專(zhuān)利名稱(chēng)：激光回饋波片測(cè)量裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于激光測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
波片作為位相延遲器，在與偏振光有關(guān)的光學(xué)系統(tǒng)中有著廣泛的應(yīng)用，如外差激光干涉儀，偏振光干涉系統(tǒng)，偏光顯微鏡、橢偏儀、光隔離器、窄帶光濾波器、可調(diào)光衰減器、光盤(pán)驅(qū)動(dòng)器光拾取頭等等，其中以具有π/2位相差的四分之一波片最為常用。作為光學(xué)系統(tǒng)的重要組成元件，波片自身位相延遲量的精度會(huì)影響整個(gè)系統(tǒng)的效果或測(cè)量精度。因此波片位相差的精確測(cè)量是非常重要的。在很多光學(xué)系統(tǒng)中，需要準(zhǔn)確知道波片的位相差，這就要求有高精度的測(cè)量方法。目前，國(guó)內(nèi)外高精度的波片測(cè)量方法有許多，以測(cè)量四分之一波片為主，比較典型的波片測(cè)量方法有以下幾種。
1、旋轉(zhuǎn)消光法一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)1/4波片的快軸與起偏器的偏振方向成45°角，被測(cè)1/4波片的快軸與起偏器的偏振光方向相同。HeNe激光器出射的激光經(jīng)起偏器后成為一束線(xiàn)偏振光，再分別通過(guò)待測(cè)波片和標(biāo)準(zhǔn)波片后，又成為一線(xiàn)偏振光。旋轉(zhuǎn)檢偏器，可以找到一個(gè)消光位置。這時(shí)檢偏器的偏振方向與起偏器的偏振方向夾角的兩倍就是波片位的相差。這就是旋轉(zhuǎn)消光法測(cè)量四分之一波片位相差的基本原理，其中消光位置的判別決定了波片位相差的測(cè)量精度。目測(cè)消光位置的方法可以使波片測(cè)量精度達(dá)到3°-5°，若使用半影檢偏器檢測(cè)可以使波片的測(cè)量精度提高到1°左右。若想進(jìn)一步提高精度，需要高精度的測(cè)角儀來(lái)進(jìn)行角度的測(cè)量，但這使測(cè)量設(shè)備的體積和成本都很大，增加了系統(tǒng)的復(fù)雜性。
2、電光調(diào)制法電光調(diào)制法的基本原理與旋轉(zhuǎn)消光法相同，但是采用了KD*P電光晶體，以電光調(diào)制檢測(cè)法來(lái)判斷消光位置，提高了判斷消光位置的精度，最終波片位相差的測(cè)量精度可以達(dá)到0.5°左右。
3、磁光調(diào)制法磁光調(diào)制法本質(zhì)上也是旋轉(zhuǎn)消光法，只是判斷消光位置時(shí)采用了磁光調(diào)制的方法。由于磁光調(diào)制法可以精確判斷消光位置，判斷精度可以達(dá)到1″，所以波片位相差的測(cè)量精度理論上可以達(dá)到10″。實(shí)際上由于穩(wěn)定性和調(diào)節(jié)精度等原因，測(cè)量重復(fù)性可以達(dá)到約0.1°。這種方法結(jié)構(gòu)較復(fù)雜，需要專(zhuān)門(mén)的溫度穩(wěn)定機(jī)構(gòu)，調(diào)整的工序多、要求高，調(diào)整的精度對(duì)測(cè)量結(jié)果影響很大，所以實(shí)際應(yīng)用時(shí)會(huì)受到很多限制。
4、旋轉(zhuǎn)檢偏器法讓單色光源通過(guò)起偏器成為線(xiàn)偏振光，再通過(guò)待測(cè)波片(快軸與起偏器軸成45°)和一個(gè)以光路為軸旋轉(zhuǎn)的檢偏器進(jìn)入高靈敏度的光電探測(cè)器。如果待測(cè)波片具有準(zhǔn)確的λ/4延遲，則透射光應(yīng)為圓偏振光，透過(guò)旋轉(zhuǎn)檢偏器的光強(qiáng)信號(hào)始終不變。如果延遲偏離了λ/4，則透射光將成為橢圓偏振光，光強(qiáng)信號(hào)也成為一個(gè)振蕩信號(hào)，其振幅和平均光強(qiáng)由橢圓偏振光的橢圓率決定。測(cè)量出透射的平均光強(qiáng)和光強(qiáng)振蕩變化幅度，就可以計(jì)算出波片位相差。這種方法的精度一般可以達(dá)到1°左右。
5、光學(xué)外差干涉法縱向塞曼激光器輸出一束包含左旋、右旋具有微小頻差的兩種圓偏振光，通過(guò)待測(cè)四分之一波片和偏振片(波片快軸與偏振片偏振方向成45°角)后，在偏振片的偏振方向上形成干涉，然后由光電探測(cè)器接收。探測(cè)器的輸出與入射光的光強(qiáng)成正比，因此外差干涉信號(hào)帶有被測(cè)波片的位相差信息。通過(guò)測(cè)量外差信號(hào)交流量的幅度，就可以確定波片的相位延遲量。這種方法的測(cè)量精度受限于被測(cè)波片和偏振片方向的調(diào)整誤差和電壓測(cè)量精度，一般為0.2°-0.3°。
6、激光頻率分裂測(cè)量法基于激光頻率分裂技術(shù)的波片位相延遲測(cè)量是將波片放入激光腔內(nèi)，由于波片的雙折射效應(yīng)，激光的一個(gè)模式將被分裂為兩個(gè)正交的偏振分量。這兩個(gè)偏振分量之間的頻差與波片的位相差成正比，所以，通過(guò)測(cè)量頻差就可以得到波片的位相延遲。這種方法的測(cè)量精度很高，可以達(dá)到0.05°，理論上可以測(cè)量任意位相延遲的波片，并且可以溯源到光波長(zhǎng)。但不足的是，被測(cè)波片的兩個(gè)表面需要鍍?cè)鐾改?，由于被測(cè)波片是放置在激光內(nèi)腔，所以受激光器本身溫度的影響較大。
從上面的分析我們可以看出，雖然目前國(guó)內(nèi)外關(guān)于波片位相延遲的測(cè)量方法較多，但這些方法的測(cè)量設(shè)備較為復(fù)雜，對(duì)方向角調(diào)整的要求較高。絕大多數(shù)需要精確的角度測(cè)量，而高精度的測(cè)角儀體積很大，成本也很高，另外還有的設(shè)備需要高精度的標(biāo)準(zhǔn)四分之一波片。這就增加了測(cè)量系統(tǒng)的復(fù)雜性，由于測(cè)量環(huán)節(jié)引入了較多的儀器誤差和方位調(diào)整誤差，使測(cè)量精度的進(jìn)一步提高受到了限制。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明利用雙折射外腔回饋可以導(dǎo)致激光偏振跳變的基本原理，提出了一種新的波片測(cè)量方法，并構(gòu)建了測(cè)量系統(tǒng)。在波片外腔回饋條件下，兩個(gè)偏振態(tài)在一個(gè)激光強(qiáng)度調(diào)制周期內(nèi)的占空比與外腔波片的位相差具有線(xiàn)性關(guān)系，并且當(dāng)波片的位相差等于π/2時(shí)，即四分之一波片，兩個(gè)本征態(tài)在一個(gè)激光強(qiáng)度調(diào)制周期中的占空比相等，激光輸出強(qiáng)度曲線(xiàn)類(lèi)似于正弦波的全波整流，兩個(gè)偏振光的強(qiáng)度平等轉(zhuǎn)移。通過(guò)測(cè)量?jī)蓚€(gè)偏振態(tài)在一個(gè)激光強(qiáng)度調(diào)制周期內(nèi)的占空比就可以高精度地確定外腔雙折射元件的位相差。由于激光回饋系統(tǒng)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便的特性，且被測(cè)波片位于激光器外，所以，該測(cè)量系統(tǒng)不但可以實(shí)現(xiàn)波片的高精度測(cè)量，同時(shí)還可以作為在線(xiàn)式波片測(cè)量系統(tǒng)，實(shí)時(shí)檢測(cè)波片的位相差。
本發(fā)明的特征在于，所述的基于激光回饋的波片測(cè)量裝置含有A半內(nèi)腔式的632.8nm的He-Ne激光器，所述的He-Ne激光器含有增益管10，內(nèi)有He、Ne混合氣體，氣壓比例為7∶1；增透窗片11，所述的增透窗片11固定在所述增益管10的一端；諧振腔，所述的諧振腔包括第一內(nèi)腔反射鏡8，所述的第一內(nèi)腔反射鏡8固定在所述增益管10的另一端；第二內(nèi)腔反射鏡12，位于上述增透窗片11的另一端；壓電陶瓷13，固定在上述第二內(nèi)腔反射鏡12上，在輸入電壓作用下，所述的壓電陶瓷13推動(dòng)上述第二內(nèi)腔反射鏡12沿激光軸線(xiàn)方向左、右移動(dòng)，改變激光的頻率；B激光回饋外腔，所述的激光回饋外腔包括激光回饋外腔反射鏡4，固定在所述第一內(nèi)腔反射鏡8的一側(cè)，與所述第一內(nèi)腔反射鏡8有一定的距離；被測(cè)波片6，安放在上述激光回饋外腔反射鏡4與所述第一內(nèi)腔反射鏡8之間；另一個(gè)壓電陶瓷3，固定在上述激光回饋外腔反射鏡4上，在輸入電壓作用下，它推動(dòng)上述激光回饋外腔反射鏡4沿激光軸線(xiàn)方向左、右移動(dòng)；所述的激光回饋外腔反射鏡4、被測(cè)波片6、壓電陶瓷3以及所述的He-Ne激光器中第一內(nèi)腔反射鏡8共同構(gòu)成所述的激光回饋外腔；C測(cè)量電路，所述的測(cè)量電路包括分光鏡15，位于上述第二內(nèi)腔反射鏡12的一側(cè)，靠近上述第二內(nèi)腔反射鏡12；第一光電探測(cè)器14，測(cè)量經(jīng)上述分光鏡15反射后的激光輸出的光強(qiáng)；偏振片16，它位于上述分光鏡15之后，將兩正交偏振光的強(qiáng)度進(jìn)行不同的衰減；第二光電探測(cè)器17，位于上述偏振片16之后，探測(cè)通過(guò)偏振片后的激光光強(qiáng)；所述He-Ne激光器的石英外殼9、第一光電探測(cè)器14、第二光電探測(cè)器17固定在各自的支架上，被測(cè)波片6固定在三維波片架5上，壓電陶瓷3固定在二維調(diào)節(jié)架2上，所述各個(gè)支架、三維波片架5、二維調(diào)節(jié)架2各自固定在裝在罩子1內(nèi)的平臺(tái)18上；D數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，該數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)包括
模/數(shù)轉(zhuǎn)換器，輸入信號(hào)分別為第一光電探測(cè)器14和第二光電探測(cè)器17輸出的激光強(qiáng)度信號(hào)；數(shù)/模轉(zhuǎn)換器，該數(shù)/模轉(zhuǎn)換器的輸出與所述的壓電陶瓷3、13的輸入端相連；計(jì)算機(jī)與所述的模/數(shù)轉(zhuǎn)換器的輸出端、數(shù)/模轉(zhuǎn)換器的輸入端相連。
由實(shí)驗(yàn)結(jié)果與理論分析可知，只要測(cè)量出兩個(gè)偏振態(tài)在一個(gè)激光強(qiáng)度調(diào)制周期的占空比，就可以得到被測(cè)波片的位相延遲。測(cè)波片的位相延遲的測(cè)量由數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)自動(dòng)完成。


圖1激光回饋系統(tǒng)示意圖；圖2激光回饋波片測(cè)量裝置示意圖；圖3測(cè)量裝置對(duì)不同波片的測(cè)量結(jié)果(a)第一光電探測(cè)器輸出，(b)第二光電探測(cè)器輸出；圖4偏振跳變中兩個(gè)偏振態(tài)的占空比與波片位相延遲的關(guān)系曲線(xiàn)(a)實(shí)測(cè)曲線(xiàn)，(b)理論曲線(xiàn)。
具體實(shí)施例方式
實(shí)驗(yàn)裝置如附圖1所示，8和12分別是激光器的第一內(nèi)腔反射鏡和第二內(nèi)腔反射鏡，它們的反射率R1和R2分別為99.8％與98.8％，它們之間的距離，即激光諧振腔長(zhǎng)記為L(zhǎng)；10為激光增益管，內(nèi)有He、Ne混合氣體，比例為7∶1；11是增透窗片，固定在上述增益管的一端；8、10、11和12共同構(gòu)成了半外腔632.8nm的He-Ne激光器。13為壓電陶瓷，它固定在上述第二內(nèi)腔反射鏡上，在輸入電壓作用下，它推動(dòng)上述第二內(nèi)腔反射鏡沿激光軸線(xiàn)方向左、右移動(dòng)，以改變激光的頻率，并使激光工作在單模狀態(tài)；4為激光回饋外腔反射鏡，反射率R3＝10％；3為壓電陶瓷，它固定在上述激光回饋外腔反射鏡上，在輸入電壓作用下，它推動(dòng)上述激光回饋外腔反射鏡沿激光軸線(xiàn)方向左、右移動(dòng)；6為被測(cè)波片；4、6和8共同構(gòu)成了激光回饋外腔，外腔長(zhǎng)記為l。14是第一光電探測(cè)器，探測(cè)經(jīng)分光鏡15反射后的激光輸出強(qiáng)度；17是第二光電探測(cè)器，探測(cè)激光偏振態(tài)的變化。
激光回饋波片測(cè)量系統(tǒng)的裝置如附圖2所示。1為系統(tǒng)外罩；2是二維調(diào)節(jié)架，與3固定在一起，用于調(diào)節(jié)回饋鏡4的準(zhǔn)直；5為三維波片架，用于調(diào)節(jié)被測(cè)波片6的準(zhǔn)直；7是擋板，用于減少激光器的溫升對(duì)回饋外腔的影響；9是激光器的石英外殼，可以減少外界環(huán)境對(duì)激光器的影響；18為系統(tǒng)底板，用于將系統(tǒng)的各個(gè)部分連接成一體，增加系統(tǒng)的穩(wěn)定性，提高抗外界干擾的能力；上述He-Ne激光器的石英外殼9、第一和第二光電探測(cè)器各自經(jīng)固定支架固定在裝在罩子內(nèi)的安裝平臺(tái)18上。
實(shí)例如圖1或圖2的實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，當(dāng)回饋鏡4在壓電陶瓷3的推動(dòng)下，沿激光軸線(xiàn)左右移動(dòng)時(shí)，由第一光電探測(cè)器14測(cè)得的激光強(qiáng)度調(diào)制曲線(xiàn)如圖3(a)所示。圖3(a)中有5條曲線(xiàn)，其中曲線(xiàn)1是壓電陶瓷的驅(qū)動(dòng)電壓；曲線(xiàn)2是回饋外腔中沒(méi)有波片時(shí)的激光強(qiáng)度調(diào)制曲線(xiàn)，稱(chēng)之為傳統(tǒng)激光回饋曲線(xiàn)；曲線(xiàn)3、曲線(xiàn)4與曲線(xiàn)5分別對(duì)應(yīng)被測(cè)波片的位相差為20°，35°與80°時(shí)的激光強(qiáng)度調(diào)制曲線(xiàn)。從圖3(a)可以看出，當(dāng)激光回饋外腔含有波片6時(shí)，在激光輸出強(qiáng)度調(diào)制曲線(xiàn)的B點(diǎn)出現(xiàn)了一個(gè)凹陷或突起，這說(shuō)明回饋外腔中有波片時(shí)對(duì)激光的輸出強(qiáng)度有影響。通過(guò)偏振片16觀察，即通過(guò)第二光電探測(cè)器17，我們發(fā)現(xiàn)激光的偏振方向在B點(diǎn)發(fā)生了突然的變化，即從水平方向跳變到垂直方向，這就是激光的偏振跳變，由第二光電探測(cè)器17輸出的激光強(qiáng)度調(diào)制曲線(xiàn)如圖3(b)所示。由此得出如下的結(jié)論1)不論被測(cè)波片的位相差多大，激光回饋輸出強(qiáng)度的調(diào)制周期不變，仍然與傳統(tǒng)激光回饋的相等；2)被測(cè)波片6的位相差不同，偏振跳變?cè)谝粋€(gè)激光強(qiáng)度調(diào)制周期中的位置也不同；3)激光偏振跳變時(shí)，兩個(gè)偏振態(tài)的強(qiáng)度均被外腔長(zhǎng)調(diào)制，即伴隨著偏振態(tài)的變化，激光模式兩個(gè)本征態(tài)之間的強(qiáng)度在相互轉(zhuǎn)移；4)隨著波片位相差的增大(0-π/2范圍內(nèi))，兩個(gè)偏振態(tài)在一個(gè)激光輸出強(qiáng)度調(diào)制周期內(nèi)的持續(xù)時(shí)間越來(lái)越接近；5)當(dāng)波片位相差增加時(shí)，強(qiáng)度調(diào)制曲線(xiàn)上凹陷或突起的深度也在逐漸增加。
在一個(gè)激光強(qiáng)度調(diào)制周期內(nèi)，兩個(gè)正交偏振態(tài)的占空比隨被測(cè)波片位相差變化的實(shí)測(cè)曲線(xiàn)如圖4(a)所示，基本為線(xiàn)性關(guān)系。
由于波片的雙折射性質(zhì)，使激光模式的兩個(gè)本征態(tài)在外腔具有不同的損耗，打破了激光的柱狀對(duì)稱(chēng)性，使激光的偏振態(tài)發(fā)生跳變。偏振跳變的條件可以近似表示為1)偏振從水平方向跳變到垂直方向的條件為cos(2kl)≤0(1)2)當(dāng)激光偏振從垂直方向跳變到水平方向的條件為cos(2kl-2δ)≤0(2)式中k為波數(shù)，l為回饋腔長(zhǎng)，δ為被測(cè)波片的位相延遲。由偏振跳變的條件可以推出兩個(gè)偏振態(tài)在一個(gè)激光強(qiáng)度調(diào)制周期的占空比與被測(cè)波片位相延遲的關(guān)系為Dx=(π-δ)/π---(3)]]>Dy=δ/π---(4)]]>式中Dx和Dy分別代表x偏振和y偏振的占空比。變化曲線(xiàn)如圖4(b)所示。
權(quán)利要求
1.基于激光回饋的波片測(cè)量裝置，其特征在于，所述的基于激光回饋的波片測(cè)量裝置含有A半內(nèi)腔式的632.8nm的He-Ne激光器，所述的He-Ne激光器含有增益管10，內(nèi)有He、Ne混合氣體，氣壓比例為7∶1；增透窗片11，所述的增透窗片11固定在所述增益管10的一端；諧振腔，所述的諧振腔包括第一內(nèi)腔反射鏡8，所述的第一內(nèi)腔反射鏡8固定在所述增益管10的另一端；第二內(nèi)腔反射鏡12，位于上述增透窗片11的另一端；壓電陶瓷13，固定在上述第二內(nèi)腔反射鏡12上，在輸入電壓作用下，所述的壓電陶瓷13推動(dòng)上述第二內(nèi)腔反射鏡12沿激光軸線(xiàn)方向左、右移動(dòng)，改變激光的頻率；B激光回饋外腔，所述的激光回饋外腔包括激光回饋外腔反射鏡4，固定在所述第一內(nèi)腔反射鏡8的一側(cè)，與所述第一內(nèi)腔反射鏡8有一定的距離；被測(cè)波片6，安放在上述激光回饋外腔反射鏡4與所述第一內(nèi)腔反射鏡8之間；另一個(gè)壓電陶瓷3，固定在上述激光回饋外腔反射鏡4上，在輸入電壓作用下，它推動(dòng)上述激光回饋外腔反射鏡4沿激光軸線(xiàn)方向左、右移動(dòng)；所述的激光回饋外腔反射鏡4、被測(cè)波片6、壓電陶瓷3以及所述的He-Ne激光器中第一內(nèi)腔反射鏡8共同構(gòu)成所述的激光回饋外腔；C測(cè)量電路，所述的測(cè)量電路包括分光鏡15，位于上述第二內(nèi)腔反射鏡12的一側(cè)，靠近上述第二內(nèi)腔反射鏡12；第一光電探測(cè)器14，測(cè)量經(jīng)上述分光鏡15反射后的激光輸出的光強(qiáng)；偏振片16，它位于上述分光鏡15之后，將兩正交偏振光的強(qiáng)度進(jìn)行不同的衰減；第二光電探測(cè)器17，位于上述偏振片16之后，探測(cè)通過(guò)偏振片后的激光光強(qiáng)；所述He-Ne激光器的石英外殼9、第一光電探測(cè)器14、第二光電探測(cè)器17固定在各自的支架上，被測(cè)波片6固定在三維波片架5上，壓電陶瓷3固定在二維調(diào)節(jié)架2上，所述各個(gè)支架、三維波片架5、二維調(diào)節(jié)架2各自固定在裝在罩子1內(nèi)的平臺(tái)18上；D數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，該數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)包括模/數(shù)轉(zhuǎn)換器，輸入信號(hào)分別為第一光電探測(cè)器14和第二光電探測(cè)器17輸出的激光強(qiáng)度信號(hào)；數(shù)/模轉(zhuǎn)換器，該數(shù)/模轉(zhuǎn)換器的輸出與所述的壓電陶瓷3、13的輸入端相連；計(jì)算機(jī)與所述的模/數(shù)轉(zhuǎn)換器的輸出端、數(shù)/模轉(zhuǎn)換器的輸入端相連。
全文摘要
本發(fā)明屬于激光測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，其特征是利用632.8nm的He－Ne激光器與外部反射鏡構(gòu)成的激光回饋系統(tǒng)來(lái)測(cè)量波片的位相延遲。被測(cè)波片安放在回饋外腔中，當(dāng)回饋鏡沿激光軸線(xiàn)左右移動(dòng)時(shí)，激光的偏振態(tài)將在兩個(gè)正交的方向跳變。偏振跳變的位置與被測(cè)波片的位相差有關(guān)，在一個(gè)激光強(qiáng)度調(diào)制周期中，兩個(gè)偏振態(tài)的占空比與被測(cè)波片的位相延遲具有線(xiàn)性關(guān)系，根據(jù)這一原理可以實(shí)現(xiàn)波片位相延遲的測(cè)量。激光回饋波片測(cè)量方法及其實(shí)現(xiàn)裝置具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、裝配調(diào)整容易、測(cè)量精度高、成本低的特點(diǎn)。適用于實(shí)時(shí)與在線(xiàn)式測(cè)量。
文檔編號(hào)G01M11/02GK1710398SQ200510012000
公開(kāi)日2005年12月21日 申請(qǐng)日期2005年6月24日 優(yōu)先權(quán)日2005年6月24日
發(fā)明者張書(shū)練, 費(fèi)立剛 申請(qǐng)人:清華大學(xué)