duì)象的導(dǎo)電圖案的兩端，例如使梢探 針直接接觸(也稱為梢接觸方式，其詳細(xì)內(nèi)容被記載在例如專利文件1
中)，(2)只在檢查信號(hào)的供給側(cè)使梢探針直接接觸，在另外一端通過(guò)導(dǎo) 電圖案和傳感器間的電容耦合，以非接觸狀態(tài)檢測(cè)檢查信號(hào)(非接觸一 接觸并用方式)，(3)通過(guò)被檢查導(dǎo)電圖案和信號(hào)供給探針間的電容耦合 供給檢查信號(hào)，在另外一端通過(guò)導(dǎo)電圖案和傳感器間的電容耦合，檢 測(cè)檢查信號(hào)，在信號(hào)的供給側(cè)和檢測(cè)側(cè)的雙方以非接觸狀態(tài)進(jìn)行導(dǎo)通 檢査(非接觸方式)等。
專利文件1 特開(kāi)昭62-269075號(hào)公報(bào)
但是，上述(l)的梢接觸方式裝置，在作為檢查對(duì)象的襯底的全部 端子設(shè)立金屬性的梢探針，通過(guò)這些探針將電信號(hào)送入到導(dǎo)電圖案。 因此，對(duì)于檢查信號(hào)來(lái)說(shuō)可以獲得良好的S/N比(信噪比)是其優(yōu)點(diǎn)，但
是會(huì)有檢查對(duì)象制品本身或其圖案損傷的問(wèn)題，不能使用于高精密的 圖案。
另外，在上述現(xiàn)有技術(shù)的電路圖案檢査裝置和檢査方法中，其構(gòu)
成是分別設(shè)有:斷路傳感器，作為檢測(cè)裝置用來(lái)檢測(cè)作為檢查對(duì)象的導(dǎo) 電圖案是否是斷路狀態(tài)(圖案斷線狀態(tài))；短路傳感器，用來(lái)檢査與鄰接 圖案的短路狀態(tài)(short狀態(tài))。在此種情況需要分別分析來(lái)自這些傳感 器的檢測(cè)信號(hào)，使分析用的程序和檢查裝置的構(gòu)造復(fù)雜化。以及因?yàn)?需要較長(zhǎng)的檢查時(shí)間，而對(duì)于檢查性能和檢查效率的提高產(chǎn)生一定的 限制。
另外一方面，在上述(2)、 (3)方法中的檢測(cè)電平低，很難進(jìn)行精度 良好的檢査。另外，在現(xiàn)有技術(shù)的檢査裝置中，如圖9所示，提供檢 查信號(hào)的供電部101和信號(hào)檢測(cè)用的傳感器103，被配置在離開(kāi)作為檢 查對(duì)象的導(dǎo)電圖案上的一端部和另一端部一定的距離。因此，要使由 這些供電部和傳感器構(gòu)成的單元小型化會(huì)有困難。特別是由于檢查對(duì) 象(例如，液晶顯示面板或觸摸式面板等)或制品的機(jī)種等的不同，其導(dǎo) 電圖案的長(zhǎng)度也不同，所以需要有與其對(duì)應(yīng)的供電部和傳感器的配置， 必須設(shè)置配合每一種檢査對(duì)象的單元。
另外，如圖9所示，在連接圖案的一方的梳齒狀圖案中，在該導(dǎo) 電圖案沒(méi)有斷路的狀態(tài)，檢測(cè)信號(hào)轉(zhuǎn)入其它的導(dǎo)電圖案時(shí)的檢測(cè)信號(hào) 電平，和在導(dǎo)電圖案有斷路部位時(shí)的檢測(cè)信號(hào)電平，因?yàn)殡娖讲钗⑷酰?根據(jù)微弱的電平差進(jìn)行的導(dǎo)電圖案斷路檢測(cè)，不能準(zhǔn)確而且充分地檢 査。
艮口，如圖9所示，在一端開(kāi)放，另外一端被短路棒104短路的梳 齒狀導(dǎo)電圖案120、 121等，假設(shè)導(dǎo)電圖案121的一部分為斷線狀態(tài)(其 斷線部位以符號(hào)110表示)的情況。當(dāng)從供電部101提供檢查信號(hào)時(shí)， 在沒(méi)有斷線的情況，在導(dǎo)電圖案流動(dòng)的信號(hào)電流被斷路檢測(cè)傳感器103 檢測(cè)到的電平(圖10的A)，和因?yàn)閿嗑€IIO成為沒(méi)有電流流動(dòng)時(shí)的電 平(圖IO的B)進(jìn)行比較時(shí)，由圖10可以明白，其差很小(例如，降低 正常時(shí)的10%的電平)。因此，要區(qū)別檢測(cè)信號(hào)和噪聲會(huì)有困難，在檢 測(cè)結(jié)果的可靠性方面會(huì)產(chǎn)生問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明針對(duì)上述問(wèn)題，目的是提供可以以高精度檢測(cè)導(dǎo)電圖案的 斷路狀態(tài)/短路狀態(tài)的電路圖案檢査裝置及其方法。
另外，本發(fā)明的另一目的是提供可以以簡(jiǎn)易的裝置構(gòu)造檢測(cè)導(dǎo)電 圖案的斷路狀態(tài)/短路狀態(tài)的電路圖案檢查裝置及其方法。
作為用來(lái)達(dá)成上述目的、解決上述問(wèn)題的一種裝置，其具備例如 以下的構(gòu)成。即，本發(fā)明是一種電路圖案檢查裝置，用來(lái)檢査被配置
在襯底的導(dǎo)電圖案的狀態(tài)，其特征在于具備有:信號(hào)提供裝置，用來(lái)將 檢査信號(hào)提供到上述導(dǎo)電圖案的一方端部的前端附近；檢測(cè)裝置，被 配置在接近于上述信號(hào)提供裝置，可以檢測(cè)被提供有上述檢查信號(hào)的 導(dǎo)電圖案輸出的上述檢測(cè)信號(hào)；識(shí)別裝置，根據(jù)上述檢測(cè)裝置所檢測(cè) 到的檢測(cè)信號(hào)的變化，識(shí)別上述導(dǎo)電圖案是否良好。
例如本發(fā)明的特征在于還具有一種裝置，用來(lái)使上述信號(hào)提供裝 置和上述檢測(cè)裝置移動(dòng)既定位置，用來(lái)使上述信號(hào)提供裝置和上述檢 測(cè)裝置維持在接近狀態(tài)，順序掃描作為檢查對(duì)象的上述導(dǎo)電圖案。
例如，其特征在于利用上述掃描對(duì)上述導(dǎo)電圖案的一方端部的所 有圖案前端附近的上述導(dǎo)電圖案提供上述檢査信號(hào)，和利用上述導(dǎo)電 圖案進(jìn)行上述檢査信號(hào)的檢測(cè)。
另外，例如其特征在于上述信號(hào)提供裝置包含有與上述導(dǎo)電圖案 以一定間隔面對(duì)的板構(gòu)件，通過(guò)上述板構(gòu)件和上述導(dǎo)電圖案間的電容 耦合，以非接觸的方式提供上述檢査信號(hào)。
例如，其特征在于上述檢測(cè)裝置包含有與上述導(dǎo)電圖案以一定間 隔面對(duì)的板構(gòu)件，通過(guò)上述板構(gòu)件和上述導(dǎo)電圖案間的電容耦合，以 非接觸的方式檢測(cè)上述檢查信號(hào)。另外，例如其特征在于上述識(shí)別裝 置用來(lái)識(shí)別上述導(dǎo)電圖案的斷線狀態(tài)和導(dǎo)電圖案互相短路的短路狀 態(tài)。
例如，其特征在于上述導(dǎo)電圖案被配置成梳齒狀，在作為檢查對(duì) 象的梳齒狀圖案的前端部附近，上述信號(hào)提供裝置和上述檢測(cè)裝置被 定位成互相接近。另外，例如其特征在于上述導(dǎo)電圖案分別被配置成 為獨(dú)立的行狀，在作為檢查對(duì)象的行狀圖案的前端部附近，上述信號(hào) 提供裝置和上述檢測(cè)裝置被定位成互相接近。
用來(lái)解決上述問(wèn)題的另一方式具備例如以下步驟。即本發(fā)明是一 種電路圖案檢查方法，利用電路圖案檢查裝置來(lái)檢査被配置在襯底的 導(dǎo)電圖案的狀態(tài)，其特征在于所具備的步驟包含有:利用信號(hào)提供裝置
對(duì)上述導(dǎo)電圖案的一方端部的前端附近提供檢查信號(hào)；利用被配置在 接近于上述信號(hào)提供裝置的檢測(cè)裝置，檢測(cè)被提供有上述檢查信號(hào)的 導(dǎo)電圖案輸出的上述檢査信號(hào)；根據(jù)上述檢測(cè)到的檢測(cè)信號(hào)識(shí)別上述 導(dǎo)電圖案是否良好。
例如，本發(fā)明的電路圖案檢査方法其特征在于還具備有步驟包含
有使上述信號(hào)提供裝置和上述檢測(cè)裝置移動(dòng)既定位置，用來(lái)使上述
信號(hào)提供裝置和上述檢測(cè)裝置維持在接近狀態(tài)，順序掃描作為檢査對(duì) 象的上述導(dǎo)電圖案。
另外，例如其特征在于利用上述掃描對(duì)上述導(dǎo)電圖案的一方端部 的所有圖案前端附近的上述導(dǎo)電圖案提供上述檢査信號(hào)，和進(jìn)行來(lái)自 于上述導(dǎo)電圖案的上述檢査信號(hào)的檢測(cè)。
例如，其特征在于上述信號(hào)提供裝置包含有與上述導(dǎo)電圖案以一 定間隔面對(duì)的板構(gòu)件，通過(guò)上述板構(gòu)件和上述導(dǎo)電圖案間的電容耦合， 以非接觸的方式提供上述檢查信號(hào)。
例如，其特征在于上述檢測(cè)裝置包含有與上述導(dǎo)電圖案以一定間 隔面對(duì)的板構(gòu)件，通過(guò)上述板構(gòu)件和上述導(dǎo)電圖案間的電容耦合，以 非接觸的方式檢測(cè)上述檢査信號(hào)。另外，例如其特征在于上述識(shí)別歩 驟用來(lái)識(shí)別上述導(dǎo)電圖案的斷線狀態(tài)，和導(dǎo)電圖案互相短路的短路狀 態(tài)。
例如，其特征在于上述導(dǎo)電圖案被配置成梳齒狀，在作為檢查對(duì) 象的梳齒狀圖案的前端部附近，上述信號(hào)提供裝置和上述檢測(cè)裝置被 定位成互相接近。另外，例如其特征在于上述導(dǎo)電圖案分別被配置成 為獨(dú)立的行狀，在作為檢查對(duì)象的行狀圖案的前端部附近，上述信號(hào) 提供裝置和上述檢測(cè)裝置被定位成互相接近。


圖1是方塊圖，用來(lái)表示本發(fā)明的實(shí)施例的襯底檢查裝置的整體 構(gòu)造。
圖2是平面圖，用來(lái)表示內(nèi)藏有供電部和傳感器的單元，和檢查 對(duì)象的位置關(guān)系。
圖3表示在正常的導(dǎo)電圖案，在單元和導(dǎo)電圖案流動(dòng)的檢查信號(hào) 的測(cè)定結(jié)果的一個(gè)實(shí)例。
圖4表示在導(dǎo)電圖案有斷路部位的情況時(shí)，在單元和導(dǎo)電圖案流 動(dòng)的檢查信號(hào)的測(cè)定結(jié)果的一個(gè)實(shí)例。
圖5是平面圖，用來(lái)表示在未具有短路棒的導(dǎo)電圖案，單元和檢
查對(duì)象的位置關(guān)系。
圖6表示在導(dǎo)電圖案有斷路部位的情況，從供電部提供的檢查交
流信號(hào)的路徑。
圖7是電路圖，用來(lái)概略地表示實(shí)施例的襯底檢査裝置的檢査信 號(hào)的流程。
圖8是流程圖，用來(lái)表示實(shí)施例的襯底檢查裝置的檢查步驟。 圖9表示現(xiàn)有技術(shù)的電路圖案檢査裝置的檢查信號(hào)的供電部和信
號(hào)檢測(cè)用傳感器的配置例。
圖IO表示現(xiàn)有技術(shù)的電路圖案檢查裝置中，對(duì)應(yīng)到導(dǎo)電圖案的斷
線的有無(wú)，由斷路檢測(cè)傳感器檢測(cè)到的信號(hào)電流的檢測(cè)電平。
具體實(shí)施形態(tài)
下面參照附圖來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例。圖1是方塊圖，用來(lái) 表示本實(shí)施例的襯底檢査裝置的整體構(gòu)造。圖1所示的襯底檢查裝置 的檢查對(duì)象l，例如，使用液晶顯示面板或觸摸式面板，在此處是檢査 被設(shè)置在玻璃制的襯底3上的梳齒狀導(dǎo)電圖案2是否良好(導(dǎo)電圖案的 斷線狀態(tài)，和導(dǎo)電圖案的互相短路狀態(tài))。另外，梳齒狀導(dǎo)電圖案2是 例如這些面板在貼合前的導(dǎo)電圖案，使用例如鉻、銀、鋁、ITO等作 為其導(dǎo)電性材料。
在圖1中，控制部15例如是微處理器，用來(lái)進(jìn)行本實(shí)施例的襯底 檢査裝置的整體控制，統(tǒng)括地控制檢查程序。在ROM18儲(chǔ)存有作為計(jì) 算機(jī)程序的包含后面所述的襯底檢査步驟的控制步驟。另外，RAM17 是存儲(chǔ)器，作為工作區(qū)域被使用，用來(lái)暫時(shí)地儲(chǔ)存控制數(shù)據(jù)，檢查數(shù) 據(jù)等。單元5的構(gòu)成包含有:供電部12，可以以非接觸方式對(duì)梳齒狀導(dǎo)電 圖案2提供既定頻率的交流信號(hào)；傳感器13，以非接觸方式檢測(cè)檢査 對(duì)象的導(dǎo)電圖案2是否為斷路狀態(tài)(圖案斷線狀態(tài))等；放大器
(Amplifier)20，用來(lái)對(duì)傳感器13所檢測(cè)到的微弱信號(hào)進(jìn)行放大。另外， 單元5被定位在與梳齒狀導(dǎo)電圖案2離開(kāi)既定距離的位置，用來(lái)以非 接觸方式進(jìn)行檢査。
驅(qū)動(dòng)部16，接受來(lái)自控制部15的控制信號(hào)，用來(lái)使裝載有檢查對(duì) 象l的裝載臺(tái)14整體，在既定的方向以既定的速度移動(dòng)，可以使單元 5以非接觸狀態(tài)順序掃描檢査對(duì)象1的梳齒狀導(dǎo)電圖案2的導(dǎo)電圖案 2a 2e(參照?qǐng)D2等)。因此驅(qū)動(dòng)部16以u(píng) m的量級(jí)使裝載臺(tái)14朝向既 定的方向移動(dòng)。
另外，在本實(shí)施例中是以裝載有檢查對(duì)象1的裝載臺(tái)14的移動(dòng)進(jìn) 行說(shuō)明，但是不用裝載臺(tái)14的移動(dòng)，而是構(gòu)建成使單元5朝向既定的 方向移動(dòng)，用來(lái)順序地掃描檢查對(duì)象的導(dǎo)電圖案等也是可以的。
在供電部12連接有作為檢査信號(hào)的振蕩器的信號(hào)產(chǎn)生部10，在本 實(shí)施例中，例如，對(duì)供電部12輸出200kHz的高頻率信號(hào)。另夕卜，供 電部12具備有平板，用來(lái)以上述的非接觸方式對(duì)梳齒狀導(dǎo)電圖案2提 供交流信號(hào)。因此檢査信號(hào)通過(guò)供電部12和導(dǎo)電圖案間的電容耦合提 供到導(dǎo)電圖案。同樣地，提供到導(dǎo)電圖案的檢查信號(hào)通過(guò)導(dǎo)電圖案和 傳感器13間的電容耦合，從導(dǎo)電圖案到達(dá)傳感器13。
供電部12和傳感器13以互相接近狀態(tài)被配置在單元5內(nèi)，單元5 被配置在作為檢查對(duì)象的導(dǎo)電圖案的一端部，同時(shí)例如以朝向圖2中 箭頭所示方向移動(dòng)的方式，進(jìn)行裝載臺(tái)14的驅(qū)動(dòng)控制。利用此種方式， 可以分別地檢查被配置在襯底3上的成為梳齒狀的導(dǎo)電圖案2a 2e的 斷路狀態(tài)等。
另外，供電部12的長(zhǎng)度例如為40mm，傳感器13的長(zhǎng)度例如為 2mm。另外，對(duì)這些被配置成接近狀態(tài)的供電部12和傳感器13，空出 例如10mm的間隔，使傳感器13不會(huì)直接受到來(lái)自供電部12的檢查 輸出信號(hào)的影響。
放大器20是為了以既定的放大率對(duì)傳感器13所檢測(cè)到的微小信 號(hào)進(jìn)行放大，所以由例如運(yùn)算放大器(OPAmp)等構(gòu)成。在本實(shí)施形態(tài)
中，在單元5內(nèi)的傳感器13的后配置放大器20，用來(lái)排除外來(lái)噪聲等
對(duì)檢測(cè)信號(hào)的影響。
來(lái)自放大器20的輸出信號(hào)被發(fā)送到信號(hào)處理部21。該信號(hào)處理部 21是進(jìn)行將放大后的交流信號(hào)變換成為直流電平信號(hào)的波形處理，或 將模擬信號(hào)變換成為數(shù)字信號(hào)等的變換處理。然后，控制部15是使信 號(hào)處理部21處理所獲得的結(jié)果，和預(yù)先設(shè)定的基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，判定 處理結(jié)果是否為基準(zhǔn)值以上。將判定結(jié)果從控制部15發(fā)送到顯示部 25。
顯示部25由例如CRT或液晶顯示器等構(gòu)成，以檢査員能夠理解 的形式，以可視的方式顯示從控制部15送來(lái)的判定結(jié)果的檢査對(duì)象(導(dǎo) 電圖案)是否良好。假如在梳齒狀導(dǎo)電圖案2的導(dǎo)電圖案2a 2e有不良 位置時(shí)，其導(dǎo)電圖案的襯底上的位置也會(huì)以例如圖案號(hào)碼或坐標(biāo)等顯 示。另外，檢查結(jié)果的顯示并不只限于可視顯示，也可以以聲音等的 形式輸出。另外，也可以混合可視顯示和聲音。
其次說(shuō)明本實(shí)施例的襯底檢査裝置的檢査原理。圖2是平面圖， 用來(lái)表示內(nèi)藏有上述的供電部12和傳感器13的單元5，和檢査對(duì)象(導(dǎo) 電圖案)的位置關(guān)系。圖3表示正常的導(dǎo)電圖案的單元和在導(dǎo)電圖案流 動(dòng)的檢查信號(hào)的測(cè)定結(jié)果的一個(gè)實(shí)例。另一方面，圖4表示在導(dǎo)電圖 案有斷路部位的情況時(shí)的單元，和在導(dǎo)電圖案流動(dòng)的檢査信號(hào)的測(cè)定 結(jié)果的一個(gè)實(shí)例。
如圖2所示，在襯底(參照?qǐng)Dl)上，配置有應(yīng)該檢查的梳齒狀導(dǎo)電 圖案2，與該梳齒部分相當(dāng)?shù)膶?dǎo)電圖案2a 2e所具有的構(gòu)造是使其一端 開(kāi)放，基部被短路棒4短路。另外，內(nèi)藏有供電部12和傳感器13的 單元5，如圖2所示，在檢查時(shí)被配置在導(dǎo)電圖案2a 2e的開(kāi)放端附近， 通過(guò)沿箭頭方向移動(dòng)，用來(lái)判定導(dǎo)電圖案2a 2e的每一個(gè)有無(wú)斷路狀 態(tài)。
在本實(shí)施例的襯底檢查裝置中，在襯底檢查時(shí)，將在玻璃制的襯 底3上配置有梳齒狀導(dǎo)電圖案2的檢査對(duì)象1整體裝載在裝載臺(tái)14， 該裝載臺(tái)14被電性接地。因此，在梳齒狀導(dǎo)電圖案2的各個(gè)導(dǎo)電圖案 2a 2e就成為相當(dāng)于連接有包含有玻璃3和裝載臺(tái)14的電容(電容器)， 來(lái)自供電部12的信號(hào)電流通過(guò)各個(gè)導(dǎo)電圖案流入到這些電容。
圖7是電路圖，用來(lái)概略地表示本實(shí)施例的襯底檢查裝置的檢查
信號(hào)的流程。在圖7中，電阻R1、 R2的阻抗分別相當(dāng)于非接觸狀態(tài)的
供電部一導(dǎo)電圖案間的耦合電容，和導(dǎo)電圖案一傳感器間的耦合電容。
另外R3是放大器20的輸入阻抗，R4是相當(dāng)于裝載臺(tái)和接地(地線)間 的電容的阻抗。
Rl、 R2具有與空氣間隙相當(dāng)?shù)母咦杩怪?，放大器的輸入阻抗R3 也是高阻抗。另外，R4因?yàn)槭前搪钒舻膶?dǎo)電圖案的接地阻抗，所 以其阻抗值遠(yuǎn)比Rl、 R2等小。例如對(duì)于本襯底檢查裝置的檢查信號(hào)的 頻率，Rl、 R2為500KQ， R3為100KQ， R4為500Q 1KQ。
因此，在導(dǎo)電圖案為正常的情況時(shí)(沒(méi)有斷路部位的情況時(shí))，從供 電部IO提供的檢査交流信號(hào)，依照上述的電阻的分壓比，通過(guò)R1和 導(dǎo)電圖案2，流入到小阻抗的R4(在圖7中，該電流以i表示)。但是， 在導(dǎo)電圖案有斷路部位時(shí)，檢査信號(hào)的大部分通過(guò)R2流入到放大器 20。
艮P，在本實(shí)施例的襯底檢查裝置中，利用流入放大器20的電流i，， 求得在輸入電阻R3的電壓降的值，判斷其是否在基準(zhǔn)值以上，來(lái)判定 導(dǎo)電圖案有無(wú)斷線。
在檢査對(duì)象的梳齒狀導(dǎo)電圖案2的導(dǎo)電圖案2a 2e均沒(méi)有斷路部 位的情況，如圖3(a)所示，當(dāng)單元5沿箭頭方向移動(dòng)既定距離時(shí)，將交 流信號(hào)提供到各個(gè)的移動(dòng)位置(位置ni、 V、 VII、 IX)的正下方的導(dǎo)電 圖案，該電流流入到圖7所示的R4。
圖3(b)表示在任一導(dǎo)電圖案均沒(méi)有斷路部位的正常情況的傳感器 13的信號(hào)檢測(cè)電平。在圖3(b)中，橫軸表示單元5的移動(dòng)距離(wm)， 縱軸表示利用傳感器13檢測(cè)到的電壓電平(mVpp)(更具體來(lái)說(shuō)，以傳 感器13檢測(cè)到的出現(xiàn)在放大器20的輸入阻抗R3的電壓值)。
單元5的傳感器13依照上述的方式，通過(guò)傳感器13和導(dǎo)電圖案 間的電容耦合，檢測(cè)在各個(gè)導(dǎo)電圖案流動(dòng)的信號(hào)，在導(dǎo)電圖案為正常 的情況時(shí)，因?yàn)榛旧蠜](méi)有流入到R3的電流，所以其檢測(cè)電平非常小。 但是，盡管檢測(cè)電壓的電平非常小，但是當(dāng)單元5移動(dòng)到位于作為檢 查對(duì)象的導(dǎo)電圖案上時(shí)，電平變?yōu)樽畲螅?dāng)單元5不在導(dǎo)電圖案上時(shí)， 電壓電平降低，重復(fù)此種狀態(tài)。
艮口，如圖3(a)所示，當(dāng)單元5朝向箭頭方向移動(dòng)，位于導(dǎo)電圖案上 時(shí)(對(duì)應(yīng)到圖中的位置I、 III、 V、 VII、 IX)，如圖3(b)所示，傳感器13 的檢測(cè)電壓電平變?yōu)樽畲蟆Ａ硗?，?dāng)單元5位于鄰接的導(dǎo)電圖案的間 隙(即，在其正下方?jīng)]有導(dǎo)電圖案)時(shí)，傳感器13檢測(cè)到的電壓電平降 低(對(duì)應(yīng)到圖中的位置II、 IV、 VI、 VIII、 X)。
另外一方面，在作為檢查對(duì)象的導(dǎo)電圖案有斷路部位的情況時(shí)， 例如，圖4(a)所示的導(dǎo)電圖案2b，符號(hào)41所示的位置成為斷路狀態(tài)， 下面說(shuō)明此種情況。在此種情況時(shí)，當(dāng)單元5位于導(dǎo)電圖案2a上時(shí)(位 置I)，來(lái)自供電部12的交流信號(hào)的大部分通過(guò)導(dǎo)電圖案2a流入到小阻 抗的R4(參照?qǐng)D7)。這時(shí)的傳感器13的檢測(cè)電壓電平成為對(duì)應(yīng)到圖4(b)
中的"位置r所示的電平。
但是，當(dāng)單元5的一部分位于斷路部位41的導(dǎo)電圖案2b上時(shí)(這 時(shí)的單元位置位于如圖4(a)所示的"位置in")，來(lái)自供電部12的交流 信號(hào)因?yàn)樵跀嗦凡课?1被阻止，所以不流入到R4。
此種情況如圖6所示，從供電部12提供的交流信號(hào)i，其大部分 通過(guò)供電部12—供電部12 —導(dǎo)電圖案2b間的耦合電容C1 —導(dǎo)電圖案 2b—導(dǎo)電圖案2b—傳感器13間的耦合電容C2的路徑，到達(dá)傳感器13。 即，當(dāng)在作為檢査對(duì)象的導(dǎo)電圖案有斷路部位的情況時(shí)，來(lái)自供電部 12的交流信號(hào)中的大部分的電流(i')，通過(guò)被設(shè)置成接近該供電部12 的傳感器13，流入到放大器20的輸入阻抗R3。
其結(jié)果是傳感器13檢測(cè)到的出現(xiàn)在放大器20的電阻R3的"位置 m"的電壓電平，如圖4(b)所示，當(dāng)與通常狀態(tài)(在導(dǎo)電圖案沒(méi)有斷路部 位的正常狀態(tài))比較時(shí)，顯著地上升。例如，在以通常狀態(tài)的檢測(cè)電平 作為1的情況，本實(shí)施例的襯底檢查裝置的單元5的傳感器13的檢測(cè) 電平為7~8。
然后，單元5繼續(xù)朝向既定方向移動(dòng)，當(dāng)從導(dǎo)電圖案2b上到達(dá)導(dǎo) 電圖案2c上時(shí)(位置V)，來(lái)自供電部12的交流信號(hào)，因?yàn)樵搱D案2c 為正常，所以流入到小阻抗的R4(參照?qǐng)D7)。然后，在單元5所掃描的 任一導(dǎo)電圖案，如圖4(a)所示，因?yàn)榫鶝](méi)有斷路部位，所以與圖3(b) 所示的情況同樣地，依照單元5的位置使傳感器13的檢測(cè)電壓電平重 復(fù)上升和下降，從而獲得此種檢查結(jié)果(參照?qǐng)D4(b))。
另外，在上述的實(shí)例中，所說(shuō)明的構(gòu)造是使作為檢査對(duì)象的導(dǎo)電 圖案的一端斷路，其基部被短路棒短路的構(gòu)造，但是導(dǎo)電圖案的構(gòu)造 并不只限于該種，例如，也可以如圖5所示，即使在未具有短路棒的
圖案，利用單元5順序掃描導(dǎo)電圖案2a 2e，利用與上述同樣的原理， 判定圖案是否良好。特別是在圖案長(zhǎng)度很長(zhǎng)的情況時(shí)，其等效電路可 以視為與有短路棒的情況相同。
另外，襯底上的檢査對(duì)象導(dǎo)電圖案的配置，并不只限于在襯底上 只配置圖2所示的圖案的實(shí)例，在同一襯底上在縱橫方向配置多組的 檢查圖案者也可以適用本發(fā)明的檢査方法。
另外，在本實(shí)施例的襯底檢査裝置中，對(duì)于導(dǎo)電圖案的短路狀態(tài)， 也可以與上述導(dǎo)電圖案斷路狀態(tài)的判定同樣地進(jìn)行檢測(cè)。例如，在鄰 接的導(dǎo)電圖案間有短路(short)的情況時(shí)，隨著從供電路12開(kāi)始提供檢 查信號(hào)，通過(guò)供電部和導(dǎo)電圖案間的電容耦合，檢測(cè)信號(hào)大致同時(shí)地 流入到作為檢查對(duì)象的導(dǎo)電圖案和與其短路的導(dǎo)電圖案雙方。因此， 當(dāng)與沒(méi)有短路的情況比較時(shí)，信號(hào)強(qiáng)度會(huì)產(chǎn)生差異。其結(jié)果是傳感器 13所檢測(cè)到的電壓電平也會(huì)產(chǎn)生變化。
因此，在導(dǎo)電圖案有短路的情況時(shí)，大于沒(méi)有短路的正常時(shí)檢査 電流的電流，會(huì)瞬時(shí)直接流到鄰近供電部12配置的傳感器13。因此， 這時(shí)的傳感器13的電壓檢測(cè)電平上升。通過(guò)預(yù)先測(cè)定正常時(shí)的電壓檢 測(cè)值(即，連續(xù)信號(hào)以何種方式變化)，在檢査步驟中當(dāng)檢測(cè)到與其不同 的電壓值(信號(hào)變化)時(shí)，可以判定導(dǎo)電圖案有短路狀態(tài)。
依照此種方式，導(dǎo)電圖案與鄰接的其它圖案有短路狀態(tài)時(shí)的電壓 檢測(cè)電平的上升程度，與上述的斷路狀態(tài)的判定時(shí)所檢測(cè)到電壓電平 的顯著上升具有微小且明顯的不同，憑借這種變化，就可以很容易區(qū) 別導(dǎo)電圖案的斷路狀態(tài)和短路狀態(tài)。
另外，當(dāng)單元5的一部分位于斷路部位的導(dǎo)電圖案上時(shí)的電壓電 平的顯著上升，和鄰接的導(dǎo)電圖案間有短路時(shí)的檢測(cè)信號(hào)的強(qiáng)度的差 異造成的電壓電平的變化，如圖3(b)或圖4(b)所示，來(lái)自傳感器13的 信號(hào)檢測(cè)電平，當(dāng)單元5在檢查對(duì)象的導(dǎo)電圖案上時(shí)電壓電平變大， 當(dāng)單元5不在導(dǎo)電圖案上時(shí)電壓電平降低，例如，使用微分電路等軟 件方式，除去來(lái)自傳感器13的信號(hào)檢測(cè)電平，可以更容易地檢測(cè)斷路
狀態(tài)本身和短路狀態(tài)本身，同時(shí)可以更容易區(qū)別斷路狀態(tài)和短路狀態(tài)。 下面說(shuō)明本實(shí)施例的襯底檢查裝置的檢査步驟等。圖8是流程圖， 用來(lái)表示本實(shí)施例的襯底檢查裝置的檢查步驟。在圖8的步驟S1，表 面形成有作為檢査對(duì)象的導(dǎo)電圖案的玻璃襯底(檢査襯底)，依照?qǐng)D中未 顯示的搬運(yùn)路徑，被搬運(yùn)到襯底檢查裝置的既定位置。然后，在步驟
S2，檢查襯底被上述的襯底裝載臺(tái)14保持和定位。
該襯底裝載臺(tái)14被構(gòu)建成可以利用XYZe角度的4軸控制進(jìn)行三 次元位置控制，被定位在使檢查對(duì)象襯底離開(kāi)傳感器位置一定距離的 作為測(cè)定前的基準(zhǔn)的位置。例如，單元5被定位在圖2所示導(dǎo)電圖案 中最左側(cè)的導(dǎo)電圖案2a的開(kāi)放端側(cè)中央部。
依照此種方式定位到檢查襯底的測(cè)定位置之后，在步驟S3，例如， 利用控制部15控制信號(hào)產(chǎn)生部10，將上述的200kHz的高頻率信號(hào)(檢 查信號(hào))提供到供電部12。在步驟S5，在信號(hào)處理部21，進(jìn)行上述的 波形處理或信號(hào)變換處理等，然后在步驟S6，控制部15將這些這些處 理結(jié)果儲(chǔ)存在存儲(chǔ)器(RAM17)。
在步驟S7，判定作為檢查對(duì)象的全部的導(dǎo)電圖案是否已完成處理/ 檢査。該判定的進(jìn)行是根據(jù)，例如，檢查襯底的移動(dòng)距離是否與全部 的導(dǎo)電圖案的寬度的合計(jì)和這些圖案間隔的合計(jì)的相加后的距離一 致。因此，在步驟S7的判定的結(jié)果，在全部導(dǎo)電圖案的處理/檢査未完 成的情況時(shí)，控制部15在步驟S8，為了使下一個(gè)應(yīng)該檢查的導(dǎo)電圖案 位于單元5的正下方，控制驅(qū)動(dòng)部16使檢査襯底移動(dòng)既定的距離(具體 來(lái)說(shuō)是控制單元5沿圖2的箭頭方向相對(duì)移動(dòng)，移動(dòng)距離僅是鄰接的 行狀導(dǎo)電圖案的中心間的距離)。
然后，控制部15使處理回到歩驟S5，進(jìn)行與上述同樣的處理。其 結(jié)果是上述的波形處理等對(duì)應(yīng)該檢査的導(dǎo)電圖案連續(xù)執(zhí)行，在RAM17 順序地儲(chǔ)存與各個(gè)圖案對(duì)應(yīng)的處理結(jié)果。
依照此種方式，在該圖8的檢查步驟中，從歩驟S5到步驟S8的 步驟是維持對(duì)供電部提供檢查信號(hào)的狀態(tài)(步驟S3的狀態(tài))，同時(shí)使檢 查襯底移動(dòng)(即單元5在作為檢査對(duì)象的導(dǎo)電圖案上順序掃描)。另外， 該檢查襯底的移動(dòng)可以是使檢査襯底移動(dòng)既定距離(步驟S8)，在進(jìn)行 傳感器輸出信號(hào)的處理(步驟S5)和儲(chǔ)存處理結(jié)果(步驟S6)的期間停止，
也可以是使檢查襯底移動(dòng)既定距離(步驟S8)同時(shí)進(jìn)行傳感器輸出信號(hào)
的處理(步驟S5)和儲(chǔ)存處理結(jié)果(步驟S6)，不停止地連續(xù)移動(dòng)。特別 是要縮短檢査時(shí)間時(shí)，在步驟S5到步驟S8的步驟，使檢查襯底不停 止地連續(xù)移動(dòng)是有效方法。
另外一方面，在作為檢查對(duì)象的全部的導(dǎo)電圖案均已完成檢查的 情況時(shí)，即，檢查襯底的移動(dòng)距離與全部導(dǎo)體圖案寬度的合計(jì)和圖案 間隔的合計(jì)的加總值一致的情況時(shí)(步驟S7為"是")，在步驟S9，分 析被儲(chǔ)存在RAM17的處理結(jié)果，根據(jù)其分析結(jié)果判定檢查對(duì)象是否良 好。具體操作時(shí)是使處理傳感器輸出信號(hào)所獲得的結(jié)果和基準(zhǔn)值進(jìn)行 比較，假如在基準(zhǔn)值以上時(shí)，判定為該導(dǎo)電圖案不是斷路狀態(tài)。
在步驟SIO，假如判定為各個(gè)導(dǎo)電圖案位置的檢測(cè)信號(hào)電平全部在 既定范圍內(nèi)時(shí)，全部導(dǎo)電圖案為正常，在歩驟S12控制部15控制顯示 部25，顯示檢查對(duì)象為良品的信息。
依照此種方式，在檢査對(duì)象為良品的情況時(shí)，使撿査襯底下降到 搬運(yùn)位置將其裝載在搬運(yùn)路徑上，搬運(yùn)到下一個(gè)的裝載臺(tái)。另外，在 進(jìn)行連續(xù)檢査的情況時(shí)，回到步驟S1，將下一個(gè)要檢查的襯底搬運(yùn)到 襯底檢査裝置的既定位置。
但是，假如導(dǎo)電圖案位置的檢測(cè)信號(hào)電平即使只有一個(gè)沒(méi)有在既 定范圍內(nèi)時(shí)，該導(dǎo)電圖案視為不良，控制部15在步驟S13，對(duì)顯示部 25進(jìn)行控制，使其顯示檢查對(duì)象為不良品的信息。然后，使檢查襯底 下降到搬運(yùn)位置將其裝載在搬運(yùn)路徑上，搬運(yùn)到下一個(gè)的裝載臺(tái)，或 進(jìn)行使不良襯底離開(kāi)搬運(yùn)路徑等的處理。
如以上所說(shuō)明的方式，以非接觸方式檢查被設(shè)置在襯底上成為行 狀的導(dǎo)電圖案是否良好時(shí)，通過(guò)將提供檢査信號(hào)的供電部和檢測(cè)該信 號(hào)的傳感器配置成互相接近，在傳感器位于沒(méi)有斷路狀態(tài)的正常的導(dǎo) 電圖案上的情況，和傳感器位于有斷路部位的導(dǎo)電圖案上時(shí)，利用傳 感器檢測(cè)到的檢查電流的檢測(cè)電平會(huì)產(chǎn)生顯著的不同，所以可以顯著 提高導(dǎo)電圖案的斷路狀態(tài)的檢測(cè)精確度。
艮口，當(dāng)在導(dǎo)電圖案有斷路部位的情況時(shí)，來(lái)自供電部的交流信號(hào) 不會(huì)流入到其它的導(dǎo)電圖案，所以大多的信號(hào)通過(guò)導(dǎo)電圖案和傳感器 間的耦合電容，流入到被配置在接近該供電部的傳感器。其結(jié)果是傳
感器的檢測(cè)電壓電平，與在導(dǎo)電圖案沒(méi)有斷路部位的正常情況比較時(shí) 顯著地上升，所以斷路狀態(tài)的判別變的容易。
另夕卜，導(dǎo)電圖案與鄰接的其它的導(dǎo)電圖案短路(short)時(shí)，傳感器的
電壓檢測(cè)電平稍微地上升，其變化的程度與導(dǎo)電圖案有斷路狀態(tài)時(shí)檢 測(cè)到的顯著的電壓電平上升明顯地不同。因此，利用內(nèi)藏有供電部和 傳感器的一個(gè)單元，就可以判別導(dǎo)電圖案的斷路狀態(tài)和短路狀態(tài)兩方 面，所以當(dāng)與現(xiàn)有技術(shù)的分別檢査斷路/短路的情況比較時(shí)，可以提高 檢查效率，可以大幅地縮短檢查時(shí)間。另外，襯底檢查程序(檢查邏輯) 也可以因而簡(jiǎn)化。
另外，因?yàn)楣╇姴亢蛡鞲衅髟谕粏卧獌?nèi)被配置成互相接近，所 以可以使單元小型化，可以使襯底檢査裝置的制造成本降低。另外， 因?yàn)椴恍枰F(xiàn)有技術(shù)方式的使供電部和傳感器分別在圖案的一端部和 另外一端部的構(gòu)造，所以利用一種檢查單元可以適應(yīng)被配置在液晶顯 示面板或觸摸式面板等的各種長(zhǎng)度的圖案，檢查是否良好，是其優(yōu)點(diǎn)。
產(chǎn)業(yè)上的可利用性
根據(jù)本發(fā)明，可以以良好的精度，簡(jiǎn)單地檢測(cè)作為檢査對(duì)象的襯 底上的導(dǎo)電圖案的斷路狀態(tài)等。
另外，利用本發(fā)明，可以使檢測(cè)單元小型化，可以使襯底檢查裝 置的制造成本降低。
權(quán)利要求
1.一種電路圖案檢查裝置，用來(lái)檢查被配置在襯底的導(dǎo)電圖案的狀態(tài)，其特征在于具備有信號(hào)提供裝置，用來(lái)將檢查信號(hào)提供到上述導(dǎo)電圖案的一方端部的前端附近；檢測(cè)裝置，被配置在接近上述信號(hào)提供裝置，可以檢測(cè)來(lái)自于被提供有上述檢查信號(hào)的導(dǎo)電圖案的上述檢測(cè)信號(hào)；識(shí)別裝置，根據(jù)上述檢測(cè)裝置所檢測(cè)到的檢測(cè)信號(hào)的變化，來(lái)識(shí)別上述導(dǎo)電圖案是否良好。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1的電路圖案檢查裝置，其中，還具備使上述信號(hào) 提供裝置和上述檢測(cè)裝置移動(dòng)既定位置的裝置，上述信號(hào)提供裝置和 上述檢測(cè)裝置維持接近狀態(tài)，用來(lái)順序掃描作為檢査對(duì)象的上述導(dǎo)電 圖案。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2的電路圖案檢查裝置，其中，利用上述掃描對(duì)上 述導(dǎo)電圖案的一方端部的所有圖案前端附近的上述導(dǎo)電圖案提供上述 檢查信號(hào)，和對(duì)來(lái)自于上述導(dǎo)電圖案上述檢査信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3的電路圖案檢査裝置，其中，上述信號(hào)提供裝置 包含有與上述導(dǎo)電圖案以一定間隔面對(duì)的板構(gòu)件，通過(guò)上述板構(gòu)件和上述導(dǎo)電圖案間的電容耦合，以非接觸方式提供上述檢査信號(hào)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求3的電路圖案檢査裝置，其中，上述檢測(cè)裝置包含 有與上述導(dǎo)電圖案以一定間隔面對(duì)的板構(gòu)件，通過(guò)上述板構(gòu)件和上述 導(dǎo)電圖案間的電容耦合，以非接觸方式檢測(cè)上述檢查信號(hào)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)的電路圖案檢査裝置，其中，上述 識(shí)別裝置用來(lái)識(shí)別上述導(dǎo)電圖案的斷線狀態(tài)，和導(dǎo)電圖案互相短路的 短路狀態(tài)。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6的電路圖案檢查裝置，其中，上述導(dǎo)電圖案被配 置成梳齒狀，在作為檢査對(duì)象的梳齒狀圖案的前端部附近，上述信號(hào) 提供裝置和上述檢測(cè)裝置被定位成互相接近。
8. 根據(jù)權(quán)利要求6的電路圖案檢查裝置，其中，上述導(dǎo)電圖案分別 被配置成為獨(dú)立的行狀，在作為檢査對(duì)象的行狀圖案的一端部附近， 上述信號(hào)提供裝置和上述檢測(cè)裝置被定位成互相接近。
9. 一種電路圖案檢査方法，利用電路圖案檢査裝置用來(lái)檢査被配置 在襯底的導(dǎo)電圖案的狀態(tài)，其特征在于所具備的步驟包含有利用信號(hào)提供裝置對(duì)上述導(dǎo)電圖案的一方端部的前端附近提供檢 査信號(hào)；利用被配置在接近上述信號(hào)提供裝置的檢測(cè)裝置，檢測(cè)來(lái)自于被 提供有上述檢査信號(hào)的導(dǎo)電圖案的上述檢查信號(hào)；根據(jù)上述檢測(cè)到的檢測(cè)信號(hào)的變化，識(shí)別上述導(dǎo)電圖案是否良好。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9的電路圖案檢査方法，其中，還具備的步驟包 含有使上述信號(hào)提供裝置和上述檢測(cè)裝置移動(dòng)既定位置，用來(lái)使上 述信號(hào)提供裝置和上述檢測(cè)裝置維持接近狀態(tài)，順序掃描作為檢査對(duì) 象的上述導(dǎo)電圖案。
11.根據(jù)權(quán)利要求10的電路圖案檢査方法，其中，利用上述掃描對(duì) 上述導(dǎo)電圖案的一方端部的所有圖案前端附近的上述導(dǎo)電圖案提供上 述檢查信號(hào)，和對(duì)來(lái)自于上述導(dǎo)電圖案的上述檢査信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)。
12. 根據(jù)權(quán)利要求11的電路圖案檢查方法，其中，上述信號(hào)提供裝 置包含有與上述導(dǎo)電圖案以一定間隔面對(duì)的板構(gòu)件，通過(guò)上述板構(gòu)件 和上述導(dǎo)電圖案間的電容耦合，以非接觸方式提供上述檢查信號(hào)。
13. 根據(jù)權(quán)利要求11的電路圖案檢査方法，其中，上述檢測(cè)裝置包 含有與上述導(dǎo)電圖案以一定間隔面對(duì)的板構(gòu)件，通過(guò)上述板構(gòu)件和上 述導(dǎo)電圖案間的電容耦合，以非接觸方式檢測(cè)上述檢査信號(hào)。
14. 根據(jù)權(quán)利要求9至13項(xiàng)中任一項(xiàng)的電路圖案檢查方法，其中，上述識(shí)別步驟用來(lái)識(shí)別上述導(dǎo)電圖案的斷線狀態(tài)，和導(dǎo)電圖案互相間 的短路狀態(tài)。
15. 根據(jù)權(quán)利要求14項(xiàng)的電路圖案檢查方法，其中，上述導(dǎo)電圖案 被配置成梳齒狀，在作為檢査對(duì)象的梳齒狀圖案的前端部附近，上述 信號(hào)提供裝置和上述檢測(cè)裝置被定位成互相接近。
16. 根據(jù)權(quán)利要求14項(xiàng)的電路圖案檢查方法，其中，上述導(dǎo)電圖案 分別被配置成為獨(dú)立的行狀，在作為檢查對(duì)象的行狀圖案的前端部附 近，上述信號(hào)提供裝置和上述檢測(cè)裝置被定位成互相接近。
17. —種計(jì)算機(jī)可讀取的記錄媒體，其特征在于存儲(chǔ)計(jì)算機(jī)程序， 以利用計(jì)算機(jī)控制實(shí)現(xiàn)權(quán)利要求9至16中任一項(xiàng)的電路圖案檢查方 法。
18. —種計(jì)算機(jī)程序列，為了實(shí)現(xiàn)計(jì)算機(jī)控制權(quán)利要求9至16中 任一項(xiàng)記述的電路圖案檢査方法。
全文摘要
本發(fā)明提供一種可以以單一的傳感器單元檢測(cè)導(dǎo)電圖案的斷路/短路的電路圖案檢查裝置及其方法。當(dāng)以非接觸式檢查被設(shè)在玻璃襯底3上成為行狀的導(dǎo)電圖案2是否良好時(shí)，將用以供給檢查信號(hào)的供電部12，和用以檢測(cè)該信號(hào)的傳感器13配置成互相接近。利用此種構(gòu)造，當(dāng)傳感器13位于沒(méi)有斷路狀態(tài)的正常的導(dǎo)電圖案上時(shí)，和傳感器13位于有斷路部位的導(dǎo)電圖案上時(shí)，該傳感器13檢測(cè)到的檢查電流的檢測(cè)電平產(chǎn)生顯著不同，所以可以準(zhǔn)確地進(jìn)行斷路狀態(tài)的檢測(cè)。
文檔編號(hào)G01R31/02GK101107536SQ200680002739
公開(kāi)日2008年1月16日 申請(qǐng)日期2006年1月18日 優(yōu)先權(quán)日2005年1月19日
發(fā)明者山岡秀嗣, 石岡圣悟, 羽森寬 申請(qǐng)人:Oht株式會(huì)社