專(zhuān)利名稱(chēng)：檢測(cè)裝置、檢測(cè)方法和檢測(cè)組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對(duì)回路基板上的導(dǎo)電圖形實(shí)施檢測(cè)的技術(shù)。
目前，作為這類(lèi)檢測(cè)技術(shù)，通常是使導(dǎo)電圖形的兩個(gè)端部與引線銷(xiāo)針相接觸，并從一個(gè)端部的引線銷(xiāo)針向?qū)щ妶D形供給電氣信號(hào)，由另一端部的引線銷(xiāo)針接收電氣信號(hào)的方式，對(duì)導(dǎo)電圖形實(shí)施諸如導(dǎo)通檢測(cè)等等的接觸式檢測(cè)技術(shù)。
然而在近年來(lái)，隨著導(dǎo)電圖形的日趨高密度化，使得將各導(dǎo)電圖形依次正確地與引線銷(xiāo)針相接觸的檢測(cè)方式變得越來(lái)越難以實(shí)現(xiàn)，所以目前已經(jīng)有人提出了在接收電氣信號(hào)側(cè)不再設(shè)置引線銷(xiāo)針，從而可以不與導(dǎo)電圖形相接觸而實(shí)施電氣信號(hào)接收的非接觸式檢測(cè)技術(shù)。
這種非接觸式檢測(cè)技術(shù)，是在作為被檢測(cè)對(duì)象的導(dǎo)電圖形上的一個(gè)端部配置有與導(dǎo)電圖形相接觸的引線銷(xiāo)針，并且在另一端部配置有按非接觸方式與導(dǎo)電圖形相互接近設(shè)置的傳感器，進(jìn)而可以通過(guò)向引線銷(xiāo)針供給隨時(shí)間變化的電氣信號(hào)的方式，利用存在于導(dǎo)電圖形與傳感器間的靜電容量，對(duì)出現(xiàn)在傳感器處的電氣信號(hào)實(shí)施檢測(cè)，從而對(duì)導(dǎo)電圖形是否存在有諸如斷線等等故障實(shí)施檢測(cè)的技術(shù)。
采用這種技術(shù)，可以?xún)H僅使導(dǎo)電圖形上的一個(gè)端部與引線銷(xiāo)針相接觸，因此這種技術(shù)在用于對(duì)精細(xì)的導(dǎo)電圖形實(shí)施檢測(cè)方面具有優(yōu)勢(shì)。
然而，現(xiàn)有的非接觸式檢測(cè)方法，還需要在一個(gè)端部與引線銷(xiāo)針相接觸，所以并不是一種完全的非接觸式檢測(cè)技術(shù)，在導(dǎo)電圖形日益高密度化的今天，其適用范圍是相當(dāng)有限的。
而且，在一般情況下還需要在導(dǎo)電圖形的一個(gè)端部，設(shè)置與引線銷(xiāo)針實(shí)施接觸用的墊(pad)等，設(shè)置本來(lái)不需要的墊會(huì)增大表面安裝密度。
因此，本發(fā)明的目的就是提供一種可以按照完全非接觸檢測(cè)方式，對(duì)導(dǎo)電圖形實(shí)施檢測(cè)用的檢測(cè)裝置、檢測(cè)方法和檢測(cè)組件。
如果采用這種技術(shù)，便可以通過(guò)使導(dǎo)電圖形與所述單元相互接近的方式，在兩者間實(shí)現(xiàn)電容結(jié)合。因此，當(dāng)向一個(gè)單元供給所述檢測(cè)信號(hào)時(shí)，在導(dǎo)電圖形上將出現(xiàn)與該檢測(cè)信號(hào)相對(duì)應(yīng)的信號(hào)，而且在所述其它單元處也會(huì)出現(xiàn)信號(hào)(輸出信號(hào))。
而且，通過(guò)使用所述切換裝置，使各個(gè)所述單元分別與所述供給裝置或所述處理裝置相連接，便可以按照不使用引線銷(xiāo)針的完全非接觸方式，對(duì)導(dǎo)電圖形實(shí)施檢測(cè)。
而且，本發(fā)明還提供了一種對(duì)回路基板上的導(dǎo)電圖形實(shí)施非接觸式檢測(cè)用的檢測(cè)組件，其特征在于它具有按照相互隔離方式配置的若干個(gè)具有導(dǎo)電性的單元；向所述單元輸入檢測(cè)信號(hào)的輸入端子；從所述單元輸出信號(hào)的輸出端子；輸入對(duì)所述單元實(shí)施選擇用的控制信號(hào)的控制端子；以及依據(jù)所述控制信號(hào)，將所述各個(gè)單元分別連接至所述輸入端子或所述輸出端子的切換裝置。
如果采用這種技術(shù)，便可以通過(guò)使導(dǎo)電圖形與所述單元相互接近，在兩者間實(shí)現(xiàn)電容結(jié)合。因此，當(dāng)向一個(gè)單元供給所述檢測(cè)信號(hào)時(shí)，在導(dǎo)電圖形上將出現(xiàn)與該檢測(cè)信號(hào)相對(duì)應(yīng)的信號(hào)，而且在所述其它單元處也會(huì)出現(xiàn)信號(hào)(輸出信號(hào))。
而且，通過(guò)使用所述切換裝置，使各個(gè)所述單元分別與所述輸入端子或所述輸出端子相連接，便可以按照不使用引線銷(xiāo)針的完全非接觸方式，對(duì)導(dǎo)電圖形實(shí)施檢測(cè)。
而且，本發(fā)明還提供了一種對(duì)回路基板上的導(dǎo)電圖形實(shí)施非接觸式檢測(cè)的檢測(cè)方法，這種方法包括將若干個(gè)具有導(dǎo)電性的單元按照相互隔離方式沿著所述導(dǎo)電圖形實(shí)施配置的工序；向至少一個(gè)所述單元供給隨時(shí)間變化的檢測(cè)信號(hào)的工序；通過(guò)供給所述檢測(cè)信號(hào)的方式，借助所述導(dǎo)電圖形，測(cè)出出現(xiàn)在其它所述單元處的輸出信號(hào)的工序；以及依據(jù)所測(cè)出的所述輸出信號(hào)，對(duì)所述導(dǎo)電圖形實(shí)施檢測(cè)的工序。
如果采用這種技術(shù)，便可以通過(guò)沿著導(dǎo)電圖形對(duì)所述單元實(shí)施配置的方式，在兩者間實(shí)現(xiàn)電容結(jié)合。因此，可以通過(guò)向一個(gè)單元供給所述檢測(cè)信號(hào)的方式，向?qū)щ妶D形供給檢測(cè)信號(hào)。而且，可以在導(dǎo)電圖形上出現(xiàn)與該檢測(cè)信號(hào)相對(duì)應(yīng)的信號(hào)，進(jìn)而在所述其它單元處也出現(xiàn)信號(hào)(輸出信號(hào))，從而可以通過(guò)測(cè)出這些信號(hào)，對(duì)導(dǎo)電圖形實(shí)施檢測(cè)。因此，可以按照不使用引線銷(xiāo)針的完全非接觸方式，對(duì)導(dǎo)電圖形實(shí)施檢測(cè)。
圖2為表示檢測(cè)組件1的結(jié)構(gòu)的示意圖。
圖3為表示檢測(cè)組件1的另一種結(jié)構(gòu)的示意圖。
圖4為表示切換回路16的內(nèi)部示意性方框圖。
圖5為表示檢測(cè)原理用的示意圖。
圖6為表示作為檢測(cè)對(duì)象的導(dǎo)電圖形101a和101b與各單元11間的位置關(guān)系用的示意圖。
圖7為表示在如圖6所示的導(dǎo)電圖形101a處出現(xiàn)有斷線時(shí)的示意圖。
圖8為表示在如圖6所示的導(dǎo)電圖形101a和101b間出現(xiàn)有短路時(shí)的示意圖。
圖9為表示安裝著兩個(gè)仿真(dummy)導(dǎo)電圖形102的回路基板100的示意圖。


圖10為表示在對(duì)導(dǎo)電圖形實(shí)施坐標(biāo)檢測(cè)時(shí)，導(dǎo)電圖形101a等與各單元11間關(guān)系的示意圖。
圖11為表示在對(duì)導(dǎo)電圖形實(shí)施坐標(biāo)檢測(cè)時(shí)，在顯示器4a上的顯示實(shí)例。
圖12為表示在對(duì)導(dǎo)電圖形實(shí)施斷線故障檢測(cè)時(shí)，導(dǎo)電圖形101a等與各單元11間關(guān)系的示意圖。
圖13為表示在對(duì)導(dǎo)電圖形實(shí)施斷線故障檢測(cè)時(shí)，在顯示器4a上的顯示實(shí)例。
圖14為表示在對(duì)導(dǎo)電圖形實(shí)施短路故障檢測(cè)時(shí)，導(dǎo)電圖形101a等與各單元11間關(guān)系的示意圖。
圖15為表示在對(duì)導(dǎo)電圖形實(shí)施短路故障檢測(cè)時(shí)，在顯示器4a上的顯示實(shí)例。
圖16為表示在對(duì)導(dǎo)電圖形實(shí)施欠缺檢測(cè)時(shí)，導(dǎo)電圖形101a等與各單元11間關(guān)系的示意圖。
圖17為表示在對(duì)導(dǎo)電圖形實(shí)施欠缺故障檢測(cè)時(shí)，在顯示器4a上的顯示實(shí)例。
<檢測(cè)裝置A的結(jié)構(gòu)>
檢測(cè)裝置A具有檢測(cè)組件1，向檢測(cè)組件1供給檢測(cè)信號(hào)用的信號(hào)源2，對(duì)由檢測(cè)組件1給出的輸出信號(hào)實(shí)施處理用的處理回路3，以及對(duì)檢測(cè)組件1實(shí)施控制、并且可以依據(jù)由處理回路3給出的輸出信號(hào)判斷回路基板100上的導(dǎo)電圖形是否出現(xiàn)斷線、短路等等故障的計(jì)算機(jī)4。
檢測(cè)組件1具有彼此相互隔離配置的若干個(gè)單元11，輸入由信號(hào)源2給出的檢測(cè)信號(hào)的輸入端子12，輸出由單元11給出的輸出信號(hào)的輸出端子13，輸入由計(jì)算機(jī)4給出的各種控制信號(hào)的控制端子14，與GND相連接的GND端子15，以及對(duì)各個(gè)單元11與輸入端子12、輸出端子13和GND端子15間的連接實(shí)施切換的切換回路16。
檢測(cè)組件1上露出單元11的表面，可以作為回路基板100上的導(dǎo)電圖形的表面使用，而且單元11與導(dǎo)電圖形間的間隔優(yōu)選在0.05mm至0.5mm的范圍之內(nèi)。如圖1所示的回路基板100，是僅僅在一個(gè)表面處設(shè)置有導(dǎo)電圖形的，然而對(duì)于在兩個(gè)表面處均設(shè)置有導(dǎo)電圖形的情況下，也可以通過(guò)使用兩個(gè)檢測(cè)組件1、按照對(duì)回路基板實(shí)施夾持設(shè)置的方式實(shí)施檢測(cè)。
按照如后所述的檢測(cè)原理，檢測(cè)裝置A可以通過(guò)向某個(gè)單元11供給檢測(cè)信號(hào)的方式，在導(dǎo)電圖形上產(chǎn)生電氣信號(hào)，進(jìn)而可以利用出現(xiàn)在該導(dǎo)電圖形上的電氣信號(hào)而在其它單元11上出現(xiàn)信號(hào)，根據(jù)出現(xiàn)在其它單元11上的信號(hào)(下面稱(chēng)為輸出信號(hào))對(duì)該導(dǎo)電圖形實(shí)施檢測(cè)。
在檢測(cè)組件1中，各個(gè)單元11可以由具有導(dǎo)電性的材料構(gòu)成，如果舉例來(lái)說(shuō)，這些材料可以包括諸如鋁、銅等金屬，以及半導(dǎo)體等材料。檢測(cè)組件1按照與回路基板100的形狀相應(yīng)的方式，可對(duì)各單元11實(shí)施平面配置，也可以實(shí)施立體配置。
各個(gè)單元11的形狀優(yōu)選呈如圖2所示的、完全統(tǒng)一的形狀。這樣，可以通過(guò)各個(gè)單元11平穩(wěn)地向?qū)щ妶D形供給檢測(cè)信號(hào)，以及對(duì)出現(xiàn)在導(dǎo)電圖形上的信號(hào)實(shí)施信號(hào)接收。
各個(gè)單元11可以如圖2所示，優(yōu)選呈沿橫向方向和縱向方向分別為八個(gè)的、等間隔配置著的矩陣形狀部件。如果采用這種構(gòu)成形式，可以減小位于導(dǎo)電圖形表面上的每單位面積中單元11的數(shù)目起伏(ムラ)，并且可以使各單元11間的相對(duì)位置關(guān)系明確化，從而可以容易地對(duì)各個(gè)單元11的位置實(shí)施確定。然而，相應(yīng)于被檢測(cè)回路基板的形狀等，也可以如圖3所示，采用僅有一列的配置形式。
這種檢測(cè)組件1中的單元11總數(shù)為64個(gè)，這是為了便于對(duì)本實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明而設(shè)定的，在實(shí)際使用時(shí)可以在諸如5乃至50μm的框內(nèi)，配置20萬(wàn)至200萬(wàn)個(gè)單元?？梢酝ㄟ^(guò)對(duì)這種單元11的大小、間隔的設(shè)定，更準(zhǔn)確地實(shí)施檢測(cè)，因此優(yōu)選按照相對(duì)于導(dǎo)電圖形的線寬度，包含有大約兩個(gè)單元的方式設(shè)定其大小和間隔尺寸。
如果舉例來(lái)說(shuō)，切換回路16可以由諸如多路轉(zhuǎn)換器、偏轉(zhuǎn)器(デプレケサ)等等構(gòu)成。圖4為表示切換回路16的內(nèi)部示意性方框圖。
切換回路16可以相應(yīng)由計(jì)算機(jī)4給出的控制信號(hào)，使各個(gè)單元11分別與輸入端子12、輸出端子13或GND端子15中的任一個(gè)相連接。下面將單元11與輸入端子12相連接時(shí)的狀態(tài)稱(chēng)為“切換至輸入電信號(hào)狀態(tài)”，與輸出端子13相連接時(shí)的狀態(tài)稱(chēng)為“切換至輸出電信號(hào)狀態(tài)”。
在本實(shí)施方式中僅設(shè)置有一個(gè)輸出端子13，所以連接至輸出端子13的單元11數(shù)目?jī)H限于一個(gè)，然而也可以按照每單位單元11的數(shù)量設(shè)置輸出端子13，以便能夠同時(shí)獲取若干個(gè)單元11給出的信號(hào)。
各單元11還可以與GND端子15相連接，從而對(duì)于由任一個(gè)單元11輸出有信號(hào)的情況下，可以提高其S/N比，對(duì)于即使不設(shè)置GND端子15也可以獲得良好S/N比的情況下，也可以不設(shè)置GND端子15，而是僅僅將各單元11切換至斷開(kāi)(open)的狀態(tài)。
信號(hào)源2能夠常時(shí)產(chǎn)生出諸如交流信號(hào)、脈沖信號(hào)等等隨時(shí)間變化的檢測(cè)信號(hào)，在本實(shí)施方式中產(chǎn)生的是電壓呈周期性變化的電氣信號(hào)。如果舉例來(lái)說(shuō)，檢測(cè)信號(hào)的電壓變化周期優(yōu)選為500kHz至10MHz。而且，在本實(shí)施方式中信號(hào)源2是單獨(dú)構(gòu)成的，然而也可以采用由計(jì)算機(jī)4產(chǎn)生出這種檢測(cè)信號(hào)的構(gòu)成方式。
處理回路3用于將由各單元11給出的輸出信號(hào)，處理成計(jì)算機(jī)4容易實(shí)施進(jìn)一步處理的信號(hào)形式，所以處理回路3除了具有如圖1所示的、可以對(duì)輸出信號(hào)實(shí)施放大的放大器3a之外，還可以具有諸如濾波回路、A/D變換器等等部件。
計(jì)算機(jī)4將控制信號(hào)傳送至切換回路16處，除了設(shè)定哪個(gè)單元11與哪個(gè)端子(12、13、15)相連接之外，還可以依據(jù)各單元11給出的輸出信號(hào)等等，判斷導(dǎo)電圖形是否存在有諸如斷線、短路或欠缺的故障。
而且，計(jì)算機(jī)4還具有可以依據(jù)由各單元11給出的輸出信號(hào)等，將與作為檢測(cè)對(duì)象的導(dǎo)電圖形相關(guān)的圖象顯示在顯示器4a上的功能。
<檢測(cè)的基本原理>
圖5為表示檢測(cè)基本原理用的示意圖。
在圖5中，單元11a被切換至輸入電信號(hào)狀態(tài)，單元11b被切換至輸出電信號(hào)狀態(tài)。在單元11a與位于其正下方位置處的、位于回路基板100上的導(dǎo)電圖形101之間，由于作為電介質(zhì)的空氣或檢測(cè)環(huán)境氛圍而形成有結(jié)合電容，所以當(dāng)由信號(hào)源2向單元11a輸入檢測(cè)信號(hào)時(shí)，隨著該檢測(cè)信號(hào)的電壓變化，會(huì)在導(dǎo)電圖形101處形成電流。
在另一方面，由于在單元11b與導(dǎo)電圖形101之間也形成有結(jié)合電容，所以流經(jīng)導(dǎo)電圖形101處的電流還將流經(jīng)單元11b(輸出信號(hào))。
于是，根據(jù)該輸出信號(hào)強(qiáng)度(比如說(shuō)其電壓幅度)的強(qiáng)弱變化等等，判斷在導(dǎo)電圖形101處是否出現(xiàn)了斷線故障。
《檢測(cè)方法1》<斷線檢測(cè)>
下面對(duì)使用檢測(cè)裝置A，對(duì)導(dǎo)電圖形進(jìn)行斷線檢測(cè)的情況進(jìn)行說(shuō)明。圖6為表示作為檢測(cè)對(duì)象的導(dǎo)電圖形101a和101b(如圖中的虛線所示)與各單元11間的位置關(guān)系的示意圖。在圖6中，X1至X8和Y1至Y8為指定任一個(gè)單元11用的坐標(biāo)。下面，當(dāng)表示為單元(X1，Y1)時(shí)，意味著該單元為單元11中位于坐標(biāo)(X1，Y1)位置處的單元。
在對(duì)導(dǎo)電圖形101a實(shí)施斷線檢測(cè)的情況下，可以首先由計(jì)算機(jī)4選擇出位于導(dǎo)電圖形101a上的單元11中的、處于切換至輸入電信號(hào)狀態(tài)的一個(gè)或一組單元11，以及切換至輸出電信號(hào)狀態(tài)的一個(gè)或若干個(gè)單元11。而且，優(yōu)選是選擇位于導(dǎo)電圖形101a上兩個(gè)端部附近位置處的單元11。這種斷線檢測(cè)，可以通過(guò)對(duì)位于切換至輸入電信號(hào)狀態(tài)的單元11與位于切換至輸出電信號(hào)狀態(tài)的單元11之間區(qū)域處的導(dǎo)電圖形101a實(shí)施檢測(cè)。
如果舉例來(lái)說(shuō)，當(dāng)選擇出的是處于切換至輸入電信號(hào)狀態(tài)的單元(X2，Y2)、處于切換至輸出電信號(hào)狀態(tài)的單元(X7，Y6)時(shí)，可以由計(jì)算機(jī)4向檢測(cè)組件1中的切換回路16發(fā)送出控制信號(hào)，以便能夠使單元(X2，Y2)與輸入端子12相連接，使單元(X7，Y6)與輸出端子13相連接，并且使其它單元11與GND端子15相連接。而且，對(duì)于選擇出若干個(gè)切換至輸入電信號(hào)狀態(tài)的單元11的情況下，可以同時(shí)對(duì)這些單元進(jìn)行切換操作，而對(duì)于選擇出若干個(gè)切換至輸出電信號(hào)狀態(tài)的單元11的情況下，則不進(jìn)行同時(shí)切換，而是依次對(duì)選擇出的單元11進(jìn)行切換操作。
這樣，由信號(hào)源2給出的檢測(cè)信號(hào)將輸入至單元(X2，Y2)，在導(dǎo)電圖形101a處形成電流，進(jìn)而可以由單元(X7，Y6)處產(chǎn)生輸出信號(hào)。所產(chǎn)生的輸出信號(hào)通過(guò)處理回路3傳送至計(jì)算機(jī)4，以便由計(jì)算機(jī)4依據(jù)該輸出信號(hào)的強(qiáng)度判斷是否出現(xiàn)有斷線。
計(jì)算機(jī)4可以通過(guò)判斷輸出信號(hào)的強(qiáng)度比預(yù)先設(shè)定的閾值是高還是低的方式，判斷導(dǎo)電圖形101a是否出現(xiàn)斷線。例如，如圖7所示，如果導(dǎo)電圖形101a在線路中出現(xiàn)有斷開(kāi)故障，則由單元(X7，Y6)給出的輸出信號(hào)的強(qiáng)度將相對(duì)比較低，從而可以判斷其出現(xiàn)斷線故障。另外，如圖6所示，如果導(dǎo)電圖形101a連接正常，則由單元(X7，Y6)給出的輸出信號(hào)強(qiáng)度將相對(duì)比較高，從而可以判斷其未出現(xiàn)斷線故障。對(duì)于出現(xiàn)有斷線故障時(shí)也會(huì)存在輸出信號(hào)，是由于在出現(xiàn)斷線故障的印刷電路部之間仍然會(huì)形成有結(jié)合電容。
判斷是否出現(xiàn)斷線故障的閾值，可以利用預(yù)先設(shè)置的仿真導(dǎo)電圖形，通過(guò)對(duì)出現(xiàn)斷線故障時(shí)和未出現(xiàn)斷線故障時(shí)的情況實(shí)施預(yù)先實(shí)驗(yàn)的方式進(jìn)行設(shè)定。
而且，也可以不使用閾值，而是通過(guò)對(duì)若干個(gè)導(dǎo)電圖形進(jìn)行上述的檢測(cè)，對(duì)進(jìn)行檢測(cè)時(shí)給出的各輸出信號(hào)的強(qiáng)度進(jìn)行相互對(duì)比，進(jìn)而判斷其輸出信號(hào)強(qiáng)度相對(duì)比較低的導(dǎo)電圖形存在斷線故障，判斷其輸出信號(hào)強(qiáng)度相對(duì)比較高的導(dǎo)電圖形不存在斷線故障。
<短路檢測(cè)>
下面對(duì)使用檢測(cè)裝置A，對(duì)導(dǎo)電圖形進(jìn)行短路檢測(cè)的情況進(jìn)行說(shuō)明。
如圖6所示，在對(duì)導(dǎo)電圖形101a與導(dǎo)電圖形101b之間進(jìn)行短路檢測(cè)的情況下，可以首先從位于導(dǎo)電圖形101a或?qū)щ妶D形101b上的單元11中，由計(jì)算機(jī)4選擇出切換至輸入電信號(hào)狀態(tài)的一個(gè)或一組單元11，以及切換至輸出電信號(hào)狀態(tài)的一個(gè)或若干個(gè)單元11。
如果舉例來(lái)說(shuō)，當(dāng)選擇出的是處于切換至輸入電信號(hào)狀態(tài)的單元(X2，Y2)、處于切換至輸出電信號(hào)狀態(tài)的單元(X2，Y6)時(shí)，可以由計(jì)算機(jī)4向位于檢測(cè)組件1中的切換回路16發(fā)送出控制信號(hào)，使單元(X2，Y2)與輸入端子12相連接，使單元(X2，Y6)與輸出端子13相連接，并且使其它單元11與GND端子15相連接。而且，對(duì)于選擇出若干個(gè)切換至輸入電信號(hào)狀態(tài)的單元11的情況，可以同時(shí)對(duì)這些單元實(shí)施切換操作，而對(duì)于選擇出若干個(gè)切換至輸出電信號(hào)狀態(tài)的單元11的情況，則不實(shí)施同時(shí)切換，而是依次對(duì)選擇出的單元11實(shí)施切換操作。
這樣，由信號(hào)源2給出的檢測(cè)信號(hào)將輸入至單元(X2，Y2)。這時(shí)，如圖8所示，在導(dǎo)電圖形101a和導(dǎo)電圖形101b間形成有短路故障，所以電流將通過(guò)這些導(dǎo)電圖形形成流動(dòng)，進(jìn)而由單元(X2，Y6)產(chǎn)生出輸出信號(hào)。所產(chǎn)生出的輸出信號(hào)通過(guò)處理回路3傳送至計(jì)算機(jī)4，以便由計(jì)算機(jī)4依據(jù)輸出信號(hào)的強(qiáng)度判斷是否出現(xiàn)短路故障。
計(jì)算機(jī)4與進(jìn)行斷線檢測(cè)的情況相類(lèi)似，也可以通過(guò)判斷輸出信號(hào)的強(qiáng)度與預(yù)先設(shè)定的閾值信號(hào)相比是高還是低的方式，或是通過(guò)與其它實(shí)施短路檢測(cè)的輸出信號(hào)強(qiáng)度實(shí)施對(duì)比的方式，判斷在導(dǎo)電圖形101a與導(dǎo)電圖形101b之間是否出現(xiàn)有短路故障。對(duì)于未出現(xiàn)短路故障時(shí)也會(huì)存在輸出信號(hào)，是由于在出現(xiàn)斷線的印刷電路部之間仍然會(huì)形成有結(jié)合電容。
《檢測(cè)方法2》下面對(duì)依據(jù)由單元11給出的輸出信號(hào)形成圖象，進(jìn)而對(duì)導(dǎo)電圖形101(a、b)處是否出現(xiàn)斷線、短路、欠缺故障進(jìn)行檢測(cè)的情況進(jìn)行說(shuō)明。
<導(dǎo)電圖形的坐標(biāo)檢測(cè)>
首先，對(duì)需要進(jìn)行檢測(cè)的導(dǎo)電圖形101a和101b與各個(gè)單元11間的位置關(guān)系實(shí)施檢測(cè)。換句話說(shuō)就是，對(duì)在導(dǎo)電圖形101a或101b上配置的哪個(gè)單元11進(jìn)行檢測(cè)。由于受到在將檢測(cè)組件1配置在回路基板100上時(shí)的配置精度限制，特別是對(duì)于作為被檢測(cè)對(duì)象的導(dǎo)電圖形非常微細(xì)，而需要使用與其相對(duì)應(yīng)的非常微小單元的情況下，必須要由計(jì)算機(jī)4對(duì)兩者間的位置關(guān)系進(jìn)行正確的確認(rèn)。
計(jì)算機(jī)4可以預(yù)先對(duì)要被檢測(cè)的導(dǎo)電圖形的位置、形狀的圖象數(shù)據(jù)(下面稱(chēng)為導(dǎo)電圖形數(shù)據(jù))進(jìn)行記錄，并且將這種導(dǎo)電圖形數(shù)據(jù)，與利用檢測(cè)組件1實(shí)際檢測(cè)出的導(dǎo)電圖形數(shù)據(jù)進(jìn)行對(duì)比，以獲得各單元11與導(dǎo)電圖形之間的位置關(guān)系。
在對(duì)位置關(guān)系實(shí)施識(shí)別時(shí)，可以是對(duì)具有由檢測(cè)組件1容易實(shí)施獲取的特定形狀的整個(gè)導(dǎo)電圖形或其中一部分進(jìn)行標(biāo)記，進(jìn)而通過(guò)對(duì)其位置實(shí)施獲取的方式進(jìn)行識(shí)別，也可以是預(yù)先將仿真導(dǎo)電圖形設(shè)置在回路基板上，并且取其作為標(biāo)記而進(jìn)行位置獲取的方式進(jìn)行識(shí)別。在此，僅對(duì)后一種情況進(jìn)行說(shuō)明。
圖9為表示安裝著兩個(gè)仿真導(dǎo)電圖形102的回路基板100的示意圖。導(dǎo)電圖形102同時(shí)還與導(dǎo)電圖形101a相連接。
正如圖10所示，當(dāng)相對(duì)于回路基板100對(duì)單元11進(jìn)行配置時(shí)，計(jì)算機(jī)4可以通過(guò)參考導(dǎo)電圖形數(shù)據(jù)的方式，對(duì)導(dǎo)電圖形101a等部件與單元11間的大體位置關(guān)系實(shí)施區(qū)分，所以可以選擇出位于導(dǎo)電圖形101a上的(比如說(shuō))若干個(gè)單元11并將它們同時(shí)切換至輸入電信號(hào)狀態(tài)，并且可以選擇出位于仿真導(dǎo)電圖形102上的(比如說(shuō))若干個(gè)單元11并將它們依次切換至輸出電信號(hào)狀態(tài)。在圖10中，是將包含在由粗線包圍著的區(qū)域201中的四個(gè)單元11切換至輸入電信號(hào)狀態(tài)，將包含在區(qū)域202中的、總共十八個(gè)單元11依次切換至輸出電信號(hào)狀態(tài)的。
這樣，由信號(hào)源2給出的檢測(cè)信號(hào)，被輸入至包含在區(qū)域201中的單元11處，從而可以在導(dǎo)電圖形101a和102處產(chǎn)生電流，進(jìn)而可以獲得由包含在區(qū)域202中的各單元11給出的輸出信號(hào)。所產(chǎn)生的輸出信號(hào)通過(guò)處理回路3傳送至計(jì)算機(jī)4處。
計(jì)算機(jī)4可以依據(jù)該輸出信號(hào)，對(duì)仿真導(dǎo)電圖形102的位置實(shí)施識(shí)別，進(jìn)而對(duì)各單元11與導(dǎo)電圖形101a和101b之間的位置關(guān)系實(shí)施確定。而且，計(jì)算機(jī)4還可以利用由各單元11給出的輸出信號(hào)，生成作為像素信號(hào)的圖象數(shù)據(jù)，并且將其顯示在顯示器4a上。圖11表示的是在顯示器4a上的一個(gè)顯示實(shí)例，其中各個(gè)像素300分別與各個(gè)單元11相對(duì)應(yīng)。像素(X8，Y8)和像素(X8，Y1)表示的是仿真導(dǎo)電圖形102，由粗線包圍著的區(qū)域301表示的是導(dǎo)電圖形101a上的一部分。對(duì)于這種情況，究竟是哪個(gè)像素300與仿真導(dǎo)電圖形102相對(duì)應(yīng)，不僅可以通過(guò)計(jì)算機(jī)4自動(dòng)識(shí)別，而且也可以由檢測(cè)者指引。
而且，由于設(shè)置有兩個(gè)仿真導(dǎo)電圖形102，所以通過(guò)實(shí)施兩點(diǎn)等分的方式，還可以同時(shí)對(duì)沿XY方向的位置關(guān)系和相對(duì)位置關(guān)系實(shí)施識(shí)別。
<斷線檢測(cè)>
下面對(duì)使用檢測(cè)裝置A，對(duì)導(dǎo)電圖形實(shí)施短路檢測(cè)的情況進(jìn)行說(shuō)明。
圖12為表示在對(duì)導(dǎo)電圖形101a進(jìn)行斷線檢測(cè)時(shí)，導(dǎo)電圖形101a和101b與各單元11間位置關(guān)系的示意圖。在此省略了仿真導(dǎo)電圖形。
首先由計(jì)算機(jī)4選擇出配置在導(dǎo)電圖形101a之上的單元11中的、處于切換至輸入電信號(hào)狀態(tài)的一個(gè)或一組單元11。在此，選擇出的是單元(X2，Y2)。隨后，選擇出作為切換至輸出電信號(hào)狀態(tài)的單元11的、配置在導(dǎo)電圖形101a上及其邊界部位處的單元11。在此，選擇出的是包含在由粗線包圍的區(qū)域204中的單元11。
在這種選擇過(guò)程中對(duì)單元11進(jìn)行的確定操作，可以通過(guò)如上所述的<導(dǎo)電圖形的坐標(biāo)檢測(cè)>中給出的處理方式實(shí)施，也可以依據(jù)有關(guān)導(dǎo)電圖形與單元間位置關(guān)系的信息和導(dǎo)電圖形數(shù)據(jù)實(shí)施。
計(jì)算機(jī)4可以將控制信號(hào)傳送至檢測(cè)組件1中的切換回路16處，從而分別使單元(X2，Y2)與輸入端子12相連接，使包含在區(qū)域204中的單元11依次與輸出端子13相連接，并且使其它單元11與GND端子15相連接。
這樣，由信號(hào)源2給出的檢測(cè)信號(hào)被輸入至單元(X2，Y2)，從而在導(dǎo)電圖形101a處形成電流，進(jìn)而可以由包含在區(qū)域204中的單元11依次產(chǎn)生出輸出信號(hào)。所產(chǎn)生出的輸出信號(hào)通過(guò)處理回路3傳送至計(jì)算機(jī)4，以便由計(jì)算機(jī)4實(shí)施各輸出信號(hào)與導(dǎo)電圖形數(shù)據(jù)間的對(duì)比，并且以預(yù)定閾值為基準(zhǔn)，判斷是否出現(xiàn)有斷線以及出現(xiàn)斷線的位置。這種閾值可以采用與如上所述的《檢測(cè)方法1》中<斷線檢測(cè)>的情況相類(lèi)似的方式實(shí)施設(shè)定。
而且，計(jì)算機(jī)4還可以將輸出信號(hào)作為像素信號(hào)，生成表示被檢測(cè)的導(dǎo)電圖形的位置、形狀的圖象數(shù)據(jù)。在此，可以利用所述閾值對(duì)像素信號(hào)實(shí)施二值化處理，而生成圖象數(shù)據(jù)，進(jìn)而將由該圖象數(shù)據(jù)確定的圖象顯示在顯示器4a上。圖13為表示該顯示實(shí)例用的示意圖。
如果這種導(dǎo)電圖形101a如圖12所示的那樣，在單元(X5，Y4)的周邊處出現(xiàn)有斷線現(xiàn)象，則在如圖13所示的顯示實(shí)例中，由單元(X5，Y4)上周邊部分給出的圖象將形成有切斷，從而可以確認(rèn)出現(xiàn)了斷線并且可以明確出現(xiàn)斷線的位置。
在此，是以對(duì)像素信號(hào)實(shí)施二值化處理的情況為例進(jìn)行說(shuō)明的，然而也可以對(duì)其實(shí)施多值化處理。
<短路故障檢測(cè)>
下面對(duì)使用檢測(cè)裝置A，對(duì)導(dǎo)電圖形實(shí)施短路檢測(cè)的情況進(jìn)行說(shuō)明。
圖14為表示在對(duì)出現(xiàn)斷線的導(dǎo)電圖形101a實(shí)施檢測(cè)時(shí)，導(dǎo)電圖形101a和101b與各單元11間位置關(guān)系的示意圖。
首先由計(jì)算機(jī)4選擇出配置在導(dǎo)電圖形101a上或配置在導(dǎo)電圖形101b上的單元11中的、處于切換至輸入電信號(hào)狀態(tài)的一個(gè)或一組單元11。在此，選擇出的是單元(X2，Y2)。隨后，選擇出作為切換至輸出電信號(hào)狀態(tài)的單元11的、配置在導(dǎo)電圖形101a上或配置在導(dǎo)電圖形101b上的單元11。在此，選擇出的是包含在由粗線包圍的區(qū)域205中的單元11。
計(jì)算機(jī)4可以將控制信號(hào)傳送至檢測(cè)組件1中的切換回路16處，從而可以分別使單元(X2，Y2)與輸入端子12相連接，使包含在區(qū)域205中的單元11依次與輸出端子13相連接，并且使其它單元11與GND端子15相連接。
這樣，由信號(hào)源2給出的檢測(cè)信號(hào)被輸入至單元(X2，Y2)，所以當(dāng)如圖14所示，在導(dǎo)電圖形101a與導(dǎo)電圖形101b間發(fā)生短路時(shí)，將會(huì)有電流流過(guò)，進(jìn)而可以由配置在導(dǎo)電圖形101b上的單元11依次產(chǎn)生輸出信號(hào)。所產(chǎn)生的輸出信號(hào)通過(guò)處理回路3傳送至計(jì)算機(jī)4，以便由計(jì)算機(jī)4實(shí)施各輸出信號(hào)與導(dǎo)電圖形數(shù)據(jù)間的對(duì)比，并且以預(yù)定閾值為基準(zhǔn)，判斷是否出現(xiàn)短路，以及出現(xiàn)短路的位置。
而且，計(jì)算機(jī)4還可以取輸出信號(hào)作為像素信號(hào)，生成出表示被檢測(cè)的導(dǎo)電圖形位置、形狀的圖象數(shù)據(jù)，進(jìn)而將由該圖象數(shù)據(jù)確定的圖象顯示在顯示器4a上。圖15為表示該顯示實(shí)例用的示意圖。
由于導(dǎo)電圖形101a和導(dǎo)電圖形101b如圖14所示的那樣，在單元(X4，Y5)的周邊處發(fā)生短路，所以在如圖15所示的顯示實(shí)例中，與導(dǎo)電圖形101b相對(duì)應(yīng)的區(qū)域和作為出現(xiàn)短路位置的單元(X5，Y4)上的周邊部分將出現(xiàn)圖象，所以可以顯示出發(fā)生短路以及發(fā)生短路的位置。
<欠缺檢測(cè)>
下面對(duì)使用檢測(cè)裝置A，對(duì)導(dǎo)電圖形實(shí)施短路檢測(cè)的情況進(jìn)行說(shuō)明。
欠缺是指在連續(xù)延伸著的導(dǎo)電圖形中的一部分脫落的情況。
圖16為表示在對(duì)導(dǎo)電圖形101a實(shí)施欠缺檢測(cè)時(shí)，導(dǎo)電圖形101a和101b與各單元11間位置關(guān)系的示意圖。
首先由計(jì)算機(jī)4選擇出配置在導(dǎo)電圖形101a上的單元11中的、處于切換至輸入電信號(hào)狀態(tài)的一個(gè)或一組單元11。在此，選擇出的是單元(X2，Y2)。隨后，選擇出作為切換至輸出電信號(hào)狀態(tài)的單元11的、配置在導(dǎo)電圖形101a上及其周?chē)课惶幍膯卧?1。在此，選擇出的是包含在由粗線包圍的區(qū)域206中的單元11。
計(jì)算機(jī)4將控制信號(hào)傳送至檢測(cè)組件1中的切換回路16處，從而可以分別使單元(X2，Y2)與輸入端子12相連接，使包含在區(qū)域206中的單元11依次與輸出端子13相連接，并且使其它單元11與GND端子15相連接。
在此，由信號(hào)源2給出的檢測(cè)信號(hào)將輸入至單元(X2，Y2)，從而可以在導(dǎo)電圖形101a處形成電流，進(jìn)而可以由配置在導(dǎo)電圖形101a之上的各單元11依次產(chǎn)生輸出信號(hào)。所產(chǎn)生的輸出信號(hào)通過(guò)處理回路3傳送至計(jì)算機(jī)4，以便由計(jì)算機(jī)4實(shí)施各輸出信號(hào)與導(dǎo)電圖形數(shù)據(jù)間的對(duì)比，并且以預(yù)定閾值為基準(zhǔn)，判斷是否出現(xiàn)有欠缺，以及出現(xiàn)欠缺的特定位置。
而且，計(jì)算機(jī)4可以將輸出信號(hào)作為像素信號(hào)，生成表示被檢測(cè)的導(dǎo)電圖形的位置、形狀的圖象數(shù)據(jù)，進(jìn)而將由該圖象數(shù)據(jù)確定的圖象顯示在顯示器4a上。圖17為表示該顯示實(shí)例用的示意圖。
由于導(dǎo)電圖形101a如圖16所示的那樣，在單元(X4，Y2)的周邊出現(xiàn)有欠缺，所以在如圖17所示的顯示實(shí)例中，在欠缺位置的像素(X4，Y2)中沒(méi)有圖象，從而可以判斷導(dǎo)電圖形101a有欠缺故障，并且可以給出欠缺的位置。工業(yè)實(shí)用性如上所述，如果采用本發(fā)明，便可以通過(guò)完全非接觸方式對(duì)導(dǎo)電圖形實(shí)施檢測(cè)。
權(quán)利要求
1.一種對(duì)回路基板上的導(dǎo)電圖形實(shí)施非接觸式檢測(cè)用的檢測(cè)裝置，其特征在于具有按照相互隔離方式配置的、若干個(gè)具有導(dǎo)電性的單元；向所述單元供給隨時(shí)間變化的檢測(cè)信號(hào)的供給裝置；對(duì)出現(xiàn)在所述單元的輸出信號(hào)進(jìn)行處理的處理裝置；將所述各個(gè)單元分別連接至所述供給裝置或所述處理裝置的切換裝置；以及對(duì)所述切換裝置進(jìn)行控制的控制裝置。
2.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)裝置，其特征在于，還具有依據(jù)所述輸出信號(hào)，判斷所述導(dǎo)電圖形是否出現(xiàn)斷線或短路的至少一種故障的判斷裝置。
3.如權(quán)利要求2所述的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述判斷裝置在檢測(cè)是否出現(xiàn)所述斷線或所述短路時(shí)，是通過(guò)判斷所述輸出信號(hào)的強(qiáng)度是否超過(guò)預(yù)定閾值的方式來(lái)判斷是否出現(xiàn)所述斷線或所述短路故障的。
4.如權(quán)利要求2所述的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述判斷裝置在檢測(cè)是否出現(xiàn)所述斷線或所述短路時(shí)，是通過(guò)對(duì)不同的所述導(dǎo)電圖形實(shí)施檢測(cè)，并且對(duì)各檢測(cè)中的所述輸出信號(hào)強(qiáng)度進(jìn)行相互比較來(lái)判斷的。
5.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)裝置，其特征在于，還具有對(duì)與所述導(dǎo)電圖形的位置和形狀相關(guān)的導(dǎo)電圖形數(shù)據(jù)進(jìn)行儲(chǔ)存的存儲(chǔ)裝置。
6.如權(quán)利要求5所述的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述控制裝置依據(jù)所述導(dǎo)電圖形數(shù)據(jù)，通過(guò)所述切換裝置進(jìn)行切換連接而選定所述單元。
7.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)裝置，其特征在于，還具有依據(jù)出現(xiàn)在所述各單元的所述輸出信號(hào)，形成表示被檢測(cè)的所述導(dǎo)電圖形的位置和形狀的圖象的圖象數(shù)據(jù)的裝置。
8.如權(quán)利要求7所述的檢測(cè)裝置，其特征在于，還具有顯示所述圖象的裝置。
9.如權(quán)利要求7或8所述的檢測(cè)裝置，其特征在于，為了生成所述圖象數(shù)據(jù)，所述控制裝置按照使所述單元中的至少一個(gè)與所述供給裝置相連接，同時(shí)將剩余全部單元或?qū)儆谝欢▍^(qū)域的單元逐個(gè)依次與所述處理裝置相連接，對(duì)所述切換裝置進(jìn)行控制。
10.如權(quán)利要求7至9中的任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的檢測(cè)裝置，其特征在于，在檢測(cè)所述導(dǎo)電圖形是否出現(xiàn)斷線時(shí)，所述控制裝置按照使位于被檢測(cè)導(dǎo)電圖形的一個(gè)端部的至少一個(gè)單元與所述供給裝置相連接，同時(shí)使位于被檢測(cè)導(dǎo)電圖形的另一個(gè)端部的一個(gè)單元與所述處理裝置相連接或是使若干個(gè)單元依次與所述處理裝置相連接，對(duì)所述切換裝置進(jìn)行控制。
11.如權(quán)利要求7至10中的任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的檢測(cè)裝置，其特征在于，在檢測(cè)一對(duì)所述導(dǎo)電圖形的所述短路時(shí)，所述控制裝置按照使位于一個(gè)被檢測(cè)導(dǎo)電圖形上的至少一個(gè)單元與所述供給裝置相連接，同時(shí)使位于另一個(gè)被檢測(cè)導(dǎo)電圖形上的一個(gè)單元與所述處理裝置相連接或是使若干個(gè)單元依次與所述處理裝置相連接，對(duì)所述切換裝置進(jìn)行控制。
12.如權(quán)利要求7至11中的任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的檢測(cè)裝置，其特征在于，在檢測(cè)所述導(dǎo)電圖形的欠缺時(shí)，所述控制裝置按照使位于被檢測(cè)的導(dǎo)電圖形上的至少一個(gè)單元與所述供給裝置相連接，同時(shí)使位于該被檢測(cè)導(dǎo)電圖形上以及其周?chē)?、除了與所述供給裝置相連接的所述單元之外的其它單元依次與所述處理裝置相連接，對(duì)所述切換裝置進(jìn)行控制。
13.如權(quán)利要求7至12中的任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的檢測(cè)裝置，其特征在于，具有對(duì)與所述導(dǎo)電圖形的位置和形狀相關(guān)的導(dǎo)電圖形數(shù)據(jù)進(jìn)行儲(chǔ)存的存儲(chǔ)裝置，以及通過(guò)對(duì)所述圖象數(shù)據(jù)和所述導(dǎo)電圖形數(shù)據(jù)進(jìn)行對(duì)比，判斷所述導(dǎo)電圖形是否出現(xiàn)斷線、短路或欠缺的至少一種故障用的判斷裝置。
14.如權(quán)利要求7至12中的任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的檢測(cè)裝置，其特征在于，還具有對(duì)與所述導(dǎo)電圖形的位置和形狀相關(guān)的導(dǎo)電圖形數(shù)據(jù)進(jìn)行存儲(chǔ)的存儲(chǔ)裝置，以及通過(guò)對(duì)所述圖象數(shù)據(jù)和所述導(dǎo)電圖形數(shù)據(jù)進(jìn)行對(duì)比，對(duì)所述被檢測(cè)導(dǎo)電圖形的位置偏置進(jìn)行檢測(cè)的裝置。
15.如權(quán)利要求14所述的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述對(duì)比是依據(jù)具有特定形狀的導(dǎo)電圖形或預(yù)先配置的仿真導(dǎo)電圖形實(shí)施的。
16.如權(quán)利要求1至15中的任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述切換裝置可以使所述各個(gè)單元分別連接至所述供給裝置、所述處理裝置或GND，所述控制裝置按照使未與所述供給裝置或所述處理裝置中的任何一個(gè)相連接的單元與GND相連接的方式，對(duì)所述切換裝置進(jìn)行控制。
17.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)裝置，其特征在于，對(duì)于所述處理裝置按照每次一個(gè)單元或每次若干個(gè)單元的方式進(jìn)行設(shè)定。
18.一種對(duì)回路基板上的導(dǎo)電圖形實(shí)施非接觸式檢測(cè)用的檢測(cè)組件，其特征在于具有按照相互隔離方式配置的、若干個(gè)具有導(dǎo)電性的單元；向所述單元輸入檢測(cè)信號(hào)的輸入端子；從所述單元輸出信號(hào)的輸出端子；輸入用于對(duì)所述單元實(shí)施選擇的控制信號(hào)的控制端子；以及依據(jù)所述控制信號(hào)，將所述各個(gè)單元分別連接至所述輸入端子或所述輸出端子的切換裝置。
19.如權(quán)利要求18所述的檢測(cè)組件，其特征在于，還具有與GND相連接的GND端子，所述切換裝置將所述各個(gè)單元分別與所述輸入端子、所述輸出端子或所述GND端子的任一個(gè)相連接。
20.如權(quán)利要求18或19所述的檢測(cè)組件，其特征在于，所述單元呈平面形式配置。
21.如權(quán)利要求20所述的檢測(cè)組件，其特征在于，所述單元呈矩陣形式配置。
22.如權(quán)利要求18至21中的任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的檢測(cè)組件，其特征在于，所述各個(gè)單元具有相同的形狀。
23.如權(quán)利要求18至22中的任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的檢測(cè)組件，其特征在于，所述單元的制作材料為金屬材料。
24.一種對(duì)回路基板上的導(dǎo)電圖形實(shí)施非接觸式檢測(cè)用的檢測(cè)方法，包括將若干個(gè)具有導(dǎo)電性的單元按照相互隔離方式沿著所述導(dǎo)電圖形實(shí)施配置的工序；向至少一個(gè)所述單元供給隨時(shí)間變化的檢測(cè)信號(hào)的工序；通過(guò)供給所述檢測(cè)信號(hào)，借助所述導(dǎo)電圖形，測(cè)出出現(xiàn)在其它所述單元的輸出信號(hào)的工序；以及依據(jù)測(cè)出的所述輸出信號(hào)，對(duì)所述導(dǎo)電圖形實(shí)施檢測(cè)的工序。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種按照完全非接觸檢測(cè)方式,對(duì)導(dǎo)電圖形實(shí)施檢測(cè)的檢測(cè)裝置、檢測(cè)方法和檢測(cè)組件。所述對(duì)回路基板上的導(dǎo)電圖形實(shí)施非接觸式檢測(cè)用的檢測(cè)方法,是將若干個(gè)具有導(dǎo)電性的單元,按照相互隔離方式沿著回路基板上的所述導(dǎo)電圖形實(shí)施配置,并且可以通過(guò)向至少一個(gè)所述單元供給隨時(shí)間變化的檢測(cè)信號(hào),不使用引線銷(xiāo)針而對(duì)導(dǎo)電圖形實(shí)施檢測(cè)信號(hào)的供給,通過(guò)供給檢測(cè)信號(hào),借助導(dǎo)電圖形,測(cè)出出現(xiàn)在其它所述單元處的輸出信號(hào),依據(jù)測(cè)出的所述輸出信號(hào),對(duì)所述導(dǎo)電圖形實(shí)施檢測(cè)。
文檔編號(hào)G01R31/28GK1358274SQ01800044
公開(kāi)日2002年7月10日 申請(qǐng)日期2001年2月9日 優(yōu)先權(quán)日2000年2月10日
發(fā)明者石岡圣悟, 山岡秀嗣 申請(qǐng)人:Oht株式會(huì)社