專利名稱：探針卡移載輔助裝置、檢查設備和檢查方法
技術領域：
本發(fā)明涉及包括多個使用探針卡對晶片等被檢查體進行電氣特性檢查的檢查裝置的檢查設備和檢查方法，更詳細地說，涉及在檢查設備內、在檢查裝置和搬送臺車之間輔助探針卡的移載操作的探針卡移載輔助裝置、檢查設備和檢查方法。
背景技術：
這種檢查裝置，例如，如圖7所示，包括搬送被檢查體(例如晶片)W的加載室1、和與加載室1相鄰且對從加載室1接收的晶片W進行電氣特性檢查的探針室2。如該圖所示，探針室2包括能夠沿X、Y、Z和θ方向移動地配設并且載置晶片的載置臺(晶片卡盤)3、在該晶片卡盤3的上方配置的帶有卡支架的探針卡(probe card)4、和保持探針卡4的夾緊機構5。在探針室2內，在晶片卡盤3沿著X、Y、Z和θ方向移動的期間，通過對準機構6對晶片W和探針卡4的探針4A進行對準(alignment)之后，一邊進行晶片W的分度(index)輸送，一邊進行晶片的電氣特性檢查。此外，對準機構6具有上攝像機6A和下攝像機6B。T是測試頭。
而且，在探針室2內的夾緊機構5上裝卸探針卡4時，例如使用本申請人在特開2001-24039號中提出的卡搬送裝置。如圖8所示，該卡搬送裝置包括晶片卡盤3、和在與該晶片卡盤3之間傳送探針卡4的傳送機構7。如圖8所示，傳送機構7包括裝卸自由地保持帶有卡支架的探針卡4的接合器(adapter)8、前端部被分成兩股從而裝卸自由地保持該接合器8的叉子狀的臂9、沿著箭頭A方向推入該臂9并將探針卡4移動引導至傳送位置的一對導軌10、和固定該導軌10的臂支撐體11，在臂9和安裝在晶片卡盤3上的接合器支撐體12之間，進行搭載有探針卡4的接合器8的傳送。
于是，在使用卡搬送裝置將探針卡4安裝在夾緊機構5上時，操作者(operator)等將探針卡4設置在傳送機構7上后，通過卡搬送裝置將其搬送至夾緊機構5的正下方，使晶片卡盤3從該位置上升后，用夾緊機構5將探針卡4固定在檢查裝置主體側。此外，在圖8中，13是將進行傳送的傳送機構7沿著與箭頭B相反方向折疊并收納的收納部。
可是，在將探針卡4設置在卡搬送裝置上時，操作者將探針卡4從規(guī)定的收納擱板運送至檢查裝置并進行設置，或者，操作者使用搬送臺車等將其從收納擱板運送至檢查裝置、再將其從搬送臺車移載并設置在卡搬送裝置上等。
但是，隨著近年來的探針卡4的大型化，其重量重達15～25Kg，所以，例如操作者等為了將探針卡4從搬送臺車上抬起、移載并設置在卡搬送裝置上，不僅需要很大的力氣，而且在抬起探針卡4時抓住的部分受到限制，操作需要慎重，因此，存在給操作者帶來過度的負擔的問題。

發(fā)明內容
本發(fā)明為了解決上述問題而做出，其目的是提供即使是重量大的探針卡也能夠減輕操作者的負擔、并且能夠平滑地移載探針卡的探針卡移載輔助裝置、檢查設備和檢查方法。
本發(fā)明的第一方面的探針卡移載輔助裝置，是對電氣檢查裝置中使用的探針卡的移載操作進行輔助的探針卡移載輔助裝置，其特征在于，包括保持上述探針卡的保持部；以某點為中心自由旋轉地支撐上述保持部的支撐部；和使上述支撐部升降的裝置。
此外，本發(fā)明的第二方面的探針卡移載輔助裝置，其特征在于，在第一方面所述的發(fā)明中，上述保持部具有能夠通過旋轉操作而與上述探針卡連結的連結部件。
此外，本發(fā)明的第三方面的探針卡移載輔助裝置，其特征在于，在第一方面或第二方面所述的發(fā)明中，上述保持部被安裝在從上述支撐體伸出的能夠伸縮的臂上。
此外，本發(fā)明的第四方面的探針卡移載輔助裝置，其特征在于，在第三方面所述的發(fā)明中，上述支撐部的升降裝置具有使上述臂升降的缸體機構；對向上述缸體機構供給驅動流體的流路進行開關的閥；控制上述驅動流體的壓力的調節(jié)器；預先將上述探針卡的重量輸入上述調節(jié)器的輸入端子；和檢測上述驅動流體的壓力的壓力傳感器。
此外，本發(fā)明的第五方面的探針卡移載輔助裝置，其特征在于，在第一～第四方面中任一方面所述的發(fā)明中，上述支撐部的升降裝置被構成為在提升上述探針卡的方向上提供輔助力。
此外，本發(fā)明的第六方面的探針卡移載輔助裝置，其特征在于，在第五方面所述的發(fā)明中，上述輔助力被構成為能夠與上述探針卡的重量對應地改變。
此外，本發(fā)明的第七方面的探針卡移載輔助裝置，其特征在于，在第一～第六方面中任一方面所述的發(fā)明中，上述保持部具有確認上述連結部件的旋轉終端位置的傳感器。
此外，本發(fā)明的第八方面的探針卡移載輔助裝置，其特征在于，在第一～第七方面中任一方面所述的發(fā)明中，附設在上述檢查裝置中。
此外，本發(fā)明的第九方面的探針卡移載輔助裝置，其特征在于，在第一～第七方面中任一方面所述的發(fā)明中，在上述檢查裝置和搬送上述檢查裝置中使用的探針卡的搬送裝置之間輔助上述探針卡的移載操作時，介于上述檢查裝置和上述搬送裝置之間。
此外，本發(fā)明的第十方面的探針卡移載輔助裝置，其特征在于，在第九方面所述的發(fā)明中，上述搬送裝置是搬送臺車。
此外，本發(fā)明的第十一方面的檢查設備，包括電氣檢查裝置和對該電氣檢查裝置中使用的探針卡的移載操作進行輔助的探針卡移載輔助裝置，其特征在于，上述探針卡移載輔助裝置包括保持上述探針卡的保持部；以某點為中心自由旋轉地支撐上述保持部的支撐部；和使上述支撐部升降的裝置。
此外，本發(fā)明的第十二方面的檢查設備，其特征在于，在第十一方面所述的發(fā)明中，上述保持部具有能夠通過旋轉操作而與上述探針卡連結的連結部件。
本發(fā)明的第十三方面的檢查設備，其特征在于，在第十一方面或第十二方面所述的發(fā)明中，上述保持部被安裝在從上述支撐體伸出的能夠伸縮的臂上。
此外，本發(fā)明的第十四方面的檢查設備，其特征在于，在第十三方面所述的發(fā)明中，上述支撐部的升降裝置具有使上述臂升降的缸體機構；對向上述缸體機構供給驅動流體的流路進行開關的閥；控制上述驅動流體的壓力的調節(jié)器；預先將上述探針卡的重量輸入上述調節(jié)器的輸入端子；和檢測上述驅動流體的壓力的壓力傳感器。
此外，本發(fā)明的第十五方面的檢查設備，其特征在于，在第十一～第十四方面中任一方面所述的發(fā)明中，上述支撐部的升降裝置被構成為在提升上述探針卡的方向上提供輔助力。
此外，本發(fā)明的第十六方面的檢查設備，其特征在于，在第十五方面所述的發(fā)明中，上述輔助力被構成為能夠與上述探針卡的重量對應地改變。
此外，本發(fā)明的第十七方面的檢查設備，其特征在于，在第十一～第十六方面中任一方面所述的發(fā)明中，上述保持部具有確認上述連結部件的旋轉終端位置的傳感器。
此外，本發(fā)明的第十八方面的檢查設備，其特征在于，在第十一～第十七方面中任一方面所述的發(fā)明中，附設在上述檢查裝置中。
此外，本發(fā)明的第十九方面的檢查設備，其特征在于，在第十一～第十八方面中任一方面所述的發(fā)明中，在上述檢查裝置和搬送上述檢查裝置中使用的探針卡的搬送裝置之間輔助上述探針卡的移載操作時，介于上述檢查裝置和上述搬送裝置之間。
此外，本發(fā)明的第二十方面的檢查設備，其特征在于，在第十九方面所述的發(fā)明中，上述搬送裝置是搬送臺車。
此外，本發(fā)明的第二十一方面的檢查方法，包括將探針卡搬送至檢查裝置的附近區(qū)域的工序、將上述探針卡搬送至上述檢查裝置的工序、和使上述探針卡與被檢查體接觸從而進行電氣檢查的工序，其特征在于，將上述探針卡搬送至上述檢查裝置的工序包括保持上述探針卡的工序；使上述探針卡升降的工序；和以某點為中心旋轉上述探針卡的工序。
此外，本發(fā)明的第二十二方面的檢查方法，其特征在于，在第二十一方面所述的發(fā)明中，上述檢查裝置配置有多個，將上述探針卡搬送至上述檢查裝置的附近區(qū)域的工序，利用能夠在沿著上述多個檢查裝置設置的通路上移動的搬送臺車搬送上述探針卡。
此外，本發(fā)明的第二十三方面的檢查方法，其特征在于，在第二十一方面或第二十二方面所述的發(fā)明中，在使上述探針卡升降的工序之前，具有檢測有無上述探針卡的工序。
此外，本發(fā)明的第二十四方面的檢查方法，其特征在于，在第二十一～第二十三方面所述的發(fā)明中，使上述探針卡升降的工序具有與上述探針卡的重量對應，利用供給至缸體機構的驅動流體，控制使上述探針卡升降的力的工序。
根據本發(fā)明的第一方面～第二十四方面所述的發(fā)明，能夠提供即使是重量大的探針卡也能夠減輕操作者的負擔的探針卡移載輔助裝置、檢查設備和檢查方法。


圖1是表示本發(fā)明的檢查設備的一個實施方式的平面圖。
圖2(a)、(b)是分別表示在圖1所示的檢查設備中、使用探針卡移載輔助裝置移載探針卡的狀態(tài)的立體圖。
圖3(a)、(b)是分別表示圖1所示的檢查設備中應用的探針卡移載輔助裝置的立體圖，(a)是其整體圖，(b)是表示臂的前端部的圖。
圖4(a)、(b)是分別表示圖3所示的探針卡移載輔助裝置的立體圖，(a)是表示將臂縮回的狀態(tài)的整體圖，(b)是表示將臂折疊的狀態(tài)的整體圖。
圖5(a)、(b)是分別表示由圖3所示的探針卡移載輔助裝置移載的探針卡的立體圖，(a)是從其上方看的整體圖，(b)是從其下方看的整體圖。
圖6是表示圖3所示的探針卡移載輔助裝置的升降驅動裝置的結構的框圖。
圖7是表示將現(xiàn)有的檢查裝置的一個例子部分地截斷后的正面圖。
圖8是圖7所示的檢查裝置中應用的探針卡搬送裝置的動作說明圖。
符號說明
50檢查設備51探針卡52檢查裝置53通路54搬送臺車55探針卡移載輔助裝置551 保持件(保持部)551D 連結部件552 臂553 支撐體554 升降驅動裝置554A 氣缸(缸體機構)554B 配管(流路)554C 電磁閥554D 電動氣動調節(jié)器(Electropneumatic regulator)554E 輸入端子554F 壓力傳感器554H 保持位置檢測傳感器具體實施方式
以下，根據圖1～圖6所示的實施方式來說明本發(fā)明。圖1是表示本發(fā)明的檢查設備的一個實施方式的平面圖；圖2的(a)、(b)是分別表示在圖1所示的檢查設備中、使用探針卡移載輔助裝置移載探針卡的狀態(tài)的立體圖；圖3的(a)、(b)是分別表示圖1所示的檢查設備中應用的探針卡移載輔助裝置的立體圖，(a)是其整體圖，(b)是表示臂的前端部的圖；圖4的(a)、(b)是分別表示圖3所示的探針卡移載輔助裝置的立體圖，(a)是表示將臂縮回的狀態(tài)的整體圖，(b)是表示將臂折疊的狀態(tài)的整體圖；圖5的(a)、(b)是分別表示由圖3所示的探針卡移載輔助裝置移載的探針卡的立體圖，(a)是從其上方看的整體圖，(b)是從其下方看的整體圖；圖6是表示圖2所示的探針卡移載輔助裝置的升降驅動裝置的結構的框圖。
本實施方式的檢查設備50，例如如圖1所示，包括具有用于對被檢查體(例如，晶片)(未圖示)進行電氣特性檢查的探針卡51的檢查裝置52；沿著配置有多個該檢查裝置52的通路53搬送探針卡51的搬送臺車54；以及在該搬送臺車54和設置于各檢查裝置52的裝置主體52A上的卡搬送裝置52B之間輔助探針卡51的移載操作的探針卡移載輔助裝置55。檢查裝置52在該圖中以通過旋轉驅動機構52C使檢測頭T向通路53側旋轉的狀態(tài)示出。探針卡51被保管在收納擱板(未圖示)中，在更換探針卡51時等，使用搬送臺車54在收納擱板和多個檢查裝置52之間進行搬送。此外，在圖1中只圖示了1臺檢查裝置52。
但是，隨著晶片的大口徑化和IC芯片的超高集成化等，上述探針卡51大型化、大重量化，所以，操作者進行搬運不用說，在搬送臺車54和檢查裝置52的卡搬送裝置52B之間進行移載操作也要花費很大的負擔。因此，在本實施方式中，在操作者搬運探針卡51時，使用搬送臺車54，在搬送臺車54和檢查裝置52的卡搬送裝置52B之間進行探針卡51的移載操作時，使用探針卡移載輔助裝置55，使操作者的負擔減輕。在操作者使用探針卡移載輔助裝置55時，只是由探針卡移載輔助裝置55的保持件進行保持卡搬送裝置52B上或搬送臺車54上的探針卡51和解除保持的操作，就能夠大大地減輕實質上的體力勞動。操作者操作探針卡移載輔助裝置55移載探針卡51時，如圖2的(a)、(b)所示，在搬送臺車54和檢查裝置52的卡搬送裝置52B之間移載探針卡51。此外，搬送臺車54具有為了收納多塊探針卡51而分多段并能夠抽出地設置的擱板，將被收納在托盤(tray)中的探針卡51收納在這些擱板中。
而且，如圖3(a)所示，上述探針卡移載輔助裝置55包括保持探針卡51的保持件551、前端部上安裝有該保持件551的能夠伸縮的臂552、支撐該臂552的能夠旋轉的支撐體553、和構成通過該支撐體553將探針卡51按重量區(qū)分并使其升降的升降驅動裝置554的氣缸554A，并且被附設在檢查裝置52的側方。
如圖3(a)和圖4(a)所示，上述臂552具有第一臂552A和相對于第一臂552A自由滑動地安裝的第二臂552B，第二臂552B被構成為相對于第一臂552A前后移動地伸縮。臂552的長度可以通過使用調整部件552D將第二臂552B固定在第一臂552A上以使其不相對于第一臂552A滑動而適當地設定。如各圖所示，該臂552被構成為第一臂552A的基端部與被固定在支撐體553的上端部的連接件555銷結合，在收縮最大的狀態(tài)下，能夠如圖4(b)所示向支撐體553側折疊。在臂552的基端部上安裝有第一銷552C，在支撐體553的上下方向的中間安裝有具有銷的托架(bracket)556。第一銷552C和托架556的銷連結連桿557的兩端部。因此，臂552通過連桿557可抬至水平方向。連桿557的在臂552側的端部上，安裝有第二銷557A，此外，在支撐體553側的連接件555的側面，安裝有鉤掛部件558，將該鉤掛部件558掛在第二銷557A上，從而連桿557不會從托架556的銷上脫落。
如圖3(a)所示，上述支撐體553和氣缸554A被構成為都與自由旋轉地安裝在基臺559的前端部上的旋轉體560連結，與旋轉體560一體地旋轉，在基臺559的側方旋轉。引導部件561的大致整個長度被安裝在支撐體553的基臺559側的垂直端面上，該引導部件561沿著在垂直方向上安裝的導軌562(參照圖4(a))與基臺559側的旋轉體560自由滑動地結合。此外，氣缸554A中，缸體的下端與從旋轉體560垂下的支柱563的下端連結，活塞桿的上端與支撐體553的上端部連結。因此，通過氣缸554A驅動，支撐體553沿導軌562升降。
此外，如圖3(b)所示，上述保持件551具有以從第二臂552B的前端垂下的方式安裝的旋轉軸551A、在旋轉軸551A的中部及其下方分別安裝的圓形部件551B和三角部件551C、在旋轉軸551A的下端安裝的與探針卡51連結的連結部件551D、從旋轉軸551A向直徑方向延伸設置的操作手柄551E、和鎖定操作手柄551E的鎖定部件551F，利用操作手柄551E對連結部件551D進行旋轉操作，保持保持件551和探針卡51，利用鎖定部件551F將操作手柄551E鎖定在保持位置。此外，操作手柄551E在被鎖定的狀態(tài)下，能夠對臂552進行旋轉操作。連結部件551D具有從圓板的圓周面向圓周方向、在互相間隔180°的位置、在水平方向上延伸設置的突出部，該突出部嵌入在探針卡51側形成的槽內，具有保持探針卡51的功能。
此外，在上述三角部件551C內設置有例如對探針卡51進行光學檢測的后述的卡檢測傳感器554G。此外，如圖3(b)所示，在上述三角部件551C的上面設置有在保持探針卡的一側對操作手柄551E進行操作時，通過例如靜電容量來檢測操作手柄551E的位置的保持位置檢測傳感器554H。在操作手柄551E上設置有操作開關554I，若抓住操作手柄551E，則操作開關554I接通，若松開操作手柄551E，則操作開關554I斷開。這些卡檢測傳感器554G、保持位置檢測傳感器554H和操作開關554I如后所述構成升降驅動裝置554的一部分。
用上述探針卡移載輔助裝置55操作的探針卡51構成為例如如圖5的(a)、(b)所示。即，如該圖所示，探針卡51具有例如由電路基板構成的卡主體51A、在卡主體51A的上面安裝的增強部件51B、和在卡主體51A的下面中央部安裝的具有多個探針的接觸器51C。增強部件51B包括在卡主體51A的中央部形成的矩形部51D、從矩形部51D向卡主體51A的外周呈放射狀地延伸的放射狀部51E、和在放射狀部51E的直徑方向的中間形成的環(huán)狀部51F。在矩形部51D的上面的左右，分別通過安裝部件51G安裝有一對把手51H。
在左右的安裝部件51G的相對面上，形成有使在保持件551的連結部件551D上形成的突出部嵌入的槽51I。因此，配合連結部件551D以使一對突出部嵌入左右的安裝部件51G之間，對保持件551的操作手柄551E進行操作時，一對突出部嵌入左右的槽51I內，能夠由保持件551保持探針卡51。
但是，例如，如圖6所示，上述升降驅動裝置554具有氣缸554A、對向氣缸554A供給驅動流體(壓縮空氣)的配管554B進行開關的電磁閥(例如三通閥)554C、根據探針卡51的重量來控制壓縮空氣壓力的電動氣動調節(jié)器554D、預先選擇與探針卡51的重量相平衡的壓縮空氣的壓力值并將其輸入電動氣動調節(jié)器554D的輸入端子554E、和對壓縮空氣的壓力進行檢測的壓力傳感器554F，根據來自輸入端子554E的輸入值，電磁閥554C和電動氣動調節(jié)器554D協(xié)同動作，驅動控制氣缸554A。此外，升降驅動裝置554具有檢測有無探針卡51的卡檢測傳感器554G、檢測操作手柄551E在保持探針卡51的保持位置移動的保持位置檢測傳感器554H、和在抓住操作手柄551E進行操作時起作用的操作開關554I，如后所述，卡檢測傳感器554G、保持位置檢測傳感器554H、壓力傳感器554F和操作開關554I聯(lián)合，對電磁閥554C和電動氣動調節(jié)器554D進行開關控制。
即，上述卡檢測傳感器554G、保持位置檢測傳感器554H、壓力傳感器554F和操作開關554I分別通過控制部554J與輸入端子554E電連接，只在卡檢測傳感器554G、保持位置檢測傳感器554H、壓力傳感器554F和操作開關554I全部成為接通(on)狀態(tài)時，通過控制部554J，根據輸入端子554E的輸入值，電動氣動調節(jié)器554D工作，同時電磁閥554C成為打開狀態(tài)。
更進一步說，在卡檢測傳感器554G、保持位置檢測傳感器554H、壓力傳感器554F和操作開關554I全部接通時，通過控制部554J，打開電磁閥554C，在電動氣動調節(jié)器554D的控制下，向氣缸554A供給壓縮空氣。此外，在卡檢測傳感器554G、保持位置檢測傳感器554H、壓力傳感器554F和操作開關554I中的任一個斷開(off)時，通過控制部554J，關閉電磁閥554C，將壓縮空氣密封在氣缸554A內，停止氣缸554A的動作，使臂552在下降途中停止。例如，在探針卡51的重量比輸入端子554E的輸入重量大時，抓住操作手柄551E使臂552旋轉時，氣缸554A的提升力不足，臂552由于自重而開始下降。此時，若操作手柄551E從沒有察覺到這一點的操作者的手中脫離，則操作開關554I斷開，將電磁閥554C關閉，至此，向氣缸554A供給的壓縮空氣被密封在氣缸554A內。由此，臂552由于探針卡51的自重而下降，由于壓縮空氣的作用，臂552在途中停止，能夠防止探針卡51落下。此外，在輸入端子554E中將探針卡51的重量設定得過小時，操作手柄551E也會脫離操作者的手，與上述的情況同樣地，使氣缸554A的急劇上升停止。此外，在圖6中，554K是除霧器(mist separator)。
接著，對動作進行說明。在檢查設備50中，操作者在安裝或更換檢查裝置52的探針卡51時，從收納擱板取出探針卡51，將探針卡51與托盤一起在搬送臺車54中收納需要的塊數。然后，如圖1和圖2的(a)、(b)所示，使搬送臺車54移動至目標檢查裝置52。
操作者在將與托盤一起被收納在擱板上的探針卡51裝載在擱板中的狀態(tài)下，將其從搬送臺車54中拉出，并裝載到搬送臺車54的上面。使用探針卡移載輔助裝置55只將探針卡51移載到檢查裝置52上。在使用探針卡移載輔助裝置55時，預先通過升降驅動裝置554的輸入端子554E設定探針卡51的重量。然后，抬起臂552，使用連桿557使臂552成為水平狀態(tài)。在該狀態(tài)下，對操作手柄551E進行操作，使臂552旋轉至探針卡51的正上方，使保持件551與探針卡51的中央配合。
因此，將操作手柄551E向探針卡51按壓，使保持件551的連結部件551D到達探針卡51的中心部后，對操作手柄551E進行旋轉操作，將連結部件551D的突出部嵌入在探針卡51的安裝部件51G上形成的槽51I內后，操作鎖定部件551F，將操作手柄551E固定。此時，卡檢測傳感器554G對探針卡51進行檢測，同時由保持位置檢測傳感器554H檢測操作手柄551E是否位于探針卡保持位置。此時，如果操作者抓住操作手柄551E，則操作開關554I接通，另一方面，因為壓力傳感器554F檢測出正常的壓縮空氣壓力并接通，所以，電磁閥554C成為打開狀態(tài)，在電動氣動調節(jié)器554D的控制下，向氣缸554A內供給基于探針卡51的輸入重量的規(guī)定壓力的壓縮空氣。由此，臂552在將探針卡51從搬送臺車54的擱板中提起的方向上提供輔助力。在該狀態(tài)下，操作者通過操作手柄551E，將探針卡51從搬送臺車54的擱板中提起，并且使臂552向檢查裝置52側旋轉，將探針卡51搬送至檢查裝置52的卡搬送裝置52B的正上方。
在卡搬送裝置52B的正上方，按壓操作手柄551E，使探針卡51到達卡搬送裝置52B上后，將保持件551的鎖定部件551F解除，使操作手柄551E旋轉，使連結部件551D的突出部從槽51I脫離，從保持件551上松開探針卡51，結束探針卡51的移載操作。
但是，萬一將探針卡51的重量弄錯為例如比實際重量輕的重量并輸入輸入端子554E，抓住操作手柄551E，操作開關554I變?yōu)榻油?，氣?54A在電動氣動調節(jié)器554D的控制下動作，則在使臂552旋轉時，臂552由于探針卡51的過大重量而下降，操作手柄551E從操作者手中脫離。在該情況下，操作開關554I自動地斷開，將電磁閥554C關閉，將至此供給的壓縮空氣密封在氣缸554A內。由此，即使臂552稍微下降，由于在該期間氣缸554A內的壓縮空氣的壓力升高，所以在下降途中，臂552停止下降，探針卡51也不會與搬送臺車54等碰撞，能夠防止探針卡51損傷。
此外，在從檢查裝置52向搬送臺車54移載探針卡51時，也按照上述的順序使用探針卡移載輔助裝置55，能夠平滑地移載探針卡51。
如以上說明，根據本實施方式，為一種檢查設備50，其包括具有用于對晶片進行電氣特性檢查的探針卡51的檢查裝置52(圖1中僅圖示有一臺)、沿著配置有多個該檢查裝置52的通路53搬送探針卡51的搬送臺車54、以及在該搬送臺車54和設置于各檢查裝置52的裝置主體52A上的卡搬送裝置52B之間輔助探針卡51的移載操作的探針卡移載輔助裝置55，探針卡移載輔助裝置55包括保持探針卡51的保持件551、前端部上安裝有該保持件551的能夠伸縮的臂552、支撐該臂552的自由旋轉的支撐體553、和將探針卡51按重量區(qū)分并通過該支撐體553使其升降的升降驅動裝置554，因此，只要由保持件551保持探針卡51、由升降驅動裝置554使臂552從搬送臺車54或檢查裝置52的卡搬送裝置52B上提起、并使臂552旋轉，就能夠在搬送臺車54和檢查裝置52的卡搬送裝置52B之間容易地移載探針卡51，因而，能夠大大地減輕操作者的負擔。此外，因為臂552旋轉從而使由保持件551保持的探針卡51移動，所以，能夠將以臂552的基端為中心的移動范圍抑制為最小限度。因此，即使由于檢查設備50的省空間化，多個檢查裝置52密集，相鄰的檢查裝置52之間的間隔狹窄，不能在該間隙中配置搬送臺車54，也能夠確保臂552從配置在通路53中的搬送臺車54向檢查裝置52側的旋轉區(qū)域，并且能夠確保操作者進入的空間。
此外，根據本實施方式，保持件551具有能夠通過操作手柄551E的旋轉操作而與探針卡51連結的連結部件551D，因此，只要利用保持件551的操作手柄551E對連結部件551D進行旋轉操作，就能夠相對于保持件551容易地保持探針卡51。
此外，臂552被構成為能夠從支撐體553的上端部向水平方向伸出、并能夠向支撐體553側折疊，所以，在不使用探針卡移載輔助裝置55時，可以將其壓縮地收納在檢查裝置52的側面，能夠使在無塵室(clean room)內占有的空間為最小限度即可。
此外，因為升降驅動裝置554具有使臂552升降的氣缸554A、對向氣缸554A供給壓縮空氣的配管554B進行開關的電磁閥554C、根據探針卡51的重量來控制壓縮空氣壓力的電動氣動調節(jié)器554D、預先將探針卡51的重量輸入電動氣動調節(jié)器554D的輸入端子554E、和對壓縮空氣的壓力進行檢測的壓力傳感器554F，所以，能夠根據探針卡51的重量來控制氣缸554A的驅動力。此外，也可以用重量傳感器測定探針卡51的重量，根據測定的重量來控制氣缸554A的驅動力。
此外，升降驅動裝置554具有檢測有無探針卡51的卡檢測傳感器554G，卡檢測傳感器554G與輸入端子554E聯(lián)合而使電動氣動調節(jié)器554D動作，所以能夠根據探針卡51的重量來驅動氣缸554A。而且，升降驅動裝置554具有在對臂552進行操作時起作用的操作開關554I，操作開關554I與壓力傳感器554F聯(lián)合而對電磁閥554C進行開關，所以，如果操作手柄551E從操作者的手中脫離，則將電磁閥554C關閉，抑制臂552由于探針卡51的自重而下降，能夠防止探針卡51的損傷。
此外，本發(fā)明絲毫不限于上述實施方式，可以根據需要設計變更各構成要素。
產業(yè)上的利用可能性本發(fā)明可以適合利用于配置有多個包括探針卡的檢查裝置的檢查設備。
權利要求
1.一種探針卡移載輔助裝置，對電氣檢查裝置中使用的探針卡的移載操作進行輔助，其特征在于，包括保持所述探針卡的保持部；以某點為中心自由旋轉地支撐所述保持部的支撐部；和使所述支撐部升降的裝置。
2.根據權利要求1所述的探針卡移載輔助裝置，其特征在于所述保持部具有能夠通過旋轉操作而與所述探針卡連結的連結部件。
3.根據權利要求1或2所述的探針卡移載輔助裝置，其特征在于所述保持部被安裝在從所述支撐體伸出的能夠伸縮的臂上。
4.根據權利要求3所述的探針卡移載輔助裝置，其特征在于所述支撐部的升降裝置具有使所述臂升降的缸體機構；對向所述缸體機構供給驅動流體的流路進行開關的閥；控制所述驅動流體的壓力的調節(jié)器；預先將所述探針卡的重量輸入所述調節(jié)器的輸入端子；和檢測所述驅動流體的壓力的壓力傳感器。
5.根據權利要求1～4中任一項所述的探針卡移載輔助裝置，其特征在于所述支撐部的升降裝置被構成為在提升所述探針卡的方向上提供輔助力。
6.根據權利要求5所述的探針卡移載輔助裝置，其特征在于所述輔助力被構成為能夠與所述探針卡的重量對應地改變。
7.根據權利要求1～6中任一項所述的探針卡移載輔助裝置，其特征在于所述保持部具有確認所述連結部件的旋轉終端位置的傳感器。
8.根據權利要求1～7中任一項所述的探針卡移載輔助裝置，其特征在于附設在所述檢查裝置中。
9.根據權利要求1～7中任一項所述的探針卡移載輔助裝置，其特征在于在所述檢查裝置和搬送所述檢查裝置中使用的探針卡的搬送裝置之間輔助所述探針卡的移載操作時，介于所述檢查裝置和所述搬送裝置之間。
10.根據權利要求9所述的探針卡移載輔助裝置，其特征在于所述搬送裝置是搬送臺車。
11.一種檢查設備，包括電氣檢查裝置和對該電氣檢查裝置中使用的探針卡的移載操作進行輔助的探針卡移載輔助裝置，其特征在于所述探針卡移載輔助裝置包括保持所述探針卡的保持部；以某點為中心自由旋轉地支撐所述保持部的支撐部；和使所述支撐部升降的裝置。
12.根據權利要求11所述的檢查設備，其特征在于所述保持部具有能夠通過旋轉操作而與所述探針卡連結的連結部件。
13.根據權利要求11或12所述的檢查設備，其特征在于所述保持部被安裝在從所述支撐體伸出的能夠伸縮的臂上。
14.根據權利要求13所述的檢查設備，其特征在于所述支撐部的升降裝置具有使所述臂升降的缸體機構；對向所述缸體機構供給驅動流體的流路進行開關的閥；控制所述驅動流體的壓力的調節(jié)器；預先將所述探針卡的重量輸入所述調節(jié)器的輸入端子；和檢測所述驅動流體的壓力的壓力傳感器。
15.根據權利要求11～14中任一項所述的檢查設備，其特征在于所述支撐部的升降裝置被構成為在提升所述探針卡的方向上提供輔助力。
16.根據權利要求15所述的檢查設備，其特征在于所述輔助力被構成為能夠與所述探針卡的重量對應地改變。
17.根據權利要求11～16中任一項所述的檢查設備，其特征在于所述保持部具有確認所述連結部件的旋轉終端位置的傳感器。
18.根據權利要求11～17中任一項所述的檢查設備，其特征在于附設在所述檢查裝置中。
19.根據權利要求11～18中任一項所述的檢查設備，其特征在于在所述檢查裝置和搬送所述檢查裝置中使用的探針卡的搬送裝置之間輔助所述探針卡的移載操作時，介于所述檢查裝置和所述搬送裝置之間。
20.根據權利要求19所述的檢查設備，其特征在于所述搬送裝置是搬送臺車。
21.一種檢查方法，包括將探針卡搬送至檢查裝置的附近區(qū)域的工序、將所述探針卡搬送至所述檢查裝置的工序、和使所述探針卡與被檢查體接觸從而進行電氣檢查的工序，其特征在于將所述探針卡搬送至所述檢查裝置的工序包括保持所述探針卡的工序；使所述探針卡升降的工序；和以某點為中心旋轉所述探針卡的工序。
22.根據權利要求21所述的檢查方法，其特征在于所述檢查裝置配置有多個，將所述探針卡搬送至所述檢查裝置的附近區(qū)域的工序，利用能夠在沿著所述多個檢查裝置設置的通路上移動的搬送臺車搬送所述探針卡。
23.根據權利要求21或22所述的檢查方法，其特征在于在使所述探針卡升降的工序之前，具有檢測有無所述探針卡的工序。
24.根據權利要求21～23中任一項所述的檢查方法，其特征在于使所述探針卡升降的工序具有與所述探針卡的重量對應，利用供給至缸體機構的驅動流體，控制使所述探針卡升降的力的工序。
全文摘要
隨著近年來的探針卡(4)的大型化，其重量重達15～25Kg，所以，例如操作者等為了將探針卡(4)從搬送臺車上抬起、移載并設置在卡搬送裝置上，不僅需要很大的力氣，而且在抬起探針卡(4)時抓住的部分受到限制，操作需要慎重，因此，給操作者帶來過大的負擔。本發(fā)明的探針卡移載輔助裝置(55)包括保持探針卡(51)的保持件(551)；前端部上安裝有該保持件(551)的能夠伸縮的臂(552)；支撐該臂(552)的自由旋轉的支撐體(553)；根據重量的不同，通過該支撐體(553)，使探針卡(51)升降的升降驅動裝置(554)。
文檔編號G01R1/067GK1936594SQ20061013928
公開日2007年3月28日 申請日期2006年9月20日 優(yōu)先權日2005年9月21日
發(fā)明者長坂旨俊, 望月智秋 申請人:東京毅力科創(chuàng)株式會社