專利名稱：基板檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在液晶顯示器的平板顯示器等的基板檢查中使用的基板檢查裝置。
背景技術(shù)：
在液晶顯示器(LCD)等的平板顯示器(FPD)的制造工序中，在檢查基板外觀的工序中使用基板檢查裝置。這種基板檢查裝置具有沿著一軸工作臺配置缺陷檢測部和缺陷復(fù)查部的裝置(例如參照專利文獻(xiàn)1)。缺陷檢測部由檢測照相機(jī)和透射照明構(gòu)成，缺陷復(fù)查部由彩色照相機(jī)和透射照明構(gòu)成。
另外，基板檢查裝置還具有并用宏觀地目視觀察基板整體的宏觀檢查、和使用顯微鏡檢查有無較小缺陷等的微觀檢查，從而進(jìn)行外觀檢查的基板檢查裝置。已經(jīng)知道的這種外觀檢查裝置具有宏觀檢查用搖動支架，其配置在宏觀檢查部上，把搬運(yùn)用機(jī)器人所搬入的玻璃基板設(shè)定為適合目視觀察的角度，以及XY工作臺，其從該搖動支架接受玻璃基板并移送到微觀檢查區(qū)域，在偏離宏觀檢查部的宏觀照明區(qū)域的位置上設(shè)置有微觀檢查用的顯微鏡(例如參照專利文獻(xiàn)2)。
專利文獻(xiàn)1日本特開2000-9661號公報(bào)專利文獻(xiàn)2日本特開2001-305064號公報(bào)但是，在專利文獻(xiàn)1公開的基板檢查裝置中，如果作為檢查對象的玻璃基板體積較大，則目視檢查難以進(jìn)行，帶給檢查人員的負(fù)擔(dān)增大。并且，如果基板體積較大，則在登記缺陷等位置時(shí)，操作操縱桿等操作部使指示器移動到所發(fā)現(xiàn)的缺陷上的距離增大，因此檢查時(shí)間延長。另外，為了使大型的基板搖動，需要設(shè)計(jì)較大的空間及結(jié)實(shí)的搖動機(jī)構(gòu)，所以導(dǎo)致裝置變大型化。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是鑒于上述情況而提出的，其目的在于，防止能夠連續(xù)進(jìn)行宏觀檢查和微觀檢查的基板檢查裝置的大型化，提高檢查效率。
為了解決上述問題，本發(fā)明的基板檢查裝置的特征在于，該基板檢查裝置具有工作臺，其搬運(yùn)平板顯示器用基板；搬運(yùn)單元，其保持所述基板的一邊并沿所述工作臺的搬運(yùn)方向搬運(yùn)；線照明用光源，其配置在所述工作臺的上游側(cè)，射出在與所述搬運(yùn)方向交叉的方向上延伸的線狀照明光；宏觀檢查部，其具有拍攝被所述線狀照明光照射的觀察區(qū)域的攝像部；微觀檢查部，其沿所述工作臺的搬運(yùn)方向配置，具有沿與所述搬運(yùn)方向正交的方向移動的物鏡；缺陷坐標(biāo)運(yùn)算部，其計(jì)算由所述微觀檢查部檢測的缺陷的坐標(biāo)；控制部，其根據(jù)所述缺陷坐標(biāo)運(yùn)算部的各個缺陷的坐標(biāo)數(shù)據(jù)，使所述基板移動到所述缺陷的X坐標(biāo)與所述物鏡的掃描線一致的位置上，在使所述基板停止的狀態(tài)下，使所述微觀檢查部的所述物鏡移動到與所述缺陷的Y坐標(biāo)一致的位置上；以及精密浮起塊，其配置在與所述物鏡的掃描線對應(yīng)的檢查區(qū)域，使所述基板高精度地浮起，在使所述基板浮起的狀態(tài)下，利用所述微觀檢查部對所述基板進(jìn)行微觀檢查。
在該基板檢查裝置中，宏觀檢查部向基板照射線狀的照明光，從其反射光獲取基板表面的宏觀圖像。此時(shí)，當(dāng)移動單元一面使基板移動一面獲取圖像時(shí)，可以自動獲得基板表面的圖像。并且，微觀檢查部通過分別使基板和物鏡移動，獲取基板的規(guī)定位置的放大像(微觀圖像)。
根據(jù)本發(fā)明，沿著基板的移動路徑設(shè)置宏觀檢查部和微觀檢查部，一面使基板移動，一面通過宏觀檢查部取入來自基板表面的反射光以自動獲取宏觀圖像，并且通過微觀檢查部獲取基板的放大圖像，所以能夠迅速進(jìn)行外觀檢查，而與基板尺寸無關(guān)。通過從由宏觀檢查部獲取的圖像自動檢測有無缺陷等，與人工進(jìn)行檢查時(shí)相比，可以迅速獲得準(zhǔn)確的結(jié)果。并且，通過登記缺陷位置并按照該位置使微觀檢查部移動，可以獲得必要部位的放大像，檢查的精度提高。


圖1是本發(fā)明的第1實(shí)施方式的基板檢查裝置的俯視圖。
圖2是圖1所示基板檢查裝置的側(cè)視圖。
圖3是本發(fā)明的第3實(shí)施方式的基板檢查裝置的自動宏觀檢查部的示意圖。
具體實(shí)施例方式
以下，說明用于實(shí)施本發(fā)明的最佳方式。
(第1實(shí)施方式)如圖1和圖2所示，基板檢查裝置1具有在地面上隔著減振裝置2設(shè)置的基座主體3。在基座主體3上鋪設(shè)有浮起工作臺4作為基板搬運(yùn)單元，該工作臺吹出空氣以使FPD用玻璃基板(玻璃基板W)浮起。浮起工作臺4在基座主體3的長度方向(X方向)的一端部側(cè)的基板搬入?yún)^(qū)域和另一端部側(cè)的基板搬出區(qū)域，沿著玻璃基板W的搬運(yùn)方向(長度方向)隔開規(guī)定間隔設(shè)有多個細(xì)長矩形的浮起塊(搬運(yùn)用浮起塊)5、6。在浮起塊5、6之間的微觀檢查區(qū)域，在與玻璃基板W的搬運(yùn)方向(X方向)正交的寬度方向(Y方向)上隔開規(guī)定間隙8配置有精密浮起塊(檢查用浮起塊)7、9，這些浮起塊7、9可以高精度地控制玻璃基板W的浮起高度。在這些浮起塊5、6和精密浮起塊7、9上以相等間隔設(shè)有多個上表面開口的吹氣孔10(在圖1中只示出一部分)。這些吹氣孔10通過浮起塊5、6和精密浮起塊7、9的緩沖空間與空氣壓縮機(jī)等流體供給源11連接。
精密浮起塊7、9與浮起塊5、6相比，只要為較密地配置吹氣孔10，除吹氣孔10外還設(shè)置排氣孔，還能夠利用空氣噴出力(正壓)和空氣吸引力(負(fù)壓)高精度地控制玻璃基板W的浮起高度即可。
間隙8設(shè)在顯微鏡43的檢查光軸(物鏡的光軸)的移動線路上，并且形成為不遮擋來自照明部45的透射照明光的間隔，該照明部45和物鏡對置，并設(shè)于精密浮起塊7、9下方。
另外，在基座主體3上與長度方向平行的一個側(cè)緣部，與浮起工作臺4的基板搬運(yùn)路徑平行地鋪設(shè)有導(dǎo)軌12。在該導(dǎo)軌12上可自由移動地安裝著滑動部14。導(dǎo)軌12和滑動部14由使滑動部14沿著導(dǎo)軌12自動行進(jìn)的線性電機(jī)構(gòu)成。在滑動部14上可升降地設(shè)有基板吸附臺13，其具有吸附玻璃基板W的多個吸附部15。吸附部15在基板吸附臺13的上表面沿著基座主體3的長度方向以相等間隔設(shè)有多個。在各個吸附部15的前端設(shè)有吸附玻璃基板W的凹形狀的樹脂性吸附墊，在該吸附墊上形成有上下貫通的貫通孔，該貫通孔連接吸引泵17。另外，在基座主體3的玻璃基板W的搬入?yún)^(qū)域設(shè)有多個作為定位機(jī)構(gòu)的基準(zhǔn)銷18和按壓銷19，以夾持玻璃基板W?；鶞?zhǔn)銷18被設(shè)置為可以出沒于浮起工作臺4的上表面并且可以上下自由移動，用于將玻璃基板W定位在基準(zhǔn)位置。按壓銷19可以沿玻璃基板方向自由移動，用于將玻璃基板W按壓在基準(zhǔn)銷18上以整齊地排列于基準(zhǔn)位置上。另外，在基座主體3的玻璃基板W的搬入?yún)^(qū)域的浮起工作臺4下方設(shè)有基板升降部，其可以將基板W頂起，利用搬運(yùn)用機(jī)器人進(jìn)行基板更換?；迳挡吭O(shè)有多個，以使上下移動的升降銷20不與搬運(yùn)用機(jī)器人的機(jī)械手產(chǎn)生干擾。
其中，在基座主體3的一端部到另一端部之間，沿著浮起工作臺4的基板搬運(yùn)方向，從上游側(cè)到下游側(cè)依次設(shè)有作為第1檢查部的自動宏觀檢查部21、和作為第2檢查部的微觀檢查部22。自動宏觀檢查部21具有安裝在基座主體3上的門型框23，該門型框23與Y方向平行地跨越浮起工作臺4。在門型框23的垂直框部上與水平框部的一個側(cè)面平行地安裝有照明部24。在門型框23的水平框部的上面，在比照明部24高的位置上安裝有反射部25和攝像部26。
照明部24具有朝向基板表面照射與Y方向平行的線照明光的線照明用光源27。作為線照明用光源27，例如可以列舉在空心棒狀的玻璃桿的端面配置光源，使在玻璃桿內(nèi)全反射的光從玻璃桿的切槽開口射出線狀的照明光的光源、或者將LED排列成直線狀的光源。
反射部25配置在用于拍攝被線照明光源27按線狀照明的玻璃基板W的攝像光路上，具有使被玻璃基板W反射的反射光朝向攝像部26折返的反射鏡28。攝像部26具有照相機(jī)透鏡29、和與照相機(jī)透鏡29相比配置在另一端部側(cè)的線傳感器照相機(jī)30。
照明部24、反射部25和攝像部26的配置被設(shè)定為使在基板W的觀察區(qū)域反射的線照明光在攝像部26上成像。反射部25被安裝在支撐框上，以使被玻璃基板W反射的反射光朝向攝像部26，與浮起工作臺4的浮起面大致平行地折彎，所述支撐框從門型框23的水平臂部向上游側(cè)延伸。攝像部26被安裝在支撐框上，該支撐框在被反射部25折返的反射光路上從門型框23的水平臂部向下游側(cè)延伸。照明部24的線照明用光源27被設(shè)置得可以轉(zhuǎn)動，以便為了通過攝像部26獲取基板W表面的干涉像和衍射像，能夠相對于玻璃基板面設(shè)定為任意的入射角度。這種自動宏觀檢查部21連接在宏觀用控制部31上。
宏觀用控制部31進(jìn)行線照明用光源27的發(fā)光控制和從攝像部26的圖像數(shù)據(jù)的取入，并且包括圖像處理部，該圖像處理部對圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行圖像處理以生成宏觀圖像，并且利用與相鄰像素或相鄰圖案的相鄰比較法等進(jìn)行缺陷檢測。宏觀用控制部31還具有根據(jù)缺陷檢測的結(jié)果判定有無缺陷及其類型的判定部；根據(jù)缺陷的重心位置計(jì)算缺陷位置的缺陷坐標(biāo)運(yùn)算部；以及作為登記缺陷位置的登記單元的存儲器。
微觀檢查部22具有安裝在基座主體3上的與Y方向平行地跨越浮起工作臺4的門型框40；沿著門型框40的水平框部的一個側(cè)面鋪設(shè)的導(dǎo)軌41；沿著導(dǎo)軌41自由移動的自動行進(jìn)式的檢查頭用工作臺42；以及支撐在檢查頭用工作臺42上的顯微鏡43。
該顯微鏡43配置在形成于精密浮起塊7、9之間的間隙8的上方。在該間隙8的下方設(shè)有沿著導(dǎo)軌44追隨顯微鏡43移動的透射照明部45。顯微鏡43具有物鏡43b和CCD(固體攝像元件)43a。微觀檢查部22和自動宏觀檢查部21以互不干擾的程度接近配置。例如，微觀檢查部22的顯微鏡43設(shè)在比攝像部26低的位置上，以便不干擾自動宏觀檢查部21的攝像部26。顯微鏡43的CCD 43a的輸出與微觀用控制部46連接。
微觀用控制部46上連接著工作臺42、照明部45和宏觀用控制部31。
基板檢查裝置1的整體控制由裝置控制部50統(tǒng)一進(jìn)行。裝置控制部0連接浮起工作臺4、基板吸附臺13、按壓銷19、基板升降部、宏觀用控制部31和微觀用控制部46。
在裝置控制部50上連接著顯示圖像的監(jiān)視器51、和接受觀察者的操作的操作部52。
基板W使用玻璃制的平面基板，在該基板W上使用半導(dǎo)體技術(shù)制作有布線和濾波器等圖案。所說基板W的缺陷可以列舉圖案的一部分?jǐn)嚅_、圖案彼此短路、或者附著有異物的微觀缺陷，以及濾波器的膜和在制造過程中臨時(shí)涂覆的抗蝕膜等圖案自身產(chǎn)生膜不均勻的宏觀缺陷。因此，這些圖案成為本實(shí)施方式中的檢查對象。
下面，說明本實(shí)施方式的作用。
首先，從浮起工作臺4的各個吹氣孔10向上吹出空氣，將搬運(yùn)用機(jī)器人所搬運(yùn)的玻璃基板W運(yùn)送到浮起工作臺4上。具體來講，使各個基準(zhǔn)銷18以從浮起工作臺4的上表面突出的方式上升，然后利用搬運(yùn)用機(jī)器人將玻璃基板W搬入到升降銷20上。搬運(yùn)用機(jī)器人稍微下降，將玻璃基板W轉(zhuǎn)放到升降銷20上，然后退避到基板搬入?yún)^(qū)域外。然后，使基板升降部升降，利用空氣使玻璃基板W浮起到浮起工作臺4上。在使玻璃基板W浮起的狀態(tài)下，使各個按壓銷19朝向玻璃基板W側(cè)沿X方向或Y方向移動，使玻璃基板W接觸各個基準(zhǔn)銷18而進(jìn)行定位。在進(jìn)行了該定位的狀態(tài)下，使在基板搬入?yún)^(qū)域等待的基板吸附臺13上升到吸附墊16接觸基板W背面的位置。在該狀態(tài)下驅(qū)動吸引泵17，利用基板吸附臺13的吸附墊16吸附保持玻璃基板W。
在定位狀態(tài)下吸附保持基板W后，使各個基準(zhǔn)銷18下降到不與基板吸附臺13和玻璃基板W產(chǎn)生干擾的退避位置，然后使滑動部14沿著導(dǎo)軌12朝向另一端部(X方向)恒速移動。從線照明用光源27向該玻璃基板W上照射線照明光，玻璃基板W表面上的反射光被攝像部26攝像。與基板W沿X方向移動的定時(shí)同步地在宏觀用控制部31的圖像處理部中按照每一條線累計(jì)數(shù)據(jù)，由此形成基板W整個表面的宏觀圖像。
宏觀用控制部31比較通過圖像處理形成的檢查對象和相鄰的圖案，根據(jù)它們的差來抽取缺陷部，計(jì)算缺陷部分的重心位置，作為相對于預(yù)先設(shè)定的基板W的基準(zhǔn)位置的坐標(biāo)。其結(jié)果，在判定為存在多個缺陷時(shí)，所判定的所有缺陷坐標(biāo)被依次登記。宏觀用控制部31把其登記在存儲器中，并且把缺陷坐標(biāo)的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)發(fā)給微觀用控制部46。并且，基板W的宏觀圖像和表示缺陷的標(biāo)志被輸出給監(jiān)視器51。檢查人員對通過自動宏觀檢查所判定的各個缺陷進(jìn)行微觀檢查，但此時(shí)，操作操作部52來指定該缺陷位置。作為指定方法，例如可以列舉利用鼠標(biāo)點(diǎn)擊畫面上的標(biāo)志以獲取缺陷坐標(biāo)的方法，或者按照登記順序或距離從近到遠(yuǎn)的順序讀出被登記為缺陷的坐標(biāo)的方法。
微觀檢查部22獲取由檢查人員指定的缺陷的微觀圖像。即，使滑動部14停止在成為檢查對象的缺陷的X坐標(biāo)與顯微鏡43的物鏡43b的掃描線(間隙8)一致的位置上，并且使顯微鏡43和照明部45對準(zhǔn)成為檢查對象的缺陷的Y方向的坐標(biāo)。此時(shí)，玻璃基板W被精密浮起塊7、9高精度地控制浮起高度，在該狀態(tài)下通過顯微鏡43執(zhí)行自動聚焦。由此，從照明部45射出的照明光通過間隙8，并透過基板W入射到顯微鏡43上，顯微鏡43所獲取的微觀圖像被顯示在監(jiān)視器51上。另外，微觀檢查部22也可以不等待檢查人員的操作，而自動獲取由自動宏觀檢查部21判定為缺陷的位置的微觀圖像。
在通過自動宏觀檢查部21和微觀檢查部22結(jié)束檢查后，基板W通過滑動部14被搬運(yùn)到浮起工作臺4的一端部側(cè)的轉(zhuǎn)交位置(玻璃基板W的搬入?yún)^(qū)域)?；逦脚_13在使基板W停止于轉(zhuǎn)交位置的狀態(tài)下，解除基板W的吸附保持。此時(shí)，配置在基板吸附臺13上的各個吸附部15的吸附墊向基板W的基準(zhǔn)浮起高度的略微上方突出，并接觸玻璃基板W的背面，利用該吸附墊的摩擦力限制氣動浮起的玻璃基板W的移動力。在該狀態(tài)下，玻璃基板W在被定位的狀態(tài)下被轉(zhuǎn)交給升降部的各個升降銷20，通過搬運(yùn)用機(jī)器人搬入到基板箱內(nèi)。在進(jìn)行其他基板W的檢查時(shí)，利用機(jī)器人更換基板W，對下一個基板W進(jìn)行相同的檢查。
根據(jù)該實(shí)施方式，一面在線照明光下使基板W沿X方向移動，一面利用攝像部26拍攝基板W的整個面，所以能夠自動進(jìn)行對整個基板的宏觀檢查。因此，即使是大型基板W也能夠迅速且有效地進(jìn)行檢查。并且，由于不需要將基板W搖動著頂起，所以不需要設(shè)置大型的搖動機(jī)構(gòu)和搖動用的空間。另外，通過自動進(jìn)行缺陷判定，可以防止因檢查人員造成的檢查偏差，并且可以登記被判定為缺陷的部位的坐標(biāo)，所以容易將缺陷信息應(yīng)用于其他檢查。
并且，在同一裝置內(nèi)，可以在自動宏觀檢查部21和微觀檢查部22之間搬運(yùn)被同一基板吸附臺13定位的玻璃基板W，所以不需要像以往那樣又更換基板又進(jìn)行重新校準(zhǔn)，可以縮短檢查時(shí)間。而且，可以高精度地使由宏觀檢查部21抽取的各個缺陷與微觀檢查部22位置一致。此時(shí)，根據(jù)由自動宏觀檢查部21獲取的坐標(biāo)信息，進(jìn)行基板W在X方向的移動和顯微鏡43在Y方向的移動，所以能夠利用簡單的結(jié)構(gòu)進(jìn)行大型基板的微觀檢查。
另外，通過使自動宏觀檢查部21的攝像部26的高度與微觀檢查部22的顯微鏡43的高度不同，可以使兩個檢查部21、22的位置接近，所以能夠使基板檢查裝置1小型化。
(第2實(shí)施方式)作為基板檢查裝置1的其他方式，可以列舉以下所示的裝置結(jié)構(gòu)。
作為使用自動宏觀檢查部21的檢查數(shù)據(jù)的第2檢查部，除微觀檢查部22外，也可以設(shè)置自動線寬測定部。自動線寬測定部利用顯微鏡43獲取預(yù)先登記的圖案的微觀圖像，作為測定線寬的對象，并對該微觀圖像進(jìn)行圖像處理，以計(jì)算圖案的線寬。
并且，在顯微鏡43上，也可以取代CCD安裝分光測定裝置，或者在CCD的基礎(chǔ)上還安裝分光測定裝置。分光測定單元是將可見光分光的分光器，主要是為了測定濾色器的分光靈敏度而安裝的。進(jìn)行分光測定的對象可以限定為預(yù)先登記的位置，也可以是所有濾色器。
通過設(shè)置自動線寬測定部和分光測定裝置，除宏觀檢查和微觀檢查外，也可以進(jìn)行線寬測定和分光靈敏度測定。另外，如果構(gòu)成為將用于判定圖案合格與否的線寬的閾值和分光靈敏度預(yù)先登記在微觀用控制部46上，并與測定結(jié)果比較，則可以不經(jīng)過檢查人員即自動進(jìn)行檢查。
(第3實(shí)施方式)本發(fā)明的第3實(shí)施方式的基板檢查裝置1具有如圖3的示意圖所示的自動宏觀檢查部21。該自動宏觀檢查部21通過驅(qū)動機(jī)構(gòu)60將線照明用光源27支撐在門型框23上(參照圖2)，并且可以改變線照明用光源27的角度。攝像部26將干擾濾波器61可自由插拔地配置在透鏡29前面的光路上。
在該基板檢查裝置1中，按照由自動宏觀檢查部21設(shè)定的檢查條件使基板W往復(fù)移動，例如在去程中獲取干涉像，在回程中獲取衍射像。在獲取干涉像時(shí)，驅(qū)動驅(qū)動機(jī)構(gòu)60，使線照明用光源27以基板W上的被線照明的檢查位置為中心轉(zhuǎn)動，以使照明光相對基板W的入射角度θ1成為與來自基板W的反射光相對攝像部26的入射角度θ2相同的角度。另外，從透鏡29正前方的光路上插入干擾濾波器61。由此，與前面說明的相同，可以伴隨基板W的移動累計(jì)圖像數(shù)據(jù)，并獲取干涉像。并且，在獲取衍射像時(shí)，將線照明用光源27的角度設(shè)定為使入射角度θ1與相對攝像部26的入射角度θ2為n次光的衍射角度，使干擾濾波器61從光路上退避。其結(jié)果，可以伴隨基板W的移動累計(jì)衍射圖像數(shù)據(jù)，并獲取衍射像。
在該實(shí)施方式中，可以與基板W的往復(fù)移動結(jié)束時(shí)大致同時(shí)地獲取干涉像和衍射像。然后根據(jù)預(yù)先設(shè)定的條件轉(zhuǎn)入微觀檢查，或?qū)嵤┗錡的更換。另外，在進(jìn)行圖像處理時(shí)，干涉像的處理在獲取衍射像的回程中進(jìn)行，衍射像的處理在轉(zhuǎn)入下一工序之前進(jìn)行。根據(jù)該實(shí)施方式，可以從干涉像檢測有無膜厚不均，可以從衍射像檢測細(xì)微圖案的異常等，在自動進(jìn)行宏觀檢查的情況下也能夠?qū)崿F(xiàn)近似目視檢查的精度。
另外，本發(fā)明不限于上述各個實(shí)施方式，可以廣泛應(yīng)用。
例如，基板檢查裝置1也可以構(gòu)成為設(shè)置無動力輥(Free roller)等公知的工作臺來取代浮起工作臺4。并且，基板吸附臺13不僅設(shè)在一個側(cè)緣部，也可以設(shè)在另一個側(cè)緣部，來吸附保持基板W的兩個側(cè)緣。
權(quán)利要求
1.一種基板檢查裝置，其特征在于，該基板檢查裝置具有工作臺，其搬運(yùn)平板顯示器用基板；搬運(yùn)單元，其保持所述基板的一邊并沿所述工作臺的搬運(yùn)方向搬運(yùn)；線照明用光源，其配置在所述工作臺的上游側(cè)，射出在與所述搬運(yùn)方向交叉的方向上延伸的線狀照明光；宏觀檢查部，其具有拍攝被所述線狀照明光照射的觀察區(qū)域的攝像部；微觀檢查部，其沿所述工作臺的搬運(yùn)方向配置，具有沿與所述搬運(yùn)方向正交的方向移動的物鏡；缺陷坐標(biāo)運(yùn)算部，其計(jì)算由所述微觀檢查部檢測的缺陷的坐標(biāo)；控制部，其根據(jù)所述缺陷坐標(biāo)運(yùn)算部的各個缺陷的坐標(biāo)數(shù)據(jù)，使所述基板移動到所述缺陷的X坐標(biāo)與所述物鏡的掃描線一致的位置上，在使所述基板停止的狀態(tài)下，使所述微觀檢查部的所述物鏡移動到與所述缺陷的Y坐標(biāo)一致的位置上；以及精密浮起塊，其配置在與所述物鏡的掃描線對應(yīng)的檢查區(qū)域中，使所述基板高精度地浮起，在使所述基板浮起的狀態(tài)下，利用所述微觀檢查部對所述基板進(jìn)行微觀檢查。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板檢查裝置，其特征在于，所述工作臺以夾著所述精密浮起塊的方式沿搬運(yùn)方向隔開規(guī)定間隔配置多個細(xì)長的搬運(yùn)用浮起塊。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板檢查裝置，其特征在于，所述精密浮起塊具有吹氣孔和排氣孔，利用正壓和負(fù)壓高精度地控制所述基板的浮起高度。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板檢查裝置，其特征在于，在所述工作臺的基板搬入?yún)^(qū)域配置有基板定位機(jī)構(gòu)，該基板定位機(jī)構(gòu)由夾持所搬運(yùn)的所述基板的四邊的多個基準(zhǔn)銷和按壓銷構(gòu)成，在利用所述搬運(yùn)用浮起塊使所述基板浮起的狀態(tài)下，利用所述按壓銷將所述基板按壓定位在所述基準(zhǔn)銷上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板檢查裝置，其特征在于，所述線照明用光源可以將相對所述基板的入射角度設(shè)定為能夠利用線傳感器照相機(jī)獲得干涉圖像或衍射圖像的任意角度。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板檢查裝置，其特征在于，所述線照明用光源被設(shè)置成可以轉(zhuǎn)動，以便可以任意設(shè)定相對所述基板的入射角度，所述搬運(yùn)單元被設(shè)置成為可以使所述基板在所述宏觀檢查部的宏觀檢查區(qū)域往復(fù)移動，利用所述控制部變更所述線照明用光源在所述基板的去程或回程中的入射角度，利用線傳感器照相機(jī)拍攝在所述去程或回程中的干涉圖像或衍射圖像。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基板檢查裝置(1)，在基座主體(3)上鋪設(shè)有使基板(W)氣動浮起的浮起工作臺(4)。另外，在從基座主體(3)的一端部到另一端部之間依次設(shè)有自動宏觀檢查部(21)和微觀檢查部(22)。自動宏觀檢查部(21)構(gòu)成為具有向基板(W)照射線狀照明光的照明部(24)，在使照明光的反射光通過反射部(25)折返后入射到攝像部(26)。
文檔編號G01B11/30GK1948955SQ20061013221
公開日2007年4月18日 申請日期2006年10月12日 優(yōu)先權(quán)日2005年10月12日
發(fā)明者松本勝, 永見理 申請人:奧林巴斯株式會社