專利名稱：流量傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種流量傳感器。
背景技術(shù)：
已知有各種型式的流量傳感器用來確定導(dǎo)管(pipe conduits)內(nèi)比如加熱系統(tǒng)中穿過的流量(through-flow)。于是在US4475409可獲知一種渦流流量測(cè)量裝置。該傳感器包括一個(gè)插進(jìn)流體內(nèi)的障礙物，任何情況下在它相對(duì)的兩側(cè)面上都有一個(gè)膜片平行于流動(dòng)方向延伸。在障礙物內(nèi)部?jī)赡てg有一個(gè)壓電棒作為壓力測(cè)量元件，它根據(jù)兩個(gè)膜片之間的壓力差發(fā)生偏轉(zhuǎn)，從而檢測(cè)到壓力差。根據(jù)關(guān)于該障礙物形狀的知識(shí)，人們可以根據(jù)壓力差測(cè)定流動(dòng)速度。
這種已知的配置具有的缺點(diǎn)是制造這種具有內(nèi)含壓力測(cè)量元件的障礙物非常昂貴。因此需要接連地將各個(gè)膜片插入然后還需要將壓電棒布置在膜片之間。另外，傳感器需要很大的結(jié)構(gòu)空間以至于不能在任何地方使用。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明目的是提供一種改進(jìn)的流量傳感器，這種傳感器具有制造成本更低、組裝更簡(jiǎn)單而且應(yīng)用領(lǐng)域更寬廣的優(yōu)點(diǎn)。
具有權(quán)利要求1限定的特征的流量傳感器可以實(shí)現(xiàn)上述目的。優(yōu)選實(shí)施例的形式可以從從屬權(quán)利要求得到。
根據(jù)本發(fā)明的流量傳感器包括一個(gè)伸進(jìn)流體內(nèi)的障礙物和一個(gè)測(cè)量該障礙物產(chǎn)生的渦流的探測(cè)頭。測(cè)量人員可以根據(jù)產(chǎn)生的渦流的特性和該障礙物的已知尺寸測(cè)定流體的流動(dòng)速度。為此可以探測(cè)渦流的壓差和/或頻率。該探測(cè)頭包括至少一個(gè)膜片和一個(gè)直接放在膜片上用來探測(cè)膜片偏轉(zhuǎn)的測(cè)量元件。因?yàn)榇蠖鄶?shù)單獨(dú)的部件不再需要裝配，所以這種配置可以使流量傳感器具有非常簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)。實(shí)際上，用來探測(cè)膜片偏轉(zhuǎn)的一個(gè)或多個(gè)測(cè)量元件是直接布置在膜片上的，因此帶有測(cè)量元件的膜片可以作為一個(gè)部件與流量傳感器組合起來。此外，這樣一種結(jié)構(gòu)使得流量傳感器的結(jié)構(gòu)更加緊湊，從而應(yīng)用領(lǐng)域更加廣泛。這種流量傳感器的靈敏度更高從而可以進(jìn)行更精確的測(cè)量。可以采用一種例如在歐洲專利申請(qǐng)97105396或德國專利申請(qǐng)19614458中作為壓力或壓差傳感器的膜片作為帶有直接安放到膜片上的測(cè)量元件的膜片。關(guān)于膜片的準(zhǔn)確結(jié)構(gòu)可以查閱這些專利申請(qǐng)尤其是其中的圖1及說明書相關(guān)內(nèi)容。膜片優(yōu)選平行于流動(dòng)方向延伸。
障礙物和探測(cè)頭優(yōu)選布置在一個(gè)導(dǎo)管部件上。該導(dǎo)管部件可以是加熱系統(tǒng)中的一段導(dǎo)管或者是專門設(shè)計(jì)用作測(cè)量部件(通道)的導(dǎo)管部件，它可以在一個(gè)適當(dāng)位置處連到例如一加熱系統(tǒng)上以便探測(cè)流速。
導(dǎo)管部件的直徑D優(yōu)選大于10mm。比如在優(yōu)選實(shí)施例中導(dǎo)管(pipe)直徑可以是10、12或16mm。
優(yōu)選將該障礙物與導(dǎo)管部件設(shè)計(jì)成為一體。這樣，比如該障礙物可以設(shè)計(jì)成一個(gè)翼片，該翼片在導(dǎo)管部件的直徑方向上延伸出來。該翼片可以與導(dǎo)管部件或?qū)Ч芤惑w制造而成，比如噴射注塑而成。當(dāng)作為鑄件進(jìn)行制造時(shí)，障礙物比如可以在一個(gè)融化型芯內(nèi)形成。
優(yōu)選地是，該膜片可以在一個(gè)側(cè)面上受到壓力的沖擊，以便確定一個(gè)絕對(duì)壓力值。在膜片的另一側(cè)面上存在一個(gè)參考?jí)毫?，需要測(cè)量的壓力值可依賴該參考?jí)毫y(cè)量得到。參考?jí)毫梢允潜热缰車h(huán)境壓力或一個(gè)密閉(密封)的參考空腔內(nèi)的壓力。這種布置可以計(jì)算在障礙物區(qū)域的流體的絕對(duì)壓力值，從而根據(jù)測(cè)量技術(shù)計(jì)算由障礙物引起的渦流。探測(cè)到的壓力值、已知的環(huán)境變量比如管徑和障礙物尺寸，都是與流速成比例的特征變量，因此能夠計(jì)算流速或流過導(dǎo)管部件的流量。
可以選擇地是，為了確定壓力差，膜片可以在每種情況下(in each case)兩面受壓力沖擊，每一面上有一個(gè)壓力值。這樣能夠直接計(jì)算由障礙物引起的渦流的壓力差，其中通過參考?jí)毫σ约耙阎恼系K物和導(dǎo)管尺寸，可以通過渦流存在的壓力差確定流速或者流量。根據(jù)該實(shí)施例的本發(fā)明的流量傳感器具有只需在流體中直接安放一個(gè)薄膜片這樣的優(yōu)點(diǎn)。由于用來確定膜片偏轉(zhuǎn)的一個(gè)或多個(gè)測(cè)量元件是直接布置在膜片上的，因此膜片可以在兩個(gè)面上直接受到壓力的沖擊。同時(shí)，膜片的設(shè)計(jì)式樣優(yōu)選與歐洲專利申請(qǐng)97105396.2中公開的那種膜片對(duì)應(yīng)。對(duì)于這種膜片，壓電阻力分布在膜片表面上的邊緣區(qū)域，而且它們的電阻根據(jù)變形而變化，從而可以計(jì)算膜片的偏轉(zhuǎn)。只有一個(gè)膜片的設(shè)計(jì)可以使流量傳感器反應(yīng)更快、靈敏度更高，這將能夠更精確地檢測(cè)流速，尤其是較低的流速。這種設(shè)計(jì)還能夠使只有一個(gè)膜片的探測(cè)頭具有更小的結(jié)構(gòu)尺寸，并且使得流量傳感器更小，從而根據(jù)本發(fā)明的流量傳感器幾乎可以與需要測(cè)量流速的每個(gè)裝置制成一體。
膜片優(yōu)選以壓力密封的方式固定到一個(gè)固定座內(nèi)，一個(gè)電絕緣層直接附著在膜片和布置在其上的測(cè)量元件上，其中電絕緣層覆蓋有一層至少流體密封的非晶金屬層。這種結(jié)構(gòu)對(duì)應(yīng)于歐洲專利申請(qǐng)97105396.2公開的結(jié)構(gòu)。由于電絕緣層的任務(wù)只是保證非晶金屬層不與布置在膜片上的導(dǎo)體和電子元件發(fā)生短路，因此它可以非常的薄。另一方面，由于覆蓋物的作用，它可以受到非晶金屬層的保護(hù)。因?yàn)榻^緣層和非晶金屬層的這種很薄的結(jié)構(gòu)，膜片的偏轉(zhuǎn)繼而是測(cè)量精度不會(huì)顯著下降。非晶金屬層保證了膜片、設(shè)于膜片上的測(cè)量元件以及其它根據(jù)情況而布置在膜片上的電子元件受到有效的保護(hù)。由于金屬層呈現(xiàn)出的不是晶體結(jié)構(gòu)，而是也被描述為金屬玻璃的非晶結(jié)構(gòu)，因此一方面它可以抗腐蝕，另一方面可以以最小厚度的薄層液體密封或氣體密封。這種非晶金屬層比如公開在EP0537710A1、DE4216150A1、DE3914444A1。關(guān)于膜片的其它結(jié)構(gòu)部分可以參考上面提到的歐洲專利申請(qǐng)97105396.2。
探測(cè)頭優(yōu)選放在一個(gè)外殼內(nèi)，外殼插進(jìn)導(dǎo)管部件的一個(gè)開口中。該開口可以設(shè)計(jì)成與導(dǎo)管一體，作為探測(cè)頭的標(biāo)準(zhǔn)接納部件，從而帶探測(cè)頭的外殼只需插入開口內(nèi)并用沒有規(guī)定和/或規(guī)定的配合方式固定住。此外，為了使外殼關(guān)于導(dǎo)管部件密封還提供有一個(gè)合適的密封元件。這樣一種外殼比如公開在EP02008386中并表示為外殼22。關(guān)于這一點(diǎn)，可以參考該歐洲專利申請(qǐng)的圖8和相關(guān)說明。外殼和安裝座以及裝置的全部結(jié)構(gòu)優(yōu)選對(duì)應(yīng)于EP02008386中公開的裝置。
探測(cè)頭也優(yōu)選與障礙物制成一體。因?yàn)椴恍枰獙⒘黧w中的測(cè)量裝置另外安放到障礙物上，因此按照這種方式制造出的流量傳感器可以非常小巧。此外可以將障礙物和探測(cè)頭同時(shí)裝配在一起作為一個(gè)構(gòu)件并且需要時(shí)可以更換損壞的元件。
可選擇地是，探測(cè)頭可以布置在流動(dòng)方向上的障礙物的后方。比如障礙物可以設(shè)計(jì)成一個(gè)翼片，該翼片與導(dǎo)管成一體，在流動(dòng)方向上位于該翼片的后面可以設(shè)置一個(gè)開口用來將探測(cè)頭插入導(dǎo)管內(nèi)。然后可以簡(jiǎn)單地將探測(cè)頭插進(jìn)該開口內(nèi)。同時(shí)，探測(cè)頭可以是能夠用于各種場(chǎng)合的標(biāo)準(zhǔn)件。關(guān)于探測(cè)頭，比如可以是專利申請(qǐng)EP02008386中公開的一種壓力傳感器。這樣可以使用任何形式的壓力傳感器，同樣也可以用來測(cè)量導(dǎo)管部件內(nèi)的流量。因?yàn)閴毫鞲衅骺梢栽O(shè)計(jì)成一個(gè)絕對(duì)壓力傳感器，通過該壓力傳感器技術(shù)人員同時(shí)可以測(cè)量流體的絕對(duì)壓力。在設(shè)計(jì)流體傳感器時(shí)，由于可以借助使用標(biāo)準(zhǔn)件，而且只需要將一個(gè)合適的障礙物安放在流體的橫截面上或者流動(dòng)通道內(nèi)，因此將已有的壓力傳感器用到流量傳感器中可使流量傳感器具有極其經(jīng)濟(jì)的結(jié)構(gòu)。根據(jù)本發(fā)明，除了該障礙物和安放在導(dǎo)管上的合適容納部件的現(xiàn)有壓力傳感器之外，對(duì)于流體傳感器的設(shè)計(jì)不再需要其它部件。可選擇地是，障礙物可以形成為探測(cè)頭外殼的一部分或者與之形成為一體，以使流量傳感器可以作為一個(gè)部件放到導(dǎo)管內(nèi)。
優(yōu)選地是，障礙物的前邊在流動(dòng)方向上與探測(cè)頭中心相距X，布置有障礙物的導(dǎo)管部件的直徑是D，其中比值X/D介于1和2之間。優(yōu)選地是，比值X/D介于1.25和1.5之間，特別優(yōu)選為1.3。
另外，優(yōu)選地是，障礙物的前邊在流動(dòng)方向上與探測(cè)頭中心相距X，而且障礙物在相對(duì)于流動(dòng)方向的橫向上的寬度是d，其中比值X/d介于2.4和10之間。比值X/d特別優(yōu)選地介于3.96和4.55之間。
障礙物在流動(dòng)方向上的長(zhǎng)度優(yōu)選是L，在相對(duì)于流動(dòng)方向的橫向上的寬度是d，其中比值L/d介于1和2之間。比值L/d特別優(yōu)選地為1.57或1.67。
障礙物在流動(dòng)方向上的長(zhǎng)度優(yōu)選是L，布置有障礙物的導(dǎo)管橫截面的直徑是D，其中比值L/D介于0.4和10之間。比值特別優(yōu)選地介于2.5和10之間。
障礙物在相對(duì)于流動(dòng)方向的橫向上的寬度優(yōu)選是d，布置有障礙物的導(dǎo)管部件的橫截面直徑是D，其中比值d/D介于0.2和0.4之間。該比值特別優(yōu)選地為0.28或0.33。
為了獲得最佳的測(cè)量結(jié)果，障礙物在流動(dòng)方向上優(yōu)選位于其內(nèi)布置有該障礙物的導(dǎo)管部件彎曲部分的后面并與之相距距離L1，其中L1＝4*D，D是導(dǎo)管部件橫截面直徑。通過在導(dǎo)管最后一個(gè)彎曲部分的后面的障礙物的距離L1，可以保證該導(dǎo)管彎曲部分不產(chǎn)生影響在障礙物后的渦流的測(cè)量結(jié)果的漩渦。


下面結(jié)合附圖作為示例描述本發(fā)明，其中圖1是安裝有根據(jù)本發(fā)明的流量傳感器的導(dǎo)管部件的剖面透視圖；圖2是根據(jù)圖1導(dǎo)管縱向剖開的導(dǎo)管部件剖面圖；圖3是沿圖2中的III-III線剖開的根據(jù)圖2的導(dǎo)管部件的剖面圖。
其中，附圖標(biāo)記說明如下2彎管 4，6端部 8障礙物 10探測(cè)頭11延伸部 12膜片 14開口 16緊固弓形件18密封環(huán) 20端部 22凹槽 24前邊S流動(dòng)方向具體實(shí)施方式
圖1所示的透視剖面圖示出了一個(gè)根據(jù)本發(fā)明的流量傳感器的優(yōu)選實(shí)施例形式。根據(jù)圖1的實(shí)施例中的流量傳感器安放在一彎管2內(nèi)。彎管2構(gòu)成一個(gè)導(dǎo)管部件(pipe conduit section)，在它的兩端部4和6有用來連接到其它導(dǎo)管(pipe)上的連接件，比如連接到加熱設(shè)備上。彎管2可以設(shè)計(jì)為塑料或金屬管。彎管2具有U形結(jié)構(gòu)，其中在彎管2的中段(middle limb)有一個(gè)規(guī)定形狀的障礙物8作為流道中一個(gè)限定的阻力。像翼片一樣的障礙物穿過彎管2內(nèi)部沿直徑方向延伸。從而該障礙物形成一個(gè)橫穿導(dǎo)管延伸的桿。
探測(cè)頭10在流動(dòng)方向S上布置在障礙物8的后面。探測(cè)頭10用來測(cè)量障礙物8在流動(dòng)中引起的渦流。探測(cè)頭10同時(shí)探測(cè)產(chǎn)生的渦流內(nèi)部的讀數(shù)偏差。由于障礙物8的形狀是確定的，因此測(cè)量人員可以利用測(cè)量技術(shù)，通過適當(dāng)?shù)挠?jì)算方式從改變的測(cè)量壓力和/或頻率來推導(dǎo)出彎管2中的流速或流量。按這種方式探測(cè)流速從所謂的渦流流量傳感器得知。
根據(jù)本發(fā)明的探測(cè)頭10正是這樣一種探測(cè)頭，它包括至少一個(gè)膜片和一個(gè)直接布置在膜片上用來探測(cè)膜片偏轉(zhuǎn)的測(cè)量元件。根據(jù)歐洲專利申請(qǐng)97105396.2，這種膜片已經(jīng)用到壓力或壓差傳感器上。該專利申請(qǐng)?zhí)貏e是圖1和相關(guān)的說明書描述涉及到了該膜片的具體結(jié)構(gòu)。其上直接布有測(cè)量元件并且有一個(gè)電絕緣套以及一個(gè)將絕緣套覆蓋在外部的非晶金屬層的膜片具有這樣的優(yōu)點(diǎn)，即大大降低了膜片厚度，從而大大提高了傳感器的測(cè)量靈敏度和反應(yīng)速度。在一個(gè)渦流流量傳感器中，當(dāng)測(cè)量渦流尤其是該渦流中出現(xiàn)的壓力波動(dòng)頻率時(shí)，膜片的快速反應(yīng)能力是極其有利的。這種膜片結(jié)構(gòu)使得流量傳感器具有更緊湊的結(jié)構(gòu)，尤其是可以更準(zhǔn)確地測(cè)量流速；尤其是較低的流速。
正如歐洲專利申請(qǐng)EP02008386的圖2，3，8以及說明書相關(guān)部分所公開的那樣，具有所示實(shí)施例中的膜片的探測(cè)頭10布置在一個(gè)外殼內(nèi)作為一個(gè)結(jié)構(gòu)部件。關(guān)于該外殼以及其中的膜片布置情況可以查閱該專利申請(qǐng)中公開的內(nèi)容。外殼的前端包括一個(gè)錐形的、手指狀的延伸部11，膜片12布置在該延伸部11內(nèi)。優(yōu)選地是，只設(shè)置一個(gè)兩面都受到壓力沖擊的膜片12，并且測(cè)量人員可以以這種方式非常簡(jiǎn)單地確定障礙物8后面的渦流的壓差。膜片12同時(shí)也布置在流體中，從而膜片的表面平行于流動(dòng)方向延伸。
探測(cè)頭10以這樣一種方式插入彎管2的一個(gè)開口內(nèi)，使得在流動(dòng)方向S上看延伸部11在障礙物8后面的區(qū)域伸進(jìn)彎管2的內(nèi)部空間。開口14被設(shè)計(jì)成為探測(cè)頭10的容納部與彎管2成一體。探測(cè)頭10由一個(gè)緊固弓形件16鎖緊在開口14內(nèi)。一個(gè)密封環(huán)18設(shè)置在探測(cè)頭10的外殼上，該環(huán)將開口14和插進(jìn)的探測(cè)頭10密封起來。探測(cè)頭10的端部包括需要的電連接件或者與電線連接。
圖2示出了根據(jù)圖1所示截面的平面圖。障礙物8放在彎管2內(nèi)或?qū)Ч苌?，從而順著流?dòng)方向S看位于前面的障礙物8的一個(gè)邊與前述管子的彎曲部分相距L1。正如圖2中看到的，探測(cè)頭10的延伸部11又橫穿整個(gè)橫截面11延伸進(jìn)入一個(gè)適合的凹槽22中，該凹槽是在與開口14相對(duì)的彎管2的那個(gè)側(cè)面上。
圖3示出了沿圖2中的III-III線的剖面圖。根據(jù)本發(fā)明的裝置的優(yōu)選尺寸由圖3表示。導(dǎo)管部件，即其內(nèi)設(shè)有障礙物8和探測(cè)頭10的彎管2的截面直徑為D。橫截面為三角形的障礙物8在流動(dòng)方向S上的長(zhǎng)度為L(zhǎng)。障礙物在相對(duì)于流動(dòng)方向S的橫向上的底部，即在流動(dòng)方向S上位于前端的邊24的寬度為d。障礙物從前端的邊開始沿流動(dòng)方向蔓延成為尖角或三角形的形式。如圖3所示，障礙物的整個(gè)延伸部在穿過彎管2的導(dǎo)管直徑方向上的橫截面是不變的。同時(shí)障礙物8還居中布置在彎管2的管內(nèi)側(cè)。
障礙物8的前邊或前向邊24在流動(dòng)方向S上與布置有膜片12的探測(cè)頭10的中心相距X。
距離L、距離L1(參見圖2)、直徑D、距離X、寬度d以及它們之間的相互關(guān)系的優(yōu)選值列于下表中。其中也列入了個(gè)別變量的優(yōu)選最小值和最大值。欄A，B，C中還列出了三個(gè)具體實(shí)施例，其中列出了流量傳感器的各優(yōu)選實(shí)施例的尺寸。

表格的最后兩欄列出了各個(gè)變量的最小值或最大值。依據(jù)這一構(gòu)思，設(shè)計(jì)人員可以獲得在2500和50000之間的雷諾數(shù)。
權(quán)利要求
1.一種流量傳感器，它帶有一伸進(jìn)流體內(nèi)的障礙物(8)和至少一個(gè)用來測(cè)量由該障礙物(8)引起的渦流的探測(cè)頭(10)，其中該探測(cè)頭(10)包括至少一個(gè)膜片(12)和一直接布置在該膜片(12)上用來探測(cè)該膜片偏轉(zhuǎn)的測(cè)量元件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流量傳感器，其中該障礙物(8)和該探測(cè)頭(10)布置在一導(dǎo)管部件(2)中。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的流量傳感器，其中該導(dǎo)管部件(2)的直徑D大于10mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的流量傳感器，其中該障礙物(8)與該導(dǎo)管部件(2)設(shè)計(jì)成為一體。
5.根據(jù)前述任一權(quán)利要求所述的流量傳感器，其中該膜片可以一面受壓，用來確定一絕對(duì)壓力值。
6.根據(jù)權(quán)利要求1到4之一所述的流量傳感器，其中該膜片(12)可以兩面受壓，用來確定一壓力差。
7.根據(jù)前述任一權(quán)利要求所述的流量傳感器，其中該膜片(12)以一壓力密閉方式固定到一固定座中，一電絕緣層直接附著在該膜片(12)和布置于其上的測(cè)量元件上，所述電絕緣層覆蓋有一層至少流體密封的非晶金屬層。
8.根據(jù)前述任一權(quán)利要求所述的流量傳感器，其中該探測(cè)頭(10)布置在一外殼內(nèi)，該外殼插進(jìn)該導(dǎo)管部件(2)中的一開口(14)內(nèi)。
9.根據(jù)前述任一權(quán)利要求所述的流量傳感器，其中該探測(cè)頭(10)與該障礙物(8)制成一體。
10.根據(jù)權(quán)利要求1到8之一所述的流量傳感器，其中該探測(cè)頭(10)在流動(dòng)方向(S)上布置在該障礙物(8)之后。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的流量傳感器，其中該障礙物(8)的前邊(24)在流動(dòng)方向(S)上與該探測(cè)頭(10)的中心相距X，而且在其中布置有該障礙物(8)的該導(dǎo)管部件(2)的直徑是D，其中比值X/D介于1和2之間。
12.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的流量傳感器，其中該障礙物(8)的前邊(24)在流動(dòng)方向(S)上與該探測(cè)頭(10)的中心相距X，而且該障礙物(8)在相對(duì)于流動(dòng)方向的橫向上的寬度是d，其中比值X/d介于2.5和10之間。
13.根據(jù)前述任一權(quán)利要求所述的流量傳感器，其中該障礙物(8)在流動(dòng)方向(S)上的長(zhǎng)度是L，在相對(duì)于流動(dòng)方向(S)的橫向上的寬度是d，其中比值L/d介于1和2之間。
14.根據(jù)前述任一權(quán)利要求所述的流量傳感器，其中該障礙物(8)在流動(dòng)方向(S)上的長(zhǎng)度是L，而且在其中布置有該障礙物(8)的該導(dǎo)管部件(2)的直徑是D，其中比值L/D介于0.4和10之間。
15.根據(jù)前述任一權(quán)利要求所述的流量傳感器，其中該障礙物(8)在相對(duì)于流動(dòng)方向(S)的橫向上的寬度是d，而且在其中布置有該障礙物(8)的該導(dǎo)管部件(2)的直徑是D，其中比值d/D介于0.2和0.4之間。
16.根據(jù)前述任一權(quán)利要求所述的流量傳感器，其中該障礙物(8)在流動(dòng)方向(S)上處于設(shè)有該障礙物(8)的該導(dǎo)管部件的一彎曲部分的后面的距離至少為L(zhǎng)1，其中L1＝4*D且D是該導(dǎo)管部件的直徑。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種流量傳感器，它帶有一伸進(jìn)流體內(nèi)的障礙物(8)和至少一個(gè)用來測(cè)量由該障礙物(8)引起的渦流的探測(cè)頭(10)。該探測(cè)頭(10)包括至少一個(gè)膜片(12)和一直接布置在該膜片(12)上用來探測(cè)該膜片偏轉(zhuǎn)的測(cè)量元件。
文檔編號(hào)G01F1/32GK1510399SQ20031012359
公開日2004年7月7日 申請(qǐng)日期2003年12月24日 優(yōu)先權(quán)日2002年12月24日
發(fā)明者延斯·彼得·克羅, 尼古拉斯·彼澤森, 佩爾·埃勒摩斯·安諾生, 埃勒摩斯 安諾生, 延斯 彼得 克羅, 斯 彼澤森 申請(qǐng)人:格倫德福斯聯(lián)合股份公司