專利名稱：導(dǎo)電性異物的檢查裝置及檢查方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及檢測附著于具有電絕緣性的被檢查物上或混入到其內(nèi)部的導(dǎo)電性異物的檢查裝置及檢查方法。
于是，在過去，在對玻璃布進行機織后，在對其進行印刷電路板的制造工序之前，檢查該玻璃布，確認導(dǎo)電性異物的存在，在確認有其存在的場合，將其進行去除處理。
作為上述玻璃布的檢查，目前，采用顯示光線檢查方法，在該方法中，對玻璃布照射檢查光，通過CCD照相機等拍攝其透射光，對所獲得的灰白度圖象，進行雙值化處理等的處理，檢測異物。
但是，上述現(xiàn)有的光線檢查方法具有以下的問題。即，玻璃纖維的截面呈圓形，或橢圓形狀，由于該截面形狀產(chǎn)生的透鏡效果，透射光發(fā)生折射，或衍射，通過與玻璃布的織物紋理疊加效果，在拍攝圖象上，獨立于導(dǎo)電性異物，產(chǎn)生因莫爾條紋、或衍射光柵的效果產(chǎn)生的灰白度。由此，無法區(qū)分因莫爾條紋、或衍射光柵的效果產(chǎn)生的高灰白度圖象，以及對應(yīng)于導(dǎo)電性異物的高灰白度圖象，不能夠正確地檢測導(dǎo)電性異物。
另外，在導(dǎo)電性異物具有透光性時，不能夠區(qū)分玻璃纖維和導(dǎo)電性異物，無法對其進行檢測。
還有另一種探測線圈式的金屬探測裝置，或X射線透射式金屬探測裝置，但是在為探測線圈式的金屬探測裝置時，具有難于檢測1mm以下的導(dǎo)電性異物的缺點，在為X射線透射式的金屬探測裝置時，具有安全上的問題，或裝置復(fù)雜且價格較高的缺點。
并且，通常，如果通過上述光線檢查，檢測出導(dǎo)電性異物，則根據(jù)該檢測結(jié)果，通過目視進行具體檢查，去除該導(dǎo)電性異物，但是該目視檢查或去除處理為非常煩雜且花費時間的作業(yè)，由此，如果無法正確地進行光線檢查的一次檢查，則此后的二次檢查(目視檢查)以后的作業(yè)是浪費的，檢查作業(yè)整體產(chǎn)生損失。
還有，除了上述的玻璃布以外，對于縫制的衣物等，具有在縫制時折損的縫針的尖端部混入到制品中的可能性，同樣對于這些制品，人們希望提供可正確地檢測導(dǎo)電性異物的檢查法。但是，上述的光線檢查法不能夠檢測混入到非透明的衣物中的導(dǎo)電性異物。
用于解決上述課題的本發(fā)明涉及一種導(dǎo)電性異物檢查裝置，該檢查裝置檢測附著于具有電絕緣性的被檢測物上，或混入到其內(nèi)部的導(dǎo)電性異物，其特征在于，該檢查裝置具有以與上述被檢測物對置的方式設(shè)置，輸出規(guī)定的檢測信號的磁性傳感器組；保持上述各磁性傳感器的保持機構(gòu)；將從上述各磁性傳感器輸出的檢測信號，與預(yù)定的參考值進行比較，對上述導(dǎo)電性異物的有無進行判定的判定機構(gòu)。
上述磁性傳感器由并排設(shè)置的兩個磁阻元件，以及與該磁阻元件對置地設(shè)置，向該磁阻元件施加偏磁場的永久磁鐵構(gòu)成，如果導(dǎo)電性異物通過施加于磁阻元件上的磁場內(nèi)部，則該磁場發(fā)生變化，相應(yīng)于該磁場的變化，從上述磁阻元件輸出的電壓信號(檢測信號)發(fā)生變化。于是，在導(dǎo)電性異物附著在被檢查物上，或混入到其內(nèi)部時，可從上述磁阻元件輸出的電壓信號的變化而感知該導(dǎo)電性異物的存在。
在本發(fā)明的導(dǎo)電性異物檢查裝置中，使磁性傳感器組與上述被檢查物對置，使它們沿被檢查物進行掃描，借助判定機構(gòu)，監(jiān)視從各磁性傳感器輸出的檢測信號，當其超過預(yù)定的參考值時，判定在被檢查物中混入有導(dǎo)電性異物。另外，參考值是對應(yīng)于作為檢測對象物的導(dǎo)電性異物的大小或材質(zhì)而確定的。
這樣，如果采用該導(dǎo)電性異物檢查裝置，則與上述的光線檢查法相比較，即使在檢查對象物為玻璃纖維這樣的具有透鏡效果的材料，或非透明材料的情況下，仍可正確地檢測混入到其內(nèi)的導(dǎo)電性異物。另外，由于可采用多個磁性傳感器檢查規(guī)定區(qū)域，故可有效地進行該檢查。
在被檢查物為玻璃布這樣的長尺寸的織物時，如本發(fā)明所述，還可包括以規(guī)定通路傳送作為具有電絕緣性的被檢查物的織物的傳送機構(gòu)；對該傳送機構(gòu)的動作進行控制的控制機構(gòu)，上述磁性傳感器組按照其檢測面與上述織物的傳送通路面對，并且與該織物對置的方式設(shè)置，其檢測區(qū)域按照遍及上述織物的寬度方向的整個區(qū)域的方式設(shè)置較好。如果采用該導(dǎo)電性異物檢查裝置，由于可通過磁性傳感器依次檢查通過傳送機構(gòu)傳送的長尺寸的織物，故可進行有效的檢查。
另外，作為按照磁性傳感器的檢測區(qū)域遍及織物的寬度方向的整個區(qū)域的方式設(shè)置磁性傳感器的形式，可例舉下述排列形式，即沿織物的寬度方向，成一排排列磁性傳感器，另外，沿織物的傳送方向成多排排列該磁性傳感器，各排的磁性傳感器的檢測區(qū)域在排與排之間依次重合，同時沿織物的寬度方向以規(guī)定間距錯開，磁性傳感器組整體的檢測區(qū)域無間隙地覆蓋織物的整個區(qū)域。
此外，本發(fā)明涉及導(dǎo)電性異物檢查裝置，其中，該判定機構(gòu)按照下述方式形成，即將從上述各磁性傳感器輸出的檢測信號幅度，與預(yù)定的參考時間進行比較，對檢測到上述導(dǎo)電性異物的信號與雜波進行判別。如果采用該導(dǎo)電性異物檢查裝置，可有效地從各磁性傳感器輸出的檢測信號中去除雜波，可提高導(dǎo)電性異物的檢測精度。另外，上述參考時間相應(yīng)于作為檢測對象物的導(dǎo)電性異物的尺寸，或織物的傳送速度確定。
并且，本發(fā)明涉及導(dǎo)電性異物檢查裝置，其中上述保持機構(gòu)具有移動機構(gòu)，該移動機構(gòu)使上述各磁性傳感器在與上述織物的傳送通路面對的位置，以及與其離開的位置之間移動。如果采用該裝置，由于可通過移動機構(gòu)的動作，使各磁性傳感器從與織物的傳送通路面對的位置，移動到與其離開的位置，故可容易地進行磁性傳感器的更換作業(yè)等的維修作業(yè)。
另外，本發(fā)明涉及導(dǎo)電性異物檢查裝置，該裝置還包括圖象生成機構(gòu)，該圖象生成機構(gòu)根據(jù)上述判定機構(gòu)的判定結(jié)果數(shù)據(jù)，以及通過上述長度測定機構(gòu)計算的傳送距離數(shù)據(jù)，生成與被檢測物上的導(dǎo)電性異物的有無相關(guān)的二維圖象數(shù)據(jù)；以及輸出通過上述圖象生成機構(gòu)生成的二維圖象數(shù)據(jù)的輸出機構(gòu)。如果采用該裝置，目視檢查員通過確認與被檢查物上的導(dǎo)電性異物的有無相關(guān)的二維圖象數(shù)據(jù)，可立即判別導(dǎo)電性異物所在的位置，可進行更加有效的檢查，去除作業(yè)。
此外，本發(fā)明涉及導(dǎo)電性異物檢查裝置，其中通過非磁性膜覆蓋上述磁性傳感器組的各檢測面。磁性傳感器越靠近導(dǎo)電性異物，其探測性能越高。因此，為了高精度地檢測導(dǎo)電性異物，則必須盡可能地將磁性傳感器靠近被檢查物。其中，如果使磁性傳感器與被檢查物直接接觸，則具有因與被檢查物摩擦而導(dǎo)致磁性傳感器損傷的危險。如果采用該導(dǎo)電性異物檢查裝置，由于磁性傳感器的檢測面被非磁性的膜覆蓋，故即使在使傳感器檢測面與被檢查物接觸的情況下，因為該檢測面通過膜保護，故防止傳感器的損傷，同時可使磁性傳感器與被檢查物之間的距離(間隙)保持一定，可對導(dǎo)電性異物進行高精度的檢測。
還有，本發(fā)明涉及導(dǎo)電性異物檢查裝置，其中上述膜中含有靜電防止劑。比如，在被檢查物為由玻璃纖維制成的玻璃布時，由于與膜的摩擦，容易帶靜電。如果玻璃布帶靜電，則具有吸附環(huán)境中的灰塵，在后面的制造工序中，產(chǎn)生問題的危險。如果采用該導(dǎo)電性異物檢查裝置，由于在膜中混入靜電防止劑，故獲得靜電抑制效果，可防止由于與膜的摩擦而使被檢查物帶靜電的情況。
本發(fā)明涉及導(dǎo)電性異物檢查裝置，其中上述保持機構(gòu)包括調(diào)整上述膜的張力的張力調(diào)整機構(gòu)。如果采用該檢查裝置，通過調(diào)整施加于膜上的張力，可使膜處于沒有松弛的狀態(tài)。另外，通過在與膜滑動接觸的狀態(tài)下傳送被檢查物，可使磁性傳感器的檢測面與被檢測物之間的間距總是保持一定。這樣，如果采用該檢查裝置，可進行檢測精度保持穩(wěn)定的檢查。
本發(fā)明涉及導(dǎo)電性異物檢查裝置，其包括連續(xù)地傳送具有電絕緣性的被檢測物的長尺寸的織物的傳送機構(gòu)；按照位于上述傳送機構(gòu)的兩端之間的位置，從厚度方向兩側(cè)夾持上述織物的方式設(shè)置的第1和第2電極；在上述第1，第2電極之間外加電壓的電壓外加機構(gòu)；以及檢測由于上述電壓外加機構(gòu)的電壓外加，是否在第1，第2電極之間產(chǎn)生通電或放電的檢測機構(gòu)。
如果采用該導(dǎo)電性異物檢查裝置，由于當導(dǎo)電性異物附著于上述織物上，或混入到其內(nèi)部時，通過外加于第1，第2電極之間的電壓，在電極之間產(chǎn)生通電或放電，故可借助檢測機構(gòu)簡單地檢測異物的有無。
在此情況下，檢測機構(gòu)也可按照檢測電極之間的通電的方式構(gòu)成，但是，當比如導(dǎo)電性異物在與電極稍稍接觸的狀態(tài)下混入織物內(nèi)部時，具有不能夠檢測該情況的可能性。由此，檢測機構(gòu)按照可檢測是否在電極之間發(fā)生放電的方式構(gòu)成較好。
還有，電壓外加機構(gòu)和檢測機構(gòu)既可為一體形成的裝置，也可為分別各自形成的裝置。在此情況下，作為一體形成的現(xiàn)有的裝置，例舉檢測火花放電的火花試驗器，檢測電暈放電的局部放電測定儀等。此外，作為檢測機構(gòu)，可采用檢測在電極之間發(fā)生通電或放電時所產(chǎn)生的電流、電壓、電荷變化中的任何一種的機構(gòu)，檢測伴隨火花等產(chǎn)生的聲音的機構(gòu)，檢測電磁波的機構(gòu)等。在此情況下，檢測機構(gòu)優(yōu)選根據(jù)需要，按是否超過預(yù)先確定的臨界值來進行檢測或檢驗。
再有，在作為被檢查物的織物比如無紡布，或布(織物)這樣的沿厚度方向存在連續(xù)的空氣空間的材料的情況下，由于在電極之間外加電壓，故容易產(chǎn)生因空氣的絕緣破壞造成的火花放電。由此，可采用火花試驗器、局部放電測定儀中的任何一種，但是，優(yōu)選采用檢測對象放電量較大的火花試驗器。另外，相應(yīng)于樹脂膜那樣的只要沒有小孔就難于產(chǎn)生絕緣破壞的材料，可采用具有能檢測僅有微量電流流動的電暈放電的靈敏度的局部放電測定儀。
另外，發(fā)明涉及的導(dǎo)電性異物檢查裝置，上述電壓外加機構(gòu)的外加電壓設(shè)定為下述電壓值，其中在上述導(dǎo)電性異物大于預(yù)定的參考值時，在上述第1，第2電極之間產(chǎn)生通電或放電，在小于上述參考值時，不產(chǎn)生通電或放電。
按照該導(dǎo)電性異物檢查裝置，在導(dǎo)電性異物大于參考值的尺寸時，在電極之間產(chǎn)生通電或放電，通過檢測機構(gòu)檢測該情況。這樣做的原因在于在導(dǎo)電性異物小于參考值時，異物的尺寸小到可忽略的程度，或處于異物沿可忽略的方向混入的狀態(tài)，不必一定進行檢測。
此外，在此情況下，還可相應(yīng)于作為檢測對象的異物的尺寸、形狀等，改變外加電壓的設(shè)定值。另外，相對電極之間距離(或織物的厚度T)的異物的大小越接近厚度T的尺寸、形狀，越可提高檢測異物時的檢測精度，可減少漏過異物的混入，或發(fā)生過度地檢測較小的異物這樣的情況。
還有，本發(fā)明涉及導(dǎo)電性異物檢查裝置，為了判別上述導(dǎo)電性異物位于織物的哪個位置，上述第1，第2電極中的至少1個電極由沿上述織物的寬度方向分離而設(shè)置的多個電極部件形成。
如果采用如此構(gòu)成的導(dǎo)電性異物檢查裝置，檢測機構(gòu)可檢測在與多個電極部件中的哪個電極部件相對應(yīng)的位置，發(fā)生通電或放電，可判別異物附著于或混入到織物的哪個位置。另外，通過顯示器等的顯示機構(gòu)，顯示已檢測的部位，由此使檢查作業(yè)的操作人員了解異物的檢測部位。
再有，本發(fā)明涉及導(dǎo)電性異物檢查裝置，上述多個電極部件通過相對于上述織物相互獨立設(shè)置的、分別與該織物的一側(cè)面均勻接觸的多塊電極板形成。通過該構(gòu)成，可使沿織物的寬度方向相互分離設(shè)置的各電極板分別與該織物的一側(cè)面均勻地接觸，當導(dǎo)電性異物與電極板接觸或接近該電極板時，可立即檢測到在電極之間，發(fā)生通電或發(fā)電的情況。
在此情況下，還可使各電極板在織物的長度方向相位錯開地以多種組合的方式設(shè)置。由此，可防止在沿絕緣性層的寬度方向間隔開的，比如，兩塊電極板之間，發(fā)生異物的檢測遺漏等情況，可在織物的整個表面范圍內(nèi)，穩(wěn)定地檢測異物混入的有無。
另外，對于進行工業(yè)生產(chǎn)的絕緣性的織物，通常，其寬度大于1m的織物較多，難于在超過1m的長度范圍內(nèi)，以均勻的微米精度的間距保持第1，第2電極之間的距離。于是，一個電極由劃分為多塊的電極板形成，使各電極板相對支承部件可三維運動地形成各電極板，由此，可將各電極板輕輕地壓靠于層的表面上，可使該電極間距基本上與織物的厚度相等。
由于作為當前使用的產(chǎn)品而制造的電氣電子部件用的絕緣性織物按照其厚度為微米單位的良好精度制造，故通過采用上述那樣的機構(gòu)，可確保沿織物的寬度方向，第1，第2電極具有均勻的電極間距。
此外，本發(fā)明涉及導(dǎo)電性異物檢查裝置，上述第1，第2電極中的至少另一個電極由與上述織物接觸而旋轉(zhuǎn)的滾輪形成。由此，因?qū)⑿D(zhuǎn)滾輪用作電極，故可保證順暢地使織物在電極之間行走，或?qū)ζ鋫魉?，并且在沿織物的厚度方向，混入產(chǎn)生導(dǎo)通故障的可能性較高的異物時，可使電極處于與所傳送的織物內(nèi)部的異物接觸，或接近該異物的狀態(tài)。
還有，本發(fā)明涉及的導(dǎo)電性異物檢查裝置，通過上述電壓外加機構(gòu)外加于第1，第2電極之間的電壓為直流電壓。即使在外加電壓為交流的情況下，從原理上說，仍可檢測上述異物，但是由于檢查對象為連續(xù)行走的織物，故在其通過電極之間的瞬間電壓為不斷變化的交流的情況下，還具有以穩(wěn)定的一定基準，檢測異物的情況。由此，按照本發(fā)明，可外加直流電壓。由此，可提高異物的檢測精度。
本發(fā)明涉及一種導(dǎo)電性異物檢查方法，該方法包括下述步驟在連續(xù)地傳送長尺寸的織物的傳送過程中，檢測導(dǎo)電性異物是否附著于上述織物上或混入到其內(nèi)部的異物檢測步驟；在檢測到上述導(dǎo)電性異物時，停止上述織物的傳送，使上述織物停止于預(yù)定的檢查位置的傳送停止步驟；去除在上述檢查位置附著于上述織物上或混入到其內(nèi)部的異物的導(dǎo)電性異物去除步驟；在去除上述異物后，再次開始上述織物的傳送的傳送再次開始步驟。
如果采用該導(dǎo)電性異物檢查方法，當在異物檢測步驟中，檢測到異物時，使織物的傳送停止，使該織物停止在預(yù)定的檢查位置，然后，在該檢查位置，使用放大鏡采用手動作業(yè)，或采用適合的工具等，去除檢測到的導(dǎo)電性異物。另外，在去除異物后，再次傳送織物。這樣，連續(xù)地對織物的整個表面進行檢查。
這樣的異物去除處理等在織物的整個制造步驟中，比如打包出廠前的最終檢查工序中進行較好，由此，可向客戶提供沒有混入導(dǎo)電性異物的高品質(zhì)的織物，可使可靠性提高。
還有，當作業(yè)者去除已檢測到的導(dǎo)電性異物時，可以較高的精度，確定異物存在于織物的哪個部位，這樣可容易地進行去除作業(yè)。由此，還對應(yīng)于織物的長度方向，確定異物的位置進行檢測，可通過顯示器等顯示該情況。另外，去除異物的方法是任意的，除了樹脂膜那樣，異物埋于內(nèi)部的情況以外，可在確定的位置看著放大鏡采用手動作業(yè)或采用適合的工具簡單地進行去除作業(yè)。
再有，作為檢測導(dǎo)電性異物的機構(gòu)，可例舉上述的磁性傳感器，上述第1和第2電極。
另外，作為本發(fā)明的被檢查物，可例舉以玻璃布、由天然纖維、合成纖維形成的布帛為代表的實例，但是只要為可明確地判斷導(dǎo)電性異物，可由任何材質(zhì)形成。
圖2為以放大方式表示設(shè)置有本實施方式的固定檢測裝置的部分放大圖。
圖3為以放大方式表示圖2中的A部的放大圖。
圖4為表示本實施方式的磁性傳感器的設(shè)置狀態(tài)的圖，該圖為圖3中的箭頭I方向的側(cè)視圖。
圖5為表示本實施方式的固定檢測裝置的基本結(jié)構(gòu)的方框圖。
圖6為表示本實施方式的移動檢測裝置的正視圖。
圖7為圖6的仰視圖。
圖8為表示本實施例的移動檢查裝置的基本結(jié)構(gòu)的方框圖。
圖9為表示本發(fā)明的第2實施方式的導(dǎo)電性異物檢查裝置的整體結(jié)構(gòu)圖。


圖10為從圖9中的箭頭II-II方向看到的電極滾輪和各電極板等的平面圖。
圖11為以放大方式表示圖9所示的玻璃布的織物結(jié)構(gòu)的說明圖。
圖12為以放大方式表示將圖9所示的玻璃布夾持于電極滾輪和電極板之間的狀態(tài)的主要部分的剖視圖。
圖13為表示混入到玻璃布內(nèi)部的異物小到可忽略程度時的，與圖12基本相同的主要部分的剖視圖。
圖14為第2實施方式的導(dǎo)電性異物檢查裝置的電路圖。
圖15為表示第2實施方式的導(dǎo)電性異物檢查裝置的處理順序的流程圖。
圖16為表示第3實施方式的導(dǎo)電性異物檢查裝置的整體結(jié)構(gòu)圖。
圖17為從圖16中的箭頭III-III方向看到的第3實施方式的電極滾輪和各電極板等的平面圖。
符號說明1(導(dǎo)電性異物)檢查裝置；2抽出裝置；4玻璃布輥；5卷取裝置；7玻璃布輥；10固定檢測裝置；11傳感機構(gòu)；12磁性傳感器；15處理裝置；16放大器；17比較器；18缺陷檢測部；19驗布控制部；20圖象生成部；21長度測定部；23控制裝置；24警報機構(gòu)；46樹脂膜；50移動檢測裝置；51傳感機構(gòu)；56處理裝置；57放大器；58比較器；59缺陷檢測部；60警報機構(gòu)；102卷出輥(傳送機構(gòu))；103卷取輥(傳送機構(gòu))；104，105，106，123轉(zhuǎn)換滾輪；107，121，122電極滾輪(第1電極)；108，124，125電極板(第2電極)；110連接件；112去處工位(檢查位置)；113照明裝置；114長度測定儀；115電源部(電壓外加機構(gòu))；116檢測器(檢測機構(gòu))；117控制裝置；118啟動開關(guān)；119顯示部；120驅(qū)動器(驅(qū)動裝置)；F導(dǎo)電性異物。
(第1實施方式)
首先，根據(jù)圖1～8，對本發(fā)明的第1實施方式進行描述。
如圖1和圖5所示，本實例的導(dǎo)電性異物檢查裝置(下面簡稱為“檢查裝置”)1包括從玻璃布輥4抽出玻璃布W的抽出裝置2；按照經(jīng)過規(guī)定的通路的方式，對該已抽出的玻璃布W進行導(dǎo)向的導(dǎo)向滾輪9；呈卷狀卷取玻璃布W的卷取裝置5；以可旋轉(zhuǎn)的方式支承上述導(dǎo)向滾輪9的架臺8；對卷取裝置5的動作進行控制的控制裝置23；以及檢測附著于傳送的玻璃布W上或混入到該布內(nèi)部的導(dǎo)電性異物的固定檢測裝置10和移動檢測裝置50等。
上述卷取裝置5按照支承輥6，并且通過電動馬達等，向該輥6傳遞旋轉(zhuǎn)動力的方式構(gòu)成，上述玻璃布W通過供給該輥6的動力，從上述玻璃布輥4抽出(拉出)，經(jīng)各導(dǎo)向滾輪9導(dǎo)向，沿規(guī)定的通路傳送，然后，將該布卷取于輥6上，使其形成于玻璃布輥7上。上述抽出裝置2這樣形成，即其以可旋轉(zhuǎn)的方式支承玻璃布輥4的滾輪3，并且相對該滾輪3沿抽出方向的旋轉(zhuǎn)，施加控制力，通過該控制力抽出該布，對傳送的玻璃布W施加規(guī)定的張力。
如圖5所示，上述固定檢測裝置10由具有多個磁性傳感器12的傳感機構(gòu)11，和處理從各磁性傳感器12輸出的檢測信號的處理裝置15構(gòu)成。
如圖3和圖4所示，上述傳感機構(gòu)11包括多個傳感器12，該多個傳感器12中的檢驗部12a露出于外部，這些傳感器12在排成一排的狀態(tài)下保持于容器13中，上述傳感機構(gòu)11中的多個沿與玻璃布W的傳送方向相垂直的方向(玻璃布W的寬度方向)排成一排，另外，傳感機構(gòu)11沿玻璃布W的傳送方向，排成多排(11a，11b，11c，11d，11e，11f)，象這樣排成多排的傳感機構(gòu)11組固定于基座31上。
對于結(jié)構(gòu)，在圖中未特別示出，但是上述磁性傳感器12包括并排設(shè)置的兩個磁阻元件，以及與該磁性電阻器對置，將偏磁施加于該磁阻元件上的永久磁鐵，如果導(dǎo)電性異物通過施加于磁阻元件上的磁場內(nèi)部，則該磁場發(fā)生變化，相應(yīng)于該磁場的變化，從上述磁阻元件輸出的電壓信號(檢測信號)會發(fā)生變化。
此外，如圖4所示，單一的磁性傳感器12的檢測區(qū)域沿玻璃布W的寬度方向，具有寬度d，各排(11a，11b，11c，11d，11e，11f)的磁性傳感器12的檢測寬度區(qū)域d象圖示的那樣，在排與排之間依次重合，同時沿玻璃布W的寬度方向，以規(guī)定間距錯開，在全部的上述多個磁性傳感器12中，沿玻璃布W的寬度方向，以無間隙的方式，形成寬度D的檢測區(qū)域。另外，玻璃布W按照通過檢測區(qū)域?qū)挾菵內(nèi)部的方式傳送。
如圖3所示，上述基座31固定于支承架32上。另外，在支承架32上，以規(guī)定的間距立設(shè)一對對置板37，40，該基座31設(shè)置于該對置板37，40之間。
在其中一個對置板37上，固定有固定件39，在該固定件39上，還固定有固定件38。此外，在另一對置板40上，也同樣固定有固定件42，按照與其對置的方式，設(shè)置有固定件41。固定件42，41通過穿過該固定件42，41的調(diào)整螺栓43；以螺紋方式與該調(diào)整螺栓43嵌合的螺母44；以及在由上述調(diào)整螺栓43穿過的狀態(tài)下，設(shè)置于固定件42，41之間的壓縮螺旋彈簧45相互嵌合，通過緊固螺母44，固定件41接近固定件42，通過擰松螺母44，可使固定件41離開固定件42。
還有，非磁性的樹脂膜46的一端通過粘接膠帶等粘接于上述固定件38上，同樣，樹脂膜46的另一端粘接于上述固定件41上，上述樹脂膜46處于跨于一對對置板37，40之間的狀態(tài)。另外，通過適當?shù)鼐o固上述螺母44，對樹脂膜46施加張力，各磁性傳感器的檢測面與該樹脂膜46接觸，由此，該檢測面處于被覆蓋的狀態(tài)。
如圖2所示，上述支承架32通過鉸鏈33，以可自由擺動的方式安裝于沿橫向架設(shè)于形成架臺8的縱向支架8a，8a之間的橫向支架35上，在該圖中由實線所示的立起狀態(tài)，支承架32的頂端部固定于固定架34上，磁性傳感器12的檢測面處于與玻璃布W的傳送通路面對的狀態(tài)，即覆蓋磁性傳感器12的檢測面的樹脂膜46處于與玻璃布W滑動接觸的狀態(tài)，另一方面，如雙點劃線所示，解除上述固定架34的固定，處于臥倒的狀態(tài)時，可通過立設(shè)于架臺8上的支柱36支承。
如根據(jù)以上的描述容易理解的那樣，上述樹脂膜46起到使磁性傳感器12的檢測面免受與玻璃布W滑動接觸的磨耗損傷的作用，但是該樹脂膜46的材質(zhì)優(yōu)選為不妨礙磁性傳感器12的異物檢測的材料，其厚度優(yōu)選在0.05～0.15mm的范圍內(nèi)。因為如果膜厚小于0.05mm，則磨耗耐久面的性能變得極差，反之，如果膜厚大于0.15mm，則磁性傳感器12的檢測面與玻璃布W之間的距離過大，磁性傳感器12的檢測靈敏度降低。另外，玻璃布W容易在與另一物體摩擦的作用下帶上靜電。由此，上述樹脂膜46優(yōu)選為具有防靜電劑(比如，表面活性劑)的防靜電效果的膜。
如圖5所示，上述處理裝置15由放大器16，比較器17，缺陷檢測部18，驗布控制部19，圖象生成部20和長度測定部21形成。另外，上述放大器16和比較器17收裝于上述基座31內(nèi)，缺陷檢測部18，驗布控制部19，圖象生成部20和長度測定部21獨立于前述部件而適當?shù)卦O(shè)置。
上述放大器16為將從上述各磁性傳感器12輸出的檢測信號放大并輸出的處理器。另外，上述比較器17為比較機構(gòu)，其將預(yù)定的參考值與從上述放大器16輸出的各檢測信號進行比較，當上述檢測信號超過上述參考值時，剛好在該時間生成矩形波(脈沖信號)，將其發(fā)送給上述缺陷檢測部18。上述參考值為用于檢測上述導(dǎo)電性異物的臨界值，如果磁性傳感器12檢測出導(dǎo)電性異物，則從該磁性傳感器12輸出其值大于上述參考值的檢測信號。
上述缺陷檢測部18接收從上述比較器17發(fā)送來的各信號，當包含在這些信號中的脈沖幅度超過預(yù)定的參考時間時，判定存在導(dǎo)電性異物，將導(dǎo)電性異物的存在確認信號，與對應(yīng)于上述檢測信號的磁性傳感器12的地址信息(address信息)一起，發(fā)送給驗布控制部19和圖象生成部20。在從上述磁性傳感器12輸出的檢測信號中，還包括雜波，在由比較器17生成的矩形波中，也包括雜波成分，但是該雜波成分通過缺陷檢測部18的上述處理去除。即，由于雜波成分的矩形波的脈沖幅度較短，故可將該矩形波的脈沖幅度與上述參考時間比較，將短于該參考時間的脈沖幅度的矩形波看作雜波，由此，通過上述處理，將雜波去除。另外，上述參照時間對應(yīng)于作為檢測對象的導(dǎo)電性異物的尺寸，或玻璃布的傳送速度而確定。
上述長度測定部21為計算玻璃布W的傳送距離的處理部，如圖2所示，從附設(shè)于導(dǎo)向滾輪9上的旋轉(zhuǎn)編碼器47，接收旋轉(zhuǎn)位置信號，根據(jù)已接收的旋轉(zhuǎn)位置信號，計算玻璃布W的傳送距離。導(dǎo)向滾輪9與沿箭頭方向傳送的玻璃布W接觸，伴隨該玻璃布W的移動，實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)。因此，通過將由旋轉(zhuǎn)編碼器47檢測的旋轉(zhuǎn)次數(shù)，與導(dǎo)向滾輪9的圓周長度相乘，可計算玻璃布W的傳送距離。另外，長度測定部21逐次地將上述那樣計算的玻璃布W的傳送距離發(fā)送給驗布控制部19和圖象生成部20。
上述驗布控制部19從上述缺陷檢測部18接收信號，在該信號為確認導(dǎo)電性異物存在的信號時，馬上將減速信號發(fā)送給控制裝置23，并且根據(jù)從上述長度測定部21發(fā)送的玻璃布W的傳送距離數(shù)據(jù)，計算從通過磁性傳感器12檢測到導(dǎo)電性異物的時刻開始的玻璃布W的傳送距離，根據(jù)該計算結(jié)果，確認玻璃布W中的具有導(dǎo)電性異物的部分是否到達規(guī)定的目視檢查位置(圖1的M位置)，當?shù)竭_目視檢查位置時，向控制裝置23，發(fā)送停止信號。驗布控制部19從缺陷檢測部18，接收檢測到導(dǎo)電性異物的磁性傳感器12的地址信息，對哪個磁性傳感器12檢測到導(dǎo)電性異物進行判定，從各磁性傳感器12到上述目視檢查位置的距離可預(yù)先計算，由此，如上所述，可根據(jù)從上述長度測定部21發(fā)送的玻璃布W的傳送距離數(shù)據(jù)，確認玻璃布W中的具有導(dǎo)電性異物的部分是否到達規(guī)定的目視檢查位置。
上述控制裝置23從驗布控制部19接收上述減速信號，使卷取裝置5的卷取速度減慢，并且向警報機構(gòu)24發(fā)送信號，進行警報蜂鳴器的鳴叫或警報燈的點亮等設(shè)置于警報機構(gòu)24中的適合的警報動作。另外，從驗布控制部19，接收上述停止信號，停止卷取裝置5的驅(qū)動。
上述圖象生成部20從上述缺陷檢測部18接收檢測到導(dǎo)電性異物的磁性傳感器12的地址信息和導(dǎo)電性異物的存在確認信號，另外，從長度測定部21接收與玻璃布W的傳送距離有關(guān)的數(shù)據(jù)，根據(jù)這些數(shù)據(jù)，生成以玻璃布W的寬度方向和縱向(傳送方向)為各坐標軸的二維圖象數(shù)據(jù)。即，根據(jù)圖4所示的磁性傳感器12組的設(shè)置信息和探測磁性傳感器12的地址信息，確定玻璃布W的寬度方向的導(dǎo)電性異物的位置信息，同樣，根據(jù)磁性傳感器12組的設(shè)置信息，探測磁性傳感器12的地址信息和玻璃布W的傳送距離數(shù)據(jù)，確定玻璃布W的傳送方向的導(dǎo)電性異物的位置信息，根據(jù)這些位置信息，生成表示玻璃布W的導(dǎo)電性異物存在位置的二維圖象數(shù)據(jù)。另外，顯示器22與處理裝置15連接，通過圖象生成部20生成的二維圖象數(shù)據(jù)可顯示于該顯示器22中。還有，也可通過適合的打印機，打印該二維圖象數(shù)據(jù)，此外，還可將其保存在適合的記錄媒體上。
如圖6～8所示，上述移動檢測裝置50由具有多個磁性傳感器52的傳感機構(gòu)51；對各磁性傳感器52輸出的檢測信號進行處理的處理裝置56；以及保持該傳感機構(gòu)51和處理裝置56的容器54構(gòu)成。
如圖6和圖7所示，傳感機構(gòu)51的組成與前述的傳感機構(gòu)11相同，其包括多個磁性傳感器52，在這些磁性傳感器52中，檢測部52a露出于外部，并且這些磁性傳感器在排成一排的狀態(tài)下，保持在容器53中。另外，如圖7所示，容器54具有把手55，如上所述，保持傳感機構(gòu)51，并且在其內(nèi)部收裝有處理裝置56。
如圖8所示，上述處理裝置56由放大器57，比較器58，缺陷檢測部59和警報機構(gòu)60形成。該放大器57與前述的放大器16相同，為對從各磁性傳感器52輸出的檢測信號進行放大并輸出的處理器，比較器58也與前述的比較器17相同，為對預(yù)定的參考值與從上述放大器57輸出的各檢測信號進行比較，當該檢測信號超過參考值時，剛好在該時間生成矩形波(脈沖信號)，將其發(fā)送給缺陷檢測部59的比較器。
再有，上述缺陷檢測部59為進行與上述缺陷檢測部19基本相同的處理的處理部，其接收從比較器58發(fā)送的各信號，當包括在這些信號中的脈沖信號超過預(yù)定的參考時間時，判定導(dǎo)電性異物存在，向警報機構(gòu)60發(fā)送導(dǎo)電性異物存在的確認信號。另外，警報機構(gòu)60接收來自缺陷檢測部59的上述信號，進行警報蜂鳴器的鳴叫或警報燈的點亮等警報機構(gòu)60中設(shè)置的適合的警報動作。
另外，形成上述固定檢測裝置10的比較器17和缺陷檢測部18，以及形成上述移動檢測裝置50的比較器58和缺陷檢測部59相當于本發(fā)明的判斷機構(gòu)。
如果采用具有以上構(gòu)成的本實例的檢查裝置1，如下所述，進行作為檢查對象的玻璃布W的檢查。此外，從玻璃布輥4處，抽出玻璃布W的前端部，依次經(jīng)過導(dǎo)向滾輪9，將其卷取到輥6上。
首先，通過控制裝置23，對卷取裝置5進行驅(qū)動、控制，由此，依次從玻璃布輥4處，抽出玻璃布W，該布經(jīng)各導(dǎo)向滾輪9導(dǎo)向，沿規(guī)定的通路行走，然后，卷取到輥6上，形成于玻璃布輥7上。另外，在行走期間，通過固定檢測裝置10，對玻璃布W是否具有導(dǎo)電性異物進行檢查。
即，在固定檢測裝置10中，從磁性傳感器12輸出檢測信號，該磁性傳感器12通過樹脂膜與行走過程中的玻璃布W滑動接觸，該信號通過放大器16放大，然后，通過比較器17，將其與規(guī)定的參考值進行比較，當檢測信號超過參考值時，剛好在此時間生成矩形波，將其發(fā)送給缺陷檢測部18。接著，缺陷檢測部18在從比較器17發(fā)送來的信號中包含的脈沖幅度超過預(yù)定的參考時間時，判定存在導(dǎo)電性異物，將導(dǎo)電性異物的存在確認信號，與和該檢測信號相對應(yīng)的磁性傳感器12的地址信息一起，發(fā)送給驗布控制部19和圖象生成部20。
驗布控制部19在從缺陷檢測部18接收的信號為確認導(dǎo)電性異物存在的信號時，馬上向控制裝置23發(fā)送減速信號，然后，根據(jù)從上述長度測定部21發(fā)送的玻璃布W的傳送距離數(shù)據(jù)，確認玻璃布W中的具有導(dǎo)電性異物的部分是否到達目視檢查位置，當該部分到達目視檢查位置時，向控制裝置23發(fā)送停止信號。另外，圖象生成部20從缺陷檢測部18接收檢測到導(dǎo)電性異物的磁性傳感器12的地址信息和導(dǎo)電性異物的存在確認信號，從長度測定部21接收與玻璃布W的傳送距離有關(guān)的數(shù)據(jù)，根據(jù)這些數(shù)據(jù)，生成表示玻璃布W的導(dǎo)電性異物的存在位置的二維圖象數(shù)據(jù)，將其顯示于顯示器22中。
控制裝置23從驗布控制部19接收減速信號，使卷取裝置5的卷取速度減慢，并且向警報機構(gòu)24發(fā)送信號，發(fā)出警報鳴叫，從驗布控制部19接收停止信號，停止卷取裝置5的驅(qū)動。
如果從警報機構(gòu)24發(fā)出警報聲音，則檢查員根據(jù)顯示于顯示器22中的圖象信息，確認導(dǎo)電性異物所存在的位置，然后，如圖1所示，攜帶移動檢測裝置50，將其移動到目視檢查位置，通過移動檢測裝置50，對根據(jù)該圖象信息確定的導(dǎo)電性異物的存在位置附近仔細地進行檢查。即，檢查員在使移動檢查器50的磁性傳感器檢測部52a與玻璃布W接觸的同時，沿其對該布進行掃描，檢測導(dǎo)電性異物，如果從警報機構(gòu)60發(fā)出警報聲音，則更加仔細地觀察該檢查部，檢測出導(dǎo)電性異物并將其去除。
接著，象上述那樣，在將導(dǎo)電性異物完全去除后，再次通過控制裝置23，驅(qū)動卷取裝置5，之后，以同樣方式，對全部的玻璃布W，進行檢查。
象上面具體描述的那樣，如果采用本實例的檢查裝置1，由于通過磁性傳感器12，52，檢測導(dǎo)電性異物，故與過去的光學(xué)檢查法相比較，即使在檢查對象物具有玻璃纖維這樣的透鏡效果、或非透明的情況下，仍可正確檢測混在其內(nèi)的導(dǎo)電性異物，另外，由于可通過多個磁性傳感器12，52檢查規(guī)定區(qū)域，故可有效地進行該檢查。此外，由于按照通過規(guī)定通路的方式，使長尺寸的玻璃布W行走的同時，對其進行檢查，故可有效地檢查該長尺寸的檢查對象物。
此外，在判定導(dǎo)電性異物存在時，由于將導(dǎo)電性異物所存在的部分自動地傳送到目視檢查位置，并且將表示玻璃布W上的導(dǎo)電性異物位置的二維圖象信息顯示于顯示器22中，故可有效地進行固定檢測裝置10的一次檢查后的目視檢查和導(dǎo)電性異物的去除作業(yè)。
為了高精度地檢測導(dǎo)電性異物，必須盡可能地使磁性傳感器12靠近玻璃布W。如果使磁性傳感器12與玻璃布W直接接觸，則由于其與玻璃布W的摩擦，有磁性傳感器12發(fā)生損傷的危險。如果采用本實例的檢查裝置1，由于磁性傳感器12的檢測面被非磁性的樹脂膜46覆蓋，故通過該樹脂膜46，保護磁性傳感器12的檢測面。由此，可一邊防止磁性傳感器12的損傷，一邊高精度地進行導(dǎo)電性異物的檢測。
還有，如果玻璃布W帶有靜電，則吸附環(huán)境中的灰塵，在后面的制造工序中，有產(chǎn)生問題的危險，但是由于在上述樹脂膜46中混入有表面活性劑，故借助該表面活性劑，呈現(xiàn)靜電抑制效果，可防止因與樹脂膜的摩擦而產(chǎn)生的玻璃布W帶靜電的情況。另外，在本實施例的檢查裝置1中，由于可調(diào)整作用于樹脂膜46的張力，可使樹脂膜46處于沒有松弛的狀態(tài)，故可使磁性傳感器12的檢測面與玻璃布W之間的間距總是保持一定，由此，可保持穩(wěn)定的檢測精度。
再有，由于在固定檢測裝置10中，可使各磁性傳感器12在面對玻璃布W的傳送通路的位置，與離開該位置的位置(退回位置)之間擺動，故通過將固定檢測裝置10擺動到退回位置，可容易地進行樹脂膜46，磁性傳感器12的更換作業(yè)等。
另外，在被檢測物為較短尺寸時，雖然采用上述移動檢測裝置50進行檢查，但是操作方便，效果良好。
(第2實施方式)下面通過圖9～圖15，對本發(fā)明的第2實施方式進行說明。
在圖9中，102表示卷繞有玻璃布W的卷出輥，該卷出輥102用于將玻璃布W送入比如出廠前的檢查工序。另外，通過來自后述的驅(qū)動器120的輸出，使卷出輥102旋轉(zhuǎn)，連續(xù)地將玻璃布W朝向后述的卷取輥103，沿箭頭E方向傳送。
103表示與卷出輥102一起形成玻璃布W的傳送機構(gòu)的卷取輥，該卷取輥103設(shè)置于與卷出輥以較大距離間隔開的位置，該卷取輥103通過來自驅(qū)動器120的輸出而旋轉(zhuǎn)驅(qū)動，由此，連續(xù)卷取從卷出輥102上展開的玻璃布W。
此外，在卷出輥102和卷取輥103之間，用于改變玻璃布W的傳送方向的轉(zhuǎn)換滾輪104，105，106與后述的電極滾輪107一起設(shè)置，這些轉(zhuǎn)換滾輪104～106由大于玻璃布W的寬度的長滾輪形成。這樣，作為傳送對象的玻璃布W在轉(zhuǎn)換滾輪104，105，電極滾輪107和轉(zhuǎn)換滾輪106的位置，一邊按照90度的程度被轉(zhuǎn)換傳送方向，一邊被朝向卷取輥103一側(cè)傳送。
107為構(gòu)成設(shè)置于轉(zhuǎn)換滾輪105，106之間的第1電極的電極滾輪，該電極滾輪107由呈圓柱狀，或圓筒狀的導(dǎo)電性的金屬滾輪等構(gòu)成，該滾輪長度大于玻璃布W的寬度。這樣，電極滾輪107構(gòu)成與后述的電極板108對置的接地側(cè)電極，其外周面(表面)以較大的面積，與玻璃布W的內(nèi)側(cè)均勻地接觸。
再有，電極滾輪107如圖10所示，具有旋轉(zhuǎn)軸107a，通過以該軸為中心而使該滾輪旋轉(zhuǎn)，將從轉(zhuǎn)換滾輪105基本沿水平方向傳送的玻璃布W，沿與轉(zhuǎn)換滾輪106一側(cè)垂直方向向下轉(zhuǎn)換方向，順暢地傳送。
108，108，…表示按照與電極滾輪107一起，從厚度方向兩側(cè)夾持玻璃布W的方式設(shè)置的形成第2電極的電極板，這些電極板108象圖10所示，由長方形的較薄的金屬板形成，構(gòu)成沿玻璃布W的寬度方向，稍稍間隔開地設(shè)置的電極部件。
另外，各電極板108按照下述方式配置，即通過后述的連接件110，保證相對玻璃布W的獨立運動，分別均勻地與玻璃布W的一個側(cè)面的外面接觸。接著，通過在各電極板108和電極滾輪107之間，如后所述地外加電壓，則如圖11所示，在玻璃布W內(nèi)部混有導(dǎo)電性異物F時，在電極板108和電極滾輪107之間，電流作為通電或放電現(xiàn)象產(chǎn)生。此外，在圖11中，Wa表示形成玻璃布W的纖維束。
109表示作為以懸吊狀態(tài)支承電極板108的支承部件的支桿，該支桿109如圖9和圖10所示，設(shè)置于電極滾輪107和電極板108的上方位置，與電極滾輪107基本保持平行地、沿玻璃布W的寬度方向(左，右方向)延伸地設(shè)置。
110，110，…表示連接件，該連接件以可相對支桿109進行三維運動的方式連接各電極板108，這些連接件110由比如絕緣性的樹脂材料等形成，作為柔性的系繩，形成電極板108的繩狀的懸吊具。另外，連接件110將電極板108保持從支桿109懸吊的狀態(tài)，保證電極板108相對玻璃布W沿厚度方向、左右方向等自由運動。
111表示設(shè)置于電極板108和支桿109之間的調(diào)節(jié)桿，該調(diào)節(jié)桿111以活動的方式與連接件110的兩端之間的位置接觸，由此，任意地調(diào)節(jié)電極板108與玻璃布W的接觸角度。此外，通過采用連接件110，調(diào)節(jié)桿111等，電極板108在自重的作用下，均勻地壓靠在玻璃布W的外面?zhèn)龋谠摬ＡР糤的外面上連續(xù)地滑動接觸。
112表示去除工位，該去除工位112位于電極滾輪107和轉(zhuǎn)換滾輪106之間，以對置方式設(shè)置于玻璃布W的兩端之間的部位，該去除工位112按照將玻璃布W夾持于其與照明裝置113之間的方式設(shè)置，構(gòu)成用于將混入玻璃布W內(nèi)部的異物F去除的檢查位置。在此情況下，來自照明裝置113的光明亮地照射玻璃布W，且其一部分從去除工位112一側(cè)透過。
另外，預(yù)先等待于去除工位112的作業(yè)人員進行下述作業(yè)，即在從照明裝置113照射的光的條件下，一邊通過放大鏡(圖未示)等觀察混入玻璃布W內(nèi)部的異物F，一邊對其探查，采用手動作業(yè)或適合的工具，從玻璃布W謹慎地去除異物F。
114表示設(shè)置于卷出輥102側(cè)的轉(zhuǎn)換滾輪104上的長度測定儀，該長度測定儀114通過與轉(zhuǎn)換滾輪104接觸而旋轉(zhuǎn)，由此形成檢測玻璃布W的長度方向位置的位置檢測機構(gòu)。另外，當通過后述的檢測器116檢測到異物F時，通過來自長度測定儀114的檢測信號，判斷在玻璃布W的哪個位置(長度方向的哪個位置)混入異物F。
115表示作為電壓外加機構(gòu)的電源部，其在電極板108與電極滾輪107之間，外加電壓，該電源部115如圖14所示，與各電極板108并聯(lián)，象后面所述的那樣，將預(yù)先設(shè)定的一定的直流電壓，外加于相應(yīng)的電極板108和電極滾輪107之間。此外，在電源部115上，設(shè)置有電壓調(diào)整部(圖中未示出)，通過來自后述的控制裝置117的調(diào)整信號，適當?shù)卣{(diào)整外加電壓的電壓值。
116，116，…表示作為設(shè)置于電源部115和各電極板108之間的檢測機構(gòu)的檢測器，這些檢測器116針對每個電極板108獨立地設(shè)置，檢測在哪個電極板108和電極滾輪107之間，如后述的那樣，發(fā)生通電或放電。另外，當發(fā)生這樣的通電或放電時，由于在檢測器116的前后產(chǎn)生電流，故檢測器116檢測該電流，將檢測信號朝向控制裝置117輸出。
117表示由微型計算機等形成的控制裝置，該控制裝置117的輸入側(cè)與長度測定儀114，各檢測器116和啟動開關(guān)118等連接，輸出側(cè)與電源部115，顯示器等的顯示機構(gòu)119和驅(qū)動器120等連接。此外，控制裝置117通過控制程序或控制電路，進行圖15所示的工序檢查處理，對玻璃布W的異物檢測處理和異物去除處理等進行控制。
在這里，顯示器119在檢測到異物F混入到玻璃布W內(nèi)部時，根據(jù)來自長度測定儀114和各檢測器116的信號，沿玻璃布W的長度方向和寬度方向確定異物F的混入位置并顯示該位置。在此情況下，顯示器119設(shè)置于去除工位112的附近位置。
還有，驅(qū)動器120包括驅(qū)動電路，該驅(qū)動電路驅(qū)動分別設(shè)置于卷出輥102和卷取輥103上的電動馬達(圖中未示出)等，如果從控制裝置117輸出驅(qū)動信號，則基本同步地旋轉(zhuǎn)驅(qū)動卷出輥102和卷取輥103，當停止驅(qū)動信號的輸出時，基本上同時地使卷出輥102，卷取輥103停止。
本實例的檢查裝置具有如上所述的構(gòu)成，下面參照圖15對包括玻璃布W的異物檢測處理和異物去除處理等的檢查處理方法進行說明。
首先，如果通過啟動開關(guān)118的接通，控制裝置117的處理動作開始，則在步驟S1，通過向驅(qū)動器120輸出驅(qū)動信號，則基本同步地旋轉(zhuǎn)驅(qū)動卷出輥102和卷取輥103。另外，通過卷出輥102和卷取輥103的相互旋轉(zhuǎn)，沿圖9中的箭頭所示的方向，連續(xù)地傳送長尺寸的玻璃布W。
另外，此時，使來自電源部115的電壓外加動作開始，采用并排地設(shè)置于電源部115和多個電極板108，108，…之間的各檢測器116，分別地監(jiān)視在相應(yīng)的電極板108和電極滾輪107之間是否發(fā)生通電或放電。
接著，在步驟S2，通過來自檢測器116的信號，判定是否檢測到導(dǎo)電性異物F(異物檢測工序)，在判定為“否”的期間，反復(fù)進行步驟S1以后的處理。另外，當在步驟S2，判定為“是”時，由于為在玻璃布W內(nèi)部混入有導(dǎo)電性異物F，故進行步驟S3以后的處理。
在此情況下，如圖12，圖13所示，電極板108將厚度T的玻璃布W夾持在與電極滾輪107之間并與其對置，按照連續(xù)地在電極滾輪107和電極板108之間行走的方式傳送玻璃布W。接著，如圖12中的實例所示，在玻璃布W內(nèi)部混入有導(dǎo)電性異物F，當該異物F沿玻璃布W的厚度方向穿過時，在該電極板108和電極滾輪107之間，發(fā)生通電或放電。
即，圖14所示的電源部115的外加電壓按照下述方式設(shè)定為規(guī)定的電壓值(比如，400V程度)，該方式為如圖12所示的那樣，當沿玻璃布W的厚度T的方向，異物F的尺寸大于參考值T1(比如，可為厚度T的4/5的尺寸)時，則在電極板108和電極滾輪107之間，發(fā)生通電或放電。
另外，電源部115的外加電壓的值根據(jù)比如玻璃布W的厚度T等而改變，其也可為低于400V的電壓值，反之，還可設(shè)定為高于400V的電壓值，如果需要由與參考值T1的關(guān)系確定。
此外，在混入到玻璃布W內(nèi)部的導(dǎo)電性異物F的尺寸如圖13所示的那樣，沿玻璃布W的厚度T的方向，小于參考值T1時，不在電極板108和電極滾輪107之間發(fā)生通電或放電。另外，即使在發(fā)生的情況下，也為微量的放電，無法檢測到。由此，檢測器116將在玻璃布W內(nèi)部未混入異物F的非檢測信號輸出給控制裝置117。
如圖12所示，導(dǎo)電性異物F以沿玻璃布W的厚度方向穿過的方式存在，在電極板108和電極滾輪107之間發(fā)生通電或放電，此時，相應(yīng)的檢測器116將在玻璃布W中的與電極板108相對應(yīng)的位置，混入異物F的檢測信號，輸出給控制裝置117。由此，在上述步驟S2，判定為“是”，進行下一步驟S3。
然后，在步驟S3，確定混入有異物F的玻璃布W的位置，通過顯示器119，顯示該位置。在此情況下，考慮沿玻璃布W的縱向，在哪個位置存在異物F，比如，考慮電極板108與長度測定儀114之間的距離，根據(jù)來自長度測定儀114的信號，求出該距離。
另外，通過相應(yīng)的檢測器116，分別地檢測沿玻璃布W的寬度方向在哪個位置存在異物F，或在沿玻璃布W的寬度方向，借助間隙并排地設(shè)置的電極板108，108，…中的哪個電極板上，發(fā)生上述通電或放電，由此，通過來自各檢測器116的信號進行確定。
之后，在步驟S4，在檢測到異物F的階段，暫時停止向驅(qū)動器120的驅(qū)動信號的輸出，使卷出輥102和卷取輥103的玻璃布W的傳送停止。另外，在判定了在玻璃布W的長度方向的異物F混入位置的階段，通過手動或自動方式，再次開始玻璃布W的傳送。
接著，慢慢地傳送玻璃布W，直至玻璃布W的異物混入位置到達與圖9中的去除工位112面對的位置，使玻璃布W停止在該去除工位112的位置(傳送停止工序)。
然后，在步驟S5，預(yù)先等待于去除工位處的作業(yè)人員根據(jù)顯示器119的顯示，判別異物F的位置，同時，在照明裝置113的照射光的條件下，采用放大鏡等，探查混入到玻璃布W內(nèi)部的異物F。接著，如果看到該異物，則通過手動作業(yè)或適合的工具，從玻璃布W中，小心地將異物F去除(異物去除工序)。
此外，在去除異物F后，在下一步驟S6，再次接通啟動開關(guān)118，由此，使卷出輥102和卷取輥103旋轉(zhuǎn)，沿圖9中的箭頭所示的方向，傳送玻璃布W(傳送再開工序)。之后，返回到步驟S1，再次反復(fù)進行步驟S1以后的處理。由此，可將未混入有導(dǎo)電性異物F的玻璃布W，作為電子部件等的絕緣用層狀部件運出廠。
這樣，如果采用本實例的檢查裝置，由于在卷出輥102和卷取輥103之間連續(xù)地傳送的玻璃布W被從厚度方向兩側(cè)由電極滾輪107和各電極板108夾持地設(shè)置，在該電極滾輪107和相應(yīng)的電極板108之間，外加預(yù)定的規(guī)定直流電壓，故在傳送(行走)過程中的玻璃布W內(nèi)部混入導(dǎo)電性異物時，在電極滾輪107和電極板108之間，產(chǎn)生通電或放電，通過多個檢測器116，116，…中的某個檢測器116，檢測該情況，由此可簡單地檢測異物的有無。
在此情況下，檢測器116在玻璃布W內(nèi)部的異物F沿厚度T方向穿過，其兩端與兩個電極107，108接觸時，兩個電極107，108之間通電，可檢測異物F。但是，即使在導(dǎo)電性異物F在不與電極滾輪107，電極板108直接接觸的狀態(tài)下，混入到玻璃布W內(nèi)部的情況下，具有在對玻璃布W檢查后，在客戶那里造成異物F產(chǎn)生的通電故障的危險。
于是，從電源部115外加的直流電壓設(shè)定為下述電壓值，其中在混入到玻璃布W內(nèi)部的導(dǎo)電性異物F大于預(yù)定的參考值T1時，在兩個電極107，108之間，產(chǎn)生通電或放電，在小于參考值T1時，不產(chǎn)生通電，或放電。
由此，檢測器116可根據(jù)混入到玻璃布W內(nèi)部的異物F與參考值T1的比較結(jié)果，即根據(jù)在電極107，108之間，是否產(chǎn)生通電或放電的情況，檢測異物F。
還有，由于與電極滾輪107對置設(shè)置的多個電極板108，108，…，按照沿玻璃布W的寬度方向相互分離并排延伸的方式設(shè)置，對應(yīng)于各電極板108，將相應(yīng)的檢測器116并排地設(shè)置于該電極板與電源部115之間，故可通過各檢測器116，檢測在與哪個電極板108相對應(yīng)的位置，發(fā)生通電，或放電，可判別沿玻璃布W的寬度方向，在哪個位置混入、存在異物F。
另外，可對應(yīng)于玻璃布W的長度方向，通過長度測定儀114，自動地檢測異物F的混入位置。另外，通過顯示器等的顯示機構(gòu)119，顯示象上述那樣檢測的異物F混入部位，由此，可將異物F具體存在的位置，通報給在去除工位112處進行去除作業(yè)等的操作人員(作業(yè)人員)。
此外，由于電極板108采用具有柔性的繩等的連接件110，從支桿109上將其懸吊，在自重的作用下，分別與玻璃布W的外面?zhèn)染鶆虻亟佑|，故可保證使沿玻璃布W的寬度方向相互分離而設(shè)置的各電極板108，分別獨立且均勻地與玻璃布W的外面接觸，當導(dǎo)電性異物F與電極板108接觸，或接近該電極板108時，可立即檢測到電極107，108之間發(fā)生通電或放電的情況。
由于與各電極板108對置的電極滾輪107與連續(xù)行走的玻璃布W的內(nèi)面?zhèn)冉佑|，隨著玻璃布W的傳送而旋轉(zhuǎn)，故可保證作為檢查對象的玻璃布W在電極107，108之間平滑地行走或傳送。另外，由于電源部115外加直流電壓，故可以較低的電壓檢測異物F，可提高其檢測精度。
象上述那樣，如果采用本實例的檢查裝置，可在連續(xù)地傳送玻璃布的同時，檢測作為檢測對象的導(dǎo)電性異物F，至少可良好地防止沿玻璃布W的厚度方向的導(dǎo)通故障等情況。由此，可在確保品質(zhì)安全性的狀態(tài)下，使用于確保電子部件等的絕緣性的玻璃布W出廠，可提高其可靠性。
還有，即使在作為適用對象的電絕緣性的玻璃布W的厚度比如，小于0.1mm的情況下，仍可連續(xù)地檢測混入其中的粒徑小于0.1mm的微小異物F，可順利地進行該處理作業(yè)，有效地實現(xiàn)玻璃布W出廠前的檢查工序等，可確實提高整體的作業(yè)性。
(第3實施方式)下面根據(jù)圖16和圖17，對本發(fā)明的第3實施方式進行說明。另外，在本實施方式中，對與上述的第2實施方式的檢查裝置相同的組成部分，采用同一標號，故省略對其的具體描述。
如圖16和圖17所示，本實例的檢查裝置按照沿玻璃布W的長度方向相位錯開地多種組合的方式設(shè)置各電極板和電極滾輪。
在圖中，121，122表示兩組電極滾輪，該兩組電極滾輪沿玻璃布W長度方向間隔開，設(shè)置于轉(zhuǎn)換滾輪105，106之間，形成第1電極，雖然這些電極滾輪121，122按照與在第2實施方式中描述的電極滾輪107相同的方式形成，但是，在電極滾輪121，122之間，還添設(shè)有另一轉(zhuǎn)換滾輪123。
再有，電極滾輪121設(shè)置于轉(zhuǎn)換滾輪105，123之間，以旋轉(zhuǎn)軸121a為中心而旋轉(zhuǎn)。由此，電極滾輪121將從轉(zhuǎn)換滾輪105基本沿水平方向傳送的玻璃布W的方向轉(zhuǎn)換為朝向轉(zhuǎn)換滾輪123側(cè)的向下方向，然后順暢地傳送該玻璃布W。
另外，電極滾輪122設(shè)置于轉(zhuǎn)換滾輪123，106之間，以旋轉(zhuǎn)軸122a為中心而旋轉(zhuǎn)。由此，電極滾輪122將從轉(zhuǎn)換滾輪123側(cè)向上傳送的玻璃布W的方向轉(zhuǎn)換為朝向轉(zhuǎn)換滾輪106側(cè)的向下方向，然后順暢地傳送該玻璃布W。
124，124…表示形成第2電極的電極板，該電極板按照從厚度方向兩側(cè)，與電極滾輪121一起，夾持玻璃布W的方式設(shè)置，這些電極板124按照與在第2實施方式中已描述的電極板108相同的方式形成，它們分別形成沿玻璃布W的寬度方向間隔開而設(shè)置的電極部件。
125，125…表示形成第2電極的電極板，該電極板按照從厚度方向兩側(cè)，與電極滾輪122一起夾持玻璃布W的方式設(shè)置，這些電極板125也按照與上述電極板124相同的方式形成。但是，這些電極板124，125如圖17所示，分別設(shè)置于沿玻璃布W的寬度方向，相互不同的位置。
其結(jié)果是，當導(dǎo)電性異物F混入到玻璃布W內(nèi)部中的，各電極板124之間的位置時，可通過位于其下游側(cè)的各電極板125(與其相對應(yīng)的檢測器116)，檢測異物F，這之外的異物F可通過上游側(cè)的各電極板124檢測。
126，127表示作為以懸吊狀態(tài)支承各電極板124，125的支承部件的支桿，該支桿126，127按照與在第2實施方式中已描述的支桿109相同的方式形成。此外，支桿126設(shè)置于電極滾輪121，電極板124的上方位置，支桿127設(shè)置于電極滾輪122，電極板125的上方位置。
128，129表示調(diào)節(jié)桿，該調(diào)節(jié)桿設(shè)置于各電極板124，125與支桿126，127之間，該調(diào)節(jié)桿128，129按照與在第2實施方式中已描述的調(diào)節(jié)桿111相同的方式形成，通過可動地與各連接件110的兩端之間的位置接觸，任意地調(diào)節(jié)電極板124，125與玻璃布W的接觸角度。
這樣，在這樣形成的本實例的檢查裝置中，也可獲得與上述第2實施方式的檢查裝置相同的作用效果。但是，在此情況下，將兩組電極滾輪121，122與各電極板124，125的組合體的相位錯開，將其設(shè)置于玻璃布W的兩端之間的位置。
由此，可防止在沿玻璃布W的寬度方向間隔開的各電極板124，或125之間，異物F的檢測遺漏等情況，可以較高的精度，沿玻璃布W的整個表面，檢查是否混入異物F。
再有，在前述第2實施方式中，說明了通過由柔性的系繩件形成的連接件110從支桿109上懸吊，沿玻璃布W的寬度方向劃分而設(shè)置的各電極板108，在自重的作用下，將電極板108輕輕地壓靠于玻璃布W的外面?zhèn)?，但是本發(fā)明不限于此，比如，也可采用金屬制或塑料制的活動接頭(萬向接頭)等，分別將電極板108與支桿109連接。
另外，同樣在此情況下，可以3維運動的方式，支承電極板108，可通過比如彈簧等的偏置機構(gòu)，按照均勻地與玻璃布W的外面連續(xù)地接觸的方式，保持電極板108。另外，對于第3實施方式來說，此方面也是相同的。
此外，在前述第2實施方式中，以采用平板狀的電極板108的情況為實例進行了描述，但是本發(fā)明不限于此，也可采用比如由導(dǎo)電性材料形成的圓桿，或自由滾輪等構(gòu)成的多個電極部件，形成第2電極。
象上述那樣，第1，第2電極考慮采用圓形滾輪，圓桿，平板等的各種類型，但是當與作為檢測對象的導(dǎo)電性異物接觸，或接近該異物時，與這些異物相比較，必須要求具有足夠平滑的電極面。另外，在此情況下，當導(dǎo)電性異物接近時，可保證在電極之間產(chǎn)生穩(wěn)定的通電或放電。
還有，在前述第2實施方式中，如圖14所示，以電源部115，各檢測器116和控制裝置117等分別形成的情況為實例進行了描述，但是本發(fā)明不限于此，比如，還可采用電壓外加機構(gòu)和檢測機構(gòu)形成為一體的裝置。在此情況下，作為形成為一體的現(xiàn)有裝置，例舉比如檢測火花放電的火花試驗器，檢測電暈放電的部分放電測定儀等。
再有，作為檢測機構(gòu)，還可采用檢測在電極之間發(fā)生通電或放電時所產(chǎn)生的電流、電壓、電荷的變化中的任何一種的機構(gòu)，檢測伴隨火花等的聲音機構(gòu)，檢測電磁波的機構(gòu)等。在此情況下，檢測機構(gòu)優(yōu)選根據(jù)需要，相應(yīng)于是否超過預(yù)定的臨界值的情況，進行檢測，或檢驗動作。
另外，在作為檢查對象的絕緣性層為比如沿?zé)o紡布，布(織物)這樣的厚度方向保持連續(xù)的空氣空間存在的層時，通過在電極之間外加電壓，容易產(chǎn)生空氣的絕緣破壞造成的火花放電。由此，雖然可采用局部放電測定儀中的任何一種，但是優(yōu)選采用火花試驗器。
此外，象樹脂膜那樣，對于只要沒有氣泡，難于產(chǎn)生絕緣破壞的材料，可采用具有下述靈敏度的局部放電測定儀，該靈敏度可檢測僅僅有微量的電流流動的電暈放電。此外，對于上述的方面，第3實施方式也是相同的。
上面對本發(fā)明的實施方式進行了說明，但是本發(fā)明可采用的具體形式不限于任何的實施例。特別是，被檢測物不限于任何的上述玻璃布W，另外，顯然，被檢測物可為較短的尺寸。
權(quán)利要求
1.一種導(dǎo)電性異物檢查裝置，該檢查裝置檢測附著于具有電絕緣性的被檢測物上，或混入到其內(nèi)部的導(dǎo)電性異物，其特征在于，該檢查裝置設(shè)置有以與所述被檢測物對置的方式設(shè)置，輸出規(guī)定的檢測信號的磁性傳感器組；保持所述各磁性傳感器的保持機構(gòu)；將從所述各磁性傳感器輸出的檢測信號，與預(yù)定的參考值進行比較，對所述導(dǎo)電性異物的有無進行判定的判定機構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電性異物檢查裝置，其特征在于該檢查裝置還包括以規(guī)定通路傳送具有電絕緣性的被檢查物的長尺寸的織物的傳送機構(gòu)；以及對該傳送機構(gòu)的動作進行控制的控制機構(gòu)，所述磁性傳感器組按照其檢測面與所述織物的傳送通路面對，并且與該織物對置的方式設(shè)置，其檢測區(qū)域按照遍及所述織物的寬度方向的整個區(qū)域的方式設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的導(dǎo)電性異物檢查裝置，其特征在于，該判定機構(gòu)按照下述方式形成，即將從所述各磁性傳感器輸出的檢測信號幅度，與預(yù)定的參考時間進行比較，對檢測到的所述導(dǎo)電性異物的信號與雜波進行判別。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的導(dǎo)電性異物檢查裝置，其特征在于，所述保持機構(gòu)具有使所述各磁性傳感器在與所述織物的傳送通路面對的位置，以及與其離開的位置之間移動的移動機構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中的任一項所述的導(dǎo)電性異物檢查裝置，其特征在于，該裝置還包括根據(jù)所述判定機構(gòu)的判定結(jié)果數(shù)據(jù)，以及通過所述長度測定結(jié)果計算的傳送距離數(shù)據(jù)，生成與被檢測物上的導(dǎo)電性異物的有無相關(guān)的二維圖象數(shù)據(jù)的圖象生成機構(gòu)；以及輸出通過所述圖象生成機構(gòu)生成的二維圖象數(shù)據(jù)的輸出機構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中的任一項所述的導(dǎo)電性異物檢查裝置，其特征在于，用非磁性膜覆蓋所述磁性傳感器組的各檢測面。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的導(dǎo)電性異物檢查裝置，其特征在于，所述膜含有靜電防止劑。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的導(dǎo)電性異物檢查裝置，其特征在于，所述保持機構(gòu)包括調(diào)整所述膜的張力的張力調(diào)整機構(gòu)。
9.一種導(dǎo)電性異物檢查裝置，其特征在于，其由下述機構(gòu)構(gòu)成連續(xù)地傳送具有電絕緣性的被檢測物的長尺寸的織物的傳送機構(gòu)；按照位于所述傳送機構(gòu)的兩端之間的位置，從厚度方向兩側(cè)夾持所述織物的方式設(shè)置的第1和第2電極；在所述第1，第2電極之間外加電壓的電壓外加機構(gòu)；檢測通過所述電壓外加機構(gòu)的電壓外加，是否在第1，第2電極之間產(chǎn)生通電或放電的檢測機構(gòu)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的導(dǎo)電性異物檢查裝置，其特征在于，所述電壓外加機構(gòu)的外加電壓設(shè)定為在所述導(dǎo)電性異物大于預(yù)定的參考值時，在所述第1，第2電極之間產(chǎn)生通電或放電，在小于所述參考值時不產(chǎn)生通電或放電。
11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的導(dǎo)電性異物檢查裝置，其特征在于，為了判別所述導(dǎo)電性異物位于織物的哪個位置，所述第1，第2電極中的至少1個電極由沿所述織物的寬度方向分離設(shè)置的多個電極部件形成。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的導(dǎo)電性異物檢查裝置，其特征在于，所述多個電極部件通過多塊電極板形成，該多塊電極板相對所述織物，相互獨立地設(shè)置，分別均勻地與所述織物的一個側(cè)面接觸。
13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的導(dǎo)電性異物檢查裝置，其特征在于，所述第1，第2電極中的至少另一個電極由與所述織物接觸而旋轉(zhuǎn)的滾輪構(gòu)成。
14.根據(jù)權(quán)利要求9～13中的任一項所述的導(dǎo)電性異物檢查裝置，其特征在于，通過所述電壓外加機構(gòu)外加于第1，第2電極之間的電壓為直流電壓。
15.一種導(dǎo)電性異物檢查方法，該方法包括下述工序在連續(xù)地傳送長尺寸的織物的傳送過程中，檢測導(dǎo)電性異物是否附著于所述織物上或混入到其內(nèi)部的異物檢測工序；在檢測到所述導(dǎo)電性異物時，停止所述織物的傳送，使所述織物停止于預(yù)定的檢查位置的傳送停止工序；去除在所述檢查位置附著于所述織物或混入到其內(nèi)部的異物的異物去除工序；在去除所述異物后，再次開始所述織物的傳送的傳送再開工序。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的導(dǎo)電性異物檢測方法，其特征在于，在所述異物檢測工序中可通過磁性傳感器檢測所述導(dǎo)電性異物。
17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的導(dǎo)電性異物檢查方法，其特征在于，在所述異物檢測工序中，可通過按照從厚度方向兩側(cè)夾持所述織物的方式設(shè)置的第1和第2電極，檢測所述導(dǎo)電性異物。
全文摘要
本發(fā)明提供一種檢查裝置,該檢查裝置即使在玻璃纖維這樣的,具有透鏡效果的材料或非透明的材料的情況下,仍可正確地檢測附著于被檢查物上或混入到其內(nèi)的導(dǎo)電性異物。該檢查裝置設(shè)置有以與被檢測物對置的方式設(shè)置,輸出規(guī)定的檢測信號的磁性傳感器組;保持各磁性傳感器的保持機構(gòu);將從各磁性傳感器輸出的檢測信號,與預(yù)定的參考值進行比較,判定導(dǎo)電性異物的有無的判定機構(gòu)。
文檔編號G01N27/82GK1370988SQ0210452
公開日2002年9月25日 申請日期2002年2月8日 優(yōu)先權(quán)日2001年2月16日
發(fā)明者稻場伸一, 池田博一, 浦上旦, 魚澄弘行, 上田高次 申請人:鐘紡株式會社, 鐘紡工程株式會社