專(zhuān)利名稱(chēng)：六氟化硫氣體濃度的光學(xué)檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種檢測(cè)六氟化硫氣體濃度時(shí)所采用的光學(xué)檢測(cè)裝置。
背景技術(shù)：
六氟化硫(FS6)氣體濃度的測(cè)量通常采用聲速測(cè)量法，如干涉儀法、比較法和脈沖法等，其測(cè)量精度通常受氣體溫度、流動(dòng)速度等因素的影響，因而其測(cè)量精度很難提高，且測(cè)量氣體的范圍有一定的限制。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種可精確測(cè)量六氟化硫氣體濃度的光學(xué)檢測(cè)裝置。
實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型裝置的技術(shù)方案是具有光發(fā)射裝置、光路裝置、進(jìn)氣管道、出氣管道、檢測(cè)端光電轉(zhuǎn)換器和參考端光電轉(zhuǎn)換器；光路裝置具有外殼和依照從前向后的次序依次設(shè)置在外殼中的窄帶濾光器、功率衰減器、分光器和透光器，且窄帶濾光器的中心、功率衰減器的中心、分光器的中心和透光器的中心在外殼的軸心線(xiàn)上，且分光器所在平面與外殼的軸心線(xiàn)的夾角為45度；按照從前向后的次序，外殼側(cè)壁的位于功率衰減器與分光器之間的壁體上開(kāi)有參考光出口，外殼的位于分光器與透光器之間的空腔形成氣體室，外殼側(cè)壁的位于氣體室處的壁體上開(kāi)有進(jìn)氣口和出氣口，且分光器的中心點(diǎn)在參考光出口的中心線(xiàn)上；光發(fā)射裝置位于光路裝置的前側(cè)、且其光信號(hào)發(fā)射端位于外殼(11)的軸心線(xiàn)上，檢測(cè)端光電轉(zhuǎn)換器位于光路裝置的后側(cè)、且其光信號(hào)接收端位于外殼的軸心線(xiàn)上，參考端光電轉(zhuǎn)換器設(shè)置在外殼的側(cè)部、且其光信號(hào)接收端位于參考光出口的中心線(xiàn)上；使用時(shí)光發(fā)射裝置的光發(fā)射端發(fā)射出的光線(xiàn)經(jīng)過(guò)依次經(jīng)過(guò)窄帶濾光器和功率衰減器后到達(dá)分光器，然后分成兩路，一路繼續(xù)沿外殼的軸心線(xiàn)穿過(guò)分光器、氣體室和透光器后射至檢測(cè)端光電轉(zhuǎn)換器的光信號(hào)接收端，另一路經(jīng)分光器分光后穿過(guò)外殼的參考光出口后射至參考端光電轉(zhuǎn)換器的光信號(hào)接收端；進(jìn)氣管道與外殼的進(jìn)氣口相連，出氣管道與外殼的出氣口相連，出氣管道的另一端與外界空氣相通。
在上述技術(shù)方案中，還具有氣路通道選擇器和待測(cè)氣體輸入管道；待測(cè)氣體輸入管道有3至10路，氣路通道選擇器具有待測(cè)氣體輸入端口和待測(cè)氣體輸出端口；氣路通道選擇器的待測(cè)氣體輸出端口與進(jìn)氣管道相連；氣路通道選擇器的待測(cè)氣體輸入端口的數(shù)量與待測(cè)氣體輸入管道的數(shù)量相同，且各個(gè)待測(cè)氣體輸入端口與相應(yīng)一個(gè)待測(cè)氣體輸入管道相連；使用時(shí)，各個(gè)待測(cè)氣體輸入管道的進(jìn)氣口設(shè)置在需要檢測(cè)六氟化硫氣體濃度的地方。
在上述技術(shù)方案中，光發(fā)射裝置的光發(fā)射端與光路裝置的窄帶濾光器的距離為8厘米至15厘米；窄帶濾光器與功率衰減器之間的距離為4至6厘米；分光器的中心與功率衰減器之間的距離為5至8厘米；外殼的進(jìn)氣口與參考光出口的間距為3至5厘米；進(jìn)氣口與出氣口的間距為15厘米；出氣口與外殼的軸心線(xiàn)的間距為3至5厘米；檢測(cè)端光電轉(zhuǎn)換器與透光器的間距為4至6厘米；分光器的中心點(diǎn)與參考端光電轉(zhuǎn)換器的光信號(hào)接收端的間距為8至12厘米。
在上述技術(shù)方案中，光路裝置的外殼為中空的圓柱體或中空的正三角形柱體或中空的正方形柱體或中空的正五邊形柱體。
在上述技術(shù)方案中，光路裝置的透光器與外殼的內(nèi)壁緊密粘貼，分光器與外殼的內(nèi)壁緊密粘貼，除了進(jìn)氣口和出氣口，外殼的氣體室與外界空氣隔絕。
在上述技術(shù)方案中，進(jìn)氣口與出氣口均為圓柱形且其直徑為4至6毫米；出氣管道和進(jìn)氣管道為圓柱形管且其直徑與進(jìn)氣口的直徑相配合；待測(cè)氣體輸入管道為圓柱形管且其直徑為6至8毫米。
在上述技術(shù)方案中，光發(fā)射裝置可以是紅外光發(fā)射裝置。
本實(shí)用新型具有積極的效果(1)因?yàn)楣饩€(xiàn)不易受環(huán)境因素的影響，待測(cè)氣體的元素對(duì)光譜的吸收也不受環(huán)境因素如溫度、氣壓、濕度和氣體流速等的影響。所以本實(shí)用新型采用光學(xué)檢測(cè)裝置測(cè)量六氟化硫氣體濃度具有較強(qiáng)的環(huán)境適應(yīng)能力。(2)當(dāng)本實(shí)用新型采用氣路通道選擇器對(duì)待測(cè)氣體的氣路進(jìn)行選擇時(shí)，能較好地?cái)U(kuò)大氣體測(cè)量的空間范圍，提高本實(shí)用新型的光學(xué)檢測(cè)裝置的使用效率。(3)本實(shí)用新型采用紅外光光學(xué)裝置對(duì)六氟化硫氣體濃度進(jìn)行測(cè)量，具有測(cè)量范圍寬、靈敏度高、精度高、響應(yīng)速度快、有良好的選擇性、能進(jìn)行連續(xù)分析等獨(dú)特優(yōu)點(diǎn)。(4)本實(shí)用新型工作時(shí)，穿過(guò)氣體室的光能量隨待測(cè)氣體濃度的變化而變化，光電轉(zhuǎn)換器將光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，經(jīng)相應(yīng)電路的處理后得出待測(cè)氣體的濃度。


圖1為本實(shí)用新型的光學(xué)裝置的截面示意圖。
圖2為實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型使用目的的電路框圖。
具體實(shí)施方式
(實(shí)施例1)見(jiàn)圖1，本實(shí)施例的六氟化硫氣體濃度的光學(xué)檢測(cè)裝置具有光發(fā)射裝置100、光路裝置10、氣路通道選擇器20、出氣管道21、進(jìn)氣管道22、待測(cè)氣體輸入管道23、檢測(cè)端光電轉(zhuǎn)換器31和參考端光電轉(zhuǎn)換器32。光發(fā)射裝置100是紅外光發(fā)射裝置。光路裝置10具有外殼11和依照從前向后的次序依次設(shè)置在外殼11中的窄帶濾光器13、功率衰減器14、分光器15和透光器16，且窄帶濾光器13的中心、功率衰減器14的中心、分光器15的中心和透光器16的中心在外殼11的軸心線(xiàn)上，且分光器15所在平面與外殼11的軸心線(xiàn)的夾角為45度；按照從前向后的次序，外殼11側(cè)壁的位于功率衰減器14與分光器15之間的壁體上開(kāi)有參考光出口19，外殼11的位于分光器15與透光器16之間的空腔形成氣體室12，外殼11側(cè)壁的位于氣體室12處的壁體上開(kāi)有進(jìn)氣口17和出氣口18，且分光器15的中心點(diǎn)在參考光出口19的中心線(xiàn)上；光發(fā)射裝置100位于光路裝置10的前側(cè)、且其光信號(hào)發(fā)射端位于外殼11的軸心線(xiàn)上，檢測(cè)端光電轉(zhuǎn)換器31位于光路裝置10的后側(cè)、且其光信號(hào)接收端位于外殼11的軸心線(xiàn)上，參考端光電轉(zhuǎn)換器32設(shè)置在外殼11的側(cè)部、且其光信號(hào)接收端位于參考光出口19的中心線(xiàn)上；使用時(shí)光發(fā)射裝置100的光發(fā)射端發(fā)射出的光線(xiàn)經(jīng)過(guò)依次經(jīng)過(guò)窄帶濾光器13和功率衰減器14后到達(dá)分光器15，然后分成兩路，一路繼續(xù)沿外殼11的軸心線(xiàn)穿過(guò)分光器15、氣體室12和透光器16后射至檢測(cè)端光電轉(zhuǎn)換器31的光信號(hào)接收端，另一路經(jīng)分光器15分光后穿過(guò)外殼11的參考光出口19后射至參考端光電轉(zhuǎn)換器32的光信號(hào)接收端；進(jìn)氣管道22與外殼11的進(jìn)氣口17相連，出氣管道21與外殼11的出氣口18相連，出氣管道21的另一端與外界空氣相通。
待測(cè)氣體輸入管道23有3至10路，氣路通道選擇器20具有待測(cè)氣體輸入端口和待測(cè)氣體輸出端口；氣路通道選擇器20的待測(cè)氣體輸出端口與進(jìn)氣管道22相連；氣路通道選擇器20的待測(cè)氣體輸入端口的數(shù)量與待測(cè)氣體輸入管道23的數(shù)量相同，且各個(gè)待測(cè)氣體輸入端口與相應(yīng)一個(gè)待測(cè)氣體輸入管道23相連；使用時(shí)，各個(gè)待測(cè)氣體輸入管道23的進(jìn)氣口設(shè)置在需要檢測(cè)六氟化硫氣體濃度的地方。
光發(fā)射裝置100的光發(fā)射端與光路裝置10的窄帶濾光器13的距離為8厘米至15厘米；窄帶濾光器13與功率衰減器14之間的距離為4至6厘米；分光器15的中心與功率衰減器14之間的距離為5至8厘米；外殼的進(jìn)氣口17與參考光出口19的間距為3至5厘米；進(jìn)氣口17與出氣口18的間距為15厘米；出氣口18與外殼11的軸心線(xiàn)的間距為3至5厘米；檢測(cè)端光電轉(zhuǎn)換器31與透光器16的間距為4至6厘米；分光器15的中心點(diǎn)與參考端光電轉(zhuǎn)換器32的光信號(hào)接收端的間距為8至12厘米。
光路裝置10的外殼11為中空的圓柱體或中空的正三角形柱體或中空的正方形柱體或中空的正五邊形柱體。
光路裝置10的透光器16與外殼11的內(nèi)壁緊密粘貼，分光器15與外殼11的內(nèi)壁緊密粘貼，除了進(jìn)氣口17和出氣口18，外殼11的氣體室12與外界空氣隔絕。
進(jìn)氣口17與出氣口18均為圓柱形且其直徑為4至6毫米；出氣管道21和進(jìn)氣管道22為圓柱形管且其直徑與進(jìn)氣口17的直徑相配合；待測(cè)氣體輸入管道23為圓柱形管且其直徑為6至8毫米。
(應(yīng)用例1)見(jiàn)圖2，本實(shí)用新型在應(yīng)用時(shí)，還應(yīng)配備相應(yīng)的電路裝置。本應(yīng)用例除采用實(shí)施例1所得到的六氟化硫氣體濃度的光學(xué)檢測(cè)裝置外，其電路裝置還具有檢測(cè)信號(hào)放大及模數(shù)轉(zhuǎn)換電路33、參考信號(hào)端放大及模數(shù)轉(zhuǎn)換電路34、差分及放大電路35、數(shù)據(jù)分析及控制電路36、LCD液晶顯示屏38、光源電源控制電路39、紅外光發(fā)射裝置100、控制面板37、RS-485串口40、氣路通道選擇器20和報(bào)警裝置41。檢測(cè)信號(hào)光電轉(zhuǎn)換器31的信號(hào)輸出端接檢測(cè)信號(hào)放大及模數(shù)轉(zhuǎn)換電路33的信號(hào)輸入端，參考端光電轉(zhuǎn)換器32的信號(hào)輸出端接參考信號(hào)放大及模數(shù)轉(zhuǎn)換電路34的信號(hào)輸入端。差分及放大電路35具有檢測(cè)信號(hào)輸入端、參考信號(hào)輸入端和差分信號(hào)輸出端。檢測(cè)信號(hào)放大及模數(shù)轉(zhuǎn)換電路33的信號(hào)輸出端接差分及放大電路35的檢測(cè)信號(hào)輸入端，參考信號(hào)放大及模數(shù)轉(zhuǎn)換電路34的信號(hào)輸出端接差分及放大電路35的參考信號(hào)輸入端。
數(shù)據(jù)分析及控制電路36為設(shè)有存貯器的單片機(jī)，具有差分信號(hào)輸入端、光源控制信號(hào)輸出端、串口網(wǎng)絡(luò)信號(hào)端、報(bào)警信號(hào)輸出端、顯示信號(hào)輸出端、控制信號(hào)輸入端和氣路選擇信號(hào)輸出端。差分及放大電路35的差分信號(hào)輸出端接數(shù)據(jù)分析及控制電路36的差分信號(hào)輸入端，數(shù)據(jù)分析及控制電路36的光源控制信號(hào)輸出端接光源電源控制電路39的控制信號(hào)輸入端，光源電源控制電路39的控制信號(hào)輸出端接紅外光發(fā)射裝置100的電源端。數(shù)據(jù)分析及控制電路36的串口網(wǎng)絡(luò)信號(hào)端接RS-485串口40的信號(hào)端，數(shù)據(jù)分析及控制電路36的報(bào)警信號(hào)輸出端接報(bào)警裝置41，數(shù)據(jù)分析及控制電路36的顯示信號(hào)輸出端接LCD液晶顯示屏38?？刂泼姘?7的信號(hào)輸出端接數(shù)據(jù)分析及控制電路36的控制信號(hào)輸入端，數(shù)據(jù)分析及控制電路36的氣路選擇信號(hào)輸出端接氣路通道選擇器20的氣路選擇信號(hào)輸入端。
在使用時(shí)，控制面板37的信號(hào)輸出端輸出開(kāi)啟信號(hào)至數(shù)據(jù)分析及控制電路36的控制信號(hào)輸入端，數(shù)據(jù)分析及控制電路36的氣路選擇信號(hào)輸出端輸出氣路選擇信號(hào)至氣路通道選擇器20的氣路選擇信號(hào)輸入端，氣路通道選擇器20選擇氣體抽入通道23中的某個(gè)氣路進(jìn)行抽氣。當(dāng)將待檢測(cè)點(diǎn)的氣體抽入該氣路中后，抽入的氣體隨后被送入進(jìn)氣通道22并通過(guò)進(jìn)氣口17進(jìn)入氣體室12；同時(shí)氣體室12中原有的氣體經(jīng)出氣口18和出氣通道21排出至室外。同時(shí)數(shù)據(jù)分析及控制電路36的光源控制信號(hào)輸出端輸出開(kāi)啟控制信號(hào)至光源電源控制電路39的控制信號(hào)輸入端，光源電源控制電路39的控制信號(hào)輸出端輸出供電信號(hào)至接紅外光發(fā)射裝置100的電源端，紅外光發(fā)射裝置100的紅外光發(fā)射端開(kāi)始發(fā)射出紅外光至光路裝置10左端的窄帶濾光器13；該紅外光經(jīng)窄帶濾光器13的窄帶濾光后，射入功率衰減器14進(jìn)行光線(xiàn)的功率衰減并射向分光器15的中心處，同時(shí)該紅外光折射為兩路，一路繼續(xù)沿著直線(xiàn)射向透光器16，最后射入檢測(cè)端光電轉(zhuǎn)換器31的光信號(hào)接收端；另一路射出參考光出口19后射入?yún)⒖级斯怆娹D(zhuǎn)換器32的光信號(hào)接收端。在檢測(cè)信號(hào)光電轉(zhuǎn)換器31接收到光信號(hào)并進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換后產(chǎn)生檢測(cè)電信號(hào)，檢測(cè)信號(hào)光電轉(zhuǎn)換器31的信號(hào)輸出端輸出上述檢測(cè)電信號(hào)至檢測(cè)信號(hào)放大及模數(shù)轉(zhuǎn)換電路33的信號(hào)輸入端；檢測(cè)信號(hào)放大及模數(shù)轉(zhuǎn)換電路33將上述檢測(cè)電信號(hào)進(jìn)行模數(shù)轉(zhuǎn)換后產(chǎn)生檢測(cè)數(shù)字信號(hào)，檢測(cè)信號(hào)放大及模數(shù)轉(zhuǎn)換電路33的信號(hào)輸出端將上述檢測(cè)數(shù)字信號(hào)輸出至差分及放大電路35的檢測(cè)信號(hào)輸入端；同時(shí)在參考端光電轉(zhuǎn)換器32的光信號(hào)接收端接收光信號(hào)并進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換后產(chǎn)生參考電信號(hào)，參考端光電轉(zhuǎn)換器32的信號(hào)輸出端輸出上述參考電信號(hào)至參考信號(hào)放大及模數(shù)轉(zhuǎn)換電路34的信號(hào)輸入端，參考信號(hào)放大及模數(shù)轉(zhuǎn)換電路34將上述參考電信號(hào)進(jìn)行模數(shù)轉(zhuǎn)換后產(chǎn)生參考數(shù)字信號(hào)，參考信號(hào)放大及模數(shù)轉(zhuǎn)換電路34的信號(hào)輸出端將上述參考數(shù)字信號(hào)輸出至差分及放大電路35的參考信號(hào)輸入端。
差分及放大電路35將上述檢測(cè)數(shù)字信號(hào)和參考數(shù)字信號(hào)進(jìn)行差分及放大處理后，差分及放大電路35的差分信號(hào)輸出端輸出差分信號(hào)至數(shù)據(jù)分析及控制電路36的差分信號(hào)輸入端；數(shù)據(jù)分析及控制電路36對(duì)上述差分信號(hào)進(jìn)行數(shù)據(jù)分析(事先將通過(guò)化學(xué)方法或聲速測(cè)量法等方法測(cè)得的六氟化硫的濃度與相應(yīng)的差分信號(hào)的對(duì)應(yīng)關(guān)系列成對(duì)應(yīng)表存放于數(shù)據(jù)分析及控制電路36中，數(shù)據(jù)分析及控制電路36根據(jù)所接收的差分信號(hào)的數(shù)值再進(jìn)行查表而得出六氟化硫濃度的數(shù)值)，從而算出上述氣路進(jìn)氣端處的六氟化硫氣體的濃度。同時(shí)數(shù)據(jù)分析及控制電路36的顯示信號(hào)輸出端輸出相應(yīng)的六氟化硫氣體的濃度值至LCD液晶顯示屏38。若六氟化硫氣體的濃度超標(biāo)，則數(shù)據(jù)分析及控制電路36的報(bào)警信號(hào)輸出端輸出報(bào)警控制信號(hào)至報(bào)警裝置41進(jìn)行報(bào)警。
權(quán)利要求1.六氟化硫氣體濃度的光學(xué)檢測(cè)裝置，其特征在于具有光發(fā)射裝置(100)、光路裝置(10)、進(jìn)氣管道(22)、出氣管道(21)、檢測(cè)端光電轉(zhuǎn)換器(31)和參考端光電轉(zhuǎn)換器(32)；光路裝置(10)具有外殼(11)和依照從前向后的次序依次設(shè)置在外殼(11)中的窄帶濾光器(13)、功率衰減器(14)、分光器(15)和透光器(16)，且窄帶濾光器(13)的中心、功率衰減器(14)的中心、分光器(15)的中心和透光器(16)的中心在外殼(11)的軸心線(xiàn)上，且分光器(15)所在平面與外殼(11)的軸心線(xiàn)的夾角為45度；按照從前向后的次序，外殼(11)側(cè)壁的位于功率衰減器(14)與分光器(15)之間的壁體上開(kāi)有參考光出口(19)，外殼(11)的位于分光器(15)與透光器(16)之間的空腔形成氣體室(12)，外殼(11)側(cè)壁的位于氣體室(12)處的壁體上開(kāi)有進(jìn)氣口(17)和出氣口(18)，且分光器(15)的中心點(diǎn)在參考光出口(19)的中心線(xiàn)上；光發(fā)射裝置(100)位于光路裝置(10)的前側(cè)、且其光信號(hào)發(fā)射端位于外殼(11)的軸心線(xiàn)上，檢測(cè)端光電轉(zhuǎn)換器(31)位于光路裝置(10)的后側(cè)、且其光信號(hào)接收端位于外殼(11)的軸心線(xiàn)上，參考端光電轉(zhuǎn)換器(32)設(shè)置在外殼(11)的側(cè)部、且其光信號(hào)接收端位于參考光出口(19)的中心線(xiàn)上；使用時(shí)光發(fā)射裝置(100)的光發(fā)射端發(fā)射出的光線(xiàn)經(jīng)過(guò)依次經(jīng)過(guò)窄帶濾光器(13)和功率衰減器(14)后到達(dá)分光器(15)，然后分成兩路，一路繼續(xù)沿外殼(11)的軸心線(xiàn)穿過(guò)分光器(15)、氣體室(12)和透光器(16)后射至檢測(cè)端光電轉(zhuǎn)換器(31)的光信號(hào)接收端，另一路經(jīng)分光器(15)分光后穿過(guò)外殼(11)的參考光出口(19)后射至參考端光電轉(zhuǎn)換器(32)的光信號(hào)接收端；進(jìn)氣管道(22)與外殼(11)的進(jìn)氣口(17)相連，出氣管道(21)與外殼(11)的出氣口(18)相連，出氣管道(21)的另一端與外界空氣相通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的六氟化硫氣體濃度的光學(xué)檢測(cè)裝置，其特征在于還具有氣路通道選擇器(20)和待測(cè)氣體輸入管道(23)；待測(cè)氣體輸入管道(23)有3至10路，氣路通道選擇器(20)具有待測(cè)氣體輸入端口和待測(cè)氣體輸出端口；氣路通道選擇器(20)的待測(cè)氣體輸出端口與進(jìn)氣管道(22)相連；氣路通道選擇器(20)的待測(cè)氣體輸入端口的數(shù)量與待測(cè)氣體輸入管道(23)的數(shù)量相同，且各個(gè)待測(cè)氣體輸入端口與相應(yīng)一個(gè)待測(cè)氣體輸入管道(23)相連；使用時(shí)，各個(gè)待測(cè)氣體輸入管道(23)的進(jìn)氣口設(shè)置在需要檢測(cè)六氟化硫氣體濃度的地方。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的六氟化硫氣體濃度的光學(xué)檢測(cè)裝置，其特征在于光發(fā)射裝置(100)的光發(fā)射端與光路裝置(10)的窄帶濾光器(13)的距離為8厘米至15厘米；窄帶濾光器(13)與功率衰減器(14)之間的距離為4至6厘米；分光器(15)的中心與功率衰減器(14)之間的距離為5至8厘米；外殼的進(jìn)氣口(17)與參考光出口(19)的間距為3至5厘米；進(jìn)氣口(17)與出氣口(18)的間距為15厘米；出氣口(18)與外殼(11)的軸心線(xiàn)的間距為3至5厘米；檢測(cè)端光電轉(zhuǎn)換器(31)與透光器(16)的間距為4至6厘米；分光器(15)的中心點(diǎn)與參考端光電轉(zhuǎn)換器(32)的光信號(hào)接收端的間距為8至12厘米。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的六氟化硫氣體濃度的光學(xué)檢測(cè)裝置，其特征在于光路裝置(10)的外殼(11)為中空的圓柱體或中空的正三角形柱體或中空的正方形柱體或中空的正五邊形柱體。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的六氟化硫氣體濃度的光學(xué)檢測(cè)裝置，其特征在于光路裝置(10)的透光器(16)與外殼(11)的內(nèi)壁緊密粘貼，分光器(15)與外殼(11)的內(nèi)壁緊密粘貼，除了進(jìn)氣口(17)和出氣口(18)，外殼(11)的氣體室(12)與外界空氣隔絕。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的六氟化硫氣體濃度的光學(xué)檢測(cè)裝置，其特征在于進(jìn)氣口(17)與出氣口(18)均為圓柱形且其直徑為4至6毫米；出氣管道(21)和進(jìn)氣管道(22)為圓柱形管且其直徑與進(jìn)氣口(17)的直徑相配合；待測(cè)氣體輸入管道(23)為圓柱形管且其直徑為6至8毫米。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的六氟化硫氣體濃度的光學(xué)檢測(cè)裝置，其特征在于光發(fā)射裝置(100)是紅外光發(fā)射裝置。
專(zhuān)利摘要六氟化硫氣體濃度的光學(xué)檢測(cè)裝置，具有光發(fā)射裝置、光路裝置、氣路通道選擇器、進(jìn)氣通道、出氣通道和待測(cè)氣體輸入通道；光路裝置的內(nèi)部具有窄帶濾光器、功率衰減器、分光器、透光器、進(jìn)氣口、出氣口和參考光出口；光發(fā)射裝置的光發(fā)射端發(fā)射出的光線(xiàn)所在直線(xiàn)與光路裝置的軸心線(xiàn)在同一條直線(xiàn)上；氣路通道選擇器的待測(cè)氣體輸入通道輸入端接待測(cè)氣體輸入通道，氣路通道選擇器的待測(cè)氣體輸入通道輸出端經(jīng)進(jìn)氣通道接進(jìn)氣口；出氣口接出氣通道與外界相連。采用紅外光光學(xué)裝置對(duì)六氟化硫氣體濃度進(jìn)行測(cè)量，具有測(cè)量范圍寬、靈敏度高、精度高、響應(yīng)速度快、有良好的選擇性、能進(jìn)行連續(xù)分析等獨(dú)特優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)G01N21/35GK2773672SQ20052006908
公開(kāi)日2006年4月19日 申請(qǐng)日期2005年2月17日 優(yōu)先權(quán)日2005年2月17日
發(fā)明者查忠 申請(qǐng)人:常州市銳高工業(yè)檢測(cè)設(shè)備有限公司, 杭州電力服務(wù)有限公司