專利名稱：高頻懸臂式探針卡的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是與探針卡有關(guān)，更詳而言之是指一種高頻懸臂式探針卡。
背景技術(shù)：
一般探針卡的探針型態(tài)，如圖1所示，是由一同軸線段1利用接針的方式與一探針段2結(jié)合所構(gòu)成。
由于，同軸線段的構(gòu)成型態(tài)可具有較佳的信號阻抗匹配抗信號衰退效果，但其心軸傳導(dǎo)線的強(qiáng)度不足，無法作為測試用的探針使用，因此需在該同軸線段的一端利用接針的方式將強(qiáng)度較佳的該探針段加以接合，供作測試的用；但，由于探針段與該同軸線段間利用接針的方式接合，易造成信號不連續(xù)面信號不完整的情形產(chǎn)生。
因此，為解決上述的缺失，已有業(yè)者將強(qiáng)度較佳的探針段作為心軸，以形成同軸線的型態(tài)，便能在獲得較佳的信號阻抗匹配效果下，同時(shí)解決信號不連續(xù)的情形；但，由于以探針直接作為心軸直接形成出同軸線的型態(tài)，其價(jià)格相當(dāng)?shù)陌嘿F，且其規(guī)格亦屬單一特制品，無法廣泛地大量運(yùn)用。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明的主要目的是提供一種高頻懸臂式探針卡，可確保信號通過探針卡時(shí)的完整性。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種高頻懸臂式探卡，其成本低廉、組裝容易。
為達(dá)上述目的，本發(fā)明提供一種高頻懸臂式探針卡，包含有一電路板，可界定出一第一表面及一相背的第二表面；一固定環(huán)，是固設(shè)于該電路板的第一表面上；復(fù)數(shù)的探針，可分別界定出電氣相通的第一端與一第二端，該各第一端是電氣連接于該電路板的第一表面上，且該各探針的偏中段處是被固定于該固定環(huán)上，并使該各探針的第二端露出，用以與測試物接觸。


為能對本發(fā)明的特征及目的有更進(jìn)一步的了解與認(rèn)同，茲列舉以下較佳的實(shí)施例，并配合圖式說明于后圖1是一種現(xiàn)有懸臂式探針卡的剖視示意圖；圖2是本發(fā)明第一較佳實(shí)施例的剖視示意圖；圖3是圖2所示較佳實(shí)施例中探針的剖視圖；圖4～圖6是圖2所示較佳實(shí)施例其它型態(tài)探針的剖視圖；圖7是本發(fā)明第二較佳實(shí)施例的剖視示意圖；圖8是本發(fā)明第三較佳實(shí)施例的剖視示意圖；圖9是本發(fā)明第四較佳實(shí)施例的剖視示意圖。
具體實(shí)施例方式
請參閱圖2及圖3所示，是本發(fā)明第一較佳實(shí)施例所提供的一種高頻懸臂式探針卡10，是可應(yīng)用在半導(dǎo)體的物對象上，其主要包含有一電路板11、一探針固定環(huán)12、復(fù)數(shù)的探針13及一粘著物14，其中該電路板11，可界定出一第一表面111及一相背的第二表面112；該第一表面111上形成有多數(shù)個(gè)金屬焊點(diǎn)，而此些金屬焊點(diǎn)又可界定出呈間隔排列的信號端金屬焊點(diǎn)113及接地端金屬焊點(diǎn)114；該第二表面112形成有復(fù)數(shù)的測試接點(diǎn)(圖中未示)，是與該信號端金屬焊點(diǎn)113電氣接通，用以電氣連接至一測試機(jī)臺。
該固定環(huán)12，是置設(shè)于該電路板11的第一表面111上；其中，該固定環(huán)12是由金屬所制成，具有良好的導(dǎo)電特性，用以作為接地的用。
該各探針13，分別包含有一具有適當(dāng)強(qiáng)度及導(dǎo)電性的導(dǎo)體131、一直接濺鍍在該導(dǎo)體131外的絕緣薄膜132及一直接濺鍍在該絕緣薄膜132外的金屬薄膜133；且該導(dǎo)體131的兩端是伸出于該絕緣薄膜132外而未受該絕緣薄膜132所包覆，而可界定出外露的一第一端134及一第二端135；該各探針13是分別以其導(dǎo)體131的第一端與該電路板11的信號端金屬焊點(diǎn)113連接，而位在其外側(cè)的金屬薄膜133則與接地端金屬焊點(diǎn)114連接?？墒沟锰结樀男蛻B(tài)最小型化，致使探針卡可在更小面積下設(shè)置更多的探針。
該粘著物14，具有導(dǎo)電性，是用以將該各探針13的偏中段處固定連接于該固定環(huán)12上，并使該探針13導(dǎo)體131的第二端135露出于外。
所以，上述即為本發(fā)明所提供第一較佳實(shí)施例的高頻懸臂式探針卡10的主要構(gòu)成要件及其組成型態(tài)；通過由此種探針的結(jié)構(gòu)可使得探針在制造及組裝上較為簡易，而可大幅減低所需的成本，況且利用類同于同軸線般的結(jié)構(gòu)組成，亦能使得信號能有效地加以隔離以避免有干擾的情形發(fā)生；另外，通過由此種探針結(jié)構(gòu)所運(yùn)用的探針卡組成構(gòu)造，則能有效地提高頻寬負(fù)載與現(xiàn)有相比，現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)在信號為-3Db時(shí)僅能提供500～600MHz，反觀本發(fā)明的結(jié)構(gòu)在信號同為-3Db時(shí)，則能提供超過5GHz的頻寬，使得本發(fā)明可適用于高頻測試的用。
請參閱圖4、圖5及圖6，是本發(fā)明中其它型態(tài)的探針構(gòu)成，其同樣亦可達(dá)成本發(fā)明的目的。
如圖4所示，其中原先直接濺鍍在該絕緣薄膜132外的金屬薄膜133，是改采為套設(shè)在該絕緣薄膜132外的金屬套管136請配合參閱圖3及圖4所構(gòu)成，且該金屬套管136與該絕緣薄膜132間存在適當(dāng)?shù)目障豆┛諝馊葜?，其同樣可達(dá)成本發(fā)明的目的。
如圖5所示，其中原先直接濺鍍在該導(dǎo)體131外的絕緣薄膜132，是改采為套設(shè)在該導(dǎo)體131外的絕緣套管137請配合參閱圖3及圖5，且該絕緣套管137與該導(dǎo)體131間存在著適當(dāng)?shù)目障豆┛諝馊葜茫渫瑯涌蛇_(dá)成本發(fā)明的目的。
如圖6所示，其中原先直接濺鍍在導(dǎo)體131外的絕緣薄膜132及直接濺鍍在該絕緣薄膜132外的金屬薄膜133，是分別改采為套設(shè)在該導(dǎo)體131外的絕緣套管137及套設(shè)在該絕緣套管137外的金屬套管136，并且該絕緣套管137與該導(dǎo)體131間，存在著適當(dāng)?shù)目障兑怨┛諝馑葜?，該絕緣套管137與該金屬套管136間亦同樣存在著適當(dāng)?shù)目障兑怨┛諝馑葜?，其同樣可達(dá)成本發(fā)明的目的。
請參閱圖7，是本發(fā)明所提供第二較佳實(shí)施例的高頻懸臂式探針卡20，其主要包含有一電路板21、一固定環(huán)22、復(fù)數(shù)探針23一粘著物24；其主要構(gòu)成與前述實(shí)施例大致相同，因此，以下僅就其差異處加以說明本實(shí)施例與前揭實(shí)施例的差異在于
該固定環(huán)22為一不導(dǎo)電材質(zhì)，該粘著物24亦為不導(dǎo)電的材質(zhì)，因此為使探針23能有接地的效用，需在該固定環(huán)22及該粘著物24的部份表面包覆一金屬薄膜25，以作為接地之用。
請參閱圖8，是本發(fā)明所提供第三較佳實(shí)施例的高頻懸臂式探針卡30，其主要包含有一電路板31、一固定環(huán)32、復(fù)數(shù)探針33及一粘著物34；其主要構(gòu)成與前述實(shí)施例大致相同，因此，以下僅就其差異處加以說明其中，該固定環(huán)32為一導(dǎo)電材質(zhì)，該粘著物34為一不導(dǎo)電材質(zhì)，于該固定環(huán)32與該粘著物34的部份表面上包覆有一金屬薄膜35，以作接地之用。
請參閱圖9，是本發(fā)明所提供第四較佳實(shí)施例的高頻懸臂式探針卡40，其主要包含有一電路板41、一固定環(huán)42、復(fù)數(shù)探針43及一粘著物44；其主要構(gòu)成與前述實(shí)施例大致相同，因此，以下僅就其差異處加以說明其中，該固定環(huán)42為一不導(dǎo)電材質(zhì)，該粘著物44為一導(dǎo)電材質(zhì)，于該固定環(huán)42與該粘著物44的部份表面上包覆有一金屬薄膜45，以作接地的用。
權(quán)利要求
1.一種高頻懸臂式探針卡，其特征在于，包含有一電路板，可界定出一第一表面及一相背的第二表面；一固定環(huán)，是固設(shè)于該電路板的第一表面上；復(fù)數(shù)的探針，可分別界定出電氣相通的第一端與一第二端，該各第一端是電氣連接于該電路板的第一表面上，且該各探針的偏中段處是被固定于該固定環(huán)上，并使該各探針的第二端露出，用以與測試物接觸。
2.依據(jù)權(quán)利要求1所述的高頻懸臂式探針卡，其特征在于，所述該第二表面上形成有復(fù)數(shù)的測試接點(diǎn)，是與該各探針電氣接通，用以電氣連接至一測試機(jī)臺。
3.依據(jù)權(quán)利要求1所述的高頻懸臂式探針卡，其特征在于，所述該電路板的第一表面上形成有多數(shù)個(gè)金屬焊點(diǎn)，以供該探針的第一端連接。
4.依據(jù)權(quán)利要求1所述的高頻懸臂式探針卡，其特征在于，所述該各探針分別包含有一具適當(dāng)強(qiáng)度及導(dǎo)電性的導(dǎo)體、一套設(shè)于該導(dǎo)體外的絕緣套管及一套設(shè)于該絕緣套管外的金屬套管；且該導(dǎo)體的兩端是伸出于該絕緣套管外而未受該絕緣套管所包覆，而可界定出外露的該第一端及該第二端，并且該絕緣套管與該導(dǎo)體間，存在著適當(dāng)?shù)目障兑怨┛諝馑葜?，該絕緣套管與該金屬套管間亦存在著適當(dāng)?shù)目障兑怨┛諝馑葜谩?br> 5.依據(jù)權(quán)利要求4所述的高頻懸臂式探針卡，其特征在于，所述該電路板的第一表面上形成有復(fù)數(shù)個(gè)呈間隔排列的信號端金屬焊點(diǎn)及接地端金屬焊點(diǎn)；各探針導(dǎo)體的第一端與該電路板的信號端金屬焊點(diǎn)連接，而金屬套管則與接地端金屬焊點(diǎn)連接。
6.依據(jù)權(quán)利要求1所述的高頻懸臂式探針卡，其特征在于，所述該各探針分別包含有一具適當(dāng)強(qiáng)度及導(dǎo)電性的導(dǎo)體、一套設(shè)于該導(dǎo)體外的絕緣套管及一直接以濺鍍方式形成于該絕緣套管外的金屬薄膜；且該導(dǎo)體的兩端是伸出于該絕緣套管外而未受該絕緣套管所包覆，而可界定出外露的該第一端及該第二端，并且該絕緣套管與該導(dǎo)體間，存在著適當(dāng)?shù)目障兑怨┛諝馑葜?，該金屬薄膜則直接包覆在該絕緣套管外。
7.依據(jù)權(quán)利要求6所述的高頻懸臂式探針卡，其特征在于，所述該電路板的第一表面上形成有復(fù)數(shù)個(gè)呈間隔排列的信號端金屬焊點(diǎn)及接地端金屬焊點(diǎn)；各探針導(dǎo)體的第一端與該電路板的信號端金屬焊點(diǎn)連接，而金屬薄膜則與接地端金屬焊點(diǎn)連接。
8.依據(jù)權(quán)利要求1所述的高頻懸臂式探針卡，其特征在于，所述該各探針分別包含有一具適當(dāng)強(qiáng)度及導(dǎo)電性的導(dǎo)體、一直接以濺鍍方式形成于該導(dǎo)體外的絕緣薄膜及一套設(shè)于該絕緣薄膜外的金屬套管；且該導(dǎo)體的兩端是伸出于該絕緣薄膜外而未受該絕緣薄膜所包覆，而可界定出外露的該第一端及該第二端，該絕緣薄膜是直接包覆在該導(dǎo)體外，該絕緣薄膜與該金屬套管間則存在著適當(dāng)?shù)目障兑怨┛諝馑葜谩?br> 9.依據(jù)權(quán)利要求8所述的高頻懸臂式探針卡，其特征在于，所述該電路板的第一表面上形成有復(fù)數(shù)個(gè)呈間隔排列的信號端金屬焊點(diǎn)及接地端金屬焊點(diǎn)；各探針導(dǎo)體的第一端與該電路板的信號端金屬焊點(diǎn)連接，而金屬套管則與接地端金屬焊點(diǎn)連接。
10.依據(jù)權(quán)利要求1所述的高頻懸臂式探針卡，其特征在于，所述該各探針分別包含有一具適當(dāng)強(qiáng)度及導(dǎo)電性的導(dǎo)體、一直接以濺鍍方式形成在該導(dǎo)體外的絕緣薄膜及一直接以濺鍍方式形成于該絕緣薄膜外的金屬薄膜；且該導(dǎo)體的兩端是伸出于該絕緣薄膜外而未受該絕緣薄膜所包覆，而可界定出外露的該第一端及該第二端，并且該絕緣薄膜是直接包覆于該導(dǎo)體外，該絕緣薄膜是直接包覆于該金屬薄膜外。
11.依據(jù)權(quán)利要求10所述的高頻懸臂式探針卡，其特征在于，所述該電路板的第一表面上形成有復(fù)數(shù)個(gè)呈間隔排列的信號端金屬焊點(diǎn)及接地端金屬焊點(diǎn)；各探針導(dǎo)體的第一端與該電路板的信號端金屬焊點(diǎn)連接，而金屬薄膜則與接地端金屬焊點(diǎn)連接。
12.依據(jù)權(quán)利要求1所述的高頻懸臂式探針卡，其特征在于，所述該各探針是由一粘著物所固定在該固定環(huán)上，該固定環(huán)與該粘著物皆是為可導(dǎo)電的材質(zhì)，是利用該固定環(huán)作為接地之用。
13.依據(jù)權(quán)利要求1所述的高頻懸臂式探針卡，其特征在于，所述該各探針是由一粘著物所固定在該固定環(huán)上，該固定環(huán)與該粘著物皆為不導(dǎo)電的材質(zhì)，并利用一金屬薄膜包覆于該固定環(huán)與該粘著物的部份表面上進(jìn)行接地。
14.依據(jù)權(quán)利要求1所述的高頻懸臂式探針卡，其特征在于，所述該各探針是由一粘著物所固定在該固定環(huán)上，該固定環(huán)為一可導(dǎo)電材質(zhì)，該粘著物為不導(dǎo)電的材質(zhì)，并利用一金屬薄膜包覆于該固定環(huán)與該粘著物的部份表面上進(jìn)行接地。
15.依據(jù)權(quán)利要求1所述的高頻懸臂式探針卡，其特征在于，所述該各探針是由一粘著物所固定在該固定環(huán)上，該固定環(huán)為一不導(dǎo)電材質(zhì)，該粘著物為導(dǎo)電材質(zhì)，并利用一金屬薄膜包覆于該固定環(huán)與該粘著物的部份表面上進(jìn)行接地。
全文摘要
一種高頻懸臂式探針卡，包含有一電路板，可界定出一第一表面及一相背的第二表面；一固定環(huán)，是固設(shè)于該電路板的第一表面上；復(fù)數(shù)的探針，可分別界定出電氣相通的第一端與一第二端，該各第一端是電氣連接于該電路板的第一表面上，且該各探針的偏中段處是被固定于該固定環(huán)上，并使該各探針的第二端露出，用以與測試物接觸。
文檔編號G01R31/28GK1916644SQ200510092620
公開日2007年2月21日 申請日期2005年8月19日 優(yōu)先權(quán)日2005年8月19日
發(fā)明者顧偉正 申請人:旺矽科技股份有限公司