專利名稱：接觸子塊及電氣連接裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于一種使用探針片等的接觸子片的接觸子塊以及使用此接觸子塊的電氣連接裝置。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，探針卡之類的電氣連接裝置最好可同時(shí)進(jìn)行同一半導(dǎo)體晶圓上所形成的數(shù)個(gè)集成電路的通電實(shí)驗(yàn)。
以這種電氣連接裝置的一個(gè)例子來(lái)說(shuō)，有一種制造出將形成在電氣絕緣性薄膜上的配線的一部分作為探針組件來(lái)使用而稱為探針片或接觸子片等的接觸片安裝在保持件(holder)的所謂接觸塊或探針塊等的數(shù)個(gè)接觸子塊，并且將這種數(shù)個(gè)接觸子塊安裝在框架的裝置(日本特開2000-147005號(hào)、日本特開2000-150595號(hào))。
現(xiàn)有的這種接觸子塊是使用一種將作為接觸子的突起電極配置在各探針組件而成的接觸片，同時(shí)使用板狀保持件，并且將接觸片纏繞在保持件。使用這種接觸子塊的現(xiàn)有電氣連接裝置是在保持件的厚度方向保持間隔而將數(shù)個(gè)接觸子塊安裝在框架上。

發(fā)明內(nèi)容
然而，現(xiàn)有的接觸子塊并沒(méi)有用來(lái)配置與電源連接的電容器等的電路組件的空間，因此不得不將電路組件配置在與接觸片的配線連接的可撓性印刷配線基板(FPC)、可配置接觸子塊的框架等接觸子塊以外的構(gòu)件，結(jié)果便導(dǎo)致電路組件與接觸子之間的電氣通路變長(zhǎng)，而無(wú)法進(jìn)行正確的通電實(shí)驗(yàn)。
本發(fā)明的目的在于設(shè)置電路組件的配置空間。
本發(fā)明的接觸子塊包含具有下面及形成于與該下面相連的側(cè)面的后退部的棒狀保持件(holder)；以及具有在前述保持件的長(zhǎng)邊方向保持間隔的數(shù)個(gè)第1接觸子，并且以前述第1接觸子位于前述下面的狀態(tài)配置在前述保持件外圍的接觸片。
后退部可以是相對(duì)于下面而傾斜的傾斜側(cè)面或是形成在側(cè)面的向下段部等。將接觸片配置在包含這種后退部的保持件的外圍時(shí)，可形成對(duì)應(yīng)于后退部的接觸片的部位從側(cè)面后退的后退區(qū)域。
具有這后退區(qū)域的接觸子塊可將電容器等一個(gè)以上的電路組件配置在對(duì)應(yīng)于后退區(qū)域的位置的接觸片的部位。如此，即使將數(shù)個(gè)第1接觸子塊并列配置在框架等的支撐機(jī)構(gòu)，也可將接觸子塊的排列間距縮小至少電路組件的厚度尺寸的份量，還可縮短電路組件與第1接觸子之間的電氣通路，以進(jìn)行正確的通電實(shí)驗(yàn)。
前述保持件也可另具有與前述下面相對(duì)的上面，前述接觸片也可另具有在前述保持件的長(zhǎng)邊方向保持間隔，并且配置在與前述保持件的上面相對(duì)應(yīng)的部位的數(shù)個(gè)第2接觸子；以及以一對(duì)一的關(guān)系使前述第1及第2接觸子電性連接的數(shù)條配線。
前述保持件也可另具有分別與各包含兩個(gè)以上的前述第1接觸子的一個(gè)以上的接觸子群對(duì)應(yīng)，然后在相對(duì)應(yīng)的接觸子群的配置范圍內(nèi)在該保持件的長(zhǎng)邊方向延伸，且至少朝前述下面開放的數(shù)個(gè)凹部；以及與各凹部對(duì)應(yīng)且與相對(duì)應(yīng)的凹部連通的一個(gè)以上的母螺絲孔，且在各凹部配置有與前述接觸片的對(duì)應(yīng)的接觸子群的配置區(qū)域抵接的彈性板；以及與該彈性板的上面抵接的推壓板，在各螺絲孔則配置有與前述推壓板的上面抵接的調(diào)整螺絲。如上所述，憑借對(duì)于調(diào)整螺絲旋入母螺絲孔的量進(jìn)行調(diào)整，由于可調(diào)整接觸子從保持件的突出量，因此可對(duì)于每個(gè)接觸子群調(diào)整接觸子相對(duì)于保持件的高度位置。
取代上述方式，前述保持件也可另具有在該保持件的長(zhǎng)邊方向保持間隔而延伸，且至少朝前述下面開放的數(shù)個(gè)凹部；以及與各凹部對(duì)應(yīng)且與相對(duì)應(yīng)的凹部連通的數(shù)個(gè)母螺絲孔，且在各凹部配置有與前述接觸片抵接的彈性板；以及與該彈性板的上面抵接的推壓板，在各螺絲孔則配置有與前述推壓板的上面抵接的調(diào)整螺絲。如上所述，也可憑借對(duì)于調(diào)整螺絲旋入母螺絲孔的量進(jìn)行調(diào)整，由于可調(diào)整接觸子從保持件的突出量，因此可對(duì)位于支撐區(qū)域的每個(gè)接觸子群調(diào)整接觸子相對(duì)于保持件的高度位置。
前述保持件也可另具有呈從前述側(cè)面朝側(cè)方突出的三角形狀，且具有與前述下面為同一面的底面的一個(gè)以上的鍔部，接觸片也可具有配置于前述底面的延長(zhǎng)區(qū)域；以及配置于該延長(zhǎng)區(qū)域的輔助接觸子。
前述接觸片可包含電氣絕緣性的片狀構(gòu)件、以及并列配置在該片狀構(gòu)件的數(shù)條配線，前述第1接觸子可配置于前述配線的一端部，前述片狀構(gòu)件可具有使配置有前述第1接觸子的前述配線的端部發(fā)揮探針組件的作用的數(shù)個(gè)開縫。
本發(fā)明的電氣連接裝置包含如上所述的一個(gè)以上的接觸子塊；以及將該接觸子塊并列安裝成該各第1接觸子位于下方的狀態(tài)的支撐機(jī)構(gòu)。憑借此電氣連接裝置也可獲得與上述接觸子塊同樣的作用效果。
前述支撐機(jī)構(gòu)可包含將數(shù)個(gè)接觸子塊并列安裝成該各第1接觸子位于下方的狀態(tài)的框架；以及具有數(shù)條配線，且下面安裝有前述框架的配線基板。


圖1是本發(fā)明電氣連接裝置的一實(shí)施例的斜視圖；圖2是本發(fā)明接觸子塊的一實(shí)施例的斜視圖；圖3是圖2所示的接觸子塊的仰視圖；圖4是圖2所示的接觸子塊的前視圖；圖5是圖2所示的接觸子塊的一部分放大俯視圖；圖6是圖2所示的接觸子塊的一部分放大前視圖；圖7是沿著圖5的7-7線所得的剖視圖；圖8是圖2所示的接觸子塊的一部分放大仰視圖；圖9是沿著圖7的9-9線所得的剖視圖；圖10是配線基板與接觸子塊的電氣連接狀態(tài)的一實(shí)施例的剖視圖；圖11是本發(fā)明接觸子塊的其它實(shí)施例的一部分斜視圖；圖12是圖11所示的接觸子塊的一部分放大仰視圖；圖13是圖11所示的接觸子塊當(dāng)中與圖9同樣的剖視圖；圖14是作為被檢查體的集成電路的焊墊電極(pad electrode)的配置例示圖，(A)是第1例、(B)是第2例；圖15是連接用接觸子的一實(shí)施例的俯視圖。
具體實(shí)施例方式
參照?qǐng)D1，電氣連接裝置10是構(gòu)成在可同時(shí)進(jìn)行以例如圖14所示的集成電路12所示的方式形成在同一半導(dǎo)體晶圓上的長(zhǎng)方形的數(shù)個(gè)集成電路的通電實(shí)驗(yàn)的測(cè)試器(tester)中作為探針卡使用者。
作為被檢查體的集成電路是如圖14(A)所示，可以是具有一行在集成電路12的寬度方向中央部在長(zhǎng)邊方向保持間隔的數(shù)個(gè)焊墊電極14、或是如圖14(B)所示，在集成電路16的長(zhǎng)邊方向中央部在寬度方向的兩端另具有焊墊電極18等具有適當(dāng)電極配置圖案的集成電路。
電氣連接裝置10包含由電氣絕緣材料制作而成的圓板狀配線基板20；安裝在配線基板20下面的框架22；以及并列安裝在框架22的長(zhǎng)形的數(shù)個(gè)接觸子塊24。
配線基板20是如圖10所示具有與測(cè)試器的電氣電路連接的數(shù)個(gè)測(cè)試器接點(diǎn)(testerland)(未圖標(biāo))；與接觸子塊24電性連接的數(shù)個(gè)突起電極26；以及以一對(duì)一的方式使測(cè)試器接點(diǎn)與突起電極26電性連接的數(shù)條配線28。突起電極26具有圓錐狀(或角錐狀)的頭部。
框架22是為了形成矩形開口而制作成矩形形狀，并且憑借數(shù)個(gè)螺絲構(gòu)件30安裝在配線基板20。接觸子塊24是以相互平行延伸的方式，憑借數(shù)個(gè)螺絲構(gòu)件32安裝在框架22的下面。
接下來(lái)，參照?qǐng)D2至圖10，針對(duì)適用在具有圖14(A)所示的電極配置圖案的集成電路12的接觸子塊24的一實(shí)施例加以說(shuō)明。
各接觸子塊24包含棒狀的保持件34；配置在保持件34上面的帶狀彈性板36；重疊配置在彈性板36上的帶狀間隔件38；卷繞在將保持件34、彈性板36及間隔件38重疊后的保持件組裝體的外圍的接觸片40；以及與電源連接的電容器等的數(shù)個(gè)電路組件42。
保持件34憑借下面、從該下面的寬度方向的各端部斜斜豎起的2個(gè)傾斜面、從各傾斜側(cè)面往上方豎起的垂直側(cè)面以及與下面相對(duì)的上面而具有大致梯形的剖面形狀。這些面除了保持件34的兩端部區(qū)域之外，都是連續(xù)形成在保持件34的長(zhǎng)邊方向。
在保持件34的下面、兩傾斜側(cè)面及兩垂直側(cè)面分別形成有一個(gè)以上的接著劑槽44。各接著劑槽44是朝相對(duì)應(yīng)的面開放，而且除了保持件34的兩端部區(qū)域的外，都是連續(xù)形成于保持件34的長(zhǎng)邊方向。各接著劑槽44在將接觸片40安裝在保持件34時(shí)，可用來(lái)儲(chǔ)存安裝用的接著劑。
保持件34另在除了保持件34的兩端部區(qū)域以外的區(qū)域具有在長(zhǎng)邊方向保持間隔的朝下面開放的數(shù)個(gè)第1凹部46，以及與第1凹部46連通的數(shù)個(gè)第2凹部48的對(duì)。成對(duì)的第1及第2凹部46及48是以在厚度方向貫穿保持件34的方式形成。第1凹部46的寬度尺寸比第2凹部48的寬度尺寸大。
在各第1凹部46有寬度尺寸與第2凹部48的寬度尺寸大致相同的長(zhǎng)方形橡膠板等的立方體狀彈性板50配置成與接觸片40抵接。在各第2凹部48配置有推壓板52。彈性板50及推壓板52是在保持件34的長(zhǎng)邊方向延伸。
保持件34另在各第2凹部48的長(zhǎng)邊方向的各端部具有母螺絲孔54。在各母螺絲孔54則螺合有調(diào)整螺絲56。
接觸子塊24的彈性板36及間隔件38是在保持件34的長(zhǎng)邊方向延伸，而且分別具有各自與第2凹部48相對(duì)應(yīng)的數(shù)個(gè)孔58。各孔58具有與對(duì)應(yīng)的第2凹部48的長(zhǎng)度尺寸大致相同的長(zhǎng)度尺度尺寸。
接觸片40具有由聚醯亞胺等的電氣絕緣材料形成長(zhǎng)方形的薄膜60；以及在薄膜60的長(zhǎng)邊方向保持間隔朝寬度方向延伸而并列形成在薄膜60上的數(shù)條配線62。
配線62是如圖9所示，從薄膜60的寬度方向的中央部朝寬度方向的端部延伸，并且在薄膜60的長(zhǎng)邊方向保持間隔。這種配線62當(dāng)中是如圖8及圖9所示，在薄膜60的長(zhǎng)邊方向交互存在有從薄膜60的寬度方向的中央部朝寬度方向的一端部延伸的配線、以及朝另一端部延伸的配線。
各配線62是如圖9所示，在薄膜60的一面形成有薄膜60的寬度方向的中央及端部的配線區(qū)域62a及62b，在薄膜60的另一面形成有兩配線區(qū)域62a、62b間的配線區(qū)域62c，并且憑借形成在薄膜60的貫穿孔等的導(dǎo)電性部使這些配線區(qū)域62a、62b、62c電性連接。
在各配線62的配線區(qū)域62a的前端透過(guò)板狀的數(shù)個(gè)座部66形成有圓錐形、多角錐形、半圓形等突起狀的接觸子64。接觸子64是朝長(zhǎng)邊方向在薄膜60的寬度方向的中央排列成一行。
薄膜60具有使各配線62的配線區(qū)域62a的前端部發(fā)揮探針組件68的作用的U字形或字形的開縫70。因此，相鄰的探針組件68可相互獨(dú)立地變形。
相對(duì)于此，在各配線62的端部區(qū)域62b的前端是如圖10所示，形成有與配線基板20的突起電極26連接的連接用接觸子72。間隔件38及薄膜60具有當(dāng)各連接用接觸子72受到突起電極26推壓時(shí)，容許連接用接觸子72容易彈性變形的孔74。
連接用接觸子72最好是使用受到突起電極26推壓時(shí)會(huì)彈性變形者。但是，連接用接觸子72也可為平板狀的接點(diǎn)、貫穿孔等其它種類的形式。
在薄膜60上配線區(qū)域62a、62b之間配置有在保持件34的長(zhǎng)邊方向保持間隔而配置的與電源的地線連接的數(shù)個(gè)電極板76。因此，接觸子64被分成與第1及第2凹部46及48相對(duì)應(yīng)且在保持件34的長(zhǎng)邊方向保持間隔的數(shù)個(gè)接觸子群。各電極板76是配置成與保持件34的第1及第2凹部46及48相對(duì)應(yīng)。
接觸片40是以接觸子64朝下方突出且探針組件68與第1凹部46相向的方式，纏卷在將保持件34、彈性板36及間隔件38重疊后的保持件組裝體的外圍而固定在保持件組裝體。在此狀態(tài)下，電路組件42是位于與保持件34的傾斜側(cè)面相對(duì)應(yīng)的部位。
保持件34及接觸片40在上述狀態(tài)下是分別在保持件的下面?zhèn)鹊臄?shù)個(gè)部位及上面?zhèn)鹊臄?shù)個(gè)部位，憑借設(shè)置在保持件34的數(shù)個(gè)定位插銷78而定位。上面?zhèn)鹊亩ㄎ徊邃N78是貫穿彈性板36及間隔件38。
在保持件34的各端部形成有剖面L形狀的開縫80、以及段部82、母螺絲孔84、86及定位孔88。母螺絲孔84是形成在由開縫80所分?jǐn)嗟牟课?，母螺絲孔86及定位孔88是形成在段部82。
在母螺絲孔84有調(diào)整螺絲90以其前端抵接于開縫80下側(cè)的部分的狀態(tài)螺合于其中。調(diào)整螺絲90可憑借調(diào)整旋入母螺絲孔84的量來(lái)調(diào)整從開縫80算起的中央側(cè)區(qū)域的突出高度。
在母螺絲孔86螺合有用來(lái)將接觸子塊24安裝在框架22的安裝用螺絲(未圖標(biāo))。定位孔88在將接觸子塊24安裝于框架22時(shí)，可收容框架22上所設(shè)的定位插銷(未圖標(biāo))。
接觸子塊24是以段部82抵接于框架22的狀態(tài)安裝在框架。接觸子相對(duì)于框架22的高度位置可憑借調(diào)整調(diào)整螺絲90旋入母螺絲孔84的量來(lái)進(jìn)行，且可憑借調(diào)整調(diào)整螺絲56旋入母螺絲孔54的量，對(duì)于每個(gè)接觸子群來(lái)進(jìn)行。
接觸子塊24以及使用此接觸子塊的電氣連接裝置10由于是將電路組件42配置在對(duì)應(yīng)于傾斜側(cè)面的位置，因此即使將數(shù)個(gè)接觸子塊24并列配置于框架22，也可將接觸子塊24的排列間距縮小至少電路組件42的厚度尺寸的份量，還可縮短電路組件42與接觸子64之間的電氣通路，以進(jìn)行正確的通電實(shí)驗(yàn)。
利用調(diào)整螺絲56、90調(diào)整接觸子64的高度可在組裝于接觸子組裝體之后、組裝于電氣連接裝置10之后、將電氣連接裝置10組裝于探測(cè)器(prober)之后等適當(dāng)?shù)臅r(shí)期來(lái)進(jìn)行。另外，也可在通電實(shí)驗(yàn)進(jìn)行當(dāng)中利用調(diào)整螺絲56、90來(lái)調(diào)整接觸子64的高度。
利用調(diào)整螺絲56調(diào)整接觸子64的高度時(shí)，如果增加調(diào)整螺絲56旋入對(duì)應(yīng)的母螺絲孔54的量，則彈性板50會(huì)被推壓板52推壓向接觸片40，使接觸片40朝下方彈性變形，借此即可降低接觸子64的高度位置。
相對(duì)于此，如果縮小調(diào)整螺絲56的旋入量，則接觸片40會(huì)因?yàn)楸旧淼膹椓蚪佑|壓力而將彈性板50及推壓板52往上推。借此即可提高接觸子64的高度位置。
同樣的，如果增加調(diào)整螺絲90旋入對(duì)應(yīng)的母螺絲孔84的量，則保持件34的中央?yún)^(qū)域會(huì)被往下推而朝下方彈性變形，借此即可降低接觸子64的高度位置。如果縮小調(diào)整螺絲90的旋入量，則保持件34會(huì)因?yàn)楸旧淼膹椓Τ戏轿灰?，借此即可提高接觸子64的高度位置。
接下來(lái)，針對(duì)適用于圖14(B)所示的集成電路的通電實(shí)驗(yàn)的接觸子塊100的一實(shí)施例加以說(shuō)明。
參照?qǐng)D11至圖13，接觸子塊100具有保持件34，此保持件34在各傾斜側(cè)面另具有在對(duì)應(yīng)于相鄰的第1及第2凹部46及48之間的各部位，從傾斜側(cè)面朝側(cè)方突出的三角形鍔部102；接觸片40，此接觸片40另具有配置于各鍔部102底面的延長(zhǎng)區(qū)域104；以及配置在延長(zhǎng)區(qū)域104的輔助接觸子106。
各鍔部102的底面與保持件34的下面為同一面。各延長(zhǎng)區(qū)域104是憑借將延長(zhǎng)區(qū)域104的形狀的開縫設(shè)在薄膜60而形成。輔助接觸子106在進(jìn)行通電實(shí)驗(yàn)時(shí)會(huì)受到圖14(B)所示的焊墊電極18的推壓。
各輔助接觸子106與配線62同樣是從薄膜60的寬度方向的中央部朝寬度方向的端部延伸，并且透過(guò)座部110設(shè)置在薄膜60上所形成的輔助配線108。各輔助配線108的前端與輔助接觸子106與探針組件68同樣是憑借形成在延長(zhǎng)區(qū)域104的開縫112而形成可獨(dú)立彈性變形的輔助探針組件114。
在接觸子塊100當(dāng)中，每個(gè)鍔部102都具有在厚度方向貫穿保持件34的鍔部102的第3及第4凹部116及118以及母螺絲孔120。在第3及第4凹部116、118有橡膠棒等的彈性體122配置成與延長(zhǎng)區(qū)域104接觸的狀態(tài)。
彈性體122是從第3凹部116經(jīng)由第2凹部118而到達(dá)母螺絲孔120的一部分。在母螺絲孔120螺合有調(diào)整螺絲124。因此，可憑借調(diào)整調(diào)整螺絲124旋入母螺絲孔120的量來(lái)調(diào)整延長(zhǎng)區(qū)域104、或是輔助接觸子106的高度位置。
彈性板36及間隔件38分別具有可供用來(lái)操作調(diào)整螺絲124的工具的前端插入孔126。
接觸子塊100以及使用此接觸子塊的電氣連接裝置也是以與接觸子塊24以及使用此接觸子塊的電氣連接裝置10同樣的方式動(dòng)作，且具有同樣的作用及效果。
無(wú)論是上述的哪一個(gè)實(shí)施例，傾斜側(cè)面都具有本發(fā)明的后退部的作用。但是，本發(fā)明的后退部并不限于傾斜側(cè)面，只要至少形成在側(cè)面，則也可為具有向下的段部的凹部或切口部等。
接下來(lái)，說(shuō)明連接用接觸子72的實(shí)施例。
參照?qǐng)D15，連接用接觸子72是與接觸片40的配線62一體形成在薄膜上。但是，也可個(gè)別形成連接用接觸子72與配線62，并且將連接用接觸子72安裝在配線62。
連接用接觸子72包含具有比圖10所示的薄膜60的孔74還大的眼睛形狀的基板130；以及從基板130延伸成懸臂梁狀的一對(duì)接觸片132，整體是利用導(dǎo)電性金屬材料一體制作成薄板形狀。在此例子當(dāng)中，薄膜60的孔74也具有眼睛的形狀。
基板130在中央具有與薄膜60的孔74大致相同大小的橢圓形或長(zhǎng)圓形開口134。開口134是由朝其長(zhǎng)軸方向延伸的一對(duì)帶狀長(zhǎng)片部136、以及朝短軸方向延伸的一對(duì)短片部138所形成。
兩接觸片132是旋轉(zhuǎn)對(duì)稱地形成在開口134的中心周圍。各接觸片132包含在開口134內(nèi)從基板130的短片部138沿著基板130的長(zhǎng)片部136內(nèi)側(cè)，朝開口134的長(zhǎng)軸方向延伸的一對(duì)帶狀臂部140；以及在臂部140內(nèi)側(cè)從各臂部140的前端部朝開口134的短軸方向延伸成弧狀的接片部142。
各接片部142是從結(jié)合在臂部140的部位朝向臂部140的延伸方向當(dāng)中的前方及后方延伸成弧狀，并且將弧狀的內(nèi)側(cè)緣部作為可與突起電極26的圓錐狀頭部的側(cè)面接觸的接觸緣部144，并且使接觸緣部144朝向開口134的中心側(cè)，以形成可收容包含突起電極26的圓錐狀頭頂?shù)那岸瞬康氖杖菘臻g146。
兩接片部142的接觸緣部144具有相同的曲率半徑。然而，兩接觸緣部144是在連結(jié)接觸緣部144的兩端的方向(開口134的短軸方向)相對(duì)地位移。圖標(biāo)的例子當(dāng)中，兩接觸緣部144是使接近臂部140與基板130的結(jié)合部位側(cè)的端部比距離前述結(jié)合部位較遠(yuǎn)側(cè)的端部更位于開口134的中心側(cè)。
連接用接觸子72由于其本身為平面，因此與配線62同樣可憑借例如使用光阻劑制的屏蔽等適當(dāng)屏蔽的電鍍技術(shù)或蝕刻技術(shù)等，不需要使用復(fù)雜作業(yè)步驟的簡(jiǎn)單方法來(lái)制造。
如圖10所示，在配線基板20與接觸子塊24相互配合的狀態(tài)下，連接用接觸子72是將突起電極26的圓錐狀頭部，尤其是前端(頭頂)收容于收容空間146。
借此，突起電極26的圓錐狀頭部的側(cè)面會(huì)推壓連接用接觸子72的接觸緣部144，使連接用接觸子72的主要為各接觸片132的臂部140的部分彈性變形。因此，連接用接觸子72與突起電極26接觸，并且在突起電極26的圓錐狀頭部的側(cè)面形成連接用接觸子72所造成的接觸痕跡。但是，突起電極26的頭頂并不會(huì)受到連接用接觸子72的推壓，因此頭頂不會(huì)變形。
在開口134的中心周圍旋轉(zhuǎn)對(duì)稱形成接觸片132，或是使弧狀接觸緣部144朝向開口134的中心側(cè)時(shí)，連接用接觸子72與突起電極26的相對(duì)位置即可由接觸片132來(lái)決定，因此突起電極26的頭頂不會(huì)與連接用接觸子72接觸，而可使連接用接觸子72與突起電極26更為確實(shí)地接觸。
而且，當(dāng)接觸緣部144從臂部140與接片部142的結(jié)合部位朝臂部140的延伸方向當(dāng)中的前方及后方延伸成弧狀時(shí)，隨著接觸緣部144受到突起電極26推壓時(shí)的臂部140的彈性變形，接片部142的接觸緣部144會(huì)沿著突起電極26的側(cè)面延伸而更確實(shí)地與突起電極26接觸。
再者，當(dāng)接觸緣部144在開口134的短軸方向相對(duì)位移時(shí)，接觸緣部144會(huì)隨著臂部140的彈性變形，從位于開口134的中心側(cè)的端部開始與突起電極26的圓錐狀頭部的側(cè)面接觸，最后以接觸緣部144形成螺旋的一部分的方式與突起電極26接觸，結(jié)果可更確實(shí)地與突起電極26接觸。
尤其，當(dāng)兩接觸緣部144相對(duì)位移，使接近臂部140與基板130的結(jié)合部位側(cè)的接觸緣部144的端部比距離該結(jié)合部位較遠(yuǎn)側(cè)的端部更位于開口134的中心側(cè)時(shí)，接觸緣部144當(dāng)中，首先接近開口134的中心的端部會(huì)與突起電極26的側(cè)面接觸，另一端部側(cè)并未與突起電極26接觸，因此接片部142會(huì)隨著臂部140的彈性變形而確實(shí)變形，使接觸緣部144形成螺旋的一部分，如此接觸緣部144即可確實(shí)接觸于突起電極26。
本發(fā)明也可適用在集成電路以外的被檢查體，例如液晶顯示面板等的顯示用基板的通電實(shí)驗(yàn)所使用的接觸子塊及電氣連接裝置。尤其，將本發(fā)明應(yīng)用在顯示用基板的通電實(shí)驗(yàn)所使用的電氣連接裝置時(shí)，也可取代配線基板及框架而采用其它支撐機(jī)構(gòu)來(lái)作為用來(lái)安裝接觸子部特區(qū)的支撐機(jī)構(gòu)。
本發(fā)明并不限定于上述實(shí)施例，只要不脫離其旨意，可進(jìn)行各種變更。
組件代表符號(hào)說(shuō)明10電氣連接裝置12、16集成電路14、18焊墊電極20線基板22框架24、100 接觸子塊26突起電極28、62配線30、32螺絲構(gòu)件34保持件36、50彈性板 38間隔件40、132 接觸片 42電路組件44接著劑槽46、48、116、118凹部52推壓板54、84、86、120 母螺絲孔56、90、124 調(diào)整螺絲58、74、126 孔60薄膜62a、62b、62c 配線區(qū)域66 座部 64 接觸子68 探針組件 70 開縫72 連接用接觸子 76 電極板78 定位插銷 80 開縫82 段部 88 定位孔102鍔部 104延長(zhǎng)區(qū)域106輔助接觸子108輔助配線110座部 112開縫114輔助探針組件 122彈性體130基板 134開口136長(zhǎng)片部138短片部140臂部 142接片部144接觸緣部 146收容空間
權(quán)利要求
1.一種接觸子塊，其特征在于，包含具有下面及形成在與該下面相連的側(cè)面的后退部的棒狀保持件；以及具有在前述保持件的長(zhǎng)邊方向保持間隔的數(shù)個(gè)第1接觸子，并且以前述第1接觸子位于前述下面的狀態(tài)配置在前述保持件外圍的接觸片。
2.如權(quán)利要求1所述的接觸子塊，其特征在于，其中，前述后退部包含相對(duì)于前述下面而傾斜的一個(gè)以上的傾斜側(cè)面。
3.如權(quán)利要求1所述的接觸子塊，其特征在于，其中，前述保持件另具有與前述下面相對(duì)的上面，前述接觸片另具有在前述保持件的長(zhǎng)邊方向保持間隔，并且配置在與前述保持件的上面相對(duì)應(yīng)的部位的數(shù)個(gè)第2接觸子；以及以一對(duì)一的關(guān)系使前述第1及第2接觸子電性連接的數(shù)條配線。
4.如權(quán)利要求1所述的接觸子塊，其特征在于，其中，前述保持件另具有分別與各含有兩個(gè)以上的前述第1接觸子的一個(gè)以上的接觸子群對(duì)應(yīng)，然后在相對(duì)應(yīng)的接觸子群的配置范圍內(nèi)在該保持件的長(zhǎng)邊方向延伸，且至少朝前述下面開放的數(shù)個(gè)凹部；以及與各凹部對(duì)應(yīng)且與相對(duì)應(yīng)的凹部連通的一個(gè)以上的母螺絲孔，且在各凹部配置有與前述接觸片的對(duì)應(yīng)的接觸子群的配置區(qū)域抵接的彈性板；以及與該彈性板的上面抵接的推壓板，在各螺絲孔則配置有與前述推壓板的上面抵接的調(diào)整螺絲。
5.如權(quán)利要求1所述的接觸子塊，其特征在于，其中，前述保持件另具有在該保持件的長(zhǎng)邊方向保持間隔而延伸，且至少朝前述下面開放的數(shù)個(gè)凹部；以及與各凹部對(duì)應(yīng)且與相對(duì)應(yīng)的凹部連通的數(shù)個(gè)母螺絲孔，且在各凹部配置有與前述接觸片抵接的彈性板；以及與該彈性板的上面抵接的推壓板，在各螺絲孔則配置有與前述推壓板的上面抵接的調(diào)整螺絲。
6.如權(quán)利要求1所述的接觸子塊，其特征在于，其中，前述保持件另具有呈從前述側(cè)面朝側(cè)方突出的三角形狀，且具有與前述下面為同一面的底面的一個(gè)以上的鍔部，接觸片具有配置在前述底面的延長(zhǎng)區(qū)域；以及配置在該延長(zhǎng)區(qū)域的輔助接觸子。
7.如權(quán)利要求1到6中任一項(xiàng)所述的接觸子塊，其特征在于，其中，前述接觸片包含電氣絕緣性的片狀構(gòu)件、以及并列配置在該片狀構(gòu)件的數(shù)條配線，前述第1接觸子是配置在前述配線的一端部，前述片狀構(gòu)件具有使配置有前述第1接觸子的前述配線的端部發(fā)揮探針組件作用的數(shù)個(gè)開縫。
8.一種電氣連接裝置，其特征在于，包含一個(gè)以上權(quán)利要求1到6中任一項(xiàng)的接觸子塊；以及將該接觸子塊并列安裝成所述各第1接觸子位于下方狀態(tài)的支撐機(jī)構(gòu)。
9.如權(quán)利要求8所述的電氣連接裝置，其特征在于，其中，前述支撐機(jī)構(gòu)包含將數(shù)個(gè)接觸子塊并列安裝成所述各第1接觸子位于下方狀態(tài)的框架；以及具有數(shù)條配線，且下面安裝有前述框架的配線基板。
全文摘要
本發(fā)明揭示一種接觸子塊及電氣連接裝置，其主要課題在于設(shè)置電路組件的配置空間。本發(fā)明的接觸子塊包含具有下面及形成在與該下面相連的側(cè)面的后退部的棒狀保持件；以及具有在保持件的長(zhǎng)邊方向保持間隔的數(shù)個(gè)接觸子，并且以接觸子凹部(46、48、116、118)位于保持件下面的狀態(tài)配置在保持件外圍的接觸片。
文檔編號(hào)G01R3/00GK1467806SQ0310274
公開日2004年1月14日 申請(qǐng)日期2003年1月17日 優(yōu)先權(quán)日2002年6月4日
發(fā)明者長(zhǎng)谷川義榮 申請(qǐng)人:日本麥可羅尼克斯股份有限公司