專利名稱：被檢查體的外觀檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及被檢查體的外觀檢查裝置，特別是涉及具有多個攝像手段的安裝基板的外觀檢查技術(shù)。
背景技術(shù)：
近年來，電子基板幾乎安裝在所有的設(shè)備上。在這些裝有電子基板的設(shè)備上，小型化、薄型化及降低價格一直是個問題，為此，廣泛地進(jìn)行高集成度設(shè)計。在實現(xiàn)這一高集成度設(shè)計的要素中，除了要充實各種設(shè)計工具、半導(dǎo)體技術(shù)的進(jìn)步外，還可列舉高密度安裝技術(shù)。這一高密度安裝的要點(diǎn)在于制造技術(shù)及檢查技術(shù)，曾提出過利用圖像識別技術(shù)對安裝這些零件后的印刷電路基板(以后稱‘基板’)進(jìn)行檢查的技術(shù)。
為此，例如在專利文獻(xiàn)1中曾提出以下的技術(shù)，即在計算機(jī)圖像的應(yīng)用領(lǐng)域，在將多組廉價的PC(個人用計算機(jī))和低清晰度的顯示裝置組合成高清晰圖像生成裝置中，使各臺PC的圖像生成負(fù)載分散，高效地顯示高清晰的圖像。另外，例如在專利文獻(xiàn)2中還提出一種安裝基板的外觀檢查系統(tǒng)的方案，該系統(tǒng)具有向管理計算機(jī)輸出安裝基板的最終檢查結(jié)果的最終結(jié)果輸出手段。
專利文獻(xiàn)1特開2003-115047號公報專利文獻(xiàn)2特開平11-118439號公報雖然曾提出將圖像識別技術(shù)用于基板的檢查的技術(shù)，但人們?nèi)栽趯で髷U(kuò)展性好、能靈活地構(gòu)成系統(tǒng)的外觀檢查裝置。另外，還要求能更加縮短檢查時間、提高基板的檢查精度。但是，上述提及的技術(shù)沒有提出即使沒有將全體綜合起來的計算機(jī)獨(dú)立的PC仍能獨(dú)自進(jìn)行判斷的外觀檢查裝置，無法說能構(gòu)成擴(kuò)展性好、靈活的系統(tǒng)。另外，基板檢查用的圖像識別，即便在現(xiàn)在，高清晰圖像識別仍要花費(fèi)不少檢查時間，如不縮短檢查時間，則不能改善檢查精度。
本發(fā)明為解決上述問題而提出，其目的在于，在被檢查體的外觀檢查裝置上，能構(gòu)成擴(kuò)展性好、靈活的系統(tǒng)，另外，縮短基板等被檢查體的檢查時間，并提高檢查精度。

發(fā)明內(nèi)容
為解決上述課題，本發(fā)明被檢查體的外觀檢查裝置包括對被檢查體進(jìn)行攝像的多個攝像單元；與該多個攝像單元的各單元對應(yīng)設(shè)置，并根據(jù)利用對應(yīng)的攝像單元拍攝的被檢查體的圖像數(shù)據(jù)，對被檢查體進(jìn)行檢查的多個檢查手段。該多個檢查手段的各個手段都向其它檢查手段發(fā)送利用所述其它檢查手段檢查所要的公用數(shù)據(jù)。根據(jù)這種形態(tài)，則在被檢查體的外觀檢查中，能構(gòu)成擴(kuò)展性好靈活的系統(tǒng)，另外，縮短基板等被檢查體的檢查時間，并提高檢查精度。
可以從由各檢查手段對應(yīng)的攝像單元拍攝的被檢查體的圖像數(shù)據(jù)中，取得公用數(shù)據(jù)。根據(jù)這種形態(tài)，則不必預(yù)先利用其它手段將公用數(shù)據(jù)輸入檢查裝置，能提高檢查效率。
檢查手段參照從各個其它的檢查手段接到的公用數(shù)據(jù)，進(jìn)行被檢查體的外觀檢查。根據(jù)這種形態(tài)，則不必預(yù)先利用其它手段將公用數(shù)據(jù)輸入檢查裝置，能提高檢查效率。
根據(jù)本發(fā)明的外觀檢查裝置，即使沒有將全體綜合起來的計算機(jī)，通過獨(dú)立的PC仍能獨(dú)自地進(jìn)行判斷，所以能構(gòu)成擴(kuò)展性好、靈活的系統(tǒng)。另外，能縮短基板等被檢查體的檢查時間，并提高檢查精度。


圖1為表示本實施方式相關(guān)的外觀檢查裝置的構(gòu)成圖。
圖2為表示本實施方式相關(guān)的攝像系統(tǒng)的構(gòu)成圖。
圖3為表示本實施方式相關(guān)的照明單元的構(gòu)成圖。
圖4為表示本實施方式相關(guān)的包括檢查單元即從屬PC在內(nèi)的外觀檢查裝置的構(gòu)成圖。
圖5為本實施方式相關(guān)的外觀檢查裝置的構(gòu)成示意圖。
圖6A為表示基板的攝像范圍用的6B為表示攝像后的基板的圖像用的圖。
圖6C為表示取得檢查用零件的數(shù)據(jù)的狀態(tài)的基板的圖像用的圖。
具體實施例方式
以下，參照附圖對本發(fā)明的實施方式(以下稱‘實施方式’)進(jìn)行說明。
圖1為表示本實施方式相關(guān)的外觀檢查裝置200的構(gòu)成。外觀檢查裝置具有檢查臺10或基板輸送臺50、攝像系統(tǒng)80等?；遢斔团_50具有支持機(jī)架52及兩根輸送軌54等。由支持機(jī)架52支持輸送軌54。
輸送軌54具有通過驅(qū)動電動機(jī)輸送基板2的輸送帶，將載于輸送帶上的基板2輸送到檢查臺10的實質(zhì)上中央為止。在輸送軌54的上方檢查臺實質(zhì)上中央處，有使用檢測基板2的輸送用的圖中未示出的光傳感器等非接觸式傳感器的輸送傳感器，該輸送傳感器通過檢測基板2的端面或設(shè)在基板2上的檢測孔，檢測基板2被輸送到檢查臺10的實質(zhì)上中央后，停止輸送輸送帶上的基板2。
具有支持機(jī)架52及輸送軌54的基板輸送臺50具有設(shè)置在外觀檢查裝置200下方的讓支持軸插入穿過的插入穿過單元，通過這樣，支持基板輸送臺50可沿與輸送軌54輸送基板2的方向垂直的方向運(yùn)動。通過利用電動機(jī)的驅(qū)動，基板輸送臺50下的滾珠螺桿56進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，移動基板輸送臺50，將基板2送向攝像系統(tǒng)80。還有，在本圖面前一側(cè)的輸送軌54上設(shè)置從上方按壓載于輸送軌54上基板2、矯正基板2的形狀的夾緊裝置，輸送到檢查臺10實質(zhì)上中央的基板2，利用該夾緊裝置矯正歪斜變形的狀態(tài)，將基板2送向攝像系統(tǒng)80。
攝像系統(tǒng)80具有上部攝像系統(tǒng)80a和下部攝像系統(tǒng)80b，上部攝像系統(tǒng)80a由上部照明單元100a、第1攝像單元30a、第2攝像單元30b等構(gòu)成，下部攝像系統(tǒng)80b由下部照明單元100b、第3攝像單元30c、第4攝像單元30d等構(gòu)成(以下根據(jù)需要將上部照明單元100a和下部照明單元100b記為‘照明單元100’，將第1攝像單元30a、第2攝像單元30b、第3攝像單元30c、第4攝像單元30d記為‘?dāng)z像單元30’)。
當(dāng)利用基板輸送臺50將基板2輸送到攝像系統(tǒng)80時，由照明單元100對基板2照射光，攝像單元30對基板2的面進(jìn)行攝像。上部攝像系統(tǒng)80a設(shè)在輸送軌54的上部，下部攝像系統(tǒng)80b設(shè)在輸送軌54的下部，以便與上部攝像系統(tǒng)80a一起夾著作為被檢查體的基板2。上部攝像系統(tǒng)80a和下部攝像系統(tǒng)80b之間的基板2的輸送、與利用照明單元100向基板2照射光、或利用攝像單元30對基板2的面攝像都受控制。通過這樣，由基板輸送臺50輸送的基板2，就能在上部攝像系統(tǒng)80b和下部攝像系統(tǒng)80b之間一面進(jìn)行輸送，一面進(jìn)行攝像，能在一次的基板輸送工序中，分別完成上部攝像系統(tǒng)80a對基板2一面的攝像，以及下部攝像系統(tǒng)80b對基板2另一面的攝像。還有，所謂一次的基板輸送工序，可以是基板朝一個方向移動的工序，也可以是基板來回移動的工序。
當(dāng)利用攝像系統(tǒng)80完成對基板2的兩面攝像時，通過轉(zhuǎn)動滾珠螺桿56，移動基板輸送臺50直至利用輸送軌54輸送基板2的位置，并將完成檢查的基板2送向下道工序。在此后有要進(jìn)行檢查的基板2時，與以上所述的相同，利用輸送軌54輸送基板2直至檢查臺10實質(zhì)上中央處，同樣地對基板2進(jìn)行攝像。
圖2為表示本實施方式相關(guān)的攝像系統(tǒng)80的構(gòu)成圖。本實施方式中，用線狀傳感器掃描被檢查體即基板的檢查面，形成圖像，利用圖像識別判定零件的安裝狀態(tài)是否正常。向電動機(jī)輸入控制信號，移動基板輸送臺50，通過與該線狀傳感器的掃描方向垂直地移動基板2，從而依次獲得每條線的圖像，以被檢查體即基板2作一維空間的運(yùn)動方式完成掃描。作為外觀檢查裝置的其它型式，雖然也有使檢查面在二維空間中移動并停止，反復(fù)上述動作不斷地進(jìn)行點(diǎn)攝像，但在這種場合，通常大多是機(jī)械裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜，檢查時間長。在這一點(diǎn)上，如本實施方式那樣利用線狀傳感器的形式則更加有利。
上部攝像系統(tǒng)80a由上部照明單元100a、上部機(jī)架36a、上部支持機(jī)架38、第1攝像單元30a、第2攝像單元30b、電動機(jī)40、中間透鏡42等構(gòu)成，下部攝像系統(tǒng)80b由下部照明單元100b、下部機(jī)架36b、第3攝像單元30c、第4攝像單元30d、中間透鏡42等構(gòu)成。
上部機(jī)架36a上放置并固定著第1攝像單元30a、第2攝像單元30b、中間透鏡42。第1攝像單元30a由第1透鏡32a、第1線狀傳感器34a構(gòu)成。第2攝像單元30b由第2透鏡32b、第2線狀傳感器34b構(gòu)成。這樣，為了對基板一側(cè)的面進(jìn)行攝像，通過設(shè)置多個攝像單元30，首先，由于能利用高清晰度對基板2攝像，所以能提高檢查精度。另外，由于能將所攝圖像的圖像處理分散，所以能提高處理速度。
上部機(jī)架36a可沿本圖中基板2的輸送方向滑動地支持在上部支持機(jī)架38上，通過電動機(jī)40驅(qū)動，上部機(jī)架36a相對上部支持機(jī)架38滑動?？刂茖鍞z像用的攝像控制單元，根據(jù)預(yù)先輸入的基板厚度數(shù)據(jù)，給出控制信號驅(qū)動電動機(jī)40，從而使上部機(jī)架36a相對上部支持機(jī)架38滑動，以便對基板2的上面攝像而對焦。
在上部攝像系統(tǒng)80a中，第1攝像單元30a及第2攝像單元30b應(yīng)該分擔(dān)對被檢查體即基板2的一個面進(jìn)行攝像，與基板2的一個面對向并排設(shè)置。另外，因?qū)ξ挥诘?攝像單元30a及第2攝像單元30b兩者攝像范圍之間的基板2上的零件進(jìn)行檢查，所以決定分別配置第1透鏡32a、第1線狀傳感器34a、第2透鏡32b、第2線狀傳感器34b及中間透鏡42等，使得在兩者的攝像范圍上具有重復(fù)攝像范圍。下部攝像系統(tǒng)80b中也相同，第3攝像單元30c及第4攝像單元30d應(yīng)該分擔(dān)對被檢查體即基板2的另一個面進(jìn)行攝像，與基板2的另一個面對向并排設(shè)置。另外，決定分別配置第3透鏡32c、第3線狀傳感器34c、第4透鏡32d、第4線狀傳感器34d及中間透鏡42等，使得在第3攝像單元30c及第4攝像單元30d兩者的攝像范圍上有重復(fù)攝像范圍。第1攝像單元30a及第2攝像單元30b、和第3攝像單元30c及第4攝像單元30d，攝像單元30與作為被檢查體的基板2進(jìn)行一次相對的移動工序，通過這樣能對基板2的兩面進(jìn)行攝像，配置成夾著被檢查體即基板2而對向。
為了抑制由于互相間光的干涉造成的圖像模糊，上部照明單元100a配置在比下部照明單元100b更靠近基板輸送方向送來的一側(cè)。因此，通過基板輸送臺50輸送基板2，基板2首先移向第1線狀傳感器34a及第2線狀傳感器34b的掃描范圍的開始位置。然后，利用線狀傳感器34每對基板掃描一根線，便向驅(qū)動滾珠螺桿56的電動機(jī)給出一次控制信號，基板2就前進(jìn)一根線。就這樣通過線狀傳感器34對基板2輸送方向的所有長度進(jìn)行掃描，能在一道基板輸送工序中對基板2兩面進(jìn)行攝像。
圖3為表示本實施方式相關(guān)的照明單元100的構(gòu)成圖。照明單元100由上部照明單元100a及下部照明單元100b構(gòu)成。上部照明單元100a及下部照明單元100b由第1光源102、第2光源104、第3光源106、半透半反鏡110、丙烯酸片112等構(gòu)成。分別配置成第1光源102、第2光源104、第3光源106圍著半透半反鏡110。
第1光源102由沿線狀傳感器34的掃描方向排列成大于等于被檢查體即基板2的長度的LED(發(fā)光二極管)組構(gòu)成。第1光源102為了能對基板2照射反射光，將線狀傳感器34配置在將要掃描的基板上的掃描線的正上方，在本實施方式中，第1光源102由設(shè)置在與基板2平行設(shè)置的基板上的LED組構(gòu)成。還有，為了有效地向檢查中的掃描線投射反射光，可將安裝LED組的基板從中央開始分成兩塊副基板，在各個副基板上構(gòu)成沿掃描方向排列的LED組。利用第1光源102將反射光投向基板2，再利用線狀傳感器34將其檢測出來，從而能判定基板2內(nèi)零件位置偏離、次品、焊錫漬等。
第2光源104由設(shè)置在與基板2平行地配置的兩塊基板上的，沿線狀傳感器34的掃描方向排列成大于等于被檢查體即基板2的長度的LED組構(gòu)成。安裝LED的兩塊基板沿基板輸送方向夾著掃描線配置在兩側(cè)，使得第1光源不干擾將反射光投向掃描線的光程。
第3光源106也和第2光源104一樣，由設(shè)置在與基板2平行地配置的兩塊基板上的，沿線狀傳感器34的掃描方向排列成大于等于被檢查體即基板2的長度的LED組構(gòu)成。安裝LED的兩塊基板沿基板輸送方向夾著掃描線配置在兩側(cè)，使得第1光源及第2光源不干擾對掃描線照射光的光程。利用第2光源104向基板2投射側(cè)射光，通過用線狀傳感器34將其檢測出來，從而能判定基板2內(nèi)有無焊錫搭橋、裝錯零件、及極性裝反等。
上述光源為，第1光源102照射綠光、第2光源104照射白光、第3光源106照射藍(lán)光，各光源以不同的入射角照射被檢查體即基板2。因此，照明單元100作為對被檢查體即基板2照射多個入射角度的光的復(fù)合光源起作用。之所以選第1光源102為綠色、第3光源106為藍(lán)色是由于近些年LED技術(shù)的進(jìn)步，綠色LED或藍(lán)色LED比白色LED明亮，能獲得SN比高的清晰的圖像。由于印刷電路布線板大多為綠色，所以為了利用反射光明亮地照射平面，選第1光源為綠色。另外，用激光印在IC或芯片上的文字通過從低的角度照藍(lán)色的光就變得容易辨認(rèn)，所以第3光源106為藍(lán)色。
來自第1光源102的反射光通過半透半反鏡110向基板2的檢查面以近似零的角度投射。在本發(fā)明的實施方式中，配置成讓第1光源102形成寬度，即使在基板2彎曲時仍舊有入射角為零的反射光分量存在。來自掃描線的反射光在半透半反鏡110上反射，通過中間透鏡42射向透鏡32。
在第2光源104及第3光源106和掃描線之間設(shè)置丙烯酸片112。該丙烯酸片將來自第2光源104及第3光源106的光擴(kuò)散。由于第2光源104及第3光源106為點(diǎn)光源的LED的集合體，所以，如無擴(kuò)散作用則由于點(diǎn)狀的光攝入圖像數(shù)據(jù)有可能會對檢查精度帶來影響。
本實施方式中，依照第2光源104為白色的光、第1光源為綠色的光、第3光源為藍(lán)色的光的次序，各個光源獨(dú)立地對一根掃描線三次發(fā)光，每一次發(fā)光都用線狀傳感器34掃描基板2。通過這樣，能得到各光源對基板2照射光后的狀態(tài)的圖像。
由于基板2有時會光從基板2的端部漏向?qū)ο虻恼彰鲉卧?00，另外，基板2上有時設(shè)置孔或有未被焊錫埋沒的孔殘留等情形存在，所以，從該孔對著對向的照明單元100有漏光的情形存在。當(dāng)從這樣地對向的照明單元100漏出的光由線狀傳感器34直接掃描時，就產(chǎn)生圖像模糊的現(xiàn)象，會對基板2的攝像帶來影響。因此，在本實施方式中，上部照明單元100a和下部照明單元100b沿基板的輸送方向僅偏移長度L進(jìn)行配置。偏移的長度L從抑制圖像模糊的角度考慮最好大于等于50mm。
圖4為表示本實施方式相關(guān)的檢查單元即包括從屬PC(個人用計算機(jī))在內(nèi)外觀檢查裝置200的構(gòu)成圖。上部攝像系統(tǒng)80a由第1攝像單元30a及第2攝像單元30b構(gòu)成，第1攝像單元30a與第1圖像處理單元130a及檢查單元即第1從屬PC140a對應(yīng)、第2攝像單元30b與第2圖像處理單元130b及第2從屬PC140b對應(yīng)。同樣，下部攝像系統(tǒng)80b由第3攝像單元30c及第4攝像單元30d構(gòu)成，第3攝像單元30c與第3圖像處理單元130c及第3從屬PC140c對應(yīng)、第4攝像單元30d與第4圖像處理單元130d及第4從屬PC140d對應(yīng)(以下，按需將第1圖像處理單元130a、第2圖像處理單元130b、第3圖像處理單元130c、第4圖像處理單元130d記為‘圖像處理單元130’，將第1從屬PC140a、第2從屬PC140b、第3從屬PC140c、第4從屬PC140d稱為‘從屬PC140’)。
各個從屬PC140經(jīng)交換中心150通過網(wǎng)絡(luò)與其它從屬PC140連接，進(jìn)行數(shù)據(jù)的收發(fā)。另外，從屬PC140也與管理單元即主PC160連接。主PC160也與LAN(Local Area NetWork局域網(wǎng))連接，檢查結(jié)果等也能向連接LAN的其它PC發(fā)送。
各攝像單元30的線狀傳感器34通過掃描得到的圖像，發(fā)送給各攝像單元30對應(yīng)的圖像處理單元130。各圖像處理單元130對送來的圖像進(jìn)行圖像處理，將圖像輸入對應(yīng)的從屬PC140。
從屬PC140具有輸入各圖像的圖像輸入口；存儲圖像數(shù)據(jù)等數(shù)據(jù)的存儲器；以及通過進(jìn)行圖像識別對基板2外觀進(jìn)行檢查的CPU(Central Processing Unit中央處理單元)等，從各圖像處理單元130向?qū)?yīng)的圖像輸入口輸入圖像。輸入圖像的各從屬PC140將圖像存入存儲器，通過解析對應(yīng)的攝像單元掃描過的圖像，首先取得識別標(biāo)志或條形碼、其它檢查所需的數(shù)據(jù)即公用數(shù)據(jù)。取得公用數(shù)據(jù)的從屬PC140將這一共用數(shù)據(jù)向其它所有的從屬PC140發(fā)送。收到公用數(shù)據(jù)的各從屬PC參照該公用數(shù)據(jù)對被檢查體即基板2進(jìn)行檢查。通過這樣，各從屬PC能執(zhí)行應(yīng)該獨(dú)自進(jìn)行的檢查。
這一處理和生物細(xì)胞的行為相同，所有細(xì)胞具有相同的遺傳因子，按照某個觸動只選與自己有關(guān)的指令執(zhí)行。本實施方式中，與遺傳因子相當(dāng)?shù)臑闄z查數(shù)據(jù)，細(xì)胞相當(dāng)于從屬PC140。以往主PC160要劃分檢查部位或內(nèi)容指示多個圖像處理口，但現(xiàn)在能如本實施方式那樣，各從屬PC140具有相同的檢查數(shù)據(jù)，通過只選與自己有關(guān)的部位執(zhí)行，從而在被檢查體的外觀檢查裝置上，構(gòu)成擴(kuò)展性好、靈活的系統(tǒng)，提高檢查精度，并縮短檢查時間。
圖5為本實施方式相關(guān)的外觀檢查裝置的構(gòu)成示意圖。圖中，雖然作為例子記述上部攝像系統(tǒng)的第1攝像單元30a及第2攝像單元30b，及與其對應(yīng)的第1從屬PC140a及第2從屬PC140b的構(gòu)成，但也適用于下部攝像系統(tǒng)的第3攝像單元30c及第4攝像單元30d，及與其對應(yīng)的第3從屬PC140c及第4從屬PC140d的構(gòu)成。另外，對于上部和下部的從屬PC140之間，例如第1從屬PC140a及第3從屬PC140c之間也能收發(fā)數(shù)據(jù)。
利用上部照明單元100a對基板2照射光時，第1攝像單元30a通過第1透鏡32a利用第1線狀傳感器34a掃描圖像，第2攝像單元30b通過第2透鏡32b利用第2線狀傳感器34b掃描圖像。當(dāng)掃描1根線圖像時，向電動機(jī)58輸入控制信號，使基板2移動1根線。
通過掃描所得的圖像為由第1攝像單元30a攝得的圖像，則發(fā)送給第1圖像處理單元130a，由第2攝像單元30b攝得的圖像，則發(fā)送給第2圖像處理單元130b。各圖像處理單元130對收到的圖像進(jìn)行圖像處理，第1圖像處理單元130a將圖像處理后的圖像向第1從屬PC140a的存儲器141a發(fā)送并存儲在進(jìn)行存儲，第2圖像處理單元130b將圖像處理后的圖像向第2從屬PC140b的存儲器141b發(fā)送并存儲在進(jìn)行存儲。
各從屬PC的解析單元142對在存儲在各存儲器141的圖像中，在其它的從屬PC140中進(jìn)行檢查基板2所要的公用數(shù)據(jù)的解析。所謂公用數(shù)據(jù)系指例如設(shè)在基板2上的表示基板2的位置的識別標(biāo)志的位置數(shù)據(jù)，通過解析設(shè)在基板2上的條形碼等的識別標(biāo)志而得到的基板2的系列號或制造年月日等識別數(shù)據(jù)、跨越第1攝像單元30a及第2攝像單元30b拍攝的零件的圖像、其它基板2檢查所需的數(shù)據(jù)等。
當(dāng)通過解析單元140解析圖像，取得基板2檢查所需的公用數(shù)據(jù)時，將公用數(shù)據(jù)存入存儲器141向其它從屬PC140發(fā)送公用數(shù)據(jù)。本圖中，雖然記述第1從屬PC140a及第2從屬PC140b，但可以和第3從屬PC140c及第4從屬PC140d一起在從屬PC140之間互相收發(fā)公用數(shù)據(jù)。
接到公用數(shù)據(jù)的從屬PC140的解析單元142a，參照接到的公用數(shù)據(jù)對存儲器141所存的圖像進(jìn)行解析，根據(jù)存儲在判定基準(zhǔn)存儲單元143的判定基準(zhǔn)進(jìn)行基板2的檢查。由此，在利用多個攝像單元30對基板2進(jìn)行攝像，并利用與多個攝像單元的各單元對應(yīng)設(shè)置的從屬PC140檢查基板2時，由于各從屬PC140能共享公用數(shù)據(jù)，所以在被檢查體的外觀檢查上，能構(gòu)成擴(kuò)展性好、靈活的系統(tǒng)，另外，縮短基板的檢查時間，并提高基板的檢查精度。
還有，存在各從屬PC的存儲器中的，對基板2拍攝得到的圖像或識別標(biāo)志的位置數(shù)據(jù)等公用數(shù)據(jù)、以及從屬PC140進(jìn)行的基板2的檢查結(jié)果發(fā)送給主PC160。主PC根據(jù)基板2的圖像或基板2的檢查結(jié)果，按需將基板2的出錯部位等在畫面上進(jìn)行顯示等。
圖6A表示基板2的攝像范圍用的圖，圖6B為表示攝像后的基板2的圖像用的圖，圖6C為表示取得檢查用零件的數(shù)據(jù)的狀態(tài)的基板2的圖像用的圖。圖中，以基板2一側(cè)的面為例進(jìn)行說明，但對于基板2另一側(cè)的面則也相同。
在圖6A中，第1攝像單元30a拍攝基板2的左側(cè)，第2攝像單元30b拍攝基板2的右側(cè)。為了在第1攝像單元30a的攝像范圍和第2攝像單元30b的攝像范圍之間不產(chǎn)生圖像缺失的范圍，在第1攝像單元30a的攝像范圍和第2攝像單元30b的攝像范圍中設(shè)重復(fù)的攝像范圍。
基板2上設(shè)置表示基板位置的第1識別標(biāo)志4a及表示基板位置的第2識別標(biāo)志4b。另外，在基板2的實質(zhì)上中央安裝跨越第1攝像單元30a的攝像范圍和第2攝像單元30b的攝像范圍的第1零件6及第2零件8。另外，雖圖中未示出，但在基板2上設(shè)置著記錄基板2的識別數(shù)據(jù)的條形碼。
當(dāng)利用第1攝像單元30a及第2攝像單元30b對基板2進(jìn)行攝像時，如圖6B所示，利用第1攝像單元30a對本圖中基板2左側(cè)的圖像進(jìn)行攝像，并利用第2攝像單元30b對本圖中基板2右側(cè)的圖像進(jìn)行攝像。由第1攝像單元30a拍攝的圖像存入第1從屬PC140a的存儲器141a，由第2攝像單元30b拍攝的圖像存入第2從屬PC140b的存儲器141b。這時，第1識別標(biāo)志4a、第1零件6及第2零件8的部分圖像由第1攝像單元30a拍攝并存入第1從屬PC140a的存儲器141a，另外，第2識別標(biāo)志4b、第1零件6及第2零件8剩余的部分圖像由第2攝像單元30b拍攝并存入第2從屬PC140b的存儲器141b。
這里，首先各從屬PC140的解析單元142對存儲器141所存的圖像進(jìn)行解析，從識別標(biāo)志的圖像取得識別標(biāo)志的位置數(shù)據(jù)，從條形碼的圖像取得基板2的系列號或制造年月日等識別數(shù)據(jù)。取得的識別標(biāo)志的位置數(shù)據(jù)或識別數(shù)據(jù)等公用數(shù)據(jù)由收發(fā)單元144送別的從屬PC140。例如因為基板2的姿勢有可能稍微傾斜，或基板2的位置偏離掃描方向或輸送方向而設(shè)置，所以進(jìn)行基板檢查的PC要準(zhǔn)確掌握基板的位置或姿勢后對基板2作檢查。因此，在本實施方式中，檢查基板2的各從屬PC140在自己對應(yīng)的攝像單元30的攝像范圍內(nèi)不包括識別標(biāo)志或只包括部分識別標(biāo)志時，通過在從屬PC間共享識別標(biāo)志的位置數(shù)據(jù)等公用數(shù)據(jù)，從而在輸入的基板2的圖像上，能掌握基板2的位置或姿勢。因此，能用多臺PC分擔(dān)基板2的檢查，在被檢查體的外觀檢查上，能構(gòu)成擴(kuò)展性好、靈活的系統(tǒng)，另外，在基板2等被檢查體的檢查上，能提高檢查精度，并縮短時間。
另外，本實施方式中，如第1零件6及第2零件8那樣，跨越多個攝像單元30的攝像范圍設(shè)置在基板2上的零件根據(jù)零件的中心部屬于哪個攝像單元30的攝像范圍，預(yù)定就由某個從屬PC140對該零件進(jìn)行檢查。例如，本實施方式中，因第1零件6其中心部屬于第1攝像單元30a的攝像范圍，所以對第1零件6的檢查由與第1攝像單元30a對應(yīng)的檢查單元即第1從屬PC140a進(jìn)行。反之，第2零件8其中心部屬于第2攝像單元30b的攝像范圍，所以對第2零件8的檢查由與第2攝像單元30b對應(yīng)的檢查單元即第2從屬PC140b進(jìn)行。
這里如圖6B所示，各攝像單元30只對基板2攝像，如第1零件6及第2零件8那樣，跨越多個攝像單元30的攝像范圍配置的基板2上的零件的圖像由于部分缺失，就無法檢查。因此，缺失的圖像必須從存儲器中存有缺失的圖像的其它從屬PC140處取得。
這里，例如若第1從屬PC140a從第2從屬PC140b收到第2識別標(biāo)志4b的位置數(shù)據(jù)，則第1從屬PC140a自己取得的第1識別標(biāo)志4a的位置數(shù)據(jù)和收到的第2識別標(biāo)志4b的位置數(shù)據(jù)對照，計算第1攝像單元30a攝得的基板2的位置或姿勢。由此，第1從屬PC140a能識別第1攝像單元30a拍攝的圖像的位置或姿勢。通過識別圖像的位置或姿勢，第1從屬PC140a特定應(yīng)該送第2從屬PC140b的第2零件8的部分圖像。這樣，第1從屬PC140a將第2零件8的部分圖像發(fā)送給第2從屬PC140b。
同樣，例如，若第2從屬PC140b從第1從屬PC140a收到第1識別標(biāo)志4a的位置數(shù)據(jù)，則第2從屬PC140b自己取得的第2識別標(biāo)志4b的位置數(shù)據(jù)和收到的第1識別標(biāo)志4a的位置數(shù)據(jù)對照，計算第2攝像單元30b攝得的基板2的位置或姿勢。由此，第2從屬PC140b能識別第2攝像單元30b拍攝的圖像的位置或姿勢。通過識別圖像的位置或姿勢，第2從屬PC140b特定應(yīng)該送第1從屬PC140a的第1零件6的部分圖像。這樣，第2從屬PC140b將第1零件6的部分圖像發(fā)送給第1從屬PC140a。
這樣，如圖6C所示，從屬PC140通過取得缺失的圖像，取得所檢查的零件的所有圖像，由此，就能對基板2上的全部零件進(jìn)行檢查。各從屬PC140根據(jù)判定基準(zhǔn)判定自己承擔(dān)的零件的檢查等，當(dāng)檢查結(jié)束時，將檢查結(jié)果發(fā)送給主PC160。
本發(fā)明不限于上述各實施方式，作為本發(fā)明的實施方式將各實施方式的各要素適當(dāng)組合而成也是有效的。另外，根據(jù)從事這項技術(shù)的人員的知識也能對各實施方式添加各種設(shè)計變更等變形，作了這樣的變形后的實施方式仍包括在本發(fā)明的范圍內(nèi)。以下，列舉這樣的例子。
攝像單元30可以不是用線狀傳感器34檢查基板2，而是用CCD傳感器依次拍攝規(guī)定范圍的圖像。通過這樣，能容易地拍攝基板2的圖像。
公用數(shù)據(jù)可以由從屬PC140向主PC160發(fā)送，并由主PC160向各從屬PC140發(fā)送。
攝像單元30及對應(yīng)的從屬PC140可以在檢查基板2的一面的上部及檢查基板2的另一面的下部各設(shè)1組。此時，公用數(shù)據(jù)能在檢查基板2的一面的從屬PC140及檢查另一面的從屬PC140之間收發(fā)。通過這樣，例如即使基板2的某一面未設(shè)識別標(biāo)志等，仍能參照己設(shè)識別標(biāo)志的另一面的位置數(shù)據(jù)進(jìn)行檢查等，使裝置的構(gòu)成簡化。
可以固定基板、移動照明單元100或攝像單元30。通過這樣，在對基板2攝像時，能穩(wěn)定保持基板2。
權(quán)利要求
1.一種被檢查體的外觀檢查裝置，其特征在于，具有對被檢查體進(jìn)行攝像的多個攝像單元；以及與該多個攝像單元的各單元對應(yīng)設(shè)置，并根據(jù)利用對應(yīng)的攝像單元拍攝的被檢查體的攝像數(shù)據(jù)，對被檢查體進(jìn)行檢查的多個檢查手段，該多個檢查手段的各個手段都向其它檢查手段發(fā)送利用所述其它檢查手段檢查所要的公用數(shù)據(jù)。
2.如權(quán)利要求1所述的被檢查體的外觀檢查裝置，其特征在于，從由各檢查手段對應(yīng)的攝像單元拍攝的被檢查體的攝像數(shù)據(jù)，取得所述公用數(shù)據(jù)。
3.如權(quán)利要求1或2所述的被檢查體的外觀檢查裝置，其特征在于，所述檢查手段參照從各個其它的檢查手段收到的公用數(shù)據(jù)，進(jìn)行被檢查體的外觀檢查。
全文摘要
本發(fā)明揭示一種被檢查體的外觀檢查裝置，其目的在于在被檢查體的外觀檢查上能構(gòu)成擴(kuò)展性好靈活的系統(tǒng)，另外，縮短基板等被檢查體的檢查時間，并提高檢查精度。在基板(2)的外觀檢查裝置(200)上，多臺從屬PC(140)和對基板(2)進(jìn)行攝像的多個攝像單元(30)分別與所述多個攝像單元(30)的每一個對應(yīng)設(shè)置，根據(jù)對應(yīng)的攝像單元(30)攝得的基板(2)的攝像數(shù)據(jù)對基板(2)進(jìn)行檢查。該多臺從屬PC(140)的每一臺對其它的從屬PC(140)發(fā)送利用這些其它的從屬PC(140)進(jìn)行檢查所需的公用數(shù)據(jù)。公用數(shù)據(jù)從由各從屬PC(140)對應(yīng)的攝像單元(30)拍攝的基板(2)的攝像數(shù)據(jù)中取得。從屬PC(140)參照從各個其它的從屬PC(140)接到的公用數(shù)據(jù)對基板(2)作外觀檢查。
文檔編號G01B11/24GK1987347SQ20051000338
公開日2007年6月27日 申請日期2005年12月23日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月24日
發(fā)明者秋山吉宏, 楊勇, 秋山咲惠 申請人:株式會社先機(jī)