專利名稱：用于直尺平直度測量的順序多探頭方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于直尺平直度測量的順序多探頭方法，該方法采用利用沿導(dǎo)軌移動的滑架沿直尺順序測量的多探頭裝置。
本發(fā)明也涉及用于測量具有可移動部件的機(jī)器中的位置誤差的裝置以及用于直尺平直度測量的直尺和測量系統(tǒng)，所述測量系統(tǒng)包括利用依導(dǎo)軌移動的滑架(carriage)沿直尺順序測量的多探頭裝置。
本發(fā)明也涉及用于直尺平直度測量的測量系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括利用依導(dǎo)軌移動的滑架沿直尺順序測量的多探頭裝置。
機(jī)床和多軸機(jī)械設(shè)備要求和高精密工程的發(fā)展相一致的高標(biāo)準(zhǔn)精度。只有當(dāng)能夠精確測量和計算機(jī)床部件的誤差時，才能獲得制造中的高精度。
坐標(biāo)測量機(jī)被用于諸如機(jī)床零件等工件的1、2或3維檢查。工件通常被固定在固定臺上，并采用可在一、二或三維方向移動的測量探頭。為了測量在工件上點的位置，使探頭與該點接觸，或以例如電容性等其它方式進(jìn)行測量，在機(jī)器上的測量標(biāo)尺或其它傳感器上讀出測量結(jié)果。探頭可以是任意種類，探頭可以與直尺接觸的接觸探頭，可以是光學(xué)探頭，或可以是基于渦流或電容的非接觸探頭。點的位置通常被表示成機(jī)器的工作容積中的X、Y和Z坐標(biāo)。為了測量兩點間的距離，相繼地測量這些點，讀出點的坐標(biāo)，通過坐標(biāo)計算得出距離?，F(xiàn)有技術(shù)的坐標(biāo)測量機(jī)通常具有諸如高精度測量系統(tǒng)、電接觸探頭、馬達(dá)驅(qū)動、計算機(jī)控制的驅(qū)動以及數(shù)據(jù)的計算機(jī)采集和處理等特征。
一種公知的坐標(biāo)測量機(jī)是移動橋式機(jī)。橋架在平臺上沿導(dǎo)軌在Y方向上移動?；茉跇蚣苌涎貙?dǎo)軌在X方向上移動。與每個可移動部件關(guān)聯(lián)的標(biāo)尺指示可移動部件在三個軸向上的位置。
坐標(biāo)測量機(jī)的精確度受限于標(biāo)尺或其它測量裝置的誤差以及限制機(jī)器運(yùn)動的導(dǎo)軌或其它部件的誤差。提高精確度的一種方法是簡單地改進(jìn)建造技術(shù)并減小系統(tǒng)的容差，使得誤差得以減小。然而，隨著所需的精確度增加以及工件的尺寸增加，減小誤差的花費變得極越來越昂貴。精密直尺被用于作為沿直尺方向上線性度校準(zhǔn)的方法。
當(dāng)前用于直尺校準(zhǔn)的解決方法是(常)用激光測量工具測量各個機(jī)器的“各個機(jī)器誤差”并存儲起來。然后，努力保持相同的條件，使得“各個機(jī)器誤差”保持不變。這要求對諸如溫度和濕度等條件有非常好的控制，使用通常(非常)昂貴的材料諸如微晶玻璃(Zerodur)和殷鋼(invar)等以盡可能減小已確定的“各個機(jī)器誤差”的偏離。盡管那樣，在任何可能影響配置的服務(wù)活動后，不得不有規(guī)律地重復(fù)測量過程。
用于測量和計算這些誤差的各種技術(shù)是眾所周知的。在這些技術(shù)中，常采用直尺作為標(biāo)尺用于測量機(jī)床組件或機(jī)床移動部件的誤差。為了使測量精確，精密直尺的平直度本身必須被精密和精確地測量，即，必須精確測量直尺表面誤差。
在SPIE vol.2101測量技術(shù)與智能儀器(Measurement technologyand intelligent Instruments)(1993)，483頁，Li等描述了一種用于精密直尺的平直度測量的順序三點方法。在本發(fā)明的概念中，“多探頭”測量意味著至少使用三個探頭。在該測量中，配置有三個探頭的滑架沿導(dǎo)軌移動并在直尺上順序地測量幾組點(至少三個)。利用所測量的幾組點，Li等說，可以不依賴于導(dǎo)軌的誤差或滑架的偏航誤差計算直尺的平直度。
然而，雖然作者Li等宣稱可以計算直尺的平直度，但是發(fā)明者意識到系統(tǒng)誤差依然存在。測量中的系統(tǒng)誤差隨直尺長度增加累積。該系統(tǒng)誤差不能或不易與直尺的真實偏差進(jìn)行區(qū)分。它也難以提供實時的測量結(jié)果。
實際上，公知的用于校準(zhǔn)坐標(biāo)測量機(jī)的先前系統(tǒng)都相對復(fù)雜且昂貴。此外，校準(zhǔn)過程耗時長、復(fù)雜、昂貴且易于產(chǎn)生誤差。
本發(fā)明的目的在于提供如“發(fā)明領(lǐng)域”部分所說明的具有提高的精確度以及/或相對簡單以及/或更適于實時測量的方法、裝置和系統(tǒng)。
為此目的，該方法、裝置和系統(tǒng)的特征在于滑架沿直尺的一個表面移動以獲得測量結(jié)果，并繼而沿直尺的相反表面移動以獲得測量結(jié)果。
本發(fā)明基于以下理解理想地，順序多探頭測量結(jié)果應(yīng)該無導(dǎo)軌或滑架的系統(tǒng)誤差，然而，發(fā)明者意識到系統(tǒng)誤差依然存在。
通過沿直尺的相反表面移動滑架，在直尺的兩面產(chǎn)生相同的系統(tǒng)誤差。在直尺的一個表面上取得的測量結(jié)果不能區(qū)別直尺的真實偏差和系統(tǒng)誤差。然而，當(dāng)直尺的相反表面也被測量時，直尺中本身的任何偏差改變正負(fù)(凸起變?yōu)榘枷荩粗嗳?，而測量產(chǎn)生的系統(tǒng)誤差不會改變正負(fù)。通過對直尺的相反表面上所測量點進(jìn)行加和減，可以獲得系統(tǒng)誤差和相對理想的直線的直尺真實偏差。在本發(fā)明的概念中，滑架是任意設(shè)備或裝置，在該(些)設(shè)備或裝置中相對彼此設(shè)置三個或更多探頭，它無需是一個整體，“導(dǎo)軌”是滑架依其沿導(dǎo)軌移動的任意設(shè)備或裝置，而“旋轉(zhuǎn)滑架”包括可以使三個或更多探頭的位置發(fā)生改變的方法，這使得隨著沿一個或多個所述軸的旋轉(zhuǎn)，探頭間的相互位置發(fā)生改變。對本發(fā)明的該方法而言，在直尺兩面上的導(dǎo)軌不必是相同的，如下所釋，盡管基于制造的理由，它們優(yōu)選地是相似的。
通過在直尺的相反表面上測量，由于直尺厚度的偏差引入了額外的誤差。然而，直尺的厚度更好被控制，且與直尺的平直度相比，較少依賴條件因素，誤差減小的正效應(yīng)(點2)完全超過由于厚度導(dǎo)致的誤差增加(點3)。
此外，本發(fā)明提供的方法允許對直尺平直度進(jìn)行連續(xù)測量，降低由直尺平直度的測量間的條件改變產(chǎn)生的任何誤差，使得實時的測量成為可能。
以下將參考附圖和實施例對本發(fā)明的這些和其他方面進(jìn)行更具體的說明，附圖包括

圖1是x-y移動機(jī)的示意圖。
圖2是如圖1所示的機(jī)器上的精密標(biāo)尺直尺的實例示意圖。
圖3和圖4是三探頭順序方法的示意圖。
圖5是系統(tǒng)誤差的示意圖。
圖6是探頭在直尺的相對表面上探測的示意圖。
圖7和圖8是直尺相反表面上的探頭的兩種不同配置的示意圖。
圖9到圖12是測量的示意圖。
以下將參考附圖對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)的說明，在附圖中示意了本發(fā)明的優(yōu)選實施例。然而，該發(fā)明可以用多種不同的形式實施，不應(yīng)理解為受限于下文中的示例實施例；而是，所提供的這些實施例是使本公開徹底和完全，并使本專業(yè)的技術(shù)人員了解本發(fā)明的范圍。相同的符號指相同的元件。
圖1是x-y移動機(jī)1的示意圖。機(jī)器具有用于在兩個垂直方向x和y上在平臺B上移動零件A的移動部件2。該機(jī)器可以是任意的精密機(jī)床。機(jī)床和多軸機(jī)械設(shè)備要求和高精密工程的發(fā)展相一致的高標(biāo)準(zhǔn)精度。只有當(dāng)能夠精確測量和計算機(jī)床部件的誤差時，才能獲得制造中的高精度。
當(dāng)前用于直尺校準(zhǔn)的解決方法是(常)用激光測量工具測量各個機(jī)器的“各個機(jī)器誤差”并存儲起來。然后，努力保持相同的條件，使得“各個機(jī)器誤差”保持不變。這要求對諸如溫度和濕度等條件有非常好的控制，使用通常(非常)昂貴的材料諸如微晶玻璃和殷鋼等以盡可能減小已確定的“各個機(jī)器誤差”的偏離。盡管那樣，在任何可能影響配置的服務(wù)活動后，不得不有規(guī)律地間隔如每兩年重復(fù)該測量過程。
為了能夠精確地測量，標(biāo)尺必須是可用的。然而，該標(biāo)尺也必須被測量。因此，最終標(biāo)尺的精確度決定制造的精確度。
常用直尺進(jìn)行平直度校準(zhǔn)。圖2示意了直尺3的位置。
已知各種測量直尺的平直度的方法，其中一種是所謂的三探頭方法，如圖3所示。使用測量裝置4，在該裝置中提供了三個探頭4a、4b和4c。測量裝置依導(dǎo)軌G(x)移動并按一定間隔相繼測量位置S(x)。因此，取得采用三個探頭順序的測量結(jié)果，這是該方法被稱為順序三探頭方法的原因。包括相對大量的未知參數(shù)。首先，要測量的表面S(x)是首先未知的，第二，導(dǎo)軌G(x)是未知的，第三，裝置4的偏航角γ是位置的。
在每個點n、n+1、n+2、n+m等，探頭4a測量位置n處的導(dǎo)軌G(x)和表面S(x)間的距離a(n)。
a(n)＝G(n)-S(n)同樣，探頭4b測量位置n+1處導(dǎo)軌和表面間的距離b(n)，而探頭4c測量距離c(n)。
b(n)＝G(n)-S(n+1)+Lγ(n)，其中γ(n)是位置n處的偏航誤差。
c(n)＝G(n)-S(n+2)+2Lγ(n)加和減給出a(n)-2b(n)+c(n)＝-S(n)+2S(n+1)-S(n+2)a(n+1)-2b(n+1)+c(n+1)＝-S(n+1)+2S(n+2)-S(n+3)a(n+2)-2b(n+2)+c(n+2)＝-S(n+2)+2S(n+3)-S(n+4)等。
通過兩點(例如開始點(S(1)和S(2))可以畫線，因此這些點S(1)和S(2)可以被設(shè)置為0。這樣可以使用上述方程確定全部的點S(n)。顯然上述的方程是不依賴于導(dǎo)軌G(x)和偏航誤差γ(x)的。
因此，通過用三個探頭在n點處測量，可以確定不依賴于導(dǎo)軌G(x)和偏航誤差γ(x)的S(x)的值。
順序三探頭測量方法基于這樣的計算。
如果G(x)和γ(x)只是未知量，順序三(或更多)探頭方法將允許消去未知量G(x)和γ，以確定S(x)并因而測量直尺的平直度，這可以隨后被用于其它例如工件的平直度測量的校準(zhǔn)。
然而，發(fā)明者意識到小的系統(tǒng)誤差仍然會發(fā)生，如圖5所示。
中間探頭4b可以相對穿過外部的探頭4a和4c的直線偏離δ。該偏離為固定的偏離，不依賴于值n。上述的方程變?yōu)閍(n)＝G(n)-S(n)b(n)＝G(n)-S(n+1)-δ+Lγ(n)
c(n)＝G(n)-S(n+2)+2Lγ(n)加和減給出a(n)-2b(n)+c(n)＝-S(n)+2S(n+1)+δ-S(n+2)a(n+1)-2b(n+1)+c(n+1)＝-S(n+1)+2S(n+2)+δ-S(n+3)a(n+2)-2b(n+2)+c(n+2)＝-S(n+2)+2S(n+3)+δ-S(n+4)等。
未知參數(shù)δ影響方程的結(jié)果。實際上，測量中產(chǎn)生的誤差是累積的，即，其中第一點處的誤差是小(δ)，第n個點處誤差大約為n(n-1)δ。即使系統(tǒng)誤差δ也許很小，但是由于累積的因素，測量中的誤差也許很大。裝置的尺寸趨于增加，測量點的數(shù)目也是如此，使得系統(tǒng)誤差變得顯著。
圖6是本發(fā)明提供的方法和裝置的示意圖。具有探頭4a、4b和4c的裝置4沿直尺3的一個表面S(x)移動，并獲得測量結(jié)果。然后將裝置置于直尺3的相反表面，用于測量直尺3的相反表面S’(x)。
圖7和圖8示意了兩個不同的配置。裝置4可以在直尺的相反表面被定向，使得探頭4a面向4a或面向4c，即，相同的探頭相向面對。在圖7中，相同的探頭相向面對，在圖8中，不同的探頭相向面對，即，探頭的順序是相反的?！跋嘞蛎鎸Α币馑际钱?dāng)中間探頭位于沿直尺的相同的坐標(biāo)處時，4a探頭的坐標(biāo)完全相同(圖7)或4a和4c探頭的坐標(biāo)完全相同。
圖9示意了由共同的順序三探頭方法確定的在作為任意單元(a.u.)的x的函數(shù)的任意單位(a.u.)的測量值(Δ+S(x))。由大三角所示的測量值(Δ+S(x))實際包括兩部分真實值S(x)，由小方塊所示，即，應(yīng)該平直的直尺3的彎曲；以及系統(tǒng)誤差Δ，由小菱形所示，系統(tǒng)誤差Δ或多或少作為測量點n的二次函數(shù)變化?；蛟S有人推斷，已知系統(tǒng)誤差作為測量點數(shù)目n的函數(shù)按特定方式增加，因此隨著沿直尺的距離x函數(shù)增加，可以分離出系統(tǒng)誤差Δ。然而，直尺3的彎曲通常也或多或少遵從二次曲線，使得兩部分Δ(系統(tǒng)誤差)和S(x)(直線的真實偏差)不能被分開，或至少不容易分開。
圖10示意了相同的測量結(jié)果，但是在直尺3的相反表面所獲得的。測量值(Δ+S’(x))實際包括兩部分真實值S’(x)，即相反表面的彎曲；以及系統(tǒng)誤差Δ。系統(tǒng)誤差是由沒有改變的誤差δ產(chǎn)生的。S’(x)的值與S(x)的值符號相反，因為在直尺的一面是凸起的，則在直尺的另一面是凹陷的，反之亦然。并且，只用這些測量結(jié)果，兩部分不能被分開。然而，利用這兩個測量結(jié)果，可以分開這兩部分的貢獻(xiàn)，即，系統(tǒng)誤差和直尺的真實彎曲度對測量結(jié)果的貢獻(xiàn)，如圖11和圖12所示。加減這些測量結(jié)果一方面給出系統(tǒng)誤差Δ的值，另一方面給出彎曲度的值S(x)。只要直尺的厚度th(圖7和圖8)與直尺的彎曲度(彎曲)相比更好控制，這種機(jī)制就能產(chǎn)生作用。然而，后者總是問題。直尺的厚度可非常高精度地控制，并且也幾乎不依賴諸如溫度和濕度等其它參數(shù)，而這些參數(shù)對直尺的平直度有顯著的影響。要注意到，也許有人認(rèn)為只有當(dāng)對直尺的相反表面的兩個導(dǎo)軌G(x)和偏航誤差γ(x)是相同的時候，該機(jī)制才能起作用。如果是真的，這將對該方法有嚴(yán)重的限制，因為這種情況幾乎是不可能的。然而，這并非問題，G(x)和γ(x)從直尺3的兩邊的方程中消去，并且并不相互依賴。雖然重要的是在直尺的相反表面使用相同的探頭，探頭相對的位置保持不變，使得誤差δ保持不變。在相反的表面同時使用兩種不同的探頭不在本發(fā)明的范圍內(nèi)，在相同的表面但不同的方向上用相同的探頭兩次也不在本發(fā)明的范圍內(nèi)。
概括來說，本發(fā)明可如下所述在用于測量具有可移動部件(2)和直尺(3)的機(jī)器中的位置誤差的裝置和用于測量直尺的平直度的系統(tǒng)中，所述測量系統(tǒng)包括多探頭(4a、4b、4c)裝置(4)，用于利用滑架(4)沿直尺(3)依導(dǎo)軌(G(x))移動用以順序測量?；?4)沿直尺(3)的一個表面(S(x))移動以取得測量結(jié)果，然后轉(zhuǎn)移到直尺(3)的相反表面(S’(x))并沿直尺(3)的相反表面(S’(x))移動以取得測量結(jié)果。通過加減在直尺的相反表面上所取得的測量點，可以分辨由探頭產(chǎn)生的系統(tǒng)誤差，因而，直尺平直度的測量得以改進(jìn)。因而可以減小制造中以及工件和其它零件的測量誤差。該方法和裝置也可用于實時的平直度矯正。
要清楚，在本發(fā)明的構(gòu)架中，可以作出許多變化。本專業(yè)技術(shù)人員要理解到，本發(fā)明并不受限于在上文中所示的以及所說明的示例。本發(fā)明包括每個新特征以及每個特征的組合。權(quán)利要求中的標(biāo)號并不限制它們的保護(hù)范圍?！鞍ā币辉~的使用并不排除其它未在權(quán)利要求中所述的元件的存在?！耙粋€”并不排除復(fù)數(shù)情況的存在。
例如，在優(yōu)選實施例中，采用了三探頭方法，但是也可以使用多于三探頭。另一方面，額外的誤差將被引入，然而，額外的信息也是可利用的。在優(yōu)選實施例中，采用了三探頭方法。
直尺可以被配置在一個方向或兩個或更多的方向上。
發(fā)明的方法起作用，因為厚度的偏差與平直度的偏差相比更好控制。直尺的尺寸例如通常為5mm厚2-3米長。直尺的厚度可以在制造期間被控制在微米范圍內(nèi)。
系統(tǒng)誤差的一種類型是直尺沿長度方向上的厚度變化。這種系統(tǒng)的、已知的沿直尺的長度方向的厚度變化可以在將它放在裝置中之前或放在裝置中時，通過沿直尺精確測量直尺的厚度變化，并當(dāng)與直尺的相反表面上的測量結(jié)果比較時處理該變化。一種包括作為沿直尺的位置函數(shù)的系統(tǒng)偏差的簡單查尋表就夠了。
由對直尺的厚度的短暫影響諸如溫度變化產(chǎn)生的偏差將不會被考慮，但是這些誤差與平直度的偏離相比要小幾個數(shù)量級。
直尺可以包括條形或平板形，或任何合適的形狀或形式。
探頭不需要全部在直尺的一面。
例如，n個(n≥1)探頭可以探測直尺的第一表面，而同時m個(m≥1)(其中n+m≥3)個探頭探測直尺的相反的表面。該方法隨后包括沿一個方向取得測量結(jié)果，隨后，滑架被旋轉(zhuǎn)，使得m個探頭探測第一表面，而n個探頭探測相反的表面，測量被重復(fù)。
原則上，在本發(fā)明的最廣泛的概念中，滑架可以被轉(zhuǎn)移到直尺的相反面而將直尺保持在原位，或者滑架保持在原位而直尺轉(zhuǎn)圈使得相反的表面與滑架面對。
由于以下情況導(dǎo)致直尺是凸起或凹陷的(即，具有偏離真正直尺的形狀)
—直尺中內(nèi)在的彎曲—由于直尺的安裝(如夾或擰)導(dǎo)致的直尺的彎曲。
將直尺轉(zhuǎn)圈不會改變直尺的內(nèi)在彎曲(因此相對滑架為凸起成為凹陷，反之亦然)，然而，由于直尺的運(yùn)轉(zhuǎn)，直尺的安裝會發(fā)生改變，這會引入彎曲度上的變化，該變化會導(dǎo)致誤差。因此，優(yōu)選地直尺保持不變，滑架被轉(zhuǎn)移到直尺的相反表面。
本方法、裝置和系統(tǒng)適用于實時測量。所述的裝置有規(guī)律地沿直尺移動，在這些前后運(yùn)動中，滑架(當(dāng)它到達(dá)最后的位置時)在位置上發(fā)生改變，使得在該變化之前在一個表面探測的探頭從而探測相反的表面。在沿直尺的前后運(yùn)動期間，只要諸如溫度和濕度等短暫的影響不會改變太多，該方法就允許平直度的實時的精確校準(zhǔn)。要強(qiáng)調(diào)的是，探頭位置的改變，如從直尺的一個表面到相反的表面，使得能夠執(zhí)行這種精確實時的測量。
權(quán)利要求
1.用于直尺(3)平直度測量的順序多探頭方法，所述方法采用利用沿導(dǎo)軌(G(x))移動的滑架(4)沿所述直尺(3)順序測量的多探頭(4a、4b、4c)裝置(4)，其中，所述滑架(4)沿所述直尺3的一個表面(S(x))移動以獲得測量結(jié)果，繼而沿所述直尺的相反表面(S’(x))移動以獲得測量結(jié)果。
2.如權(quán)利要求1所述的順序多探頭方法，其中，在所述直尺(3)的相反表面(S(x)、S’(x))，所述滑架(4)被如此定向使得所述相同的探頭(4a、4b、4c)相向面對。
3.如權(quán)利要求1所述的順序多探頭方法，其中，在所述直尺(3)的相反表面(S(x)、S’(x))，所述滑架(4)被如此定向使得所述探頭(4a、4b、4c)的順序被顛倒。
4.如權(quán)利要求1所述的順序多探頭方法，其中，使用了三個探頭(4a、4b、4c)。
5.如權(quán)利要求1所述的方法，其中，比較對所述直尺(3)的相反表面(S(x)、S’(x))取得的測量結(jié)果，用于提供所述直尺的平直度的測量結(jié)果。
6.如權(quán)利要求5所述的方法，其中，在所述比較中，考慮了所述直尺(3)的厚度(th)的系統(tǒng)誤差。
7.用于測量具有可移動部件(2)和直尺(3)的機(jī)器和用于測量所述直尺的平直度的系統(tǒng)中的位置誤差的裝置，所述測量系統(tǒng)包括多探頭(4a、4b、4c)裝置(4)，用于利用沿導(dǎo)軌(G(x))移動的滑架(4)沿直尺(3)順序測量，其中，所述裝置包括用于將所述滑架(4)沿所述直尺(3)的一個表面(S(x))移動以取得測量結(jié)果、轉(zhuǎn)移所述滑架(4)到所述直尺(3)的相反表面(S’(x))并沿所述直尺(3)的所述相反表面移動所述滑架以取得測量結(jié)果的裝置。
8.用于直尺(3)平直度測量的測量系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括多探頭(4a、4b、4c)裝置(4)，用于利用沿導(dǎo)軌(G(x))移動的滑架(4)沿直尺(3)順序測量，其中，所述測量系統(tǒng)包括用于將所述滑架(4)沿所述直尺(3)的一個表面(S(x))移動以取得測量結(jié)果、轉(zhuǎn)移所述滑架(4)到所述直尺(3)的相反表面(S’(x))并沿所述直尺(3)的所述相反表面(S’(x))移動所述滑架(4)以取得測量結(jié)果的裝置。
全文摘要
用于直尺平直度測量的系統(tǒng)和方法，所述測量系統(tǒng)包括多探頭(4a、4b、4c)裝置(4)，用于利用沿導(dǎo)軌(G(x))移動的滑架(4)沿直尺(3)順序測量。所述滑架(4)沿直尺(3)的一個表面(S(x))移動以取得測量結(jié)果，然后轉(zhuǎn)移到直尺(3)的相反表面(S’(x))并沿直尺(3)的相反表面(S’(x))移動以取得測量結(jié)果。通過加減在直尺的相反表面上所取得的測量點，可以分辨由探頭產(chǎn)生的系統(tǒng)誤差，因而，直尺平直度的測量得以改進(jìn)。制造中以及工件和其它零件的測量誤差因而可以被減小。該方法和裝置也可用于實時的平直度矯正。
文檔編號G01B21/20GK101080609SQ200580043016
公開日2007年11月28日 申請日期2005年12月12日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月16日
發(fā)明者A·M·賴肯, M·A·M·庫佩恩, E·J·M·揚(yáng)森, T·A·M·勒伊 申請人:皇家飛利浦電子股份有限公司