專利名稱：電路布圖檢查裝置和電路布圖檢查方法及記錄媒體的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及可檢查在基板上例如在玻璃基板上形成的導電布圖是否良好的電路布圖檢查裝置和電路布圖檢查方法以及記錄媒體。
背景技術：
作為檢查基板上形成的電路布圖是否良好的方法，已知的有現有的針孔式觸點法。針孔式觸點法是讓檢查對象的導電布圖的兩端分別與針型測頭直接接觸，讓電流從一方的針型測頭流過，測出另一方針型測頭的電壓值，從而求出該導電布圖的電阻值，用這種方法進行兩端間的通路檢查的方式。
由于在針孔式觸點法中，直接與針型測頭接觸，因此具有SN比較高的優(yōu)點。但是，在對微細間距的基板進行檢查時，使針豎立較困難，另外，也很難確定針與目標布圖接觸的位置。
因此，提出了一種讓針型測頭與檢查對象的導電布圖的一端直接接觸，附加含有交流成分的檢查信號，另一端測頭不與導電布圖接觸，而是位于離開一定間隔的位置上，通過電容耦合對所述檢查信號進行檢測的非接觸-接觸并用的方法。
由于在這種非接觸-接觸并用的方法中，線路另一端的測頭不用像針型測頭那樣與線路圖直接接觸，因此對位置確定的精度要求較低。另外，由于多個線路可共用非接觸部，因此可減少測頭個數。這樣，可在導電布圖的間隔很微小時也能適用。
另外，還有一種檢查裝置用一對測頭，一邊對一根一根布圖的兩端進行描畫，一邊進行檢查。這種描畫方法的優(yōu)點是無需每一工件都制作專用的夾具。
但是，針孔式觸點法和非接觸-接觸并用的方法，由于設置在導電布圖兩端位置的測頭和對測頭發(fā)出的檢測信號的處理等，是受導電性布圖設置間隔控制的，導電布圖的形狀是被預先確定的，如果導電布圖不同，則必須制作與之相適應的夾具。
另外，在描畫方法中，導電布圖的間隔在一方的端部附近和另一方的端部附近必須是相同的，假如在一方端部附近和另一方端部附近，布圖的間隔不同，則不能描畫兩端，也就不能進行檢查。

發(fā)明內容
本發(fā)明的目的是為了解決上述問題而作出發(fā)明，提供例如使布圖兩端都為非接觸式的，即使是在一方端部附近和另一方端部附近布圖間隔不同的導電布圖，也可容易地對布圖是否良好進行檢查的電路圖檢查裝置。
作為達到上述目的一個裝置，具有例如以下的構成即，其特征在于，本發(fā)明是對具有至少端部為列狀排列、基部互相連接的梳形導電布圖，和至少一部分排列在前述梳狀導電布圖的列狀齒部布圖之間，與其他布圖非接觸的導電性條狀布圖群的基板的導電布圖的狀態(tài)進行檢查的電路布圖檢查裝置，具有在前述梳形導電布圖端部的前端附近，與前述梳形導電布圖端部和條狀布圖的各布圖，分別以非接觸方式具有耦合電容，可進行電容耦合的端部電容耦合裝置；與前述梳形導電布圖基部的所有公共連接布圖部，在規(guī)定寬度，以非接觸方式具有耦合電容，可進行電容耦合的公共部電容耦合裝置；以非接觸的方式，與在靠近前述梳形導電布圖公共連接布圖部的分離成梳形的列狀部分并且排列在前述列狀部之間的前述條狀布圖的前端附近，在規(guī)定寬度，具有耦合電容，可進行電容耦合的條狀部公共電容耦合裝置；向前述公共部電容耦合裝置和前述條狀部公共電容耦合裝置的任意一方，提供檢查信號的檢查信號提供裝置，利用前述端部電容耦合裝置和前述檢查信號提供裝置，檢測出前述各列狀齒部布圖前端和前述各條狀布圖的檢測信號的變化的檢測裝置；本發(fā)明可利用前述檢測裝置，通過向前述公共部電容耦合裝置提供檢查信號時的檢查結果，及向前述條狀部公共電容耦合裝置提供檢查信號時的檢查結果，檢查前述梳形導電布圖和前述條狀布圖群的狀態(tài)。
則例如，其特征在于，前述基板主要由玻璃構成，前述梳形導電布圖的列狀部和前述條狀布圖群在玻璃上相互按規(guī)定寬度形成近似條狀的導電布圖。
另外例如，其特征在于，前述各電容耦合裝置，包括與導電布圖具有規(guī)定間隙定位的非接觸板。或者，前述端部電容耦合裝置中的前述非接觸板不比應進行電容耦合的布圖的寬度寬。
再例如，其特征在于，前述公共部電容耦合裝置和前述條狀部公共電容耦合裝置的非接觸板，具有與該非接觸板相對的應進行電容耦合的導電布圖的面積大致相等的面積。
另外例如，其特征在于，檢查信號為交流信號，由前述公共部電容耦合裝置和前述條狀部公共電容耦合裝置的任意一方，向前述導電性布圖提供交流信號。
另外，其特征在于，本發(fā)明還是對與至少端部為列狀排列，基部互相連接的通用導電布圖，和交替排列在通用布圖的列狀布圖之間的與其他布圖非接觸的導電布圖群進行檢查的電路布圖檢查裝置，具有向前述通用布圖的基部、前述通用布圖基部連接的列狀部的全部、以及前述條狀布圖群端部的全部的任意一方提供信號，另一方維持通用電位，從前述通用布圖的列狀布圖端部和前述條狀布圖群的另一方端部，檢測出前述提供的交流信號，同時，繼續(xù)使前述通用布圖的基部、與前述通用布圖基部連接的列狀布圖部、以及前述條狀布圖群端部的交流信號提供部，維持在通用電位，同時，向維持通用電位的部分提供交流信號的交流信號提供控制裝置；和從前述通用布圖的列狀布圖端部及前述條狀布圖群另一方端部，檢測出前述被提供的交流信號的檢測裝置。
再者，其特征在于，本發(fā)明是檢查具有至少端部為列狀排列、基部相互連接的梳形導電布圖，和至少一部分排列在前述梳狀導電布圖的列狀齒部布圖之間，與其他布圖非接觸的導電性條狀布圖群的基板的導電布圖狀態(tài)的電路圖檢查裝置的電路圖檢查方法，以非接觸方式，向前述梳形導電布圖基部的所有公共連接布圖部，在規(guī)定寬度具有耦合電容，可進行電容耦合的公共部電容耦合裝置，或者，在靠近前述梳形導電布圖的公共連接布圖部的分離成梳齒形的列狀部分，并且排列在前述列狀部之間的前述條狀布圖前端附近，在規(guī)定寬度具有耦合電容，可進行電容耦合的條狀部公共電容耦合裝置的任意一方，提供交流信號，向檢查對象布圖輸出交流信號，另一方維持接地電平的狀態(tài)，利用在前述梳形導電布圖端部的前端附近，前述梳形導電布圖端部和條狀布圖的各布圖，分別以非接觸方式具有耦合電容，可進行電容耦合的端部電容耦合裝置，檢測前述輸出的交流信號，完成對所有檢查對象布圖的交流信號的檢測后，將前述交流信號提供公共部電容耦合裝置，或條狀部公共電容耦合裝置保持接地電平，同時，向維持接地電平的前述交流信號提供公共部電容耦合裝置，或條狀部公共電容耦合裝置提供交流信號，利用前述可電容耦合的端部電容耦合裝置，檢測前述輸出的交流信號。通過兩個檢測結果，可對檢查對象布圖是否良好進行檢查。
另外，本發(fā)明其特征在于，檢查至少端部為列狀排列、基部相互連接的通用布圖，和交替排列在通用布圖的列狀布圖之間，與其他布圖非接觸的條狀布圖群的電路圖檢查裝置的電路圖檢查方法，向前述通用布圖的基部、與前述通用布圖基部連接的列狀布圖的全部、以及前述條狀布圖群端部的全部的任意一方提供信號，另一方維持通用電位，從前述通用布圖的列狀布圖端部和前述條狀布圖群另一方端部，檢測前述提供的交流信號，同時，繼續(xù)將前述通用布圖的基部、與前述通用布圖基部連接的列狀布圖部、以及前述條狀布圖群端部的交流信號提供部，維持在通用電位，同時，向維持在通用電位的部分提供交流信號。從前述通用布圖的列狀布圖端部和前述條狀布圖群另一方端部，分別檢測前述提供的交流信號。


圖1是對本發(fā)明的一個實施例的電路布圖檢查原理進行說明的圖。
圖2是對本實施例的檢查原理進行說明的圖。
圖3是對本實施例的導電布圖的檢查控制進行說明的流程圖。
圖4是表示在本實施例中的導電性布圖與之相鄰接觸的短路基板的檢測例的圖。
圖5是表示在本實施例中的導電性布圖的一部分斷開開放(open狀態(tài))狀態(tài)的基板的檢測例的圖。
具體實施例方式
下面，參照附圖對本發(fā)明的一個實施例進行詳細說明。以下的說明是以對作為應檢查的布圖的，形成液晶顯示板的點矩陣顯示用板，在組裝前的點矩陣布圖是否良好進行檢查的電路檢查裝置為例進行的。
但是，本發(fā)明不局限于以下說明的例子。只要是在一方端部的端部布圖不同的布圖群的位置，可設置分別被公共電容耦合的通用傳感器的布圖，就不受限制。
圖1是對本發(fā)明的一個實施例的布圖檢查原理進行說明的圖。
在圖1中，10是設置有本實施例應檢查的導電布圖的配置的基板。在本實施例中，使用的是用作液晶顯示板的玻璃制基板。
在玻璃制基板10的表面，設置有由本實施例電路布圖檢查裝置進行檢查的用于形成點矩陣顯示板的導電布圖20、30。
20是由至少是列狀設置的列狀布圖20A和在列狀布圖20A的基部相互連接的連接布圖20B組成的梳形通用布圖。30是條狀布圖群，斜線所示的條狀布圖群30設置在通用布圖20的列狀布圖20A的各條狀列布圖之間，分別與獨立的通用布圖20也是非接觸的。
在圖1所示例中，除通用布圖20基部的連接布圖20B外，列狀設置的各布圖20A和條狀布圖群30的各條狀布圖的圖寬大致相同，各圖間隔也大致相等。
110是通用供電面板，可在檢查時以非接觸方式位于通用布圖20的連接布圖20B的對面，具有至少能覆蓋通用布圖20的連接布圖20B全域的寬度，具有耦合電容，通過電容耦合構成公共部電容耦合裝置，并將交流電源220的交流信號提供給通用布圖20。
120是條狀供電面板，以非接觸方式位于，與通用布圖20上與列狀布圖20A連接的布圖20B側基部、條狀布圖30的通用布圖20的基部方向端的前述通用供電面板110相鄰的位置，與通用供電面板110的大小大致相同，具有耦合電容，構成可電容耦合的條狀部公共電容耦合裝置，將交流電源230的交流信號提供給通用布圖20和各條狀布圖群30。
在本實施例中，通用供電面板110和條狀供電面板的面積大致相同，形成與該面板110、120相對的檢查對象導電性布圖的面積也大致相同，可抑制由交流信號提供板的變更所引起的檢測信號電平的變動。
130是以非接觸方式位于條狀布圖群30和通用布圖20的列狀布圖20A的兩方的端部附近的傳感器板，在傳感器板130上等間距地設置有傳感器131、132、133。
傳感器131、132、133，以至少具有通用布圖20的列狀部和條狀布圖群30的各導電布圖的設置間隔的多倍的間隔，設置在傳感器板130上。對各導電布圖具有耦合電容，構成可電容耦合的條狀部公共電容耦合裝置(圖1例所示雖為3個，該數量可為任意)。
傳感器131、132、133構成為，可檢測通用供電面板110或條狀供電面板120提供的、通過被供給的導電布圖發(fā)送的交流信號。
在本實施例中，通用供電面板110或條狀供電面板120的任意一方提供交流信號，另一方為接地電平，讓基板10沿箭頭方向以一定速度移動，傳遞給通用布圖20或條狀布圖群30的通用供電面板110或條狀供電面板120提供的交流信號通過各傳感器131、132、133檢測。
210可對設置在傳感器板130上的各傳感器131、132、133的電場強度變化作為檢測信號進行增幅整形，作為模擬信號，或者，根據需要進行模擬數字變換，可輸出相應的數字信號。
220和230是交流信號生成部，生成規(guī)定頻率的交流信號，將生成的交流信號經通用供電面板110或條狀供電面板120向通用布圖20或各條狀布圖群30提供。
圖1的例子中的交流信號生成部220、230是分別構成。如后述那樣交流信號向通用供電面板110或條狀供電面板120的任意一方供給，不是同時向雙方供電時，可共用交流信號發(fā)生部。
將交流信號生成部共用，向通用供電面板110或條狀供電面板120的任意一方提供交流信號，另一方也可控制連接成通用電位(如接地電位)。
本實施例的上述通用供電面板110和條狀供電面板120表面、傳感器板130，都被裝在一個傳感器面板上，將各通用供電面板110和條狀供電面板120表面與配置在傳感器板130上的傳感器131、132、133表面配置在同一平面內。
本實施例的導電布圖的檢查原理參照圖2進行說明。圖2是說明本實施例檢查原理的圖。圖2(A)表示檢查的導電布圖為正常的情況，(B)為布圖斷開的情況，(C)為與相鄰的導電布圖接觸的情況。
圖2(B)所示為，用傳感器檢測的在圖1的B、C位置的布圖斷開的示例，與導電布接觸的例子用傳感器檢測圖1的A所示的部位。
在圖2(A)所示的導電布圖正常的情況下，由交流信號生成部向一方的供電面板提供的交流信號(交流電)，經過導電布圖，由傳感器檢測，如右端所示，規(guī)定的檢測電平的檢測結果被傳感器輸出處理回路210輸出。
另外，如圖2(B)所示，在導電布圖的至少一處為斷開的情況下，由交流信號生成部向一方的供電面板提供的交流信號(交流電)，由于導電布圖的斷開而不能提供給傳感器，如右端所示，由傳感器檢測的信號僅為一點點或根本檢不出來。
另外，如圖2(C)所示，在與相鄰的導電布圖接觸等的情況下，由交流信號生成部向一方的供電面板提供的交流信號(交流電)，經過導電布圖，不僅傳到傳感器，還由于與相鄰布圖相對的供電面板被控制在接地電平，因此交流電流通過與相鄰導電布圖的接觸部，也流向相鄰導電布圖，如右端所示，由傳感器檢測的信號比正常時少，比斷開時大。
參照圖3的流程圖，對以上說明的本實施例的導電布圖的檢查控制進行說明。
在本實施例中，設置導電布圖的基板為玻璃基板，步驟S1，表面形成有例如圖1所示的檢查對象的導電布圖的玻璃基板，由不圖示的輸送裝置被輸送到本實施例的電路布圖檢查裝置的位置(工作位置)。
步驟S2，被輸送到本實施例電路布圖檢查裝置位置的檢查對象基板，由不圖示的夾具(基板放置臺)固定。
該夾具構成為通過XYZ角度的4軸控制，可在三維方向進行控制的結構。檢查對象基板一旦被上升到與裝有本實施例的各通用供電面板110、條狀供電面板120和傳感器131、132、133的傳感器面板當接的位置，那么距與傳感器面板當接位置一定距離的位置就被確定了。這種測定前的作為基準的定位，例如如圖1所示的位置關系。
由于檢查基板的測定位置已確定，可進行步驟S3，首先控制交流信號生成部230使條狀供電面板120接地。
然后是步驟S4，控制交流信號生成部220，向通用供電面板110提供交流信號。即，首先如圖1所示那樣，將通用供電面板120接地，然后向條狀供電面板110附加交流信號。
步驟S5，將檢查基板從圖1所示位置移向箭頭方向的下一測定位置。同時，在步驟S6，傳感器輸出電路210，將各傳感器131、132、133的檢測信號分別按時間序列檢測，記憶在不圖示的內藏存儲器中。
傳感器輸出處理電路210，將各傳感器131、132、133的檢測信號，用放大電路增幅至一定的信號電平，通過信號倍增器等變換成數字信號，存入內藏的存儲器。
步驟S7，調查檢查基板的移動距離是否符合傳感器配置間隔。若檢查基板的移動距離不符合傳感器配置間隔，則返回步驟5 S5繼續(xù)檢查。
在步驟S7中，當檢查基板的移動距離符合傳感器的配置間隔時，進入到步驟S8，控制交流信號生成部220，使通用供電面板110接地。
然后進入步驟S9，控制交流信號生成部230，向條狀供電面板120提供交流信號。使圖1所示的交流信號生成部220、230的開關向相反方向切換。
步驟S10，與S5一樣讓檢查基板向下一測定位置移動。同時，在步驟S11中，傳感器輸出電路210，將各傳感器131、132、133的檢測信號，分別按時間序列檢測，記憶在不圖示的內藏存儲器中。
步驟S12，同步驟S7一樣，調查檢查基板的移動距離是否符合傳感器的配置間隔。在檢查基板的移動距離不符合傳感器配置間隔的情況下，返回到步驟S10繼續(xù)檢查。
如果，在步驟S12中，檢查基板的移動距離符合傳感器的配置間隔時，前進至步驟S13。在步驟S6和步驟S11中，將各傳感器的檢測結果進行合成，將檢查結果轉變成規(guī)定電平的檢測信號，對檢測信號的狀態(tài)進行解析。
在步驟S14中，調查解析后的所有檢測信號的導電布圖位置上的傳感器檢測信號的信號電平是否是規(guī)定范圍的信號電平。如果，檢測信號的信號電平，是圖2(A)右端所示那樣的規(guī)定范圍內的信號電平，則前進至S15，當基板的所有導電性布圖正常時該處理結束。將檢查基板下降至輸送位置，放置在輸送帶上，然后被送走。在連續(xù)檢查的情況下，將下一塊檢查基板輸送至工作位置，此的再進行步驟S2以下的處理。
若在步驟S14中，檢測信號的信號電平不是規(guī)定范圍內的信號電平，則進入步驟S16，判定檢查對象基板配置布圖不良，處理結束。然后將檢查基板下降至輸送位置，放置在輸送帶上?；虮惠斔椭料乱徊襟E，或將不良基板從輸送帶上除去等的處理。
傳感器輸出表現為圖1下部所示的檢測信號的變化。本實施例實際的檢查裝置的檢查結果如圖4和圖5所示。圖4為與本實施例導電布圖相鄰接觸的短路基板的檢測示例，圖5為本實施例導電性布圖的一部分呈斷開狀態(tài)的基板的檢測示例。
在圖4和圖5中，上半部表示檢測信號的整體檢測結果，下半部表示部分放大的檢測結果。
圖4下半部左側導槽表示的部分是導電布圖與相鄰布圖短路部分的檢測結果。在向通用供電面板110提供交流信號時，由于檢測的是2個布圖相連時的交流信號，因此檢測的電平上升。
與此相對，在向條狀供電面板120提供交流信號時，由于一部分交流信號流向通用供電面板110，傳感器檢測的電平大大地減少了2個布圖的份。這樣，由于分別顯示出了兩方面檢測結果的特征，可以防止由于噪音等使檢測結果失誤的現象產生。
在圖5中，用“COM open”表示的檢測結果是通用布圖20的一部分斷開的布圖的檢測結果。用“FLOW open”表示的檢測結果是條狀布圖群30的一處導電布圖斷開打開的布圖的檢測結果。用“COM/FLOWopen”表示的檢測結果是相鄰的通用布圖20和條狀布圖30的一部分斷開的布圖的檢測結果。用“F·C·F”表示的檢測結果是相鄰的條狀布圖30、通用布圖20、與條狀布圖30連續(xù)一部分斷開的布圖的檢測結果。
如圖5所示，通過向通用供電面板110和條狀供電面板120兩方交替提供交流信號，將另一方接地，可以使傳感器131、132、133的檢測信號的波形有很大不同，得到不同的檢測結果，因此可以容易地對布圖的狀況進行判斷，容易地將產生不良的原因判定為特定。
特別是在連續(xù)的相鄰布圖斷開的情況下，通過在不同時間分別向通用供電面板110和條狀供電面板120兩方供電，傳感器131、132、133的檢測結果，顯示出與單獨布圖斷開時的檢測結果有很大區(qū)別的檢測信號波形，因此可容易地對布圖狀況進行判斷，容易地特定地判定不良產生的原因，決定是否可以修復。
特別是由于不僅一方檢測信號波形產生變化，而是兩個檢測波形都不同，因此可以容易地判別是檢測信號中混入了噪音時的檢測結果，還是布圖不良的檢測結果。這樣可提高基板檢查的可信度。
另外，在以上的說明中，如圖1所示那樣，通用布圖20和條狀布圖群30，從基部到端部以幾乎不變的等間距設置的。但是，在本實施例中，并不是相對于檢查對象布圖兩端附近設置供電端子和傳感器的，在基部側也不是每個布圖都有獨立的傳感器面板，而是使用按檢測對象布圖設置寬度大小的公共供電面板。
因此，對兩端部布圖的設置間距沒有限制，即使兩端部間布圖設置間距不同，也不用改造就可進行檢查。在基部，即使布圖是集中的基板，也可不改變控制，照常適用。
以上，是對檢查對象基板，只是設置成圖1所示布圖的示例進行說明的。檢查對象基板也可設置多個圖1所示檢查布圖，在后工序進行分離，形成商品化。在這種情況下，優(yōu)選給每組布圖配置供電面板和傳感器面板。傳感器輸出處理回路210，通過對各傳感器的檢測信號進行分時處理可各組公用。在形成并列的數組布圖時，在一塊基板上，縱橫方向可設置多組布圖。另外，形成的布圖不限于圖1所示的示例，當然也適用于點陣數量多的大型面板。圖4和圖5的示例，是并列4組相同布圖時的檢測例。
用以上說明的本發(fā)明，確實可檢測檢查布圖的不良。
而且，可容易地識別布圖的不良狀況。即使在檢查結果中混入噪音，也可通過對2個檢測信號進行比較，容易地去除。
權利要求
1.一種電路布圖檢查裝置，其特征在于，對至少端部為列狀排列、基部互相連接的梳形導電布圖和至少一部分排列在所述梳狀導電布圖的列狀齒部布圖之間，且與其他布圖非接觸的導電性條狀布圖群的基板的導電布圖的狀態(tài)進行檢查的電路圖檢查裝置，具有在所述梳形導電布圖端部的前端附近，所述梳形導電布圖端部和條狀布圖的各布圖，分別以非接觸方式具有耦合電容，可進行電容耦合的端部電容耦合裝置；所述梳形導電布圖基部的所有公共連接布圖部，在規(guī)定寬度以非接觸方式具有耦合電容，可進行電容耦合的公共部電容耦合裝置；在靠近所述梳形導電布圖公共連接布圖部的分離成梳形的列狀部分，并且排列在所述列狀部之間的所述條狀布圖前端附近，在規(guī)定寬度以非接觸方式具有耦合電容，可進行電容耦合的條狀部公共電容耦合裝置；向所述公共部電容耦合裝置和所述條狀部公共電容耦合裝置的任意一方，提供檢查信號的檢查信號提供裝置；檢測出由所述端部電容耦合裝置和所述檢查信號提供裝置提供的檢查信號對應的所述各列狀齒部布圖前端和所述各條狀布圖的檢測信號的變化的檢查裝置；利用所述檢測裝置，通過向所述公共部電容耦合裝置提供檢查信號時的檢查結果，以及向所述條狀部公共電容耦合裝置提供檢查信號時的檢查結果，檢查所述梳形導電布圖和所述條狀布圖群的狀態(tài)的電路圖檢查裝置。
2.根據權利要求1所述的電路布圖檢查裝置，其特征在于，所述基板主要由玻璃構成，所述梳形導電布圖的列狀部和所述條狀布圖群在玻璃上相互按規(guī)定寬度形成近似條狀的導電布圖。
3.根據權利要求1或權利要求2所述的電路布圖檢查裝置，其特征在于，所述各電容耦合裝置，包括與導電布圖具有規(guī)定間隙定位的非接觸板。
4.根據權利要求3所述的電路布圖檢查裝置，其特征在于，所述端部電容耦合裝置中的所述非接觸板不比應進行電容耦合的布圖的寬度寬。
5.根據權利要求3或權利要求4所述的電路布圖檢查裝置，其特征在于，所述公共部電容耦合裝置和所述條狀部公共電容耦合裝置的非接觸板，具有與該非接觸板相對的應進行電容耦合的導電布圖的面積大致相等的面積。
6.根據權利要求1至權利要求5中的任一項所述的電路布圖檢查裝置，其特征在于，檢查信號為交流信號，由所述公共部電容耦合裝置和所述條狀部公共電容耦合裝置的任意一方，向所述導電布圖提供交流信號。
7.一種電路布圖檢查裝置，其特征在于，對與至少端部為列狀排列、基部互相連接的通用導電布圖，與交替排列在通用布圖的列狀布圖之間的其他布圖非接觸的導電布圖群進行檢查的電路圖檢查裝置，具有向所述通用布圖的基部、所述通用布圖基部連接的列狀部的全部、以及所述條狀布圖群端部的全部的任意一方提供信號，而另一方維持通用電位，從所述通用布圖的列狀布圖端部和所述條狀布圖群的另一方端部檢測出所述提供的交流信號，同時，繼續(xù)將所述通用布圖的基部、連接在所述通用布圖基部的列狀布圖部、以及所述條狀布圖群端部的交流信號提供部，維持在通用電位，同時，向維持通用電位的部分提供交流信號的交流信號提供控制裝置；從所述通用布圖的列狀布圖端部及所述條狀布圖群另一方端部，檢測所述被提供的交流信號的檢測裝置。
8.一種電路布圖檢查方法，對具有至少端部為列狀排列、基部相互連接的梳形導電布圖和至少一部分排列在所述梳狀導電布圖的列狀齒部布圖之間、與其他布圖非接觸的導電性條狀布圖群的基板的導電性布圖的狀態(tài)進行檢查的電路布圖檢查裝置中的電路圖檢查方法，其特征在于，以非接觸方式，與所述梳形導電性布圖基部的所有公共連接布圖部，在規(guī)定寬度具有耦合電容，可進行電容耦合的公共部電容耦合裝置或在靠近所述梳形導電布圖的公共連接布圖部的分離成梳齒形的列狀部分，并且在排列在所述列狀部之間的所述條狀布圖前端附近，在規(guī)定寬度具有耦合電容，可控制進行電容耦合的條狀部公共電容耦合裝置的任意一方中提供交流信號，向檢查對象布圖輸出交流信號，另一方維持接地電平的狀態(tài)，由利用在所述梳形導電布圖端部的前端附近，所述梳形導電布圖端部和條狀布圖的各布圖，分別以非接觸方式具有耦合電容，可進行電容耦合的端部電容耦合裝置，檢測所述輸出的交流信號，完成對所有檢查對象布圖的交流信號的檢測后，將所述交流信號提供公共部電容耦合裝置或條狀部公共電容耦合裝置保持接地電平，同時，向維持接地電平的所述交流信號提供公共部電容耦合裝置，或條狀部公共電容耦合裝置提供交流信號，利用所述可電容耦合的端部電容耦合裝置，檢測所述輸出的交流信號；通過兩個檢測結果，可對檢查對象布圖是否良好進行檢查。
9.根據權利要求8所述的電路布圖檢查方法，其特征在于，所述各電容耦合裝置包括，被控制定位在與導電布圖具有規(guī)定間隙位置上的非接觸板。
10.根據權利要求8或權利要求9所述的電路布圖檢查方法，其特征在于，所述公共部電容耦合裝置和所述條狀部公共電容耦合裝置的非接觸板，具有與該非接觸板相對的應電容耦合的導電布圖的面積大致相同的面積，抑制因交流信號提供處的變化導致的檢測結果的變化。
11.一種電路布圖檢查方法，對至少端部為列狀排列、基部相互連接的通用布圖、交替排列在通用布圖的列狀布圖之間，與其他布圖非接觸的條狀布圖群的電路圖檢查裝置的電路圖檢查方法，其特征在于，向所述通用布圖的基部、與所述通用布圖基部連接的列狀布圖的全部、以及所述條狀布圖群端部的全部的任意一方提供信號，另一方維持通用電位，從所述通用布圖的列狀布圖端部和所述條狀布圖群另一方端部，檢測所述提供的交流信號，同時，繼續(xù)將所述通用布圖的基部、與所述通用布圖基部連接的列狀布圖部、以及所述條狀布圖群端部的交流信號提供部，維持在通用電位，同時，向維持在通用電位的部分提供交流信號。從所述通用布圖的列狀布圖端部和所述條狀布圖群另一方端部，分別檢測所述提供的交流信號的電路圖檢查方法。
12.為在計算機控制下實現權利要求8至權利要求11記載的任意一種電路圖檢查方法的記錄計算機程序的計算機可讀記錄媒體。
全文摘要
提供可確實且容易地檢測電路基板缺陷的電路檢查裝置。在對至少端部為列狀排列、基部相互連接的通用布圖(20)，和排列在通用布圖(20)的列狀布圖之間，與其他布圖非接觸的條狀布圖群(30)進行檢查時，向兩布圖交替提供交流信號，另一方接地電平，用另一方端部設置的傳感器(131)、(132)、(133)檢測交流信號。
文檔編號G01R31/304GK1511262SQ0281054
公開日2004年7月7日 申請日期2002年5月23日 優(yōu)先權日2001年5月24日
發(fā)明者山岡秀嗣, 石岡圣悟, 悟 申請人:Oht株式會社