專(zhuān)利名稱(chēng)：：角速度傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明總體上涉及角速度傳感器，更具體地，涉及一種采用壓電振子(vibrator)的角速度傳感器。
背景技術(shù)：
：角速度傳感器檢測(cè)物體旋轉(zhuǎn)時(shí)的角速度。角速度傳感器用于避免由于拍照時(shí)手的移動(dòng)而導(dǎo)致的圖像模糊，并且在諸如車(chē)輛導(dǎo)航系統(tǒng)的位置檢測(cè)系統(tǒng)、以及用于汽車(chē)和機(jī)器人的姿態(tài)控制系統(tǒng)中得到應(yīng)用。檢測(cè)軸相對(duì)于檢測(cè)基準(zhǔn)面的任何傾斜都會(huì)導(dǎo)致檢測(cè)誤差或?qū)α硪惠S的不當(dāng)檢測(cè)。在上述情況下，不能檢測(cè)到準(zhǔn)確的角速度。因此，配備有角速度傳感器的控制系統(tǒng)會(huì)遇到由角度檢測(cè)誤差所造成的各種問(wèn)題。例如，對(duì)于車(chē)輛導(dǎo)航系統(tǒng)，角速度傳感器通常安載在車(chē)輛的儀表盤(pán)(dashboard)中。在配備有角速度傳感器的控制系統(tǒng)安載在儀表盤(pán)中的情況下，如果檢測(cè)軸與作為基準(zhǔn)面的地面平行，則可以準(zhǔn)確地檢測(cè)到角速度。然而，許多車(chē)輛的儀表盤(pán)與地面不平行。在控制系統(tǒng)安裝在傾斜的儀表盤(pán)內(nèi)的情況下，角速度傳感器的檢測(cè)軸也是傾斜的，角速度的檢測(cè)誤差會(huì)變大，而且類(lèi)似地，會(huì)更頻繁地出現(xiàn)對(duì)另一軸的不當(dāng)檢測(cè)。圖1A和1B示出了上述情況。圖1A的橫軸表示傳感器傾斜的角度(°)，而圖1A的縱軸表示角速度的檢測(cè)誤差(％)。圖1B的橫軸表示傳感器傾斜的角度(°)，而圖1B的縱軸表示對(duì)另一軸的不當(dāng)檢測(cè)(％)。另外，如果傳感器的檢測(cè)軸需要與地面平行，則有必要在儀表盤(pán)內(nèi)新安裝一搖擺臺(tái)(tiltingtable)，或者將搖擺臺(tái)與傳感器相接合。結(jié)果，需要更大的空間。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的總體目的是解決上述缺點(diǎn)，并提供一種角速度傳感器，即使該角速度傳感器安裝在傾斜的表面上，它也可以將檢測(cè)軸調(diào)節(jié)得與角速度的檢測(cè)基準(zhǔn)面相適應(yīng)，并且該角速度傳感器可以減小整個(gè)系統(tǒng)的尺寸。更具體地，本發(fā)明旨在提供可以容易地調(diào)節(jié)檢測(cè)軸的方向的角速度傳感器。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，所提供的角速度傳感器可以包括底座(stem)、以及由該底座支撐的振子，該振子相對(duì)于底座的安裝面傾斜。振子的檢測(cè)軸相對(duì)于安裝面傾斜，并且即使角速度傳感器安裝在傾斜面上，也可以將檢測(cè)軸調(diào)節(jié)到合適的方向上。另外，振子的軸(其是檢測(cè)軸的最小單元)是傾斜的，因此可以最小化由傾斜造成的盲區(qū)(deadspace)。在上述角速度傳感器中，振子相對(duì)于安裝面的傾斜角度可以是可調(diào)節(jié)的。上述角速度傳感器還可以包括一保持部件，其保持振子以使得可以調(diào)節(jié)傾斜角度。在上述角速度傳感器中，保持部件可以是可彈性變形的，并保持振子。在上述角速度傳感器中，保持部件可具有一折疊的單個(gè)部件。上述角速度傳感器還可以包括固定振子的振子支撐基板，電路板，以及保持振子支撐基板和電路板的框架。振子的軸在平行于電路板的表面內(nèi)是傾斜的，因此最小化了盲區(qū)。上述角速度傳感器還可以包括固定振子的振動(dòng)支撐基板，電路板，以及保持振子支撐基板和電路板的框架，并且該框架夾著并保持振子支撐基板。上述角速度傳感器還可以包括固定振子的振子支撐基板，電路板，以及保持振子支撐基板和電路板的框架，并且該框架可由可彈性變形的材料制成，以使得可以調(diào)節(jié)相對(duì)于安裝面的角度。在上述角速度傳感器中，框架可以與電路板的多個(gè)側(cè)邊相接合。上述角速度傳感器還可以包括固定振子的振子支撐基板，電路板，以及保持振子支撐基板和電路板的框架，并且電路板設(shè)置在框架的第一側(cè)，而振子和振子支撐基板設(shè)置在框架的第二側(cè)。在上述角速度傳感器中，振子支撐基板可以具有一凹部，而框架則具有一被裝配到該凹部中的保持部件。在上述角速度傳感器中，角速度傳感器可與布置在振子上的電極相連接，并具有穿透底座的外部連接端子。上述角速度傳感器還可以包括一其上布置有待與振子連接的電路的電路板，并且在該電路板的表面上設(shè)置有用于外部連接的焊盤(pán)。上述角速度傳感器還可以包括被設(shè)置用來(lái)覆蓋電路板的框架，并且該框架的電路板保持部與焊盤(pán)相接觸，該電路板保持部與所述電路板相接合。上述角速度傳感器還可以包括固定振子的振子支撐基板、電路板，以及保持振子支撐基板和電路板的框架，并且振子支撐基板由多層組成。在上述角速度傳感器中，優(yōu)選地，振子為音叉振子或塊狀的振簧振子。在上述角速度傳感器中，振子可由可彈性變形的多個(gè)保持部件保持。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，所提供的角速度傳感器可以包括底座、振子，以及保持底座上的振子的保持部件，并且保持部件是可彈性變形的，而且可通過(guò)使保持部件彈性變形來(lái)調(diào)節(jié)檢測(cè)軸的角度。在上述角速度傳感器中，保持部件可將振子保持得使振子的檢測(cè)軸可相對(duì)于底座的安裝面傾斜。在上述角速度傳感器中，保持部件可將振子保持得使振子的檢測(cè)軸可與底座的安裝面平行。下面參照附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，附圖中圖1A和1B是說(shuō)明傳統(tǒng)技術(shù)的缺點(diǎn)的曲線圖；圖2是根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的角速度傳感器的立體圖；圖3是根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的角速度傳感器的另一立體圖；圖4A示出了根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的振子的正面?zhèn)?；圖4B示出了根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的振子的背面?zhèn)?；圖5A是根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的支撐基板的俯視圖；圖5B是沿圖5A中所示的線VB-VB截取的截面圖；圖5C是根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的支撐基板的仰視圖；圖6A是根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的框架和保持部件的俯視圖；圖6B是根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的框架和保持部件的側(cè)視圖；圖6C是沿圖6B中所示的線VIC-VIC截取的截面圖；圖7是根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的由可彈性變形的部件制成的框架和保持部件的展開(kāi)視圖(developedview)；圖8是根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的角速度傳感器的正視圖；圖9A是根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的底座的正視圖；圖9B是根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的底座的平面圖；圖9C是根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的底座的側(cè)視圖；圖10是根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的角速度傳感器的后視圖；圖11A是根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的電路板上設(shè)置的電路圖；圖11B示出了根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的檢測(cè)電極的連接圖；圖12A和12B是根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的角速度傳感器的正視圖；以及圖13是根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的角速度傳感器的正視圖。具體實(shí)施例方式現(xiàn)將參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。(第一實(shí)施例)下面參照附圖來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的第一實(shí)施例。圖2和圖3是根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的角速度傳感器的立體圖。圖2示出了振子的傾斜角度為0°的情況。圖3示出了振子傾斜的情況。角速度傳感器包括底座10、振子12、振子支撐基板14、框架16、保持部件18、電路板20，以及多個(gè)外部連接端子21。保持部件18由可彈性變形的材料制成。如圖3所示，可以通過(guò)使保持部件18彈性變形來(lái)任意調(diào)整振子12的角度。圖2中所示的角速度傳感器適于以下情況底座10安裝在平行于基準(zhǔn)面(地面)的表面上；或者即使具有該角速度傳感器的系統(tǒng)安裝在相對(duì)于基準(zhǔn)面傾斜的表面上，振子12的檢測(cè)軸也垂直于基準(zhǔn)面(地面)。相反，如圖3所示，在振子12或配備有該振子12的系統(tǒng)安裝在相對(duì)于基準(zhǔn)面(地面)的傾斜表面上的情況下，角速度傳感器12的檢測(cè)軸垂直于基準(zhǔn)面(即，地面)。也就是說(shuō)，圖3中的角速度傳感器適于以下情況角速度傳感器或配備有該角速度傳感器的系統(tǒng)安裝在相對(duì)于基準(zhǔn)面傾斜的表面上。角速度傳感器被安裝成，使得底座10的安裝面11可基本上平行于具有振子12的系統(tǒng)的母板。電路板20被安裝成基本上垂直于底座10或安裝面11。振子12在平行于電路板20的平面上是傾斜的?？梢酝ㄟ^(guò)使由可彈性變形的材料制成的保持部件18彈性變形來(lái)容易地調(diào)節(jié)傾斜角。即使其上安裝有角速度傳感器的表面(如儀表盤(pán))是傾斜的，也可容易地將如圖2和3中所示的角速度傳感器設(shè)置為垂直于基準(zhǔn)面，而無(wú)需考慮傾斜角。當(dāng)然，當(dāng)安裝傳感器時(shí)，傳感器的檢測(cè)軸垂直于基準(zhǔn)面。在安裝振子12時(shí)預(yù)先確定了傾斜角的情況下，事先按預(yù)定角度固定振子12，以利用不彈性變形的材料制造保持部件18。下面將詳細(xì)說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的角速度傳感器的組件。圖4A和4B是振子12的立體圖。圖4A示出了振子12的正面?zhèn)?。圖4B示出了振子12的背面?zhèn)取Ｕ褡?2是包括兩個(gè)臂22和24以及基部26的音叉振子?；?6連接臂22和24。振子12由壓電材料制成。例如，使用了諸如LiNbO3和LiTaO3的單晶壓電材料。振子12的檢測(cè)軸為兩個(gè)臂延伸的方向。在臂22和24中，按如下方式形成有檢測(cè)電極和驅(qū)動(dòng)電極。在臂22中布置有檢測(cè)電極34、38和39。而在臂24中布置有檢測(cè)電極32、36和37。檢測(cè)電極38和39通過(guò)環(huán)繞電極30耦接，環(huán)繞電極30環(huán)包著臂22的上部。檢測(cè)電極38連接至引出電極(extractionelectrode)41，該引出電極41向基部26延伸。檢測(cè)電極34布置在臂22的外側(cè)面上。檢測(cè)電極34被引出電極42引出到基部26上。檢測(cè)電極36和37在環(huán)包臂24的上部的環(huán)繞電極28上連接在一起。檢測(cè)電極36連接至布置在基部26上的引出電極43。檢測(cè)電極32布置在臂24的外側(cè)面上，并被引出電極40引出到基部26上。驅(qū)動(dòng)電極44以U形圖案布置在正面?zhèn)?。該U形圖案形成在臂22和24上。驅(qū)動(dòng)電極44被引出電極48引出到基部26的表面上。驅(qū)動(dòng)電極46以U形圖案布置在背面?zhèn)取Ｔ揢形圖案形成在臂22和24上。驅(qū)動(dòng)電極46被引出電極50引出在基部26的背面?zhèn)壬稀D5A至5C示出了振子支撐基板14。圖5A是支撐基板14的俯視圖。圖5B是沿圖5A中所示的線VB-VB截取的截面圖。圖5C是支撐基板14的仰視圖。參照?qǐng)D5B，例如，振子支撐基板14具有由基板141、142和143(由鋁制成)組成的三層結(jié)構(gòu)。在基板141和142中形成有凹部53。振子12的基部26被裝配到凹部53中。如圖5A所示，在凹部53周?chē)贾糜卸鄠€(gè)焊盤(pán)52。在底部上形成有電極54。電極54通過(guò)內(nèi)部通孔連接(internalviaconnection)耦接至一個(gè)焊盤(pán)52。當(dāng)把振子12裝配到凹部53中時(shí)，圖4B中所示的引出電極50與電極54相接觸。向凹部53施加導(dǎo)電粘合劑以將振子12固定至振子支撐基板14。例如，使用接合線(bondingwire)或?qū)щ娔z將布置在振子12的表面上的引出電極40、41、42、43和48電耦接至對(duì)應(yīng)的焊盤(pán)52。振子12還包括另一凹部56。凹部56與凹部53彼此面對(duì)。凹部56貫穿振子支撐基板14的三層141、142和143。將保持部件18裝配到凹部56中，并使用例如硅基粘合劑將其固定。圖6A至圖6C示出了框架16和保持部件18。圖6A是框架16和保持部件18的俯視圖。圖6B是框架16和保持部件18的側(cè)視圖。圖6C是沿圖6B中所示的線VIC-VIC截取的截面圖。框架16由導(dǎo)電材料(例如鍍鎳鈷或鍍鎳磷青銅)制成?？蚣?6具有C形截面，并在其側(cè)面上具有電路板保持部58。電路板保持部58與電路板20相接合。具體地說(shuō)，如圖2和3所示，在電路板20的側(cè)面上布置了一具有C形狀的凹切(cutout)部60。電路板保持部58與凹切部60的角部相接合。也就是說(shuō)，電路板保持部58通過(guò)夾著電路板20的側(cè)面來(lái)保持電路板20。使用粘合劑或焊料將電路板保持部58固定至電路板20。如上所述，電路板保持部58與電路板20的側(cè)面相接合。作為替換，可在電路板20內(nèi)設(shè)置孔以插入電路板保持部58。另外，可以采用其他方法來(lái)保持電路板20?？蚣?6具有C形截面，而且在電路板20與框架16的內(nèi)表面之間形成有一間隙。該間隙防止安裝在電路板20上的電子部件接觸框架16。另外，框架16具有一拱形的凹切部65。通過(guò)諸如金屬線等的穿過(guò)凹切部65的互連線在振子支撐基板14與電路板20之間建立電連接。保持部件18布置在振子支撐基板14上。參照?qǐng)D6B，保持部件18具有C形截面。振子支撐基板14被裝配到由保持部件18產(chǎn)生的間隙62中。在此情況下，將振子支撐基板14接合到保持部件18上，以使得其上設(shè)置有焊盤(pán)52的內(nèi)表面可以面對(duì)框架16。保持部件18包括保持部64。使用粘合劑將保持部64固定至框架16的底部66上。在框架16的底部66上形成有一對(duì)應(yīng)于保持部64的凹部，并且該凹部與保持部64相接合。保持部件18也是按與框架16相同的方式由導(dǎo)電材料(例如鍍鎳鈷或鍍鎳磷青銅)制成的。如圖6A所示，這意味著，保持部件18是可彈性變形的。在保持部件18的底面與框架16的頂面之間創(chuàng)建有一微隙70。設(shè)置該微隙70，使得可通過(guò)使保持部件18彈性變形來(lái)容易地調(diào)節(jié)框架16相對(duì)于底部66的角度。使保持部件18彈性變形來(lái)調(diào)節(jié)框架16相對(duì)于底部66的角度。這使得可以調(diào)節(jié)振子12的檢測(cè)軸的傾斜角。參照?qǐng)D7，可以利用單個(gè)部件68來(lái)形成框架16和保持部件18。圖7是單個(gè)部件68的展開(kāi)圖。如圖所示折疊單個(gè)部件68。展開(kāi)的保持部件18如圖7中的(1)所示被折疊成具有C形狀，并如圖7中的(2)所示被折疊在保持部64的中央處。在此情況下，當(dāng)然，保持部64是單個(gè)部件68的一部分。圖8是角速度傳感器的正視圖。圖8示出了圖2和3的組合圖。標(biāo)號(hào)72表示諸如IC、電阻器和電容器的電子元件。這些電子元件72安裝在電路板20上，并通過(guò)布置在電路板20上的互連圖案進(jìn)行耦接。稍后將詳細(xì)說(shuō)明形成在電路板20上的電路。一封罩(未示出)與圖2、3和8中所示的凸緣13相接合。該封罩對(duì)振子12和電路板20進(jìn)行密封以保護(hù)角度傳感器的內(nèi)部。圖9A至9C示出了底座10。圖9A是正視圖，圖9B是平面圖，而圖9C是側(cè)視圖。外部連接端子21為針形，根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例設(shè)置了六個(gè)外部連接端子21。這些外部連接端子21穿透底座10。四個(gè)外部連接端子21的上部21A排列成直線，而且，為了更好地理解，將其圈出，如圖9A至9C所示。上部21A與布置在電路板20的背面?zhèn)壬系暮副P(pán)相接觸，這在后面將詳細(xì)說(shuō)明。外部連接端子21的下部插入到諸如母板的基板上形成的孔中，并由焊接加以固定。剩余兩個(gè)外部連接端子21的上部22B沒(méi)有與布置在電路板20上的焊盤(pán)相接觸。也就是說(shuō)，上部22B比上部21A短。上述兩個(gè)外部連接端子21可為虛端子，也可實(shí)際用作外部連接端子。圖10是角速度傳感器的后視圖。在電路板20的后側(cè)布置有焊盤(pán)74和76。多個(gè)焊盤(pán)74被分別焊接到多個(gè)外部連接端子21的上部21A上。框架16的電路板保持部58向內(nèi)折疊，并被焊接到焊盤(pán)76上。所述四個(gè)外部連接端子21中的兩個(gè)分別充當(dāng)信號(hào)端子和接地端子，以施加驅(qū)動(dòng)信號(hào)。剩下的兩個(gè)外部連接端子21也充當(dāng)信號(hào)端子和接地端子，以輸出角速度檢測(cè)信號(hào)。焊盤(pán)76充當(dāng)布置在電路板20上的電路的接地端子。該電路通過(guò)多個(gè)焊盤(pán)16電耦接至框架16，并且框架16充當(dāng)極好的屏蔽部。焊盤(pán)76可省略。在此情況下，所述屏蔽部可連接至充當(dāng)電路板20上的地的外部連接端子21。據(jù)此，框架16充當(dāng)屏蔽部。圖11A是設(shè)置在電路板20上的電路圖。圖11B示出了檢測(cè)電極32、34、36、37、38和39的連接圖。在電路板20上形成有驅(qū)動(dòng)信號(hào)輸入端子78、驅(qū)動(dòng)電路80、差動(dòng)放大器82、低通濾波器(LPF)84、直流放大器86，以及檢測(cè)信號(hào)輸出端子88。驅(qū)動(dòng)信號(hào)輸入端子78和檢測(cè)信號(hào)輸出端子88對(duì)應(yīng)于圖10中所示的焊盤(pán)74。驅(qū)動(dòng)電路80通過(guò)驅(qū)動(dòng)信號(hào)輸入端子78從外部接收驅(qū)動(dòng)信號(hào)，并向驅(qū)動(dòng)電極44和46施加驅(qū)動(dòng)電壓。被施加了驅(qū)動(dòng)電壓的兩個(gè)臂22和24進(jìn)行面內(nèi)振動(dòng)。在上述情形下，當(dāng)施加以檢測(cè)軸為中心的角速度時(shí)，在臂22和24內(nèi)產(chǎn)生電場(chǎng)。差動(dòng)放大器82差動(dòng)放大檢測(cè)電極38、39和32的電壓以及檢測(cè)電極36、37和34的電壓。驅(qū)動(dòng)電路80與差動(dòng)放大器82同步進(jìn)行操作。來(lái)自差動(dòng)放大器82的輸出電壓經(jīng)過(guò)LPF84，并被直流放大器86放大。從直流放大器86輸出的直流電壓被作為角速度檢測(cè)信號(hào)施加給檢測(cè)信號(hào)輸出端子88。以下將詳細(xì)列舉本發(fā)明第一實(shí)施例的特征。角速度傳感器包括底座10和由該底座10支撐的振子12。振子12相對(duì)于底座10的安裝面11傾斜。因此，即使其上安裝有角速度傳感器的表面相對(duì)于地面傾斜，也可將檢測(cè)軸設(shè)置在合適的方向(即，與諸如地面的基準(zhǔn)面垂直的方向)上。振子12相對(duì)于安裝面11的傾斜角是可調(diào)的，并且可以按任意角度安裝角速度傳感器。角速度傳感器包括可彈性變形的保持部件18，并且保持部件18保持振子12。從而可以通過(guò)使保持部件18彈性變形來(lái)將振子12的檢測(cè)軸設(shè)置在希望的方向上。由單一材料制成的保持部件18被折疊。因此，易于制造保持部件18。角速度傳感器具有一包括振子支撐基板14、電路板20以及框架16的相對(duì)簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)。框架16保持振子支撐基板14和電路板20。角速度傳感器能夠任意地調(diào)節(jié)檢測(cè)軸的角度?？蚣?6同樣具有一簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)，其夾著并保持振子支撐基板14。在框架16和保持部件18由單個(gè)部件構(gòu)成的情況下，框架16由可彈性變形的材料制成。框架16與電路板20的多個(gè)側(cè)邊相接合，并能夠容易地支撐電路板20。電路板20布置在框架16的第一側(cè)上，而振子12和振子支撐基板14布置在框架16的第二側(cè)上。由此，角速度傳感器具有緊湊的結(jié)構(gòu)。振子支撐基板14包括凹部53，而框架16包括一被裝配到該凹部53中的保持部件。因此它易于組裝并且可以可靠地保持振子12。角速度傳感器連接至布置在振子12上的電極(如驅(qū)動(dòng)電極和檢測(cè)電極)，并包括穿透底座10的所述多個(gè)外部連接端子21。因此，角速度傳感器能夠容易地連接至外部。角速度傳感器包括其上布置有連接至振子12的電路的電路板20(圖11A和11B)。焊盤(pán)76布置在電路板表面上以連接至外部。從而，角速度傳感器在連接至外部時(shí)具有很大的靈活性。角速度傳感器包括被布置成覆蓋電路板20的框架16?？蚣?6的電路板保持部58(與電路板20相接合)與焊盤(pán)76接觸。由此，框架16可容易地充當(dāng)屏蔽部件。另外，角速度傳感器包括底座10、振子12，以及保持底座10上的振子12的保持部件18。保持部件18是可彈性變形的。通過(guò)使保持部件18彈性變形，可以調(diào)節(jié)振子12的檢測(cè)軸的角度的。因此即使角速度傳感器相對(duì)于基準(zhǔn)面傾斜，也可以將檢測(cè)軸設(shè)置得垂直于基準(zhǔn)面。(第二實(shí)施例)圖12A和12B是根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的角速度傳感器的正視圖。本發(fā)明第二實(shí)施例是本發(fā)明第一實(shí)施例的變型例。圖12A包括第一實(shí)施例的振子12、振子支撐基板14、框架16、保持部件18，以及電路板20，它們都被順時(shí)針旋轉(zhuǎn)了90度。圖12B包括被順時(shí)針旋轉(zhuǎn)了90度的振子12、振子支撐基板14，以及保持部件18。參照?qǐng)D12A，保持部件18平行于底座10的安裝面11，而且檢測(cè)軸平行于該安裝面11。然而，如果將保持部件18逆時(shí)針地旋轉(zhuǎn)，則可使保持部件18相對(duì)于安裝面11傾斜。參照?qǐng)D12B，保持部件18平行于底座10的安裝面11，而且檢測(cè)軸平行于該安裝面11。然而，如果將保持部件18順時(shí)針地旋轉(zhuǎn)，則可使保持部件18相對(duì)于安裝面11傾斜。具有上述結(jié)構(gòu)的角速度傳感器具有與本發(fā)明第一實(shí)施例中相同的機(jī)制及效果。另外，在一起使用分別根據(jù)本發(fā)明的第一和第二實(shí)施例的兩個(gè)角速度傳感器的情況下，可以檢測(cè)對(duì)應(yīng)于兩個(gè)檢測(cè)軸的兩個(gè)角速度。另外，本發(fā)明的第一和第二實(shí)施例基本上具有相同的尺寸，從而，盡管角速度傳感器具有不同的檢測(cè)軸，還是可以制造具有相同尺寸的角速度傳感器。這使得可以很靈活地布置和安裝角速度傳感器。此外，可以通過(guò)添加根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的另一個(gè)角速度傳感器，來(lái)檢測(cè)對(duì)應(yīng)于三個(gè)檢測(cè)軸的三個(gè)角速度。(第三實(shí)施例)圖13是根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的角速度傳感器的正視圖。將塊狀的振簧(vibratingreed)振子92用作振子。兩個(gè)保持部件98A和98B保持在塊狀的振簧振子92的較長(zhǎng)側(cè)的邊緣附近。保持部件98A和98B是框架96的一部分。也就是說(shuō)，將單個(gè)部件進(jìn)行折疊以形成框架96以及保持部件98A和98B。保持部件98A布置在框架96的上側(cè)，并沿逆時(shí)針?lè)较蛐睆?。保持部?8B布置在框架96的下側(cè)，與保持部件98A成對(duì)角關(guān)系，并按與保持部件98A相同的度數(shù)沿逆時(shí)針?lè)较蛐睆?。振簧振?2由保持部件98A和98B保持。對(duì)于驅(qū)動(dòng)電極和檢測(cè)電極，可以采用傳統(tǒng)技術(shù)。通過(guò)使用金屬線等來(lái)連接上述電極和電路板20。如上所述，對(duì)于采用振簧振子92的角速度傳感器，通過(guò)使所述兩個(gè)保持部件98A和98B彈性變形，可任意調(diào)節(jié)振簧振子92的檢測(cè)軸。到此完成了對(duì)本發(fā)明第一至第三實(shí)施例的說(shuō)明。本發(fā)明提供了一種角速度傳感器，即使該角速度傳感器安裝在一傾斜面上，它也可以相對(duì)于角速度檢測(cè)用的基準(zhǔn)面來(lái)恰當(dāng)?shù)卣{(diào)節(jié)檢測(cè)軸。另外，本發(fā)明還提供了可以容易地調(diào)節(jié)檢測(cè)軸的方向的角速度傳感器。本發(fā)明不限于上述實(shí)施例，并且在不脫離本發(fā)明的范圍的情況下，可以做出其他的實(shí)施例、變型例以及修改例。權(quán)利要求1.一種角速度傳感器，其特征在于包括底座；以及由該底座支撐的振子，其中所述振子相對(duì)于所述底座的安裝面傾斜。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的角速度傳感器，其特征在于，所述振子相對(duì)于所述安裝面的傾斜角是可調(diào)節(jié)的。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的角速度傳感器，其特征在于，還包括一保持部件，其保持所述振子以使得所述傾斜角可以被調(diào)節(jié)。4、根據(jù)權(quán)利要求1所述的角速度傳感器，其特征在于，所述保持部件是可彈性變形的，并且保持所述振子。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的角速度傳感器，其特征在于，所述保持部件具有折疊的單個(gè)部件。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的角速度傳感器，其特征在于，還包括固定所述振子的振子支撐基板；電路板；以及保持所述振子支撐基板和所述電路板的框架。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的角速度傳感器，其特征在于，還包括固定所述振子的振子支撐基板；電路板；以及保持所述振子支撐基板和所述電路板的框架，其中所述框架夾著并保持所述振子支撐基板。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的角速度傳感器，其特征在于，還包括固定所述振子的振子支撐基板；電路板；以及保持所述振子支撐基板和所述電路板的框架，其中所述框架由可彈性變形的材料制成，以使得相對(duì)于所述安裝面的角度可以被調(diào)節(jié)。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的角速度傳感器，其特征在于，還包括固定所述振子的振子支撐基板；電路板；以及保持所述振子支撐基板和所述電路板的框架，其中所述框架與所述電路板的多個(gè)側(cè)邊相接合。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的角速度傳感器，其特征在于，還包括固定所述振子的振子支撐基板；電路板；以及保持所述振子支撐基板和所述電路板的框架，其中所述電路板布置在所述框架的第一側(cè)，而所述振子和所述振子支撐基板布置在所述框架的第二側(cè)。11.根據(jù)權(quán)利要求6到10中的任何一項(xiàng)所述的角速度傳感器，其特征在于所述振子支撐基板具有一凹部；并且所述框架具有一被裝配到該凹部中的保持部件。12.根據(jù)權(quán)利要求1到11中的任何一項(xiàng)所述的角速度傳感器，其特征在于，所述角速度傳感器連接至所述振子上布置的多個(gè)電極，并具有穿透所述底座的多個(gè)外部連接端子。13.根據(jù)權(quán)利要求1到12中的任何一項(xiàng)所述的角速度傳感器，其特征在于，還包括一電路板，該電路板上布置有待連接至所述振子的電路，其中在該電路板的表面上設(shè)有多個(gè)用于外部連接的焊盤(pán)。14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的角速度傳感器，其特征在于，還包括一被設(shè)置為覆蓋所述電路板的框架，其中該框架的電路板保持部與多個(gè)焊盤(pán)接觸，所述電路板保持部與所述電路板相接合。15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的角速度傳感器，其特征在于，還包括固定所述振子的振子支撐基板；電路板；以及保持所述振子支撐基板和所述電路板的框架，其中所述振子支撐基板由多層構(gòu)成。16.根據(jù)權(quán)利要求1到15中的任何一項(xiàng)所述的角速度傳感器，其特征在于，所述振子為音叉振子。17.根據(jù)權(quán)利要求1到15中的任何一項(xiàng)所述的角速度傳感器，其特征在于，所述振子為振簧振子。18.根據(jù)權(quán)利要求1所述的角速度傳感器，其特征在于，所述振子為塊狀的振簧振子。19.一種角速度傳感器，其特征在于包括底座；振子；以及保持所述底座上的所述振子的保持部件，其中所述保持部件是可彈性變形的；并且檢測(cè)軸的角度可通過(guò)使所述保持部件彈性變形進(jìn)行調(diào)節(jié)。20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的角速度傳感器，其特征在于，所述保持部件將所述振子保持得使該振子的檢測(cè)軸相對(duì)于所述底座的安裝面可以是傾斜的。21.根據(jù)權(quán)利要求19所述的角速度傳感器，其特征在于，所述保持部件將所述振子保持得使該振子的檢測(cè)軸可以平行于所述底座的安裝面。全文摘要一種角速度傳感器，包括底座和由該底座支撐的振子。振子相對(duì)于底座的安裝面是傾斜的。振子相對(duì)于安裝面的傾斜角是可調(diào)節(jié)的。為此，角速度傳感器還包括一保持振子的保持部件。該保持部件是可彈性變形的。可以折疊單一材料來(lái)形成保持部件。文檔編號(hào)G01C19/56GK1656356SQ0381207公開(kāi)日2005年8月17日申請(qǐng)日期2003年5月27日優(yōu)先權(quán)日2002年5月28日發(fā)明者太田和弘,谷內(nèi)雅紀(jì),高橋克彥申請(qǐng)人:富士通媒體部品株式會(huì)社