專利名稱：一種偏極片的檢測方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明為一種偏極片的檢測方法，由一挑選后的光源經(jīng)過一濾光片、一起偏器、一凹透鏡或是一濾光片、一鏡子、一凹透鏡至一光學(xué)膜樣品；移動光學(xué)膜樣品調(diào)整焦距后將光學(xué)膜樣品沿Z軸旋轉(zhuǎn)，并判別光域明暗是否有變化；若有，則該光學(xué)膜樣品有瑕疵；若無，該光學(xué)膜樣品為合格樣品。
背景技術(shù)：
在制作偏光膜時，導(dǎo)入新型光學(xué)膜物料往往需先行檢查以避免將來成品有瑕疵。然而有些瑕疵并非肉眼可以分辨，膜厚度的不均勻性便是一例。膜厚度的不均勻性的成因主要乃是因為偏光膜的膜厚不均勻，肉眼無法明顯辨識，往往當(dāng)偏光膜在前制程到半成品時瑕疵才被檢查出來，以致增加生產(chǎn)成本。
當(dāng)偏光膜在前制程到半成品時，需要在偏光直交透過檢查才能明顯辨別出膜厚度的不均勻性嚴(yán)重的程度，此檢查方法時機(jī)似乎有些晚，因為在半成品時方能檢查出瑕疵，成本效益并不大。
在與光學(xué)膜物料的上游廠商反應(yīng)瑕疵時，亦有困難。因膜厚度的不均勻性無法以肉眼辨識，需至半成品方可檢查出來，無法在進(jìn)料時實(shí)時反映給廠商。同時，此膜厚度的不均勻性無法以言語明確形容亦無一標(biāo)準(zhǔn)，有溝通上的難處，造成上游廠商對于膜厚度的不均勻性情況亦無頭緒。因為光學(xué)膜物料的上游廠商本身對于膜厚度的不均勻性瑕疵了解不深，并且肉眼無法明顯辨識，即便欲改善亦不知從何做起。
由于上述種種原因，于是醞釀此發(fā)明的動機(jī)。然而解決方案不宜耗時過久，以便能在進(jìn)料時即能檢測并反映給廠商，無需等到半成品時方可檢查出來。最重要的目的是能突顯出不均勻膜厚度的缺點(diǎn)，同時最好能以肉眼辨識，而不需依賴儀器做檢測。
雖然本產(chǎn)業(yè)目前尚無相關(guān)的檢測方法，但是在其它產(chǎn)業(yè)仍有其它案例可供參考。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)聯(lián)誠集成電路公司所申請臺灣專利證號107261「透光膜表層缺陷檢測方法」，該發(fā)明為檢測半導(dǎo)體晶圓表面的缺陷，事先必須預(yù)鍍上一抗透射層來進(jìn)行檢測，該透射層成分可為氮化硅(Silicon Nitride)、氧硅氮化物(Silicon Oxynitride)、金屬鈦Ti、氮化鈦(TiN)、鈦鎢(TiW)化合物或光阻類材料。另外，萬國商業(yè)機(jī)器公司所申請的臺灣專利證號82885「薄膜厚度的檢查方法」，該發(fā)明為使用一掃描測距儀檢測一彩色濾波器薄膜厚度的檢測方法。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為一種偏極片的檢測方法，其第一目的在于解決膜厚度的不均勻性難以肉眼辨識的難處；本發(fā)明的檢測方法可輕易以肉眼明顯辨別膜厚度的不均勻性現(xiàn)象。
本發(fā)明為一種偏極片的檢測方法，其第二目的在于進(jìn)料時即可檢查并反映給廠商，無需到半成品時，在偏光直交透過檢查才能明顯辨別出膜厚度的不均勻性。
本發(fā)明為一種偏極片的檢測方法，其第三目的在于檢測成本不高，無需添增貴重設(shè)備，亦無需經(jīng)過已為成品或半成品的偏光膜，樣品本身即可拿來檢測，程序簡潔耗時不長。
本發(fā)明為一種偏極片的檢測方法，由一挑選后的光源經(jīng)過一濾光片、一起偏器、一凹透鏡或是一濾光片、一鏡子、一凹透鏡至一光學(xué)膜樣品；移動光學(xué)膜樣品調(diào)整焦距后將光學(xué)膜樣品沿Z軸旋轉(zhuǎn)，并判別光域明暗是否有變化；若有，則該光學(xué)膜樣品有瑕疵；若無，該光學(xué)膜樣品為合格樣品。
為使熟悉該項技藝人士了解本發(fā)明的目的、特征及功效，茲通過下述具體實(shí)施例，并配合所示附圖，對本發(fā)明詳加說明。


圖1為本發(fā)明第一較佳實(shí)施例的檢測流程圖；圖2為本發(fā)明第二較佳實(shí)施例的檢測流程圖；圖3為本發(fā)明第一較佳實(shí)施例的檢測設(shè)備圖；圖4為本發(fā)明第二較佳實(shí)施例的檢測設(shè)備圖。
圖中符號說明11光源12聚苯乙烯板13濾光片14起偏器15凹透鏡16樣品17屏幕18成像21光源23濾光片24鏡子25凹透鏡26樣品27屏幕28成像步驟101光源選擇步驟102判別可產(chǎn)生最清楚投射影色的光源步驟103固定光學(xué)膜樣品步驟104光源經(jīng)過一聚苯乙烯(Polystyrene)板以強(qiáng)化偏極化的光步驟105光源經(jīng)過一濾光片使所欲的波長范圍可通過步驟106光源經(jīng)過一起偏器使檢測的光偏極化步驟107光源經(jīng)過一凹透鏡將檢測的光放大步驟108將光學(xué)膜樣品在光源移動以調(diào)整焦距步驟109將光學(xué)膜樣品沿Z軸逆時針旋轉(zhuǎn)步驟110判別光域明暗是否有變化步驟111合格步驟112不合格步驟113結(jié)束步驟201光源選擇步驟202判別可產(chǎn)生最清楚投射影色的光源步驟203固定光學(xué)膜樣品步驟204光源經(jīng)過一濾光片使所欲的波長范圍可通過步驟205光源經(jīng)過一鏡子使檢測的光反射步驟206光源經(jīng)過一凹透鏡將檢測的光放大步驟207將光學(xué)膜樣品在光源移動以調(diào)整焦距步驟208將光學(xué)膜樣品沿Z軸逆時針旋轉(zhuǎn)步驟209判別光域明暗是否有變化步驟210合格步驟211不合格步驟212結(jié)束具體實(shí)施方式
本發(fā)明使用偏極光線照射透明光學(xué)膜，利用因為膜厚不均勻所導(dǎo)致的相位差，使得射出的光線投射在白色屏幕上時有明暗之分，由此而判別是否有膜厚不均勻(Gooseflesh)的現(xiàn)象。
請參照圖1與圖3，其為本發(fā)明第一較佳實(shí)施例的檢測流程圖，以及與本發(fā)明第一較佳實(shí)施例的檢測設(shè)備圖。步驟101，首先由一光源11亮度的決定開始；步驟102，判別可產(chǎn)生最清楚投射影色的光源11以便檢測用，若該光源11投射影色并非最清楚，則重新選擇一光源11，即回到步驟101，當(dāng)一最清楚投射影色的光源11已選出，則進(jìn)行至下一步驟；步103，固定光學(xué)膜樣品16；步驟104，此選定的光源11投射的光線經(jīng)過一聚苯乙烯(Polystyrene)；PS板12用以加強(qiáng)偏極化的光線；步驟105，光線經(jīng)過聚苯乙烯板12后至一濾光片13，該濾光片13為過濾光源11所投射出的光線，篩選出吾人所欲檢測的光波長，同時在此一提，所欲檢測的波長范圍可同時涵蓋紅光、藍(lán)光與綠光的波長范圍；步驟106，當(dāng)將光波長過濾的后，將該光線經(jīng)過一起偏器14，使光線偏極化；步驟107，當(dāng)光線已偏極化后，使的經(jīng)過一凹透鏡15將光線放大，使肉眼可輕易辨識判讀；步驟108，將光學(xué)膜樣品16在光源11移動來調(diào)整焦距，使成像能更清晰以方便肉眼觀察；步驟109，當(dāng)焦距調(diào)妥、成像清晰后，將光學(xué)膜樣品16沿縱軸逆時針旋轉(zhuǎn)；步驟110，以肉眼判別光域明暗是否有變化，此時吾人可以肉眼直接觀察光學(xué)膜樣品16本身來判別光域的明暗變化，或是可將成像18投影至一屏幕17來觀察光域的明暗變化由于主要檢視TAC的部分，因此若TAC的厚度不平均時，該光學(xué)模樣品16或投影成像18會有光紋非單一方向的排列產(chǎn)生，若光域明暗無明顯變化，則進(jìn)入下一步驟，若光域明暗有變化則進(jìn)入步驟112；步驟111，該光學(xué)膜樣品16是合格的，并進(jìn)入步驟113；步驟112，該光學(xué)膜樣品16是不合格的；步驟113，本檢測方法至此結(jié)束。
請參照圖2與圖4，其為第二較佳實(shí)施例的檢測流程圖與本發(fā)明第二較佳實(shí)施例的檢測設(shè)備圖式。步驟201，首先由一光源21亮度的決定開始；步驟202，判別可產(chǎn)生最清楚投射影色的光源21以便檢測用，若該光源21投射影色并非最清楚，則重新選擇一光源21，即回到步驟201，當(dāng)一最清楚投射影色的光源21已選出，則進(jìn)行至下一步驟；步驟203，固定光學(xué)膜樣品26；步驟204，光線經(jīng)過一濾光片23，該濾光片23為過濾光源21所投射出的光線，篩選出吾人所欲檢測的光波長，同時在此一提，所欲檢測的波長范圍可同時涵蓋紅光、藍(lán)光與綠光的波長范圍；步驟205，當(dāng)光波長經(jīng)過濾的后，將該光線經(jīng)過一鏡子24反射，使光線折射往一凹透鏡25方向行進(jìn)；步驟206，當(dāng)光線折射后，使的經(jīng)過該凹透鏡25將光線放大，使肉眼可輕易辨識判讀；步驟207，將光學(xué)膜樣品26在光源21移動來調(diào)整焦距，使成像28能更清晰以方便肉眼觀察；步驟208，當(dāng)焦距調(diào)妥、成像28清晰后，將光學(xué)膜樣品26沿縱軸逆時針旋轉(zhuǎn)；步驟209，以肉眼判別光域明暗是否有變化，此時吾人可以肉眼直接觀察光學(xué)膜樣品26本身來判別光域的明暗變化，或是可將成像28投影至一屏幕27來觀察光域的明暗變化由于主要檢視TAC的部分，因此若TAC的厚度不平均時，該光學(xué)模樣品26或投影成像28會有光紋非單一方向的排列產(chǎn)生，若光域明暗無明顯變化，則進(jìn)入下一步驟，若光域明暗有變化則進(jìn)入步驟211；步驟210，該光學(xué)膜樣品26是合格的，并進(jìn)入步驟212；步驟211，該光學(xué)膜樣品26是不合格的；步驟212，本檢測方法至此結(jié)束。
本檢測方法除可檢測光學(xué)膜厚度的不均勻性的缺陷外，尚可檢測出光學(xué)膜的刮傷、刮痕以及涂布不均的缺陷。本檢測方法的另一優(yōu)勢在于檢測成本不高，無需添增貴重設(shè)備，亦無需經(jīng)過鍍膜等額外處理程序，樣品本身即可拿來檢測，程序簡潔耗時不長。
雖然本發(fā)明已以一較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉此技藝者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種的更動與潤飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)所述的權(quán)利要求所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種偏極片的檢測方法，包括(1)選擇一光源；(2)判別該光源是否可產(chǎn)生最清楚投射影色，若是則進(jìn)行下一步驟；若否，則回至步驟1；(3)固定偏光膜樣品，并進(jìn)行下一步驟；(4)將比較后的光源經(jīng)過一檢測裝置照射至偏光膜樣品，并進(jìn)行下一步驟；(5)將偏光膜樣品移動以調(diào)整焦距，并進(jìn)行下一步驟；(6)將偏光膜樣品沿Z軸旋轉(zhuǎn)，并進(jìn)行下一步驟；(7)判別光域明暗是否有變化，若否，則進(jìn)行下一步驟；若是，則進(jìn)至步驟9；(8)該偏光膜樣品經(jīng)檢測為合格，并進(jìn)行至步驟10；(9)該偏光膜樣品經(jīng)檢測為不合格，并進(jìn)行下一步驟；(10)結(jié)束。
2.如權(quán)利要求1所述的一種偏極片檢測方式，其中，步驟4所述的檢測裝置可進(jìn)行下列任一種檢測方式反射式檢測與穿透式檢測。
3.如權(quán)利要求2所述的一種偏極片檢測方式，其中，該穿透式檢測更包含下列步驟4B光束經(jīng)過一濾光片；4C光束經(jīng)過一起偏器；4D光束經(jīng)過一凹透鏡。
4.如權(quán)利要求3所述的一種偏極片檢測方式，其中，步驟4B前更可增加一步驟4A光束經(jīng)過一聚苯乙烯板；
5.如權(quán)利要求3所述的一種偏極片檢測方式，其中，該穿透式檢測更可于步驟4D后增加一步驟4E使光照射至一屏幕上。
6.如權(quán)利要求2所述的一種偏極片檢測方式，其中，該反射式檢測更包含下列步驟4A’光束經(jīng)過一濾光片；4B’光束經(jīng)過一鏡子反射；4C’光束經(jīng)過一凹透鏡。
7.如權(quán)利要求6所述的一種偏極片檢測方式，其中，該反射式檢測更可在步驟4C’后添增一步驟4D’使光照射至一屏幕上；
8.如權(quán)利要求1所述的一種偏極片的檢測方法，其中該檢測方法所使用光源的波長范圍同時涵蓋紅光、藍(lán)光與綠光的波長范圍。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種偏極片的檢測方法，由一挑選后的光源經(jīng)過一濾光片、一起偏器、一凹透鏡或是一濾光片、一鏡子、一凹透鏡至一光學(xué)膜樣品；移動光學(xué)膜樣品調(diào)整焦距后將光學(xué)膜樣品沿Z軸旋轉(zhuǎn)，并判別光域明暗是否有變化；若有，則該光學(xué)膜樣品有瑕疵；若無，該光學(xué)膜樣品為合格樣品。本發(fā)明的檢測方法可輕易以肉眼明顯辨別膜厚度的不均勻性(Gooseflesh)，于進(jìn)料時即可檢查并反映給廠商，且檢測成本不高，無需添增貴重設(shè)備，亦無需經(jīng)過與偏光素子貼合加工等額外處理程序，樣品本身即可拿來檢測，程序簡潔耗時不長。
文檔編號G01M11/02GK1677073SQ200410032198
公開日2005年10月5日 申請日期2004年4月2日 優(yōu)先權(quán)日2004年4月2日
發(fā)明者葉世芳, 鄭堯中 申請人:力特光電科技股份有限公司