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六氟化硫氣體濃度的光學檢測裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6105648

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本實用新型涉及一種檢測六氟化硫氣體濃度時所采用的光學檢測裝置。背景技術(shù)六氟化硫(FS6)氣體濃度的測量通常采用聲速測量法,如干涉儀法、比較法和脈沖法等,其測量精度通常受氣體溫度、流動速度等因素的影響,因而其測量精度很難提高,且測量氣體的范圍有一定的限制。實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種可精確測量六氟化硫氣體濃度的光學檢測裝置。實現(xiàn)本實用新型裝置的技術(shù)方案是具有光發(fā)射裝置、光路裝置、進氣管道、出氣管道、檢測端光電轉(zhuǎn)換器和參考端光電轉(zhuǎn)換器;光路裝置具有...
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