專利名稱：半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的引腳電子線路中調(diào)整驅(qū)動(dòng)器和比較器的工作時(shí)序的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的引腳電子線路中包含了對(duì)被測(cè)定器件施加信號(hào)的驅(qū)動(dòng)器及判定與該信號(hào)對(duì)應(yīng)地從被測(cè)定器件輸出的信號(hào)的邏輯的比較器。驅(qū)動(dòng)器進(jìn)行與被輸入的時(shí)鐘信號(hào)同步的信號(hào)的輸出工作。此外，比較器進(jìn)行與被輸入的選通信號(hào)同步的判定工作。
但是，在半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的初始狀態(tài)下，由于被測(cè)定器件的各個(gè)輸入輸出引腳的信號(hào)路徑的時(shí)間長(zhǎng)度中存在離散性，故從驅(qū)動(dòng)器輸出信號(hào)的時(shí)序或由比較器進(jìn)行的判定時(shí)序偏離了預(yù)期的時(shí)序。因此，在對(duì)被測(cè)定器件實(shí)施各種試驗(yàn)前，要進(jìn)行時(shí)序校準(zhǔn)。
圖73是示出進(jìn)行半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的時(shí)序校準(zhǔn)的現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)的圖。在圖73中，半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體90經(jīng)在性能板92中具備的專用的電纜93連接到插座板94上。例如，在對(duì)具有BGA(球柵格陣列)類型的封裝體的被測(cè)定器件進(jìn)行各種試驗(yàn)的情況下，使用在表面上設(shè)置了多個(gè)裝有彈簧的引腳的插座板94。測(cè)試板96是為了使從基準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)器/比較器(DR/CP)部98引出的探針99與在插座板94的表面上設(shè)置的這些裝有彈簧的引腳接觸的作業(yè)變得容易而使用的，具有在內(nèi)部導(dǎo)電性地連接分別在表面和背面上設(shè)置的焊區(qū)的結(jié)構(gòu)。
圖74是圖73中示出的現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)的電的配置圖。在半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體90中，具備多組驅(qū)動(dòng)器和比較器，各組的驅(qū)動(dòng)器和比較器經(jīng)性能板(PB)92和插座板(SB)94連接到共同的器件插座端上。再有，在圖74中省略了測(cè)試板96。
圖75、圖76、圖77是示出現(xiàn)有的時(shí)序校準(zhǔn)的概要的圖。如圖75中所示，在半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的初始狀態(tài)下，分別輸入到n個(gè)驅(qū)動(dòng)器DR1～DRn和n個(gè)比較器CP1～CPn中的時(shí)鐘信號(hào)CLK1～CLKn和選通信號(hào)STB1～STBn的相位發(fā)生了偏移(skew)。
首先，將基準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)器/比較器部98的探針99經(jīng)測(cè)試板96連接到某一個(gè)器件插座端上，使選通信號(hào)STB1的相位(由比較器CP1進(jìn)行的比較工作的時(shí)刻)與基準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)器信號(hào)(基準(zhǔn)DR)的上升時(shí)刻相一致(圖76)。其次，在使基準(zhǔn)比較器信號(hào)(基準(zhǔn)CP)的相位與該基準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)器的輸出信號(hào)的上升時(shí)刻相一致后，調(diào)整輸入到驅(qū)動(dòng)器DR1中的時(shí)鐘信號(hào)的CLK1的相位，以使從驅(qū)動(dòng)器DR1輸出的信號(hào)的上升時(shí)刻與該基準(zhǔn)比較器信號(hào)的輸出時(shí)刻(由基準(zhǔn)比較器進(jìn)行的比較工作的時(shí)刻)相一致(圖77)。對(duì)每個(gè)器件插座端進(jìn)行這樣的時(shí)序校準(zhǔn)作業(yè)。
但是，在上述的現(xiàn)有的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的時(shí)序校準(zhǔn)方法中，為了在器件插座端上進(jìn)行時(shí)序校正，必須重復(fù)地進(jìn)行基準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)器/比較器部98中具備的探針99的移動(dòng)和該前端部分的接觸，為了使該操作自動(dòng)化而必須有特殊的裝置。雖然考慮讓專用的自動(dòng)裝置來進(jìn)行該作業(yè)，但一般來說這樣的自動(dòng)裝置的價(jià)格高，而且在很多情況下，為了確保高的定位精度，其操作是不容易的，故存在作業(yè)內(nèi)容變得復(fù)雜的問題。此外，雖然也可在不使用自動(dòng)裝置的情況下用手工作業(yè)來進(jìn)行探針99的對(duì)位，但在被測(cè)定器件的引腳數(shù)多的情況下或在同時(shí)進(jìn)行試驗(yàn)的被測(cè)定器件的數(shù)目多的情況下，由于重復(fù)進(jìn)行探針99的移動(dòng)和接觸的次數(shù)變得非常多，故存在到時(shí)序校準(zhǔn)結(jié)束為止的作業(yè)時(shí)間增大的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于這樣的問題而進(jìn)行的，其目的在于提供一種能降低成本、簡(jiǎn)化作業(yè)內(nèi)容、縮短作業(yè)時(shí)間的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法。
在本發(fā)明的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法中，為了進(jìn)行具備進(jìn)行與時(shí)鐘信號(hào)同步的信號(hào)的生成工作的驅(qū)動(dòng)器和進(jìn)行與選通信號(hào)同步的比較工作的比較器的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的時(shí)序校準(zhǔn)，包含第1～第3步驟而構(gòu)成。在第1步驟中，在多個(gè)驅(qū)動(dòng)器的每一個(gè)與多個(gè)比較器的每一個(gè)以1對(duì)1的方式相對(duì)應(yīng)的狀態(tài)下，對(duì)于彼此以1對(duì)1的方式對(duì)應(yīng)的時(shí)鐘信號(hào)和選通信號(hào)，以某一方為基準(zhǔn)來調(diào)整另一方的相位。在第2步驟中，取得分別與多個(gè)驅(qū)動(dòng)器對(duì)應(yīng)的時(shí)鐘信號(hào)相互間的相對(duì)的相位差或分別與多個(gè)比較器對(duì)應(yīng)的選通信號(hào)相互間的相對(duì)的相位差。在第3步驟中，根據(jù)相對(duì)的相位差調(diào)整多個(gè)時(shí)鐘信號(hào)和多個(gè)選通信號(hào)的相位。由于不需要像以往那樣只為了進(jìn)行時(shí)序校準(zhǔn)而專用的基準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)器/比較器部及連接到其上的探針或使探針的移動(dòng)和接觸實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化用的專用的自動(dòng)裝置等，故可大幅度地削減成本。
特別是，希望通過使時(shí)鐘信號(hào)的相位可變以使根據(jù)選通信號(hào)由比較器進(jìn)行比較工作的時(shí)序與從驅(qū)動(dòng)器輸出而輸入到比較器中的信號(hào)變化的時(shí)序相一致來進(jìn)行在上述的第1步驟中進(jìn)行的相位的調(diào)整?；蛘撸Ｍㄟ^使選通信號(hào)的相位可變以使根據(jù)選通信號(hào)由比較器進(jìn)行比較工作的時(shí)序與從驅(qū)動(dòng)器輸出而輸入到比較器中的信號(hào)變化的時(shí)序相一致來進(jìn)行在上述的第1步驟中進(jìn)行的相位的調(diào)整。此外，在改變了第1步驟中的驅(qū)動(dòng)器與比較器的組合的狀態(tài)下，希望通過對(duì)于彼此以1對(duì)1的方式對(duì)應(yīng)的時(shí)鐘信號(hào)和選通信號(hào)以某一方為基準(zhǔn)測(cè)定另一方的相位差來進(jìn)行上述的第2步驟中進(jìn)行的相位差的取得。通過一邊觀察由比較器得到的比較工作的結(jié)果一邊使時(shí)鐘信號(hào)或選通信號(hào)的相位可變，可容易地進(jìn)行這些相位的調(diào)整或相對(duì)的相位差的測(cè)定等。
此外，希望在上述的時(shí)鐘信號(hào)對(duì)于驅(qū)動(dòng)器的供給路徑和選通信號(hào)對(duì)于比較器的供給路徑中分別插入使信號(hào)的相位可變的延遲元件。通過使各延遲元件的延遲量個(gè)別地可變，可將與各器件插座端對(duì)應(yīng)的時(shí)鐘信號(hào)和選通信號(hào)的各自的相位調(diào)整為任意的值。
此外，希望使用對(duì)應(yīng)的一個(gè)驅(qū)動(dòng)器的輸出端和一個(gè)比較器的輸入端經(jīng)相等的時(shí)間長(zhǎng)度的布線分別連接到短路連接點(diǎn)上的第1校準(zhǔn)板來進(jìn)行上述的第1步驟。此外，希望使用對(duì)應(yīng)的一個(gè)驅(qū)動(dòng)器的輸出端和一個(gè)比較器的輸入端經(jīng)相等的時(shí)間長(zhǎng)度的布線分別連接到短路連接點(diǎn)上的、其布線的組合與第1校準(zhǔn)板不同的第2校準(zhǔn)板來進(jìn)行上述的第2步驟。通過使用第1校準(zhǔn)板或第2校準(zhǔn)板能進(jìn)行時(shí)鐘信號(hào)和選通信號(hào)的相位調(diào)整或選通信號(hào)間的相位差或時(shí)鐘信號(hào)間的相位差的測(cè)定。因而，與使用探針以各器件插座端為單位調(diào)整時(shí)鐘信號(hào)或選通信號(hào)的相位的現(xiàn)有的方法相比，可簡(jiǎn)化作業(yè)內(nèi)容。
此外，希望在上述的第1步驟與第2步驟之間具有將第1校準(zhǔn)板更換為第2校準(zhǔn)板的第4步驟。由于機(jī)械的作業(yè)只是將第1校準(zhǔn)板更換為第2校準(zhǔn)板，故可大幅度地縮短時(shí)序校準(zhǔn)整體的作業(yè)時(shí)間。
此外，希望使用對(duì)應(yīng)的一個(gè)驅(qū)動(dòng)器的輸出端和一個(gè)比較器的輸入端經(jīng)相等的時(shí)間長(zhǎng)度的布線分別連接到短路連接點(diǎn)上的第3校準(zhǔn)板來進(jìn)行上述的第1步驟，希望轉(zhuǎn)換第3校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)以使對(duì)應(yīng)的一個(gè)驅(qū)動(dòng)器的輸出端和一個(gè)比較器的輸入端經(jīng)相等的時(shí)間長(zhǎng)度的布線分別連接到短路連接點(diǎn)上來進(jìn)行第2步驟。通過使用可轉(zhuǎn)換布線內(nèi)容的第3校準(zhǔn)板，由于不需要校準(zhǔn)板的更換作業(yè)，故可進(jìn)一步縮短整體的作業(yè)時(shí)間。
此外，希望在上述的第3校準(zhǔn)板中包含轉(zhuǎn)換布線狀態(tài)的多個(gè)轉(zhuǎn)換開關(guān)，通過轉(zhuǎn)換這些轉(zhuǎn)換開關(guān)的連接狀態(tài)來進(jìn)行第1和第2步驟的工作。由此，可容易地轉(zhuǎn)換第3校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)。
此外，也可使用進(jìn)行了同樣的布線的校準(zhǔn)器件或校準(zhǔn)晶片來代替使用上述的各種校準(zhǔn)板。特別是，通過使用裝卸裝置進(jìn)行校準(zhǔn)器件的更換，可實(shí)現(xiàn)更換作業(yè)的自動(dòng)化。
此外，在本發(fā)明的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法中，為了進(jìn)行具備進(jìn)行與時(shí)鐘信號(hào)同步的信號(hào)的生成工作的驅(qū)動(dòng)器和進(jìn)行與選通信號(hào)同步的比較工作的比較器的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的時(shí)序校準(zhǔn)，包含第1～第3步驟而構(gòu)成。在第1步驟中，在進(jìn)行了m個(gè)分組以便包含2個(gè)以上的多個(gè)驅(qū)動(dòng)器和多個(gè)比較器的至少一方的狀態(tài)下，在每個(gè)組中使從多個(gè)驅(qū)動(dòng)器輸出并輸入到比較器中的信號(hào)的變化的時(shí)序與由多個(gè)比較器進(jìn)行比較工作的時(shí)序相一致來調(diào)整時(shí)鐘信號(hào)的相位和選通信號(hào)的相位。在第2步驟中，對(duì)于不同的組來說，取得與驅(qū)動(dòng)器對(duì)應(yīng)的時(shí)鐘信號(hào)相互間的相對(duì)的相位差或與比較器對(duì)應(yīng)的選通信號(hào)相互間的相對(duì)的相位差。在第3步驟中，根據(jù)相對(duì)的相位差，調(diào)整與多個(gè)組中分別包含的驅(qū)動(dòng)器對(duì)應(yīng)的時(shí)鐘信號(hào)的相位和與比較器對(duì)應(yīng)的選通信號(hào)的相位。由于不需要像以往那樣只為了進(jìn)行時(shí)序校準(zhǔn)而專用的基準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)器/比較器部及連接到其上的探針或使探針的移動(dòng)和接觸實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化用的專用的自動(dòng)裝置等，故可大幅度地削減成本。此外，通過以組為單位進(jìn)行校準(zhǔn)工作，由于可使組內(nèi)的調(diào)整誤差平均化，故可減少因測(cè)定結(jié)果的離散性而產(chǎn)生的校準(zhǔn)誤差。
此外，希望在上述的時(shí)鐘信號(hào)對(duì)于驅(qū)動(dòng)器的供給路徑和選通信號(hào)對(duì)于比較器的供給路徑中分別插入使信號(hào)的相位可變的延遲元件。通過使各延遲元件的延遲量個(gè)別地可變，可將時(shí)鐘信號(hào)和選通信號(hào)的各自的相位調(diào)整為任意的值，這些信號(hào)的相位調(diào)整變得容易。
此外，希望在多個(gè)組的每一組中使用經(jīng)共同的第1短路連接點(diǎn)連接了驅(qū)動(dòng)器的輸出端與比較器的輸入端的第1校準(zhǔn)板來進(jìn)行上述的第1步驟。此外，希望使用經(jīng)共同的第2短路連接點(diǎn)連接了一個(gè)組中包含的驅(qū)動(dòng)器的輸出端與另一個(gè)組中包含的比較器的輸入端的第2校準(zhǔn)板來進(jìn)行上述的第2步驟。由于通過更換第1和第2校準(zhǔn)板來進(jìn)行校準(zhǔn)工作，故與使用探針個(gè)別地調(diào)整時(shí)鐘信號(hào)或選通信號(hào)的相位的現(xiàn)有的方法相比，可簡(jiǎn)化作業(yè)內(nèi)容。
此外，希望將連接上述的驅(qū)動(dòng)器與第1和第2短路連接點(diǎn)的布線的布線長(zhǎng)度和連接比較器與第1和第2短路連接點(diǎn)的布線的布線長(zhǎng)度設(shè)定為全部相同。由此，可在相同的條件下調(diào)整全部的時(shí)鐘信號(hào)和選通信號(hào)，從而可實(shí)現(xiàn)由觀察比較器的輸出而進(jìn)行的校準(zhǔn)工作。
此外，希望在上述的第1步驟與第2步驟之間具有將第1校準(zhǔn)板更換為第2校準(zhǔn)板的第4步驟。機(jī)械的作業(yè)只是將第1校準(zhǔn)板更換為第2校準(zhǔn)板，可大幅度地縮短時(shí)序校準(zhǔn)整體的作業(yè)時(shí)間。
此外，希望使用對(duì)于全部的組來說經(jīng)時(shí)間長(zhǎng)度相等的布線連接了各組中包含的驅(qū)動(dòng)器的輸出端與比較器的輸入端的第3校準(zhǔn)板來進(jìn)行上述的第1步驟，希望轉(zhuǎn)換第3校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)以便在全部的組之間經(jīng)時(shí)間長(zhǎng)度相等的布線連接一個(gè)組中包含的驅(qū)動(dòng)器的輸出端與另一個(gè)組中包含的比較器的輸入端來進(jìn)行第2步驟。通過使用可轉(zhuǎn)換布線內(nèi)容的第3校準(zhǔn)板，由于不需要校準(zhǔn)板的更換作業(yè)，故可進(jìn)一步縮短整體的作業(yè)時(shí)間。
此外，希望在上述的第3校準(zhǔn)板中包含轉(zhuǎn)換布線狀態(tài)的多個(gè)轉(zhuǎn)換開關(guān)，通過轉(zhuǎn)換這些轉(zhuǎn)換開關(guān)的連接狀態(tài)來進(jìn)行第1和第2步驟的工作。由此，可容易地轉(zhuǎn)換第3校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)。
此外，也可使用進(jìn)行了同樣的布線的校準(zhǔn)器件或校準(zhǔn)晶片來代替使用上述的各種校準(zhǔn)板。特別是，通過使用裝卸裝置進(jìn)行校準(zhǔn)器件的更換，可實(shí)現(xiàn)更換作業(yè)的自動(dòng)化。
此外，在本發(fā)明的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法中，為了進(jìn)行具備進(jìn)行與時(shí)鐘信號(hào)同步的信號(hào)的生成工作的驅(qū)動(dòng)器和進(jìn)行與選通信號(hào)同步的比較工作的比較器的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的時(shí)序校準(zhǔn)，包含第1～第3步驟而構(gòu)成。在第1步驟中，在進(jìn)行了m個(gè)分組以便包含2個(gè)以上的多個(gè)驅(qū)動(dòng)器和多個(gè)比較器的至少一方的狀態(tài)下，將一個(gè)比較器作為共同比較器，將與該共同比較器對(duì)應(yīng)的選通信號(hào)為基準(zhǔn)，將各組中包含的一個(gè)驅(qū)動(dòng)器作為組內(nèi)共同驅(qū)動(dòng)器，調(diào)整與該組內(nèi)共同驅(qū)動(dòng)器對(duì)應(yīng)的時(shí)鐘信號(hào)的相位。在第2步驟中，在m個(gè)組的每一組中，以與組內(nèi)共同驅(qū)動(dòng)器對(duì)應(yīng)的時(shí)鐘信號(hào)的相位為基準(zhǔn)，調(diào)整與相同的組中包含的比較器對(duì)應(yīng)的選通信號(hào)的相位。在第3步驟中，在m個(gè)組的每一組中，以與任意的比較器對(duì)應(yīng)的選通信號(hào)為基準(zhǔn)，調(diào)整與相同的組中包含的驅(qū)動(dòng)器對(duì)應(yīng)的時(shí)鐘信號(hào)的相位。
或者，在本發(fā)明的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法中，為了進(jìn)行具備進(jìn)行與時(shí)鐘信號(hào)同步的信號(hào)的生成工作的驅(qū)動(dòng)器和進(jìn)行與選通信號(hào)同步的比較工作的比較器的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的時(shí)序校準(zhǔn)，包含第1～第3步驟而構(gòu)成。在第1步驟中，在進(jìn)行了m個(gè)分組以便包含2個(gè)以上的多個(gè)驅(qū)動(dòng)器和多個(gè)比較器的至少一方的狀態(tài)下，將一個(gè)驅(qū)動(dòng)器作為共同驅(qū)動(dòng)器，將與該共同驅(qū)動(dòng)器對(duì)應(yīng)的時(shí)鐘信號(hào)為基準(zhǔn)，將各組中包含的一個(gè)比較器作為組內(nèi)共同比較器，調(diào)整與該組內(nèi)共同比較器對(duì)應(yīng)的選通信號(hào)的相位。在第2步驟中，在m個(gè)組的每一組中，以與組內(nèi)共同比較器對(duì)應(yīng)的選通信號(hào)的相位為基準(zhǔn)，調(diào)整與相同的組中包含的驅(qū)動(dòng)器對(duì)應(yīng)的時(shí)鐘信號(hào)的相位。在第3步驟中，在m個(gè)組的每一組中，以與任意的驅(qū)動(dòng)器對(duì)應(yīng)的時(shí)鐘信號(hào)的相位為基準(zhǔn)，調(diào)整與相同的組中包含的比較器對(duì)應(yīng)的選通信號(hào)的相位。
由于不需要像以往那樣只為了進(jìn)行時(shí)序校準(zhǔn)而專用的基準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)器/比較器部及連接到其上的探針或使探針的移動(dòng)和接觸實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化用的專用的自動(dòng)裝置等，故可大幅度地削減成本。此外，可在每個(gè)組中并行地進(jìn)行第2和第3步驟中的調(diào)整作業(yè)，可提高作業(yè)效率和縮短作業(yè)時(shí)間。
希望通過使時(shí)鐘信號(hào)或選通信號(hào)的相位可變以使根據(jù)選通信號(hào)由比較器進(jìn)行比較工作的時(shí)序與分別從驅(qū)動(dòng)器輸出而輸入到比較器中的信號(hào)變化的時(shí)序相一致來進(jìn)行在上述第1～第3步驟中進(jìn)行的相位的調(diào)整。通過一邊觀察由比較器進(jìn)行的比較工作的結(jié)果一邊使時(shí)鐘信號(hào)或選通信號(hào)的相位可變，可容易地進(jìn)行這些相位的調(diào)整或相對(duì)的相位差的測(cè)定等。
此外，希望在上述的時(shí)鐘信號(hào)對(duì)于驅(qū)動(dòng)器的供給路徑和選通信號(hào)對(duì)于比較器的供給路徑中分別插入使信號(hào)的相位可變的延遲元件。通過使各延遲元件的延遲量個(gè)別地可變，可將時(shí)鐘信號(hào)和選通信號(hào)的各自的相位調(diào)整為任意的值，這些信號(hào)的相位調(diào)整變得容易。
此外，希望使用經(jīng)共同的第1短路連接點(diǎn)連接了共同比較器的輸入端與組內(nèi)共同驅(qū)動(dòng)器的輸出端的第1校準(zhǔn)板來進(jìn)行上述的第1步驟。或者，希望使用經(jīng)共同的第1短路連接點(diǎn)連接了共同驅(qū)動(dòng)器的輸出端與組內(nèi)共同比較器的輸入端的第1校準(zhǔn)板來進(jìn)行上述的第1步驟。此外，希望在多個(gè)組的每一組中使用經(jīng)共同的第2短路連接點(diǎn)連接了驅(qū)動(dòng)器的輸出端與比較器的輸入端的第2校準(zhǔn)板來進(jìn)行上述的第2和第3步驟。由于通過更換第1和第2校準(zhǔn)板來進(jìn)行校準(zhǔn)工作，故與使用探針個(gè)別地調(diào)整時(shí)鐘信號(hào)或選通信號(hào)的相位的現(xiàn)有的方法相比，可簡(jiǎn)化作業(yè)內(nèi)容。
此外，希望將連接上述的驅(qū)動(dòng)器與第1和第2短路連接點(diǎn)的布線的布線長(zhǎng)度和連接比較器與第1和第2短路連接點(diǎn)的布線的布線長(zhǎng)度設(shè)定為全部相同。由此，可在相同的條件下調(diào)整全部的時(shí)鐘信號(hào)和選通信號(hào)，從而可實(shí)現(xiàn)由觀察比較器的輸出而進(jìn)行的校準(zhǔn)工作。
此外，希望在上述的第1步驟與第2步驟之間具有將第1校準(zhǔn)板更換為第2校準(zhǔn)板的第4步驟。機(jī)械的作業(yè)只是將第1校準(zhǔn)板更換為第2校準(zhǔn)板，可大幅度地縮短時(shí)序校準(zhǔn)整體的作業(yè)時(shí)間。
此外，希望使用對(duì)于全部的組來說經(jīng)時(shí)間長(zhǎng)度相等的布線連接了共同比較器的輸入端與m個(gè)組中分別包含的組內(nèi)共同驅(qū)動(dòng)器的輸出端的第3校準(zhǔn)板來進(jìn)行上述的第1步驟，希望轉(zhuǎn)換第3校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)以便對(duì)于全部的組來說經(jīng)時(shí)間長(zhǎng)度相等的布線連接各組中包含的驅(qū)動(dòng)器的輸出端與比較器的輸入端來進(jìn)行第2和第3步驟?；蛘撸Ｍ褂脤?duì)于全部的組來說經(jīng)時(shí)間長(zhǎng)度相等的布線連接了共同驅(qū)動(dòng)器的輸出端與m個(gè)組中分別包含的組內(nèi)共同比較器的輸入端的第3校準(zhǔn)板來進(jìn)行上述的第1步驟，希望轉(zhuǎn)換第3校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)以便對(duì)于全部的組來說經(jīng)時(shí)間長(zhǎng)度相等的布線連接各組中包含的驅(qū)動(dòng)器的輸出端與比較器的輸入端來進(jìn)行第2和第3步驟。通過使用可轉(zhuǎn)換布線內(nèi)容的第3校準(zhǔn)板，由于不需要校準(zhǔn)板的更換作業(yè)，故可進(jìn)一步縮短整體的作業(yè)時(shí)間。
此外，希望在上述的第3校準(zhǔn)板中包含轉(zhuǎn)換布線狀態(tài)的多個(gè)轉(zhuǎn)換開關(guān)，通過轉(zhuǎn)換這些轉(zhuǎn)換開關(guān)的連接狀態(tài)來進(jìn)行第1、第2和第3步驟的工作。由此，可容易地轉(zhuǎn)換第3校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)。
此外，也可使用進(jìn)行了同樣的布線的校準(zhǔn)器件或校準(zhǔn)晶片來代替使用上述的各種校準(zhǔn)板。特別是，通過使用裝卸裝置進(jìn)行校準(zhǔn)器件的更換，可實(shí)現(xiàn)更換作業(yè)的自動(dòng)化。
此外，在本發(fā)明的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法中，為了進(jìn)行具備進(jìn)行與時(shí)鐘信號(hào)同步的信號(hào)的生成工作的驅(qū)動(dòng)器和進(jìn)行與選通信號(hào)同步的比較工作的比較器的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的時(shí)序校準(zhǔn)，包含第1和第2步驟而構(gòu)成。在第1步驟中，以與一個(gè)驅(qū)動(dòng)器對(duì)應(yīng)的時(shí)鐘信號(hào)為基準(zhǔn)，調(diào)整分別與多個(gè)比較器對(duì)應(yīng)的選通信號(hào)的相位。在第2步驟中，以在第1步驟中相位調(diào)整結(jié)束了的一個(gè)選通信號(hào)為基準(zhǔn)，調(diào)整分別與多個(gè)驅(qū)動(dòng)器對(duì)應(yīng)的時(shí)鐘信號(hào)的相位。
或者，在本發(fā)明的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法中，為了進(jìn)行具備進(jìn)行與時(shí)鐘信號(hào)同步的信號(hào)的生成工作的驅(qū)動(dòng)器和進(jìn)行與選通信號(hào)同步的比較工作的比較器的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的時(shí)序校準(zhǔn)，包含第1和第2步驟而構(gòu)成。在第1步驟中，以與一個(gè)比較器對(duì)應(yīng)的選通信號(hào)為基準(zhǔn)，調(diào)整分別與多個(gè)驅(qū)動(dòng)器對(duì)應(yīng)的時(shí)鐘信號(hào)的相位。在第2步驟中，以在第1步驟中相位調(diào)整結(jié)束了的一個(gè)時(shí)鐘信號(hào)為基準(zhǔn)，調(diào)整分別與多個(gè)比較器對(duì)應(yīng)的選通信號(hào)的相位。
由于不需要像以往那樣只為了進(jìn)行時(shí)序校準(zhǔn)而專用的基準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)器/比較器部及連接到其上的探針或使探針的移動(dòng)和接觸實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化用的專用的自動(dòng)裝置等，故可大幅度地削減成本。
此外，希望通過使時(shí)鐘信號(hào)或選通信號(hào)的相位可變以使根據(jù)選通信號(hào)由比較器進(jìn)行比較工作的時(shí)序與分別從驅(qū)動(dòng)器輸出而輸入到比較器中的信號(hào)變化的時(shí)序相一致來進(jìn)行在上述第1和第2的各步驟中進(jìn)行的相位的調(diào)整。通過一邊觀察由比較器得到的比較工作的結(jié)果一邊使時(shí)鐘信號(hào)或選通信號(hào)的相位可變，可容易地進(jìn)行這些相位的調(diào)整或相對(duì)的相位差的測(cè)定等。
此外，希望在上述的時(shí)鐘信號(hào)對(duì)于驅(qū)動(dòng)器的供給路徑和選通信號(hào)對(duì)于比較器的供給路徑中分別插入使信號(hào)的相位可變的延遲元件。通過使各延遲元件的延遲量個(gè)別地可變，可將時(shí)鐘信號(hào)和選通信號(hào)的各自的相位調(diào)整為任意的值，這些信號(hào)的相位調(diào)整變得容易。
此外，希望使用經(jīng)第1短路連接點(diǎn)分別連接了一個(gè)驅(qū)動(dòng)器的輸出端與多個(gè)比較器的各自的輸入端的多個(gè)第1校準(zhǔn)板來進(jìn)行上述的第1步驟?；蛘撸Ｍ褂媒?jīng)第1短路連接點(diǎn)分別連接了多個(gè)驅(qū)動(dòng)器的各自的輸出端與一個(gè)比較器的輸入端的多個(gè)第1校準(zhǔn)板來進(jìn)行上述的第1步驟。此外，多個(gè)驅(qū)動(dòng)器的每一個(gè)與多個(gè)比較器的每一個(gè)相對(duì)應(yīng)，希望使用連接了對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)器的輸出端與比較器的輸入端第2校準(zhǔn)板來進(jìn)行上述的第2步驟。由于通過更換第1和第2校準(zhǔn)板來進(jìn)行校準(zhǔn)工作，故與使用探針個(gè)別地調(diào)整時(shí)鐘信號(hào)或選通信號(hào)的相位的現(xiàn)有的方法相比，可簡(jiǎn)化作業(yè)內(nèi)容。
此外，希望將連接上述的驅(qū)動(dòng)器與第1和第2短路連接點(diǎn)的布線的布線長(zhǎng)度和連接比較器與第1和第2短路連接點(diǎn)的布線的布線長(zhǎng)度設(shè)定為全部相同。由此，可在相同的條件下調(diào)整全部的時(shí)鐘信號(hào)和選通信號(hào)，從而可實(shí)現(xiàn)由觀察比較器的輸出而進(jìn)行的校準(zhǔn)工作。
此外，也可使用進(jìn)行了同樣的布線的校準(zhǔn)器件或校準(zhǔn)晶片來代替使用上述的各種校準(zhǔn)板。特別是，通過使用裝卸裝置進(jìn)行校準(zhǔn)器件的更換，可實(shí)現(xiàn)更換作業(yè)的自動(dòng)化。


圖1是示出成為時(shí)序校準(zhǔn)的對(duì)象的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的整體結(jié)構(gòu)的圖。
圖2是示出一個(gè)校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)的圖。
圖3是示出另一校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)的圖。
圖4是示出本實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)工作次序的流程圖。
圖5是示出在半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體上放置了一個(gè)校準(zhǔn)板(CB)的狀態(tài)的圖。
圖6是示出在步驟101中被實(shí)施的時(shí)鐘信號(hào)的相位調(diào)整工作的概略的圖。
圖7是示出圖6中示出的時(shí)鐘信號(hào)的相位的調(diào)整工作的細(xì)節(jié)的圖。
圖8是示出在半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體上放置了另一校準(zhǔn)板的狀態(tài)的圖。
圖9是示出在步驟103中被實(shí)施的選通信號(hào)的相位差取得工作的概略的圖。
圖10是示出在步驟104、105中被實(shí)施的選通信號(hào)的校正值決定工作和校正工作的概略的圖。
圖11是示出在步驟106中被實(shí)施的時(shí)鐘信號(hào)的相位校正工作的概略的圖。
圖12是示出兼?zhèn)洳季€內(nèi)容不同的2種校準(zhǔn)板的功能的第2實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)板的結(jié)構(gòu)的圖。
圖13是示出兼?zhèn)洳季€內(nèi)容不同的2種校準(zhǔn)板的功能的第2實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)板的結(jié)構(gòu)的圖。
圖14是示出第3實(shí)施形態(tài)中的為了進(jìn)行校準(zhǔn)工作而使用的一個(gè)校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)的圖。
圖15是示出第3實(shí)施形態(tài)中的為了進(jìn)行校準(zhǔn)工作而使用的另一校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)的圖。
圖16是示出在進(jìn)行校準(zhǔn)工作之前的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置中的時(shí)鐘信號(hào)和選通信號(hào)的初始狀態(tài)的圖。
圖17是示出第3實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)工作次序的流程圖。
圖18是示出與圖17中示出的步驟201對(duì)應(yīng)地進(jìn)行信號(hào)的輸入輸出的驅(qū)動(dòng)器和比較器的圖。
圖19是示出在圖17中示出的步驟201中被實(shí)施的選通信號(hào)的相位調(diào)整工作的概略的圖。
圖20是示出與圖17中示出的步驟202對(duì)應(yīng)地進(jìn)行信號(hào)的輸入輸出的驅(qū)動(dòng)器和比較器的圖。
圖21是示出在圖17中示出的步驟202中被實(shí)施的選通信號(hào)的相位調(diào)整工作的概略的圖。
圖22是示出與圖17中示出的步驟204對(duì)應(yīng)地進(jìn)行信號(hào)的輸入輸出的驅(qū)動(dòng)器和比較器的圖。
圖23是示出在圖17中示出的步驟204中被實(shí)施的選通信號(hào)的相位差測(cè)定工作的概略的圖。
圖24是示出在圖17中示出的步驟206中被實(shí)施的選通信號(hào)的相位校正的概略的圖。
圖25是示出與圖17中示出的步驟207對(duì)應(yīng)地進(jìn)行信號(hào)的輸入輸出的驅(qū)動(dòng)器和比較器的圖。
圖26是示出在圖17中示出的步驟207中被實(shí)施的時(shí)鐘信號(hào)的校正工作的概略的圖。
圖27是示出兼?zhèn)洳季€內(nèi)容不同的2種校準(zhǔn)板的功能的第4實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)板的結(jié)構(gòu)的圖。
圖28是示出兼?zhèn)洳季€內(nèi)容不同的2種校準(zhǔn)板的功能的第4實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)板的結(jié)構(gòu)的圖。
圖29是示出第5實(shí)施形態(tài)的一個(gè)校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)的圖。
圖30是示出第5實(shí)施形態(tài)的另一校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)的圖。
圖31是示出第5實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)工作次序的流程圖。
圖32是示出與圖31中示出的步驟301對(duì)應(yīng)地進(jìn)行信號(hào)的輸入輸出的驅(qū)動(dòng)器和比較器的圖。
圖33是示出在圖31中示出的步驟301中被實(shí)施的時(shí)鐘信號(hào)的相位調(diào)整工作的概略的圖。
圖34是示出與圖31中示出的步驟303對(duì)應(yīng)地進(jìn)行信號(hào)的輸入輸出的驅(qū)動(dòng)器和比較器的圖。
圖35是示出在圖31中示出的步驟303中被實(shí)施的選通信號(hào)的相位調(diào)整工作的概略的圖。
圖36是示出與圖31中示出的步驟304對(duì)應(yīng)地進(jìn)行信號(hào)的輸入輸出的驅(qū)動(dòng)器和比較器的圖。
圖37是示出在圖31中示出的步驟304中被實(shí)施的時(shí)鐘信號(hào)的相位調(diào)整工作的概略的圖。
圖38是示出第6實(shí)施形態(tài)的一個(gè)校準(zhǔn)板的結(jié)構(gòu)的圖。
圖39是示出第6實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)工作次序的流程圖。
圖40是示出兼?zhèn)洳季€內(nèi)容不同的2種校準(zhǔn)板的功能的第7實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)板的結(jié)構(gòu)的圖。
圖41是示出兼?zhèn)洳季€內(nèi)容不同的2種校準(zhǔn)板的功能的第7實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)板的結(jié)構(gòu)的圖。
圖42是示出兼?zhèn)洳季€內(nèi)容不同的2種校準(zhǔn)板的功能的變例的校準(zhǔn)板的結(jié)構(gòu)的圖。
圖43是示出兼?zhèn)洳季€內(nèi)容不同的2種校準(zhǔn)板的功能的變例的校準(zhǔn)板的結(jié)構(gòu)的圖。
圖44是示出第8實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)方法中使用的校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)的圖。
圖45是示出第8實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)方法中使用的校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)的圖。
圖46是示出第8實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)方法中使用的校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)的圖。
圖47是示出第8實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)方法中使用的校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)的圖。
圖48是示出第8實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)方法中使用的校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)的圖。
圖49是示出第8實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)工作次序的流程圖。
圖50是示出本實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)板的變例的圖。
圖51是示出兼?zhèn)洳季€內(nèi)容不同的n+1種校準(zhǔn)板的功能的第9實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)板的結(jié)構(gòu)的圖。
圖52是示出圖51中示出的校準(zhǔn)板的變例的圖。
圖53是示出變更了校準(zhǔn)板的設(shè)置狀態(tài)的變例的圖。
圖54是與圖53中示出的結(jié)構(gòu)對(duì)應(yīng)的時(shí)鐘信號(hào)的相位調(diào)整的說明圖。
圖55是示出校準(zhǔn)器件與半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體之間的連接狀態(tài)的圖。
圖56是示出使用了校準(zhǔn)器件的時(shí)序校準(zhǔn)的概要的圖。
圖57是示出校準(zhǔn)晶片與半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體之間的連接狀態(tài)的圖。
圖58是示出使用了校準(zhǔn)晶片的時(shí)序校準(zhǔn)的概要的圖。
圖59是示出實(shí)現(xiàn)了與第1實(shí)施形態(tài)中使用的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)器件的圖。
圖60是示出實(shí)現(xiàn)了與第1實(shí)施形態(tài)中使用的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)器件的圖。
圖61是示出實(shí)現(xiàn)了與第3實(shí)施形態(tài)中使用的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)器件的圖。
圖62是示出實(shí)現(xiàn)了與第3實(shí)施形態(tài)中使用的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)器件的圖。
圖63是示出實(shí)現(xiàn)了與第5實(shí)施形態(tài)中使用的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)器件的圖。
圖64是示出實(shí)現(xiàn)了與第8實(shí)施形態(tài)中使用的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)器件的圖。
圖65是示出實(shí)現(xiàn)了與第8實(shí)施形態(tài)中使用的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)器件的圖。
圖66是示出實(shí)現(xiàn)了與第8實(shí)施形態(tài)中使用的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)器件的圖。
圖67是示出實(shí)現(xiàn)了與第8實(shí)施形態(tài)中使用的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)器件的圖。
圖68是示出實(shí)現(xiàn)了與第8實(shí)施形態(tài)中使用的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)器件的圖。
圖69是示出實(shí)現(xiàn)了與第1實(shí)施形態(tài)中使用的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)晶片的圖。
圖70是示出實(shí)現(xiàn)了與第3實(shí)施形態(tài)中使用的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)晶片的圖。
圖71是示出實(shí)現(xiàn)了與第5實(shí)施形態(tài)中使用的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)晶片的圖。
圖72是示出實(shí)現(xiàn)了與第8實(shí)施形態(tài)中使用的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)晶片的圖。
圖73是進(jìn)行半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的時(shí)序校準(zhǔn)的現(xiàn)有結(jié)構(gòu)的圖。
圖74是圖73中示出的現(xiàn)有結(jié)構(gòu)的電配置圖。
圖75是示出現(xiàn)有的時(shí)序校準(zhǔn)的概要的圖。
圖76是示出現(xiàn)有的時(shí)序校準(zhǔn)的概要的圖。
圖77是示出現(xiàn)有的時(shí)序校準(zhǔn)的概要的圖。
具體實(shí)施例方式
以下，詳細(xì)地說明提供了本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施形態(tài)的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法。
〔第1實(shí)施形態(tài)〕圖1是示出成為在第1實(shí)施形態(tài)中進(jìn)行的時(shí)序校準(zhǔn)的對(duì)象的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的整體結(jié)構(gòu)的圖。該半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置為了對(duì)被測(cè)定器件(未圖示)實(shí)施規(guī)定的試驗(yàn)，包含半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體10和工作站(WS)40而構(gòu)成。
工作站40控制功能試驗(yàn)等的一系列的試驗(yàn)工作或時(shí)序校準(zhǔn)工作的整體，同時(shí)實(shí)現(xiàn)與用戶之間的接口。
半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體10通過執(zhí)行從工作站40傳送來的規(guī)定的試驗(yàn)程序來進(jìn)行對(duì)被測(cè)定器件的各種試驗(yàn)。此外，半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體10通過執(zhí)行從工作站40傳送來的專用程序，實(shí)施時(shí)序校準(zhǔn)。為此，半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體10具備測(cè)試器控制部(TP)12；時(shí)序發(fā)生器(TG)14；模式發(fā)生器(PG)16；數(shù)據(jù)選擇器(DS)18；格式控制部(FC)20；以及引腳電子線路22。
測(cè)試器控制部12經(jīng)總線與時(shí)序發(fā)生器14等的各構(gòu)成部連接，通過執(zhí)行從工作站40傳送來的試驗(yàn)程序，對(duì)各構(gòu)成部進(jìn)行在各種試驗(yàn)工作或校正工作中必要的控制。
時(shí)序發(fā)生器14設(shè)定試驗(yàn)工作的基本周期，同時(shí)生成該已設(shè)定的基本周期內(nèi)包含的各種時(shí)序沿。模式發(fā)生器16發(fā)生對(duì)被測(cè)定器件的各引腳輸入的模式數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)選擇器18使從模式發(fā)生器16輸出的各種模式數(shù)據(jù)與輸入該數(shù)據(jù)的被測(cè)定器件的各引腳相對(duì)應(yīng)。格式控制部20根據(jù)由模式發(fā)生器16發(fā)生并由數(shù)據(jù)選擇器18選擇的模式數(shù)據(jù)和由時(shí)序發(fā)生器14生成的時(shí)序沿，進(jìn)行對(duì)被測(cè)定器件的波形控制。
引腳電子線路22用來在與被測(cè)定器件之間取得物理的接口，根據(jù)由格式控制部20的波形控制生成的時(shí)鐘信號(hào)CLK和選通信號(hào)STB，生成實(shí)際上在與被測(cè)定器件之間被輸入輸出的信號(hào)。為此，引腳電子線路22包含n個(gè)驅(qū)動(dòng)器DR1～DRn和n個(gè)比較器CP1～CPn而構(gòu)成。
驅(qū)動(dòng)器DR1進(jìn)行與從格式控制部20輸出的時(shí)鐘信號(hào)CLK1同步的信號(hào)的生成工作，在時(shí)鐘信號(hào)CLK1上升時(shí)，使輸出信號(hào)從低電平變化為高電平。同樣，驅(qū)動(dòng)器DR2～DRn進(jìn)行分別與被輸入的時(shí)鐘信號(hào)CLK2～CLKn同步的信號(hào)的生成工作，在對(duì)應(yīng)的時(shí)鐘信號(hào)上升時(shí)，使輸出信號(hào)從低電平變化為高電平。
再有，在本實(shí)施形態(tài)(對(duì)于其它的實(shí)施形態(tài)來說也是同樣的)中，使驅(qū)動(dòng)器的輸出信號(hào)以與時(shí)鐘信號(hào)相同的方式變化，即，與時(shí)鐘信號(hào)的上升同步地使驅(qū)動(dòng)器的輸出信號(hào)也上升，與時(shí)鐘信號(hào)的下降同步地使驅(qū)動(dòng)器的輸出信號(hào)也下降，但也可相反地與時(shí)鐘信號(hào)的上升同步地使驅(qū)動(dòng)器的輸出信號(hào)下降，與時(shí)鐘信號(hào)的下降同步地使驅(qū)動(dòng)器的輸出信號(hào)上升。
比較器CP1進(jìn)行與從格式控制部20輸出的選通信號(hào)STB1同步的比較工作，在輸入了選通信號(hào)STB1的時(shí)刻處判定從被測(cè)定器件的對(duì)應(yīng)引腳輸入的信號(hào)的邏輯。同樣，比較器CP2～CPn進(jìn)行分別與被輸入的選通信號(hào)STB2～STBn同步的比較工作，在輸入了對(duì)應(yīng)的選通信號(hào)的時(shí)刻處判定從被測(cè)定器件的對(duì)應(yīng)引腳輸入的信號(hào)的邏輯。
再有，在利用比較器進(jìn)行與選通信號(hào)同步的比較工作的情況下，考慮與選通信號(hào)的上升同步地進(jìn)行比較器的比較工作的情況和與選通信號(hào)的下降同步地進(jìn)行比較器的比較工作的情況，但在本實(shí)施形態(tài)(對(duì)于其它的實(shí)施形態(tài)來說也是同樣的)中，由于在與本發(fā)明的關(guān)系中沒有本質(zhì)的差異，故采用哪一種比較時(shí)序都可以。
上述的驅(qū)動(dòng)器DR1和比較器CP1成為一組，與被測(cè)定器件的一組輸入輸出引腳相對(duì)應(yīng)。此外，驅(qū)動(dòng)器DR2和比較器CP2成為一組，與被測(cè)定器件的另一組輸入輸出引腳相對(duì)應(yīng)。這樣，與被測(cè)定器件的各輸入輸出引腳相對(duì)應(yīng)地設(shè)置了一組驅(qū)動(dòng)器和比較器。
此外，在半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體10上安裝了性能板30，上述的引腳電子線路22經(jīng)該性能板30連接到校準(zhǔn)板50A(或50B)上。
校準(zhǔn)板50A、50B是為了進(jìn)行時(shí)序校準(zhǔn)而進(jìn)行了特別的內(nèi)部布線的板，對(duì)這2個(gè)板進(jìn)行了彼此不同的布線。
圖2是示出一個(gè)校準(zhǔn)板50A的布線狀態(tài)的圖。在圖2中，2個(gè)端子1a、1b與短路連接點(diǎn)(器件插座端)1c共同地連接，而且，設(shè)定成換算為信號(hào)的延遲時(shí)間的各自的布線長(zhǎng)度(時(shí)間長(zhǎng)度)為相同。此外，2個(gè)端子2a、2b與短路連接點(diǎn)2c共同地連接，而且，設(shè)定成換算為信號(hào)的延遲時(shí)間的各自的布線長(zhǎng)度為相同。同樣，2個(gè)端子na、nb與短路連接點(diǎn)nc共同地連接，而且，設(shè)定成換算為信號(hào)的延遲時(shí)間的各自的布線長(zhǎng)度為相同。再者，將上述的各布線長(zhǎng)度對(duì)于全部的短路連接點(diǎn)設(shè)定成相同的長(zhǎng)度。
圖3是示出另一校準(zhǔn)板50B的布線狀態(tài)的圖。在圖3中，2個(gè)端子1a、nb與短路連接點(diǎn)1c共同地連接，而且，設(shè)定成換算為信號(hào)的延遲時(shí)間的各自的布線長(zhǎng)度為相同。此外，2個(gè)端子2a、1b與短路連接點(diǎn)2c共同地連接，而且，設(shè)定成換算為信號(hào)的延遲時(shí)間的各自的布線長(zhǎng)度為相同。同樣，2個(gè)端子na、2b與短路連接點(diǎn)nc共同地連接，而且，設(shè)定成換算為信號(hào)的延遲時(shí)間的各自的布線長(zhǎng)度為相同。再者，將上述的各布線長(zhǎng)度對(duì)于2種校準(zhǔn)板50A、50B的全部的短路連接點(diǎn)設(shè)定成相同的長(zhǎng)度。
本實(shí)施形態(tài)的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置具有這樣的結(jié)構(gòu)，其次，說明使用了該結(jié)構(gòu)的校準(zhǔn)工作。
圖4是示出本實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)工作次序的流程圖。在性能板30上放置了一個(gè)校準(zhǔn)板50A后(步驟100)，測(cè)試器控制部12在該校準(zhǔn)板50A的每個(gè)短路連接點(diǎn)上以選通信號(hào)為基準(zhǔn)，調(diào)整時(shí)鐘信號(hào)的相位(步驟101)。
在上述的步驟101中，一邊使時(shí)鐘信號(hào)的上升時(shí)刻稍微變化，一邊輸出選通信號(hào)(上升)并觀察進(jìn)行了比較器的比較工作時(shí)的輸出信號(hào)的電平，通過求出比較器的輸出信號(hào)的電平正好倒相時(shí)的時(shí)鐘信號(hào)的相位，來進(jìn)行時(shí)鐘信號(hào)的相位調(diào)整。
圖5是示出在半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體10上經(jīng)性能板(PB)30放置了校準(zhǔn)板(CB)50A的狀態(tài)的圖。在圖5中，Tx1～Txn表示由從各驅(qū)動(dòng)器的輸出端到校準(zhǔn)板50A的端子為止的布線產(chǎn)生的延遲時(shí)間，Ty1～Tyn表示由從校準(zhǔn)板50A的端子到各比較器的輸入端為止的布線產(chǎn)生的延遲時(shí)間，Ta表示由校準(zhǔn)板50A內(nèi)的各布線產(chǎn)生的延遲時(shí)間。例如，假定將Tx1～Txn、Ty1～Tyn全部設(shè)定為相同的值。
如圖5中所示，在對(duì)各驅(qū)動(dòng)器DR1～DRn供給時(shí)鐘信號(hào)的路徑中為了調(diào)整該時(shí)鐘信號(hào)的相位(變化時(shí)序)而設(shè)置了延遲元件T。通過使各延遲元件T的元件常數(shù)為可變，可任意地且獨(dú)立地調(diào)整時(shí)鐘信號(hào)對(duì)于各驅(qū)動(dòng)器DR1～DRn的相位。同樣，在對(duì)各比較器CP1～CPn供給選通信號(hào)的路徑中為了調(diào)整該選通信號(hào)的相位而設(shè)置了延遲元件T。通過使各延遲元件T的元件常數(shù)為可變，可任意地且獨(dú)立地調(diào)整選通信號(hào)對(duì)于各比較器CP1～CPn的相位(變化時(shí)序)。
再有，在本實(shí)施形態(tài)和第2實(shí)施形態(tài)以后的各實(shí)施形態(tài)中，說明了從校準(zhǔn)板的各端子到驅(qū)動(dòng)器的輸出端和比較器的輸入端為止的布線長(zhǎng)度全部相同的情況，但也可使這些布線長(zhǎng)度不同，同時(shí)用上述的延遲元件T來調(diào)整各布線長(zhǎng)度的差。
圖6是示出在上述的步驟101中被實(shí)施的時(shí)鐘信號(hào)的相位的調(diào)整工作的概略的圖。此外，圖7是示出圖6中示出的時(shí)鐘信號(hào)的相位的調(diào)整工作的細(xì)節(jié)的圖。在圖7中，與各時(shí)鐘信號(hào)對(duì)應(yīng)地示出的「DR」、「短路連接點(diǎn)」、「CP」表示與各時(shí)鐘信號(hào)對(duì)應(yīng)地從驅(qū)動(dòng)器輸出的信號(hào)通過或到達(dá)的時(shí)刻。例如，如果著眼于時(shí)鐘信號(hào)CLK1，則在用「DR」示出的時(shí)刻處與該時(shí)鐘信號(hào)CLK1對(duì)應(yīng)地從驅(qū)動(dòng)器DR1輸出信號(hào)。該信號(hào)在用「短路連接點(diǎn)」示出的時(shí)刻處到達(dá)短路連接點(diǎn)(器件插座端)，再者，在用「CP」示出的時(shí)刻處到達(dá)比較器CP1。再有，圖6著眼于在圖7中用「CP」示出的時(shí)刻，省略了除此以外的部分。
首先，測(cè)試器控制部12著眼于短路連接點(diǎn)1c，在固定了對(duì)比較器CP1輸入的選通信號(hào)STB1的相位(進(jìn)行比較工作的時(shí)刻)的狀態(tài)下，使對(duì)驅(qū)動(dòng)器DR1輸入的時(shí)鐘信號(hào)CLK1的相位可變，調(diào)整為與該時(shí)鐘信號(hào)CLK1對(duì)應(yīng)地從驅(qū)動(dòng)器DR1輸出的信號(hào)在經(jīng)由短路連接點(diǎn)1c和端子1b輸入到比較器CP1中時(shí)上升。其次，測(cè)試器控制部12著眼于短路連接點(diǎn)2c，在固定了對(duì)比較器CP2輸入的選通信號(hào)STB2的相位(進(jìn)行比較工作的時(shí)刻)的狀態(tài)下，使對(duì)驅(qū)動(dòng)器DR2輸入的時(shí)鐘信號(hào)CLK2的相位可變，調(diào)整為與該時(shí)鐘信號(hào)CLK2對(duì)應(yīng)地從驅(qū)動(dòng)器DR2輸出的信號(hào)在經(jīng)由短路連接點(diǎn)2c和端子2b輸入到比較器CP2中時(shí)上升。這樣，測(cè)試器控制部12分別著眼于短路連接點(diǎn)nc，在固定了對(duì)比較器CPi(i＝1、2、...、n)輸入的選通信號(hào)STBi的相位(進(jìn)行比較工作的時(shí)刻)的狀態(tài)下，使對(duì)驅(qū)動(dòng)器DRi輸入的時(shí)鐘信號(hào)CLKi的相位可變，調(diào)整為與該時(shí)鐘信號(hào)CLKi對(duì)應(yīng)地從驅(qū)動(dòng)器DRi輸出的信號(hào)在經(jīng)由短路連接點(diǎn)ic和端子ib輸入到比較器CPi中時(shí)上升。
這樣，如果使用一個(gè)校準(zhǔn)板50A結(jié)束了與全部的短路連接點(diǎn)1c～nc對(duì)應(yīng)的時(shí)鐘信號(hào)CLK1～CLKn的相位調(diào)整，則接著放置另一個(gè)校準(zhǔn)板50B(步驟102)。再有，考慮用手動(dòng)進(jìn)行步驟100、102中的校準(zhǔn)板50A、50B的放置的情況和使用專用的自動(dòng)裝置等來謀求作業(yè)的自動(dòng)化的情況。
圖8是示出在半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體10上放置了校準(zhǔn)板50B的狀態(tài)的圖。
其次，測(cè)試器控制部12在校準(zhǔn)板50B的每個(gè)短路連接點(diǎn)上利用測(cè)定取得選通信號(hào)的相位差(步驟103)。
圖9是示出在步驟103中被實(shí)施的選通信號(hào)的相位差取得工作的概略的圖。首先，測(cè)試器控制部12著眼于校準(zhǔn)板50B的短路連接點(diǎn)1c，以對(duì)驅(qū)動(dòng)器DR1輸入的時(shí)鐘信號(hào)CLK1的相位為基準(zhǔn)(準(zhǔn)確地說，以與該時(shí)鐘信號(hào)CLK1對(duì)應(yīng)地從驅(qū)動(dòng)器DR1輸出的信號(hào)在比較器CPn的輸入端處上升的時(shí)刻為基準(zhǔn))，測(cè)定對(duì)比較器CPn輸入的選通信號(hào)STBn的相位差Tn。在固定了時(shí)鐘信號(hào)CLK1的相位的狀態(tài)下，通過在規(guī)定的范圍內(nèi)對(duì)選通信號(hào)STBn的相位進(jìn)行掃描，可進(jìn)行該測(cè)定。具體地說，在固定了與時(shí)鐘信號(hào)CLK1對(duì)應(yīng)地從驅(qū)動(dòng)器DR1輸出并經(jīng)由短路連接點(diǎn)1c輸入到比較器CPn中的信號(hào)的上升時(shí)刻的狀態(tài)下，使選通信號(hào)STBn的輸出時(shí)刻稍微變化，直到比較器CPn的輸出信號(hào)的電平倒相為止。以這種方式使選通信號(hào)STBn的相位變化時(shí)的變化量相當(dāng)于打算測(cè)定的選通信號(hào)STBn的相位差Tn。
其次，測(cè)試器控制部12著眼于校準(zhǔn)板50B的短路連接點(diǎn)2c，以對(duì)驅(qū)動(dòng)器DR2輸入的時(shí)鐘信號(hào)CLK2的相位為基準(zhǔn)，測(cè)定對(duì)比較器CP1輸入的選通信號(hào)STB1的相位差T1。這樣，測(cè)試器控制部12著眼于到校準(zhǔn)板50B的短路連接點(diǎn)nc為止的每個(gè)連接點(diǎn)，以對(duì)與一個(gè)相鄰的組對(duì)應(yīng)的各驅(qū)動(dòng)器DRi(i＝1、2、...、n)輸入的時(shí)鐘信號(hào)CLKi的相位為基準(zhǔn)，測(cè)定對(duì)比較器CPj(j＝n、1、2、...、n-1)輸入的選通信號(hào)STBj的相位差Tj。
這樣，使用另一校準(zhǔn)板50B就取得了全部的選通信號(hào)STB1～STBn的相對(duì)的相位差。
其次，測(cè)試器控制部12使用已取得的各選通信號(hào)STB1～STBn的相位差，決定選通信號(hào)的校正值(步驟104)。具體地說，在步驟103中的各選通信號(hào)的相位差取得工作中，由于知道對(duì)分別與鄰接的2個(gè)短路連接點(diǎn)對(duì)應(yīng)的2個(gè)比較器輸入的2個(gè)選通信號(hào)的相位的相對(duì)的偏移，故通過以對(duì)與某個(gè)短路連接點(diǎn)對(duì)應(yīng)的比較器輸入的選通信號(hào)的相位為基準(zhǔn)，可決定為了使對(duì)另一比較器輸入的選通信號(hào)的相位與該成為基準(zhǔn)的選通信號(hào)的相位一致所必要的校正值。其后，測(cè)試器控制部12使用已決定的校正值進(jìn)行對(duì)各比較器CP1～CPn輸入的選通信號(hào)STB1～STBn的相位校正(步驟105)。
圖10是示出在步驟104、105中被實(shí)施的選通信號(hào)的校正值決定工作和校正工作的概略的圖。例如，在以選通信號(hào)STB1的相位(輸出時(shí)刻)為基準(zhǔn)時(shí)的選通信號(hào)STB2的相位差為T1時(shí)，測(cè)試器控制部12通過使選通信號(hào)STB2的相位錯(cuò)開T1，使該選通信號(hào)STB2的相位與選通信號(hào)STB1一致。由此，可使與選通信號(hào)STB1同步的比較器CP1的比較工作的時(shí)序與與選通信號(hào)STB2同步的比較器CP2的比較工作的時(shí)序一致。
同樣，在以選通信號(hào)STB1的相位(輸出時(shí)刻)為基準(zhǔn)時(shí)的選通信號(hào)STBn的相位差為T1+T2時(shí)，測(cè)試器控制部12通過使選通信號(hào)STBn的相位錯(cuò)開T1+T2，使該選通信號(hào)STBn的相位與選通信號(hào)STB1的相位一致。這樣，可使全部的比較器的比較工作的時(shí)序一致。
其次，測(cè)試器控制部12進(jìn)行對(duì)各驅(qū)動(dòng)器DR1～DRn輸入的時(shí)鐘信號(hào)CLK1～CLKn的相位校正(步驟106)。使用對(duì)與各驅(qū)動(dòng)器對(duì)應(yīng)的比較器輸入的選通信號(hào)的相位的校正值來進(jìn)行該校正。
圖11是示出在步驟106中被實(shí)施的時(shí)鐘信號(hào)的相位的校正工作的概略的圖。首先，測(cè)試器控制部12校正與該選通信號(hào)STB2對(duì)應(yīng)的時(shí)鐘信號(hào)CLK2的相位，以便在步驟105中與校正結(jié)束了的選通信號(hào)STB2的相位一致。同樣，測(cè)試器控制部12校正到對(duì)應(yīng)的時(shí)鐘信號(hào)CLKn為止的各相位，以便與到選通信號(hào)STBn為止的各自的相位一致。這樣，與各時(shí)鐘信號(hào)的上升同步地可使從各驅(qū)動(dòng)器輸出的信號(hào)上升的時(shí)序互相一致。
這樣，在本實(shí)施形態(tài)的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置中，首先通過使用一個(gè)校準(zhǔn)板50A，在每個(gè)器件插座端上以選通信號(hào)為基準(zhǔn)進(jìn)行調(diào)整時(shí)鐘信號(hào)的相位的工作。其次，通過使用另一校準(zhǔn)板50B，在測(cè)定了鄰接的短路連接點(diǎn)上的2個(gè)選通信號(hào)的相位之差后，以與某一個(gè)短路連接點(diǎn)對(duì)應(yīng)的時(shí)鐘信號(hào)和選通信號(hào)為基準(zhǔn)，進(jìn)行其它的選通信號(hào)和時(shí)鐘信號(hào)的相位校正。因而，在本實(shí)施形態(tài)的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)工作中，由于沒有必要使探針與每個(gè)短路連接點(diǎn)接觸，只是單單放置校準(zhǔn)板50B、50B即可，故可簡(jiǎn)化在校準(zhǔn)工作中必要的作業(yè)內(nèi)容。此外，不需要用于校準(zhǔn)工作的另外的基準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)器/比較器部或重復(fù)進(jìn)行探針的接觸或移動(dòng)的專用的自動(dòng)裝置等的特殊的結(jié)構(gòu)，故可謀求大幅度的成本下降。再者，由于在校準(zhǔn)工作結(jié)束之前伴隨機(jī)械的運(yùn)動(dòng)的工作只是校準(zhǔn)板50A、50B的放置，故與以往那樣以短路連接點(diǎn)的數(shù)目重復(fù)進(jìn)行探針的移動(dòng)和接觸的情況相比，可大幅度地減少作業(yè)時(shí)間。
再有，在上述的實(shí)施形態(tài)中，首先通過最初使用一個(gè)校準(zhǔn)板50A，以各選通信號(hào)為基準(zhǔn)來調(diào)整時(shí)鐘信號(hào)的相位，但也可反過來以各時(shí)鐘信號(hào)的相位為基準(zhǔn)來調(diào)整選通信號(hào)的相位。此外，在使用另一校準(zhǔn)板50B調(diào)整了選通信號(hào)的相位后(圖4的步驟105)，調(diào)整了時(shí)鐘信號(hào)的相位(圖4的步驟106)，但也可調(diào)換該順序。
〔第2實(shí)施形態(tài)〕在上述的實(shí)施形態(tài)中，按順序使用2種校準(zhǔn)板50A、50B來進(jìn)行校準(zhǔn)工作，但也可使用兼?zhèn)溥@2種校準(zhǔn)板50A、50B的功能的1種校準(zhǔn)板以節(jié)省更換校準(zhǔn)板的時(shí)間。
圖12、圖13是示出兼?zhèn)洳季€內(nèi)容不同的2種校準(zhǔn)板50A、50B的功能的第2實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)板50C的結(jié)構(gòu)的圖，示出了經(jīng)性能板30連接到半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體10上的狀態(tài)。在這些圖中示出的校準(zhǔn)板50C與各短路連接點(diǎn)相對(duì)應(yīng)，具備2個(gè)轉(zhuǎn)換開關(guān)。
具體地說，與短路連接點(diǎn)1c對(duì)應(yīng)地在該短路連接點(diǎn)1c的附近設(shè)置了轉(zhuǎn)換開關(guān)1e，在與比較器CP1對(duì)應(yīng)的端子1b附近設(shè)置了轉(zhuǎn)換開關(guān)1d。通過轉(zhuǎn)換該轉(zhuǎn)換開關(guān)1d，可以有選擇地將端子1b連接到短路連接點(diǎn)1c、2c的某一方上。此外，通過轉(zhuǎn)換轉(zhuǎn)換開關(guān)1e，可以有選擇地實(shí)現(xiàn)將短路連接點(diǎn)1c共同地連接到端子1a、1b的狀態(tài)和將短路連接點(diǎn)1c共同地連接到端子1a、nb的狀態(tài)。關(guān)于其它的轉(zhuǎn)換開關(guān)2d等也是同樣的。再有，將各短路連接點(diǎn)1c～nc的每一個(gè)與各端子1a、1b等之間的布線長(zhǎng)度設(shè)定為信號(hào)的延遲時(shí)間全部相等。
如圖12、圖13中所示，通過轉(zhuǎn)換各轉(zhuǎn)換開關(guān)1d等，可有選擇地實(shí)現(xiàn)2種校準(zhǔn)板50A、50B的布線內(nèi)容。因而，通過使用該校準(zhǔn)板50C轉(zhuǎn)換各轉(zhuǎn)換開關(guān)進(jìn)行校準(zhǔn)工作，不需要校準(zhǔn)板的更換作業(yè)，可進(jìn)一步簡(jiǎn)化作業(yè)內(nèi)容、降低成本、減少作業(yè)時(shí)間。
〔第3實(shí)施形態(tài)〕但是，在上述的各實(shí)施形態(tài)中，組合了1個(gè)驅(qū)動(dòng)器和1個(gè)比較器來進(jìn)行校準(zhǔn)工作，但也可按每多個(gè)驅(qū)動(dòng)器和比較器將它們組合起來形成組，以各組為單位進(jìn)行校準(zhǔn)工作。
圖14是示出本實(shí)施形態(tài)中的為了進(jìn)行校準(zhǔn)工作而使用的一個(gè)校準(zhǔn)板150A的布線狀態(tài)的圖。再有，作為圖14中示出的m個(gè)短路連接點(diǎn)的器件插座端1g～mg與圖2中示出的校準(zhǔn)板50A的短路連接點(diǎn)1c～nc相對(duì)應(yīng)，在圖14中，將這些短路連接點(diǎn)按圖示的情況在校準(zhǔn)板150A內(nèi)進(jìn)行了描繪。但是，如果在圖2中示出的校準(zhǔn)板50A或圖14中示出的校準(zhǔn)板150A中只著眼于校準(zhǔn)工作，則由于各短路連接點(diǎn)不一定需要在外部露出，故也可如在圖14中圖示的那樣，將各短路連接點(diǎn)1g埋置于校準(zhǔn)板內(nèi)。
在圖14中，關(guān)于分別連接了n個(gè)驅(qū)動(dòng)器DR1～DRn的n個(gè)端子1a～na，每規(guī)定個(gè)數(shù)(例如3個(gè))集中為1組，形成了m個(gè)組。第1組(組1)包含了分別與驅(qū)動(dòng)器DR1～DR3對(duì)應(yīng)的端子1a～3a，將這些端子共同地連接到1個(gè)短路連接點(diǎn)1g上。第2組(組2)包含了分別與驅(qū)動(dòng)器DR4～DR6對(duì)應(yīng)的端子4a～6a，將這些端子共同地連接到1個(gè)短路連接點(diǎn)2g上。對(duì)于除此以外的端子也是同樣的，第m組(組m)包含了分別與驅(qū)動(dòng)器DRn-2～DRn對(duì)應(yīng)的端子(n-2)a～na，將這些端子共同地連接到1個(gè)短路連接點(diǎn)mg上。
同樣，關(guān)于分別連接了n個(gè)比較器CP1～CPn的n個(gè)端子1b～nb，每規(guī)定個(gè)數(shù)集中為1組，形成了m個(gè)組。第1組包含了分別與比較器CP1～CP3對(duì)應(yīng)的端子1b～3b，將這些端子共同地連接到1個(gè)短路連接點(diǎn)1g上。第2組包含了分別與比較器CP4～CP6對(duì)應(yīng)的端子4b～6b，將這些端子共同地連接到1個(gè)短路連接點(diǎn)2g上。對(duì)于除此以外的端子也是同樣的，第m組(組m)包含了分別與比較器CPn-2～CPn對(duì)應(yīng)的端子(n-2)b～nb，將這些端子共同地連接到1個(gè)短路連接點(diǎn)mg上。
這樣，在短路連接點(diǎn)1g～mg的每一個(gè)上連接了分別與3個(gè)驅(qū)動(dòng)器和3個(gè)比較器對(duì)應(yīng)的合計(jì)為6個(gè)的端子。再有，將連接各端子與短路連接點(diǎn)的布線設(shè)定為換算為信號(hào)的延遲時(shí)間的各自的布線長(zhǎng)度(時(shí)間長(zhǎng)度)全部相同。
圖15是示出本實(shí)施形態(tài)中的為了進(jìn)行校準(zhǔn)工作而使用的另一個(gè)校準(zhǔn)板150B的布線狀態(tài)的圖。
圖15中示出的校準(zhǔn)板150B對(duì)于圖14中示出的校準(zhǔn)板150A來說只在短路連接點(diǎn)1g～mg的每一個(gè)與連接到各驅(qū)動(dòng)器上的端子1a～na的對(duì)應(yīng)關(guān)系不同。具體地說，分別與第1組中包含的驅(qū)動(dòng)器DR1～DR3對(duì)應(yīng)的端子1a～3a共同地連接到在第m組中包含的短路連接點(diǎn)mg上。此外，分別與第2組中包含的驅(qū)動(dòng)器DR4～DR6對(duì)應(yīng)的端子4a～6a共同地連接到短路連接點(diǎn)1g上。這樣，將與各驅(qū)動(dòng)器對(duì)應(yīng)的端子與短路連接點(diǎn)的對(duì)應(yīng)關(guān)系設(shè)定為在每一組中均有所偏離。再有，在該校準(zhǔn)板150B中，也將連接各端子與短路連接點(diǎn)的布線設(shè)定為換算為信號(hào)的延遲時(shí)間的各自的布線長(zhǎng)度(時(shí)間長(zhǎng)度)全部相同。即，將連接在2個(gè)校準(zhǔn)板150A、150B中包含的各端子與短路連接點(diǎn)的布線的布線長(zhǎng)度設(shè)定為全部相同的長(zhǎng)度。
本實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)板150A、150B具有這樣的結(jié)構(gòu)，其次說明使用了該校準(zhǔn)板的校準(zhǔn)工作。再有，關(guān)于校準(zhǔn)板150A、150B以外，假定使用在第1實(shí)施形態(tài)中已說明的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體10、性能板30和工作站40等。
圖16是示出在進(jìn)行校準(zhǔn)工作之前的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置10中的時(shí)鐘信號(hào)和選通信號(hào)的初始狀態(tài)的圖。再有，在圖16中，與在第1實(shí)施形態(tài)中使用的圖6相同，著眼于從各驅(qū)動(dòng)器輸出的信號(hào)到達(dá)各比較器的時(shí)刻。如圖16中所示，在初始狀態(tài)下，與各時(shí)鐘信號(hào)CLK1～CLKn對(duì)應(yīng)地從各驅(qū)動(dòng)器輸出并輸入到比較器中的信號(hào)上升的時(shí)刻與對(duì)各比較器輸入選通信號(hào)STB1～STBn的時(shí)刻不一致。
圖17是示出本實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)工作次序的流程圖。在性能板30上放置一個(gè)校準(zhǔn)板150A后(步驟200)，測(cè)試器控制部12在該校準(zhǔn)板150A的每個(gè)組中以任意的時(shí)鐘信號(hào)為基準(zhǔn)，調(diào)整各選通信號(hào)的相位(步驟201)。
如上所述，在本說明書中，在考慮時(shí)鐘信號(hào)或選通信號(hào)的相位的調(diào)整的情況下，著眼于根據(jù)時(shí)鐘信號(hào)由驅(qū)動(dòng)器生成的信號(hào)輸入到比較器的時(shí)刻中的比較器的工作。因而，在步驟201中以任意的時(shí)鐘信號(hào)為基準(zhǔn)調(diào)整各選通信號(hào)的相位這一點(diǎn)無非是在對(duì)各組的任意的驅(qū)動(dòng)器輸入時(shí)鐘信號(hào)、從該驅(qū)動(dòng)器輸出的信號(hào)經(jīng)由短路連接點(diǎn)輸入到相同的組內(nèi)的各比較器中時(shí)使由比較器進(jìn)行比較工作的時(shí)刻與該已被輸入的信號(hào)上升的時(shí)刻相一致。
圖18是示出與步驟201對(duì)應(yīng)地進(jìn)行信號(hào)的輸入輸出的驅(qū)動(dòng)器和比較器的圖。在圖18中，對(duì)工作為有效的驅(qū)動(dòng)器或比較器加上影線。如圖18中所示，例如，在組1中，被輸入時(shí)鐘信號(hào)CLK1的驅(qū)動(dòng)器DR1的工作為有效，同時(shí)經(jīng)由短路連接點(diǎn)1g被輸入從該驅(qū)動(dòng)器DR1輸出的信號(hào)的3個(gè)比較器CP1～CP3的各工作為有效。對(duì)于其它的組來說，也是同樣的，其詳細(xì)的說明就從略了。
圖19是示出在步驟201中被實(shí)施的選通信號(hào)的相位調(diào)整工作的概略的圖。首先，測(cè)試器控制部12著眼于組1，在固定了對(duì)驅(qū)動(dòng)器DR1輸入的時(shí)鐘信號(hào)CLK1的相位的狀態(tài)下，即，在固定了經(jīng)由短路連接點(diǎn)1g分別對(duì)3個(gè)比較器CP1～CP3輸入的信號(hào)上升的時(shí)刻的狀態(tài)下，通過使選通信號(hào)STB1～STB3的相位可變以找出比較器CP1～CP3的各自的輸出電平倒相的位置，以時(shí)鐘信號(hào)CLK1為基準(zhǔn)調(diào)整各選通信號(hào)STB1～STB3的相位。其次，測(cè)試器控制部12著眼于組2，在固定了對(duì)驅(qū)動(dòng)器DR4輸入的時(shí)鐘信號(hào)CLK4的相位的狀態(tài)下，即，在固定了經(jīng)由短路連接點(diǎn)2g分別對(duì)3個(gè)比較器CP4～CP6輸入的信號(hào)上升的時(shí)刻的狀態(tài)下，通過使選通信號(hào)STB4～STB6的相位可變以找出比較器CP4～CP6的各自的輸出電平倒相的位置，以時(shí)鐘信號(hào)CLK4為基準(zhǔn)調(diào)整各選通信號(hào)STB4～STB6的相位。這樣，測(cè)試器控制部12著眼于各組，在固定了對(duì)任意的驅(qū)動(dòng)器輸入的時(shí)鐘信號(hào)的相位的狀態(tài)下，通過使選通信號(hào)的相位可變以找出3個(gè)比較器的各自的輸出電平倒相的位置，以時(shí)鐘信號(hào)為基準(zhǔn)調(diào)整各選通信號(hào)的相位。
這樣，在每個(gè)組中進(jìn)行選通信號(hào)的相位調(diào)整。但是，由于與該相位調(diào)整中使用的各組對(duì)應(yīng)的時(shí)鐘信號(hào)的相位(與各時(shí)鐘信號(hào)對(duì)應(yīng)的信號(hào)在各比較器的輸入端上升的時(shí)刻)彼此不一致，故在該階段中不同的組的各選通信號(hào)的相位彼此不一致。此外，進(jìn)行選通信號(hào)的相位調(diào)整的組的順序不一定需要從組1開始順序地進(jìn)行，也可按任意的順序或并行地進(jìn)行。
其次，測(cè)試器控制部12在校準(zhǔn)板150A的每個(gè)組中以任意的選通信號(hào)為基準(zhǔn)，調(diào)整各時(shí)鐘信號(hào)的相位(步驟202)。在此，以任意的選通信號(hào)為基準(zhǔn)調(diào)整各時(shí)鐘信號(hào)的相位這一點(diǎn)無非是在固定了對(duì)某一個(gè)比較器輸入的選通信號(hào)的相位的狀態(tài)下，調(diào)整各時(shí)鐘信號(hào)的相位，使得從各驅(qū)動(dòng)器輸出的信號(hào)的上升時(shí)刻與由該比較器進(jìn)行的比較工作的時(shí)刻相一致。
圖20是示出與步驟202對(duì)應(yīng)地進(jìn)行信號(hào)的輸入輸出的驅(qū)動(dòng)器和比較器的圖。如圖20中所示，例如組1中，3個(gè)驅(qū)動(dòng)器DR1～DR3的工作為有效，同時(shí)經(jīng)由短路連接點(diǎn)1g有選擇地被輸入從這些驅(qū)動(dòng)器DR1～DR3的輸出信號(hào)的比較器CP1的工作為有效。對(duì)于其它的組來說，也是同樣的，其詳細(xì)的說明就從略了。
圖21是示出在步驟202中被實(shí)施的選通信號(hào)的相位調(diào)整工作的概略的圖。首先，測(cè)試器控制部12著眼于組1，在固定了對(duì)比較器CP1輸入的選通信號(hào)STB1的相位的狀態(tài)下，即，在固定了由比較器CP1進(jìn)行的比較工作的時(shí)刻的狀態(tài)下，調(diào)整時(shí)鐘信號(hào)CLK2的相位，使得從驅(qū)動(dòng)器DR2輸出并輸入到比較器CP1中的信號(hào)上升的時(shí)刻與該比較器CP1的比較時(shí)刻相一致。如果結(jié)束了與驅(qū)動(dòng)器DR2對(duì)應(yīng)的相位調(diào)整，則對(duì)于驅(qū)動(dòng)器DR3來說也同樣地進(jìn)行時(shí)鐘信號(hào)CLK3的相位調(diào)整。其次，測(cè)試器控制部12著眼于組2，在固定了對(duì)比較器CP4輸入的選通信號(hào)STB4的相位的狀態(tài)下，即，在固定了由比較器CP4進(jìn)行的比較工作的時(shí)刻的狀態(tài)下，調(diào)整時(shí)鐘信號(hào)CLK5的相位，使得從驅(qū)動(dòng)器DR5輸出并輸入到比較器CP4中的信號(hào)上升的時(shí)刻與該比較器CP4的比較時(shí)刻相一致。如果結(jié)束了與驅(qū)動(dòng)器DR5對(duì)應(yīng)的相位調(diào)整，則對(duì)于驅(qū)動(dòng)器DR6來說也同樣地進(jìn)行時(shí)鐘信號(hào)CLK6的相位調(diào)整。這樣，測(cè)試器控制部12著眼于各組，在固定了對(duì)任意的比較器輸入的選通信號(hào)的相位的狀態(tài)下，通過使輸入到各驅(qū)動(dòng)器中的時(shí)鐘信號(hào)的相位可變而使3個(gè)驅(qū)動(dòng)器的各自的輸出上升的時(shí)刻與由比較器進(jìn)行比較工作的時(shí)刻相一致，來調(diào)整各時(shí)鐘信號(hào)的相位。
這樣，在每個(gè)組中進(jìn)行時(shí)鐘信號(hào)的相位調(diào)整。但是，由于在該相位調(diào)整中使用的各組的選通信號(hào)的相位彼此不一致，故在該階段中不同的組的各時(shí)鐘信號(hào)的相位彼此不一致。此外，進(jìn)行選通信號(hào)的相位調(diào)整的組的順序不一定需要從組1開始順序地進(jìn)行，也可按任意的順序或并行地進(jìn)行。
這樣，如果結(jié)束了使用一個(gè)校準(zhǔn)板150A在每個(gè)組中調(diào)整與各組中包含的全部的驅(qū)動(dòng)器和比較器對(duì)應(yīng)的時(shí)鐘信號(hào)和選通信號(hào)的相位的工作，則接著放置另一校準(zhǔn)板150B(步驟203)。再有，考慮用手動(dòng)進(jìn)行步驟200、203中的校準(zhǔn)板150A、150B的放置的情況和使用專用的自動(dòng)裝置等來謀求作業(yè)的自動(dòng)化的情況。
其次，測(cè)試器控制部12在每個(gè)組中以與任意的驅(qū)動(dòng)器對(duì)應(yīng)的時(shí)鐘信號(hào)為基準(zhǔn)，利用測(cè)量取得與組內(nèi)包含的比較器對(duì)應(yīng)的各選通信號(hào)的相位差(步驟204)。由此，可得到各組間的選通信號(hào)的相位差。
圖22是示出與步驟204對(duì)應(yīng)地進(jìn)行信號(hào)的輸入輸出的驅(qū)動(dòng)器和比較器的圖。如圖22中所示，例如，在組1中，3個(gè)比較器CP1～CP3的工作為有效，為了測(cè)定與這3個(gè)比較器CP1～CP3對(duì)應(yīng)的選通信號(hào)STB1～STB3的相位差，組2中包含的驅(qū)動(dòng)器DR4的工作為有效。對(duì)于其它的組來說，也是同樣的，其詳細(xì)的說明就從略了。
圖23是示出在步驟204中被實(shí)施的選通信號(hào)的相位差測(cè)定工作的概略的圖。首先，測(cè)試器控制部12以與組2中包含的驅(qū)動(dòng)器DR4對(duì)應(yīng)的時(shí)鐘信號(hào)CLK4為基準(zhǔn)，測(cè)定與組1中包含的比較器CP1～CP3對(duì)應(yīng)的各選通信號(hào)STB1～STB3的相位差T1。具體地說，在固定了對(duì)比較器CP1～CP3輸入的選通信號(hào)STB1～STB3的相位的狀態(tài)下，即固定了3個(gè)比較器CP1～CP3的比較工作的時(shí)刻的狀態(tài)下，通過使與驅(qū)動(dòng)器DR4對(duì)應(yīng)的時(shí)鐘信號(hào)CLK4的相位可變以找出比較器CP1～CP3的各自的輸出倒相的位置，將時(shí)鐘信號(hào)CLK4的相位的變化量作為相位差T1來測(cè)定。其次，測(cè)試器控制部12以與組3中包含的驅(qū)動(dòng)器DR7對(duì)應(yīng)的時(shí)鐘信號(hào)CLK7為基準(zhǔn)，測(cè)定與組2中包含的比較器CP4～CP6對(duì)應(yīng)的各選通信號(hào)STB4～STB6的相位差。這樣，測(cè)試器控制部12以與不同的組中包含的驅(qū)動(dòng)器對(duì)應(yīng)的時(shí)鐘信號(hào)為基準(zhǔn)，測(cè)定與各組中包含的比較器對(duì)應(yīng)的各選通信號(hào)的相位差。由此，可知道各組間的選通信號(hào)的相位的偏移。
再有，在上述的說明中，使時(shí)鐘信號(hào)的相位可變，但也可反過來在固定了時(shí)鐘信號(hào)的相位的狀態(tài)下使選通信號(hào)的相位可變。此外，利用上述的步驟201的相位調(diào)整，與各組中包含的比較器對(duì)應(yīng)的選通信號(hào)相互間的相位理應(yīng)達(dá)到一致，但在實(shí)際的測(cè)定時(shí)，往往產(chǎn)生離散性。因而，希望在每個(gè)組中通過對(duì)關(guān)于3個(gè)選通信號(hào)的每一個(gè)信號(hào)已被測(cè)定的相位差的值進(jìn)行平均，求出在每個(gè)組中進(jìn)行了平均的相位差?；蛘撸材芤耘c相同的組內(nèi)的另外的驅(qū)動(dòng)器對(duì)應(yīng)的時(shí)鐘信號(hào)為基準(zhǔn)，求出各選通信號(hào)的相位差并進(jìn)行平均。例如，在測(cè)定圖23中示出的相位差T1的情況下，也可使用時(shí)鐘信號(hào)CLK5、6。通過如此對(duì)測(cè)定結(jié)果進(jìn)行平均，可減少因測(cè)定結(jié)果的離散性而產(chǎn)生的校準(zhǔn)誤差，可實(shí)現(xiàn)因在校準(zhǔn)工作后進(jìn)行的測(cè)定作業(yè)中的測(cè)定誤差的均勻化而導(dǎo)致的測(cè)定精度的提高。
其次，使用已取得的各組間的選通信號(hào)的相位差，決定各選通信號(hào)的校正值(步驟205)。具體地說，在步驟204中的各組間的選通信號(hào)的相位差取得工作中，由于知道鄰接的2個(gè)組間的選通信號(hào)的相對(duì)的相位差，故通過以與一個(gè)組對(duì)應(yīng)的選通信號(hào)的相位為基準(zhǔn)，可決定為了使與另一組對(duì)應(yīng)的選通信號(hào)的相位與該成為基準(zhǔn)的選通信號(hào)的相位一致所必要的校正值。
其后，測(cè)試器控制部12使用已決定的校正值，進(jìn)行與各組對(duì)應(yīng)的選通信號(hào)的相位校正(步驟206)。
圖24是示出在步驟206中被實(shí)施的選通信號(hào)的相位校正的概略的圖。例如，測(cè)試器控制部12通過以步驟206中求出的校正值T1將與組2中包含的比較器CP4～CP6對(duì)應(yīng)的各選通信號(hào)STB4～STB6的相位校正為與組1中包含的比較器CP1～CP3對(duì)應(yīng)的各選通信號(hào)STB1～STB3的相位，可使這些選通信號(hào)STB1～STB6的相位達(dá)到一致。這樣，通過使用在步驟206中求出的校正值校正與各組的比較器對(duì)應(yīng)的選通信號(hào)的相位，可使全部的選通信號(hào)的相位達(dá)到一致。
其次，測(cè)試器控制部12進(jìn)行對(duì)各驅(qū)動(dòng)器DR1～DRn輸入的時(shí)鐘信號(hào)CLK1～CLKn的相位校正(步驟207)。以與各組內(nèi)的任意的比較器對(duì)應(yīng)的選通信號(hào)的相位為基準(zhǔn)進(jìn)行該校正。
圖25是示出與步驟207對(duì)應(yīng)地進(jìn)行信號(hào)的輸入輸出的驅(qū)動(dòng)器和比較器的圖。如圖25中所示，例如，在組1中，3個(gè)驅(qū)動(dòng)器DR1～DR3的工作為有效，為了進(jìn)行與這3個(gè)驅(qū)動(dòng)器DR1～DR3對(duì)應(yīng)的時(shí)鐘信號(hào)CLK1～CLK3的相位校正，在組m中包含的比較器CPn-2的工作為有效。對(duì)于其它的組來說，也是同樣的，其詳細(xì)的說明就從略了。
圖26是示出在步驟207中被實(shí)施的時(shí)鐘信號(hào)的校正工作的概略的圖。例如，測(cè)試器控制部12以與組1內(nèi)的比較器CP1對(duì)應(yīng)的選通信號(hào)為基準(zhǔn)，進(jìn)行分別與組2內(nèi)包含的3個(gè)驅(qū)動(dòng)器DR4～DR6對(duì)應(yīng)的時(shí)鐘信號(hào)CLK4～CLK6的相位校正。這樣，測(cè)試器控制部12以與不同的組中包含的任意的比較器對(duì)應(yīng)的選通信號(hào)為基準(zhǔn)，進(jìn)行與各組中包含的3個(gè)驅(qū)動(dòng)器對(duì)應(yīng)的時(shí)鐘信號(hào)的相位校正。由此，全部的時(shí)鐘信號(hào)與選通信號(hào)的相位達(dá)到一致。
這樣，在使用了校準(zhǔn)板150A、150B的本實(shí)施形態(tài)的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置中，首先通過最初使用一個(gè)校準(zhǔn)板150A，在每個(gè)組中進(jìn)行時(shí)鐘信號(hào)和選通信號(hào)的調(diào)整。其次，通過使用另一校準(zhǔn)板150B，測(cè)定組間的選通信號(hào)的相位差，根據(jù)該已被測(cè)定的相位差進(jìn)行消除組間的選通信號(hào)的相位差或時(shí)鐘信號(hào)的相位差的相位校正工作。因而，在本實(shí)施形態(tài)的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)工作中，由于沒有必要使探針接觸每個(gè)器件插座端，只是放置校準(zhǔn)板150A、150B即可，故可簡(jiǎn)化在校準(zhǔn)工作中必要的作業(yè)內(nèi)容。此外，不需要用于校準(zhǔn)工作的另外的基準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)器/比較器部或重復(fù)進(jìn)行探針的接觸或移動(dòng)的專用的自動(dòng)裝置等的特殊的結(jié)構(gòu)，可謀求大幅度的成本下降。此外，由于在校準(zhǔn)工作結(jié)束之前伴隨機(jī)械的運(yùn)動(dòng)的工作只是校準(zhǔn)板150A、150B的放置，故與以往那樣以器件插座端的數(shù)目重復(fù)進(jìn)行探針的移動(dòng)和接觸的情況相比，可大幅度地減少作業(yè)時(shí)間。再者，通過將驅(qū)動(dòng)器和比較器分成多個(gè)組并在每個(gè)組中使用已測(cè)定的相位差的數(shù)據(jù)，可減少因測(cè)定結(jié)果的離散性而產(chǎn)生的校準(zhǔn)誤差，可實(shí)現(xiàn)因在校準(zhǔn)工作后進(jìn)行的測(cè)定作業(yè)中的測(cè)定誤差的均勻化而導(dǎo)致的測(cè)定精度的提高。
再有，在上述的實(shí)施形態(tài)中，在圖17中示出的步驟201、202中，最初以任意的時(shí)鐘信號(hào)為基準(zhǔn)調(diào)整各選通信號(hào)的相位，其次調(diào)整各時(shí)鐘信號(hào)的相位，但也可最初以任意的選通信號(hào)為基準(zhǔn)調(diào)整各時(shí)鐘信號(hào)的相位，其次調(diào)整各選通信號(hào)的相位。
此外，在圖17中示出的步驟204中，以任意的時(shí)鐘信號(hào)為基準(zhǔn)取得各選通信號(hào)的相位差，但也可以任意的選通信號(hào)為基準(zhǔn)取得各時(shí)鐘信號(hào)的相位差。
此外，在使用校準(zhǔn)板150B調(diào)整了選通信號(hào)的相位后(圖17的步驟206)，調(diào)整了時(shí)鐘信號(hào)的相位(圖17的步驟207)，但也可調(diào)換該順序。
〔第4實(shí)施形態(tài)〕在上述的第3實(shí)施形態(tài)中，按順序使用2種校準(zhǔn)板150A、150B進(jìn)行校準(zhǔn)工作，但也可使用兼?zhèn)溥@2種校準(zhǔn)板150A、150B的功能的1種校準(zhǔn)板以節(jié)省更換的時(shí)間。
圖27、圖28是示出兼?zhèn)洳季€內(nèi)容不同的2種校準(zhǔn)板150A、150B的功能的第4實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)板150C的結(jié)構(gòu)的圖。在這些圖中示出的校準(zhǔn)板150C在每組中具備2個(gè)轉(zhuǎn)換開關(guān)。
具體地說，在共同地連接到與組1對(duì)應(yīng)的3個(gè)驅(qū)動(dòng)器DR1～DR3的各輸出端的端子1f的附近設(shè)置了轉(zhuǎn)換開關(guān)1j，在共同地連接到3個(gè)比較器CP1～CP3的各輸入端的端子1h的附近設(shè)置了轉(zhuǎn)換開關(guān)1k。同樣，在組2中設(shè)置了2個(gè)轉(zhuǎn)換開關(guān)2j、2k，...、在組m中設(shè)置了轉(zhuǎn)換開關(guān)mj、mk。
通過轉(zhuǎn)換轉(zhuǎn)換開關(guān)1j，可將與組1對(duì)應(yīng)的3個(gè)驅(qū)動(dòng)器DR1～DR3的各輸出端有選擇地連接到與相同的組1對(duì)應(yīng)的3個(gè)比較器CP1～CP3的各輸入端一側(cè)和與組m對(duì)應(yīng)的3個(gè)比較器CPn-2～CPn的各輸入端一側(cè)的某一方上。對(duì)于其它的轉(zhuǎn)換開關(guān)也是同樣的，可有選擇地實(shí)現(xiàn)2種連接狀態(tài)。再有，連接各驅(qū)動(dòng)器的輸出端與各比較器的輸入端之間的布線的布線長(zhǎng)度被設(shè)定為與各轉(zhuǎn)換開關(guān)的狀態(tài)無關(guān)、信號(hào)的延遲時(shí)間全部相等。
如圖27、圖28中所示，通過轉(zhuǎn)換各轉(zhuǎn)換開關(guān)1j、1k等，可有選擇地實(shí)現(xiàn)2種校準(zhǔn)板150A、150B的布線內(nèi)容。因而，通過使用該校準(zhǔn)板150C轉(zhuǎn)換各轉(zhuǎn)換開關(guān)來進(jìn)行校準(zhǔn)工作，不需要校準(zhǔn)板的更換作業(yè)，可進(jìn)一步簡(jiǎn)化作業(yè)內(nèi)容、降低成本、減少作業(yè)時(shí)間。
〔第5實(shí)施形態(tài)〕其次，說明使用了與上述的實(shí)施形態(tài)不同的布線內(nèi)容的校準(zhǔn)板的第5實(shí)施形態(tài)的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法。
圖29是示出一個(gè)校準(zhǔn)板250A的布線狀態(tài)的圖。再有，按圖示的情況在校準(zhǔn)板250A內(nèi)描繪了圖29中示出的短路連接點(diǎn)(器件插座端)e。
在圖29中，關(guān)于分別連接了n個(gè)驅(qū)動(dòng)器DR1～DRn的n個(gè)端子1a～na，每規(guī)定個(gè)數(shù)(例如3個(gè))集中為1組，形成了m個(gè)組。第1組(組1)包含了分別與驅(qū)動(dòng)器DR1～DR3對(duì)應(yīng)的端子1a～3a，在這些端子中只有端子1a共同地連接到短路連接點(diǎn)e上。第2組(組2)包含了分別與驅(qū)動(dòng)器DR4～DR6對(duì)應(yīng)的端子4a～6a，在這些端子中只有端子4a共同地連接到短路連接點(diǎn)e上。對(duì)于除此以外的端子，也是同樣的，第m組(組m)包含了分別與驅(qū)動(dòng)器DRn-2～DRn對(duì)應(yīng)的端子(n-2)a～na，在這些端子中只有端子(n-2)a共同地連接到短路連接點(diǎn)e上。
同樣，關(guān)于分別連接了n個(gè)比較器CP1～CPn的n個(gè)端子1b～nb，每規(guī)定個(gè)數(shù)集中為1組，形成了m個(gè)組。第1組包含了分別與比較器CP1～CP3對(duì)應(yīng)的端子1b～3b，在這些端子中只有端子1b連接到短路連接點(diǎn)e上。第2組包含了分別與比較器CP4～CP6對(duì)應(yīng)的端子4b～6b。對(duì)于除此以外的端子，也是同樣的，第m組(組m)包含了分別與比較器CPn-2～CPn對(duì)應(yīng)的端子(n-2)b～nb。
這樣，在校準(zhǔn)板250A中設(shè)置的唯一的短路連接點(diǎn)e被共同地連接到與各組中包含的3個(gè)驅(qū)動(dòng)器中的一個(gè)(將該驅(qū)動(dòng)器稱為「組內(nèi)共同驅(qū)動(dòng)器」)對(duì)應(yīng)的端子上，同時(shí)被連接到與組1中包含的3個(gè)比較器中的一個(gè)(將該比較器稱為「共同比較器」)對(duì)應(yīng)的端子上。再有，將連接各端子與短路連接點(diǎn)e的布線設(shè)定成換算為信號(hào)的延遲時(shí)間的各自的布線長(zhǎng)度(時(shí)間長(zhǎng)度)全部相同。
圖30是示出另一校準(zhǔn)板250B的布線狀態(tài)的圖。再有，與圖29中示出的短路連接點(diǎn)e相同，按圖示的情況在校準(zhǔn)板250B內(nèi)描繪了圖30中示出的m個(gè)短路連接點(diǎn)1g～mg。但是，由于各短路連接點(diǎn)不一定需要在外部露出，故也可如在圖30中圖示的那樣，將各短路連接點(diǎn)1g埋置于校準(zhǔn)板內(nèi)。在圖30中示出的另一校準(zhǔn)板250B中進(jìn)行了與圖14中示出的校準(zhǔn)板150A相同的布線，故其布線狀態(tài)的說明從略。
本實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)板250A、250B具有這樣的結(jié)構(gòu)，接著，說明使用了該校準(zhǔn)板的校準(zhǔn)工作。假定進(jìn)行校準(zhǔn)工作之前的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體10中的時(shí)鐘信號(hào)和選通信號(hào)處于例如圖16中示出的初始狀態(tài)。
圖31是示出本實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)工作次序的流程圖。在性能板30上放置了一個(gè)校準(zhǔn)板250A后(步驟300)，測(cè)試器控制部12以與該校準(zhǔn)板250A的比較器CP1對(duì)應(yīng)的選通信號(hào)STB1為基準(zhǔn)，調(diào)整與各組中包含的一個(gè)驅(qū)動(dòng)器(組內(nèi)共同驅(qū)動(dòng)器)DR1、DR4、...、DRn-2對(duì)應(yīng)的各時(shí)鐘信號(hào)CLK1、CLK4、...CLKn-2的相位(步驟301)。
在上述的步驟301中，由于必須調(diào)整以選通信號(hào)STB1為基準(zhǔn)的時(shí)鐘信號(hào)CLK1等的相位，故一邊使時(shí)鐘信號(hào)CLK1等的上升時(shí)刻稍微變化，一邊輸出選通信號(hào)STB1(上升)并觀察由比較器CP1進(jìn)行了比較工作時(shí)的比較器CP1的輸出信號(hào)的電平，通過求出比較器CP1的輸出信號(hào)的電平正好倒相時(shí)的時(shí)鐘信號(hào)CLK1等的相位，來進(jìn)行時(shí)鐘信號(hào)CLK1等的相位調(diào)整。對(duì)于各時(shí)鐘信號(hào)CLK1、CLK4、...CLKn-2按順序進(jìn)行該工作。
圖32是示出與步驟301對(duì)應(yīng)地進(jìn)行信號(hào)的輸入輸出的驅(qū)動(dòng)器和比較器的圖。在圖32中，對(duì)工作為有效的驅(qū)動(dòng)器或比較器加上影線。如圖32中所示，例如，在組1中，被輸入時(shí)鐘信號(hào)CLK1的驅(qū)動(dòng)器DR1的工作為有效，同時(shí)經(jīng)由短路連接點(diǎn)e被輸入從該驅(qū)動(dòng)器DR1輸出的信號(hào)的比較器CP1的工作為有效。此外，在其它的組中，被輸入時(shí)鐘信號(hào)的一個(gè)驅(qū)動(dòng)器的工作為有效。例如，在組2中，驅(qū)動(dòng)器DR4的工作為有效，在組m中，驅(qū)動(dòng)器DRn-2的工作為有效。
圖33是示出在步驟301中被實(shí)施的時(shí)鐘信號(hào)的相位調(diào)整工作的概略的圖。首先，測(cè)試器控制部12著眼于組1的驅(qū)動(dòng)器DR1，在固定了對(duì)比較器CP1輸入的選通信號(hào)STB1的相位的狀態(tài)下，即，在固定了由比較器CP1進(jìn)行的比較工作的時(shí)刻的狀態(tài)下，通過使時(shí)鐘信號(hào)CLK1的相位可變以找出比較器CP1的輸出電平倒相的位置，來調(diào)整時(shí)鐘信號(hào)CLK1的相位。其次，測(cè)試器控制部12著眼于組2的驅(qū)動(dòng)器DR4，在固定了對(duì)比較器CP1輸入的選通信號(hào)STB1的相位的狀態(tài)下，通過使時(shí)鐘信號(hào)CLK4的相位可變以找出比較器CP1的輸出電平倒相的位置，來調(diào)整時(shí)鐘信號(hào)CLK4的相位。這樣，測(cè)試器控制部12著眼于各組中包含的一個(gè)驅(qū)動(dòng)器，在固定了對(duì)比較器CP1輸入的選通信號(hào)STB1的相位的狀態(tài)下，通過使對(duì)各自的驅(qū)動(dòng)器輸入的時(shí)鐘信號(hào)的相位可變以找出比較器CP1的輸出電平倒相的位置，來調(diào)整各時(shí)鐘信號(hào)的相位。
這樣，以共同的選通信號(hào)STB1為基準(zhǔn)在每個(gè)組中進(jìn)行調(diào)整一個(gè)時(shí)鐘信號(hào)的相位的工作。再有，進(jìn)行時(shí)鐘信號(hào)的相位調(diào)整的組的順序不一定需要從組1開始順序地進(jìn)行，也能以任意的順序進(jìn)行。
這樣，如果使用一個(gè)校準(zhǔn)板250A，在每個(gè)組中結(jié)束了以輸入到共同比較器CP1中的選通信號(hào)STB1為基準(zhǔn)調(diào)整對(duì)各組中包含的一個(gè)組內(nèi)共同驅(qū)動(dòng)器輸入的時(shí)鐘信號(hào)的工作，則接著放置另一校準(zhǔn)板250B(步驟302)。再有，考慮用手動(dòng)進(jìn)行步驟300、302中的校準(zhǔn)板250A、250B的放置的情況和使用專用的自動(dòng)裝置等來謀求作業(yè)的自動(dòng)化的情況。
其次，測(cè)試器控制部12在該校準(zhǔn)板250B的每組中以結(jié)束了相位調(diào)整的時(shí)鐘信號(hào)為基準(zhǔn)，調(diào)整各選通信號(hào)的相位(步驟303)。
圖34是示出與步驟303對(duì)應(yīng)地進(jìn)行信號(hào)的輸入輸出的驅(qū)動(dòng)器和比較器的圖。如圖34中所示，被輸入時(shí)鐘信號(hào)CLK1的驅(qū)動(dòng)器DR1的工作為有效，同時(shí)經(jīng)由短路連接點(diǎn)1g被輸入從該驅(qū)動(dòng)器DR1輸出的信號(hào)的比較器CP2、CP3的工作為有效。此外，在組2中，被輸入時(shí)鐘信號(hào)CLK4的驅(qū)動(dòng)器DR4的工作為有效，同時(shí)經(jīng)由短路連接點(diǎn)2g被輸入從該驅(qū)動(dòng)器DR4輸出的信號(hào)的3個(gè)比較器CP4～CP6的各工作為有效。對(duì)于其它的組來說，基本上與組2相同，其詳細(xì)的說明就從略了。
圖35是示出在步驟303中被實(shí)施的選通信號(hào)的相位調(diào)整工作的概略的圖。首先，測(cè)試器控制部12著眼于組1，在固定了對(duì)驅(qū)動(dòng)器DR1輸入的時(shí)鐘信號(hào)CLK1的相位的狀態(tài)下，即，在固定了經(jīng)由短路連接點(diǎn)1g分別對(duì)2個(gè)比較器CP2、CP3輸入的信號(hào)上升的時(shí)刻的狀態(tài)下，通過使選通信號(hào)STB2、STB3的相位可變以找出比較器CP2、CP3各自的輸出電平倒相的位置，以時(shí)鐘信號(hào)CLK1為基準(zhǔn)，調(diào)整各選通信號(hào)STB2、STB3的相位。其次，測(cè)試器控制部12著眼于組2，在固定了對(duì)驅(qū)動(dòng)器DR4輸入的時(shí)鐘信號(hào)CLK4的相位的狀態(tài)下，即，在固定了經(jīng)由短路連接點(diǎn)2g分別對(duì)3個(gè)比較器CP4～CP6輸入的信號(hào)上升的時(shí)刻的狀態(tài)下，通過使選通信號(hào)STB4～STB6的相位可變以找出比較器CP4～CP6各自的輸出電平倒相的位置，以時(shí)鐘信號(hào)CLK4為基準(zhǔn)，調(diào)整各選通信號(hào)STB4～STB6的相位。關(guān)于組3～m，也與組2相同，測(cè)試器控制部12在每個(gè)組中在固定了相位調(diào)整已結(jié)束的一個(gè)時(shí)鐘信號(hào)的相位的狀態(tài)下，通過使選通信號(hào)的相位可變來找出3個(gè)比較器的各自的輸出電平倒相的位置，以一個(gè)時(shí)鐘信號(hào)為基準(zhǔn)，調(diào)整各選通信號(hào)的相位。
這樣，在每個(gè)組中進(jìn)行選通信號(hào)的相位調(diào)整。再有，進(jìn)行選通信號(hào)的相位調(diào)整的組的順序不一定需要從組1開始順序地進(jìn)行，也能以任意的順序或并行地進(jìn)行。
其次，測(cè)試器控制部12在每個(gè)組中以任意的選通信號(hào)為基準(zhǔn)，調(diào)整各時(shí)鐘信號(hào)的相位(步驟304)。
圖36是示出與步驟304對(duì)應(yīng)地進(jìn)行信號(hào)的輸入輸出的驅(qū)動(dòng)器和比較器的圖。如圖36中所示，例如，在組1中，被輸入相位調(diào)整沒有結(jié)束的2個(gè)時(shí)鐘信號(hào)CLK2、CLK3的驅(qū)動(dòng)器DR2、DR3的工作為有效，同時(shí)經(jīng)由短路連接點(diǎn)1g被輸入從這些驅(qū)動(dòng)器DR2、DR3輸出的信號(hào)的比較器CP1的工作為有效。對(duì)于其它的組來說，也是同樣的，其詳細(xì)的說明就從略了。
圖37是示出在步驟304中被實(shí)施的時(shí)鐘信號(hào)的相位調(diào)整工作的概略的圖。首先，測(cè)試器控制部12著眼于組1，在固定了對(duì)比較器CP1輸入的選通信號(hào)STB1的相位的狀態(tài)下，即，在固定了由比較器CP1進(jìn)行的比較工作的時(shí)刻的狀態(tài)下，調(diào)整時(shí)鐘信號(hào)CLK2的相位，使得從驅(qū)動(dòng)器DR2輸出的信號(hào)上升的時(shí)刻與該比較器CP1的比較時(shí)刻相一致。如果與驅(qū)動(dòng)器DR2對(duì)應(yīng)的相位調(diào)整結(jié)束，則對(duì)于驅(qū)動(dòng)器DR3來說也同樣地進(jìn)行時(shí)鐘信號(hào)CLK3的相位調(diào)整。其次，測(cè)試器控制部12著眼于組2，在固定了對(duì)比較器CP4輸入的選通信號(hào)STB4的相位的狀態(tài)下，即，在固定了由比較器CP4進(jìn)行的比較工作的時(shí)刻的狀態(tài)下，調(diào)整時(shí)鐘信號(hào)CLK5的相位，使得從驅(qū)動(dòng)器DR5輸出的信號(hào)上升的時(shí)刻與該比較器CP4的比較時(shí)刻相一致。如果與驅(qū)動(dòng)器DR5對(duì)應(yīng)的相位調(diào)整結(jié)束，則對(duì)于驅(qū)動(dòng)器DR6來說也同樣地進(jìn)行時(shí)鐘信號(hào)CLK6的相位調(diào)整。這樣，測(cè)試器控制部12著眼于各組，在固定了對(duì)任意的比較器輸入的選通信號(hào)的相位的狀態(tài)下，通過使輸入到各驅(qū)動(dòng)器中的時(shí)鐘信號(hào)的相位可變而使相位調(diào)整沒有結(jié)束的2個(gè)驅(qū)動(dòng)器的各自的輸出電平上升的時(shí)刻與由比較器進(jìn)行比較工作的時(shí)刻相一致，來調(diào)整各時(shí)鐘信號(hào)的相位。
再有，在上述的說明中，在組1中將比較器CP1定為共同比較器，但也可將其它的比較器CP2、CP3的某一個(gè)定為共同比較器。對(duì)于其它的組來說，也是同樣的。
這樣一來，調(diào)整全部的時(shí)鐘信號(hào)和選通信號(hào)的相位的一系列的校準(zhǔn)工作就告結(jié)束。
這樣，在本實(shí)施形態(tài)的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置中，首先，通過最初使用一個(gè)校準(zhǔn)板250A，以輸入到共同比較器CP1中的選通信號(hào)STB1為基準(zhǔn)進(jìn)行調(diào)整輸入到各組內(nèi)的一個(gè)組內(nèi)共同驅(qū)動(dòng)器中的時(shí)鐘信號(hào)的相位的工作。其次，通過使用另一校準(zhǔn)板250B，在每個(gè)組中以該相位調(diào)整結(jié)束了的時(shí)鐘信號(hào)為基準(zhǔn)，進(jìn)行各選通信號(hào)的相位調(diào)整，其后，以相位調(diào)整結(jié)束了的任意的選通信號(hào)為基準(zhǔn)，進(jìn)行相位調(diào)整沒有結(jié)束的剩下的時(shí)鐘信號(hào)的相位調(diào)整。因而，在本實(shí)施形態(tài)的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)工作中，由于沒有必要使探針接觸每個(gè)器件插座端，只放置校準(zhǔn)板250A、250B即可，故可簡(jiǎn)化在校準(zhǔn)工作中必要的作業(yè)內(nèi)容。此外，不需要用于校準(zhǔn)工作的另外的基準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)器/比較器部或重復(fù)進(jìn)行探針的接觸或移動(dòng)的專用的自動(dòng)裝置等的特殊的結(jié)構(gòu)，可謀求大幅度的成本下降。此外，由于在校準(zhǔn)工作結(jié)束之前伴隨機(jī)械的運(yùn)動(dòng)的工作只是校準(zhǔn)板250A、250B的放置，故與以往那樣以器件插座端的數(shù)目重復(fù)進(jìn)行探針的移動(dòng)和接觸的情況相比，可大幅度地減少作業(yè)時(shí)間。
〔第6實(shí)施形態(tài)〕在上述的第5實(shí)施形態(tài)中，使用了在短路連接點(diǎn)e上連接了屬于各組的m個(gè)驅(qū)動(dòng)器DR1、DR4、...、DRn-2與1個(gè)比較器CP1的校準(zhǔn)板250A，但也可代之以使用在短路連接點(diǎn)e上連接了1個(gè)驅(qū)動(dòng)器(共同驅(qū)動(dòng)器)DR1與屬于各組的m個(gè)比較器(組內(nèi)共同比較器)CP1、CP4、...、CPn-2的校準(zhǔn)板250C。
圖39是示出組合了圖38中示出的校準(zhǔn)板250C與圖30中示出的校準(zhǔn)板250B來進(jìn)行的本實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)工作次序的流程圖。在性能板30上放置了一個(gè)校準(zhǔn)板250C后(步驟400)，測(cè)試器控制部12以與該校準(zhǔn)板250C的驅(qū)動(dòng)器DR1對(duì)應(yīng)的時(shí)鐘信號(hào)CLK1的相位為基準(zhǔn)，調(diào)整與各組中包含的一個(gè)比較器CP1、CP4、...、CPn-2對(duì)應(yīng)的各選通信號(hào)STB1、STB4、...、STBn-2的相位(步驟401)。
這樣一來，如果使用校準(zhǔn)板250C結(jié)束了在每個(gè)組中以輸入到共同驅(qū)動(dòng)器中的時(shí)鐘信號(hào)CLK1為基準(zhǔn)調(diào)整輸入到各組中包含的一個(gè)組內(nèi)共同比較器中的選通信號(hào)的相位的工作，則接著放置另一個(gè)校準(zhǔn)板250B(步驟402)。
其次，測(cè)試器控制部12在該校準(zhǔn)板250B的每個(gè)組中以相位調(diào)整結(jié)束了的選通信號(hào)為基準(zhǔn)，調(diào)整各時(shí)鐘信號(hào)的相位(步驟403)。再者，測(cè)試器控制部12在每個(gè)組中以任意的時(shí)鐘信號(hào)為基準(zhǔn)，調(diào)整各選通信號(hào)的相位(步驟404)。這樣一來，調(diào)整全部的時(shí)鐘信號(hào)和選通信號(hào)的相位的一系列的校準(zhǔn)工作就告結(jié)束。
〔第7實(shí)施形態(tài)〕在上述的第5和第6實(shí)施形態(tài)中，按順序使用2種校準(zhǔn)板來進(jìn)行校準(zhǔn)工作，但也可使用兼?zhèn)溥@2種校準(zhǔn)板的功能的1種校準(zhǔn)板以節(jié)省更換的時(shí)間。
圖40、圖41是示出兼?zhèn)洳季€內(nèi)容不同的2種校準(zhǔn)板250A、250B的功能的第7實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)板250D的結(jié)構(gòu)的圖。這些圖中示出的校準(zhǔn)板250D與組1對(duì)應(yīng)地具備2個(gè)轉(zhuǎn)換開關(guān)，與除此以外的各組對(duì)應(yīng)地具備1個(gè)轉(zhuǎn)換開關(guān)。
具體地說，以與組1對(duì)應(yīng)的方式設(shè)置了連接到3個(gè)驅(qū)動(dòng)器DR1～DR3的各輸出端一側(cè)的轉(zhuǎn)換開關(guān)1j和連接到3個(gè)比較器CP1～CP3的各輸入端一側(cè)的轉(zhuǎn)換開關(guān)1k。此外，以與組2對(duì)應(yīng)的方式設(shè)置了連接到3個(gè)驅(qū)動(dòng)器DR4～DR6的各輸出端一側(cè)的轉(zhuǎn)換開關(guān)2j。同樣，以分別與其它的組對(duì)應(yīng)的方式設(shè)置了連接到3個(gè)驅(qū)動(dòng)器的各輸出端一側(cè)的轉(zhuǎn)換開關(guān)。通過轉(zhuǎn)換在校準(zhǔn)板250D中具備的轉(zhuǎn)換開關(guān)1j～mj、1k的連接狀態(tài)，可有選擇地實(shí)現(xiàn)與圖29中示出的一個(gè)校準(zhǔn)板250A相同的連接狀態(tài)(圖40)和與圖30中示出的另一校準(zhǔn)板250B相同的連接狀態(tài)(圖41)。因而，通過使用該校準(zhǔn)板250D轉(zhuǎn)換各轉(zhuǎn)換開關(guān)來進(jìn)行校準(zhǔn)工作，不需要校準(zhǔn)板的更換作業(yè)，可進(jìn)一步簡(jiǎn)化作業(yè)內(nèi)容、降低成本、減少作業(yè)時(shí)間。
圖42、圖43是示出兼?zhèn)洳季€內(nèi)容不同的2種校準(zhǔn)板250C、250B的功能的本實(shí)施形態(tài)的變例的校準(zhǔn)板250E的結(jié)構(gòu)的圖。這些圖中示出的校準(zhǔn)板250E與組1對(duì)應(yīng)地具備2個(gè)轉(zhuǎn)換開關(guān)，與除此以外的各組對(duì)應(yīng)地具備1個(gè)轉(zhuǎn)換開關(guān)。
具體地說，以與組1對(duì)應(yīng)的方式設(shè)置了連接到3個(gè)驅(qū)動(dòng)器DR1～DR3的各輸出端一側(cè)的轉(zhuǎn)換開關(guān)1j和連接到3個(gè)比較器CP1～CP3的各輸入端一側(cè)的轉(zhuǎn)換開關(guān)1k。此外，以與組2對(duì)應(yīng)的方式設(shè)置了連接到3個(gè)比較器CP4～CP6的各輸入端一側(cè)的轉(zhuǎn)換開關(guān)2k。同樣，以分別與其它的組對(duì)應(yīng)的方式設(shè)置了連接到3個(gè)比較器的各輸入端一側(cè)的轉(zhuǎn)換開關(guān)。通過轉(zhuǎn)換在校準(zhǔn)板250E中具備的轉(zhuǎn)換開關(guān)1j、1k～mk的連接狀態(tài)，可有選擇地實(shí)現(xiàn)與圖38中示出的一個(gè)校準(zhǔn)板250C相同的連接狀態(tài)(圖42)和與圖30中示出的另一校準(zhǔn)板250B相同的連接狀態(tài)(圖43)。因而，通過使用該校準(zhǔn)板250E轉(zhuǎn)換各轉(zhuǎn)換開關(guān)來進(jìn)行校準(zhǔn)工作，不需要校準(zhǔn)板的更換作業(yè)，可進(jìn)一步簡(jiǎn)化作業(yè)內(nèi)容、降低成本、減少作業(yè)時(shí)間。
〔第8實(shí)施形態(tài)〕其次，說明使用了另外的校準(zhǔn)板的第8實(shí)施形態(tài)的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法。
圖44～圖48是示出本實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)方法中使用的校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)的圖。再有，將連接這些圖中示出的短路連接點(diǎn)1p、1q等與各端子1a、1b等的布線的布線長(zhǎng)度設(shè)定為全部相同。
圖44是示出本實(shí)施形態(tài)的一個(gè)校準(zhǔn)板350A-1的布線狀態(tài)的圖。在該校準(zhǔn)板350A-1中，在分別連接了n個(gè)驅(qū)動(dòng)器DR1～DRn的n個(gè)端子1a～na中只將端子1a連接到短路連接點(diǎn)1p上。此外，在分別連接了n個(gè)比較器CP1～CPn的n個(gè)端子1b～nb中只將端子1b連接到上述的短路連接點(diǎn)1p上。即，通過使用該校準(zhǔn)板350A-1，將從驅(qū)動(dòng)器DR1輸出的信號(hào)經(jīng)由短路連接點(diǎn)1p輸入到比較器CP1中。
圖45是示出本實(shí)施形態(tài)的另一校準(zhǔn)板350A-2的布線狀態(tài)的圖。在該校準(zhǔn)板350A-2中，在分別連接了n個(gè)驅(qū)動(dòng)器DR1～DRn的n個(gè)端子1a～na中只將端子1a連接到短路連接點(diǎn)2p上。此外，在分別連接了n個(gè)比較器CP1～CPn的n個(gè)端子1b～nb中只將端子2b連接到上述的短路連接點(diǎn)2p上。即，通過使用該校準(zhǔn)板350A-2，將從驅(qū)動(dòng)器DR1輸出的信號(hào)經(jīng)由短路連接點(diǎn)2p輸入到比較器CP2中。
圖46是示出本實(shí)施形態(tài)的另一校準(zhǔn)板350A-3的布線狀態(tài)的圖。在該校準(zhǔn)板350A-3中，在分別連接了n個(gè)驅(qū)動(dòng)器DR1～DRn的n個(gè)端子1a～na中只將端子1a連接到短路連接點(diǎn)3p上。此外，在分別連接了n個(gè)比較器CP1～CPn的n個(gè)端子1b～nb中只將端子3b連接到上述的短路連接點(diǎn)3p上。即，通過使用該校準(zhǔn)板350A-3，將從驅(qū)動(dòng)器DR1輸出的信號(hào)經(jīng)由短路連接點(diǎn)3p輸入到比較器CP3中。
圖47是示出本實(shí)施形態(tài)的另一校準(zhǔn)板350A-n的布線狀態(tài)的圖。在該校準(zhǔn)板350A-n中，在分別連接了n個(gè)驅(qū)動(dòng)器DR1～DRn的n個(gè)端子1a～na中只將端子1a連接到短路連接點(diǎn)np上。此外，在分別連接了n個(gè)比較器CP1～CPn的n個(gè)端子1b～nb中只將端子nb連接到上述的短路連接點(diǎn)np上。即，通過使用該校準(zhǔn)板350A-n，將從驅(qū)動(dòng)器DR1輸出的信號(hào)經(jīng)由短路連接點(diǎn)np輸入到比較器CPn中。
在本實(shí)施形態(tài)中，為了這樣將一個(gè)驅(qū)動(dòng)器DR1經(jīng)短路連接點(diǎn)與n個(gè)比較器CP1～CPn的某一個(gè)連接，使用了n個(gè)校準(zhǔn)板350A-1～350A-n。
此外，圖48是示出本實(shí)施形態(tài)的另一校準(zhǔn)板350B的布線狀態(tài)的圖。在該校準(zhǔn)板350B中，連接了n個(gè)驅(qū)動(dòng)器DR1～DRn的n個(gè)端子1a～na分別以1對(duì)1的方式連接到對(duì)應(yīng)的短路連接點(diǎn)1q～nq上。此外，這些短路連接點(diǎn)1q～nq也分別連接到n個(gè)比較器CP1～CPn上。由此，分別從驅(qū)動(dòng)器DR1～DRn輸出的信號(hào)經(jīng)由分別對(duì)應(yīng)的各自的短路連接點(diǎn)1q～nq分別輸入到比較器CP1～CPn中。
圖49是示出本實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)工作次序的流程圖。在性能板30上放置了一個(gè)校準(zhǔn)板(例如校準(zhǔn)板350A-1)后(步驟500)，測(cè)試器控制部12以與該校準(zhǔn)板350A-1的驅(qū)動(dòng)器DR1對(duì)應(yīng)的時(shí)鐘信號(hào)CLK1為基準(zhǔn)，調(diào)整與經(jīng)該驅(qū)動(dòng)器DR1和短路連接點(diǎn)1p連接的比較器CP1對(duì)應(yīng)的選通信號(hào)STB1的相位(步驟501)。
在該步驟501中，在固定了對(duì)驅(qū)動(dòng)器DR1輸入的時(shí)鐘信號(hào)CLK1的相位的狀態(tài)下，即，在固定了經(jīng)由短路連接點(diǎn)1p對(duì)比較器CP1輸入的信號(hào)上升的時(shí)刻的狀態(tài)下，通過使選通信號(hào)STB1的相位可變以找出比較器CP1的輸出電平倒相的位置，進(jìn)行以時(shí)鐘信號(hào)CLK1為基準(zhǔn)的選通信號(hào)STB1的相位調(diào)整。
其次，測(cè)試器控制部12判定是否遺留了未調(diào)整的選通信號(hào)(步驟502)，在遺留了的情況下，返回到步驟501，重復(fù)進(jìn)行放置下一校準(zhǔn)板(例如，校準(zhǔn)板350A-2)的工作以后的工作。這樣，通過分別使用圖44～圖47中示出的校準(zhǔn)板350A-1～350A-n，以對(duì)一個(gè)驅(qū)動(dòng)器DR1輸入的時(shí)鐘信號(hào)CLK1為基準(zhǔn)，調(diào)整分別對(duì)n個(gè)比較器CP1～CPn輸入的選通信號(hào)STB1～STBn的相位。
這樣，如果全部的選通信號(hào)的相位調(diào)整結(jié)束(在步驟502中判斷為否定)，則接著放置另一校準(zhǔn)板350B(步驟503)。再有，考慮用手動(dòng)進(jìn)行步驟500、503中的校準(zhǔn)板350A-1～350A-n、350B的放置的情況和使用專用的自動(dòng)裝置等來謀求作業(yè)的自動(dòng)化的情況。
其次，測(cè)試器控制部12使用該校準(zhǔn)板350B，以相位調(diào)整結(jié)束了的各選通信號(hào)為基準(zhǔn)，調(diào)整各時(shí)鐘信號(hào)的相位(步驟504)。如上所述，在校準(zhǔn)板350B中，由于驅(qū)動(dòng)器DR1經(jīng)短路連接點(diǎn)1q連接到比較器CP1上，故能以選通信號(hào)STB1為基準(zhǔn)調(diào)整時(shí)鐘信號(hào)CLK1的相位。此外，由于驅(qū)動(dòng)器DR2經(jīng)短路連接點(diǎn)2q連接到比較器CP2上，故能以選通信號(hào)STB2為基準(zhǔn)調(diào)整時(shí)鐘信號(hào)CLK2的相位。同樣，由于驅(qū)動(dòng)器DRn經(jīng)短路連接點(diǎn)nq連接到比較器CPn上，故能以選通信號(hào)STBn為基準(zhǔn)調(diào)整時(shí)鐘信號(hào)CLKn的相位。
這樣，調(diào)整全部的選通信號(hào)和時(shí)鐘信號(hào)的相位的一系列的校準(zhǔn)工作就告結(jié)束。
再有，在本實(shí)施形態(tài)中，最初以一個(gè)時(shí)鐘信號(hào)CLK1為基準(zhǔn)調(diào)整n個(gè)選通信號(hào)STB1～STBn的相位，其次，以各自的選通信號(hào)為基準(zhǔn)調(diào)整n個(gè)時(shí)鐘信號(hào)CLK1～CLKn的相位，但也可最初以一個(gè)選通信號(hào)為基準(zhǔn)調(diào)整n個(gè)時(shí)鐘信號(hào)CLK1～CLKn的相位，其次，以各自的時(shí)鐘信號(hào)為基準(zhǔn)調(diào)整n個(gè)選通信號(hào)STB1～STBn的相位。
此外，在本實(shí)施形態(tài)中，為了以一個(gè)時(shí)鐘信號(hào)CLK1為基準(zhǔn)調(diào)整n個(gè)選通信號(hào)STB1～STBn的相位，按順序分別放置n片校準(zhǔn)板350A-1～350A-n，但也可如圖50中所示，通過使用在1個(gè)短路連接點(diǎn)上連接了n個(gè)比較器CP1～CPn的全部的校準(zhǔn)板350C，使用一個(gè)校準(zhǔn)板350C進(jìn)行各選通信號(hào)STB1～STBn的相位調(diào)整。
此外，在本實(shí)施形態(tài)中，使用了以1對(duì)1的方式使驅(qū)動(dòng)器DR1～DRn的每一個(gè)與比較器CP1～CPn的每一個(gè)相對(duì)應(yīng)的校準(zhǔn)板250B，但這些對(duì)應(yīng)關(guān)系不一定必須是1對(duì)1的方式。
〔第9實(shí)施形態(tài)〕在上述的第8實(shí)施形態(tài)中，按順序使用n+1種校準(zhǔn)板進(jìn)行了校準(zhǔn)工作，但也可使用兼?zhèn)溥@些校準(zhǔn)板的功能的1種校準(zhǔn)板以節(jié)省更換的時(shí)間。
圖51是示出兼?zhèn)洳季€內(nèi)容不同的n+1種的校準(zhǔn)板350A-1～350A-n、350B的功能的第9實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)板350D的結(jié)構(gòu)的圖。
該圖中示出的校準(zhǔn)板350D具備分別與除了比較器CP1外的其它的比較器CP2～CPn對(duì)應(yīng)的轉(zhuǎn)換開關(guān)2r～nr。通過轉(zhuǎn)換這些轉(zhuǎn)換開關(guān)2r～nr的連接狀態(tài)，可有選擇地實(shí)現(xiàn)分別與校準(zhǔn)板350A-1～350A-n相同的連接狀態(tài)和與校準(zhǔn)板350B相同的連接狀態(tài)。因而，通過使用該校準(zhǔn)板350D，不需要校準(zhǔn)板的更換作業(yè)，可進(jìn)一步簡(jiǎn)化作業(yè)內(nèi)容、降低成本、減少作業(yè)時(shí)間。
圖52是示出圖51中示出的校準(zhǔn)板350D的變例的圖。在最初以一個(gè)選通信號(hào)為基準(zhǔn)進(jìn)行各時(shí)鐘信號(hào)的相位調(diào)整、其后進(jìn)行各選通信號(hào)的相位調(diào)整的工作的情況下，使用圖52中示出的校準(zhǔn)板350E轉(zhuǎn)換各轉(zhuǎn)換開關(guān)2s～ns的連接狀態(tài)即可。
〔其它的實(shí)施形態(tài)〕在上述的各實(shí)施形態(tài)中，在性能板30上放置了各種校準(zhǔn)板，但考慮實(shí)際的設(shè)置狀態(tài)，也可在性能板30上安裝插座板和IC插座，再在其上放置校準(zhǔn)板。
圖53是示出變更了校準(zhǔn)板的設(shè)置狀態(tài)的變例的圖。圖53中示出的結(jié)構(gòu)相對(duì)于圖5中示出的結(jié)構(gòu)來說，在性能板(PB)30與校準(zhǔn)板(CB)50A之間附加了插座板(SB)32和IC插座34。即，在安裝了為了實(shí)際上對(duì)被測(cè)定器件進(jìn)行各種試驗(yàn)而使用的插座板32和IC插座34的狀態(tài)下放置校準(zhǔn)板50A等。此時(shí)，各驅(qū)動(dòng)器的輸出端與各短路連接點(diǎn)之間的布線長(zhǎng)度和各短路連接點(diǎn)與各比較器的輸入端之間的布線長(zhǎng)度雖然變長(zhǎng)了，但可用與上述的各實(shí)施形態(tài)相同的要點(diǎn)來進(jìn)行校準(zhǔn)工作。
例如，如果將在插座板32和IC插座34中包含的布線的布線長(zhǎng)度作為Tb來改寫圖7，則成為圖54中示出的關(guān)系。在圖54中示出的由各驅(qū)動(dòng)器產(chǎn)生的信號(hào)的輸出時(shí)序或?qū)τ诟鞅容^器的信號(hào)的輸入時(shí)序與圖7中示出的這些時(shí)序相同，可知能在設(shè)置了插座板32或IC插座34的狀態(tài)下以與各實(shí)施形態(tài)相同的要點(diǎn)進(jìn)行時(shí)序校準(zhǔn)。
此外，在上述各實(shí)施形態(tài)中，使用各種校準(zhǔn)板進(jìn)行了時(shí)序校準(zhǔn)，但也可使用相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)器件或校準(zhǔn)晶片來代替這些校準(zhǔn)板。
圖55是示出校準(zhǔn)器件與半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體之間的連接狀態(tài)的圖。此外，圖56是示出使用了校準(zhǔn)器件的時(shí)序校準(zhǔn)的概要的圖。如圖55中所示，在半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體10中設(shè)置了性能板(PB)30、插座板(SB)32和IC插座34的狀態(tài)下放置校準(zhǔn)器件450。校準(zhǔn)器件450具有與被測(cè)定器件相同的外觀形狀和端子形狀，將內(nèi)部的布線狀態(tài)設(shè)定為與上述的各實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)板相同。在上述各實(shí)施形態(tài)中，根據(jù)需要，有必要用手動(dòng)方式或用自動(dòng)裝置進(jìn)行的自動(dòng)方式來更換校準(zhǔn)板，但在使用校準(zhǔn)器件450的情況下，如圖56中所示，在通常的半導(dǎo)體試驗(yàn)中通過使用進(jìn)行被測(cè)定器件的調(diào)換的裝卸裝置100，可進(jìn)行校準(zhǔn)器件450的更換。因而，與進(jìn)行手動(dòng)更換的情況相比，可減少更換的時(shí)間。此外，與使用自動(dòng)裝置進(jìn)行自動(dòng)更換的情況相比，可謀求因不需要專用的自動(dòng)裝置而導(dǎo)致的成本下降。
圖57是示出校準(zhǔn)晶片與半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體之間的連接狀態(tài)的圖。此外，圖58是示出使用了校準(zhǔn)晶片的時(shí)序校準(zhǔn)的概要的圖。在使用半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置對(duì)在晶片上形成了的狀態(tài)的被試驗(yàn)器件進(jìn)行試驗(yàn)的情況下，如圖57中所示，在性能板30上安裝探針卡(PC)36，使從該探針卡36突出的針38與在晶片上所形成的焊區(qū)接觸。因而，通過將形成了被試驗(yàn)器件的晶片置換為內(nèi)部的布線狀態(tài)被設(shè)定為與上述的各實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)相同的校準(zhǔn)晶片550，可實(shí)施時(shí)序校準(zhǔn)。此外，在上述各實(shí)施形態(tài)中，根據(jù)需要，有必要用手動(dòng)方式或用自動(dòng)裝置進(jìn)行的自動(dòng)方式來更換校準(zhǔn)板，但在使用校準(zhǔn)晶片550的情況下，如圖58中所示，在通常的半導(dǎo)體試驗(yàn)中通過使用進(jìn)行被測(cè)定器件的移動(dòng)等的卡盤110，可進(jìn)行校準(zhǔn)晶片550的更換。因而，與進(jìn)行手動(dòng)更換的情況相比，可減少更換的時(shí)間。此外，與使用自動(dòng)裝置進(jìn)行自動(dòng)更換的情況相比，可謀求因不需要專用的自動(dòng)裝置而導(dǎo)致的成本下降。再有，在圖57和圖58中示出的例子中，說明了利用探針卡36上的針38在與校準(zhǔn)晶片550或?qū)嶋H上形成了被試驗(yàn)器件的晶片之間確保導(dǎo)電性的接觸的類型的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置，但也可使用針38以外的方法、例如經(jīng)凸點(diǎn)來確保導(dǎo)電性的接觸。
其次，說明上述的校準(zhǔn)器件450的具體例子。
圖59和圖60是示出實(shí)現(xiàn)了與上述的第1實(shí)施形態(tài)中使用了的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)器件的圖。在圖59中示出的一個(gè)校準(zhǔn)器件450A中進(jìn)行了與圖2中示出的校準(zhǔn)板50A相同的布線。此外，在圖60中示出的另一校準(zhǔn)器件450B中進(jìn)行了與圖3中示出的校準(zhǔn)板50B相同的布線。再有，對(duì)圖59和圖60中示出的校準(zhǔn)器件450A、450B的各端子和短路連接點(diǎn)附以在圖2和圖3中示出的校準(zhǔn)板50A、50B中與對(duì)應(yīng)的端子和短路連接點(diǎn)相同的符號(hào)。通過按順序放置這些校準(zhǔn)器件450A、450B，可實(shí)施由與使用了校準(zhǔn)板50A、50B的第1實(shí)施形態(tài)同樣的次序(圖4中示出的工作次序)進(jìn)行的時(shí)序校準(zhǔn)。
圖61和圖62是示出實(shí)現(xiàn)了與上述的第3實(shí)施形態(tài)中使用了的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)器件的圖。在圖61中示出的一個(gè)校準(zhǔn)器件450C中進(jìn)行了與圖14中示出的校準(zhǔn)板150A相同的布線。此外，在圖62中示出的另一校準(zhǔn)器件450D中進(jìn)行了與圖15中示出的校準(zhǔn)板150B相同的布線。通過按順序放置這些校準(zhǔn)器件450C、450D，可實(shí)施由與使用了校準(zhǔn)板150A、150B的第3實(shí)施形態(tài)同樣的次序(圖17中示出的工作次序)進(jìn)行的時(shí)序校準(zhǔn)。
圖63是示出實(shí)現(xiàn)了與上述的第5實(shí)施形態(tài)中使用了的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)器件的圖。在圖63中示出的校準(zhǔn)器件450E中進(jìn)行了與圖29中示出的校準(zhǔn)板250A相同的布線。再有，由于圖30中示出的校準(zhǔn)板250B的布線狀態(tài)與圖61中示出的校準(zhǔn)器件450C的布線狀態(tài)相同，故可將該校準(zhǔn)器件450C組合在上述的校準(zhǔn)器件450E中來使用。通過按順序放置這些校準(zhǔn)器件450E、450C，可實(shí)施由與使用了校準(zhǔn)板250A、250B的第5實(shí)施形態(tài)同樣的次序(圖31中示出的工作次序)進(jìn)行的時(shí)序校準(zhǔn)。
圖64～圖68是示出實(shí)現(xiàn)了與上述的第8實(shí)施形態(tài)中使用了的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)器件的圖。在圖64中示出的校準(zhǔn)器件450F-1中進(jìn)行了與圖44中示出的校準(zhǔn)板350A-1相同的布線。在圖65中示出的校準(zhǔn)器件450F-2中進(jìn)行了與圖45中示出的校準(zhǔn)板350A-2相同的布線。在圖66中示出的校準(zhǔn)器件450F-3中進(jìn)行了與圖46中示出的校準(zhǔn)板350A-3相同的布線。在圖67中示出的校準(zhǔn)器件450F-n中進(jìn)行了與圖47中示出的校準(zhǔn)板350A-n相同的布線。此外，在圖68中示出的校準(zhǔn)器件450G中進(jìn)行了與圖48中示出的校準(zhǔn)板350B相同的布線。通過按順序放置這些校準(zhǔn)器件450F-1～F-n、450G，可實(shí)施由與使用了校準(zhǔn)板350A-1～350A-n、350B的第8實(shí)施形態(tài)同樣的次序(圖49中示出的工作次序)進(jìn)行的時(shí)序校準(zhǔn)。
其次，說明上述的校準(zhǔn)器件450的具體例子。
圖69是示出實(shí)現(xiàn)了與上述的第1實(shí)施形態(tài)中使用了的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)晶片的圖。再有，由于在圖69等中示出的校準(zhǔn)晶片用來實(shí)現(xiàn)與上述的校準(zhǔn)板同樣的布線狀態(tài)，故不一定需要使用由半導(dǎo)體材料形成的晶片，可使用環(huán)氧樹脂等的半導(dǎo)體材料以外的廉價(jià)的材料來構(gòu)成。
在圖69中示出的校準(zhǔn)晶片550A中包含進(jìn)行了與圖2中示出的校準(zhǔn)板50A相同的布線的第1區(qū)域550A-1和進(jìn)行了與圖3中示出的校準(zhǔn)板50B相同的布線的第2區(qū)域550A-2。通過使探針卡36的針38與這些第1和第2區(qū)域550A-1、550A-2順序地接觸，可實(shí)施由與使用了校準(zhǔn)板50A、50B的第1實(shí)施形態(tài)同樣的次序(圖4中示出的工作次序)進(jìn)行的時(shí)序校準(zhǔn)。
圖70是示出實(shí)現(xiàn)了與上述的第3實(shí)施形態(tài)中使用了的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)晶片的圖。在圖70中示出的校準(zhǔn)晶片550B中包含進(jìn)行了與圖14中示出的校準(zhǔn)板150A相同的布線的第1區(qū)域550B-1和進(jìn)行了與圖15中示出的校準(zhǔn)板150B相同的布線的第2區(qū)域550B-2。通過使探針卡36的針38與這些第1和第2區(qū)域550B-1、550B-2順序地接觸，可實(shí)施由與使用了校準(zhǔn)板150A、150B的第3實(shí)施形態(tài)同樣的次序(圖17中示出的工作次序)進(jìn)行的時(shí)序校準(zhǔn)。
圖71是示出實(shí)現(xiàn)了與上述的第5實(shí)施形態(tài)中使用了的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)晶片的圖。在圖71中示出的校準(zhǔn)晶片550C中包含進(jìn)行了與圖29中示出的校準(zhǔn)板250A相同的布線的第1區(qū)域550C-1和進(jìn)行了與圖30中示出的校準(zhǔn)板250B相同的布線的第2區(qū)域550C-2。通過使探針卡36的針38與這些第1和第2區(qū)域550C-1、550C-2順序地接觸，可實(shí)施由與使用了校準(zhǔn)板250A、250B的第5實(shí)施形態(tài)同樣的次序(圖31中示出的工作次序)進(jìn)行的時(shí)序校準(zhǔn)。
圖72是示出實(shí)現(xiàn)了與上述的第8實(shí)施形態(tài)中使用了的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)晶片的圖。在圖72中示出的校準(zhǔn)晶片550D中包含進(jìn)行了與圖44中示出的校準(zhǔn)板350A-1相同的布線的區(qū)域550D-1、進(jìn)行了與圖45中示出的校準(zhǔn)板350A-2相同的布線的區(qū)域550D-2、進(jìn)行了與圖46中示出的校準(zhǔn)板350A-3相同的布線的區(qū)域550D-3、進(jìn)行了與圖47中示出的校準(zhǔn)板350A-n相同的布線的區(qū)域550D-n和進(jìn)行了與圖48中示出的校準(zhǔn)板350B相同的布線的區(qū)域550D-B。通過使探針卡36的針38與這些各區(qū)域550D-1～550D-n、550 D-B順序地接觸，可實(shí)施由與使用了校準(zhǔn)板350A-1～350A-n、350B的第8實(shí)施形態(tài)同樣的次序(圖49中示出的工作次序)進(jìn)行的時(shí)序校準(zhǔn)。
再有，本發(fā)明不限定于上述的實(shí)施形態(tài)，在不脫離本發(fā)明的要旨的范圍內(nèi)可作各種各樣的變形來實(shí)施。例如，在上述的實(shí)施形態(tài)中，為了進(jìn)行校準(zhǔn)工作而使用了專用的校準(zhǔn)板50A、50B、150A、150B等，但也可在為了實(shí)際上設(shè)置被測(cè)定器件而使用的插座板上進(jìn)行與校準(zhǔn)板50B、150A、150B等同樣的布線，在校準(zhǔn)工作時(shí)適當(dāng)?shù)剞D(zhuǎn)換轉(zhuǎn)換開關(guān)以變更布線內(nèi)容。
此外，在上述的實(shí)施形態(tài)中，考慮了分別將構(gòu)成組的驅(qū)動(dòng)器的輸出端和比較器的輸入端連接到短路連接點(diǎn)上的情況，但即使在半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體10或性能板30的內(nèi)部連接驅(qū)動(dòng)器的輸出端與比較器的輸入端、經(jīng)1條布線連接了該連接點(diǎn)與短路連接點(diǎn)間的情況下也可應(yīng)用本發(fā)明。但是，由于此時(shí)的由校準(zhǔn)進(jìn)行的相位校正的對(duì)象為到上述的連接點(diǎn)為止的范圍，故必須預(yù)先測(cè)定該連接點(diǎn)與短路連接點(diǎn)間的布線的時(shí)間長(zhǎng)度。
產(chǎn)業(yè)上利用的可能性如上所述，按照本發(fā)明，由于不需要只為了進(jìn)行時(shí)序校準(zhǔn)而專用的基準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)器/比較器部及連接到其上的探針或使探針的移動(dòng)和接觸實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化用的專用的自動(dòng)裝置等，故可大幅度地削減成本。
此外，通過使用第1校準(zhǔn)板及第2校準(zhǔn)板可進(jìn)行時(shí)鐘信號(hào)和選通信號(hào)的相位調(diào)整及選通信號(hào)間的相位差的測(cè)定。因而，與使用探針以各器件插座端為單位調(diào)整時(shí)鐘信號(hào)或選通信號(hào)的相位的現(xiàn)有的方法相比，可簡(jiǎn)化作業(yè)內(nèi)容。特別是，機(jī)械的作業(yè)只是將第1校準(zhǔn)板更換為第2校準(zhǔn)板，故可大幅度地縮短時(shí)序校準(zhǔn)整體的作業(yè)時(shí)間。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法，在該方法中進(jìn)行具備驅(qū)動(dòng)器和比較器的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的時(shí)序校準(zhǔn)，其中，上述驅(qū)動(dòng)器進(jìn)行與時(shí)鐘信號(hào)同步的信號(hào)的生成工作，上述比較器進(jìn)行與選通信號(hào)同步的比較工作，其特征在于，具有下述步驟第1步驟，在進(jìn)行了m個(gè)分組以便包含2個(gè)以上的多個(gè)驅(qū)動(dòng)器和多個(gè)比較器的至少一方的狀態(tài)下，在每個(gè)組中使從多個(gè)上述驅(qū)動(dòng)器輸出并輸入到上述比較器中的信號(hào)的變化的時(shí)序與由多個(gè)上述比較器進(jìn)行比較工作的時(shí)序相一致來調(diào)整上述時(shí)鐘信號(hào)的相位和上述選通信號(hào)的相位；第2步驟，對(duì)于不同的上述組來說，取得與上述驅(qū)動(dòng)器對(duì)應(yīng)的上述時(shí)鐘信號(hào)相互間的相對(duì)的相位差或與上述比較器對(duì)應(yīng)的上述選通信號(hào)相互間的相對(duì)的相位差；以及第3步驟，根據(jù)上述相對(duì)的相位差，調(diào)整與多個(gè)上述組的每一組中包含的上述驅(qū)動(dòng)器對(duì)應(yīng)的上述時(shí)鐘信號(hào)的相位和與上述比較器對(duì)應(yīng)的上述選通信號(hào)的相位。
2.如權(quán)利要求1中所述的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法，其特征在于在上述時(shí)鐘信號(hào)對(duì)于上述驅(qū)動(dòng)器的供給路徑和上述選通信號(hào)對(duì)于上述比較器的供給路徑中分別插入使信號(hào)的相位可變的延遲元件。
3.如權(quán)利要求1中所述的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法，其特征在于在多個(gè)上述組的每一組中使用經(jīng)共同的第1短路連接點(diǎn)連接了上述驅(qū)動(dòng)器的輸出端與上述比較器的輸入端的第1校準(zhǔn)板來進(jìn)行上述第1步驟。
4.如權(quán)利要求3中所述的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法，其特征在于使用經(jīng)共同的第2短路連接點(diǎn)連接了一個(gè)上述組中包含的上述驅(qū)動(dòng)器的輸出端與另一個(gè)上述組中包含的上述比較器的輸入端的第2校準(zhǔn)板來進(jìn)行上述第2步驟。
5.如權(quán)利要求4中所述的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法，其特征在于將連接上述驅(qū)動(dòng)器與上述第1和第2短路連接點(diǎn)的布線的布線長(zhǎng)度和連接上述比較器與上述第1和第2短路連接點(diǎn)的布線的布線長(zhǎng)度設(shè)定為全部相同。
6.如權(quán)利要求4中所述的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法，其特征在于在上述第1步驟與上述第2步驟之間具有將上述第1校準(zhǔn)板更換為上述第2校準(zhǔn)板的第4步驟。
7.如權(quán)利要求1中所述的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法，其特征在于使用對(duì)于全部的上述組來說經(jīng)時(shí)間長(zhǎng)度相等的布線連接了上述各組中包含的上述驅(qū)動(dòng)器的輸出端與上述比較器的輸入端的第3校準(zhǔn)板來進(jìn)行上述第1步驟，轉(zhuǎn)換上述第3校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)以便在全部的上述組之間經(jīng)時(shí)間長(zhǎng)度相等的布線連接一個(gè)上述組中包含的上述驅(qū)動(dòng)器的輸出端與另一上述組中包含的上述比較器的輸入端來進(jìn)行上述第2步驟。
8.如權(quán)利要求7中所述的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法，其特征在于在上述第3校準(zhǔn)板中包含轉(zhuǎn)換布線狀態(tài)的多個(gè)轉(zhuǎn)換開關(guān)，通過轉(zhuǎn)換這些轉(zhuǎn)換開關(guān)的連接狀態(tài)來進(jìn)行上述第1和第2步驟的工作。
9.如權(quán)利要求1中所述的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法，其特征在于在多個(gè)上述組的每一組中使用經(jīng)共同的第1短路連接點(diǎn)連接了上述驅(qū)動(dòng)器的輸出端與上述比較器的輸入端的第1校準(zhǔn)器件來進(jìn)行上述第1步驟。
10.如權(quán)利要求9中所述的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法，其特征在于使用經(jīng)共同的第2短路連接點(diǎn)連接了一個(gè)上述組中包含的上述驅(qū)動(dòng)器的輸出端與另一上述組中包含的上述比較器的輸入端的第2校準(zhǔn)器件來進(jìn)行上述第2步驟。
11.如權(quán)利要求10中所述的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法，其特征在于在上述第1步驟與上述第2步驟之間具有使用裝卸裝置將上述第1校準(zhǔn)器件更換為上述第2校準(zhǔn)器件的第4步驟。
12.如權(quán)利要求1中所述的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法，其特征在于在多個(gè)上述組的每一組中使用經(jīng)共同的第1短路連接點(diǎn)連接了上述驅(qū)動(dòng)器的輸出端與上述比較器的輸入端的第1校準(zhǔn)晶片內(nèi)的第1區(qū)域來進(jìn)行上述第1步驟，使用經(jīng)共同的第2短路連接點(diǎn)連接了一個(gè)上述組中包含的上述驅(qū)動(dòng)器的輸出端與另一上述組中包含的上述比較器的輸入端的第2校準(zhǔn)晶片內(nèi)的第2區(qū)域來進(jìn)行上述第2步驟。
13.如權(quán)利要求12中所述的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法，其特征在于上述第2校準(zhǔn)晶片與上述第1校準(zhǔn)晶片是同一晶片，在該晶片內(nèi)形成了上述第1和第2區(qū)域。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于提供一種能降低成本、簡(jiǎn)化作業(yè)內(nèi)容、縮短作業(yè)時(shí)間的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法。在多個(gè)驅(qū)動(dòng)器的每一個(gè)與多個(gè)比較器的每一個(gè)以1對(duì)1的方式相對(duì)應(yīng)的狀態(tài)下，在對(duì)于彼此以1對(duì)1的方式相對(duì)應(yīng)的時(shí)鐘信號(hào)和選通信號(hào)來說以某一方為基準(zhǔn)調(diào)整了另一方的相位后，取得時(shí)鐘信號(hào)相互間的相對(duì)的相位差或選通信號(hào)相互間的相對(duì)的相位差，根據(jù)該相對(duì)的相位差來調(diào)整多個(gè)時(shí)鐘信號(hào)和多個(gè)選通信號(hào)的相位。
文檔編號(hào)G01R31/319GK1677121SQ200510068998
公開日2005年10月5日 申請(qǐng)日期2002年6月6日 優(yōu)先權(quán)日2001年6月7日
發(fā)明者謝羽徹 申請(qǐng)人:株式會(huì)社艾德溫特斯特