專利名稱：圖形基板的缺陷修正方法、修正裝置和圖形基板制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及修正圖形基板的缺陷的缺陷修正方法、缺陷修正裝置和圖形基板的制造方法。
背景技術(shù)：
在液晶顯示器用濾色片的制造工序中，為了提高成品率而修正濾色片基板中的缺陷。關(guān)于該缺陷修正方法，有通過在針的尖端蘸上抗蝕劑并滴到缺陷部分上來進(jìn)行修正的方法。但是，在該方法中，由于滴下量隨抗蝕劑的粘度而變化，因此難以控制滴下量和修正精度，難以穩(wěn)定地進(jìn)行修正。并且，需要干燥工序，因此修正時間長，生產(chǎn)率低。
另外，作為其它的缺陷修正方法，有膜轉(zhuǎn)印法。在該方法中，使具有著色層的膜緊貼在濾色片基板的無著色層的白缺陷部分，并從膜轉(zhuǎn)印著色層進(jìn)行缺陷的修正(例如，專利文獻(xiàn)1)。
用圖14說明該方法的問題點(diǎn)。圖14是表示濾色片基板結(jié)構(gòu)的剖面放大圖。圖14示出了濾色片基板的一部分結(jié)構(gòu)。濾色片用的基板6的黑矩陣71(以下稱BM)通常設(shè)置成矩陣狀。并且，在BM之間設(shè)置有紅色、綠色、藍(lán)色的著色層70。由于該著色層70的一部分疊加在BM71之上，因此成為有凹凸的結(jié)構(gòu)。例如，在樹脂黑矩陣結(jié)構(gòu)的濾色片中，BM和著色層分別為1μm左右，因此表面的凹凸約為1μm。因此，有時膜部分地附著在著色層70的凸部上，不能使膜正確地緊貼在有凹部的缺陷部分。有時不能使膜完全緊貼在著色層的白缺陷部分上，難以穩(wěn)定地對著色層進(jìn)行熱轉(zhuǎn)印來修正缺陷。另外，在現(xiàn)有的轉(zhuǎn)印方法中，為使膜轉(zhuǎn)印到基板上，采用具有與基板側(cè)的著色層不同的材質(zhì)的多層結(jié)構(gòu)。因此，像素由與基板側(cè)的著色層不同的材質(zhì)來形成，有可能對顯示裝置的質(zhì)量產(chǎn)生影響。
另外，還公開有使用2種材料的圖形的修正方法(專利文獻(xiàn)2)。在這種方法中，以水溶性材料或者油溶性材料的一種作為保護(hù)膜來覆蓋基板。然后，除去保護(hù)膜，使缺陷部分露出來。以使用了另一種材料的修正用材料填補(bǔ)了露出的部分之后，除去保護(hù)膜，完成修正。在該方法中，由于使用了2種材料，因此有可能使工序變得復(fù)雜了。并且，有可能不能完全除去在基板表面上附著的材料。
另外，還公開有修正缺陷的其它方法(專利文獻(xiàn)3)。在該缺陷修正方法中，除去與1個像素相當(dāng)?shù)念伾牧?，在缺陷像素上覆蓋具有與1個像素對應(yīng)的孔的掩膜。然后，用分配器涂敷顏色材料，用刮刀使顏色材料附著在缺陷像素上。在該方法中，可以用刮刀除去多余的顏色材料。
在上述的缺陷修正方法中，由于用于使掩膜位置吻合的時間變長，因此生產(chǎn)率低。并且，由于在刮刀上使用了海綿，因此有可能不能使缺陷部分附著的顏色材料恒定。此時，基板表面附著的顏色材料的厚度不均。而且，有時樹脂進(jìn)入到掩膜和基板之間，在缺陷部分以外也附著了溶液。因此，在該缺陷修正方法中，有不能穩(wěn)定地修正缺陷的問題。
在像上述那樣涂敷溶液修正缺陷的情況下，最好用粘度高的溶液。即，在使用粘度低的溶液的情況下，溶液會擴(kuò)展到涂敷區(qū)域的周圍，附著到缺陷部分以外。在缺陷部分以外涂敷了溶液的情況下，該部分有可能成為新的缺陷，不能穩(wěn)定地進(jìn)行缺陷的修正。另外，如果使用粘度高的溶液，則溶液有可能進(jìn)入不到缺陷部分，附著不到基板上。這樣，有修正部位從基板上剝落的情況。并且，有缺陷部分涂敷的溶液量產(chǎn)生不均的可能。這在縱橫比高的修正孔上表現(xiàn)明顯。因此，在現(xiàn)有的缺陷修正方法中，在使用粘度高的溶液的情況下，例如，對于小缺陷，有溶液不能充分進(jìn)入，修正部位剝落的可能。據(jù)此，在現(xiàn)有的缺陷修正方法中，不能使用粘度高的溶液，不能穩(wěn)定地修正缺陷。
修正用的溶液一般使用在溶劑中溶入了含有著色材料的樹脂的溶液。另外，在缺陷部分涂敷了溶液后，進(jìn)行干燥使溶劑蒸發(fā)。據(jù)此，在基板上只留下含有著色材料的樹脂。在使用了粘度低的溶劑的情況下，能一次附著的樹脂的厚度變薄。在一次不能附著足夠的樹脂的情況下，必須反復(fù)進(jìn)行涂敷工序和干燥工序。因此，生產(chǎn)率低，同時由于反復(fù)進(jìn)行涂敷工序和干燥工序，因而修正部位的厚度偏差大。在現(xiàn)有的缺陷修正方法中，有不能穩(wěn)定地修正缺陷的問題。
日本特開平11-230861號公報。
日本特開平2-262603號公報[專利文獻(xiàn)3]日本特開昭64-31186號公報發(fā)明內(nèi)容這樣，在現(xiàn)有的缺陷修正方法中，有不能穩(wěn)定地修正圖形基板的缺陷這樣的問題。
本發(fā)明的缺陷修正裝置，是除去形成了圖形的基板上的缺陷的缺陷修正裝置，包括發(fā)出脈沖激光的脈沖激光光源(例如，本發(fā)明實(shí)施例中的短脈沖激光光源1)、以及與上述基板相對設(shè)置的膜(例如，本發(fā)明實(shí)施例中的膜5)，通過對上述膜照射來自上述脈沖激光光源的脈沖激光，用激光燒蝕大致同時地除去上述膜的一部分和缺陷。由此，能以簡單的結(jié)構(gòu)除去圖形基板上的缺陷。
在上述的缺陷檢查裝置中，也可以通過照射脈沖激光使上述膜變薄，并用激光燒蝕大致同時地除去上述膜的一部分和缺陷。
在上述缺陷修正裝置中，還包括將上述膜變更為具有轉(zhuǎn)印到上述基板上的轉(zhuǎn)印層(例如，本發(fā)明實(shí)施例中的著色層51)的膜的轉(zhuǎn)換部件(例如，本發(fā)明實(shí)施例中的膜卷軸轉(zhuǎn)動部件14等)，對具有上述轉(zhuǎn)印層的膜照射上述脈沖激光，并將上述轉(zhuǎn)印層轉(zhuǎn)印到上述基板。由此，能以簡單的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定地修正白缺陷和黑缺陷。
在上述的缺陷修正裝置中，也可以把上述轉(zhuǎn)印層轉(zhuǎn)印到除去了上述缺陷的部位上。由此，能快速地進(jìn)行缺陷修正。
本發(fā)明的缺陷修正裝置是在上述缺陷修正裝置中還包括使與修正上述基板的圖形相對應(yīng)的修正液附著到基板上的噴嘴，并使上述修正液從除去了上述膜的部分附著到基板上來修正缺陷的裝置。據(jù)此，能正確地修正圖形。
本發(fā)明的缺陷修正裝置是在上述缺陷檢查裝置中還包括在除去上述膜部位的位置具有可移動的轉(zhuǎn)印層的膜，并使上述轉(zhuǎn)印層從除去了上述膜的部分轉(zhuǎn)印到上述基板上來修正缺陷的裝置。
本發(fā)明的缺陷修正裝置，是把圖形轉(zhuǎn)印到形成了圖形的基板的缺陷部分上修正缺陷的缺陷修正裝置，包括在與上述基板相對的面上具有轉(zhuǎn)印到該基板的轉(zhuǎn)印層、并接近上述基板的膜，以及發(fā)出照射與上述缺陷部分相對應(yīng)的膜的脈沖激光的脈沖激光光源，并對具有上述轉(zhuǎn)印層的膜照射來自上述脈沖激光光源的脈沖激光，把轉(zhuǎn)印層轉(zhuǎn)印到上述基板的缺陷部分。由此，能在缺陷部分正確地形成圖形，從而能進(jìn)行穩(wěn)定的修正。
上述缺陷修正裝置的優(yōu)選實(shí)施例是上述基板為具有遮光膜和在上述遮光膜之上形成的抗蝕劑圖形的光掩模用基板，修正上述抗蝕劑圖形的缺陷的例子。由此，能修正上述光掩模用基板的圖形。
本發(fā)明的缺陷修正裝置，是修正形成了圖形的基板的缺陷的缺陷修正裝置，包括與上述基板相對設(shè)置的膜，發(fā)出照射上述膜并在上述膜上設(shè)置開口部的脈沖激光的脈沖激光光源，以及能移動到上述開口部的位置的、使與修正上述基板的圖形相對應(yīng)的修正液附著到基板上的噴嘴；使上述修正液從除去了上述膜的部分附著到基板上進(jìn)行缺陷修正。由此，能高精度地附著圖形，從而能正確地進(jìn)行圖形修正。
本發(fā)明的缺陷修正裝置，是修正形成了圖形的基板的缺陷的缺陷修正裝置，包括與上述基板相對設(shè)置的膜，發(fā)出照射上述膜并在上述膜上設(shè)置開口部的脈沖激光的脈沖激光光源，以及能移動到與上述開口部相對應(yīng)的位置的、具有轉(zhuǎn)印層的膜(例如，本發(fā)明實(shí)施例中的膜18)；經(jīng)由上述開口部使上述轉(zhuǎn)印層轉(zhuǎn)印到上述基板進(jìn)行缺陷修正。由此，能以簡單的結(jié)構(gòu)正確地修正缺陷。
上述缺陷修正裝置的一個優(yōu)選例子，還包括能移動到與上述開口部相對應(yīng)的位置的加熱塊(例如，本發(fā)明實(shí)施例中的加熱塊20)，用上述加熱塊使具有上述轉(zhuǎn)印層的膜壓到上述基板上轉(zhuǎn)印轉(zhuǎn)印層。由此，能以簡單的結(jié)構(gòu)使轉(zhuǎn)印層密合性良好地進(jìn)行轉(zhuǎn)印。
在上述缺陷修正裝置中，上述加熱塊也可以具有與上述開口部相對應(yīng)的凸部，用上述凸部使上述基板和具有上述轉(zhuǎn)印層的膜壓在一起，據(jù)此，能提高密合性。
在上述缺陷修正裝置中，也可以還包括對設(shè)置了上述開口部的膜進(jìn)行固定的固定部件。由此，能防止開口部的錯位。
在上述缺陷修正裝置中，最好具有上述轉(zhuǎn)印層的膜還具有吸收上述脈沖激光的吸收層(例如，本發(fā)明實(shí)施例中的膨脹層23)，向上述吸收層照射脈沖激光，把上述轉(zhuǎn)印層轉(zhuǎn)印到上述基板。由此，能高效地轉(zhuǎn)印轉(zhuǎn)印層。
在上述缺陷修正裝置中，最好在上述吸收層和上述轉(zhuǎn)印層之間具有在把上述轉(zhuǎn)印層轉(zhuǎn)印到上述基板后，把上述吸收層從上述轉(zhuǎn)印層上分開的分離層。由此，可以防止吸收層附著在基板上，從而能正確地修正缺陷。
本發(fā)明的缺陷修正裝置的特征是在上述缺陷修正裝置中，照射上述脈沖激光，除去已除去了上述膜的部分的周圍部分的上述修正液。由此，能正確地修正圖形。
在本發(fā)明缺陷修正裝置中，最好還包括向上述膜或者具有上述轉(zhuǎn)印層的膜噴射氣體的噴射部件，用上述噴射部件使上述膜或者具有上述轉(zhuǎn)印層的膜接近上述基板。由此，能使膜與基板高精度地接近。
在上述缺陷修正裝置中，最好還包括使來自上述脈沖激光光源的脈沖激光成形的光束成形機(jī)構(gòu)(例如，本發(fā)明實(shí)施例中的光束成形機(jī)構(gòu)2)，使由上述光束成形機(jī)構(gòu)形成的脈沖激光照射到上述膜或者具有上述轉(zhuǎn)印層的膜。由此，能高精度地修正缺陷。
在上述缺陷修正裝置中，最好還包括與來自上述脈沖激光光源的脈沖激光大致在同一軸上、向上述基板照射光的觀察用光源，以及檢測照射上述基板的、來自上述觀察用光源的光的檢測部件。由此，能正確地向缺陷檢測部位照射光。
也可以是，具有上述轉(zhuǎn)印層的膜還具有使上述觀察用光源的光透過的透明層(例如，本發(fā)明實(shí)施例中的透明層55)，還具有輸送具有上述轉(zhuǎn)印層的膜的膜卷軸(例如，本發(fā)明實(shí)施例的膜卷軸8)，使得照射上述光的位置從上述透明層變更為上述轉(zhuǎn)印層。由此，能以簡單的結(jié)構(gòu)防止缺陷檢測時和缺陷修正時的位置錯位。
在上述缺陷修正裝置中，還可以包括選擇來自上述觀察用光源的光的波長的波長可變?yōu)V光片，用從上述波長可變?yōu)V光片射出的光加熱上述轉(zhuǎn)印層。由此，能提高基板和轉(zhuǎn)印層的密合性。
本發(fā)明的缺陷修正方法，是除去形成了圖形的基板上的缺陷并修正缺陷的缺陷修正方法，包括檢測基板上的缺陷的步驟、對與上述基板相對設(shè)置的膜照射脈沖激光并用激光燒蝕大致同時地除去上述膜的一部分和上述缺陷的步驟。
在上述缺陷修正方法中，還可以包括通過照射脈沖激光使上述膜變薄的步驟，對上述膜變薄的部分照射脈沖激光，用激光燒蝕大致同時地除去上述膜的一部分和上述缺陷。
在上述缺陷修正方法中，最好還包括把上述膜變更為具有轉(zhuǎn)印到上述基板的轉(zhuǎn)印層的膜的步驟、以及對具有上述轉(zhuǎn)印層的膜照射脈沖激光并將轉(zhuǎn)印層轉(zhuǎn)印到上述基板的步驟。由此，能修正任意的圖形。
本發(fā)明的缺陷修正方法是在上述缺陷修正方法中，還包括使與修正的圖形相對應(yīng)的修正液從除去了上述膜的部分附著到上述基板的步驟、以及從上述基板去掉上述膜的步驟的方法。由此，能修正任意的圖形。
本發(fā)明的缺陷修正方法是將圖形轉(zhuǎn)印到形成了圖形的基板的缺陷部分上來修正缺陷的缺陷修正方法，包括檢測基板上的缺陷的步驟、使在與上述基板相對的面上具有轉(zhuǎn)印到該基板的轉(zhuǎn)印層的膜接近的步驟、以及對上述膜照射脈沖激光從而將上述轉(zhuǎn)印層轉(zhuǎn)印到上述基板的缺陷部分的步驟。由此，能穩(wěn)定地進(jìn)行缺陷的修正。
本發(fā)明的缺陷修正方法是修正形成了圖形的基板的缺陷的缺陷修正方法，包括檢測基板上的缺陷的步驟、使膜接近上述基板的步驟、對上述膜照射脈沖激光設(shè)置開口部的步驟、經(jīng)由上述開口部使依照修正的圖形的修正液附著到上述基板的缺陷部分的步驟、以及從上述基板去掉上述膜的步驟。由此，能使圖形正確地附著到缺陷部分。
本發(fā)明的缺陷修正方法是修正形成了圖形的基板的缺陷的缺陷修正方法，包括檢測基板上的缺陷的步驟、使膜與上述基板相對的步驟、對上述膜照射脈沖激光設(shè)置開口部的步驟、在上述開口部的位置設(shè)置具有轉(zhuǎn)印層的膜的步驟、以及經(jīng)由上述開口部把轉(zhuǎn)印層轉(zhuǎn)印到基板的步驟。由此，能防止轉(zhuǎn)印層轉(zhuǎn)印到開口部以外的部分上，從而能以簡單的結(jié)構(gòu)正確地修正缺陷。
在上述缺陷修正方法中，最好還包括除去上述開口部的周圍的上述膜，并設(shè)置用于除去在上述基板和具有上述轉(zhuǎn)印層的膜之間的空氣的空氣除去部的步驟，在上述開口部和上述空氣除去部的位置上，設(shè)置具有上述轉(zhuǎn)印層的膜。由此，能提高轉(zhuǎn)印層的密合性。
上述缺陷修正方法的優(yōu)選實(shí)施例特征是對上述膜或者具有上述轉(zhuǎn)印層的膜噴射氣體，使其接近上述基板。由此，能形成正確的圖形。
本發(fā)明的圖形基板制造方法，包括在基板上形成圖形的步驟、檢測形成了圖形的基板上的缺陷的步驟、以及對接近上述基板的膜照射脈沖激光并用激光燒蝕大致同時地除去上述膜的一部分和上述缺陷的步驟。由此，能制造無缺陷的圖形基板。
在上述圖形基板制造方法中，也可以包括將上述膜變更為具有轉(zhuǎn)印到上述基板的轉(zhuǎn)印層的膜的步驟、以及向具有上述轉(zhuǎn)印層的膜照射脈沖激光并將上述轉(zhuǎn)印層轉(zhuǎn)印到上述基板的步驟。由此，能正確地制造具有圖形的圖形基板。
本發(fā)明的圖形基板制造方法是在上述圖形基板制造方法中，還包括把與修正的圖形相對應(yīng)的修正液從除去了上述膜的部分附著到上述基板的步驟、以及從上述基板去掉上述膜的步驟的方法。由此，能在缺陷部分形成任意的圖形。
本發(fā)明的圖形基板的制造方法，是把圖形轉(zhuǎn)印到形成了圖形的基板的缺陷部分形成圖形的圖形基板制造方法，包括檢測形成了圖形的基板上的缺陷的步驟、使在與上述基板相對的面上具有轉(zhuǎn)印到該基板的轉(zhuǎn)印層的膜接近的步驟、以及對上述膜照射脈沖激光把上述轉(zhuǎn)印層轉(zhuǎn)印到上述基板的缺陷部分的步驟。由此，能穩(wěn)定地轉(zhuǎn)印圖形。
本發(fā)明的圖形基板制造方法，是制造形成了圖形的基板的圖形基板制造方法，包括在基板上形成圖形的步驟、檢測基板上的缺陷的步驟、使膜與上述基板相對的步驟、對上述膜照射脈沖激光設(shè)置開口部的步驟、在上述開口部的位置設(shè)置具有轉(zhuǎn)印層的膜的步驟、經(jīng)由上述開口部把上述轉(zhuǎn)印層轉(zhuǎn)印到上述基板的步驟、以及從上述基板去掉上述膜的步驟。
本發(fā)明的圖形基板制造方法，是修正形成了圖形的基板的缺陷的圖形基板制造方法，包括在基板上形成圖形的步驟、檢測基板上的缺陷的步驟、使膜接近上述基板的步驟、對上述膜照射脈沖激光設(shè)置開口部的步驟，經(jīng)由上述開口部使依照修正的圖形的修正液附著到上述基板的缺陷部分的步驟、以及從上述基板去掉上述膜的步驟。由此，能在基板上形成正確的圖形。
在上述圖形基板制造方法中，最好還包括除去上述開口部的周圍的上述膜、并設(shè)置用于除去在上述基板和具有上述轉(zhuǎn)印層的膜之間的空氣的空氣除去部的步驟，在上述開口部和上述空氣除去部的位置設(shè)置具有上述轉(zhuǎn)印層的膜。由此，能提高轉(zhuǎn)印層的密合性。
上述圖形制造方法的優(yōu)選實(shí)施例的特征在于對上述膜或者具有上述轉(zhuǎn)印層的膜噴射氣體，使其接近上述基板。
本發(fā)明的缺陷修正裝置是修正形成了圖形的基板(例如，本發(fā)明實(shí)施方式中的基板6)的缺陷的缺陷修正裝置，包括與上述基板相對設(shè)置的膜(例如，本發(fā)明實(shí)施方式中的膜5)；發(fā)出照射上述膜、在上述膜上設(shè)置開口部的激光的激光光源(例如，本發(fā)明實(shí)施方式中的脈沖激光光源1)；經(jīng)由上述開口部把缺陷修正用的溶液涂敷到上述基板的缺陷部分的涂敷部件(例如，本發(fā)明實(shí)施方式中的按壓部30)；以及通過對上述基板進(jìn)行按壓，把經(jīng)由上述開口部涂敷到上述基板上的溶液壓入缺陷部分的按壓部件(例如，本發(fā)明實(shí)施方式中的按壓部30)。據(jù)此，能穩(wěn)定地修正缺陷。特別是即使在使用了粘度高的溶液的情況下，也能穩(wěn)定地使溶液附著到基板上。并且，由于能容易地使開口部和缺陷進(jìn)行位置對準(zhǔn)，因此能高效地修正缺陷。
本發(fā)明的缺陷修正裝置是上述的缺陷修正裝置，其特征在于還包括設(shè)置成能在與上述基板大致平行的方向上移動、除去在上述開口部之上設(shè)置的上述溶液的除去部件(例如，本發(fā)明實(shí)施方式9中的刮板31)，使上述除去部件移動，使得其橫穿上述開口部，調(diào)整在上述開口部之上設(shè)置的溶液的高度。由此，能容易地控制溶液的涂敷量，從而能穩(wěn)定地修正缺陷。
本發(fā)明的缺陷修正裝置是上述的缺陷修正裝置，其特征在于上述除去部件具有能把上述膜按壓到上述基板上的刮板，刮出并除去在上述開口部之上設(shè)置的上述溶液。由此，能容易地控制溶液的涂敷量，從而能穩(wěn)定地修正缺陷。
本發(fā)明的缺陷修正裝置是上述的缺陷修正裝置，其特征在于使上述按壓部件向上述開口部的外側(cè)移動，在用上述按壓部件把上述膜按壓到上述基板上的狀態(tài)下，由上述除去部件除去在上述開口部之上設(shè)置的上述溶液。據(jù)此，膜的開口部不會偏離缺陷位置，從而能進(jìn)行穩(wěn)定的修正缺陷。
本發(fā)明的缺陷修正裝置是上述的缺陷修正裝置，其特征在于上述除去部件包括在上述按壓部件的底面設(shè)置的凹陷(本發(fā)明實(shí)施方式10中的凹陷34)，在把上述按壓部件按壓到上述基板上的狀態(tài)下，使其在與上述基板大致平行的方向上移動，用上述凹陷除去在上述開口部之上設(shè)置的上述溶液。
本發(fā)明的缺陷修正裝置是上述的缺陷修正裝置，其特征在于上述按壓部件具有設(shè)置成能夠轉(zhuǎn)動使得其橫穿上述開口部地進(jìn)行移動的輥?zhàn)樱?本發(fā)明實(shí)施方式11中的輥?zhàn)?2)，通過使上述輥?zhàn)愚D(zhuǎn)動，除去在上述開口部之上設(shè)置的上述溶液，調(diào)整在上述開口部之上設(shè)置的上述溶液的高度。由此，能以簡單的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定地修正缺陷。
本發(fā)明的缺陷修正裝置是上述的缺陷修正裝置，其特征在于還包括在上述輥?zhàn)雍蜕鲜瞿ぶg設(shè)置的保護(hù)膜(例如，本發(fā)明實(shí)施方式12中的保護(hù)膜33)，經(jīng)由上述保護(hù)膜，除去在上述開口部之上設(shè)置的上述溶液。由此，能提供能防止溶液附著在輥?zhàn)由?，從而能容易且穩(wěn)定地修正缺陷的缺陷修正裝置。
本發(fā)明的缺陷修正裝置是上述的缺陷修正裝置，其特征在于上述激光光源是脈沖激光光源，通過照射來自上述脈沖激光光源的脈沖激光，經(jīng)由上述膜的開口部除去上述基板的缺陷，在除去了上述缺陷的部分涂敷上述溶液。由此，能穩(wěn)定地修正與缺陷同時除去的圖形。
另外，在上述缺陷修正裝置中，涂敷部件、按壓部件和除去部件不必分別由不同的構(gòu)件構(gòu)成，也可以由相同的構(gòu)件構(gòu)成。
本發(fā)明的缺陷修正方法是修正形成了圖形的基板的缺陷的缺陷修正方法，包括檢測上述基板上的缺陷的步驟；使膜與上述基板相對的步驟；對上述膜照射脈沖激光、設(shè)置與上述缺陷對應(yīng)的開口部的步驟；經(jīng)由上述開口部在上述基板的缺陷部分涂敷缺陷修正用的溶液的步驟；把經(jīng)由上述開口部在上述基板上所涂敷的上述溶液壓入缺陷部分的步驟；以及從上述基板去掉上述膜的步驟。由此，能穩(wěn)定地修正缺陷。特別是在使用了粘度高的溶液的情況下，能使溶液穩(wěn)定地附著在基板上。并且，由于能容易地使開口部和缺陷進(jìn)行位置對準(zhǔn)，因此能高效地修正缺陷。
本發(fā)明的缺陷修正方法是上述的缺陷修正方法，在涂敷上述溶液的步驟之后，還包括除去在上述開口部之上設(shè)置的上述溶液，調(diào)整上述溶液的高度的步驟。由此，能容易地控制溶液的涂敷量，從而能穩(wěn)定地修正缺陷。
本發(fā)明的缺陷修正方法是上述的缺陷修正方法，其特征在于在除去上述溶液的步驟中，在使上述膜緊貼在基板上的狀態(tài)下，刮出在上述開口部之上設(shè)置的上述溶液，并除去上述溶液。由此，開口部不會偏離缺陷位置，從而能穩(wěn)定地修正缺陷。
本發(fā)明的圖形基板制造方法，包括在基板上形成圖形的步驟；檢測上述基板上的圖形的缺陷的步驟；使膜與上述基板相對的步驟；對上述膜照射脈沖激光，設(shè)置與上述缺陷對應(yīng)的開口部的步驟；經(jīng)由上述開口部把缺陷修正用的溶液涂敷到上述基板的缺陷部分的步驟；把經(jīng)由上述開口部在上述基板上所涂敷的上述溶液壓入缺陷部分的步驟；以及從上述基板去掉上述膜的步驟。由此，能穩(wěn)定地修正缺陷。特別是即使在使用了粘度高的溶液的情況下，也能穩(wěn)定地使溶液附著到基板上。并且，由于在缺陷部分設(shè)置開口部，因此能高生產(chǎn)率地制造圖形基板。
本發(fā)明的圖形基板制造方法是上述的圖形基板制造方法，在涂敷上述溶液的步驟之后，還包括除去在上述開口部之上設(shè)置的上述溶液，調(diào)整上述溶液的高度的步驟。由此，能容易地控制溶液的涂敷量，從而能穩(wěn)定地修正缺陷。
本發(fā)明實(shí)施方式的圖形基板制造方法是上述的圖形基板制造方法，其特征在于在除去上述溶液的步驟中，在使上述膜緊貼在基板上的狀態(tài)下，刮出在上述開口部之上設(shè)置的上述溶液，并除去上述溶液。由此，開口部不會偏離缺陷位置，從而能穩(wěn)定地修正缺陷。
另外，在上述的缺陷修正方法和圖形基板制造方法中，除非指定，否則各個步驟也可以不按上述的順序進(jìn)行處理。
本發(fā)明可以提供以簡單的結(jié)構(gòu)能穩(wěn)定地進(jìn)行缺陷的修正的缺陷修正方法、缺陷修正裝置和圖形基板制造方法。


圖1表示本發(fā)明實(shí)施例1的缺陷修正裝置的結(jié)構(gòu)。
圖2是表示本發(fā)明實(shí)施例1的缺陷修正裝置的膜的結(jié)構(gòu)的俯視圖。
圖3A～圖3C是表示本發(fā)明實(shí)施例1的缺陷修正裝置的缺陷部分的結(jié)構(gòu)的剖面放大圖。
圖4是表示本發(fā)明實(shí)施例1的缺陷修正裝置的膜的結(jié)構(gòu)的俯視圖。
圖5A～圖5B是表示本發(fā)明實(shí)施例1的缺陷修正裝置的缺陷部分的結(jié)構(gòu)的剖面放大圖。
圖6是表示本發(fā)明實(shí)施例2的缺陷修正裝置的膜的結(jié)構(gòu)的俯視圖。
圖7表示本發(fā)明實(shí)施例3的缺陷修正裝置的結(jié)構(gòu)。
圖8A～圖8B是表示本發(fā)明實(shí)施例3的缺陷修正裝置的缺陷部分的結(jié)構(gòu)的剖面放大圖。
圖9A～圖9C是表示本發(fā)明實(shí)施例4的缺陷修正裝置的缺陷部分的結(jié)構(gòu)的剖面放大圖。
圖10D～圖10F是表示本發(fā)明實(shí)施例4的缺陷修正裝置的缺陷部分的結(jié)構(gòu)的剖面放大圖。
圖11A～圖11C是表示本發(fā)明實(shí)施例4的缺陷修正裝置的其它缺陷部分的結(jié)構(gòu)的剖面放大圖。
圖12A～圖12C是表示本發(fā)明實(shí)施例4的缺陷修正裝置的其它缺陷部分的結(jié)構(gòu)的剖面放大圖。
圖13A～圖13D是表示本發(fā)明實(shí)施例5的缺陷修正裝置的缺陷部分的結(jié)構(gòu)的剖面放大圖。
圖14是表示濾色片基板結(jié)構(gòu)的剖面放大圖。
圖15表示本發(fā)明實(shí)施例6的缺陷修正裝置的結(jié)構(gòu)。
圖16是表示具有本發(fā)明實(shí)施例6的缺陷修正裝置中的開口部和轉(zhuǎn)印層的膜的結(jié)構(gòu)的俯視圖。
圖17是表示具有本發(fā)明實(shí)施例6的轉(zhuǎn)印層的膜的結(jié)構(gòu)的剖面圖。
圖18A～圖18B是表示本發(fā)明實(shí)施例6的缺陷修正裝置的缺陷部分的結(jié)構(gòu)的剖面放大圖。
圖19是表示本發(fā)明實(shí)施例6的缺陷修正裝置中的加熱塊的結(jié)構(gòu)的剖面圖。
圖20是表示本發(fā)明實(shí)施例7的缺陷修正裝置的膜的開口部和空氣除去部的結(jié)構(gòu)的俯視圖。
圖21是表示本發(fā)明實(shí)施例7的缺陷修正裝置中的缺陷部分的結(jié)構(gòu)的剖面放大圖。
圖22是表示本發(fā)明實(shí)施例7的缺陷修正裝置的膜的開口部和空氣除去部的其它結(jié)構(gòu)的俯視圖。
圖23是表示本發(fā)明實(shí)施例7的缺陷修正裝置的膜的開口部和空氣除去部的其它結(jié)構(gòu)的俯視圖。
圖24表示本發(fā)明實(shí)施例8的缺陷修正裝置的結(jié)構(gòu)。
圖25A～圖25C是表示本發(fā)明實(shí)施例8的缺陷修正裝置的缺陷部分的結(jié)構(gòu)的剖面放大圖。
圖26表示本發(fā)明實(shí)施例9的缺陷修正裝置的結(jié)構(gòu)。
圖27A～圖27B是表示本發(fā)明實(shí)施例9的缺陷修正裝置的缺陷部分的結(jié)構(gòu)的剖面放大圖。
圖28表示本發(fā)明實(shí)施例9的缺陷修正裝置的結(jié)構(gòu)。
圖29A～圖29B是表示本發(fā)明實(shí)施例9的缺陷修正裝置的缺陷部分的結(jié)構(gòu)的剖面放大圖。
圖30A～圖30B是表示本發(fā)明實(shí)施例9的缺陷修正裝置的缺陷部分的結(jié)構(gòu)的剖面放大圖。
圖31A～圖31B是表示本發(fā)明實(shí)施例9的缺陷修正裝置的缺陷部分的結(jié)構(gòu)的剖面放大圖。
圖32是表示本發(fā)明實(shí)施例10的缺陷修正裝置的缺陷部分的結(jié)構(gòu)的剖面放大圖。
圖33表示本發(fā)明實(shí)施例11的缺陷修正裝置的結(jié)構(gòu)。
圖34是表示本發(fā)明實(shí)施例11的缺陷修正裝置的缺陷部分的結(jié)構(gòu)的剖面放大圖。
圖35表示本發(fā)明實(shí)施例12的缺陷修正裝置的結(jié)構(gòu)。
圖36是表示本發(fā)明實(shí)施例12的缺陷修正裝置的缺陷部分的結(jié)構(gòu)的剖面放大圖。
具體實(shí)施例方式
以下參照

本發(fā)明的實(shí)施例。以下的說明表示本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，本發(fā)明的范圍并不限于以下的實(shí)施例。在以下的說明中，賦予相同符號的部分實(shí)質(zhì)上表示同樣的內(nèi)容。
用圖1說明本實(shí)施例的圖形基板的缺陷修正裝置。圖1表示缺陷修正裝置的結(jié)構(gòu)。1是短脈沖激光光源，2是光束成形機(jī)構(gòu)，3是半透明反射鏡，4是物鏡，5是膜，6是基板，7是載物臺，8是膜卷軸，9是照明光源，10是濾光片，11是半透明反射鏡，12是CCD照相機(jī)，13是氣體噴射部件，14是膜卷軸轉(zhuǎn)動部件。
在本實(shí)施例中，作為修正缺陷的對象的基板6，是用于液晶顯示裝置的液晶板的濾色片基板。該濾色片用基板6通常在透明的玻璃基板之上設(shè)置有著色層和黑矩陣。將該基板6水平放置在載物臺7之上，并判定濾色片基板的各個像素是否有缺陷。照射激光，修正缺陷部位的像素。載物臺7是具有XY驅(qū)動機(jī)構(gòu)(圖中未示出)的XY載物臺，可以將基板6移動到任意的位置。本實(shí)施例的缺陷修正裝置，具有用于檢測基板6的缺陷的缺陷檢測機(jī)構(gòu)和用于修正檢測出的缺陷的缺陷修正機(jī)構(gòu)。具體地講，通過缺陷檢測機(jī)構(gòu)確定缺陷的位置之后，通過缺陷修正機(jī)構(gòu)對基板6的缺陷部分照射激光來修正缺陷。并且，圖示的缺陷檢測機(jī)構(gòu)和缺陷修正機(jī)構(gòu)的光學(xué)系統(tǒng)等的結(jié)構(gòu)只是一個例子，也可以具有其它的濾色片、透鏡、反射鏡等光學(xué)部件。
首先，說明缺陷檢測機(jī)構(gòu)。使用照明光源9作為觀察用光源進(jìn)行檢測。照明光源9發(fā)出用于對基板6的表面進(jìn)行照明的白色光。由照明光源9發(fā)出的觀察用光透過濾色片10而入射到半透明反射鏡11。濾光片10是波長可變?yōu)V光片，可以只對預(yù)定的波長進(jìn)行遮光。在此，濾光片10修正波長，使之與膜5的透射率相匹配，檢測的光也可以是白色光。入射到半透明反射鏡11的光向基板6的方向反射。該光被半透明反射鏡3反射并入射到物鏡4。在物鏡4和基板6之間與基板6相對地設(shè)置有由厚約10μm的聚酰亞胺構(gòu)成的膜5。并且，由物鏡4聚焦的光透過膜5入射到基板6的表面，對基板的一部分進(jìn)行照明。由基板6反射的光透過膜5、物鏡4、半透明反射鏡3和半透明反射鏡11并入射到CCD照相機(jī)12。CCD照相機(jī)12基于由基板6表面反射的反射光來檢測圖像。CCD照相機(jī)12連接到個人計算機(jī)(PC)等信息處理裝置，基于檢測出的圖像判定基板6是否有缺陷。例如，可以使用與檢測出的基準(zhǔn)模板相比較的模板比對方式(Die-to-Die)。檢測出的圖像與基準(zhǔn)模板不同時，判定為缺陷部分。在該缺陷檢測機(jī)構(gòu)中，能區(qū)分檢測不透明的黑缺陷和透明的白缺陷。另外，PC與載物臺7的XY驅(qū)動機(jī)構(gòu)相連，根據(jù)缺陷檢測時載物臺7的位置指定檢測部位，并檢測基板上的缺陷像素的坐標(biāo)。當(dāng)然，缺陷檢測機(jī)構(gòu)并不限于圖示的結(jié)構(gòu)，也可以使用具有與此不同結(jié)構(gòu)的缺陷檢測機(jī)構(gòu)。對于該缺陷檢測機(jī)構(gòu)，可以使用與現(xiàn)有的缺陷檢測裝置同樣的結(jié)構(gòu)。通過使載物臺7移動，改變基板6和來自照明光源9的光的相對位置，進(jìn)行整個基板6的缺陷檢測。
由上述缺陷檢測機(jī)構(gòu)檢測出的缺陷，由缺陷修正機(jī)構(gòu)進(jìn)行修正。以下，對缺陷修正機(jī)構(gòu)進(jìn)行說明。短脈沖激光光源1是Q開關(guān)YAG激光，能發(fā)射出小于或等于10nsec的短脈沖光。由短脈沖激光光源1發(fā)射出的短脈沖激光入射到光束成形機(jī)構(gòu)2。光束成形機(jī)構(gòu)2具有孔、縫隙或者透鏡等，能使短脈沖光的光點(diǎn)形成為適當(dāng)形狀的射束點(diǎn)。例如，使基板上的短脈沖光的射束點(diǎn)形成與濾色片的像素大致相同的矩形形狀，或者也可以形成與缺陷形狀大致相同的形狀。半透明反射鏡3將短脈沖光反射到基板6的方向上。在此，分別配置光學(xué)部件，使得由短脈沖光源1和來自照明光源9的光同軸。半透明反射鏡3反射的短脈沖光照射到膜5上。
膜5被卷到與膜卷軸轉(zhuǎn)動部件14連接的2個膜卷軸8上。膜卷軸轉(zhuǎn)動部件14具有電機(jī)等，能使膜卷軸8分別轉(zhuǎn)動。通過使2個膜卷軸8轉(zhuǎn)動，膜5連續(xù)地在Y方向上進(jìn)行輸送。在缺陷修正之前，驅(qū)動膜卷軸轉(zhuǎn)動部件14使1個膜卷軸8轉(zhuǎn)動，使得膜5保持彎曲。在此，使膜5彎曲到不與基板6接觸的程度。氣體噴射部件13具有氣罐、氣管、離子發(fā)生器以及過濾器等，可以從膜5之上噴射離子化了的空氣。例如，在物鏡4之下設(shè)有基板側(cè)的底面開放的圓筒。該圓筒成錐形，基板側(cè)細(xì)。在側(cè)面連接氣管以使氣體流入該圓筒內(nèi)。并且，通過使氣體流入，使圓筒內(nèi)的氣壓增高，向膜側(cè)噴射氣體。在修正缺陷時，噴射氣體，使膜5向基板側(cè)靠近，并使膜5接近基板6。通過使膜5接近基板6，在缺陷部分，在基板6和膜5之間設(shè)置微小的間隙。此時，也可以使基板6的缺陷部分以外的突出部分和膜5接觸。該膜5和基板6的距離通過氣體噴射部件13的噴射量等來調(diào)整，或者也可以通過膜卷軸轉(zhuǎn)動部件14來調(diào)整膜5的彎曲和張力。另外，也可以設(shè)置使載物臺7在Z向移動的機(jī)構(gòu)來調(diào)整間隙。由于用氣體噴射部件13使膜5和基板6接近，因此沒必要使膜5緊貼在基板上。由此，能進(jìn)行穩(wěn)定的修正，還能降低施加給基板6的圖形的影響。
該膜5能夠根據(jù)修正的缺陷的種類而變更為不同的膜，如圖2所示。缺陷修正裝置的膜，由黑缺陷修正用的膜5a以及膜卷軸8a和白缺陷修正用的膜5b以及膜卷軸8b構(gòu)成。膜5a和膜5b根據(jù)修正對象的缺陷而使用不同的膜。膜卷軸8裝在線性導(dǎo)軌等卷軸移動部件(未圖示)上，并設(shè)置成能在X方向上滑動。使膜卷軸8a和膜卷軸8b在X方向上移動，向與修正的對象的缺陷相對應(yīng)的膜5照射短脈沖光。即，修正黑缺陷時，使膜5a移動到由短脈沖激光光源1發(fā)出的短脈沖光的激光光點(diǎn)15的位置。另一方面，修正白缺陷時，使膜5b移動到由短脈沖激光光源1發(fā)出的短脈沖光的激光光點(diǎn)15的位置。由于由該短脈沖激光光源1和照明光源9發(fā)出的光被調(diào)整到同一光軸上，因此膜5上的激光光點(diǎn)15和觀察用的光大致位于同一位置。在移動膜卷軸8時以及輸送膜5時，使膜卷軸8轉(zhuǎn)動，給膜5施加適當(dāng)?shù)膹埩?，并在基?和膜5之間設(shè)置間隙。并且，進(jìn)行膜的移動和輸送，而不噴射氣體。另一方面，修正缺陷時，使膜5彎曲，并通過氣體噴射部件13噴射氣體而使膜5接近基板表面。
用圖3A～圖3C對該膜5a和基板6的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖3A～圖3C是表示修正部位的結(jié)構(gòu)的放大剖面圖。圖3A表示正在照射短脈沖光的膜和基板的結(jié)構(gòu)。圖3B表示修正后的基板的結(jié)構(gòu)。61是紅色(R)著色層，62是綠色(G)著色層，63是藍(lán)色(B)著色層，64是黑矩陣(BM)，這些都設(shè)置在基板6上。首先，對濾色片基板的一般的制造方法進(jìn)行說明。在濾色片用的基板6上，用濺射蒸鍍等在透明玻璃基板等上形成作為遮光膜的鉻膜，并通過曝光、顯影工序形成圖形。據(jù)此，鉻膜成為形成為矩陣狀的BM64。之后，涂敷分散了與著色層的顏色相對應(yīng)的顏料的感光樹脂，并通過曝光、顯影工序形成圖形。通過反復(fù)進(jìn)行該工序，按順序在BM64之間設(shè)置R著色層61、G著色層62和B著色層63。之后，形成保護(hù)膜和像素電極。在此，如圖3A所示，假設(shè)在R著色層61上附著有異物65。附著有這樣的異物65的像素，由缺陷檢測機(jī)構(gòu)作為未透光的黑缺陷被檢測出來。該膜5a與基板6大致接觸。
對附著有該異物65的像素照射來自短脈沖激光光源1的小于或等于10nsec的短脈沖光。由物鏡4聚焦的短脈沖光，入射到通過氣體噴射部件與基板6接近的膜5a。調(diào)整該短脈沖光的功率，使得用激光燒蝕對膜5a進(jìn)行部分地開口。在本實(shí)施例中，由于使用了聚酰亞胺膜，因此如果使用YAG短脈沖激光光源1的3次諧波355nm或者4次諧波266nm，則因吸收短脈沖光而能容易地在膜5a上設(shè)置開口部。另外，聚酰亞胺膜在可見光區(qū)域內(nèi)沒有吸收并且略微透明，因此容易觀察，可以用照明光源9檢測缺陷。而且，膜5a并不限于聚酰亞胺，也可以使用通過光的照射，經(jīng)化學(xué)分解、熱分解、升華或者刻蝕等進(jìn)行開口的材料。激光由光束成形機(jī)構(gòu)2成形，使得變成缺陷的形狀或者像素的形狀，因此膜5a的開口部的形狀能形成與缺陷形狀或者R像素的形狀大致相同的形狀。用激光燒蝕可以大致同時地除去異物65和膜的一部分。除去的異物65a穿過膜5a的開口部脫離基板，如圖3B所示。另外，修正部分周圍被膜覆蓋，因此異物65附著在修正部周圍而不會產(chǎn)生新的缺陷。這樣，用激光燒蝕能大致同時地除去膜和缺陷。另外，除去的異物65為1片，但是有時也成為多個碎屑而落在膜之上。也可以調(diào)整短脈沖激光光源1的功率，以便地在膜5a上慢慢開孔，還可以進(jìn)行調(diào)整，使得同時進(jìn)行膜的開孔和異物的除去。在膜5a上徐徐地開孔時，如圖3C所示，使膜5a處于變薄了的狀態(tài)，然后進(jìn)一步對膜5a變薄了的部位照射短脈沖激光來除去異物。另外，開口部的尺寸小時，也可以邊輸送膜邊設(shè)置開口部。由于使用遠(yuǎn)紫外線會使膜5a化學(xué)分解，因此在異物除去后在基板表面殘留膜殘渣時，可以照射遠(yuǎn)紫外線來除去膜的殘渣。
另外，異物65透明時，即使對異物照射短脈沖光，由于沒有光的吸收，因此也不會產(chǎn)生激光燒蝕。與此相反，如果用聚酰亞胺等吸收光的膜作為膜5，并在使吸收膜與異物的上部大致接觸的狀態(tài)下照射短脈沖激光，則用激光燒蝕給膜開口的同時，向前方飛出的氣體和碎屑使異物短時間壓在基板上，通過之后的反彈能脫離基板。
通過上述的處理，著色層61和基板上的異物65同時被除去，因此，黑缺陷變成透光的白缺陷66。為了修正該白缺陷66，如圖4所示那樣，使膜卷軸8a和膜卷軸8b在X方向上移動，使膜5b移動到激光光點(diǎn)15的位置。然后，對膜5b照射短脈沖光來修正白缺陷66。用圖5對該白缺陷的修正方法進(jìn)行說明。圖5A、圖5B是表示膜5b和基板6之間的結(jié)構(gòu)的剖面放大圖。在膜5b的基板側(cè)的表面覆蓋有著色層51。對于膜5b，可以用厚度10～20μm左右的聚乙烯膜作為基膜，使用厚度1μm左右的抗蝕劑作為著色層51的干膜抗蝕劑。膜5b最好使用不吸收短脈沖光的材質(zhì)，可以使用聚丙烯和PET膜等，而不限于聚乙烯，厚度也不限于上述的厚度。據(jù)此，能防止液晶顯示裝置的質(zhì)量劣化。當(dāng)然，膜5b和著色層51的材質(zhì)和厚度也不限于上述范圍。
通過氣體噴射部件13噴射離子化的空氣，使膜5b接近基板6。據(jù)此，膜5b與設(shè)置在基板6上的突出部分接觸，在與基板的部分著色層(缺陷部分)之間空出微小的間隙。然后，對膜5b照射由光束成形機(jī)構(gòu)形成的形狀與缺陷部分大致相同的短脈沖光。調(diào)整短脈沖光的輸出，使得用激光燒蝕從膜5b上剝離著色層51。從膜5b上剝離的著色層51在膜5b和基板6之間飛行，并落在缺陷部分上。據(jù)此，能使紅色的著色層51a附著并轉(zhuǎn)印在缺陷部分上。1次轉(zhuǎn)印不能轉(zhuǎn)印足夠數(shù)量的著色層51a時，也可以使膜卷軸8轉(zhuǎn)動，邊在Y方向上輸送膜5b邊照射短脈沖光。另外，通過從與設(shè)置有著色層51的面相反一側(cè)的面，對膜5b照射短脈沖光，能使膜5b與基板6接近。由于膜5和基板6之間的間隙的距離微小，因此著色層51a和大氣中的分子等沖突的次數(shù)少。據(jù)此，在大氣中，用激光燒蝕蒸鍍，能進(jìn)行缺陷修正的處理。另外，由于通過氣體噴射部件13使其接近，因此能進(jìn)行間隙的微妙的調(diào)整。因此，能不受基板的表面狀態(tài)左右而穩(wěn)定地修正缺陷。
另外，在本實(shí)施例中，通過預(yù)先調(diào)整照明光源9的功率和波長，能加熱膜5的著色層51。例如，通過波長可變?yōu)V光片從來自照明光源9的光中選擇紅外線。通過對基板6照射該紅外線，可以只對缺陷部分的著色層51進(jìn)行點(diǎn)加熱。據(jù)此，能提高落在基板6上時對基板的密合性。另外，通過使來自照明光源9的光為膜5b和著色層51的吸收率低而基板的吸收率高的波長的光，能加熱該基板6。這樣，在本發(fā)明的缺陷修正裝置中，能通過調(diào)整用于安裝CCD照相機(jī)的照明光源9的輸出和波長來進(jìn)行加熱。
另外，對于1個部位的缺陷修正，不移動光學(xué)系統(tǒng)和載物臺而只移動膜卷軸8就能修正，因此可以在1個物鏡下邊觀察邊進(jìn)行以上所有的動作。另外，只用1個短脈沖激光光源1就能進(jìn)行異物的除去和著色，能進(jìn)行白缺陷和黑缺陷的修正。還可以在修正動作結(jié)束后，用CCD照相機(jī)12檢測是否正確地進(jìn)行了修正。在圖2和圖4中，只圖示了膜5a和膜5b 2個膜5，但除了R之外，也可以還具有設(shè)置了用于修正G、B著色層和BM的缺陷的遮光層的膜5和膜卷軸8。對于G、B著色層和BM部位的缺陷，也可以與R著色層61同樣地進(jìn)行修正。對于G、B著色層，可以使用分散了綠色和藍(lán)色顏料的抗蝕劑。對于BM的修正，可以使用以遮擋可見光的鉻等材質(zhì)為覆層的膜。據(jù)此，可以修正R、G、B像素和BM的全部缺陷，能用簡單的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)可對基板的所有區(qū)域進(jìn)行修正的裝置。另外，由于只通過膜卷軸的移動、轉(zhuǎn)動就能對所有的缺陷進(jìn)行修正，因此具有能在短時間內(nèi)進(jìn)行修正，并且位置偏差小等的優(yōu)點(diǎn)。
在本發(fā)明中，由于用激光燒蝕進(jìn)行修正，因此不象以前那樣必須使基板和膜緊貼在一起。因此，不根據(jù)基板的表面狀態(tài)，就能穩(wěn)定地進(jìn)行修正。通過調(diào)整短脈沖光的功率和照射時間，能容易地控制著色層的附著量。因此，能修正成顯示特性與基板圖形部分的像素大致相同的像素，并且在著色層上可以使用任意的材質(zhì)，因此能提高液晶顯示裝置的質(zhì)量。另外，在上述說明中，以用于液晶顯示裝置的濾色片基板進(jìn)行了說明，但是也可以用于CCD照相機(jī)等固體攝像元件用的濾色片基板。當(dāng)然，也可以用于濾色片基板以外的圖形基板。例如，也可以用于PDP和陰極射線管等熒光體的修正。另外，在上述說明中，異物65為變成黑缺陷的不透明材質(zhì)，但是也可以是由透明材質(zhì)構(gòu)成的異物。另外，也可以除去未高精度地設(shè)置的著色層等。稱這些必須除去的異物等為缺陷。通過除去該缺陷可以修正缺陷。
實(shí)施例2本實(shí)施例的缺陷修正裝置，是在實(shí)施例1中說明的缺陷修正裝置中改變了膜5的裝置。對于實(shí)施例1中說明的結(jié)構(gòu)內(nèi)容，由于是相同的結(jié)構(gòu)，因此省略說明。用圖6對用于本實(shí)施例中的缺陷修正裝置的膜進(jìn)行說明。圖6是表示膜5的結(jié)構(gòu)的平面圖。在圖6中，51是R著色層，52是G著色層，53是B著色層，54是遮光層，55是透明層。在本實(shí)施例中，在1個膜上具有R、G、B著色層和遮光層以及透明層，用1個膜就能修正濾色片基板的R、G、B像素和BM部位的缺陷。另外，R著色層51、G著色層52、B著色層53、遮光層54和透明層55分別形成在膜的不同部分。
膜5具有基膜和在其單面設(shè)置的R著色層51、G著色層52、B著色層53以及遮光層54。圖6表示膜的一部分結(jié)構(gòu)，在實(shí)際中，R著色層51、G著色層52、B著色層53以及遮光層54重復(fù)地設(shè)置在膜5上，R著色層51、G著色層52、B著色層53以及遮光層54設(shè)置成空有間隙，在它們之間，具有只由基膜構(gòu)成的透明層55。另外，透明層55可以使來自照明光源9的光透過，使得能用CCD照相機(jī)12觀察缺陷部分，也可以設(shè)置除了基膜以外的層。這些基膜、著色層和遮光層55的材質(zhì)，可以使用與上述實(shí)施例同樣的材質(zhì)。把膜5卷到膜卷軸8上后，與上述實(shí)施例一樣，與基板6相對地配置設(shè)置了這些著色層盒遮光層54的面。然后，通過使膜卷軸8轉(zhuǎn)動，能使膜沿箭頭方向送出，使激光光點(diǎn)的位置對準(zhǔn)透明層55、R著色層51、G著色層52、B著色層53或者遮光層54。
在缺陷檢測和異物除去時，使透明層55位于激光光點(diǎn)的位置。透明層55如果是使來自照明光源9的光透過的材質(zhì)，則該光可用CCD照相機(jī)12檢測出來。并且，與實(shí)施例1一樣，進(jìn)行缺陷檢測后，用激光燒蝕給膜5的透明層55開口，除去異物。由此，黑缺陷成為白缺陷。使膜卷軸8轉(zhuǎn)動，使得與缺陷部位相對應(yīng)的著色層或者遮光層處于激光光點(diǎn)的位置。并且，與上述實(shí)施例一樣，用激光燒蝕轉(zhuǎn)印著色層或者遮光層54來修正白缺陷。另外，在修復(fù)白缺陷時，最好邊調(diào)整激光的輸出，邊設(shè)置濾光片，使得不使基膜開口。
本發(fā)明的缺陷修正裝置，并不限于濾色片基板，對于其它的圖形基板也可以使用。例如，對于液晶顯示裝置的薄膜晶體管陣列基板也可使用。此時，在膜上設(shè)置由鉻膜等金屬構(gòu)成的導(dǎo)電層，通過用短脈沖光轉(zhuǎn)印導(dǎo)電層，能進(jìn)行布線和電極等圖形的修正。由此，也能修復(fù)布線的斷線?；蛘咭部梢栽谀ど显O(shè)置絕緣膜，修正布線間的絕緣層缺陷。另外，也能修正光掩模圖形。此時，通過轉(zhuǎn)印鉻等遮光層，能修正圖形。由于這樣修正缺陷，因此，通過在膜上設(shè)置與修正的部位相對應(yīng)的材質(zhì)的轉(zhuǎn)印層(著色層、遮光層、導(dǎo)電層等)，能修正各種圖形基板的缺陷。在轉(zhuǎn)印的物質(zhì)對短脈沖激光透明時，也可以在膜和轉(zhuǎn)印層之間加上光吸收層。或者也可以由吸收短脈沖激光的物質(zhì)構(gòu)成膜本身。此時，光吸收層成為用于激光燒蝕蒸鍍的推進(jìn)劑。在該膜上設(shè)置了光吸收層的結(jié)構(gòu)適用于蒸鍍熒光體的方法。在本實(shí)施方式中，如上所述，通過使膜卷軸轉(zhuǎn)動，能使激光光點(diǎn)的位置從透明層55變更到遮光層54或者著色層。據(jù)此，在檢測出缺陷后，不使光學(xué)系統(tǒng)和載物臺移動就能對缺陷位置照射短脈沖光。因此，能對缺陷的位置正確地照射短脈沖光，從而能正確地進(jìn)行修復(fù)。
另外，使把被短脈沖激光照射的位置變更到不同層的部件作為膜變更部件。在該膜變更部件中，在使光學(xué)系統(tǒng)和載物臺固定的狀態(tài)下，如本實(shí)施例所示，設(shè)置1個與膜5不同的轉(zhuǎn)印層，除了使設(shè)置了該膜5的膜卷軸8轉(zhuǎn)動的膜卷轉(zhuǎn)動部件14之外，如上述實(shí)施例1所示還包括使膜卷軸8移動而交換設(shè)置了不同層的膜5的膜卷軸移動部件。另外，還包括使光學(xué)系統(tǒng)和基板載物臺聯(lián)動，而使激光的照射位置移動到不同層的部件。當(dāng)然，也可以把這些組合起來使用。
實(shí)施例3用圖7和圖8A～圖8B對本實(shí)施例的缺陷修正裝置和修正方法進(jìn)行說明。另外，對于與實(shí)施例1和實(shí)施例2說明的內(nèi)容相同的內(nèi)容，省略說明。圖7是表示缺陷修正裝置結(jié)構(gòu)的圖。圖8A～圖8B是表示基板和膜的結(jié)構(gòu)的剖面放大圖。圖8A表示對膜照射短脈沖光進(jìn)行缺陷修正時的結(jié)構(gòu)，圖8B表示修正了缺陷的基板的結(jié)構(gòu)。在本實(shí)施例中，基板6使用了光掩模用的透明玻璃基板。首先，對光掩模的制造工序進(jìn)行說明。在基板6之上，通過蒸鍍、濺射等形成鉻膜68。該鉻膜68，在曝光工序中起遮光膜的作用。另外，在鉻膜68之上設(shè)置有用于使鉻膜68形成圖形的抗蝕劑67?？刮g劑67是感光性的樹脂等，用旋轉(zhuǎn)涂料器等涂敷在鉻膜68之上。通過使用了電子束和激光的描繪裝置描繪圖形之后，用堿性顯影劑形成抗蝕劑圖形。由此，成為圖8A所示的結(jié)構(gòu)。把抗蝕劑圖形作為掩膜來蝕刻露出的鉻膜68后，形成遮光圖形。然后除去抗蝕劑，完成光掩模。
在本實(shí)施例中，對修正在一部分抗蝕劑67上設(shè)置的白缺陷66的方法進(jìn)行說明。在一部分抗蝕劑圖形上有針孔等白缺陷的情況下，蝕刻鉻膜時會蝕刻白缺陷66之下的鉻膜68。因此，在抗蝕劑上有白缺陷時，如果原封不動地進(jìn)行蝕刻，則抗蝕劑圖形的白缺陷部位變成光掩模的白缺陷。對用于為防止該光掩模的白缺陷而修正抗蝕劑圖形的白缺陷的方法進(jìn)行說明。在本實(shí)施例中，在載物臺7上放置有設(shè)置了抗蝕劑顯影后的抗蝕劑圖形的光掩模用基板6。本實(shí)施例的缺陷修正裝置，作為缺陷檢測機(jī)構(gòu)具有照明光源9和CCD照相機(jī)12等。并且，作為缺陷修正機(jī)構(gòu)，還具有短脈沖激光光源1和光束成形機(jī)構(gòu)2等。來自照明光源9的觀察用白色光，經(jīng)由半透明反射鏡11入射到物鏡4。該光經(jīng)物鏡4聚焦后透過膜5入射到基板6。然后，由CCD照相機(jī)檢測出由基板6反射的光，與實(shí)施例1一樣，判斷有無缺陷。載物臺7是XY載物臺，能檢測基板6的所有缺陷。
在基板6之上設(shè)置有膜5。通過用氣體噴射部件13噴射空氣，該膜5與基板6的間隙變成10μm左右。由于抗蝕劑67通常由樹脂等形成，因此表面成凸凹狀，但是通過用氣體噴射部件13使膜5和基板6接近，能把膜5和基板間的間隙設(shè)定成合適的距離。不會因加壓等而對抗蝕劑圖形施加影響。據(jù)此，能高精度地進(jìn)行轉(zhuǎn)印。
該膜5卷在可轉(zhuǎn)動的膜卷軸8上，膜5設(shè)有透明層和轉(zhuǎn)印層，如實(shí)施例2所示。在缺陷檢測時，來自照明光源9的光透過部分透明層照射到基板，與實(shí)施例1一樣，通過在CCD照相機(jī)12上檢測該光，進(jìn)行缺陷檢測。在缺陷修正時，使膜卷軸8轉(zhuǎn)動，使轉(zhuǎn)印層移動到激光光點(diǎn)的位置。來自短脈沖激光光源1的短脈沖光，由光束成形機(jī)構(gòu)2成形，使得照射形狀與缺陷形狀相同的點(diǎn)狀光，并入射到半透明反射鏡3。然后，由半透明反射鏡3反射到基板6的方向上，并由物鏡4聚焦入射到膜5。由于來自該短脈沖激光光源1的短脈沖激光和來自照明光源的照明光在同一軸上，因此可以向與檢測出的缺陷的位置相同的位置照射短脈沖激光，可以正確地修正缺陷。向膜5照射短脈沖激光的方式，如圖8A所示。
在此，在膜5的基板一側(cè)的面上設(shè)有硅層56。該硅層56，起到用激光照射轉(zhuǎn)印到基板6上的轉(zhuǎn)印層的作用。然后，硅層56被轉(zhuǎn)印到抗蝕劑67的白缺陷66的一部分上，在蝕刻鉻膜68時，防止鉻膜68暴露在蝕刻液中。鉻膜68的蝕刻液使用諸如硝酸鈰銨水溶液等酸。這樣，最好使用對蝕刻液有耐受性的材質(zhì)，除硅以外，還可以使用金屬、半導(dǎo)體、硅化物或者有機(jī)物等。預(yù)先把這些物質(zhì)覆蓋在膜5上。并且，即使在干蝕刻時，也最好使用有蝕刻耐受性的材料。
對來自短脈沖激光光源1的短脈沖激光進(jìn)行聚焦，并照射到已檢測出缺陷的部位之上的膜5上。短脈沖激光光源1可以與實(shí)施例1一樣使用YAG激光。并且，使用YAG激光的3次諧波355nm，照射短脈沖光。用激光燒蝕，從膜55上除去與缺陷的形狀相同的部分硅層56，并蒸鍍到白缺陷66的區(qū)域，再轉(zhuǎn)印到鉻膜68上。據(jù)此，形成圖8B所示的結(jié)構(gòu)，在有白缺陷66的部位上，設(shè)置轉(zhuǎn)印有硅層56的修正部分69。在該狀態(tài)下進(jìn)行蝕刻，可以防止修正部69之下的鉻膜68暴露在蝕刻液中，能留下鉻膜68作為遮光膜。即，由于鉻膜68的修正部69起到抗蝕劑的作用，因此白缺陷被修正。由此，能正確地形成鉻圖形。之后，除去抗蝕劑67以及修正部69。通過上述方法，能正確地形成光掩模的圖形，可以提高光掩模的生產(chǎn)率。再通過使用該光掩模，能改善半導(dǎo)體裝置和液晶顯示裝置的生產(chǎn)率和成品率。另外，修正圖形邊緣時，比缺陷部分更廣地蒸鍍硅層。然后，在蝕刻鉻膜68之后，用激光燒蝕除去溢出部分的鉻膜，形成圖形邊緣。
根據(jù)上述方法，能防止白缺陷(鉻圖形的剝落)的發(fā)生?，F(xiàn)在，為了修正光掩模的白缺陷，需要激光CVD、FIB淀積、點(diǎn)曝光或者剝離等部分成膜技術(shù)，但如本實(shí)施例所示，通過在缺陷檢查裝置的一部分中加裝缺陷修正機(jī)構(gòu)，能以簡單的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定地修正缺陷。另外，由于能對與檢測出的缺陷的部位相同的位置正確地照射激光，因此能進(jìn)行穩(wěn)定的修復(fù)。在本實(shí)施例中，也可以與實(shí)施例1一樣具有波長可變?yōu)V光片，能把來自照明光源9的光用做加熱。
實(shí)施例4用圖9A～圖9C和圖10D～圖10F對本實(shí)施例的圖形基板的缺陷修正方法進(jìn)行說明。圖9A～圖9C和圖10D～圖10F是表示修正缺陷工序中的缺陷部分的結(jié)構(gòu)的剖面放大圖。本實(shí)施例的缺陷修正裝置的結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1一樣。并且，與實(shí)施例1同樣地檢測濾色片基板上的異物或者缺陷，經(jīng)由膜對該部分照射短脈沖光。據(jù)此，用激光燒蝕大致同時除去膜5a一部分和異物。由此，成為圖9A所示的結(jié)構(gòu)，在膜5a上設(shè)置開口部。
利用液體分配器從其上方向缺陷部分滴著了色的樹脂溶液17。滴下的樹脂溶液17從膜5a的開口部附著到基板6上，同時擴(kuò)展并附著在膜5a之上。例如，在缺陷修正裝置中，設(shè)置能在水平方向上移動的液體分配器的噴嘴，如圖9B所示，使噴嘴16移動到膜5a的開口部之上。對比該開口部更大的區(qū)域噴出著了色的樹脂溶液17。該樹脂溶液17已被著了色，使得顏色與缺陷修正濾色片的著色層的顏色大致相同，在此，著成紅色。也可以通過調(diào)整樹脂濃度，使該樹脂溶液17具有適當(dāng)?shù)恼扯?。另外，作為使樹脂溶?7從噴嘴附著到基板的方法，除了滴一滴樹脂溶液17的方法之外，也有用噴霧嘴噴射微米級微粒的噴霧方法。然后，使附著在基板6上的樹脂溶液17a適當(dāng)?shù)馗稍?。在該干燥工序中，通過使用照明光源9的光加熱法，可以使樹脂溶液17a干燥，如圖9C所示，能通過使用照明光源9的光加熱，使樹脂溶液17a干燥。即，對全部或者一部分樹脂溶液17照射來自照明光源9的光來進(jìn)行干燥。此時，在光軸方向上移動物鏡，改變照射光的區(qū)域，能調(diào)整干燥的范圍?；蛘?，也可以通過噴射部件13噴射氣體來使樹脂溶液17a干燥。通過使樹脂溶液17a干燥，溶劑蒸發(fā)，附著部位縮小，因此，最好比預(yù)定的膜厚厚地附著樹脂溶液17a。
干燥后，可以對開口部的邊緣部分照射來自短脈沖激光光源1的短脈沖光，除去樹脂溶液17a。即，不對開口部的中心照射短脈沖光，來留下缺陷部分的樹脂溶液17a，同時只對開口部的周圍附近照射短脈沖光，以便除去邊緣部分的樹脂溶液17a，如圖10D所示。在此，在短脈沖光的光路中設(shè)置可動的反射鏡和透鏡這樣的光學(xué)部件，該光學(xué)部件控制短脈沖光的照射位置。例如，通過改變半透明反射鏡3的傾角，能進(jìn)行激光光點(diǎn)的微妙的位置調(diào)整。由光束成形機(jī)構(gòu)2和物鏡4進(jìn)一步減小激光光點(diǎn)，用這樣的光學(xué)部件使短脈沖激光照射開口部的整個周邊。據(jù)此，在留下開口部中心的樹脂溶液17a的狀態(tài)下，用激光燒蝕直接除去開口部邊緣附近的樹脂溶液17a。據(jù)此，形成圖10E所示的結(jié)構(gòu)。在除去了開口部邊緣附近的樹脂溶液17a的狀態(tài)下，使膜卷軸8轉(zhuǎn)動并使膜5a的開口部移動。然后，使載物臺7移動，將膜5a從基板6上去掉。據(jù)此，樹脂變成附著在缺陷部分上的狀態(tài)，該樹脂成為修正層17b從而修正缺陷，如圖10F所示。如上所述，由于用激光燒蝕除去開口部邊緣附近的樹脂溶液17a，因此能快速地除去膜5a，能防止膜5a附著在基板6之上形成缺陷。另外，用激光燒蝕除去的樹脂溶液17a再次附著在膜5a之上或者開口部的中心附近，因此不會形成新的缺陷。并且，由于通過照射短脈沖光除去樹脂溶液17a，因此能調(diào)整樹脂溶液17a的附著部分的形狀。據(jù)此，能正確地修正缺陷。
在本實(shí)施例的缺陷修正方法中，對使樹脂溶液附著的位置的容許量變大。并且，由于也可以一次噴出比較多的樹脂，因此即使修正微小的圖形，也能使用大的噴嘴。由此，在噴出微量的情況下所必需的開口比微小的噴嘴更容易管理。由于用光束成形機(jī)構(gòu)2能調(diào)整膜5a的開口部的尺寸，因此能以任意的形狀對膜照射脈沖激光。由此，能使膜的開口形狀與像素形狀一致，能容易地修正與像素形狀大致相同的區(qū)域的矩形區(qū)域。通過對樹脂溶液17a加熱、干燥，在剝離膜5a時，能防止附著在基板的缺陷部分的樹脂粘在膜側(cè)并從基板的缺陷部分剝離的現(xiàn)象。另外，為了去掉噴嘴前端部存留的樹脂，或者使樹脂溶液達(dá)到預(yù)定的濃度，需要在缺陷部位之外進(jìn)行空噴，但是如果在修正部位周圍的膜上空噴，則能減少從空噴到修正的時間差。并且，通過用CCD照相機(jī)觀察空噴時的著地點(diǎn)，能校正從噴嘴的噴出到著地為止所產(chǎn)生的位置偏差。這樣，通過本實(shí)施例的缺陷修正方法，能進(jìn)行高精度的缺陷修正。
基板上附著了修正液17a之后，或者使樹脂溶液干燥后，用刮板等把樹脂填入開口部，或者也可以用刮板除去多余的樹脂溶液。這樣，即使在噴出量過多時，根據(jù)樹脂溶液中的溶劑比例(干燥后的收縮率)和膜的膜厚，能控制樹脂溶液17a附著到基板6的缺陷部分上的附著量。即，能控制最終的修正層17b的膜厚，從而能正確地形成圖形。據(jù)此，能控制缺陷部分的顏色和透射率。另外，樹脂溶液附著到膜上的附著點(diǎn)即使偏離刮板從膜開口部開始的移動開始位置的方向也沒關(guān)系。此時，通過用刮板把樹脂填入開口部，能使樹脂溶液17a均勻地附著在基板6的缺陷部分上。
另一方面，刮板的材質(zhì)由抗樹脂溶液的硅和特富龍(注冊商標(biāo))等材料構(gòu)成，相反，膜的材質(zhì)如果由聚酰亞胺等比刮板的潤濕性還高的材料構(gòu)成，則刮完了的樹脂將留在膜上。據(jù)此，在刮板上可不殘留樹脂，因此不需要清潔刮板?；蛘?，可以延長清潔周期。另外，由于多余的樹脂以附著的狀態(tài)殘留在膜5a上，使用后與膜5a一同卷起，因此不會附著到基板6的缺陷部分之外，從而不會產(chǎn)生新的缺陷。另外，使用后，通過更換膜5a，能回收多余的樹脂，因此在裝置上不會附著樹脂，能容易地進(jìn)行保養(yǎng)。
另外，從噴嘴16將樹脂溶液17a噴到基板上時，樹脂溶液17a由于表面張力而成圓形，因此有時樹脂溶液17a不能接觸到基板6。此時，最好使膜5a的開口部周圍變薄。用圖11A～圖11C對該步驟進(jìn)行說明。首先，如圖11A所示，用激光燒蝕使膜5a開口部附近的部分變薄。通過對膜5a的開口部周圍照射來自短脈沖激光光源1的短脈沖激光，形成除去了一部分的如圖11A所示的結(jié)構(gòu)。此時，短脈沖激光光源1的輸出，比貫通膜5a設(shè)置開口部時低。然后，移動激光光點(diǎn)的位置并對開口部的四周照射短脈沖激光。這樣，由于使膜5a開口部的周圍變薄，因此在膜5a厚時，也可以使樹脂溶液17a與基板6接觸。據(jù)此，成為如圖11B所示的結(jié)構(gòu)。此時，由于在膜5a上設(shè)置有薄的部分和厚的部分，因此出現(xiàn)臺階，在其上會附著樹脂溶液17a。然后，如圖11C所示，照射來自照明光源9的光，使之干燥。其后的工序，由于與圖10D～圖10F所示的工序一樣，因此省略說明。據(jù)此，即使在附著的樹脂溶液17a的量多時，也能容易地使之附著。
或者，如圖12A～圖12C所示，也可以由噴嘴16噴射微粒，使樹脂溶液17附著在基板6上。此時，如圖12A所示，用激光燒蝕在膜5a上設(shè)置開口部。然后，如圖12B所示，用噴嘴16從開口部之上對基板6產(chǎn)生微粒。據(jù)此，即使在膜5a厚時，也能使樹脂溶液17a附著在基板6的缺陷部分上。然后，如圖12C所示，照射來自照明光源9的光，使之干燥。之后的工序與如圖10D～圖10F所示的工序一樣，因此省略說明。據(jù)此，即使附著所需的樹脂溶液17a的量多時，也能容易地附著。
另外，在上述實(shí)施例中，使著成紅色的樹脂溶液17從噴嘴16附著到基板6上，但是也可以是藍(lán)色、綠色或者黑色。據(jù)此，也可以修正藍(lán)色著色層、綠色著色層和BM的缺陷。另外，并不限于濾色片用的基板，也可以使著成與修正的圖形相對應(yīng)的顏色的樹脂溶液附著到基板上。通過使該樹脂溶液干燥，溶液中的水分蒸發(fā)，樹脂固定在缺陷部分上。當(dāng)然，也可以是樹脂溶液之外的溶液，還可以經(jīng)由膜5a的開口部使與修正的圖形相對應(yīng)的修正液附著到基板1上。另外，也可以用噴嘴從上方滴下修正液，并使之附著。通過使與修正圖形對應(yīng)地著了色的修正液附著在基板6上，能修正任意顏色的圖形。并且，通過調(diào)節(jié)短脈沖激光的光點(diǎn)來調(diào)整開口部的尺寸，能用與檢測出的白缺陷相同的尺寸來附著樹脂溶液，從而能高精度地修正白缺陷。因此，在修正了濾色片基板等時，不會使顯示質(zhì)量劣化。
實(shí)施例5用圖13A～圖13D對本實(shí)施例的圖形基板的缺陷修正方法進(jìn)行說明。圖13A～圖13D是表示修正缺陷的工序中的缺陷部分結(jié)構(gòu)的剖面放大圖。本實(shí)施例的缺陷修正裝置的結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1一樣。然后，與實(shí)施例1一樣地檢測濾色片基板上的異物或者缺陷，經(jīng)由膜對該部分照射短脈沖光。據(jù)此，用激光燒蝕大致同時地除去膜5a的一部分和異物。由此，形成如圖13A所示的結(jié)構(gòu)，并在膜5a上設(shè)置開口部。在本實(shí)施例中，與上述實(shí)施例一樣，設(shè)置有可在水平方向上移動的液體分配器的噴嘴16。
在該狀態(tài)下，使噴嘴16在開口部之上移動。據(jù)此，形成如圖13A所示的結(jié)構(gòu)。在分配器的噴嘴16的前端，同樣附著有著成與修正圖形相對應(yīng)的顏色的樹脂溶液17。該樹脂溶液17從噴嘴16的前端溢出。在本實(shí)施例中，噴嘴16設(shè)置成可在上下方向上移動。使該噴嘴16向下移動并接近基板6，并使樹脂溶液17與膜5a和基板6接觸。另外，也可以使基板6的載物臺向上移動并使噴嘴16與基板6接近。據(jù)此，如圖13B所示，經(jīng)由開口部使樹脂溶液17a附著到基板6的缺陷部分。然后，如果使噴嘴6向上移動，或者使載物臺向下移動，拉開基板6和噴嘴16之間的距離，則附著在噴嘴16的前端的樹脂溶液17a的大半部分將粘在并返回到噴嘴16側(cè)。據(jù)此，形成如圖13C所示的結(jié)構(gòu)，與實(shí)施例4一樣，樹脂溶液17a附著到缺陷部分上。在本實(shí)施例中，即使用大噴嘴滴下時，也能限制樹脂溶液17a附著到基板6的附著量。因此，能使微量的樹脂溶液附著到基板6上，從而能容易地控制附著的樹脂層的厚度。之后，與實(shí)施例4一樣，用短脈沖激光光源1進(jìn)行開口部周圍的樹脂溶液17a的除去以及用照明光源9進(jìn)行樹脂溶液的干燥。然后，使膜5a轉(zhuǎn)動并從基板6上剝離，使載物臺7移動并將膜5a從基板6上去掉。據(jù)此，如圖13D所示，著了色的樹脂附著在缺陷部分上，修正設(shè)置了修正層17b的著色層的缺陷。通過上述的裝置結(jié)構(gòu)和缺陷修正方法，能正確地修正圖形基板的白缺陷。另外，通過在圖形基板的制造工序中加入修正這些缺陷的工序，能制造出無缺陷的圖形基板。
實(shí)施例6用圖15對本實(shí)施例的缺陷修正裝置進(jìn)行說明。圖15是表示本實(shí)施例的濾色片基板的缺陷檢查裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。對于在上述實(shí)施例中說明的結(jié)構(gòu)內(nèi)容，由于是相同的結(jié)構(gòu)，因此省略說明。在本實(shí)施例中，與上述實(shí)施例一樣，用激光燒蝕除去膜上的異物后，通過加熱塊，從形成的開口部之上熱轉(zhuǎn)印設(shè)置在不同膜上的著色層。
在本實(shí)施例中，除了如圖1所示的缺陷檢查裝置之外，如圖15所示，在膜5之上設(shè)置有具有著了色的轉(zhuǎn)印層的轉(zhuǎn)印膜18和用于熱轉(zhuǎn)印的加熱塊20。轉(zhuǎn)印膜18安裝在膜卷軸19上，通過使該膜卷軸19轉(zhuǎn)動，輸送轉(zhuǎn)印膜18。使轉(zhuǎn)印膜18和加熱塊20進(jìn)行滑動，能移動到基板缺陷位置之上。例如，也可以把物鏡4以及氣體噴射部件13和膜卷軸19以及加熱塊20連接到一個滑動件上(未圖示)，使之滑動移動。在除去異物時，把物鏡4和氣體噴射部件13配置在缺陷位置之上，在轉(zhuǎn)印轉(zhuǎn)印層時，使滑動件移動，能把轉(zhuǎn)印膜18和加熱塊20配置在缺陷位置之上。當(dāng)然，也可以通過滑動以外的移動方式使之移動。另外，也可以不移動物鏡4和氣體噴射部件13，而使轉(zhuǎn)印膜18和加熱塊20移動到氣體噴射部件13之下。
如果將轉(zhuǎn)印膜18移動到缺陷位置之上，則成為圖16所示的結(jié)構(gòu)。圖16是表示基板6和膜的結(jié)構(gòu)的俯視圖。使轉(zhuǎn)印膜18在X方向上移動，并將轉(zhuǎn)印膜18配置在膜5之上。經(jīng)由設(shè)置在缺陷位置的膜5的開口部15，使轉(zhuǎn)印膜18和基板6相對配置，并在開口部15的位置上設(shè)置轉(zhuǎn)印膜18的轉(zhuǎn)印層。據(jù)此，經(jīng)由開口部15，能將轉(zhuǎn)印膜18的轉(zhuǎn)印層轉(zhuǎn)印到基板的缺陷部分。
在此，使轉(zhuǎn)印膜18移動到膜15之上后，從氣體噴射部件13噴出的氣體不噴射到膜5。據(jù)此，膜5的開口部15的位置可能會偏離缺陷位置。此時，在使轉(zhuǎn)印膜18移動之前，最好固定基板6和膜5的位置。作為固定膜5和基板6的方法，有在噴射氣體過程中將硅膠等放置在膜5之上固定的方法，以及使膜5帶電，通過靜電力固定在基板6上的方法。
在放置硅膠的方法中，在開口部的兩側(cè)放置硅膠。據(jù)此，膜5的位置被固定。另外，在通過靜電力固定膜5的方法中，例如，在使膜卷軸19轉(zhuǎn)動輸送膜5時，因?yàn)槟Σ潦鼓?帶電。然后，通過帶電的膜5的靜電力，固定膜5和基板6的位置。在本實(shí)施例中，也可以不用氣體噴射部件13，而通過上述方法固定膜5和基板6，在膜5上設(shè)置開口部15。另外，也可以對開口部15的兩側(cè)、未重疊轉(zhuǎn)印膜18的部分噴射氣體，固定膜5和基板6。
轉(zhuǎn)印膜18是具有通過熱轉(zhuǎn)印而轉(zhuǎn)印的轉(zhuǎn)印層的膜，例如，可以使用富士膜公司制造的TRANSER(注冊商標(biāo))。用該膜，能提高轉(zhuǎn)印層的密合性。用圖17對該轉(zhuǎn)印膜18的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。
轉(zhuǎn)印膜18具有在基層18e之上形成的緩沖層18d。在緩沖層18d之上，設(shè)有氧遮斷層18c，并且，在其上設(shè)有用各種顏料著了色的轉(zhuǎn)印層18b。轉(zhuǎn)印層18b，由例如感光性樹脂形成。該轉(zhuǎn)印層18b的顏料，根據(jù)修正的濾色片的像素著了色。通過將該轉(zhuǎn)印層18b轉(zhuǎn)印到基板6來修正白缺陷。在轉(zhuǎn)印層18b之上，為了保護(hù)表面，壓合聚丙烯保護(hù)膜18a。另外，為了防止因剝離帶電等原因而附著灰塵，在基層18e的背面設(shè)置了導(dǎo)電性的帶電防止層18f。
該基層18e，由例如厚約75μm的PET形成。作為緩沖層18d，可以使用厚約20μm的可溶于弱堿的熱塑性樹脂。用該緩沖層18d，可以吸收基板缺陷部分的臺階，提高轉(zhuǎn)印層的密合性。使氧遮斷層厚1.6μm，轉(zhuǎn)印層18b厚2.0μm，保護(hù)膜厚1.2μm。該轉(zhuǎn)印膜18的結(jié)構(gòu)是一個典型例，但并不限于上述結(jié)構(gòu)。例如，也可以不設(shè)置保護(hù)膜18a、氧遮斷層18c或者帶電防止層18f。特別是在開口部15配置的轉(zhuǎn)印膜18的部位，很少附著灰塵，因此也可以不設(shè)置保護(hù)膜18a。另外，轉(zhuǎn)印層18b并不限于感光性樹脂層，也可以是與轉(zhuǎn)印圖形對應(yīng)的著色層。
加熱塊20設(shè)置成可上下移動，在使轉(zhuǎn)印膜18的轉(zhuǎn)印層18b附著時，向下移動，把轉(zhuǎn)印膜18壓在基板6上。此時的基板6和轉(zhuǎn)印膜18的結(jié)構(gòu)，如圖18A～圖18B所示。圖18A～圖18B是表示缺陷修正部分的基板6的結(jié)構(gòu)剖面圖。在此，省略了轉(zhuǎn)印膜18的保護(hù)膜18a、氧遮斷層18c、基層18e以及帶電防止層18f，用加熱塊20按壓轉(zhuǎn)印膜18，成為圖18A所示的結(jié)構(gòu)。
壓上加熱塊20，變成具有開口部15的膜5夾在基板6和具有轉(zhuǎn)印層的轉(zhuǎn)印膜18之間的狀態(tài)。因此，轉(zhuǎn)印層18b，經(jīng)由膜5的開口部15壓到基板6的缺陷位置上。由于開口部設(shè)置成與用激光燒蝕除去了異物的部位的尺寸相同以及位置相同，因此與需要修正的部位一致。經(jīng)由膜5轉(zhuǎn)印轉(zhuǎn)印層18b，在開口部，轉(zhuǎn)印層18b附著到基板6上。另一方面，在開口部以外的區(qū)域，轉(zhuǎn)印層18b附著到膜5的上面。
這樣，經(jīng)由膜5的開口部轉(zhuǎn)印作為著色層的轉(zhuǎn)印層18b，能防止轉(zhuǎn)印層18b附著到缺陷區(qū)域以外的區(qū)域。由此，能以簡單的結(jié)構(gòu)把轉(zhuǎn)印層18b轉(zhuǎn)印到缺陷部位，從而能正確地修正缺陷。另外，由于其它部位未附著轉(zhuǎn)印層18b，因此在之后的工序中，沒有必要除去其它部位的轉(zhuǎn)印層18b，能提高生產(chǎn)率。
另外，在本實(shí)施例中，經(jīng)由熱塑性樹脂層18d壓下轉(zhuǎn)印層18b。熱塑性樹脂層18d具有彈性，在把轉(zhuǎn)印膜18按壓到基板6上時，起到緩沖層的作用。由此，因著色層62、BM64和膜5而產(chǎn)生的基板6上的臺階被吸收，因此能正確地轉(zhuǎn)印轉(zhuǎn)印層18b。由于熱塑性樹脂層18d厚度為20μm，即使例如，著色層厚2μm、BM厚2μm、膜5厚8μm，也能吸收因它們而產(chǎn)生的臺階，從而能正確地轉(zhuǎn)印。
升高加熱塊20并離開基板6之后，如果移動轉(zhuǎn)印膜18將轉(zhuǎn)印膜18從基板6上剝離，則成為圖18B所示的結(jié)構(gòu)。這樣，通過干燥工序，能進(jìn)行缺陷的修正。此時，在基板6側(cè)附著了氧遮斷層18c或者熱塑性樹脂層18d時，用弱堿水溶液進(jìn)行簇射噴霧處理來除去氧遮斷層18c或者熱塑性樹脂層18d?；蛘?，用研磨帶磨削或用布帶擦拭等方法除去氧遮斷層18c或者熱塑性樹脂層18d。這樣，作為著色層的轉(zhuǎn)印層18b能被轉(zhuǎn)印到白缺陷位置，進(jìn)行缺陷修正，如圖18B所示。
這樣，通過使用轉(zhuǎn)印膜18，能容易地控制作為著色層轉(zhuǎn)印的層的厚度、顏色、透射率等特性。即，通過以期望的特性形成轉(zhuǎn)印膜18的轉(zhuǎn)印層18b，能進(jìn)行修正，使得修正后的著色層變成與正常的著色層大致相同的狀態(tài)。據(jù)此，能正確地進(jìn)行缺陷修正。另外，通過用轉(zhuǎn)印膜18轉(zhuǎn)印，能提高轉(zhuǎn)印層的密合性。
上述熱轉(zhuǎn)印工序中，為了提高轉(zhuǎn)印速度，也可以對基板6進(jìn)行預(yù)加熱，例如，可以通過把基板6放置在加熱板上進(jìn)行預(yù)加熱，還可以通過照射紅外線進(jìn)行預(yù)加熱。用紅外線時，可以使來自照明光源9的紅外線光透過濾光片10，也可以另外設(shè)置加熱用光源。
另外，在本實(shí)施例中，為了提高轉(zhuǎn)印層的密合性，可以使用具有與缺陷圖形相對應(yīng)的凸部的加熱塊。用圖19對該加熱塊20的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖19是表示加熱塊結(jié)構(gòu)的剖面圖。在加熱塊20的中央設(shè)置有凸部20c。通過沿箭頭方向壓下加熱塊20，能將轉(zhuǎn)印膜18壓到基板上，轉(zhuǎn)印著色層。
為了加大加熱塊20的熱容量，做成φ5mm的圓柱形狀，在轉(zhuǎn)印時，加熱到大約130℃。在加熱塊20的底面上設(shè)置有凸部20c。凸部20c，例如是φ500μm、高10μm的圓柱形狀。在本實(shí)施例中，為了形成這樣的微小凸部，用熱膨脹系數(shù)不同的材質(zhì)形成加熱塊20的中心部20b和外周部20a。
例如，用熱膨脹系數(shù)大的鐵等金屬做中心部20b，用熱膨脹系數(shù)小的SiC等陶瓷形成外周部20a。在常溫時，形成為該中心部20b和外周部20a是平坦的。然后，如果把加熱塊20加熱到130℃，則由于熱膨脹率的不同，中心部20b突出來，形成凸部20c。并且，設(shè)計中心部20b的尺寸和熱膨脹系數(shù)，使得凸部成為所要的形狀、大小、高度。由此，即使是微小的凸部，也能以所要的尺寸正確地形成凸部。
由于與基板的缺陷部分相對應(yīng)地嵌合該凸部20c，因此即使有臺階時，也能提高密合性。另外，為了使凸部的高度恒定，也可以在常溫時研磨加熱塊20的底面，使之平滑。當(dāng)然，凸部20c的大小、高度，可以使用與修正缺陷的圖形、膜的厚度相對應(yīng)的尺寸。
實(shí)施例7在本實(shí)施例中，對于實(shí)施例6所示的缺陷修正方法，增加了用于提高轉(zhuǎn)印層的密合性的步驟。對于上述實(shí)施例中說明過的結(jié)構(gòu)內(nèi)容，由于結(jié)構(gòu)相同，因此省略說明。在上述實(shí)施例中，用激光燒蝕除去要除去的異物等之后，經(jīng)由矩形開口部15轉(zhuǎn)印了轉(zhuǎn)印層。此時，有可能因轉(zhuǎn)印層和基板6之間殘留的空氣而降低密合性。用圖20對用于除去該空氣的步驟進(jìn)行說明。圖20是表示膜5的開口部周圍的結(jié)構(gòu)的俯視圖。
在本實(shí)施例中，用激光燒蝕除去基板上的異物后，在膜5上形成空氣除去部21?？諝獬ゲ?1形成在由激光燒蝕形成的開口部15的周圍。異物除去后，通過調(diào)整半透明反射鏡3的傾斜，對開口部15的四角周圍照射激光。此時，通過用比異物除去時的激光功率低的功率照射，除去了一部分膜5的膜5變薄。即，在圖20中，斜線表示的空氣除去部21比膜5的其它部分薄。通過同樣地對開口部15的四角照射激光，成為圖20所示的結(jié)構(gòu)。
在此，使空氣除去部21的尺寸比開口部15小。例如，可以使開口部的大小是一邊為100μm的正方形，使空氣除去部21的大小是一邊為20μm的正方形。而且，形成為開口部15和空氣除去部21的一部分重合。由于以低功率照射激光，因此即使是與開口部15重合的部位，也不會除去基板上的圖形。因此，能形成空氣除去部21而不影響濾色片的光學(xué)特性。通過形成這樣的空氣開口部，在矩形開口部15的周圍形成膜厚變薄的部分。開口部15，由于除去了膜5，因此通過形成空氣除去部21，膜從開口部開始成臺階狀地變厚。
圖21表示形成了該空氣除去部21的膜5和基板6的結(jié)構(gòu)。圖21是表示膜5和基板6的結(jié)構(gòu)的剖面圖，表示用加熱塊20把轉(zhuǎn)印膜18按壓在基板6上的狀態(tài)。形成空氣除去部21之后，使加熱塊20移動到開口部15之上，并壓下加熱塊20。通常，按壓轉(zhuǎn)印膜18后，轉(zhuǎn)印膜18從開口部15的中心開始與基板6接觸。因此，存于基板6和轉(zhuǎn)印層18b之間的空氣，從開口部15的中心慢慢地向外側(cè)溢出。由于在開口部的周圍設(shè)置有空氣除去部21，因此膜5形成2段，如圖21所示。未設(shè)空氣除去部21時，開口部的邊緣和轉(zhuǎn)印層18b接觸，空氣溢不出去，可能殘留空氣，但是設(shè)置了空氣除去部21時，開口部15和轉(zhuǎn)印層18b之間的空氣從該成為2段的部分溢出去。據(jù)此，可以提高密合性。
在圖20中，在開口部15的四角設(shè)置了空氣除去部21，但是也可以如圖22所示，在矩形的開口部15的整個外周設(shè)置空氣除去部21。即，也可以形成比開口部15大的矩形空氣除去部21?；蛘?，也可以如圖23所示，形成從正方形15的各邊延伸出去的矩形的空氣除去部21。由此，形成與開口部15四角的一方的邊相連的空氣除去部21。當(dāng)然，空氣除去部21的結(jié)構(gòu)并不限于圖示的結(jié)構(gòu)?？諝獬ゲ?1的形狀，通過改變光束成形機(jī)構(gòu)2的縫隙寬度等能任意地形成。通過改變光束成形機(jī)構(gòu)2的縫隙寬度，形成開口部15和空氣除去部21時，最好使開口部15和空氣除去部21成矩形。當(dāng)然，開口部15和空氣除去部21的結(jié)構(gòu)并不限于矩形。
另外，空氣除去部21，通過控制激光光源1的功率，能形成任意的厚度。而且，也可以完全除去膜5，而不只是除去膜5的一部分而使之變薄。此時，由于膜5是貫通的，因此最好減小空氣除去部21的寬度，使得經(jīng)由空氣除去部21不會轉(zhuǎn)印轉(zhuǎn)印層。上述空氣除去部21，并不限于使用了加熱塊的缺陷修正裝置，例如，對于使用了實(shí)施例5所示的分配器的缺陷檢查裝置，也可以使用。即，也可以在用激光燒蝕設(shè)置了開口部15之后，形成空氣除去部21，然后從其上方用分配器滴下著了色的樹脂溶液。由于樹脂溶液從開口部的中心開始與基板接觸，因此能減少在樹脂溶液和基板之間殘存的空氣。從而能提高修正部位的密合性。另外，本實(shí)施例所示的空氣除去部，即使是空氣以外的氣體，也能除去，因此對于空氣除去部21，還包括除去空氣以外的氣體的情況。
實(shí)施例8用圖24對本實(shí)施例的缺陷修正裝置進(jìn)行說明。對于上述實(shí)施例中說明的結(jié)構(gòu)內(nèi)容，由于結(jié)構(gòu)相同，因此省略說明。在本實(shí)施例中，與實(shí)施例6一樣，在膜5之上重疊著具有轉(zhuǎn)印用著色層的轉(zhuǎn)印膜18。并且，從轉(zhuǎn)印膜18之上照射來自激光光源1的激光，轉(zhuǎn)印著色層。
與實(shí)施例6一樣，用激光燒蝕在膜5上設(shè)置開口部來除去缺陷。然后，使膜卷軸19移動，在開口部之上配置轉(zhuǎn)印膜18。由此形成與圖16相同的結(jié)構(gòu)。在本實(shí)施例中，由于不使用加熱塊，因此沒有必要移動物鏡4和氣體噴射部件13。但是，在具有開口部的膜5之上配置轉(zhuǎn)印膜18而遮住空氣的噴射，開口部的位置錯位時，最好固定膜5。為了固定膜5，可以使用與上述實(shí)施例同樣的部件。
如果在膜5之上配置轉(zhuǎn)印膜18，則成為圖25A所示的結(jié)構(gòu)。本實(shí)施例使用的轉(zhuǎn)印膜18具有基膜22，并且按照順序形成有膨脹層23、分離層24和轉(zhuǎn)印層25。并且，配置轉(zhuǎn)印膜18，使得轉(zhuǎn)印層25經(jīng)由膜5的開口部與基板6的缺陷部分相對。
轉(zhuǎn)印膜18的基膜22，由例如聚乙烯等透過激光的材質(zhì)形成。膨脹層23是吸收激光的吸收層，最好由沸點(diǎn)低的材質(zhì)形成。在修正缺陷時，照射脈沖寬度為μsec級的激光，瞬間加熱膨脹層23后，氣化膨脹。由于在膨脹層23之上設(shè)置有基膜22，因此在基膜側(cè)沒有氣體溢出之處，氣化后的膨脹層23流向基板側(cè)。據(jù)此，分離層24和轉(zhuǎn)印層25從基膜22上分開，附著到基板6上。然后，如果終止激光照射，則膨脹層23冷卻，恢復(fù)成固體，成為圖25B所示的結(jié)構(gòu)。經(jīng)由膜5的開口部進(jìn)行轉(zhuǎn)印，在缺陷部分以外的部位，轉(zhuǎn)印層25附著在膜5之上，因此在基板上，轉(zhuǎn)印層25等只附著在缺陷部分。因此，能不對缺陷部分以外產(chǎn)生影響，正確地修正缺陷。
分離層24，為了分離轉(zhuǎn)印層25和膨脹層23，因此設(shè)置在轉(zhuǎn)印層25和膨脹層23之間，例如，由溶于酸或堿等溶液的材質(zhì)構(gòu)成。通過使溶液滴到基板6上，溶解附著在基板上的分離層24，能除去附著在基板側(cè)的轉(zhuǎn)印層25之上的分離層24，能使膨脹層23從轉(zhuǎn)印層25上分開。通過用分離層24分離轉(zhuǎn)印層25和膨脹層23，能從基板上除去膨脹層23，從而在基板6之上只殘留轉(zhuǎn)印層25。因此，能正確地只轉(zhuǎn)印缺陷修正所必需的轉(zhuǎn)印層25。由此，成為圖25C所示的結(jié)構(gòu)。轉(zhuǎn)印層25具有與修正的缺陷的著色層相對應(yīng)的顏色、透射率、膜厚等特性，因此能正確地修正缺陷。當(dāng)然，使轉(zhuǎn)印層25和膨脹層23分離的方法并不限于此。
在上述實(shí)施例中，用激光光源1轉(zhuǎn)印轉(zhuǎn)印層25，但是也可以還具有與激光光源1不同的光源，照射來自該光源的光來轉(zhuǎn)印轉(zhuǎn)印層。另外，為了提高密合性，例如，也可以照射來自照明光源9的紫外線對基板6進(jìn)行預(yù)加熱。另外，不用說，在上述實(shí)施例中也可以組合使用。
實(shí)施例9用圖26說明本實(shí)施例中的圖形基板的缺陷修正裝置。對于上述實(shí)施例中說明的結(jié)構(gòu)內(nèi)容，由于結(jié)構(gòu)相同，因此省略說明。在本實(shí)施例中，與上述實(shí)施例一樣，經(jīng)由膜對缺陷部分照射脈沖激光，用激光燒蝕除去異物。然后，使缺陷修正用的樹脂附著在除去了異物的部分，進(jìn)行缺陷修正。
用圖27A～圖27B說明該膜5和基板6的結(jié)構(gòu)。對附著了異物65的像素照射來自短脈沖激光光源1的小于或等于10nsec的短脈沖光。由此，成為圖27A所示的結(jié)構(gòu)。由此，與上述實(shí)施例一樣，成為在膜5上設(shè)置有開口部的圖27B所示的結(jié)構(gòu)。
通過上述處理，由于在除去基板上的異物65的同時除去著色層61，因此黑缺陷成為透光的白缺陷66。為了修正該白缺陷66，如圖28所示，在缺陷位置之上配置按壓部30。在按壓部30的側(cè)面配置有刮板31。即，刮板31與缺陷位置相鄰配置。此時，固定設(shè)置了開口部的膜5，使其不能移動。由此，能使缺陷部和膜5的開口部的位置一致。按壓部30和刮板31設(shè)置成由電機(jī)(未圖示)等能在上下方向(Z方向)上移動。并且，按壓部30和刮板31還設(shè)置成由電機(jī)(未圖示)等能在水平方向(Y方向)上移動。
用圖29A、圖29B～圖31A、圖31B說明用按壓部30把缺陷修正用的溶液涂敷到白缺陷66上的結(jié)構(gòu)。圖29A、圖29B～圖31A、圖31B是表示缺陷修正工序中的缺陷部分周圍的結(jié)構(gòu)的側(cè)面剖面圖。首先，在按壓部30的基板側(cè)的下端設(shè)置樹脂溶液。按壓部30由例如不銹鋼等金屬或者橡膠等彈性體構(gòu)成，按壓部30做成圓柱狀或者棱柱狀，例如，下端為平坦面。另外，按壓部30的下端也可以是球面等曲面。按壓部30的下表面形成得比開口部大很多。通過把該按壓部30裝在蓄積了樹脂溶液17的容器上，在按壓部30的前端設(shè)置樹脂溶液17。對于樹脂溶液17，使用粘度高的溶液。然后，把前端設(shè)置了樹脂溶液17的按壓部30移動到缺陷位置。在該缺陷位置，在膜5上設(shè)置有與缺陷相對應(yīng)的開口部。在該按壓部30的側(cè)面設(shè)置有刮板31。成為在按壓部30的下端設(shè)置有樹脂溶液17的圖29A所示的結(jié)構(gòu)。
向下方移動該按壓部30，使之與膜5緊貼在一起。由此，成為圖29B所示的結(jié)構(gòu)。此時，把按壓部30壓在基板6上，樹脂溶液17進(jìn)入缺陷部分。由于在基板上配置有具有與缺陷部分相對應(yīng)的開口部的膜5，樹脂溶液17經(jīng)由開口部附著到基板6上。由此，只在缺陷部分上附著樹脂溶液17，在缺陷的周圍部分未附著樹脂溶液17。這樣，能正確地把樹脂涂敷到缺陷部分，從而能穩(wěn)定地修正缺陷。按壓部30設(shè)置得比缺陷大很多，膜5的整個開口部都被按壓部30覆蓋。由此，能對整個缺陷部分涂敷樹脂溶液17。
按壓部30對基板6的按壓，根據(jù)缺陷的縱橫比(修正孔的凹陷的深度和寬度的比)、樹脂溶液17的粘度，設(shè)置適當(dāng)?shù)膲毫?。由此，即使是在使用了粘度高的樹脂溶液的情況下，也能把樹脂溶液17壓入縱橫比大的缺陷中。另外，由于膜5是10μm的聚酰亞胺膜，因此又薄又軟。因此，膜5與由著色層和BM64產(chǎn)生的基板表面的臺階相對應(yīng)地產(chǎn)生變形。這樣，膜5和基板6緊貼在一起，樹脂溶液17易于壓入缺陷部分。即使是在使用了粘度高的樹脂溶液的情況下，樹脂溶液17也能填入缺陷部分，從而能容易地使樹脂溶液17附著到基板6上。由此，能進(jìn)行穩(wěn)定的缺陷修正。
另外，為了把樹脂溶液17壓入缺陷部分，按壓部30最好使用橡膠等彈性體。按壓部30使用橡膠等彈性體的情況下，按壓部30與基板表面的臺階相對應(yīng)地產(chǎn)生變形。由此，能使按壓部30容易地緊貼在膜5上。另外，由于不必使按壓部的端面嚴(yán)格地平行于基板6的表面，因此容易安裝。另外，即使是在膜5的上表面，例如在設(shè)置開口部時有飛散的灰塵的情況下，也能容易地使按壓部30的下端緊貼在膜5的上表面上。通過從柔軟的膜5之上把彈性體的按壓部30壓在基板6上，膜5和有臺階的基板6緊貼在一起。由此，能防止樹脂溶液17進(jìn)入基板6和膜5之間。由此，樹脂溶液17只附著在膜5的開口部，從而能防止樹脂溶液17附著到缺陷部分以外。這樣，即使是在使用了粘度高的樹脂溶液17的情況下，也能穩(wěn)定地修正缺陷。
在把按壓部30壓在基板上的狀態(tài)下，向下方移動刮板31。由此，膜5和刮板31的下端緊貼在一起，成為圖30A所示的結(jié)構(gòu)。此時，刮板31的前端不在開口部，而配置在開口部的附近。刮板31設(shè)置得比開口部的尺寸大很多。即，刮板31移動到開口部之上時，刮板31的兩端配置在開口部的外側(cè)。另外，使刮板31在橫向滑動，把在開口部之上涂敷的多余的樹脂溶液17刮出。即，刮板31在缺陷部分之上通過，使在開口部涂敷的多余的樹脂溶液17在膜5之上移動。
此時，在使按壓部30壓在基板上的狀態(tài)下，直接使刮板31在橫向移動。這樣，由于膜5不移動，因此開口部和缺陷位置不產(chǎn)生錯位。由此，能正確地把溶液涂敷到缺陷位置。另外，在使按壓部30壓在基板6上的狀態(tài)下，直接使按壓部30和刮板31在橫向移動。刮板31的前端橫穿開口部，刮出整個開口部的樹脂溶液17。此時，通過改變把刮板31壓在基板6上的壓力，能調(diào)整附著在基板6上的樹脂溶液17的高度。即，通過提高刮板31對基板6的按壓，能使樹脂溶液17的涂敷厚度變薄，通過降低刮板31對基板6的按壓，能使樹脂溶液17的涂敷厚度變厚。
另外，刮板31也可以固定在按壓部30上，與按壓部30聯(lián)動，使其在上下方向和橫向上移動。由此，能簡化用于使刮板和按壓部30移動的電機(jī)等的結(jié)構(gòu)?；蛘撸部梢允构伟?1和按壓部30分別移動，此時，由于能獨(dú)立地調(diào)整刮板31的按壓和按壓部30的按壓，因此能更穩(wěn)定地修正缺陷。
從開口部之上刮出樹脂溶液17后，成為圖30B所示的結(jié)構(gòu)。在開口部之上以與膜5大致相同的厚度涂敷樹脂溶液17。在用刮板31刮出樹脂溶液17時，通過使刮板31的按壓和移動速度恒定，能使開口部的樹脂溶液17的涂敷高度大致恒定。
然后，向上移動設(shè)置了開口部的膜5，將其從基板6之上去掉。由此，成為圖31A所示的結(jié)構(gòu)。在本實(shí)施例中，由于使用了粘度高的樹脂溶液17，因此樹脂溶液17不向橫向擴(kuò)展。因此，能防止樹脂溶液17附著到缺陷部分的周圍。并且，能以距基板表面大致恒定的高度設(shè)置樹脂溶液17。
使該樹脂溶液17干燥，使樹脂溶液中的溶劑蒸發(fā)。由此，在基板6的表面只留下溶解在溶劑中的樹脂38。此時，厚度只減少與溶劑相當(dāng)?shù)牧?。由此，成為圖31B所示的結(jié)構(gòu)。在本實(shí)施例中，由于使用了粘度高的樹脂溶液17，因此能降低因溶劑的蒸發(fā)而造成的厚度的減少量。這樣，能使一次涂敷工序所能附著的樹脂38相對于修正的缺陷有足夠的高度。因此，不必反復(fù)進(jìn)行涂敷工序和干燥工序，能高生產(chǎn)率穩(wěn)定地修正缺陷。
在本發(fā)明中，通過改變樹脂溶液17中的樹脂和溶劑的比例能調(diào)整修正部位所附著的樹脂38的厚度。并且，通過改變膜5的厚度也能調(diào)整修正部位所附著的樹脂38的厚度。另外，通過改變刮板31的按壓也能調(diào)整修正部位所附著的樹脂38的厚度。由此，能對缺陷附著所要厚度的樹脂，從而能穩(wěn)定地修正缺陷。另外，通過把上述3個條件作為同等條件來進(jìn)行缺陷修正，能高再現(xiàn)性地修正缺陷。由此能穩(wěn)定地修正缺陷。
在現(xiàn)有的缺陷修正方法中，溶劑的蒸發(fā)等樹脂溶液的性質(zhì)隨時間變化，難以供給小于或等于pl(皮升)的穩(wěn)定的樹脂溶液。在濾色片的缺陷修正中，必須在小于或等于pl條件下穩(wěn)定地供給樹脂溶液。根據(jù)本修正方法，能將樹脂溶液隨時間變化的不穩(wěn)定性控制在最小限度，能進(jìn)行用于以1μm為單位對樹脂的膜厚進(jìn)行穩(wěn)定地修正的控制。由此，能進(jìn)行穩(wěn)定的缺陷修正。
如上所述，在本發(fā)明中，由于用按壓部30把樹脂溶液17壓入缺陷部分，因此能使用粘度高的樹脂溶液17。以前使用粘度為30cp左右的樹脂溶液17，但是在本發(fā)明中，可以使用粘度大于或等于200cp的樹脂溶液17。具體地講，根據(jù)上述方法，可以用粘度為300cp的樹脂溶液17來修正缺陷。通過使用粘度高的樹脂溶液17，能減少因溶劑蒸發(fā)而產(chǎn)生的樹脂附著量的變化。由此，能高再現(xiàn)性地進(jìn)行修正，并能穩(wěn)定地進(jìn)行缺陷的修正。
在上述方法中，把樹脂溶液17涂敷在由金屬或彈性體構(gòu)成的按壓部30的前端，通過把該前端壓到缺陷部分上，在缺陷部分上涂敷樹脂溶液，但是，也可以使用其它的構(gòu)件進(jìn)行涂敷。例如，有用分配器把樹脂溶液涂敷到缺陷部分的方法，或者用噴嘴噴涂樹脂溶液的方法，或者使樹脂溶液附著到針的尖端上，進(jìn)行涂敷的方法。而且，除了滴一滴樹脂溶液17的方法之外，還有用噴霧嘴噴射微米級的微粒的方法。另外，如果按壓部30使用多孔材料，則能從上面供給樹脂溶液17，從上面供給的樹脂溶液17經(jīng)由多個孔到達(dá)按壓部30的下面。由此，能把樹脂溶液17涂敷到缺陷部分中。例如，按壓部30可以使用多孔橡膠或多孔陶瓷。用任一種方法把樹脂溶液17涂敷到缺陷部分之后，通過用按壓部30按壓，能把樹脂溶液17壓入缺陷部分中。
上述刮板31由不銹鋼等金屬或者橡膠等彈性體構(gòu)成。由彈性體形成刮板31時，通過提高按壓力，能刮出填入膜5的樹脂溶液17。由此，所形成的樹脂溶液17的高度比膜5的上表面低一些。
刮板31在中間預(yù)先進(jìn)行了彎折，前端部分設(shè)置成相對于基板面是傾斜的。即，刮板31從上端到中間設(shè)置在垂直方向上并與按壓部30的側(cè)面接觸，而在中間傾斜設(shè)置，越接近下端距按壓部30側(cè)面的距離越大。由此，在按壓部30和刮板31之間形成間隙。刮出的樹脂進(jìn)入該間隙。另外，由于刮板31是彎曲的，因此容易控制按壓，能使刮板31的邊緣壓到基板上。即，即使在基板6的表面有臺階的情況下，也能容易地使刮板31的邊緣緊貼在膜5上。
缺陷修正用的樹脂溶液17，可根據(jù)修正的缺陷使用著了色的樹脂。即，修正R著色層時，樹脂著成紅色，修正G、B著色層時，分別著成綠色和藍(lán)色。此時，根據(jù)所使用的樹脂和著色料的材料，調(diào)整所附著的樹脂38的厚度，使得非缺陷像素和修正后的像素的光學(xué)特性相同。因此，能進(jìn)行穩(wěn)定的缺陷修正。另外，修正BM時，修正成黑色。
另外，在上述說明中，以液晶顯示裝置用的濾色片基板進(jìn)行了說明，但是也可以用于CCD照相機(jī)等固體攝像元件用的濾色片基板。當(dāng)然，也可以用于濾色片基板以外的圖形基板。例如，也可以用于PDP和陰極射線管等熒光體的修正。另外，在上述說明中，設(shè)異物65為變成黑缺陷的不透明的材質(zhì)，但是也可以是由透明材質(zhì)構(gòu)成的異物。并且，也可以除去未能高精度設(shè)置的著色層。稱這些必須除去的異物為缺陷。能通過除去該缺陷來修正缺陷。
實(shí)施例10本實(shí)施例的缺陷修正裝置是與實(shí)施例9結(jié)構(gòu)相同的裝置。另外，按壓部30和刮板31的結(jié)構(gòu)不同。對于與上述實(shí)施例相同的結(jié)構(gòu)，省略說明。用圖32說明本實(shí)施例的按壓部30的結(jié)構(gòu)。圖32是表示缺陷周圍部分的結(jié)構(gòu)的側(cè)面剖面圖。
與上述實(shí)施例一樣，對與缺陷部分相對應(yīng)的位置照射脈沖激光，設(shè)置膜的開口部。并且，在缺陷部分的附近配置按壓部30。由此，成為圖32所示的結(jié)構(gòu)。
按壓部30的底面設(shè)置成平坦的，在其一部分上形成有凹陷34。在底面設(shè)置有例如2個凹陷34。另外，在按壓部30的底面設(shè)置的凹陷也可以設(shè)置成1個或多個。該凹陷34設(shè)置在較底面中心更靠近側(cè)面的一側(cè)上。該凹陷34具有與刮出多余的樹脂溶液17的刮板同樣的功能。首先，與實(shí)施例9一樣，用底面的平坦部分按壓樹脂溶液17，使樹脂溶液17填入缺陷部分。由此，樹脂溶液17進(jìn)入缺陷部分的里面，并附著在基板6的整個表面上。此時，按壓部30的底面相對于作為缺陷的區(qū)域設(shè)置得足夠大，凹陷34配置在缺陷位置的外側(cè)。
另外，在按壓部30按壓在基板上的狀態(tài)下，使按壓部30在橫向移動。按壓部30的底面和凹陷34的棱線成為邊緣，從缺陷位置之上刮出膜5之上的多余的樹脂溶液17。即，按壓部30的底面和凹陷34相交的線在橫向上移動，與刮板31的前端一樣地刮出樹脂溶液17。
凹陷34一直形成到按壓部30的側(cè)面。即，每個凹陷34從按壓部30的一個側(cè)面形成到相對一側(cè)的側(cè)面。刮出的樹脂溶液17從按壓部30的側(cè)面排出。與實(shí)施例9一樣，缺陷部分所涂敷的樹脂溶液17的上表面變成平坦的。與實(shí)施例9一樣地進(jìn)行膜5的除去和溶劑的蒸發(fā)。由此，與實(shí)施例9一樣，構(gòu)成圖31B所示的結(jié)構(gòu)。由于由凹陷34刮出樹脂溶液，因此樹脂溶液17的高度均勻。由此，能使缺陷部分所附著的樹脂38的高度均勻。
在本實(shí)施例中，與實(shí)施例9一樣，能容易地控制缺陷部分所附著的樹脂38的量。即，根據(jù)膜5的厚度和按壓部30的按壓，控制樹脂溶液17的涂敷量。另外，根據(jù)樹脂溶液17的樹脂和溶劑的比例，控制留在缺陷部分的樹脂38的厚度。通過這些調(diào)整，能容易地控制樹脂38的附著量，從而能進(jìn)行穩(wěn)定的缺陷修正。
實(shí)施例11
用圖33說明本實(shí)施例的缺陷修正裝置的結(jié)構(gòu)。圖33表示缺陷修正裝置的結(jié)構(gòu)。在本實(shí)施例中，用輥?zhàn)?2代替按壓部30和刮板31控制樹脂38的厚度。即，輥?zhàn)?2具有與按壓部30和刮板31相同的功能。對于與上述的實(shí)施例同樣的結(jié)構(gòu)，省略說明。
與實(shí)施例1一樣，對于膜5，對與缺陷部分相對應(yīng)的位置照射脈沖激光，設(shè)置開口部。然后，把樹脂溶液17涂敷到開口部的位置。例如，用分配器滴樹脂溶液，涂敷在缺陷部分上。或者，也可以用實(shí)施例9所示的任一種方法進(jìn)行涂敷。使輥?zhàn)?2移動到缺陷部分的附近。并且，配置在缺陷附近的輥?zhàn)?2與具有諸如電機(jī)等的輥?zhàn)愚D(zhuǎn)動部件35連接。由此，成為圖33所示的結(jié)構(gòu)?；蛘撸部梢酝ㄟ^把輥?zhàn)?2壓在基板上并使其移動，由膜5和輥?zhàn)?2之間的摩擦力使輥?zhàn)?2轉(zhuǎn)動。如果用輥?zhàn)愚D(zhuǎn)動部件35使輥?zhàn)?2轉(zhuǎn)動，則輥?zhàn)?2在Y方向上移動。另外，輥?zhàn)?2可以設(shè)置成用電機(jī)(未圖示)等使其在上下方向上移動。在Z方向上移動該輥?zhàn)?2，把樹脂溶液壓入基板6的同時，通過使輥?zhàn)愚D(zhuǎn)動，使其在Y方向上移動，除去在開口部之上設(shè)置的樹脂溶液。
用圖34說明用輥?zhàn)?2進(jìn)行的樹脂溶液17的厚度調(diào)整。圖34是表示缺陷部分的結(jié)構(gòu)的剖面圖。輥?zhàn)?2制成圓筒狀的結(jié)構(gòu)，并設(shè)置成能轉(zhuǎn)動，使得在開口部之上橫穿過去。該輥?zhàn)?2具有與實(shí)施例9所示的按壓部30和刮板31同樣的功能。在涂敷了樹脂溶液17的狀態(tài)下，一邊把輥?zhàn)?2按壓到基板6上，一邊使其沿箭頭方向轉(zhuǎn)動。輥?zhàn)?2的轉(zhuǎn)動由輥?zhàn)愚D(zhuǎn)動部件35控制。輥?zhàn)?2移動，使得橫穿缺陷部分。輥?zhàn)?2設(shè)置得比開口部的尺寸大很多。即，輥?zhàn)?2的兩端配置在開口部的外側(cè)。
在把輥?zhàn)?2按壓在基板上的狀態(tài)下，使其轉(zhuǎn)動，除去在開口部之上所涂敷的多余的樹脂溶液17。即，膜5和輥?zhàn)?2之間的樹脂溶液17在輥?zhàn)?2的行進(jìn)方向上被擠出。由此，能平坦地涂敷樹脂溶液17。并且，由于輥?zhàn)?2壓在基板6上，因此在通過開口部時，樹脂溶液17進(jìn)入被壓著的缺陷部分。由此，樹脂溶液17能填入缺陷部分，并能使其附著在基板6上。
通過用輥?zhàn)?2除去多余的樹脂溶液17，能對缺陷部分以均勻的厚度涂敷樹脂溶液17。由此，與實(shí)施例9一樣，在缺陷部分所涂敷的樹脂溶液17的上表面是平坦的。與實(shí)施例9一樣，進(jìn)行膜5的除去和溶劑的蒸發(fā)。由此與實(shí)施例9一樣成為圖31B所示的結(jié)構(gòu)。由于用輥?zhàn)?2除去樹脂溶液17，因此樹脂溶液17的高度是均勻的。從而能使缺陷部分附著的樹脂38的高度均勻。
在本實(shí)施例中，與實(shí)施例9一樣，能容易地控制缺陷部所附著的樹脂38的量。即，根據(jù)輥?zhàn)?2的轉(zhuǎn)動速度、膜5的厚度和按壓部30的按壓，能控制樹脂溶液17的涂敷量。另外，根據(jù)樹脂溶液17中樹脂和溶劑的比例，也能控制在缺陷部分留下的樹脂的厚度。根據(jù)這些調(diào)整，能容易地控制樹脂38的附著量，從而能進(jìn)行穩(wěn)定的缺陷修正。
輥?zhàn)?2最好使用對樹脂溶液17潤濕性低的材質(zhì)。即，對于輥?zhàn)?2，最好使用樹脂溶液17難以附著的材質(zhì)。對于輥?zhàn)?2，可以使用由，例如特富龍(Teflon)(注冊商標(biāo))覆蓋表面的輥?zhàn)印Ｓ纱?，樹脂溶?7難以附著到輥?zhàn)?2上，從而能容易地進(jìn)行樹脂溶液的高度調(diào)整。即，如果修正后樹脂溶液17附著到輥?zhàn)?2上，則隨著時間推移溶劑蒸發(fā)。之后，樹脂38殘留在輥?zhàn)?2上。如果使用表面殘留了樹脂38的輥?zhàn)?2進(jìn)行接下來的缺陷修正，有可能不能使缺陷部分所涂敷的樹脂溶液的高度均勻。
在本發(fā)明中，通過使用對輥?zhàn)?2潤濕性低的材質(zhì)，能進(jìn)行穩(wěn)定的缺陷修正。另外，在樹脂38殘留在輥?zhàn)?2上時，最好對輥?zhàn)?2進(jìn)行清洗，除去殘留的樹脂。
實(shí)施例12用圖35對本實(shí)施例的缺陷修正裝置進(jìn)行說明。圖35是表示缺陷修正裝置的結(jié)構(gòu)的示意圖。本實(shí)施例與實(shí)施例11一樣，用輥?zhàn)?2在基板的缺陷部分涂敷樹脂溶液17。另外，在本實(shí)施例中，在輥?zhàn)?2和膜5之間設(shè)有保護(hù)膜33。保護(hù)膜33是為了防止樹脂溶液17附著到輥?zhàn)?2上而設(shè)置的。對于與上述實(shí)施例相同的結(jié)構(gòu)，省略說明。
與實(shí)施例1一樣，對于膜，對與缺陷部分對應(yīng)的位置照射脈沖激光，設(shè)置開口部。然后，在開口部的位置涂敷樹脂溶液17。例如，用分配器滴樹脂溶液，涂敷到缺陷部分?；蛘撸部梢杂脤?shí)施例9所示的任一種方法，進(jìn)行涂敷。在缺陷部分的附近配置輥?zhàn)?2。輥?zhàn)?2連接到具有電機(jī)等的輥?zhàn)愚D(zhuǎn)動部件35。用輥?zhàn)愚D(zhuǎn)動部件35使輥?zhàn)?2轉(zhuǎn)動，由此輥?zhàn)?2在Y方向上移動。并且，在輥?zhàn)?2和膜5之間移動保護(hù)膜33。即，在膜5之上設(shè)置保護(hù)膜33。在保護(hù)膜33之上配置輥?zhàn)?2。
保護(hù)膜33與膜5一樣卷到膜卷軸19上。膜卷軸19連接到膜轉(zhuǎn)動部件(未圖示)，能分別使膜卷軸19轉(zhuǎn)動。通過使2個膜卷軸19轉(zhuǎn)動，連續(xù)地在Y方向上輸送保護(hù)膜33。該保護(hù)膜33和膜卷軸19設(shè)置為能在與Y方向垂直的水平方向上移動。經(jīng)激光照射設(shè)置了開口部后，能在與缺陷位置相對應(yīng)的位置配置保護(hù)膜33。由此，變成由保護(hù)膜33覆蓋設(shè)置在膜5上的開口部的結(jié)構(gòu)。
此時的缺陷部周圍的結(jié)構(gòu)如圖36所示。圖36是表示缺陷部周圍的結(jié)構(gòu)的剖面圖。在膜5的開口部涂敷有樹脂溶液17。并且在其上配置有保護(hù)膜33。另外，在保護(hù)膜33之上配置輥?zhàn)?2。輥?zhàn)?2配置在開口部附近。
與實(shí)施例11一樣，在把輥?zhàn)?2按壓到基板6上的狀態(tài)下，使其轉(zhuǎn)動。由此，保護(hù)膜33和膜5緊貼在一起。并且，在膜5和保護(hù)膜33之間的樹脂溶液17沿輥?zhàn)?2的行進(jìn)方向擠出。由此，能除去開口部之上所涂敷的多余的樹脂溶液17。由于把輥?zhàn)?2壓到了基板6上，因此樹脂溶液17進(jìn)入壓著的缺陷部分。由此，樹脂溶液17填入到缺陷部分，并能使其附著到基板6上。
通過用輥?zhàn)?2除去多余的樹脂溶液17，能以恒定的厚度對缺陷部分涂敷樹脂溶液17。由此，與實(shí)施例9一樣，缺陷部分所涂敷的樹脂溶液17的上表面是平坦的。與實(shí)施例9一樣成為圖31B所示的結(jié)構(gòu)。由于用輥?zhàn)?2除去了樹脂溶液17，因此樹脂溶液17的高度是均勻的。由此能使缺陷部分附著的樹脂38的高度均勻。
在本實(shí)施例中，與實(shí)施例9一樣，能容易地控制缺陷部分所附著的樹脂38的量。即，根據(jù)輥?zhàn)?2的轉(zhuǎn)動速度、膜5的厚度和按壓部30的按壓，能控制樹脂溶液17的涂敷量。另外，根據(jù)樹脂溶液17中樹脂和溶劑的比例，也能控制在缺陷部分留下的樹脂的厚度。根據(jù)這些調(diào)整，能容易地控制樹脂38的附著量，從而能進(jìn)行穩(wěn)定的缺陷修正。
保護(hù)膜33由與樹脂溶液17潤濕性低的材質(zhì)形成。即，對于保護(hù)膜33，最好使用樹脂溶液17難以附著的材質(zhì)。對于保護(hù)膜33可以使用由，例如特富龍(注冊商標(biāo))覆蓋表面的膜。由于保護(hù)膜配置在輥?zhàn)?2和樹脂溶液17之間，因此樹脂溶液17不與輥?zhàn)?2接觸。因此，能完全防止樹脂溶液17附著到輥?zhàn)?2上。由此，可以省去用于去除輥?zhàn)?2上附著的樹脂溶液17的清洗工序。能比實(shí)施例11更容易地進(jìn)行保養(yǎng)。
另外，由于保護(hù)膜33由膜卷軸19輸送，因此能使用保護(hù)膜33未附著樹脂溶液17的部分。即，使用一次后，輸送附著了樹脂溶液17的部分，從而能總是使用保護(hù)膜33的新的部分。由此，在與缺陷部分相對的位置，配置因未使用而未附著樹脂溶液17的保護(hù)膜33。因此，能使在缺陷部分所涂敷的樹脂溶液17的高度均勻，從而能進(jìn)行穩(wěn)定的缺陷修正。
權(quán)利要求
1.一種缺陷修正裝置，除去形成了圖形的基板上的缺陷，其特征在于，包括發(fā)出脈沖激光的脈沖激光光源，以及與上述基板相對設(shè)置的膜，通過對上述膜照射來自上述脈沖激光光源的脈沖激光，用激光燒蝕大致同時地除去上述膜的一部分和上述缺陷。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的缺陷修正裝置，其特征在于通過照射上述脈沖激光使上述膜變薄，用激光燒蝕大致同時地除去上述膜的一部分和上述缺陷。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的缺陷修正裝置，其特征在于還包括把上述膜變更為具有轉(zhuǎn)印到上述基板的轉(zhuǎn)印層的膜的膜變更部件；對具有上述轉(zhuǎn)印層的膜照射脈沖激光，把上述轉(zhuǎn)印層轉(zhuǎn)印到上述基板上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的缺陷修正裝置，其特征在于把上述轉(zhuǎn)印層轉(zhuǎn)印到除去了上述缺陷的部分上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的缺陷修正裝置，其特征在于還包括使依照上述基板上的修正圖形的修正液附著到上述基板上的噴嘴；使上述修正液從除去了上述膜的部分附著到上述基板上來進(jìn)行缺陷修正。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的缺陷修正裝置，其特征在于還包括能移動到除去了上述膜的部位的位置上且具有轉(zhuǎn)印層的膜，從除去了上述膜的部分使上述轉(zhuǎn)印層轉(zhuǎn)印到上述基板上來進(jìn)行缺陷修正。
7.一種缺陷修正裝置，把圖形轉(zhuǎn)印到形成了圖形的基板的缺陷部分上來進(jìn)行缺陷修正，其特征在于，包括在與上述基板相對的面上具有轉(zhuǎn)印到上述基板的轉(zhuǎn)印層且接近上述基板的膜，以及發(fā)出照射具有上述轉(zhuǎn)印層的膜的脈沖激光的脈沖激光光源，對具有上述轉(zhuǎn)印層的膜照射來自上述脈沖激光光源的脈沖激光，把轉(zhuǎn)印層轉(zhuǎn)印到上述基板的缺陷部分上。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的缺陷修正裝置，其特征在于上述基板是具有遮光膜和在上述遮光膜之上形成的抗蝕劑圖形的光掩模用基板，上述缺陷修正裝置修正上述抗蝕劑圖形的缺陷。
9.一種缺陷修正裝置，修正形成了圖形的基板的缺陷，其特征在于，包括與上述基板相對設(shè)置的膜，發(fā)出照射上述膜、在上述膜上設(shè)置開口部的脈沖激光的脈沖激光光源，以及能移動到上述開口部的位置上且使依照上述基板上的修正圖形的修正液附著到上述基板上的噴嘴，從除去了上述膜的部分使上述修正液附著到上述基板上來進(jìn)行缺陷修正。
10.一種缺陷修正裝置，修正形成了圖形的基板的缺陷，其特征在于，包括與上述基板相對設(shè)置的膜，發(fā)出照射上述膜、在上述膜上設(shè)置開口部的脈沖激光的脈沖激光光源，以及能移動到與上述開口部相對應(yīng)的位置上且具有轉(zhuǎn)印層的膜，經(jīng)由上述開口部使上述轉(zhuǎn)印層轉(zhuǎn)印到上述基板上來進(jìn)行缺陷修正。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的缺陷修正裝置，其特征在于還包括能移動到與上述開口部相對應(yīng)的位置上的加熱塊，用上述加熱塊把具有上述轉(zhuǎn)印層的膜壓到上述基板上來轉(zhuǎn)印轉(zhuǎn)印層。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的缺陷修正裝置，其特征在于上述加熱塊還具有與上述開口部相對應(yīng)的凸部，用上述凸部把上述基板和具有上述轉(zhuǎn)印層的膜壓在一起。
13.根據(jù)權(quán)利要求9～12中任一項所述的缺陷修正裝置，其特征在于還包括對設(shè)置了上述開口部的膜進(jìn)行固定的固定部件。
14.根據(jù)權(quán)利要求3、4、7、8或10中任一項所述的缺陷修正裝置，其特征在于具有上述轉(zhuǎn)印層的膜還包括吸收上述脈沖激光的吸收層，對上述吸收層照射脈沖激光，把上述轉(zhuǎn)印層轉(zhuǎn)印到上述基板上。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的缺陷修正裝置，其特征在于在上述吸收層和上述轉(zhuǎn)印層之間，具有在把上述轉(zhuǎn)印層轉(zhuǎn)印到上述基板上之后使上述吸收層從上述轉(zhuǎn)印層分離的分離層。
16.根據(jù)權(quán)利要求5或9所述的缺陷修正裝置，其特征在于照射上述脈沖激光，除去在除去了上述膜的部分或者上述開口部的周圍部分的上述修正液。
17.根據(jù)權(quán)利要求1～16中任一項所述的缺陷修正裝置，其特征在于還包括對上述膜或者具有上述轉(zhuǎn)印層的膜噴射氣體的噴射部件，用上述噴射部件使上述膜或者具有上述轉(zhuǎn)印層的膜接近上述基板。
18.根據(jù)權(quán)利要求1～17中任一項所述的缺陷修正裝置，其特征在于還包括使來自上述脈沖激光光源的脈沖激光成形的光束成形機(jī)構(gòu)，對上述膜或者具有上述轉(zhuǎn)印層的膜照射由上述光束成形機(jī)構(gòu)成形的脈沖激光。
19.根據(jù)權(quán)利要求1～18中任一項所述的缺陷修正裝置，其特征在于，還包括在與來自上述脈沖激光光源的脈沖激光大致相同的軸上，對上述基板照射光的觀察用光源，檢測照射在上述基板上的來自上述觀察用光源的光的檢測部件。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的缺陷修正裝置，其特征在于具有上述轉(zhuǎn)印層的膜還具有使來自上述觀察用光源的光透過的透明層，還包括輸送具有上述轉(zhuǎn)印層的膜的膜卷軸，其使得照射上述光的位置從上述透明層變更為上述轉(zhuǎn)印層。
21.根據(jù)權(quán)利要求19或20所述的缺陷修正裝置，其特征在于還包括選擇來自上述觀察用光源的光的波長的波長可變?yōu)V光片，由從上述波長可變?yōu)V光片射出的光對上述基板或者上述轉(zhuǎn)印層進(jìn)行加熱。
22.一種缺陷修正方法，除去形成了圖形的基板上的缺陷，其特征在于，包括檢測基板上的缺陷的步驟，以及對與上述基板相對設(shè)置的膜照射脈沖激光，用激光燒蝕大致同時地除去上述膜的一部分和缺陷的步驟。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的缺陷修正方法，其特征在于還包括通過照射上述脈沖激光使上述膜變薄的步驟；對上述膜變薄的部分照射脈沖激光，用激光燒蝕大致同時地除去上述膜的一部分和上述缺陷。
24.根據(jù)權(quán)利要求22或23所述的缺陷修正方法，其特征在于，還包括把上述膜變更為具有轉(zhuǎn)印到上述基板上的轉(zhuǎn)印層的膜的步驟，以及對具有上述轉(zhuǎn)印層的膜照射脈沖激光，把上述轉(zhuǎn)印層轉(zhuǎn)印到上述基板上的步驟。
25.根據(jù)權(quán)利要求22或23所述的缺陷修正方法，其特征在于，還包括使依照要修正的圖形的修正液從除去了上述膜的部分附著到上述基板上的步驟，以及從上述基板去掉上述膜的步驟。
26.一種缺陷修正方法，把圖形轉(zhuǎn)印到形成了圖形的基板的缺陷部分上來進(jìn)行缺陷修正，其特征在于，包括檢測上述基板上的缺陷的步驟，使在與上述基板相對的面上具有轉(zhuǎn)印到上述基板上的轉(zhuǎn)印層的膜接近上述基板的步驟，以及對上述膜照射脈沖激光，把上述轉(zhuǎn)印層轉(zhuǎn)印到上述基板上的步驟。
27.一種缺陷修正方法，修正形成了圖形的基板的缺陷，其特征在于，包括檢測基板上的缺陷的步驟，使膜與上述基板相對的步驟，對上述膜照射脈沖激光、設(shè)置開口部的步驟，經(jīng)由上述開口部使依照要修正的圖形的修正液附著到上述基板的缺陷部分上的步驟，以及從上述基板去掉上述膜的步驟。
28.一種缺陷修正方法，修正形成了圖形的基板的缺陷，其特征在于，包括檢測基板上的缺陷的步驟，使膜與上述基板相對的步驟，對上述膜照射脈沖激光、設(shè)置開口部的步驟，在上述開口部的位置上設(shè)置具有轉(zhuǎn)印層的膜的步驟，以及經(jīng)由上述開口部把上述轉(zhuǎn)印層轉(zhuǎn)印到基板上的步驟。
29.根據(jù)權(quán)利要求27或28所述的缺陷修正方法，其特征在于還包括除去上述開口部的周圍的上述膜，并設(shè)置用于除去上述基板和具有上述轉(zhuǎn)印層的膜之間的空氣的空氣除去部的步驟，在上述開口部和上述空氣除去部的位置上設(shè)置具有上述轉(zhuǎn)印層的膜。
30.根據(jù)權(quán)利要求22～29中任一項所述的缺陷修正方法，其特征在于向上述膜或者具有上述轉(zhuǎn)印層的膜噴射氣體，使其接近上述基板。
31.一種圖形基板制造方法，其特征在于，包括在基板上形成圖形的步驟，檢測上述基板上的缺陷的步驟，以及對與上述基板相對設(shè)置的膜照射脈沖激光，用激光燒蝕大致同時地除去上述膜的一部分和上述缺陷的步驟。
32.根據(jù)權(quán)利要求31所述的圖形基板制造方法，其特征在于，還包括把上述膜變更為具有轉(zhuǎn)印到上述基板上的轉(zhuǎn)印層的膜的步驟，以及向具有上述轉(zhuǎn)印層的膜照射脈沖激光，把上述轉(zhuǎn)印層轉(zhuǎn)印到上述基板上的步驟。
33.根據(jù)權(quán)利要求31所述的圖形基板制造方法，其特征在于，還包括使依照要修正的圖形的修正液從除去了上述膜的部分附著到上述基板上的步驟，以及從上述基板去掉上述膜的步驟。
34.一種圖形基板制造方法，把圖形轉(zhuǎn)印到形成了圖形的基板的缺陷部分上來形成圖形，其特征在于，包括在基板上形成圖形的步驟，檢測形成了圖形的基板上的缺陷的步驟，使在與上述基板相對的面上具有轉(zhuǎn)印到上述基板上的轉(zhuǎn)印層的膜接近上述基板的步驟，以及向上述膜照射脈沖激光，把上述轉(zhuǎn)印層轉(zhuǎn)印到上述基板的缺陷部分上的步驟。
35.一種圖形基板制造方法，制造形成了圖形的基板，其特征在于，包括在基板上形成圖形的步驟，檢測基板上的缺陷的步驟，使膜與上述基板相對的步驟，向上述膜照射激光、設(shè)置開口部的步驟，經(jīng)由上述開口部使依照要修正的圖形的修正液附著到上述基板的缺陷部分上的步驟，以及從上述基板去掉上述膜的步驟。
36.一種圖形基板制造方法，制造形成了圖形的基板，其特征在于，包括在基板上形成圖形的步驟，檢測基板上的缺陷的步驟，使膜與上述基板相對的步驟，向上述膜照射激光、設(shè)置開口部的步驟，在上述開口部的位置設(shè)置上具有轉(zhuǎn)印層的膜的步驟，經(jīng)由開口部把上述轉(zhuǎn)印層轉(zhuǎn)印到上述基板上的步驟，以及從上述基板去掉上述膜的步驟。
37.根據(jù)權(quán)利要求35或36所述的圖形基板制造方法，其特征在于還包括除去上述開口部的周圍的上述膜，設(shè)置空氣除去部的步驟，在上述開口部和上述空氣除去部的位置上設(shè)置具有轉(zhuǎn)印層的膜。
38.根據(jù)權(quán)利要求31～37中任一項所述的圖形基板制造方法，其特征在于向上述膜或者具有上述轉(zhuǎn)印層的膜噴射氣體，使其接近上述基板。
39.一種缺陷修正裝置，修正形成了圖形的基板的缺陷，其特征在于，包括與上述基板相對設(shè)置的膜；發(fā)出照射上述膜、在上述膜上設(shè)置開口部的激光的激光光源；經(jīng)由上述開口部把缺陷修正用的溶液涂敷到上述基板的缺陷部分上的涂敷部件；以及通過對上述基板進(jìn)行按壓，使經(jīng)由上述開口部涂敷到上述基板上的溶液壓入缺陷部分中的按壓部件。
40.根據(jù)權(quán)利要求39所述的缺陷修正裝置，其特征在于還包括設(shè)置得能在與上述基板大致平行的方向上移動、除去在上述開口部之上所設(shè)置的上述溶液的除去部件，移動上述除去部件使其橫穿上述開口部，調(diào)整在上述開口部之上所設(shè)置的溶液的高度。
41.根據(jù)權(quán)利要求40所述的缺陷修正裝置，其特征在于上述除去部件具有能使上述膜按壓到上述基板上的刮板，刮出并除去在上述開口部之上所設(shè)置的上述溶液。
42.根據(jù)權(quán)利要求40或41所述的缺陷修正裝置，其特征在于使上述按壓部件向上述開口部的外側(cè)移動，在用上述按壓部件把上述膜按壓到上述基板上的狀態(tài)下，由上述除去部件除去在上述開口部之上所設(shè)置的上述溶液。
43.根據(jù)權(quán)利要求40所述的缺陷修正裝置，其特征在于上述除去部件由在上述按壓部件的底面上設(shè)置的凹陷構(gòu)成，在把上述按壓部件按壓到上述基板上的狀態(tài)下，使其在與上述基板大致平行的方向上移動，由上述凹陷除去在上述開口部之上所設(shè)置的上述溶液。
44.根據(jù)權(quán)利要求39所述的缺陷修正裝置，其特征在于上述按壓部件具有設(shè)置得可橫穿上述開口部來移動地進(jìn)行轉(zhuǎn)動的輥?zhàn)?，通過使上述輥?zhàn)愚D(zhuǎn)動，除去在上述開口部之上所設(shè)置的上述溶液，調(diào)整在上述開口部之上所設(shè)置的上述溶液的高度。
45.根據(jù)權(quán)利要求44所述的缺陷修正裝置，其特征在于還包括在上述輥?zhàn)雍蜕鲜瞿ぶg設(shè)置的保護(hù)膜，經(jīng)由上述保護(hù)膜除去在上述開口部之上所設(shè)置的上述溶液。
46.根據(jù)權(quán)利要求39～45中任一項所述的缺陷修正裝置，其特征在于激光光源是脈沖激光光源，通過照射來自上述脈沖激光光源的脈沖激光，經(jīng)由上述膜的開口部除去上述基板的缺陷，并在除去了上述缺陷的部分上涂敷上述溶液。
47.一種缺陷修正方法，修正形成了圖形的基板的缺陷，其特征在于，包括檢測上述基板上的缺陷的步驟；使膜與上述基板相對的步驟；對上述膜照射脈沖激光，設(shè)置與上述缺陷相對應(yīng)的開口部的步驟；經(jīng)由上述開口部在上述基板的缺陷部分上涂敷缺陷修正用的溶液的步驟；把經(jīng)由上述開口部涂敷在上述基板上的上述溶液壓入上述缺陷部分中的步驟；以及從上述基板去掉上述膜的步驟。
48.根據(jù)權(quán)利要求47所述的缺陷修正方法，其特征在于在涂敷上述溶液的步驟之后，還包括除去在上述開口部之上所設(shè)置的上述溶液、調(diào)整上述溶液的高度的步驟。
49.根據(jù)權(quán)利要求48所述的缺陷修正方法，其特征在于在除去上述溶液的步驟中，在使上述膜緊貼在上述基板上的狀態(tài)下，刮出在上述開口部之上所設(shè)置的上述溶液，并除去上述溶液。
50.一種圖形基板制造方法，其特征在于，包括在基板上形成圖形的步驟；檢測上述基板上的圖形的缺陷的步驟；使膜與上述基板相對的步驟；對上述膜照射脈沖激光、設(shè)置與上述缺陷相對應(yīng)的開口部的步驟；經(jīng)由上述開口部在上述基板的缺陷部分上涂敷缺陷修正用的溶液的步驟；把經(jīng)由上述開口部涂敷在上述基板上的上述溶液壓入上述缺陷部分中的步驟；以及從上述基板去掉上述膜的步驟。
51.根據(jù)權(quán)利要求50所述的圖形基板制造方法，其特征在于在涂敷上述溶液的步驟之后，還包括除去在上述開口部之上所設(shè)置的上述溶液、調(diào)整上述溶液的高度的步驟。
52.根據(jù)權(quán)利要求51所述的圖形基板制造方法，其特征在于在除去上述溶液的步驟中，在使上述膜緊貼在上述基板上的狀態(tài)下，刮出在上述開口部之上所設(shè)置的上述溶液，并除去上述溶液。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種圖形基板的缺陷修正方法、缺陷修正裝置和圖形基板制造方法，能穩(wěn)定地修正缺陷。本發(fā)明的缺陷修正裝置是修正形成了圖形的基板上的缺陷的缺陷修正裝置，包括放置基板(6)的載物臺(7)、短脈沖激光光源(1)、使來自短脈沖激光光源(1)的短脈沖激光成形的光束成形機(jī)構(gòu)(2)、以及用于使膜(5)接近基板(6)的氣體噴射部件(13)。通過對膜(5)照射激光，同時除去膜(5)和缺陷，并且，移動膜卷軸(8)，使具有著色層(51)的膜(5)接近基板(6)，并把圖形轉(zhuǎn)印到基板。
文檔編號G01M11/00GK1584534SQ20041005829
公開日2005年2月23日 申請日期2004年8月20日 優(yōu)先權(quán)日2003年8月20日
發(fā)明者楠瀨治彥, 田島敦, 粟村直樹, 畑瀨晃, 石川拓自, 小川潔 申請人:雷射科技股份有限公司