1.一種流量可控的液氮或液氬快速注入裝置，其特征在于，包括用作壓力源的增壓系統(tǒng)，與該增壓系統(tǒng)連接、用于儲(chǔ)存液氮或液氬的壓力容器(3)，與該壓力容器(3)連接的真空閥箱，與該真空閥箱連接的低溫流量計(jì)(14)，通過真空伸縮管道(15)與該低溫流量計(jì)(14)連接的液體進(jìn)出系統(tǒng)，以及同時(shí)與真空閥箱和液體進(jìn)出系統(tǒng)連接的PID控制器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種流量可控的液氮或液氬快速注入裝置，其特征在于，所述增壓系統(tǒng)包括杜瓦瓶(1)，以及通過管道同時(shí)與該杜瓦瓶(1)和壓力容器(3)連接的汽化器(2)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種流量可控的液氮或液氬快速注入裝置，其特征在于，所述真空閥箱包括箱體(4)，同時(shí)與壓力容器(3)和低溫流量計(jì)(14)連接的主路管道，與該主路管道連接的支路管道，設(shè)置在主路管道上、且往低溫流量計(jì)(14)方向依次排列的第一截止閥(5)、第一排空保護(hù)裝置、第一壓力表(9)、氣動(dòng)薄膜調(diào)節(jié)閥(10)、第二排空保護(hù)裝置和第一緊急切斷閥(12)，以及設(shè)置在支路管道上、且往低溫流量計(jì)(14)方向依次排列的第二截止閥(6)和壓力調(diào)節(jié)閥(11)；所述壓力調(diào)節(jié)閥(11)與氣動(dòng)薄膜調(diào)節(jié)閥(10)呈并聯(lián)關(guān)系，且所述PID控制器同時(shí)與氣動(dòng)薄膜調(diào)節(jié)閥(10)和第一緊急切斷閥(12)連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種流量可控的液氮或液氬快速注入裝置，其特征在于，所述第一排空保護(hù)裝置和第二排空保護(hù)裝置均由一與主路管道連接的第一安全閥(7)和一截止閥(8)組成。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種流量可控的液氮或液氬快速注入裝置，其特征在于，所述主路管道上、且位于第一緊急切斷閥(12)和低溫流量計(jì)(14)之間還設(shè)有用于防止液體回流的第六截止閥(13)。
6.根據(jù)權(quán)利要求3～5任一項(xiàng)所述的一種流量可控的液氮或液氬快速注入裝置，其特征在于，所述液體進(jìn)出系統(tǒng)包括與真空伸縮管道(15)連接的進(jìn)液管道，與該進(jìn)液管道連接的真空腔(23)，與該真空腔(23)連接、且其上設(shè)有第二緊急切斷閥(22)的出液管道，以及設(shè)置在進(jìn)液管道上、且往真空腔方向依次排列的第二壓力表(16)、第二安全閥(17)、溫度傳感器(18)、第七截止閥(19)和第三壓力表(21)；所述進(jìn)液管道與出液管道通過支管連接，且該支管上還設(shè)有第十一截止閥(20)；所述PID控制器與第二緊急切斷閥(22)連接。