專利名稱：基板檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種能夠通過透射型背面照明對玻璃基板等進(jìn)行外觀檢查的基板檢查裝置。
背景技術(shù)：
以往，在平板顯示器(FPD)等的制造工藝中，作為對玻璃基板等進(jìn)行外觀檢查的方法，嘗試了這樣的方法通過來自被檢查基板的表面?zhèn)鹊穆渖湔彰鬟M(jìn)行觀察，同時，通過來自背面?zhèn)鹊耐干湔彰鬟M(jìn)行觀察，進(jìn)而，詳細(xì)地檢測出損傷等的缺陷部分。例如，已提案有這樣的基板檢查裝置，該裝置具有擺動臺，其支撐被檢查基板使其可擺動；反射照明單元，其對擺動臺上的基板表面進(jìn)行照射；透射照明單元，其從背面對擺動臺上的基板進(jìn)行透射(例如，參照專利文獻(xiàn)1日本特開2000-66164號公報)。
此外，還提案有這樣的基板檢查裝置，該裝置主體具有第1驅(qū)動單元，其對保持被檢查基板的被檢查基板保持部作用上下方向的驅(qū)動力；轉(zhuǎn)動支撐單元，其進(jìn)行轉(zhuǎn)動支撐；第2驅(qū)動單元，其沿水平方向作用驅(qū)動力，在該裝置主體的后方設(shè)置有背光燈，在所述背光燈的表面上設(shè)置有用于防止外光反射的ND濾光器(例如，參照專利文獻(xiàn)2日本特開平11-94753號公報)。
但是，在專利文獻(xiàn)1的基板外觀檢查裝置中，通過透射照明單元從擺動臺的下方進(jìn)行照明，由于檢查者的觀察方向和透射照明的方向不同，因此，不能進(jìn)行有效的透射照明觀察。此外，還提案有這樣的裝置透射照明單元被固定在擺動臺上，從而透射照明裝置也與擺動臺一起擺動，但由于使擺動臺驅(qū)動的驅(qū)動部與透射照明單元一起擺動，所以尤其是伴隨被檢查基板的大型化，存在著驅(qū)動部變大的問題。
此外，在專利文獻(xiàn)2的基板檢查裝置中，當(dāng)在被檢查基板的移動范圍的后方位置通過透射照明進(jìn)行觀察時，導(dǎo)致被檢查基板與背光燈的距離增大。
因此，尤其是伴隨被檢查基板的大型化，背光燈的照明發(fā)生散射，存在著不能得到觀察所必要的亮度的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述情況而進(jìn)行，本發(fā)明的目的在于提供一種基板檢查裝置，該裝置可以通過落射照明對可轉(zhuǎn)動地保持在支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)上的被檢查基板進(jìn)行外觀檢查，同時，可高效地通過透射型背面照明進(jìn)行外觀檢查。
為解決上述課題，本發(fā)明的一個方面(aspect)是，基板檢查裝置具有支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)，所述支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)保持被檢查基板，并在檢查時使所述被檢查基板移動到檢查位置，在非檢查時使所述被檢查基板移動到退避位置；背光燈，所述背光燈位于上述被檢查基板的與觀察表面?zhèn)认喾吹谋趁鎮(zhèn)?，用于照射所述被檢查基板，該基板檢查裝置通過該背光燈的透射型背面照明來進(jìn)行所述被檢查基板的外觀檢查，該基板檢查裝置的特征在于，具有可使所述背光燈移動的移動單元，該移動單元在通過透射型背面照明進(jìn)行觀察時，使所述背光燈接近通過上述支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)而設(shè)定為預(yù)定角度的所述被檢查基板的背面?zhèn)龋瑫r，在通過來自表面?zhèn)鹊穆渖湔彰鬟M(jìn)行觀察時以及所述支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動時，使所述背光燈移動到所述支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)動區(qū)域之外。
根據(jù)本發(fā)明的基板檢查裝置，能夠在通過來自背光燈的透射型背面照明進(jìn)行觀察時，將保持被檢查基板的支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)設(shè)定為預(yù)定的角度，從而成為檢查位置，然后通過移動單元使背光燈接近被檢查基板的背面?zhèn)?。此外，在通過來自表面?zhèn)鹊穆渖湔彰鬟M(jìn)行觀察時以及上述支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動時，通過移動單元使背光燈移動到支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)動區(qū)域之外。
根據(jù)本發(fā)明，由于可以在被檢查基板的背面配置背光燈，因此，能夠通過透射型背面照明高效地進(jìn)行外觀檢查。而且，由于能夠通過移動單元使背光燈移動到支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)動區(qū)域之外，因此，不會在通過來自表面?zhèn)鹊穆渖湔彰鬟M(jìn)行觀察時以及上述支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動時造成妨礙。此外，通過使背光燈的移動單元為不同于使被檢查基板轉(zhuǎn)動的支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)，不會使這些機(jī)構(gòu)的驅(qū)動部大型化。


圖1是本發(fā)明的第1實施方式的基板檢查裝置的整體圖。
圖2是本發(fā)明的第1實施方式的基板檢查裝置的放大后的側(cè)視圖。
圖3是本發(fā)明的第2實施方式的基板檢查裝置的放大后的側(cè)視圖。
圖4是本發(fā)明的第3實施方式的基板檢查裝置的放大后的側(cè)視圖。
圖5是本發(fā)明的第4實施方式的基板檢查裝置的放大后的側(cè)視圖。
標(biāo)號說明1、30、40、50…基板檢查裝置3…支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)5…背光燈6，31、41、51…移動單元7…轉(zhuǎn)動軸(轉(zhuǎn)動中心)16…支撐部件17、32、42…轉(zhuǎn)動臂19、20…連桿19a、20a…一端19b、20b…另一端21…固定板(固定部件)52…導(dǎo)軌(滑塊機(jī)構(gòu))53…滑塊(滑塊機(jī)構(gòu))A…檢查位置B…退避位置C…照射位置
D…退避位置M1…觀察視野P…轉(zhuǎn)動區(qū)域W…被檢查基板W1…表面W2…背面具體實施方式
(第1實施方式)圖1和圖2表示本發(fā)明的第1實施方式。圖1中表示基板檢查裝置的整體圖；圖2中表示放大后的側(cè)視圖。
如圖1所示，基板檢查裝置1具有筐體2，其形成外輪廓；支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)3，其使保持被檢查基板W的基板支架11轉(zhuǎn)動；落射照明單元4，其對被檢查基板W的形成有圖案的表面W1進(jìn)行落射照明；背光燈5，其對被檢查基板W的表面W1的相反側(cè)的背面W2進(jìn)行照射；以及背光燈5的移動單元6。筐體2的內(nèi)壁面2a為黑色，以使光不會漫反射。此外，支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)3具有轉(zhuǎn)動軸7，其設(shè)置在轉(zhuǎn)動中心；一對轉(zhuǎn)動臂8，在該臂的基端部可轉(zhuǎn)動地支撐在轉(zhuǎn)動軸7上；一對支架導(dǎo)向部9，其固定在各轉(zhuǎn)動臂8的前端部；基板支架11，其可沿各支架導(dǎo)向部9移動且具有矩形的開口部。在基板支架11的開口部，隔開預(yù)定的間隔架設(shè)有多個細(xì)桿狀的基板支撐部，在該基板支撐部上，隔開預(yù)定的間隔固定有多個吸盤10，該吸盤10用于吸附保持被檢查基板W的背面。進(jìn)而，支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)3具有驅(qū)動部12，并通過驅(qū)動部12的運(yùn)轉(zhuǎn)，使轉(zhuǎn)動臂8能夠以轉(zhuǎn)動軸7為中心轉(zhuǎn)動。從而，轉(zhuǎn)動臂8可從檢查位置A轉(zhuǎn)動到基板交接位置B，所述檢查位置A是檢查者M(jìn)站立在適于對被檢查基板W的表面W1進(jìn)行目視檢查的角度的位置；基板交接位置B是支架導(dǎo)向部9基本為水平的位置，此外，在進(jìn)行被檢查基板W的檢查時，該轉(zhuǎn)動臂8可在檢查位置A使被檢查基板W在微小的角度范圍內(nèi)，例如±5～10度擺動。通過使轉(zhuǎn)動臂8在檢查位置A微小地擺動，落射照明單元4對被檢查基板W的表面W1的入射角度發(fā)生改變，從而能夠良好地觀察由圖案或缺陷反射的散射光或衍射光的反射條件。
此外，落射照明單元4具有燈13，其是照明用光源；反射鏡14，其反射從燈13照射的照明光；菲涅爾透鏡15，其會聚由反射鏡14反射的照明光，并使其照射到被檢查基板W上。燈13可對廣范圍進(jìn)行照明，例如是金屬鹵化物燈、鈉燈或熒光燈等。
背光燈5是可進(jìn)行面照明的光源，例如由熒光燈或LED的集合體構(gòu)成。此外，移動單元6由如下構(gòu)成轉(zhuǎn)動臂17，其在基端部被支撐部件16支撐，并能夠轉(zhuǎn)動到直立為預(yù)定角度的支架導(dǎo)向部9的背面?zhèn)取⒒蛘呋逯Ъ?1的背面?zhèn)?，其中所述支撐部?6被固定在比支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)3的轉(zhuǎn)動區(qū)域P更靠外側(cè)的上方；和致動器18，其使轉(zhuǎn)動臂17轉(zhuǎn)動。臂17由兩根連桿19、20，以及作為固定部件的固定板21構(gòu)成。兩根連桿19、20在各自的一端19a、20a設(shè)置預(yù)定的間隔，并分別被支撐在支撐部件16上。此外，在另一端19b、20b設(shè)置預(yù)定的間隔，并分別被可轉(zhuǎn)動地安裝在固定板21上；通過支撐部件16、作為轉(zhuǎn)動臂17結(jié)構(gòu)要素的連桿19和20、以及固定板21構(gòu)成曲柄連桿機(jī)構(gòu)。此外，相對于位于被檢查基板W側(cè)的連桿19的長度，另一個連桿20被設(shè)定得長。更加詳細(xì)地說，致動器18通過油壓缸而一端18a用銷結(jié)合在連桿20上，同時，另一端18b也用銷結(jié)合到壁體等的固定部上，從而致動器18通過在該狀態(tài)下進(jìn)行伸縮，能夠使轉(zhuǎn)動臂17轉(zhuǎn)動。此外，致動器18與驅(qū)動部22連接，從而能夠通過驅(qū)動部22的運(yùn)轉(zhuǎn)而進(jìn)行驅(qū)動。此外，背光燈5固定在固定板21上。
而且，如圖2所示，背光燈5通過移動單元6從退避位置D移動到照射位置C，所述退避位置D在支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)3的轉(zhuǎn)動區(qū)域之外，即至少基板支架11轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動區(qū)域P以外；所述照射位置C在轉(zhuǎn)動臂8和被檢查基板W直立在目視檢查的最佳檢查位置時，接近被檢查基板W的背面W2。此外，安裝轉(zhuǎn)動臂17和背光燈5，使得當(dāng)背光燈5位于照射位置C時，位于檢查位置A的被檢查基板W與背光燈5大體平行。此外，轉(zhuǎn)動臂17由曲柄連桿機(jī)構(gòu)構(gòu)成，且構(gòu)成的連桿19、20的長度不同，因此，從照射位置C到退避位置D，隨著背光燈5的移動，背光燈5相對于側(cè)視的鉛垂方向的角度發(fā)生變化。另外，這樣設(shè)定連桿19、20的長度，即當(dāng)位于退避位置D時，使背光燈5相對于側(cè)視的鉛垂方向產(chǎn)生傾斜，同時，被容納在支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)3的轉(zhuǎn)動區(qū)域P與筐體2之間的空間中。
此外，在基板檢查裝置1上還設(shè)置有操作盤23和控制部24，從而，通過由檢查者M(jìn)進(jìn)行的操作盤23的操作能夠控制轉(zhuǎn)動臂8的驅(qū)動部12和轉(zhuǎn)動臂17的驅(qū)動部22的運(yùn)轉(zhuǎn)、以及由背光燈5和落射照明單元4進(jìn)行的照明。此外，還具有這樣的結(jié)構(gòu)在背光燈5上設(shè)置傳感器25，傳感器25當(dāng)感知到接近基板支架11時，向控制部24發(fā)送信號，從而自動停止。
接下來，對基板檢查裝置1的作用進(jìn)行說明。首先，如圖1所示，將轉(zhuǎn)動臂8配置在支架導(dǎo)向部9為水平的基板交接位置B，然后進(jìn)行由未圖示的搬運(yùn)機(jī)械手搬運(yùn)的被檢查基板W的交接。在由吸盤10吸附被檢查基板W之后，使轉(zhuǎn)動臂8轉(zhuǎn)動，從而將基板支架11直立到進(jìn)行目視檢查的檢查位置A。此時，背光燈5被事先配置在支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)3的轉(zhuǎn)動區(qū)域P之外的退避位置D。然后，通過落射照明單元4對被檢查基板W的表面W1進(jìn)行落射照明，觀察其反射光的變化，從而檢測出被檢查基板W的表面上所帶的損傷等的缺陷部分。在進(jìn)行觀察時，通過在支架導(dǎo)向部9上使基板支架11沿上下方向移動，即使被檢查基板W很大，檢查者M(jìn)也不必上下移動視線，此外，不必照射整個被檢查基板W，從而在落射照明單元4的照明下，通過使被檢查基板W沿上下方向移動，能夠目視檢查整個被檢查基板W。此外，在進(jìn)行目視檢查時，通過使轉(zhuǎn)動臂8例如在±10度的范圍內(nèi)微動，能夠一邊使落射照明單元相對于被檢查基板W的入射角度微小地變化，一邊對缺陷部分的反射光的調(diào)制進(jìn)行分析，從而能夠進(jìn)行更詳細(xì)的檢查。
當(dāng)通過落射照明進(jìn)行外觀檢查時，有時在筐體2的內(nèi)部發(fā)生的散射光或外來光被筐體2的內(nèi)壁面2a或背光燈5的表面反射而到達(dá)檢查者M(jìn)，從而在由落射照明產(chǎn)生的來自被檢查基板W的反射光中，混入了來自外部的光，對目視觀察造成妨礙。但是，在基板檢查裝置1中，由于筐體2的內(nèi)壁面2a是黑色，所以來自外部的光被內(nèi)壁面2a所吸收，不會到達(dá)檢查者M(jìn)。此外，背光燈5在退避位置D位于檢查者M(jìn)的觀察視野M1的上方，并相對于側(cè)視的鉛垂方向傾斜，因此，即使假設(shè)來自外部的光反射到背光燈5，該反射光也不會到達(dá)檢查者M(jìn)。
接著，如圖2所示，通過使驅(qū)動部22運(yùn)轉(zhuǎn)，使致動器18動作，可使轉(zhuǎn)動臂17轉(zhuǎn)動，從而使背光燈5從退避位置D移動到照射位置C，并接近被檢查基板W的背面W2。此時，由于通過傳感器25監(jiān)視背光燈5與基板支架11的距離，所以沒有背光燈5與基板支架11接觸而破損的危險。接著，使背光燈5亮燈，通過背光燈5的透射照明來檢測被檢查基板W的損傷等的缺陷部分。然后，與通過落射照明進(jìn)行外觀檢查時一樣，通過使基板支架11上下移動來對整個被檢查基板W進(jìn)行檢查。然后，在全部檢查完成之后，再次使轉(zhuǎn)動臂17轉(zhuǎn)動，從而使背光燈5從照射位置C移動到退避位置D，并通過轉(zhuǎn)動臂8使基板支架11從檢查位置A轉(zhuǎn)動到基板交接位置B。然后，將檢查完成后的被檢查基板W交接給未圖示的搬運(yùn)機(jī)械手，再接受新的被檢查基板W再次進(jìn)行檢查。
如上所述，在基板檢查裝置1中，通過移動單元6，背光燈5當(dāng)沒有通過透射型背面照射進(jìn)行外觀檢查時，位于退避位置D，只在通過透射型背面照射進(jìn)行目視檢查時，才接近被檢查基板W的背面W2進(jìn)行照射，因此，沒有照度損失，能夠高效地進(jìn)行透射照明。此外，伴隨著背光燈5從照射位置C移動到退避位置D，能夠使背光燈5相對于側(cè)視的鉛垂方向的角度產(chǎn)生變化。因此，能夠使背光燈5退避到支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)3的轉(zhuǎn)動區(qū)域P與筐體2之間的小空間并容納在該小空間內(nèi)。此外，通過移動單元6使背光燈5移動的方法為，以支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)3的轉(zhuǎn)動區(qū)域P的上方為中心的圓運(yùn)動。因此，與將背光燈5從照射位置C后退且向上方移動到退避位置D的行程通過在兩個方向上的直線運(yùn)動的反復(fù)來進(jìn)行的方法相比，能夠用少的裝置空間和移動空間高效地進(jìn)行。此外，當(dāng)通過落射照明進(jìn)行目視檢查時，由于背光燈5位于退避位置D，且相對于側(cè)視的鉛垂方向傾斜，因此，即使來自外部的光經(jīng)背光燈5反射，也不會對通過落射照明進(jìn)行的目視檢查產(chǎn)生妨礙。此外，通過將背光燈5與基板支架11分開形成，即使被檢查基板W大型化到2000mm、3000mm，也能夠由于使這些機(jī)構(gòu)驅(qū)動的驅(qū)動部12、22是不同的來防止驅(qū)動部的大型化。
并且，移動單元6的轉(zhuǎn)動臂17被可轉(zhuǎn)動地支撐在支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)3的轉(zhuǎn)動區(qū)域P的上方，但并不僅限于此。至少被支撐在支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)3的轉(zhuǎn)動區(qū)域P的外部，并在通過背面照射進(jìn)行目視檢查時，使背光燈5接近被檢查基板W的背面W2，同時，當(dāng)通過落射照明進(jìn)行被檢查基板W的背面W2的目視觀察時，使背光燈5退避到支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)3的轉(zhuǎn)動區(qū)域P之外即可，例如，也可以是被支撐在轉(zhuǎn)動區(qū)域P的下方，并向下方旋轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)。
(第2實施方式)圖3表示本發(fā)明的第2實施方式，表示基板檢查裝置的放大后的側(cè)視圖。在該實施方式中，對與上述實施方式中所用的部件共用的部件，標(biāo)注相同的標(biāo)號，并省略其說明。
如圖3所示，在該實施方式的基板檢查裝置30中，使背光燈5移動的移動單元31由如下構(gòu)成轉(zhuǎn)動臂32，其在基端部可轉(zhuǎn)動地支撐在與一對轉(zhuǎn)動臂8的轉(zhuǎn)動軸7同軸的軸上；致動器33，其使轉(zhuǎn)動臂32轉(zhuǎn)動。在轉(zhuǎn)動臂32的前端固定有背光燈5，并且該背光燈5能夠從支架導(dǎo)向部9的基板交接位置B的下方的退避位置D轉(zhuǎn)動到照射位置C。此外，致動器33的一端33a用銷結(jié)合到轉(zhuǎn)動臂32上，另一端33b也用銷結(jié)合到壁體等的固定部上，致動器33通過在該狀態(tài)下伸縮，能夠使轉(zhuǎn)動臂32轉(zhuǎn)動。此外，致動器33連接到驅(qū)動部34，從而由驅(qū)動部34的運(yùn)轉(zhuǎn)來驅(qū)動。
在本實施方式的基板檢查裝置30中，也是從未圖示的搬運(yùn)機(jī)械手接受被檢查基板W，在轉(zhuǎn)動臂8轉(zhuǎn)動到檢查位置A之前的期間，由于背光燈5位于支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)3的轉(zhuǎn)動區(qū)域P之外的退避位置D，所以不會與基板支架11產(chǎn)生干涉。此外，當(dāng)通過落射照明進(jìn)行外觀檢查時，由于背光燈5位于檢查者M(jìn)的觀察視野M1之外，因此，即使來自外部的光線入射到背光燈5，該反射光也不會到達(dá)檢查者M(jìn)，從而不會對通過落射照明進(jìn)行的目視檢查造成妨礙。而且，可以將背光燈5配置在支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)3的轉(zhuǎn)動區(qū)域P的下方的有限的小空間中，同時，背光燈5可以從退避位置D移動到照射位置C，與第1實施方式一樣高效。此外，在該實施方式的基板檢查裝置30中，移動單元31的轉(zhuǎn)動臂32與一對轉(zhuǎn)動臂8被支撐在同軸上。因此，無論被檢查基板W通過轉(zhuǎn)動臂8設(shè)定為怎樣的角度，都可以通過轉(zhuǎn)動臂32使背光燈5與被檢查基板W的背面W2平行地接近，從而能夠通過背光照射良好地進(jìn)行的目視檢查。
(第3實施方式)圖4表示本發(fā)明的第3實施方式，表示基板檢查裝置的放大后的側(cè)視圖。在該實施方式中，對與上述實施方式中所用的部件共用的部件，標(biāo)注相同的標(biāo)號，并省略其說明。
如圖4所示，在該實施方式的基板檢查裝置40中，使背光燈5移動的移動單元41由如下構(gòu)成轉(zhuǎn)動臂42，其在基端部被可轉(zhuǎn)動地支撐在支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)3的轉(zhuǎn)動區(qū)域P的上方；電動機(jī)43，其使轉(zhuǎn)動臂42轉(zhuǎn)動。背光燈5被固定在轉(zhuǎn)動臂42的前端部，并被設(shè)定為當(dāng)位于照射位置C時，與被檢查基板W平行。此外，轉(zhuǎn)動臂42可以使背光燈5移動到支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)3的轉(zhuǎn)動區(qū)域P之外，并且移動到檢查者M(jìn)的觀察視野M1之外的退避位置D。
在本實施方式的基板檢查裝置40中，也是從未圖示的搬運(yùn)機(jī)械手接受被檢查基板W，在轉(zhuǎn)動臂8轉(zhuǎn)動到檢查位置A之前的期間，由于背光燈5位于支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)3的轉(zhuǎn)動區(qū)域P之外的退避位置D，因此，不會與基板支架11產(chǎn)生干涉。此外，當(dāng)通過落射照明進(jìn)行外觀檢查時，由于背光燈5位于檢查者M(jìn)的觀察視野M1之外，因此，由背光燈5反射的反射光不會到達(dá)檢查者M(jìn)，不會對檢查造成妨礙。而且，可以將背光燈5配置在支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)3的轉(zhuǎn)動區(qū)域P上方的有限的小空間中，同時，背光燈5可以從退避位置D移動到照射位置C，與第1實施方式一樣地有效率。
并且，移動單元41的轉(zhuǎn)動臂42被可轉(zhuǎn)動地支撐在支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)3的轉(zhuǎn)動區(qū)域P的上方，但并不僅限于此，將移動單元41的轉(zhuǎn)動臂42支撐在支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)3的轉(zhuǎn)動區(qū)域P的下方，并使背光燈5的退避位置D處于轉(zhuǎn)動區(qū)域P的下方，也可以得到同樣的效果。
(第4實施方式)圖5表示本發(fā)明的第4實施方式，表示基板檢查裝置的放大后的側(cè)視圖。在該實施方式中，對與上述實施方式中所用的部件共用的部件，標(biāo)注相同的標(biāo)號，并省略其說明。
如圖5所示，在該實施方式的基板檢查裝置50中，使背光燈5移動的移動單元51由滑塊機(jī)構(gòu)構(gòu)成，該滑塊機(jī)構(gòu)由如下構(gòu)成導(dǎo)軌52，該導(dǎo)軌52位于支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)3的轉(zhuǎn)動區(qū)域P的上方，并被設(shè)置為與基板支架11基本平行，該基板支架11被支撐在檢查位置A的轉(zhuǎn)動臂8上；滑塊53，該滑塊53與導(dǎo)軌52嵌合，并可沿導(dǎo)軌52的軸向移動。背光燈5被固定在滑塊53的前端部，并能夠通過滑塊53從接近處于檢查位置A的被檢查基板W的背面W2的照射位置C直線移動到支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)3的轉(zhuǎn)動區(qū)域P之外的退避位置D。
在該實施方式的基板檢查裝置50中，也是從未圖示的搬運(yùn)機(jī)械手接受被檢查基板W，在轉(zhuǎn)動臂8轉(zhuǎn)動到檢查位置A之前的期間，由于背光燈5位于支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)3的轉(zhuǎn)動區(qū)域P之外的退避位置D，因此，不會與基板支架11產(chǎn)生干涉。此外，當(dāng)通過落射照明進(jìn)行目視檢查時，由于背光燈5位于檢查者M(jìn)的觀察視野M1之外，因此，由背光燈5反射的來自外部的光不會到達(dá)檢查者M(jìn)，不會對檢查造成妨礙。
并且，使移動單元51的滑塊53能夠從照射位置C移動到支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)3的轉(zhuǎn)動區(qū)域P上方的退避位置D，但并不僅限于此。也可以是能夠使導(dǎo)軌52從照射位置C移動到支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)3的轉(zhuǎn)動區(qū)域P下方的結(jié)構(gòu)。
以上，參照附圖對本發(fā)明的實施方式進(jìn)行了詳細(xì)說明，但具體的結(jié)構(gòu)并不僅限于這些實施方式，也包含不脫離本發(fā)明主旨的范圍內(nèi)的設(shè)計變更。
并且，傳感器25也可以這樣構(gòu)成，其不是安裝在背光燈5上，而是安裝在一對轉(zhuǎn)動臂8上。此外，雖然支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)3在支架導(dǎo)向部9上能夠通過基板支架11沿支架導(dǎo)向部9的軸向移動，但是，還可以通過在支架導(dǎo)向部9上設(shè)置可轉(zhuǎn)動的基板支架11，使被檢查基板W轉(zhuǎn)動180度，從而能夠?qū)Ρ３衷诨逯Ъ?1上的被檢查基板W的背面W2進(jìn)行同樣的外觀檢查。
權(quán)利要求
1.一種基板檢查裝置，所述基板檢查裝置具有支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)(3)，所述支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)(3)保持被檢查基板(W)，并在檢查時使所述被檢查基板(W)移動到檢查位置(A)，在非檢查時使所述被檢查基板(W)移動到退避位置(B)；和背光燈(5)，所述背光燈(5)位于所述被檢查基板(W)的與觀察表面(W1)側(cè)相反的背面(W2)側(cè)，用于照射所述被檢查基板(W)，并且所述基板檢查裝置通過該背光燈(5)的透射型背面照明能夠進(jìn)行所述被檢查基板(W)的外觀檢查，所述基板檢查裝置的特征在于，具有可使所述背光燈(5)移動的移動單元，該移動單元在通過透射型背面照明進(jìn)行觀察時，使所述背光燈(5)接近通過所述支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)(3)而設(shè)定為預(yù)定角度的所述被檢查基板(W)的背面?zhèn)?，同時，在通過來自表面?zhèn)鹊穆渖湔彰鬟M(jìn)行觀察時以及所述支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)(3)轉(zhuǎn)動時，使所述背光燈(5)移動到所述支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)(3)的轉(zhuǎn)動區(qū)域之外。
2.如權(quán)利要求1所述的基板檢查裝置，其特征在于，所述移動單元在通過來自表面?zhèn)鹊穆渖湔彰鬟M(jìn)行觀察時，還使所述背光燈移動到觀察所述被檢查基板的觀察視野之外。
3.如權(quán)利要求1所述的基板檢查裝置，其特征在于，所述移動單元在通過來自表面?zhèn)鹊穆渖湔彰鬟M(jìn)行觀察時，還使所述背光燈相對于側(cè)視的鉛垂方向傾斜。
4.如權(quán)利要求1至3中任一項所述的基板檢查裝置，其特征在于，所述移動單元具有轉(zhuǎn)動臂，所述轉(zhuǎn)動臂被可旋轉(zhuǎn)地支撐在所述支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)的所述轉(zhuǎn)動區(qū)域上方；所述背光燈設(shè)置在所述轉(zhuǎn)動臂上，并可旋轉(zhuǎn)移動到所述轉(zhuǎn)動區(qū)域上方。
5.如權(quán)利要求1至3中任一項所述的基板檢查裝置，其特征在于，所述移動單元具有轉(zhuǎn)動臂，所述轉(zhuǎn)動臂被可旋轉(zhuǎn)地支撐在所述支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)的所述轉(zhuǎn)動區(qū)域下方；所述背光燈設(shè)置在所述轉(zhuǎn)動臂上，并可旋轉(zhuǎn)移動到所述轉(zhuǎn)動區(qū)域下方。
6.如權(quán)利要求1至3中任一項所述的基板檢查裝置，其特征在于，所述移動單元具有轉(zhuǎn)動臂，所述轉(zhuǎn)動臂被可旋轉(zhuǎn)地支撐在與所述支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)動中心同軸的軸上；所述背光燈設(shè)置在所述轉(zhuǎn)動臂上，并可旋轉(zhuǎn)移動到所述被檢查基板的背面?zhèn)群蠓健?br> 7.如權(quán)利要求1至3中任一項所述的基板檢查裝置，其特征在于，所述移動單元具有滑塊機(jī)構(gòu)，所述滑塊機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)的所述轉(zhuǎn)動區(qū)域上方；所述背光燈設(shè)置在所述滑塊機(jī)構(gòu)上，并可平行移動到所述轉(zhuǎn)動區(qū)域上方。
8.如權(quán)利要求1至3中任一項所述的基板檢查裝置，其特征在于，所述移動單元具有滑塊機(jī)構(gòu)，所述滑塊機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)的所述轉(zhuǎn)動區(qū)域下方；所述背光燈設(shè)置在所述滑塊機(jī)構(gòu)上，并可平行移動到所述轉(zhuǎn)動區(qū)域下方。
9.如權(quán)利要求4至6中任一項所述的基板檢查裝置，其特征在于，所述移動單元的所述轉(zhuǎn)動臂由兩根連桿構(gòu)成，該各個連桿將一端可轉(zhuǎn)動地支撐在所述支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)動區(qū)域外的不同位置上，另一端可轉(zhuǎn)動地安裝在固定部件的不同位置上，從而構(gòu)成曲柄連桿機(jī)構(gòu)，同時，所述背光燈固定在所述固定部件上。
10.如權(quán)利要求9所述的基板檢查裝置，其特征在于，構(gòu)成所述轉(zhuǎn)動臂的兩根所述連桿被設(shè)定為不同的長度。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基板檢查裝置。基板檢查裝置(1)具有支架轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)(3)，其保持并轉(zhuǎn)動被檢查基板(W)；背光燈(5)，其照射被檢查基板(W)的表面(W1)的相反側(cè)的背面(W2)；以及背光燈(5)的移動單元(6)。作為移動單元(6)的轉(zhuǎn)動臂(17)由兩根連桿(19、20)和作為固定部件的固定板(21)構(gòu)成。兩根連桿(19、20)在各自一端(19a、20a)以設(shè)置預(yù)定間隔的方式分別可轉(zhuǎn)動地支撐在支撐部件(16)上。此外，在另一端(19b、20b)，以設(shè)置預(yù)定間隔的方式分別可轉(zhuǎn)動地支撐在固定板(21)上。背光燈(5)固定在固定板(21)上。
文檔編號G01N21/896GK1940541SQ200610139399
公開日2007年4月4日 申請日期2006年9月27日 優(yōu)先權(quán)日2005年9月29日
發(fā)明者木內(nèi)智一 申請人:奧林巴斯株式會社